特開 2025-4642 転写方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2025004642

(43)【公開日】2025-01-15

(54)【発明の名称】転写方法

(51)【国際特許分類】

   G09F 9/00 20060101AFI20250107BHJP

   H10H 20/85 20250101ALI20250107BHJP

   H01L 21/52 20060101ALI20250107BHJP

   G09F 9/33 20060101ALI20250107BHJP

【ＦＩ】

G09F9/00 338

H01L33/48

H01L21/52 C

G09F9/33

【審査請求】未請求

【請求項の数】2

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2023104466

(22)【出願日】2023-06-26

(71)【出願人】

【識別番号】000219314

【氏名又は名称】東レエンジニアリング株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】110001427

【氏名又は名称】弁理士法人前田特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】大久保 憲治

【テーマコード（参考）】

5C094

5F047

5F142

5G435

【Ｆターム（参考）】

5C094BA25

5C094GB10

5F047AA17

5F047CA08

5F047FA01

5F047FA07

5F047FA57

5F142AA26

5F142FA32

5F142GA02

5G435AA01

5G435BB04

5G435CC09

5G435KK05

5G435KK10

(57)【要約】

【課題】簡単な方法で短時間に色むらが抑制されたＬＥＤディスプレイを製造できる転写方法を提供する。
【解決手段】所定の色を呈する複数の発光素子有するドナーと、発光素子が搭載されるパネルと、ドナーからパネルに発光素子を転写させる転写手段と、ドナーとパネルと転写手段との各々の相対位置を制御する位置制御手段と、ドナー上及びパネルに転写された発光素子の位置情報と各発光素子の発光波長を記憶する記憶手段と、パネルに所定の数の前記発光素子を転写するために相対位置の順番を算出する算出手段と、を用いて、１つのドナーから複数のパネルに発光素子を転写する転写方法であって、１つのパネルに所定の数の発光素子を転写し終えてから次のパネルに発光素子の転写を行い、最初に転写を行うパネルには、転写に用いることができる発光波長の範囲の中で一部の範囲の発光波長を備えた発光素子を選択して搭載する。
【選択図】図５

【特許請求の範囲】

【請求項1】

所定の色を呈する複数の発光素子が平面的に配列されているドナーと、前記発光素子が前記ドナーから転写されて搭載されるパネルと、前記ドナーから前記パネルに前記発光素子を転写させる転写手段と、前記ドナーと前記パネルと前記転写手段とのそれぞれの相対位置を制御する位置制御手段と、前記ドナーにおける前記発光素子の位置情報及び前記パネルにおける転写された前記発光素子の位置情報および各前記発光素子の発光波長を記憶する記憶手段と、前記記憶手段に記憶されたデータを用いて前記パネルに所定の数の前記発光素子を転写するために前記相対位置の順番を算出する算出手段と、を用いて、１つの前記ドナーから複数の前記パネルに、それぞれの前記パネルにおいて前記相対位置を複数回変更して、前記発光素子を転写する転写方法であって、
１つの前記パネルに前記所定の数の前記発光素子を転写し終えてから、次の前記パネルに前記発光素子の転写を行い、
最初に転写を行う前記パネルには、転写に用いることができる発光波長の範囲の中で一部の範囲の発光波長を備えた前記発光素子を選択して搭載することを特徴とする転写方法。

【請求項2】

発光波長の前記一部の範囲には、前記ドナーにおける前記発光素子の発光波長の平均値が含まれる、請求項１に記載の転写方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、転写方法に関するものである。

【背景技術】

【0002】

近年、従来の液晶ディスプレイに代わるものとしてＬＥＤを使用したディスプレイの開発が進められており、製品化が進みつつある。このようなＬＥＤを使用したディスプレイ（ＬＥＤディスプレイ）は、ＦＨＤ（Ｆｕｌｌ Ｈｉｇｈ Ｄｅｆｉｎｉｔｉｏｎ）パネルであって、赤色ＬＥＤ、緑色ＬＥＤ、青色ＬＥＤが１９２０×１０８０個、４Ｋパネルでは３８４０×２１６０個、それぞれ格子状の配列にて配線基板に高密度に実装されている。

【0003】

このように配線基板へ高密度に実装される各色ＬＥＤとしては、たとえば約５０μｍ×５０μｍといった微小寸法を有する、いわゆるマイクロＬＥＤが用いられる。このようなマイクロＬＥＤは特許文献１に示すようにサファイアなどの成長基板上に窒化ガリウムの結晶をエピタキシャル成長させる工程などを経て得られ、基板上で上記寸法のチップ状にダイシングされる。このように形成されたＬＥＤチップは、１回もしくは複数回の転写工程を経て成長基板からディスプレイである配線基板へ転写される。その後、熱圧着などの実装工程を経て、配線基板にＬＥＤチップが固定される。

【0004】

ＬＥＤチップをディスプレイパネルである配線基板に転写する方法はいくつかあるが、例えば特許文献２，３に開示されているレーザーアブレーション技術を用いた方法が知られている。

【0005】

特許文献２にはレーザーアブレーション技術を用いた素子（ＬＥＤチップ）の転写方法が開示されている。また、１つの成長基板上に形成された複数のＬＥＤチップの発光波長には個体差があるが、特許文献３には、ＬＥＤディスプレイを製造した際に発光波長の個体差によって色むらが見る人によって感じられないようにする転写方法が開示されている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0006】

【特許文献1】特開２００２－１７０９９３号公報

【特許文献2】特開２００６－４１５００号公報

【特許文献3】特開２０２２－１３５５２１号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0007】

特許文献３に開示された発明は、特許文献２に開示された発明を利用しつつＬＥＤディスプレイに色むらが生じないようにするという新たな課題を解決すべく創作されたものである。しかしながら特許文献３に開示された発明では、１つの成長基板（ウェハ）上のそれぞれのＬＥＤチップの発光特性をすべて計測してから、すべてのＬＥＤチップの発光特性を考慮してディスプレイパネルに色むらが生じないようにまずは転写シミュレーションを行って、それから実際に転写するため、転写を行うためのシミュレーションに非常に時間がかかり、実際の転写を行うまでに転写装置が長時間待機せざるをえないという問題があった。

【0008】

本発明は、かかる点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、簡単な方法で短時間に色むらが抑制されたＬＥＤディスプレイを製造できる転写方法を提供することにある。

【課題を解決するための手段】

【0009】

本発明の転写方法は、所定の色を呈する複数の発光素子が平面的に配列されているドナーと、前記発光素子が前記ドナーから転写されて搭載されるパネルと、前記ドナーから前記パネルに前記発光素子を転写させる転写手段と、前記ドナーと前記パネルと前記転写手段とのそれぞれの相対位置を制御する位置制御手段と、前記ドナーにおける前記発光素子の位置情報及び前記パネルにおける転写された前記発光素子の位置情報および各前記発光素子の発光波長を記憶する記憶手段と、前記記憶手段に記憶されたデータを用いて前記パネルに所定の数の前記発光素子を転写するために前記相対位置の順番を算出する算出手段と、を用いて、１つの前記ドナーから複数の前記パネルに、それぞれの前記パネルにおいて前記相対位置を複数回変更して、前記発光素子を転写する転写方法であって、１つの前記パネルに前記所定の数の前記発光素子を転写し終えてから、次の前記パネルに前記発光素子の転写を行い、最初に転写を行う前記パネルには、転写に用いることができる発光波長の範囲の中で一部の範囲の発光波長を備えた前記発光素子を選択して搭載することを特徴とするものである。

【0010】

発光波長の前記一部の範囲には、前記ドナーにおける前記発光素子の発光波長の平均値が含まれていてもよい。

【発明の効果】

【0011】

１つのドナーから複数のパネルに発光素子を転写する際に、最初のパネルでは、転写に用いることができる発光波長の範囲の中で一部の範囲の発光波長、すなわち狭い波長レンジの発光素子のみを転写に使用することで、色むらが生じないように考慮する必要がなく、転写のシミュレーションを短時間にすることができるため、転写装置の待機時間を短くすることができて製造効率が向上する。

【図面の簡単な説明】

【0012】

【図1】実施形態に係る発光素子の転写装置の模式的な図である。

【図2】実施形態に係るドナー、転写手段、転写領域、パネルの相対的な位置関係の一例を示す模式的な図である。

【図3】（Ａ）は転写領域に相対しているドナーの領域、（Ｂ）は転写領域、（Ｃ）は転写領域に相対しているパネルの領域を示す一例である。

【図4】（Ａ）は転写領域に相対しているドナーの領域、（Ｂ）は転写領域、（Ｃ）は転写領域に相対しているパネルの領域を示す別の例である。

【図5】（Ａ）は転写領域に相対しているドナーの領域、（Ｂ）は転写領域、（Ｃ）は転写領域に相対しているパネルの領域を示す他の例である。

【図6】実施形態に係るドナーに存在している緑色を呈する発光素子の発光波長分布を示す図である。

【図7A】本発明を適用しない転写方法を用いた際の計算時間と転写時間を示す図である。

【図7B】本発明を適用した転写方法を用いた際の計算時間と転写時間を示す図である。

【発明を実施するための形態】

【0013】

発明を実施するための形態について説明を行う前に、本願発明者が本願発明に思い至り創作した経緯を説明する。

【0014】

サファイアなどの成長基板（ウェハ）上に窒化ガリウムの結晶をエピタキシャル成長させる工程などを経て製造されるマイクロＬＥＤ（発光素子）は、１枚のウェハ上に多数のチップとして存在している。このような成長工程においては、窒化ガリウムの結晶成長を始めとして、どのような加工工程であっても１つのウェハ上のあらゆる位置において均一に加工がなされるようにすることは非常に困難である。そのため、出来上がったチップの特性は１つ１つ少しずつ異なっていてばらつきがある。このような特性のうち、ディスプレイに関しては発光波長が特に重要になる。

【0015】

上述のようなばらつきは、マイクロＬＥＤを製造する製造装置内における温度むらや原材料の供給むらに起因する場合が多く、１つの製造装置で多数のウェハを一度に加工する場合には、ウェハを置く位置によってむらが生じてしまう。そのため例えばウェハの中央部分と周辺部分とで、あるいは右側と左側とで、または縞状に特性値の大きさが変化してむらになる。

【0016】

１つのウェハ上の多数のチップに、上記のように特性値、特に発光波長にむらが生じることを回避するのは非常に困難である。従って、例えば、中央部分の発光素子は発光波長が長めであるのに対して、周辺部分の発光素子は発光波長が短めになるといったむらが生じることがままあるが、そのようなむらが存在することを前提としてパネルを製造することになる。

【0017】

一般に１つのウェハには非常に多数のチップ（発光素子）が存在しており、１つのウェハから複数のパネルに発光素子を供給することができる。通常はウェハよりもパネルの方が面積が大きいが、ウェハ上のチップ間距離よりもパネル上のチップ間距離の方がかなり大きいため、１つのウェハ上の発光素子数が１つのパネルに搭載される発光素子数よりも多いという関係となっている。

【0018】

また、ウェハからパネルに発光素子を転写させる転写装置は、１度に転写することができる領域の面積がウェハ全体やパネル全体の面積に対して小さい。そのため、１つのパネルに必要な発光素子をすべて転写するためには、ウェハ及びパネルを転写領域に対して複数回移動させて転写を行うことが必要である。

【0019】

さらには、パネルの製造コストを低減させるために、移動回数および転写回数を減らすことが重要である。そのためには転写領域内に存在するウェハ上の発光素子であってパネルに転写可能なものはできるだけ多く、可能であれば転写可能な全数を転写することが考えられる。この場合、パネル上の所定の領域にウェハの中央部分から転写可能な限りの発光素子を転写し、その隣の領域にウェハの周辺部分から転写可能な限りの発光素子を転写する、ということが起こりうる。もし上記のように、ウェハの中央部分と周辺部分とで発光素子の発光波長に大きな差があるようなむらがあったとしたら、パネル上の所定の領域は発光波長の長い発光素子が集中的に転写され、その隣の領域には発光波長の短い発光素子が集中的に転写されて、結果として隣接する２つの領域に明確な発光波長の差、即ち色むらが生じることになる。

【0020】

特許文献３に開示された発明はこのような色むらが生じないようにするための発明であるが、１つ１つの発光素子の発光波長を測定・記憶して、それに基づいて色むらが生じないように転写をコントロールしている。色むらが生じないように転写をするために計算する時間と、ウェハとパネルの移動時間と回数、転写の時間と回数が膨大になり、パネルへの発光素子の転写の時間が非常に大きくなってしまう。本願発明者はこのような状況に鑑みて様々な検討を行って本願発明に想到するに至った。

【0021】

以下、本発明の実施形態を図面に基づいて詳細に説明する。以下の好ましい実施形態の説明は、本質的に例示に過ぎず、本発明、その適用物あるいはその用途を制限することを意図するものではない。

【0022】

（実施形態１）
実施形態１は、多数のマイクロＬＥＤのチップが平面的に隣り合って配列されているドナー（ウェハ）から、転写手段によりチップをディスプレイパネルとなるパネル基板に転写する転写方法に関する。転写手段はレーザーリフトオフ（レーザーアブレーション技術）を用いているが、他の方法を用いても構わない。

【0023】

図１に示すように、ドナー２０は複数の発光素子２２が平面的に配列されており、保持手段２５により保持されてパネル３０に向き合っている。パネル３０は、発光素子２２ａが転写された面とは反対側の面を載置部３２により吸着把持されており、載置部３２は移動ステージ４２の上に載せられている。なお、保持手段２５はチップをエピタキシャル成長させるベースとなる成長基板やウェハに貼り付けられた中間基板などである。

【0024】

転写手段１０はレーザー光源１１、ガルバノミラー１２、Ｆθレンズ１４を備えている。レーザー光源１１は１本のレーザー光１３を出射する装置である。用いるレーザーとしてはＹＡＧレーザー、可視光レーザー、紫外線レーザーなどを挙げることができる。ガルバノミラー１２は２枚のミラーを有し、これらのミラーの位置および角度を制御することで、入射してきた光線を任意の方向へ出射する。

【0025】

転写は以下のように行われる。レーザー光源１１から発せられたパルス状のレーザー光１３がガルバノミラー１２及びＦθレンズ１４を経由して保持手段２５に照射される。レーザー光１３は保持手段２５を透過して、保持手段２５と発光素子２２との界面に到達し、この界面においてレーザーアブレーションを生じさせる。このレーザーアブレーションによって発光素子２２は保持手段２５から剥離して下側に付勢されて、パネル３０に転写される。なお、パネル３０に転写済みの発光素子には符号２２ａを付す。

【0026】

転写手段においては、レーザー光１３はガルバノミラー１２によって光路が制御されて、保持手段２５の様々な位置に照射されるが、ガルバノミラー１２の位置および角度の変更範囲は限定されている。そのため、図２に示すように、転写手段１０において、レーザー光１３を照射可能な領域である転写領域１５はドナー２０及びパネル３０に比べて小さい面積となっている。

【0027】

なお上述のように、一般的に１枚のドナー（ウェハ）２０の全発光素子２２数よりも、パネル３０に搭載される全発光素子２２ａ数の方が相当少ないため、１枚のドナー２０から複数枚のパネル３０に発光素子２２を転写できる。従って、図１に示すパネル３０に必要な数の発光素子２２ａが搭載されてもドナー２０に十分な数の発光素子２２が存在しているときには、載置部３２上のパネル３０を新たなものに入れ替えて転写を行う。

【0028】

（配置ステップ）
転写領域１５がドナー２０及びパネル３０に比べて小さい面積であるので、パネル３０の全面に発光素子２２ａを必要な数だけ転写させるためには、転写領域１５とドナー２０とパネル３０との相対的な位置を変更してその都度転写を行う必要がある。転写手段１０は大がかりな装置であって固定されているので、保持手段２５を把持している把持手段４１によりドナー２０の位置を制御し、パネル３０の位置を移動ステージ４２により制御する。把持手段４１及び移動ステージ４２を備えた位置制御手段によって、パネル３０の発光素子２２ａが転写される面に対して平行にドナー２０及びパネル３０が移動して、転写領域１５とドナー２０とパネル３０との相対的な位置が変わっていく。ドナー２０とパネル３０とは、選択された所定の位置（領域）が転写領域１５に対して相対するように、位置制御手段によって移動されて配置される。

【0029】

（ある相対位置における転写の検討）
図３に示すように、（Ａ）では転写領域１５に相対するドナー２０の領域に複数の発光素子２２が隙間（小さな間隔）を介して隣接して並んでいるのに対し、（Ｃ）では転写領域１５に相対するパネル３０の領域に、ドナー２０における発光素子２２同士の隣接間隔よりも大きな間隔（数倍から数十倍）で発光素子２２ａが転写されることになる。転写領域１５も（Ｂ）に示すようにパネル３０の転写間隔と同じ間隔で転写可能位置１６が設定されている。

【0030】

図３では、ドナー２０に抜けなく発光素子２２が並んでいるため、転写領域１５のすべての転写可能位置１６を用いてパネル３０へ発光素子２２を転写することが可能であり、このようにすることで転写効率を良くすることができるが、このやり方を続けると、パネル３０上において色むらがはっきりと現れることがある。

【0031】

上記のようなパネル３０の発光時の色むらが生じないようにするため、本願発明者は様々なパラメータを用いて検討を行い、シミュレーションを行った結果、転写手段１０による転写可能位置１６をすべて使用するのではなく一部のみ使用するように制御を行うことを見出した。

【0032】

具体的には、１つのドナー２０に存している所定の色（例えば緑）を呈する発光素子２２の転写をパネル３０に行う場合、所定の色＝緑色を呈する発光素子２２の発光波長が５３５ｎｍ～５３９ｎｍの範囲内であれば、人間の目は全く同じ緑色と感じられるため、この範囲から外れた発光波長を備えた発光素子２２が転写可能位置１６に位置した場合は当該転写可能位置１６を転写に使用しないようにする制御を行う。ただし、このような制御は、ドナー２０に発光波長が５３５ｎｍ～５３９ｎｍの範囲内である発光素子２２が十分な数だけ存在していないと行うことができない。従って、本実施形態では、未使用のドナー２０を最初のパネル３０に対して使用する際にこのような制御を行い、２枚目以降のパネル３０に対しては別の制御を行う。

【0033】

（転写ステップ）
図３，４，５では転写領域１５における転写可能位置１６は９個存在している。パネル３０へのすべての発光素子２２ａの転写が完了するまでは、使用可能な転写可能位置１６をすべて使用して転写を行う方が効率よく転写ができて早く転写が完了する。使用可能な転写可能位置１６というのは、転写可能位置１６に対応するドナー２０の位置に発光素子２２が存在し、且つ転写可能位置１６に対応するパネル３０の位置に発光素子２２が転写されていない状態のものである。

【0034】

例えば、図３のような状態ではドナー２０の転写を行う領域に多数の発光素子２２が存在しており、転写領域１５のすべての転写可能位置１６を用いてパネル３０へ多数（図３では９個）の発光素子２２を転写することが可能であり、このようにすることでその転写における転写効率を良くすることができる。しかしながら上述したように、このような方法で転写を行うとドナー２０に存する複数の発光素子２２の発光波長のばらつきに起因するパネル３０での発光による色むらが顕著に現れてしまうことがある。

【0035】

そこで、発光素子２２の発光波長を考慮して、転写領域１５における使用可能な転写可能位置１６のうち一部を転写に用いない（次回以降の機会に転写する）ようにすることとした。例えば図４に示すように、発光素子２２が対応している９個の転写可能位置１６のうち、転写に用いない転写可能位置（非転写部１８）を４つにして発光素子２２を５個だけ転写したり、逆に図５に示すように、発光素子２２が対応している転写可能位置１６が１つしかない場合でも、転写に用いない転写可能位置（非転写部１８）を０とすることで転写可能な発光素子２２すべて（図５では１つ）を転写する制御を行う。

【0036】

（最初のパネルへの転写）
１つのドナー２０から複数のパネル３０に発光素子２２を転写して複数のディスプレイパネルを製造する工程では、１つのパネル３０に必要なすべての発光素子２２を転写してから次のパネル３０に発光素子２２を転写する。本実施形態では、最初のパネル３０への発光素子２２の転写の制御方法と、２枚目以降のパネル３０への転写の制御方法とを変更している。以下に最初のパネル３０への発光素子２２の転写の制御方法を説明する。

【0037】

図６は、ドナー２０に存している発光素子２２の発光波長とその頻度（数）の分布を表示したヒストグラムである。このドナー２０には緑色に発光する発光素子２２が作成されている。発光素子２２の発光波長は５３５ｎｍ～５３９ｎｍの範囲内になるように条件設定されて製造されているが、実際には図６に示すように発光波長は５３０ｎｍ～５４７ｎｍの範囲にばらついている。なお、ドナー２０に存しているすべての発光素子２２の発光波長の平均は５３５ｎｍ～５３９ｎｍの範囲に含まれる。２つの発光素子２２の発光波長がそれぞれ５３５ｎｍ～５３９ｎｍの範囲内（符号６１から符号６２の範囲内、ハッチングを付している）であれば、２つの発光波長が多少異なっていても人は色の違いを認識しない。即ち、発光波長が５３５ｎｍの光と５３９ｎｍの光とをそれぞれ見比べても人は同じ色であると認識する。一方、発光波長が５３０ｎｍの光と５３９ｎｍの光とを、あるいは５３５ｎｍの光と５４７ｎｍの光とを見比べると、人は色が異なっていると感じる場合がある。

【0038】

このようなことから、最初のパネル３０への発光素子２２の転写は、発光波長が５３５ｎｍ～５３９ｎｍの範囲内の発光素子２２だけを用いて行う。このような転写の制御方法を採用することにより、特定範囲内の発光波長を有する発光素子２２をドナー２０から選択して、転写シミュレーションを行うことになり、それ以外の要素である、パネル３０への転写位置やそれに対応するドナー２０内での発光素子２２の位置、色むらが生じないように発光波長を考慮した発光素子２２の選択などを制御パラメータとして使用することを必要としない。そのため、実際の転写を行う前の、パネル３０に搭載が必要なすべての発光素子２２の転写シミュレーションの計算時間を、制御パラメータが多い場合（２枚目以降のパネルへの転写シミュレーション）と比較して、短縮することができる。

【0039】

最初のパネル３０への転写シミュレーションの計算時間を短縮できれば、ディスプレイパネルの製造時間を短縮することができて製造コストを抑えられる。

【0040】

（２枚目以降のパネルへの転写）
２枚目以降のパネル３０への発光素子２２の転写では、発光波長が５３５ｎｍ～５３９ｎｍの範囲内の発光素子２２の数が不足する虞があること、及び、発光波長が５３５ｎｍ～５３９ｎｍ以外の発光素子２２も使用しないと製造コストが大きくなってしまうこと、という理由で、ドナー２０に存している残りのすべての発光素子２２を転写に用いる。そのために、以下のような転写シミュレーションを行う。

【0041】

発光波長が５３５ｎｍ～５３９ｎｍの範囲内（符号６１から符号６２の範囲内）の発光素子２２は、転写位置がパネル３０のどこであってもそのまま転写することができる。しかしながら、発光波長が５３５ｎｍ～５３９ｎｍの範囲以外の発光素子２２については、転写することができる位置が制限される。例えば、５４７ｎｍの発光波長を有する発光素子２２（図６の符号５３）が複数個互いに隣接してパネル３０に転写されると、その部分は、５３５ｎｍ～５３９ｎｍの範囲内の発光素子２２が転写されている領域とは色が異なって見えるおそれ、即ち色むらがあるように見えるおそれがある。一方、一度視野範囲（所定の距離でディスプレイパネルを観察する観察者の、視野角が１度となるディスプレイパネル上の円）に複数の発光素子２２が搭載される（通常は数個から数十個）ことになるが、この一度視野範囲を観察すると、個々の発光素子２２の発光波長の違いを識別することができずに、観察者は一度視野範囲に搭載されている発光素子２２の平均発光波長による色を観察することになる。

【0042】

従って、一度視野範囲の中に転写される発光素子２２の平均発光波長が５３５ｎｍ～５３９ｎｍの範囲に収まるように転写シミュレーションを行い、それに従って実際の転写を行えばパネル３０の全体において色むらが生じないことになる。あるいは、図６で最も短い発光波長の５３０ｎｍ（符号５２）を有する発光素子２２と、最も長い発光波長の５４７ｎｍ（符号５３）を有する発光素子２２とを常に隣接させて転写すれば、これら２つからは両者の平均波長の５３８．５ｎｍ（５３５ｎｍ～５３９ｎｍの範囲内）の光が発出されていると感じられるので、常に符号５２と符号５３との発光素子２２をペアで隣接させて転写を行ってもよい。

【0043】

このようなペアで転写位置を決める方法では、符号５２の５３０ｎｍと符号５３の５４７ｎｍの発光素子２２の転写位置をすべて決定したら、次に符号５４の５３１ｎｍと符号５５の５４６ｎｍの発光波長を備えた発光素子２２を用いて同じように隣り合わせになるように転写のシミュレーションを行う。これら２つの発光波長の平均は５３８．５ｎｍであり、５３５ｎｍから５３９ｎｍの範囲（許容範囲）に入る。

【0044】

図６では符号５４の５３１ｎｍの発光波長を備えた発光素子２２の方が、符号５５の５４６ｎｍの発光波長を備えた発光素子２２よりも多い。そこで、５４６ｎｍの発光波長を備えた発光素子２２をすべて転写し終えた後は、符号５７の５４５ｎｍの発光波長を備えた発光素子２２と符号５４の５３１ｎｍの発光波長を備えた発光素子２２とを組み合わせて隣同士になるようにシミュレーションを行う。これら２つの発光波長の平均は５３８ｎｍであり、やはり５３５ｎｍから５３９ｎｍの範囲（色むらの許容範囲）に入る。このようにドナー２０上の、発光波長が５３５ｎｍ～５３９ｎｍの範囲以外の発光素子２２もすべて転写対象とすることで、発光素子２２の歩留まりが高くなり、コストを低減できる。

【0045】

（計算時間と転写時間）
本実施形態に係る転写方法を用いた場合の転写シミュレーションの計算時間と実際の転写を行う転写時間とを図７Ｂに示す。図７Ａは比較例に係る転写方法を用いた場合であって、具体的には、最初のパネルへの発光素子２２の転写においても、ドナー２０上のすべての発光素子２２を転写対象として、ディスプレイパネルに色むらが生じないように転写シミュレーションを行った場合の計算時間と転写時間を示したものである。

【0046】

比較例である図７Ａと本実施形態の図７Ｂとを比べると、Ａの方の最初のパネルへの転写シミュレーションの計算時間７１ａが、Ｂの方の最初のパネルへの転写シミュレーションの計算時間７１ｂよりも長く、それらの時間が転写装置の停止時間８０ａ、８０ｂに等しい。そのため、本実施形態の方が比較例よりも転写装置の停止時間が短い分、１つのドナー２０から複数のティスプレイパネルを作成する時間を短くすることができる。

【0047】

コンピュータの性能が年々上がってきているので、転写シミュレーションの計算時間よりも、そのシミュレーションにより実際に転写を行う転写時間の方が長くなっている。従って、Ａ、Ｂのいずれも最初のパネルへの転写時間８１ａ，８１ｂの時間内に２枚目のパネルへの転写シミュレーションの計算時間７２ａ，７２ｂが終了するため、２枚目のパネルへの転写（転写時間はそれぞれ８２ａ，８２ｂ）を、転写装置の停止時間を設けることなく行うことができる。なお、シミュレーションの計算は、１つのパネルの計算が終了したらすぐに次のパネルの計算を行うことが可能である。そのため、２枚目のパネルへの転写シミュレーションが終了したら連続して３枚目のパネルへの転写シミュレーション（計算時間はそれぞれ７３ａ，７３ｂ）を行うことが可能である。

【0048】

本実施形態の２枚目以降のパネルへの転写においては、上記のように転写シミュレーションの際に発光波長を考慮して計算をおこなうため、最初のパネルへの転写シミュレーションに比較して計算時間が長くなる。ただ、転写シミュレーションの計算にかかる時間と、そのシミュレーションに従って実際に転写を行う時間とを比較した際に、図７Ａ，Ｂに示すようにシミュレーションの計算時間の方が実際の転写時間よりも短ければ、最初のパネル３０へ発光素子２２を実際に転写している間に、２枚目のパネルへの転写シミュレーションの計算が終了するので、２枚目のパネルへの転写シミュレーションの計算時間は製造時間に影響を及ぼさない。一方、最初のパネル３０への転写シミュレーションの時間は製造時間にそのまま反映するため、本実施形態のようにドナー２０に存する発光素子２２の平均発光波長近辺の発光波長を有する発光素子２２だけを使用して最初のパネル３０に発光素子２２転写するシミュレーションを行うことにより、シミュレーションの計算時間が短くなって製造時間を短縮することができ、製造コストを下げることができる。

【0049】

（その他の実施形態）
上述の実施形態は本願発明の例示であって、本願発明はこれらの例に限定されず、これらの例に周知技術や慣用技術、公知技術を組み合わせたり、一部置き換えたりしてもよい。また当業者であれば容易に思いつく改変発明も本願発明に含まれる。

【0050】

最初のパネル３０に転写する発光素子２２の発光波長の範囲は、当該発光素子２２の呈する所定の色や、仕様などによって決定すればよい。

【0051】

実施形態１での最初のパネル３０への転写シミュレーションでは発光素子２２の発光波長の範囲だけを限定していたが、パネル３０への転写位置やそれに対応するドナー２０内での発光素子２２の位置などをパラメータとして追加して用いてもよい。

【0052】

２枚目のパネル３０への転写シミュレーションを行う際に、最初のパネル３０への転写に用いた発光波長の範囲の発光素子２２の数が十分多く残っていて、２枚目のパネル３０への転写に当該発光波長の範囲の発光素子２２だけを用いても、３枚目以降のパネル３０への転写シミュレーションの計算時間や実際の転写の時間が長くなりすぎることがなければ、２枚目のパネル３０への転写にも最初のパネル３０への転写に用いた発光波長の範囲の発光素子２２のみを用いてもよい。

【符号の説明】

【0053】

１０ 転写手段
１５ 転写領域
１６ 転写可能位置
２０ ドナー
２２ 発光素子
２２ａ 発光素子（パネル上に転写された）
３０ パネル

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7A】

【図7B】