2025-58511 極低温冷凍機用蓄冷器および極低温冷凍機

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2025058511

(43)【公開日】2025-04-09

(54)【発明の名称】極低温冷凍機用蓄冷器および極低温冷凍機

(51)【国際特許分類】

   F25B 9/00 20060101AFI20250402BHJP

【ＦＩ】

F25B9/00 D

【審査請求】未請求

【請求項の数】5

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2023168493

(22)【出願日】2023-09-28

(71)【出願人】

【識別番号】000002107

【氏名又は名称】住友重機械工業株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100105924

【弁理士】

【氏名又は名称】森下 賢樹

(74)【代理人】

【識別番号】100116274

【弁理士】

【氏名又は名称】富所 輝観夫

(72)【発明者】

【氏名】三上 行雄

(57)【要約】

【課題】ヘリウムガスを蓄冷材に利用した極低温冷凍機用蓄冷器における圧力損失を低減する。
【解決手段】極低温冷凍機用蓄冷器は、ヘリウムガスを収容可能な複数の管５２を撚り合わせた撚合管５０を備える。撚合管５０は、例えばハニカム巻きにより、コイル状に巻回されていてもよい。このような極低温冷凍機用蓄冷器を備える極低温冷凍機が提供されてもよい。
【選択図】図３

【特許請求の範囲】

【請求項1】

ヘリウムガスを収容可能な複数の管を撚り合わせた撚合管を備えることを特徴とする極低温冷凍機用蓄冷器。

【請求項2】

前記撚合管は、コイル状に巻回されていることを特徴とする請求項１に記載の極低温冷凍機用蓄冷器。

【請求項3】

前記撚合管は、ハニカム巻きにより巻回されていることを特徴とする請求項２に記載の極低温冷凍機用蓄冷器。

【請求項4】

ヘリウムガスを収容可能な管を備え、
前記管は、ハニカム巻きによりコイル状に巻回されていることを特徴とする極低温冷凍機用蓄冷器。

【請求項5】

請求項１から４のいずれかに記載の極低温冷凍機用蓄冷器を備えることを特徴とする極低温冷凍機。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、極低温冷凍機用蓄冷器およびこれを用いた極低温冷凍機に関する。

【背景技術】

【0002】

ヘリウムガスは、１０Ｋ程度以下の極低温において、さまざまな他の材料に比べて大きな比熱をもつことが知られている。そこで、そうした極低温への冷却を提供するギフォード・マクマホン（Gifford-McMahon；ＧＭ）冷凍機などの極低温冷凍機で、ヘリウムガスを蓄冷材として用いることが提案されている。このような極低温冷凍機には、蓄冷器として例えば、ヘリウムガスを封入した管がソレノイドコイルのように巻回されたものが内蔵されている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特開２０１４－１６１３７号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

本発明者は、ヘリウムガスを蓄冷材に利用した上述のような極低温冷凍機を検討し、以下の課題を認識した。こうした極低温冷凍機では、ヘリウムガスの管は、コイルのターン間で互いに密に隣接するように巻き回されている。しかしながら、この巻き方の蓄冷器では、管どうしの密接により、極低温冷凍機の作動ガスのための作動ガス流路が狭く、また長くなり、その結果、蓄冷器での作動ガスの圧力損失が大きくなりがちである。圧力損失の増加は、極低温冷凍機の冷凍能力を低下させうる。

【0005】

本発明のある態様の例示的な目的のひとつは、ヘリウムガスを蓄冷材に利用した極低温冷凍機用蓄冷器における圧力損失を低減することにある。

【課題を解決するための手段】

【0006】

本発明のある態様によると、極低温冷凍機用蓄冷器は、ヘリウムガスを収容可能な複数の管を撚り合わせた撚合管を備える。

【0007】

本発明のある態様によると、極低温冷凍機用蓄冷器は、ヘリウムガスを収容可能な管を備え、管は、ハニカム巻きによりコイル状に巻回されている。

【0008】

本発明のある態様によると、極低温冷凍機は、上述のいずれかの態様の極低温冷凍機用蓄冷器を備える。

【発明の効果】

【0009】

本発明によれば、ヘリウムガスを蓄冷材に利用した極低温冷凍機用蓄冷器における圧力損失を低減することができる。

【図面の簡単な説明】

【0010】

【図1】実施の形態に係る極低温冷凍機を概略的に示す図である。

【図2】実施の形態に係る極低温冷凍機を概略的に示す図である。

【図3】実施の形態に係り、第２段の蓄冷器の低温側の断面の一部を拡大して概略的に示す図である。

【図4】実施の形態に係り、低温側蓄冷器を構成する撚合管を概略的に示す斜視図である。

【図5】比較例に係るヘリウムガス蓄冷器を概略的に示す図である。

【図6】他の実施の形態に係るヘリウムガス蓄冷器を概略的に示す斜視図である。

【発明を実施するための形態】

【0011】

以下、図面を参照しながら、本発明を実施するための形態について詳細に説明する。説明および図面において同一または同等の構成要素、部材、処理には同一の符号を付し、重複する説明は適宜省略する。図示される各部の縮尺や形状は、説明を容易にするために便宜的に設定されており、特に言及がない限り限定的に解釈されるものではない。実施の形態は例示であり、本発明の範囲を何ら限定するものではない。実施の形態に記述されるすべての特徴やその組み合わせは、必ずしも発明の本質的なものであるとは限らない。

【0012】

図１および図２は、実施の形態に係る極低温冷凍機１０を概略的に示す図である。極低温冷凍機１０は、一例として、二段式のギフォード・マクマホン（Gifford-McMahon；ＧＭ）冷凍機である。図１には、極低温冷凍機１０の外観を示し、図２には、極低温冷凍機１０の内部構造を示す。

【0013】

極低温冷凍機１０は、圧縮機１２と、膨張機１４とを備える。圧縮機１２は、極低温冷凍機１０の作動ガスを膨張機１４から回収し、回収した作動ガスを昇圧して、再び作動ガスを膨張機１４に供給するよう構成されている。作動ガスは、冷媒ガスとも称され、通例はヘリウムガスであるが、適切な他のガスが用いられてもよい。

【0014】

膨張機１４は、冷凍機シリンダ１６と、ディスプレーサ組立体１８と、冷凍機ハウジング２０とを備える。冷凍機ハウジング２０は、冷凍機シリンダ１６と結合され、それにより、ディスプレーサ組立体１８を収容する気密容器が構成される。なお、冷凍機ハウジング２０の内部容積は圧縮機１２の低圧側に接続され、低圧に維持されてもよい。

【0015】

冷凍機シリンダ１６は、第１シリンダ１６ａ、第２シリンダ１６ｂを有する。第１シリンダ１６ａと第２シリンダ１６ｂは、一例として、円筒形状を有する部材であり、第２シリンダ１６ｂが第１シリンダ１６ａよりも小径である。第１シリンダ１６ａと第２シリンダ１６ｂは同軸に配置され、第１シリンダ１６ａの下端が第２シリンダ１６ｂの上端に剛に連結されている。

【0016】

ディスプレーサ組立体１８は、第１ディスプレーサ１８ａと第２ディスプレーサ１８ｂとを有する。第１ディスプレーサ１８ａと第２ディスプレーサ１８ｂは、一例として、円筒形状を有する部材であり、第２ディスプレーサ１８ｂが第１ディスプレーサ１８ａよりも小径である。第１ディスプレーサ１８ａと第２ディスプレーサ１８ｂは同軸に配置されている。

【0017】

第１ディスプレーサ１８ａは、第１シリンダ１６ａに収容され、第２ディスプレーサ１８ｂは、第２シリンダ１６ｂに収容されている。第１ディスプレーサ１８ａは、第１シリンダ１６ａに沿って軸方向に往復移動可能であり、第２ディスプレーサ１８ｂは、第２シリンダ１６ｂに沿って軸方向に往復移動可能である。第１ディスプレーサ１８ａと第２ディスプレーサ１８ｂは互いに連結され、一体に移動する。

【0018】

本書では、極低温冷凍機１０の構成要素間の位置関係を説明するために、便宜上、ディスプレーサの軸方向往復動の上死点に近い側を「上」、下死点に近い側を「下」と表記することとする。上死点は膨張空間の容積が最大となるディスプレーサの位置であり、下死点は膨張空間の容積が最小となるディスプレーサの位置である。極低温冷凍機１０の運転時には軸方向上方から下方へと温度が下がる温度勾配が生じるので、上側を高温側、下側を低温側と呼ぶこともできる。

【0019】

第１ディスプレーサ１８ａは、第１蓄冷器２６を収容する。第１ディスプレーサ１８ａの筒状の本体が、軸方向に延在する第１蓄冷器容器となる。第１蓄冷器２６は、第１ディスプレーサ１８ａの本体の中に、例えば銅などの金網またはその他適宜の第１蓄冷材を充填することによって形成されている。第１ディスプレーサ１８ａの上蓋部および下蓋部は第１ディスプレーサ１８ａの本体とは別の部材として提供されてもよく、第１ディスプレーサ１８ａの上蓋部および下蓋部は、締結、溶接など適宜の手段で本体に固定され、それにより第１蓄冷材が第１ディスプレーサ１８ａに収容されてもよい。

【0020】

同様に、第２ディスプレーサ１８ｂは、第２蓄冷器２８を収容する。第２ディスプレーサ１８ｂの筒状の本体が、軸方向に延在する第２蓄冷器容器となる。第２ディスプレーサ１８ｂの上蓋部および下蓋部は第２ディスプレーサ１８ｂの本体部とは別の部材として提供されてもよく、第２ディスプレーサ１８ｂの上蓋部および下蓋部はそれぞれ、締結、溶接など適宜の手段で本体に固定され、それにより第２蓄冷材が第２ディスプレーサ１８ｂに収容されてもよい。

【0021】

第２蓄冷器２８は、少なくとも二種の蓄冷材を備え、これら蓄冷材は、第２ディスプレーサ１８ｂの軸方向に積層されている。図２に示されるように、第２蓄冷器２８は、高温側蓄冷器２８ａと低温側蓄冷器２８ｂを備える。極低温冷凍機１０の第２段の冷凍能力を高めるために、これらの蓄冷器にはそれぞれ異なる温度で大きな比熱をもつ蓄冷材が選択される。

【0022】

例えば、高温側蓄冷器２８ａは、第２ディスプレーサ１８ｂの高温側の温度、例えば１０Ｋから５０Ｋの温度範囲またはその少なくとも一部において比較的高い容積比熱をもつ蓄冷材で形成されていてもよい。高温側蓄冷器２８ａを形成する蓄冷材は、この温度範囲またはその少なくとも一部において、第１ディスプレーサ１８ａで典型的に使用される蓄冷材である銅よりも高い容積比熱を有してもよい。また、高温側蓄冷器２８ａを形成する蓄冷材は、この温度範囲またはその少なくとも一部において、低温側蓄冷器２８ｂを形成する蓄冷材よりも高い容積比熱を有してもよい。高温側蓄冷器２８ａは、例えば、ビスマス、亜鉛、またはその合金など、非磁性の金属材料で形成されていてもよい。

【0023】

低温側蓄冷器２８ｂは、第２ディスプレーサ１８ｂの低温側の温度、例えば１Ｋから１０Ｋの温度範囲またはその少なくとも一部（例えば４Ｋ）において比較的高い容積比熱をもつ蓄冷材で形成されていてもよい。この実施の形態では、低温側蓄冷器２８ｂには、ヘリウムガスが用いられる。そこで、低温側蓄冷器２８ｂは、ヘリウムガスを収容可能な管５２（図３および図４参照）を備える。この管５２の少なくとも一方の端部が開放されていてもよい。それにより、極低温冷凍機１０の動作に伴い第２蓄冷器２８内に供給された極低温冷凍機１０の作動ガス（すなわちヘリウムガス）が管５２内に導入されてもよい。あるいは、あらかじめヘリウムガスが封入され両端が閉塞された管が使用されてもよい。このようなヘリウムガス蓄冷器の例示的な構成の詳細については、図３および図４を参照してさらに後述される。

【0024】

図２を参照すると、ディスプレーサ組立体１８は、上部室３０、第１膨張室３２、第２膨張室３４を冷凍機シリンダ１６の内部に形成する。極低温冷凍機１０によって冷却すべき所望の物体または媒体との熱交換のために、膨張機１４は、第１冷却ステージ３３と第２冷却ステージ３５を備える。上部室３０は、第１ディスプレーサ１８ａの上蓋部と第１シリンダ１６ａの上部との間に形成される。第１膨張室３２は、第１ディスプレーサ１８ａの下蓋部と第１冷却ステージ３３との間に形成される。第２膨張室３４は、第２ディスプレーサ１８ｂの下蓋部と第２冷却ステージ３５との間に形成される。第１冷却ステージ３３は、第１膨張室３２を取り囲むように第１シリンダ１６ａの下部に固着され、第２冷却ステージ３５は、第２膨張室３４を取り囲むように第２シリンダ１６ｂの下部に固着されている。

【0025】

第１蓄冷器２６は、第１ディスプレーサ１８ａの上蓋部に形成された作動ガス流路３６ａを通じて上部室３０に接続され、第１ディスプレーサ１８ａの下蓋部に形成された作動ガス流路３６ｂを通じて第１膨張室３２に接続されている。第２蓄冷器２８は、第１ディスプレーサ１８ａの下蓋部から第２ディスプレーサ１８ｂの上蓋部へと形成された作動ガス流路３６ｃを通じて第１蓄冷器２６に接続されている。また、第２蓄冷器２８は、第２ディスプレーサ１８ｂの下蓋部に形成された作動ガス流路３６ｄを通じて第２膨張室３４に接続されている。

【0026】

第１膨張室３２、第２膨張室３４と上部室３０との間の作動ガス流れが、冷凍機シリンダ１６とディスプレーサ組立体１８との間のクリアランスではなく、第１蓄冷器２６、第２蓄冷器２８に導かれるようにするために、第１シール３８ａ、第２シール３８ｂが設けられていてもよい。第１シール３８ａは、第１ディスプレーサ１８ａと第１シリンダ１６ａとの間に配置されるように第１ディスプレーサ１８ａの上蓋部に装着されてもよい。第２シール３８ｂは、第２ディスプレーサ１８ｂと第２シリンダ１６ｂとの間に配置されるように第２ディスプレーサ１８ｂの上蓋部に装着されてもよい。

【0027】

また、膨張機１４は、圧力切替バルブ４０と、駆動モータ４２とを備える。圧力切替バルブ４０は、冷凍機ハウジング２０に収容され、駆動モータ４２は、冷凍機ハウジング２０に取り付けられている。

【0028】

図２に示されるように、圧力切替バルブ４０は、高圧バルブ４０ａと低圧バルブ４０ｂを備え、冷凍機シリンダ１６内に周期的圧力変動を発生させるように構成されている。圧縮機１２の作動ガス吐出口が高圧バルブ４０ａを介して上部室３０に接続され、圧縮機１２の作動ガス吸入口が低圧バルブ４０ｂを介して上部室３０に接続されている。高圧バルブ４０ａと低圧バルブ４０ｂは、選択的かつ交互に開閉するように（すなわち、一方が開いているとき他方が閉じるように）構成されている。高圧（例えば２～３ＭＰａ）の作動ガスが圧縮機１２から高圧バルブ４０ａを通じて膨張機１４に供給され、低圧（例えば０．５～１．５ＭＰａ）の作動ガスが膨張機１４から低圧バルブ４０ｂを通じて圧縮機１２に回収される。理解のために、作動ガスの流れる方向を図２に矢印で示す。

【0029】

駆動モータ４２は、ディスプレーサ組立体１８の往復動を駆動するために設けられている。駆動モータ４２は、たとえばスコッチヨーク機構などの運動変換機構４３を介してディスプレーサ駆動軸４４に連結されている。運動変換機構４３は、圧力切替バルブ４０と同様に、冷凍機ハウジング２０に収容されている。ディスプレーサ駆動軸４４は、運動変換機構４３から冷凍機ハウジング２０を貫通して上部室３０の中へと延び、第１ディスプレーサ１８ａの上蓋部に固定されている。上部室３０から冷凍機ハウジング２０（上述のように低圧に維持されている場合がある）への作動ガスのリークを防ぐために、第３シール３８ｃが設けられている。第３シール３８ｃは、冷凍機ハウジング２０とディスプレーサ駆動軸４４との間に配置されるように冷凍機ハウジング２０に装着されてもよい。

【0030】

駆動モータ４２が駆動されるとき、駆動モータ４２の回転出力は運動変換機構４３によってディスプレーサ駆動軸４４の軸方向往復動に変換され、ディスプレーサ組立体１８は冷凍機シリンダ１６内を軸方向に往復する。また、駆動モータ４２は、高圧バルブ４０ａと低圧バルブ４０ｂを選択的かつ交互に開閉するようにこれらバルブに連結されている。

【0031】

極低温冷凍機１０は、圧縮機１２および駆動モータ４２が運転されるとき、第１膨張室３２および第２膨張室３４において周期的な容積変動とこれに同期した作動ガスの圧力変動を発生させ、それにより冷凍サイクルが構成され、第１冷却ステージ３３および第２冷却ステージ３５が所望の極低温に冷却される。第１冷却ステージ３３は、例えば約３０Ｋ～約８０Ｋの範囲にある第１冷却温度に冷却されることができる。第２冷却ステージ３５は、第１冷却温度より低い第２冷却温度、例えば１Ｋ～１０Ｋに冷却されることができる。第２冷却温度は、約４．２Ｋの液体ヘリウム温度またはそれよりも低い温度であってもよい。

【0032】

図３は、実施の形態に係り、第２蓄冷器２８の低温側蓄冷器２８ｂの断面の一部を拡大して概略的に示す図である。図３には、図２と同様に、膨張機１４の中心軸を含む平面による低温側蓄冷器２８ｂの断面の一部が示されている。理解のために、第２蓄冷器２８を通る極低温冷凍機１０の作動ガス流れ４８が図３で両矢印により模式的に示されている。また、図４は、実施の形態に係り、低温側蓄冷器２８ｂを構成する撚合管５０を概略的に示す斜視図である。

【0033】

低温側蓄冷器２８ｂは、ヘリウムガスを収容可能な複数の管５２を撚り合わせた撚合管５０を備える。図４に示されるように、この例では、３本の管５２が撚り合わされている。なお、撚合管５０を形成する管５２の本数は任意であり、２本、または４本以上であってもよい。管５２は、その内部にヘリウムガスを収容できるように中空であり、少なくとも一端が開放されている。管５２の内径は、例えば１０～２０μｍであり、外径は、例えば３０μｍ以下または４０μｍ以下であってもよい。管５２は、例えば、銅（例えば、無酸素銅、タフピッチ銅などの純銅）などの金属材料またはその他の高い熱伝導率をもつ材料で形成されてもよい。

【0034】

撚合管５０は、コイル状に巻回されている。低温側蓄冷器２８ｂは、芯材５４を備え、この芯材５４に撚合管５０が巻き付けられている。撚合管５０は、例えばソレノイド巻きで芯材５４に巻き付けられている。あるいは、撚合管５０は、そのほかの適宜の巻き方で芯材５４に巻き付けられてもよい。撚合管５０をコイル状に巻くことにより、第２蓄冷器２８内で撚合管５０の長さを長くとることができ、極低温冷凍機１０の動作中における第２蓄冷器２８内の圧力変動に起因して生じうる管５２内の圧力変動を軽減することができる。これは、極低温冷凍機１０の冷凍能力の低下を抑制することにつながる。

【0035】

図３には、理解を容易にするために、撚合管５０を形成する３本の管５２の外周を包絡する円を破線で描いている。管５２は、この包絡円５６のなかで螺旋状に延在する。したがって、図３に示されるように、芯材５４にコイル状に巻かれた撚合管５０どうしの間には、隙間５８が形成される。

【0036】

図５は、比較例に係るヘリウムガス蓄冷器６０を概略的に示す図である。ヘリウムガス蓄冷器６０は、芯材６２と、内部にヘリウムガスを収容可能であり、芯材６２にコイル状に巻かれた単管６４とを備える。この比較例では、撚合管ではなく、通常の一本の管がコイル状に芯材６２に巻き付けられている。図示されるように、単管６４は、コイルのターン間で互いに密に隣接するように巻き回されている。したがって、ヘリウムガス蓄冷器６０では、単管６４どうしの密接により、ヘリウムガス蓄冷器６０を通る作動ガスのための作動ガス流路が狭く、また長くなり、その結果、蓄冷器での作動ガスの圧力損失が大きくなりがちである。圧力損失の増加は、極低温冷凍機の冷凍能力を低下させうる。

【0037】

これに対して、実施の形態では、再び図３を参照すると、極低温冷凍機１０の動作中、第２蓄冷器２８を通る作動ガス流れ４８が隙間５８を流れることができる。隙間５８により、第２蓄冷器２８の圧力損失を低減することができる。作動ガス流れ４８は、隙間５８を流れるとき撚合管５０の各管５２内のヘリウムガスと熱交換をすることができ、それにより、第２蓄冷器２８は蓄冷機能を発揮することができる。

【0038】

図６は、他の実施の形態に係るヘリウムガス蓄冷器７０を概略的に示す斜視図である。ヘリウムガス蓄冷器７０は、ヘリウムガスを収容可能な管７２を備え、管７２は、ハニカム巻きによりコイル状に巻回されている。ここで、管７２は、図３および図４を参照して述べた撚合管５０であってもよい。あるいは、管７２は、撚合管５０に代えて、単管６４であってもよい。ヘリウムガス蓄冷器７０は、図１および図２を参照して説明した第２蓄冷器２８の低温側蓄冷器２８ｂとして用いられてもよい。

【0039】

ハニカム巻きは、ソレノイド巻きと同様に、コイルの公知の巻き方の一つである。ソレノイド巻きは上層のコイル線材を下層のコイル線材とほぼ平行となるように巻く方法であるのに対して、ハニカム巻きは上層のコイル線材を下層のコイル線材から角度をなして巻く方法である。ハニカム巻きは、ソレノイド巻きに比べて、線材間の隙間を大きくとることができる。また、ハニカム巻きでは、巻き角度を調節することで、線材間の隙間を調節することができる。

【0040】

したがって、図６に示されるヘリウムガス蓄冷器７０においても、図１から図４を参照して述べた実施の形態に係る第２蓄冷器２８と同様に、極低温冷凍機１０の作動ガスが管７２どうしの隙間を流れることができる。ヘリウムガス蓄冷器７０における圧力損失を低減することができる。

【0041】

以上、本発明を実施例にもとづいて説明した。本発明は上記実施形態に限定されず、種々の設計変更が可能であり、様々な変形例が可能であること、またそうした変形例も本発明の範囲にあることは、当業者に理解されるところである。ある実施の形態に関連して説明した種々の特徴は、他の実施の形態にも適用可能である。組合せによって生じる新たな実施の形態は、組み合わされる実施の形態それぞれの効果をあわせもつ。

【0042】

上述の実施の形態では、撚合管５０が複数の管５２を撚り合わせて形成されている。しかしながら、ある実施の形態では、管５２に代えて、撚合管５０が用いられてもよい。すなわち、蓄冷器は、複数の撚合管５０を撚り合わせた撚合管５０の束を備えてもよい。こうした撚合管５０の束が、例えばハニカム巻きで、またはソレノイド巻きなどそのほかの巻き方で、コイル状に巻き回されていてもよい。撚合管５０の束は、一つの撚合管５０よりも太いため、製造時に作業者にとって巻き回し作業が容易になりうるという利点がある。

【0043】

また、撚合管５０、または撚合管５０の束をコイル状に巻き回すことは、本発明において必須ではない。例えば、ある実施の形態においては、蓄冷器は、複数の直線状の撚合管５０をまとめた束を備えてもよい。あるいは、ある実施の形態においては、蓄冷器は、網状に編み込まれた撚合管５０を備えてもよい。

【0044】

上述の実施の形態では、ＧＭ冷凍機を例として説明しているが、本発明はこれに限定されない。ある実施の形態においては、極低温冷凍機１０は、例えば、ソルベイ冷凍機、スターリング冷凍機、パルス管冷凍機など、他の形式の極低温冷凍機であってもよい。

【0045】

実施の形態にもとづき、具体的な語句を用いて本発明を説明したが、実施の形態は、本発明の原理、応用の一側面を示しているにすぎず、実施の形態には、請求の範囲に規定された本発明の思想を逸脱しない範囲において、多くの変形例や配置の変更が認められる。

【符号の説明】

【0046】

１０ 極低温冷凍機、 ５０ 撚合管、 ５２ 管。

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】