特開 2025-60306 テラヘルツ波を用いた計測装置及び計測方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2025060306

(43)【公開日】2025-04-10

(54)【発明の名称】テラヘルツ波を用いた計測装置及び計測方法

(51)【国際特許分類】

   G01N 21/3581 20140101AFI20250403BHJP

【ＦＩ】

G01N21/3581

【審査請求】未請求

【請求項の数】6

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2023170974

(22)【出願日】2023-09-29

(71)【出願人】

【識別番号】000220343

【氏名又は名称】株式会社トプコン

(74)【代理人】

【識別番号】110004060

【氏名又は名称】弁理士法人あお葉国際特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】椴山 誉

【テーマコード（参考）】

2G059

【Ｆターム（参考）】

2G059AA02

2G059AA10

2G059EE01

2G059EE02

2G059HH01

2G059HH02

2G059HH05

2G059JJ22

2G059KK04

2G059MM09

2G059MM10

(57)【要約】

【課題】計測者が計測対象物の現在計測している位置を視覚的に確認できるテラヘルツ波計測装置及び計測方法を提供する。
【解決手段】テラヘルツ波計測器２は計測対象物１００に照射するテラヘルツ波を生成して出力するとともに、反射されて入力したテラヘルツ波を検出し、ＲＧＢカメラ３で計測対象物１００のテラヘルツ波照射表面１０１を撮影する一方、ビームスプリッター９でテラヘルツ波測定器２のテラヘルツ波を計測対象物１００に照射する光軸中心と、ＲＧＢカメラ３の光軸中心を一致させるようにし、演算処理部５でテラヘルツ波検出信号と計測対象物撮影信号から、ＲＧＢカメラ３の撮影画像の中心に計測対象物１００に対するテラヘルツ波照射位置を示すテラヘルツ波照射マークが位置する表示画像を生成し、表示部６に表示画像を表示する。
【選択図】 図１

【特許請求の範囲】

【請求項1】

一つのケースに、テラヘルツ波計測器と、カメラと、ビームスプリッターと、演算処理部と、表示部とを備え、
前記テラヘルツ波計測器は、計測対象物に向けて照射するテラヘルツ波を生成して出力するとともに、反射されて入力したテラヘルツ波を検出するものであり、
前記カメラは、前記計測対象物のテラヘルツ波照射表面を撮影するものであり、
前記ビームスプリッターは、前記テラヘルツ波計測器から出力されたテラヘルツ波を前記計測対象物に照射する光軸中心と、前記カメラの光軸中心を一致させるよう配置したものであり、
前記演算処理部は、前記テラヘルツ波計測器からのテラヘルツ波検出信号と前記カメラからの計測対象物撮影信号が入力され、同期する前記両信号から前記カメラの撮影画像の中心に前記計測対象物表面に対するテラヘルツ波照射位置を示すテラヘルツ波照射マークが位置する表示画像を生成するものであり、
前記表示部は前記演算処理部で生成された表示画像を表示するものである
ことを特徴とするテラヘルツ波を用いた計測装置。

【請求項2】

一つのケースに、テラヘルツ波計測器と、カメラと、演算処理部と、記憶部と、表示部とを備え、
前記テラヘルツ波計測器は、計測対象物に向けて照射するテラヘルツ波を生成して出力するとともに、反射されて入力したテラヘルツ波を検出するものであり、
前記カメラは、前記計測対象物のテラヘルツ波照射表面を撮影するもので、あらかじめその内部パラメータを測定し、この測定データを前記記憶部に格納するものであり、
前記演算処理部は、前記テラヘルツ波計測器からのテラヘルツ波検出信号と前記カメラからの計測対象物撮影信号が入力され、同期する前記両信号から、前記カメラの撮影画像に前記計測対象物表面に対するテラヘルツ波照射位置を示すテラヘルツ波照射マークを表示した表示画像を生成するもので、この表示画像の生成は、前記テラヘルツ波計測器から出力されたテラヘルツ波を前記計測対象物に照射する光軸中心位置の座標と、前記カメラの光軸中心位置の座標を、同一座標系に変換して行うものであり、
前記表示部は、前記演算処理部で生成した表示画像を表示するものである
ことを特徴とするテラヘルツ波を用いた計測装置。

【請求項3】

前記テラヘルツ波計測器からのテラヘルツ波検出信号と前記カメラからの計測対象物撮影信号の同期は、前記ケース内に設けた前記テラヘルツ波測定器と前記カメラに同期信号を送出する同期信号発生部で行う
ことを特徴とする請求項１または請求項２に記載のテラヘルツ波を用いた計測装置。

【請求項4】

前記テラヘルツ波計測器からのテラヘルツ波検出信号と前記カメラからの計測対象物撮影信号の同期は、前記演算処理部において、同時刻に入力したテラヘルツ波検出信号と計測対象物撮影信号とに対して行うよう構成した
ことを特徴とする請求項１または請求項２に記載のテラヘルツ波を用いた計測装置。

【請求項5】

一つのケースに、テラヘルツ波計測器と、カメラと、ビームスプリッターと、演算処理部と、表示部とを備えたテラヘルツ波計測装置を用いた計測方法であって、
前記テラヘルツ波計測器で、計測対象物に向けて照射するテラヘルツ波を生成して出力するとともに、反射されて入力したテラヘルツ波を検出し、
前記カメラで、前記計測対象物のテラヘルツ波照射表面を撮影し、
前記ビームスプリッターで、前記テラヘルツ波測定器から出力されたテラヘルツ波を計測対象物に照射する光軸中心と、前記カメラの光軸中心を一致させ、
前記演算処理部で、前記テラヘルツ波計測器から入力したテラヘルツ波検出信号と前記カメラから入力した計測対象物撮影信号で同期する前記両信号から、前記カメラの撮影画像の中心に前記計測対象物表面に対するテラヘルツ波照射位置を示すテラヘルツ波照射マークが位置する表示画像を生成し、この表示画像を前記表示部に表示する
ことを特徴とするテラヘルツ波を用いた計測方法。

【請求項6】

一つのケースに、テラヘルツ波計測器と、例えばＲＧＢカメラなどのカメラと、演算処理部と、記憶部と、表示部とを備えたテラヘルツ波計測装置を用いた計測方法であって、
前記テラヘルツ波計測器で、計測対象物に向けて照射するテラヘルツ波を生成して出力するとともに、反射されて入力したテラヘルツ波を検出し、
前記カメラで、前記計測対象物のテラヘルツ波照射表面を撮影し、あらかじめその内部パラメータを測定して、この測定データを前記記憶部に格納し、
前記演算処理部で、前記テラヘルツ波計測器から入力したテラヘルツ波検出信号と前記カメラから入力した計測対象物撮影信号で同期する前記両信号から、前記カメラの撮影画像に前記計測対象物表面に対するテラヘルツ波照射位置を示すテラヘルツ波照射マークを表示した表示画像を生成して表示部に表示し、前記表示画像の生成は、前記テラヘルツ波測定器から出力されたテラヘルツ波を前記計測対象物に照射する光軸中心位置の座標と、前記カメラの光軸中心位置の座標を、同一座標系に変換して行う
ことを特徴とするテラヘルツ波を用いた計測方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、テラヘルツ波を用いた計測装置及び計測方法に関する。

【背景技術】

【0002】

周波数がおおよそ０.１ＴＨｚ～１０ＴＨｚの電磁波であるテラヘルツ波は、プラスチックや紙、布、セラミック、石膏などの材料に対して高い透過性を示すため、これらの材料で隠された対象物に対しテラヘルツ波を照射し、透過あるいは反射波を検出することで、対象物を可視化することができる。例えば建築建造物の壁の内部や天井の裏にある、人の目では視認不能な内部構造物を可視化することができる。また、可視光が透過しにくい前記材料の厚さを測定することができる。そして、この種のテラヘルツ波を用いた計測装置（以下「テラヘルツ波計測装置」という。）は、従来から様々な構成のものが知られている。

【0003】

例えば、特許文献１には、テラヘルツ発生装置によって構成される１０ＧＨｚから１０ＴＨｚの発振周波数を持つ電磁波発生源を用い、発振周波数の異なる複数の発振素子を組み合わせ、あるいは複数の検出器を用い、建造物に発生電磁波を照射しその透過あるいは反射画像を得ることによって、建造物の表面および内部の欠陥分布のイメージングを可能にした検査システムが記載されている。

【0004】

また例えば、特許文献２には、サンプルの厚さを測定することができるテラヘルツ波を用いたリアルタイム非接触非破壊厚さ測定装置が記載されている。この測定装置は、波長固定レーザと波長掃引レーザをカプラーに入力し、形成した混合光をテラヘルツ波を発生する発生器に入力し、発生器から放出されてサンプルを透過または反射したテラヘルツ波を検出器に入力し、検出器は混合光によって励起される光キャリアをテラヘルツ波の電場によってバイアスして光電流を生成し、光電流をデータ取得部がデジタルデータの形態で取得し、これを演算部に出力して周波数領域データに変換し、この周波数領域データを高速フーリエ変換して時間領域データを生成し、この時間領域データに基づいてサンプルの厚さを演算するものである。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0005】

【特許文献1】特開２００７－１３２９１５号

【特許文献2】特開２０１７－１５６８１号

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0006】

しかし、これら従来の検査システムあるいは測定装置では、発生器から照射されたテラヘルツ波は視認できないので、計測者はテラヘルツ波が計測対象物のどの位置に照射されているか認識できない、すなわち、計測者は計測対象物のどの位置を検査し、あるいは計測しているかが視覚的に認識できないという問題がある。この問題は、特に広い範囲にわたって検査あるいは計測する場合に顕著である。

【0007】

本発明は、上述した問題を解決したもので、計測者が計測対象物の現在計測している位置をリアルタイムで視覚的に確認できるテラヘルツ波計測装置及びテラヘルツ波計測方法を提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0008】

上記目的を達成するため、本発明に係るテラヘルツ波計測装置の第１の態様は、一つのケースに、テラヘルツ波計測器と、例えばＲＧＢカメラなどのカメラと、ビームスプリッターと、演算処理部と、表示部とを備え、前記テラヘルツ波計測器は、可視光では不透明な計測対象物に向けて照射するテラヘルツ波を生成して出力するとともに、前記計測対象物及び内部構造物で反射されて入力したテラヘルツ波を検出するものであり、前記カメラは、前記計測対象物のテラヘルツ波照射表面を撮影するものであり、前記ビームスプリッターは、前記テラヘルツ波測定器のテラヘルツ波を計測対象物に照射する光軸中心と、前記カメラの光軸中心を一致させるよう配置したものであり、前記演算処理部は、前記テラヘルツ波計測器からのテラヘルツ波検出信号と前記カメラからの計測対象物撮影信号が入力され、同期する前記両信号から、前記カメラの撮影画像の中心に前記計測対象物表面に対するテラヘルツ波照射位置（反射位置でもある）を示すテラヘルツ波照射マークが位置する表示画像を生成するものであり、前記表示部は前記演算処理部で生成された前記表示画像を表示するものである。

【0009】

同じく上記目的を達成するため、本発明に係るテラヘルツ波計測装置の第２の態様は、一つのケースに、テラヘルツ波計測器と、例えばＲＧＢカメラなどのカメラと、演算処理部と、記憶部と、表示部とを備え、前記テラヘルツ波計測器は、可視光では不透明な計測対象物に向けて照射するテラヘルツ波を生成して出力するとともに、前記計測対象物及び内部構造物で反射されて入力したテラヘルツ波を検出するものであり、前記カメラは、前記計測対象物のテラヘルツ波照射表面を撮影するもので、あらかじめその内部パラメータを測定し、この測定データを前記記憶部に格納するものであり、前記演算処理部は、前記テラヘルツ波計測器からのテラヘルツ波検出信号と前記カメラからの計測対象物撮影信号が入力され、同期する前記両信号から、前記カメラの撮影画像に前記計測対象物表面に対するテラヘルツ波照射位置を示すテラヘルツ波照射マークを表示した表示画像を生成するもので、この表示画像の生成は、前記テラヘルツ波測定器から出力されたテラヘルツ波を前記計測対象物に照射する光軸中心位置の座標と、前記カメラの光軸中心位置の座標を、同一座標系、例えばワールド座標系に変換して行うものであり、前記表示部は、前記演算処理部で生成した表示画像を表示するものである。

【0010】

前記演算処理部における、前記テラヘルツ波測定器のテラヘルツ波を計測対象物に照射する光軸中心位置の座標と、前記カメラの光軸中心位置の座標を同一座標系、例えばワールド座標系へ変換するには、例えば、前記各光軸中心位置のオフセット値と、前記各光軸中心位置の角度オフセット値と、前記テラヘルツ波計測器で計測したテラヘルツ波反射面までの距離値と、前記内部パラメータに基いて、並進（平行移動）行列、回転行列を用いて行えば良い。

【0011】

前記第１，第２に態様において、前記テラヘルツ波計測器からのテラヘルツ波検出信号と前記カメラからの計測対象物撮影信号の同期は、前記ケース内に設けた前記テラヘルツ波測定器と前記カメラにシャッタートリガなどの同期信号を送出する発振回路のような同期信号発生部で行うと好適である。また、前記テラヘルツ波検出信号と前記計測対象物撮影信号の同期は、前記演算処理部において、同時刻に入力したテラヘルツ波検出信号と計測対象物撮影信号とを同期させるよう構成しても好適である。

【0012】

また、第２の実施形態における記憶部は、前記演算処理部の内部に設けた記憶部で兼用しても良い。

【0013】

同じく上記目的を達成するため、本発明に係るテラヘルツ波計測方法は、一つのケースに、テラヘルツ波計測器と、例えばＲＧＢカメラなどのカメラと、ビームスプリッターと、演算処理部と、表示部とを備えたテラヘルツ波計測装置を用いた計測方法であって、前記テラヘルツ波計測器で、可視光では不透明な計測対象物に向けて照射するテラヘルツ波を生成して出力するとともに、前記計測対象物及び内部構造物で反射されて入力したテラヘルツ波を検出し、前記カメラで、前記計測対象物のテラヘルツ波照射表面を撮影し、前記ビームスプリッターで、前記テラヘルツ波測定器から出力されたテラヘルツ波を計測対象物に照射する光軸中心と、前記カメラの光軸中心を一致させ、前記演算処理部で、前記テラヘルツ波計測器から入力したテラヘルツ波検出信号と前記カメラから入力した計測対象物撮影信号で同期する前記両信号から、前記カメラの撮影画像の中心に前記計測対象物表面に対するテラヘルツ波照射位置（反射位置でもある）を示すテラヘルツ波照射マークが位置する表示画像を生成し、この表示画像を前記表示部に表示するものである。

【0014】

また、同じく上記目的を達成するため、本発明に係るテラヘルツ波計測方法は、一つのケースに、テラヘルツ波計測器と、例えばＲＧＢカメラなどのカメラと、演算処理部と、記憶部と、表示部とを備えたテラヘルツ波計測装置を用いた計測方法であって、前記テラヘルツ波計測器で、可視光では不透明な計測対象物に向けて照射するテラヘルツ波を生成して出力するとともに、前記計測対象物及び内部構造物で反射されて入力したテラヘルツ波を検出し、前記カメラで、前記計測対象物のテラヘルツ波照射表面を撮影し、あらかじめその内部パラメータを測定し、この測定データを前記記憶部に格納しておき、前記演算処理部で、前記テラヘルツ波計測器から入力したテラヘルツ波検出信号と前記カメラから入力した計測対象物撮影信号で同期する前記両信号から、前記カメラの撮影画像に前記計測対象物表面に対するテラヘルツ波照射位置を示すテラヘルツ波照射マークを表示した表示画像を生成して表示部に表示するもので、この表示画像の生成は、前記テラヘルツ波測定器から出力されたテラヘルツ波を前記計測対象物に照射する光軸中心位置の座標と、前記カメラの光軸中心位置の座標を、同一座標系、例えばワールド座標系に変換して行うものである。

【発明の効果】

【0015】

本発明によれば、テラヘルツ波計測装置を一つのケースに設け、また、視認不能なテラヘルツ波の計測対象物表面に対する照射位置をリアルタイムで視覚的に確認することができるので、計測者は、自由に移動しながら計測対象物の計測位置を確認しつつ計測することができる。

【図面の簡単な説明】

【0016】

【図1】本発明に係るテラヘルツ波計測装置の第１の実施形態を示すブロック図。

【図2】同じく計測状態を示す模式図。

【図3】同じく表示部における表示状態を概略的に示す正面図。

【図4】本発明に係るテラヘルツ波計測装置の第２の実施形態を示すブロック図。

【図5】同じく表示部における表示状態を概略的に示す正面図。

【発明を実施するための形態】

【0017】

以下、本発明のテラヘルツ波計測装置の第１の実施形態を添付図面の図１～図３に基づいて説明する。
図１に示すように、テラヘルツ波計測装置１は、テラヘルツ波計測器２と、ＲＧＢカメラ３と、同期信号発生部４と、演算処理部５と、表示部６と、操作部７と、記憶部８と、ビームスプリッター９を備え、これらが一つのケース１０（図２参照）に設けられている。図２に示すように、前記ケース１０は、計測者Ｍが手に持って移動しながら計測作業ができる大きさ及び重量である。

【0018】

図１に示すように、テラヘルツ波計測器２は、計測対象物である、例えば建築構造物の不透明な壁１００の裏側の内部構造物を検出するために、壁表面１０１に照射する周波数が０.１ＴＨｚ～１０ＴＨｚ、好ましくは７５ＧＨｚ～１１０ＧＨｚあるいは２０ＧＨｚ～３０ＧＨｚのテラヘルツ波を生成して、出力するテラヘルツ波発生器２１と、前記壁表面１０１及び壁１００裏側の内部構造物１０２で反射して、入力されたテラヘルツ波を検出するテラヘルツ波検出器２２を有している。また、ＲＧＢカメラ３は、テラヘルツ波を照射する前記壁表面１０１を撮影するものである。

【0019】

テラヘルツ波測定器２のテラヘルツ波を壁表面１０１に照射する光軸中心Pと、ＲＧＢカメラ３の光軸中心Ｑは、ビームスプリッター９によって、一致させるように構成している。前記ビームスプリッター９は、例えばＩＴＯ（酸化インジウムスズ）の塗膜が形成されたガラス板からなり、可視光は透過するが、テラヘルツ波は反射するものである。前記テラヘルツ波測定器２のテラヘルツ波を壁表面１０１に照射する光軸中心Ｐと、前記ＲＧＢカメラ３の光軸中心Ｑを一致させることによって、テラヘルツ波の壁表面１０１に対する照射位置（反射位置でもある）が、前記ＲＧＢカメラ３の撮影画像の中心位置に対応する。

【0020】

演算処理部５は、テラヘルツ波検出器２２から送られたテラヘルツ波検出信号とＲＧＢカメラ３からの計測対象物撮影信号が、同期信号発生部４の同期信号により、同期して入力され、同期した前記両信号に基いて、前記ＲＧＢカメラ３の撮影画像の中心に前記壁１００の壁表面１０１に対するテラヘルツ波照射位置を示すテラヘルツ波照射マークが位置する表示画像６０を生成するものである。すなわち、図３に示すように、前記ＲＧＢカメラ３の撮影画像の中心位置には、テラヘルツ波照射マークとしての小円６１が表示され、この小円６１が表示された表示画像６０が、表示部６に表示される。この表示部６は、液晶ディスプレイなどからなる。

【0021】

操作部７は、計測者Ｍ（図２参照）が、テラヘルツ波計測装置１の各種操作を行うためのもので、例えば電源キー、数字キー、実行キーなどを有している。また、記憶部８は、演算処理部５の演算プログラムなどが格納されたＲＯＭと、一時的に画像データなどを格納するＲＡＭからなる。

【0022】

本実施形態では、図２に示すように、上述したテラヘルツ波計測装置１を計測者Ｍが手に持って、壁表面１０１と平行に往復移動しながら前記壁表面１０１の上部からジグザグ状に順次下部に向けてテラヘルツ波を照射し、壁１００裏側の内部構造物１０２を検出する。この時、図１に示すように、テラヘルツ波測定器２のテラヘルツ波を壁表面１０１に照射する光軸中心Ｐと、ＲＧＢカメラ３の光軸中心Ｑを、ビームスプリッター９によって、一致させるように構成しているので、図３に示すように、前記ＲＧＢカメラ３の撮影画像の中心にテラヘルツ波照射位置を示す小円６１が表示される。このため、計測者Ｍは、表示部６に表示される前記小円６１を視認することによって、前記テラヘルツ波の照射位置を視覚的にリアルタイムに確認できる。そして、計測者Ｍは前記小円６１を目標にすることで、壁１００の裏側の内部構造物１０２を検出したい位置に対応する壁表面１０１に、確実にテラヘルツ波を照射することができる。

【0023】

図１に示すように、壁表面１０１に照射されたテラヘルツ波は、前記壁表面１０１の材質に応じた反射率で反射されるとともに壁１００内部を透過し、内部構造物１０２にあたるとこの内部構造物１０２の材質に応じた反射率で反射される。前記内部構造物１０２が金属の場合は、高い反射率で反射される。この反射されたテラヘルツ波は、ビームスプリッター９によってテラヘルツ波検出器２２に入力し、検出データ化されて演算処理部５に送られ、壁表面１０１までの距離及びその材質が特定され、また、内部構造物１０２までの距離及びその材質が特定される。これらの距離及び材質の特定は、通常後処理段階で行われる。なお、図１において、テラヘルツ波の照射波は実線で示し、反射波は破線で示している。この照射波と反射波は、図示の便宜上位置をずらして示している。そして、内部構造物１０２が複数存在する場合でも、上述と同様に検出できるものである。

【0024】

続いて、本発明のテラヘルツ波計測装置の第２の実施形態を図４及び図５に基いて説明する。
図４に示すように、テラヘルツ波計測装置１１は、テラヘルツ波計測器１２と、ＲＧＢカメラ１３と、同期信号発生部１４と、演算処理部１５と、表示部１６と、操作部１７と、記憶部１８を備え、これらが一つのケース（図２のケース１０参照）に設けられている。上述した第１の実施例と同様に、前記ケースは、計測者Ｍが手に持って移動しながら計測作業ができる大きさ及び重量である。

【0025】

テラヘルツ波計測器１２は、上述した第１の実施態様と同様の構成であり、建築構造物の壁１００のような計測対象物に照射するテラヘルツ波を生成して出力するテラヘルツ発生器１２１と前記壁１００及び内部構造物１０２で反射されて入力したテラヘルツ波を検出するテラヘルツ波検出器１２２を有する。

【0026】

ＲＧＢカメラ１３は、計測対象物のテラヘルツ波照射表面、すなわち壁表面１０１を撮影するもので、あらかじめその内部パラメータを測定し、測定したデータを記憶部１８に格納してある。前記内部パラメータは、具体的には、焦点距離、主点（画像中心）、歪みパラメータなどカメラレンズの特性に関するもので、ＲＧＢカメラ１３でサークルグリッドなどのターゲットを撮影し、キャリブレーションを行って、取得している。

【0027】

演算処理部１５は、テラヘルツ波検出器１２２からのテラヘルツ波検出信号とＲＧＢカメラ１３からの計測対象物撮影信号が、同期信号発生部１４の同期信号により、同期して入力され、同期した前記両信号から表示部１６に表示する表示画像を生成するものである。本実施形態では、第１の実施形態とは異なり、テラヘルツ波発生器１２１からテラヘルツ波を壁１００に照射する光軸中心Ｐ１と、ＲＧＢカメラ１３の光軸中心Ｑ１は、一致しておらず、ずれている。前記演算処理部１５は、例えば壁表面１０１における前記テラヘルツ波発生器１２１の光軸中心位置の座標と、前記ＲＧＢカメラ１３の光軸中心位置の座標を、同一座標系、例えばワールド座標系に変換して、前記ＲＧＢカメラ１３の撮影画像に前記壁１００の表面１０１に対するテラヘルツ波照射位置（反射位置でもある）を示すテラヘルツ波照射マークである小円１６１を表示した表示画像１６０を生成するものである（図５参照）。

【0028】

前記演算処理部１５における座標系の変換は、例えば、前記テラヘルツ波測定器１２のテラヘルツ波を壁表面１０１に照射する光軸中心位置と、前記ＲＧＢカメラ１３の光軸中心位置のオフセット値と、前記各光軸中心位置の角度オフセット値と、前記テラヘルツ波計測器１２で計測したテラヘルツ波反射面までの距離値と、前記内部パラメータに基いて、並進（平行移動）行列、回転行列を用いて行う。

【0029】

このようにして、座標系を統合して生成された、前記ＲＧＢカメラ１３の撮影画像に重ねてテラヘルツ波の照射位置を小円１６１で表示した表示画像１６０は、表示部１６に表示される。なお、本実施形態では、前記小円１６１の表示位置は、必ずしも前記ＲＧＢカメラ１３の撮影画像の中心と一致するものではない。

【0030】

本実施形態においても第１の実施形態と同様に、上述したテラヘルツ波計測装置１１を計測者Ｍ（図２参照）が手に持って、壁表面１０１と平行に往復移動しながら前記壁表面１０１に向けてテラヘルツ波を照射し、壁１００の裏側の内部構造物１０２を検出する。この時、表示部１６に表示される小円１６１の位置が、テラヘルツ波の照射位置となり、計測者Ｍは、前記小円１６１を視認することによって、前記テラヘルツ波の照射位置を視覚的にリアルタイムに確認できる。したがって、計測者Ｍは壁１００の裏側の内部構造物１０２を検出したい位置に対応する壁表面１０１に、確実にテラヘルツ波を照射することができる。

【0031】

なお、本発明は上述した各実施形態に限定されず、例えば、カメラはＲＧＢカメラ３，１３に限らず、またカメラに加えてＬｉＤＡＲを備えると、より精度の高い画像データを得られるとともに、撮影対象までの距離も測定できる。また、テラヘルツ波計測装置１，１１は、計測者Ｍが手に持って計測するほか、より大きくて重い場合には、台車などに搭載して測定者Ｍが台車などを移動させながら計測することもできる。さらに、テラヘルツ波照射マークは小円６１，１６１に限らず、適宜形状のマークを選定することができる。さらにまた、上述の各実施形態を当業者の知識に基づいて変形することも可能であり、そのような形態も本発明の範囲に含まれることはいうまでもない。

【符号の説明】

【0032】

１，１１ テラヘルツ波計測装置
２，１２ テラヘルツ波計測器
３，１３ ＲＧＢカメラ
４，１４ 同期信号発生部
５，１５ 演算処理部
６，１６ 表示部
７，１７ 操作部
８，１８ 記憶部
９ ビームスプリッター
２１、１２１ テラヘルツ波発生器
２２，１２２ テラヘルツ波検出器
６０，１６０ 表示画像
６１，１６１ 小円
１００ 壁
１０１ 壁表面
１０２ 内部構造物
Ｐ，Ｐ１ テラヘルツ波照射光軸中心
Ｑ，Ｑ１ ＲＧＢカメラ光軸中心

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】