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(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】公開特許公報(A)
(11)【公開番号】P2025006137
(43)【公開日】2025-01-17
(54)【発明の名称】サンプル測定装置およびサンプル測定方法
(51)【国際特許分類】
B25J 13/08 20060101AFI20250109BHJP
【ＦＩ】
B25J13/08 Z
【審査請求】未請求
【請求項の数】19
【出願形態】ＯＬ
(21)【出願番号】P 2023106746
(22)【出願日】2023-06-29
(71)【出願人】
【識別番号】000001270
【氏名又は名称】コニカミノルタ株式会社
(74)【代理人】
【識別番号】110000925
【氏名又は名称】弁理士法人信友国際特許事務所
(72)【発明者】
【氏名】櫻田 巧
(72)【発明者】
【氏名】村上 勇介
(72)【発明者】
【氏名】高橋 克典
【テーマコード（参考）】
3C707
【Ｆターム（参考）】
3C707AS14
3C707BS12
3C707DS01
3C707FS01
3C707FT02
3C707FU01
3C707KS03
3C707KS04
3C707KS31
3C707KS33
3C707KW03
3C707KX06
(57)【要約】
【課題】サンプルの位置合わせ精度を確実に保証できるサンプル測定装置およびサンプル測定方法を提供することを目的とする。
【解決手段】サンプルを測定する測定器と、前記測定器の測定部にサンプルを搬送経路に沿って搬送する搬送装置と、前記搬送装置の駆動により前記搬送装置に保持された位置保証用サンプルを嵌合させる位置保証部とを備えたサンプル測定装置である。
【選択図】図２
【解決手段】サンプルを測定する測定器と、前記測定器の測定部にサンプルを搬送経路に沿って搬送する搬送装置と、前記搬送装置の駆動により前記搬送装置に保持された位置保証用サンプルを嵌合させる位置保証部とを備えたサンプル測定装置である。
【選択図】図２
【特許請求の範囲】
【請求項1】
サンプルを測定する測定器と、
前記測定器の測定部にサンプルを搬送経路に沿って搬送する搬送装置と、
前記搬送装置の駆動により前記搬送装置に保持された位置保証用サンプルを嵌合させる位置保証部と、を備えた
サンプル測定装置。
前記測定器の測定部にサンプルを搬送経路に沿って搬送する搬送装置と、
前記搬送装置の駆動により前記搬送装置に保持された位置保証用サンプルを嵌合させる位置保証部と、を備えた
サンプル測定装置。
【請求項2】
前記位置保証用サンプルの位置および姿勢を所定状態に位置決めする位置決め部を備え、
前記搬送装置は、前記位置決め部において位置決めされた位置保証用サンプルを、前記位置保証部に嵌合させる
請求項１に記載のサンプル測定装置。
前記搬送装置は、前記位置決め部において位置決めされた位置保証用サンプルを、前記位置保証部に嵌合させる
請求項１に記載のサンプル測定装置。
【請求項3】
前記位置保証部は、前記位置保証用サンプルに設定された垂直な二方向において、前記位置保証用サンプルを嵌合する
請求項１に記載のサンプル測定装置。
請求項１に記載のサンプル測定装置。
【請求項4】
前記位置保証部は、底面上に立設した複数のゲート部材を有し、
前記複数のゲート部材は、対向して配置された垂直壁を備え、
前記搬送装置は、前記ゲート部材の前記垂直壁と垂直壁との間に、前記位置保証用サンプルを嵌合させ、さらに通過させる
請求項３に記載のサンプル測定装置。
前記複数のゲート部材は、対向して配置された垂直壁を備え、
前記搬送装置は、前記ゲート部材の前記垂直壁と垂直壁との間に、前記位置保証用サンプルを嵌合させ、さらに通過させる
請求項３に記載のサンプル測定装置。
【請求項5】
前記搬送装置は、前記ゲート部材の前記垂直壁と垂直壁との間において、前記位置保証用サンプルと前記底面との間隔を所定間隔に保つ
請求項４に記載のサンプル測定装置。
請求項４に記載のサンプル測定装置。
【請求項6】
前記位置保証部は、前記位置保証用サンプルが嵌合するゲート開口を有し、
前記搬送装置は、前記二方向に対して垂直な一方向に前記位置保証用サンプルを搬送することにより、前記位置保証部のゲート開口に前記位置保証用サンプルを嵌合させる
請求項３に記載のサンプル測定装置。
前記搬送装置は、前記二方向に対して垂直な一方向に前記位置保証用サンプルを搬送することにより、前記位置保証部のゲート開口に前記位置保証用サンプルを嵌合させる
請求項３に記載のサンプル測定装置。
【請求項7】
前記位置保証部の前記ゲート開口は、前記測定器の測定部に対向して配置されている
請求項６に記載のサンプル測定装置。
請求項６に記載のサンプル測定装置。
【請求項8】
前記位置保証部は、前記位置保証用サンプルを非接触で嵌合させる
請求項１に記載のサンプル測定装置。
請求項１に記載のサンプル測定装置。
【請求項9】
前記搬送装置を制御する制御部を備え、
前記搬送装置は力覚センサを有するものであり、
前記制御部は、前記力覚センサからの信号に基づいて、前記位置保証用サンプルが前記位置保証部に嵌合されなかったと判断した場合に、前記搬送装置の駆動を停止させる
請求項１に記載のサンプル測定装置。
前記搬送装置は力覚センサを有するものであり、
前記制御部は、前記力覚センサからの信号に基づいて、前記位置保証用サンプルが前記位置保証部に嵌合されなかったと判断した場合に、前記搬送装置の駆動を停止させる
請求項１に記載のサンプル測定装置。
【請求項10】
前記制御部は、前記位置保証用サンプルを前記測定器に搬送した後、前記位置保証部に前記位置保証用サンプルを嵌合させる
請求項９に記載のサンプル測定装置。
請求項９に記載のサンプル測定装置。
【請求項11】
前記制御部は、前記位置保証用サンプルを前記測定器へ搬送するとともに、前記位置保証用サンプルの所定位置が前記測定器の測定位置に一致するように、前記搬送装置を制御する
請求項１０に記載のサンプル測定装置。
請求項１０に記載のサンプル測定装置。
【請求項12】
前記搬送装置は、前記位置保証用サンプルのサイズ情報に基づいて、前記位置保証用サンプルの所定位置を保持する
請求項１１に記載のサンプル測定装置。
請求項１１に記載のサンプル測定装置。
【請求項13】
前記搬送装置を制御する制御部を備え、
前記制御部は、前記測定器による前記サンプルの測定のジョブを開始する前、後、または所定枚数のサンプル測定を実施する毎に、前記位置保証用サンプルを位置保証部に嵌合させる
請求項１に記載のサンプル測定装置。
前記制御部は、前記測定器による前記サンプルの測定のジョブを開始する前、後、または所定枚数のサンプル測定を実施する毎に、前記位置保証用サンプルを位置保証部に嵌合させる
請求項１に記載のサンプル測定装置。
【請求項14】
前記搬送装置は、前記サンプルおよび前記位置保証用サンプルを吸着によって保持するハンド部を備える
請求項１に記載のサンプル測定装置。
請求項１に記載のサンプル測定装置。
【請求項15】
前記測定器は、前記サンプルの表面状態を測定する
請求項１に記載のサンプル測定装置。
請求項１に記載のサンプル測定装置。
【請求項16】
前記サンプルの表面状態は、前記サンプルの色、表面性及び光沢度のうち少なくともいずれか１つである
請求項１５に記載のサンプル測定装置。
請求項１５に記載のサンプル測定装置。
【請求項17】
サンプルを測定する測定器と、前記測定器の測定部にサンプルを搬送経路に沿って搬送する搬送装置とを備えたサンプル測定装置によるサンプル測定方法であって、
制御部が、前記搬送装置の駆動によって前記搬送装置に保持された位置保証用サンプルを位置保証部に嵌合させることにより、前記搬送装置による搬送の位置精度を保証する
サンプル測定方法。
制御部が、前記搬送装置の駆動によって前記搬送装置に保持された位置保証用サンプルを位置保証部に嵌合させることにより、前記搬送装置による搬送の位置精度を保証する
サンプル測定方法。
【請求項18】
前記制御部は、位置決め部において前記位置保証用サンプルの位置および姿勢を所定状態に位置決めした後、前記位置保証部に前記位置保証用サンプルを嵌合させる
請求項１７に記載のサンプル測定方法。
請求項１７に記載のサンプル測定方法。
【請求項19】
前記制御部は、前記位置決めした前記位置保証用サンプルを前記測定器に搬送した後、前記位置保証部に前記位置保証用サンプルを嵌合させる
請求項１８に記載のサンプル測定方法。
請求項１８に記載のサンプル測定方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、サンプル測定装置およびサンプル測定方法に関する。
【背景技術】
【0002】
搬送装置を用いた搬送における位置合わせに関する技術として、下記特許文献１に記載の技術がある。この技術は、ロボットのエンドエフェクターが把持した対象物を、第１方向にインピーダンス制御を行いながら、第１方向とは異なる第２方向に移動させる。その際、この技術は、対象物の標識と検査ゲージの識別部とが衝突したか否かを検出し、対象物の標識を検査ゲージの識別部に誘導して、対象物の位置合わせをする技術である。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0003】
【特許文献1】特開２０１９－１１５９４９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0004】
特許文献１の技術は、対象物における加工部の良否判定に適用される技術であり、対象物の位置合わせ精度は、ロボットの繰り返し精度のみによって保証されている。しかしながら、ロボットの繰り返し精度は、経時的に劣化する場合がある。したがって、位置合わせ精度の保証は、確実なものではなかった。
【0005】
ここで、サンプルを測定器で測定するサンプル測定装置においては、搬送装置に保持されたサンプルを、測定器の計測部に対して正確に位置合わせして配置する必要がある。このようなサンプル測定装置においても、サンプルの位置合わせ精度は、従来、搬送装置の繰り返し精度のみによって保証されている。このため、検査結果にエラーが発生した場合、このエラーがサンプルに起因するものであるか、搬送装置の繰り返し精度の劣化に起因するものであるかを判別することができなかった。
【0006】
そこで本発明は、サンプルの位置合わせ精度を確実に保証できるサンプル測定装置およびサンプル測定方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【0007】
上記目的を達成するための本発明は、サンプルを測定する測定器と、前記測定器の測定部にサンプルを搬送経路に沿って搬送する搬送装置と、前記搬送装置の駆動により前記搬送装置に保持された位置保証用サンプルを嵌合させる位置保証部とを備えたサンプル測定装置である。
【発明の効果】
【0008】
本発明により、サンプルの位置合わせ精度を確実に保証できるサンプル測定装置およびサンプル測定方法を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【0009】
【発明を実施するための形態】
【0010】
以下、本発明の実施形態について図面を参照して詳細に説明する。なお各実施形態において、実質的に同一の機能または構成を有する要素には、同一の符号を付し、重複する説明は省略する。
【0011】
【0012】
図１および図２に示すように、サンプル測定装置１は、サンプル（図示せず）を測定する測定器１１を備えている。測定器１１は、架台１０の上に設置されている。架台１０上には、カセット１２、位置決め部１５、保証用サンプル保管部１３、位置保証部１６、および搬送装置１４が配置されている。また、サンプル測定装置１は、制御部１７および操作部１８を有する。以下、これらの各部を説明する。
【0013】
＜測定器１１＞
測定器１１は、サンプルの状態を測定するものである。架台１０上には、すくなくとも１つの測定器１１が配置されており、図示した例においては２つの測定器１１を設けた構成を示している。これらの測定器１１は、それぞれ計測部１１０を有している。計測部１１０は、予め決められた測定項目について、サンプルを計測（測定）する部分である。例えば、測定器１１がサンプルの表面状態を測定する機器であれば、計測部１１０は、サンプルの表面状態を計測する部分となる。サンプルの表面状態は、サンプルの色、表面性、温度、および光沢度などである。サンプルの表面性は、典型的にはサンプルの表面粗さである。
測定器１１は、サンプルの状態を測定するものである。架台１０上には、すくなくとも１つの測定器１１が配置されており、図示した例においては２つの測定器１１を設けた構成を示している。これらの測定器１１は、それぞれ計測部１１０を有している。計測部１１０は、予め決められた測定項目について、サンプルを計測（測定）する部分である。例えば、測定器１１がサンプルの表面状態を測定する機器であれば、計測部１１０は、サンプルの表面状態を計測する部分となる。サンプルの表面状態は、サンプルの色、表面性、温度、および光沢度などである。サンプルの表面性は、典型的にはサンプルの表面粗さである。
【0014】
また、これらの測定器１１のうちの少なくとも１つの測定器１１ａは、サンプルに設定された極めて狭い測定領域を測定するためのものである。このような測定器１１ａは、測定対象となるサンプルの正確な位置決めが要求される。本実施形態において、このような測定器１１ａは、サンプルの色を測定する機器、すなわち測色器である。測定対象となるサンプルは、測定器１１ａの計測部１１０に対し、サンプルの被測定面に設定された非測定領域を近接かつ対向する状態で配置される。
【0015】
＜カセット１２＞
図３は、カセット１２の構成を示す概略斜視図である。カセット１２は、複数のサンプル２を収納するためのものである。なお、サンプル２は、典型的には板状のサンプルであり、より典型的には平らな板状のサンプルである。このようなサンプル２は、平面視的な形状（すなわち被測定面の形状）およびサイズが異なるものであってよい。
図３は、カセット１２の構成を示す概略斜視図である。カセット１２は、複数のサンプル２を収納するためのものである。なお、サンプル２は、典型的には板状のサンプルであり、より典型的には平らな板状のサンプルである。このようなサンプル２は、平面視的な形状（すなわち被測定面の形状）およびサイズが異なるものであってよい。
【0016】
このようなサンプル２を収納するカセット１２は、箱形状の筐体１２ａと、筐体１２ａ内においてサンプル２を支持する支持部１２ｂとを備える。筐体１２ａは、以降に説明する搬送装置１４のハンド部１４ａと干渉（接触）しないように、天面が解放された構成である。また筐体１２ａは、水平方向からサンプル２を出しれするために、前面が解放された構成である。支持部１２ｂは、筐体１２ａの側周面から中心側に突出する状態で設けられたもので、サンプル２を水平な姿勢で支持する。また支持部１２ｂは、筐体１２ａの高さ方向に所定の間隔をあけて複数段に配置されている。なお、カセット１２の各段の支持部１２ｂには、サンプル２が被測定面を下向きにした状態で収納されることとする。
【0017】
＜保証用サンプル保管部１３＞
図１および図２に戻り、保証用サンプル保管部１３は、板状の保証用サンプル３を保管する部分である。保証用サンプル３（図２のみに図示）は、位置保証用サンプル３１と、色保証用サンプル３２である。これらの保証用サンプル３は、サンプル２と同様の形状が好ましく、平らな板状のサンプルである。
図１および図２に戻り、保証用サンプル保管部１３は、板状の保証用サンプル３を保管する部分である。保証用サンプル３（図２のみに図示）は、位置保証用サンプル３１と、色保証用サンプル３２である。これらの保証用サンプル３は、サンプル２と同様の形状が好ましく、平らな板状のサンプルである。
【0018】
このうち、位置保証用サンプル３１は、搬送装置１４によるサンプルの位置合わせ精度を保証するためのものである。また測定器１１ａが測色器である場合に、色保証用サンプル３２は、測色器による色検出が正確に実施されていることを保証するためのものである。これらの保証用サンプル３は、以降に説明する位置決め部１５において、精度のよい位置決めが可能な平面形状を有していることが好ましい。
【0019】
保証用サンプル保管部１３は、位置保証用サンプル３１と色保証用サンプル３２とを、それぞれ所定状態で個別に載置する部分を有する。なお、保証用サンプル保管部１３には、保証用サンプル３が被測定面を下向きにした状態で収納されることとする。
【0020】
＜搬送装置１４＞
搬送装置１４は、カセット１２に収納されたサンプル２、および保証用サンプル保管部１３に保管されている保証用サンプル３を保持し、保持したサンプル２および保証用サンプル３を所定のルートに沿って搬送する。このような搬送装置１４は、多軸ロボットによって構成されている。本実施形態においては、一例として、搬送装置１４が６軸ロボットによって構成されている。搬送装置１４としての６軸ロボットは、図示しない力覚センサ（６軸力覚センサ）を備えている。また、搬送装置１４は、サンプルを保持するハンド部１４ａを備えている。ハンド部１４ａは、搬送装置１４を構成する６軸ロボットの先端部に配置されている。
搬送装置１４は、カセット１２に収納されたサンプル２、および保証用サンプル保管部１３に保管されている保証用サンプル３を保持し、保持したサンプル２および保証用サンプル３を所定のルートに沿って搬送する。このような搬送装置１４は、多軸ロボットによって構成されている。本実施形態においては、一例として、搬送装置１４が６軸ロボットによって構成されている。搬送装置１４としての６軸ロボットは、図示しない力覚センサ（６軸力覚センサ）を備えている。また、搬送装置１４は、サンプルを保持するハンド部１４ａを備えている。ハンド部１４ａは、搬送装置１４を構成する６軸ロボットの先端部に配置されている。
【0021】
図４は、搬送装置１４のハンド部１４ａの構成を示す概略側面図である。図４に示すように、搬送装置１４のハンド部１４ａは、例えば真空吸着によってサンプル２および保証用サンプル３を保持するものである。このようなハンド部１４ａは、６軸ロボットの先端部から延設されたハンドフレーム１４１を有する。ハンドフレーム１４１の先端には、真空発生器１４２を介して吸着パッド１４３が配置されている。吸着パッド１４３は、ゴム製の筒状部材であって、真空発生器１４２の駆動によりサンプル２または保証用サンプル３における一主面を吸着し、これらを保持する。吸着パッド１４３は、サンプル２および保証用サンプル３の被測定面［Ｓ］に対する裏面側を吸着する。
【0022】
以上のようなハンド部１４ａを備えた搬送装置１４は、以降に説明する制御部１７の制御により、サンプル２および保証用サンプル３を保持して所定のルートに沿って搬送する。
【0023】
＜位置決め部１５＞
図５は、位置決め部１５の構成を示す平面図である。図５に示す位置決め部１５は、サンプル２および保証用サンプル３の位置決めをする部分である。ここでいう位置決めとは、サンプル２および保証用サンプル３の姿勢および位置の確定である。姿勢は、サンプル２および保証用サンプル３に対して付与されるＸ，Ｙ，Ｚ方向である。また位置は、サンプル測定装置１の座標系における座標位置である。この位置決めは、搬送装置１４によって所定状態でサンプル２および保証用サンプル３を保持するためである。
図５は、位置決め部１５の構成を示す平面図である。図５に示す位置決め部１５は、サンプル２および保証用サンプル３の位置決めをする部分である。ここでいう位置決めとは、サンプル２および保証用サンプル３の姿勢および位置の確定である。姿勢は、サンプル２および保証用サンプル３に対して付与されるＸ，Ｙ，Ｚ方向である。また位置は、サンプル測定装置１の座標系における座標位置である。この位置決めは、搬送装置１４によって所定状態でサンプル２および保証用サンプル３を保持するためである。
【0024】
このような位置決め部１５は、第１位置決め部１５１と第２位置決め部１５２とを有する。第１位置決め部１５１と第２位置決め部１５２とは、架台１０上に立設した平面Ｌ字型の部材である。第２位置決め部１５２は、第１位置決め部１５１に対して、架台１０のＸ－Ｙ面において９０度回転させて配置されている。
【0025】
第１位置決め部１５１および第２位置決め部１５２は、Ｘ端壁１５ｘとＹ端壁１５ｙとを備える。これらのＸ端壁１５ｘおよびＹ端壁１５ｙは、垂直壁であり、互いに角度９０度の挟角をなす。
【0026】
このような位置決め部１５を用いた位置決めは、サンプル２および保証用サンプル3のサンプル形状により、第１位置決め部１５１および第２位置決め部１５２の何れか一方を用いて実施される。この場合、Ｘ端壁１５ｘとＹ端壁１５ｙとに、サンプル２または保証用サンプル３の端縁を当接させる。これにより、平板状のサンプル２および保証用サンプル３の姿勢および位置を決める。
【0027】
なおここでは、サンプル２および保証用サンプル３の平面形状が、図示したような正方形または矩形形状の場合を説明したが、サンプル２および保証用サンプル３の平面形状がこれに限定されることはない。サンプル２の平面形状は、三角形やそれ以外の多角形であってもよく、円形であってもよい。
【0028】
＜位置保証部１６＞
図６は、位置保証部１６の構成を示す平面図である。また図７は、位置保証部１６の構成を示す側面図である。図６および図７に示す位置保証部１６は、位置保証用サンプル３１を用いた位置保証をするための部分である。この位置保証は、サンプルの位置合わせ精度の保証である。この位置保証は、搬送装置１４によるサンプル２および保証用サンプル３の保持位置の保証、および搬送経路の保証を含む。このような位置保証部１６は、搬送装置１４に保持された位置保証用サンプル３１を嵌合させるものである。位置保証部１６は、非接触で位置保証用サンプル３１を嵌合し、通過させる。
図６は、位置保証部１６の構成を示す平面図である。また図７は、位置保証部１６の構成を示す側面図である。図６および図７に示す位置保証部１６は、位置保証用サンプル３１を用いた位置保証をするための部分である。この位置保証は、サンプルの位置合わせ精度の保証である。この位置保証は、搬送装置１４によるサンプル２および保証用サンプル３の保持位置の保証、および搬送経路の保証を含む。このような位置保証部１６は、搬送装置１４に保持された位置保証用サンプル３１を嵌合させるものである。位置保証部１６は、非接触で位置保証用サンプル３１を嵌合し、通過させる。
【0029】
位置保証部１６は、架台１０の上部に立設させた第１ゲート部材１６１，１６２と、第２ゲート部材１６３，１６４とを有する。なお、以下で説明する位置保証部１６のＸ，Ｙ，Ｚ方向は、位置決め部１５（図５参照）において位置保証用サンプル３１に付与されたＸ，Ｙ，Ｚ方向と一致させる方向である。Ｚ方向は、位置保証部１６の床面に対して所定の間隔を保つために、位置保証サンプル３１の厚みを考慮して付与されている。
【0030】
第１ゲート部材１６１，１６２は、Ｘ方向に延設されたＸ方向垂直壁１６１ａ，１６２ａを有する。これらのＸ方向垂直壁１６１ａ，１６２ａは、対向して配置され、Ｙ方向に開口する第１ゲート１６ｙを構成する。Ｘ方向垂直壁１６１ａ，１６２ａは、Ｙ方向に所定のゲート間隔［Ｗｙ］で配置されている。このゲート間隔［Ｗｙ］は、位置保証用サンプル３１の平面視的なＹ方向の幅［ａｙ］よりも大きいこととする。
【0031】
このような第１ゲート部材１６１，１６２は、位置保証用サンプル３１をＸ方向から嵌合させて通過可能に配置されている。この場合の位置保証用サンプル３１は、位置保証部１６のＸ，Ｙ，Ｚ方向に対して、姿勢を一致させた状態のものである。なお、位置保証用サンプル３１のＹ方向の幅［ａｙ］と第１ゲート１６ｙのゲート間隔［Ｗｙ］との差は、測定器１１ａでの測定に要求される位置精度を満足できる程度に小さい値であればよい。
【0032】
第２ゲート部材１６３，１６４は、Ｙ方向に延設されたＹ方向垂直壁１６３ａ，１６４ａを有する。これらのＹ方向垂直壁１６３ａ，１６４ａは、対向して配置され、Ｘ方向に開口する第２ゲート１６ｘを構成する。Ｙ方向垂直壁１６３ａ，１６４ａは、Ｘ方向に所定のゲート間隔［Ｗｘ］で配置されている。このゲート間隔［Ｗｘ］は、位置保証用サンプル３１の平面視的なＸ方向の幅［ａｘ］よりも大きいこととする。
【0033】
このような第２ゲート部材１６３，１６４は、位置保証用サンプル３１をＹ方向から嵌合させて通過可能に配置されている。この場合の位置保証用サンプル３１は、位置保証部１６のＸ，Ｙ，Ｚ方向に対して、姿勢を一致させた状態のものである。なお、位置保証用サンプル３１のＸ方向の幅［ａｘ］と第２ゲート１６ｘのゲート間隔［Ｗｘ］との差は、測定器１１ａでの測定に要求される位置精度を満足できる程度に小さい値であればよい。
【0034】
位置保証用サンプル３１は、搬送装置１４の駆動により、位置保証部１６の第１ゲート１６ｙおよび第２ゲート１６ｘを通過する。初期状態において、第１ゲート１６ｙおよび第２ゲート１６ｘに対して位置保証用サンプル３１が非接触で通過するように、搬送装置１４の搬送経路が設定されていることとする。またこの際、第１ゲート１６ｙおよび第２ゲート１６ｘと位置保証用サンプル３１との間隔［ｄ］が等しい。これにより、第１ゲート１６ｙおよび第２ゲート１６ｘの中央を、位置保証用サンプル３１が通過するように、搬送装置１４の搬送経路が設定されていることが好ましい。
【0035】
さらに、初期状態においては、底面である架台１０と位置保証用サンプル３１の間隔が所定間隔に持たれるように、搬送装置１４の搬送経路が設定されていることとする。この所定間隔は、測定器１１ａでの測定に要求される位置精度を満足できる程度に小さい値であればよい。
【0036】
なお、図６においては、位置保証用サンプル３１が矩形形状である場合を示したが、位置保証用サンプル３１は、これに限定されることはない。
【0037】
図８は、位置保証用サンプル３１ａの他の例１を示す平面図である。この図に示すように、位置保証用サンプル３１ａは、平面形状が三角形のものであってもよい。平面形状が三角形の位置保証用サンプル３１ａは、例えば上述した位置決め部１５（図５参照）において、三角形の一つの底辺をＸ方向と平行にした向きで、座標位置が決められたものである。この場合、第１ゲート１６ｙのゲート間隔［Ｗｙ］は、位置保証用サンプル３１ａの底辺と頂点との距離［ａｙ’］よりも大きい。また、第２ゲート１６ｘのゲート間隔［Ｗｘ］は、底辺の長さ［ａｘ’］よりも大きい。
【0038】
図９は、位置保証用サンプル３１ｂの他の例２を示す平面図である。この図に示すように、位置保証用サンプル３１ｂは、平面形状が円形のものであってもよい。円形の位置保証用サンプル３１ｂを用いる場合、第１ゲート１６ｙのゲート間隔［Ｗｙ］および第２ゲート１６ｘのゲート間隔［Ｗｘ］は、円形の直径［２ｒ］よりも大きい。
【0039】
なお、図２においては、架台１０上に位置保証部１６を平置きで設置した状態を示した。しかしながら、位置保証部１６の設置状態がこれに限定されることはなく、架台１０上に縦置きで設置されてもよい。
【0040】
＜制御部１７＞
図１および図２に戻り、制御部１７は、例えばコンピュータのハードウェア資源として、ＣＰＵ（Central Processing Unit）と、ＲＯＭ(Read Only Memory)と、ＲＡＭ(Random Access Memory)とを備えている。制御部１７は、ＣＰＵがＲＯＭから所定のプログラムを読み出してＲＡＭに展開し、展開したプログラムをＣＰＵが実行することにより、サンプル測定装置１の各部の動作を統括的に制御する。
図１および図２に戻り、制御部１７は、例えばコンピュータのハードウェア資源として、ＣＰＵ（Central Processing Unit）と、ＲＯＭ(Read Only Memory)と、ＲＡＭ(Random Access Memory)とを備えている。制御部１７は、ＣＰＵがＲＯＭから所定のプログラムを読み出してＲＡＭに展開し、展開したプログラムをＣＰＵが実行することにより、サンプル測定装置１の各部の動作を統括的に制御する。
【0041】
この制御部１７は、位置保証用サンプル３１を用いた位置保証動作を制御する。また制御部１７は、色保証用サンプル３２の色測定動作を制御する。さらに制御部１７は、カセット１２に収納されているサンプル２の測定動作を制御する。このような制御部１７による制御の詳細は、以降のサンプル測定方法において詳細に説明する。
【0042】
＜操作部１８＞
操作部１８は、サンプル測定装置１を使用するユーザーに対し、各種の情報を表示する表示部を有する。また操作部１８は、ユーザーから各種の情報の入力を受け付ける入力部を有する。このような操作部１９は、ユーザーインターフェースとして機能する。
操作部１８は、サンプル測定装置１を使用するユーザーに対し、各種の情報を表示する表示部を有する。また操作部１８は、ユーザーから各種の情報の入力を受け付ける入力部を有する。このような操作部１９は、ユーザーインターフェースとして機能する。
【0043】
操作部１８から入力される情報には、カセット１２に収納されたサンプル２に関する情報、保証用サンプル保管部１３に保管されている位置保証用サンプル３１および色保証用サンプル３２に関する情報が含まれる。サンプル２に関する情報には、サンプル２の種別を示す情報と、サンプル２のサイズ（形状を含む）を示す情報と、サンプル２が収納されているカセット１２を指定する情報などが含まれる。また、位置保証用サンプル３１および色保証用サンプル３２に関する情報には、位置保証用サンプル３１および色保証用サンプル３２のサイズ（形状を含む）を示す情報と、保管位置に関する情報を含む。これらの情報は、後述するサンプル測定装置の動作を開始する前に、ユーザーが操作部１８を操作することにより入力される。
【0044】
また、操作部１８から入力される情報には、測定開始の指示情報、さらには保証動作開始の指示情報も含まれる。
【0045】
＜サンプル測定方法＞
図１０は、本発明の第１実施形態に係るサンプル測定方法を示すフローチャートである。このフローチャートに示す手順は、図１に示したサンプル測定装置１の制御部１７が保持するサンプル測定プログラムによって実施される手順である。以下、図１０に示す手順にしたがって、先の図１～図９を参照しつつ、実施形態のサンプル測定方法を説明する。
図１０は、本発明の第１実施形態に係るサンプル測定方法を示すフローチャートである。このフローチャートに示す手順は、図１に示したサンプル測定装置１の制御部１７が保持するサンプル測定プログラムによって実施される手順である。以下、図１０に示す手順にしたがって、先の図１～図９を参照しつつ、実施形態のサンプル測定方法を説明する。
【0046】
－ステップＳ１－
ステップＳ１において、制御部１７は、以下のステップＳ１０１～Ｓ１０６の手順で位置保証処理をする。
ステップＳ１において、制御部１７は、以下のステップＳ１０１～Ｓ１０６の手順で位置保証処理をする。
【0047】
［ステップＳ１０１］
ステップＳ１０１において、制御部１７は、搬送装置１４の駆動を制御することにより、位置保証用サンプル３１の位置決めする。この場合、先ず、搬送装置１４は、保証用サンプル保管部１３に所定状態で保管されている位置保証用サンプル３１を保持し、位置決め部１５に搬送する。搬送装置１４は、予め設定された第１位置決め部１５１または第２位置決め部１５２の何れかにおいて、所定の手順で位置保証用サンプル３１の位置決めを行い、位置保証用サンプル３１の姿勢と位置とを確定する。
ステップＳ１０１において、制御部１７は、搬送装置１４の駆動を制御することにより、位置保証用サンプル３１の位置決めする。この場合、先ず、搬送装置１４は、保証用サンプル保管部１３に所定状態で保管されている位置保証用サンプル３１を保持し、位置決め部１５に搬送する。搬送装置１４は、予め設定された第１位置決め部１５１または第２位置決め部１５２の何れかにおいて、所定の手順で位置保証用サンプル３１の位置決めを行い、位置保証用サンプル３１の姿勢と位置とを確定する。
【0048】
［ステップＳ１０２］
ステップＳ１０２において、制御部１７は、搬送装置１４の駆動により、位置決めされた位置保証用サンプル３１の所定位置を、ハンド部１４ａに再保持させる。この際、搬送装置１４は、位置保証用サンプル３１のサイズ情報に基づいて、予め設定されている座標位置（所定位置）にハンド部１４ａを移動させ、位置保証用サンプル３１を保持し直す。予め設定されている座標位置とは、位置決め部１５において位置決めされた状態にある位置保証用サンプル３１の中心位置である。
ステップＳ１０２において、制御部１７は、搬送装置１４の駆動により、位置決めされた位置保証用サンプル３１の所定位置を、ハンド部１４ａに再保持させる。この際、搬送装置１４は、位置保証用サンプル３１のサイズ情報に基づいて、予め設定されている座標位置（所定位置）にハンド部１４ａを移動させ、位置保証用サンプル３１を保持し直す。予め設定されている座標位置とは、位置決め部１５において位置決めされた状態にある位置保証用サンプル３１の中心位置である。
【0049】
［ステップＳ１０３］
ステップＳ１０３において、制御部１７は、搬送装置１４の駆動により、位置保証用サンプル３１を測定動作させる。この際、搬送装置１４は、ハンド部１４ａに保持した位置保証用サンプル３１を測定器１１に搬送する。搬送装置１４は、各測定器１１の計測部１１０に、順次に位置保証用サンプル３１における被測定面を対向配置させる。被測定面は、搬送装置１４のハンド部１４ａによって保持する面と逆側の面である。なお、この測定動作においては、搬送装置１４による位置保証用サンプル３１の搬送のみを実施すればよく、各測定器１１による測定の必要はない。
ステップＳ１０３において、制御部１７は、搬送装置１４の駆動により、位置保証用サンプル３１を測定動作させる。この際、搬送装置１４は、ハンド部１４ａに保持した位置保証用サンプル３１を測定器１１に搬送する。搬送装置１４は、各測定器１１の計測部１１０に、順次に位置保証用サンプル３１における被測定面を対向配置させる。被測定面は、搬送装置１４のハンド部１４ａによって保持する面と逆側の面である。なお、この測定動作においては、搬送装置１４による位置保証用サンプル３１の搬送のみを実施すればよく、各測定器１１による測定の必要はない。
【0050】
［ステップＳ１０４］
ステップＳ１０４において、制御部１７は、搬送装置１４の駆動により、位置保証用サンプル３１を位置保証動作させる。この際、搬送装置１４は、保持した位置保証用サンプル３１を、位置保証部１６に搬送する。搬送装置１４は、位置保証用サンプル３１を所定状態に保つ。所定状態とは、位置保証用サンプル３１のＸ－Ｙ方向の向きを、位置保証部１６のＸ－Ｙ方向の向きに一致させた状態である。
ステップＳ１０４において、制御部１７は、搬送装置１４の駆動により、位置保証用サンプル３１を位置保証動作させる。この際、搬送装置１４は、保持した位置保証用サンプル３１を、位置保証部１６に搬送する。搬送装置１４は、位置保証用サンプル３１を所定状態に保つ。所定状態とは、位置保証用サンプル３１のＸ－Ｙ方向の向きを、位置保証部１６のＸ－Ｙ方向の向きに一致させた状態である。
【0051】
この状態において、搬送装置１４は、位置保証部１６の第１ゲート１６ｙに対し、Ｘ方向から位置保証用サンプル３１を嵌合させる。そして、第１ゲート１６ｙを通過させるように、保持した位置保証用サンプル３１をＸ方向に搬送する。また、搬送装置１４は、位置保証部１６の第２ゲート１６ｘに対し、Ｙ方向から位置保証用サンプル３１を嵌合させる。そして、第２ゲート１６ｘを通過させるように、保持した位置保証用サンプル３１をＹ方向に搬送する。なお第１ゲート１６ｙおよび第２ゲート１６ｘを通過させる際、位置保証用サンプル３１は、第１ゲート１６ｙおよび第２ゲート１６ｘの底面に対して所定の間隔に保持する。
【0052】
［ステップＳ１０５］
ステップＳ１０５において、制御部１７は、位置保証用サンプル３１による位置保証ができたか否かを判断する。制御部１７は、搬送装置１４の力覚センサからの信号に基づいて、この判断を実施する。制御部１７は、ステップＳ１０４の位置保証動作の間に、位置保証用サンプル３１が、第１ゲート１６ｙや第２ゲート１６ｘなどの構造物に接触した信号を検知しなかった場合には、位置保証できた（ＹＥＳ）と判断する。この場合、ステップＳ１０６に進む。一方、制御部１７は、ステップＳ１０４の位置保証動作の間に、位置保証用サンプル３１が、構造物に接触した信号を検知した場合には、位置保証できなかった（ＮＯ）と判断する。この場合は、ステップＳ２に進む。
ステップＳ１０５において、制御部１７は、位置保証用サンプル３１による位置保証ができたか否かを判断する。制御部１７は、搬送装置１４の力覚センサからの信号に基づいて、この判断を実施する。制御部１７は、ステップＳ１０４の位置保証動作の間に、位置保証用サンプル３１が、第１ゲート１６ｙや第２ゲート１６ｘなどの構造物に接触した信号を検知しなかった場合には、位置保証できた（ＹＥＳ）と判断する。この場合、ステップＳ１０６に進む。一方、制御部１７は、ステップＳ１０４の位置保証動作の間に、位置保証用サンプル３１が、構造物に接触した信号を検知した場合には、位置保証できなかった（ＮＯ）と判断する。この場合は、ステップＳ２に進む。
【0053】
－ステップＳ２－
ステップＳ２において、制御部１７は、サンプル検査装置を停止させる。この場合、制御部１７は、ステップＳ１０５の判定結果を、操作部１８に送信する。操作部１８は、位置保証ができなかったことを、表示または音声により報知する。
ステップＳ２において、制御部１７は、サンプル検査装置を停止させる。この場合、制御部１７は、ステップＳ１０５の判定結果を、操作部１８に送信する。操作部１８は、位置保証ができなかったことを、表示または音声により報知する。
【0054】
［ステップＳ１０６］
一方、ステップＳ１０６において、制御部１７は、搬送装置１４の駆動により、位置保証用サンプル３１を保証用サンプル保管部１３に保管する。この際、搬送装置１４は、保証用サンプル保管部１３に、所定状態で位置保証用サンプル３１を載置する。
一方、ステップＳ１０６において、制御部１７は、搬送装置１４の駆動により、位置保証用サンプル３１を保証用サンプル保管部１３に保管する。この際、搬送装置１４は、保証用サンプル保管部１３に、所定状態で位置保証用サンプル３１を載置する。
【0055】
－ステップＳ３－
ステップＳ３において、制御部１７は、色保証処理する。この際、制御部１７は、搬送装置１４の駆動により、色保証用サンプル３２を位置決めする。この位置決め動作は、ステップＳ１０１で説明した動作と同様である。次いで、制御部１７は、搬送装置１４の駆動により、位置決めされた色保証用サンプル３２の中心位置をハンド部１４ａに保持させる。この動作は、ステップＳ１０２で説明した動作と同様である。その後、制御部１７は、搬送装置１４の駆動により、色保証用サンプル３２を測定する。この測定動作は、ステップＳ１０３で説明した動作と同様である。ただし、この測定動作においては、搬送装置１４による位置保証用サンプル３１の搬送と、各測定器１１による測定と行う。また制御部１７は、測定結果を操作部１８に送信する。
ステップＳ３において、制御部１７は、色保証処理する。この際、制御部１７は、搬送装置１４の駆動により、色保証用サンプル３２を位置決めする。この位置決め動作は、ステップＳ１０１で説明した動作と同様である。次いで、制御部１７は、搬送装置１４の駆動により、位置決めされた色保証用サンプル３２の中心位置をハンド部１４ａに保持させる。この動作は、ステップＳ１０２で説明した動作と同様である。その後、制御部１７は、搬送装置１４の駆動により、色保証用サンプル３２を測定する。この測定動作は、ステップＳ１０３で説明した動作と同様である。ただし、この測定動作においては、搬送装置１４による位置保証用サンプル３１の搬送と、各測定器１１による測定と行う。また制御部１７は、測定結果を操作部１８に送信する。
【0056】
－ステップＳ４－
ステップＳ４において、制御部１７は、サンプルを測定処理する。この際、制御部１７は、搬送装置１４の駆動により、カセット１２からサンプル２を取り出し、取り出したサンプル２を位置決めする。この位置決め動作は、ステップＳ１０１で説明した動作と同様の動作である。次いで、制御部１７は、搬送装置１４の駆動により、位置決めされたサンプル２の中心位置をハンド部１４ａに保持させる。この動作は、ステップＳ１０２で説明した動作と同様の動作である。その後、制御部１７は、搬送装置１４の駆動により、サンプル２を測定する。この測定動作は、ステップＳ１０３で説明した動作と同様の動作である。ただし、この測定動作においては、搬送装置１４によるサンプル２の搬送と、各測定器１１による測定と行う。その後、制御部１７は、搬送装置１４の駆動により、サンプル２を、別のカセット１２に収納する。別のカセット１２とは、測定したサンプル２を取り出したカセット１２とは別のカセット１２である。
ステップＳ４において、制御部１７は、サンプルを測定処理する。この際、制御部１７は、搬送装置１４の駆動により、カセット１２からサンプル２を取り出し、取り出したサンプル２を位置決めする。この位置決め動作は、ステップＳ１０１で説明した動作と同様の動作である。次いで、制御部１７は、搬送装置１４の駆動により、位置決めされたサンプル２の中心位置をハンド部１４ａに保持させる。この動作は、ステップＳ１０２で説明した動作と同様の動作である。その後、制御部１７は、搬送装置１４の駆動により、サンプル２を測定する。この測定動作は、ステップＳ１０３で説明した動作と同様の動作である。ただし、この測定動作においては、搬送装置１４によるサンプル２の搬送と、各測定器１１による測定と行う。その後、制御部１７は、搬送装置１４の駆動により、サンプル２を、別のカセット１２に収納する。別のカセット１２とは、測定したサンプル２を取り出したカセット１２とは別のカセット１２である。
【0057】
このステップＳ４は、予め設定された順序で複数のサンプル２に対して繰り返す。設定された複数のサンプル２に対する測定処理が終了した場合に、サンプル測定のフローを終了する。
【0058】
さらに、本発明のサンプル測定方法は、図１０のフローチャートに示す順序に限定されることはない。例えば、なお、ステップＳ４において予め設定された枚数のサンプル２の測定処理が終了する毎に、ステップＳ１～ステップＳ４のフローを繰り返す構成であってもよい。また、サンプルの測定処理を実施した後に、位置保証処理（ステップＳ１）や色保証処理（ステップＳ３）を実施してもよい。
【0059】
＜第１実施形態の効果＞
以上説明した第１実施形態は、搬送装置１４の搬送により、位置保証部１６に対して位置保証用サンプル３１を嵌合させることで、搬送装置１４による位置保証部１６の保持位置および移動経路が高精度に実施されていることが保証される。したがって、搬送装置１４によって測定器１１に搬送されるサンプルの位置合わせ精度を保証することができる。
以上説明した第１実施形態は、搬送装置１４の搬送により、位置保証部１６に対して位置保証用サンプル３１を嵌合させることで、搬送装置１４による位置保証部１６の保持位置および移動経路が高精度に実施されていることが保証される。したがって、搬送装置１４によって測定器１１に搬送されるサンプルの位置合わせ精度を保証することができる。
【0060】
これにより、例えば測定器１１ａの計測部１１０に対して、確実に所定位置を対応させた状態で、サンプル２を測定できる。したがって、精度の高い測定ができる。しかも、測定結果にエラーが生じた場合に、そのエラーの原因が、搬送装置１４や位置決め部１５の経時的な劣化によるものではないと判断でき、エラーの発生原因を切り分けることができる。
【0061】
また位置保証動作は、位置保証用サンプル３１を用いた測定動作の後に実施される構成である。これにより、例えば測定動作において搬送装置１４に不具合が生じる場合、この不具合の発生を位置保証動作において検知できる。したがって、位置合わせ部１５での位置合わせから測定器１１ａでの測定までの全ての動作を通して、サンプルの位置合わせ精度を保証できる。
【0062】
≪第２実施形態≫
図１１は、第２実施形態に係るサンプル測定装置の構成を示す要部側面図（その１）である。また図１２は、第２実施形態に係るサンプル測定装置の構成を示す要部平面図（その１）である。これらの図に示すように、サンプル測定装置が有する搬送装置１４’のハンド部１４ａ’は、把持によってサンプルや保証用サンプルを保持するものであってもよい。このようなハンド部１４ａ’は、６軸ロボットの先端部から延設されたハンドフレーム１４１の先端に、把持爪１４７を有する。把持爪１４７は、二つ爪であってもよいし、三つ爪やさらに複数の爪を有する構成であってもよい。なお、図面においては二つ爪のものを示している。これらの把持爪１４７は、先端側を互いに近接させることにより、複数の把持爪１４７間にサンプルや保証用サンプルを把持する。
図１１は、第２実施形態に係るサンプル測定装置の構成を示す要部側面図（その１）である。また図１２は、第２実施形態に係るサンプル測定装置の構成を示す要部平面図（その１）である。これらの図に示すように、サンプル測定装置が有する搬送装置１４’のハンド部１４ａ’は、把持によってサンプルや保証用サンプルを保持するものであってもよい。このようなハンド部１４ａ’は、６軸ロボットの先端部から延設されたハンドフレーム１４１の先端に、把持爪１４７を有する。把持爪１４７は、二つ爪であってもよいし、三つ爪やさらに複数の爪を有する構成であってもよい。なお、図面においては二つ爪のものを示している。これらの把持爪１４７は、先端側を互いに近接させることにより、複数の把持爪１４７間にサンプルや保証用サンプルを把持する。
【0063】
この場合、図１１および図１２に示した位置保証用サンプル３１ｃは、位置保証用サンプル３１ｃを把持した把持爪１４７が、位置保証用サンプル３１ｃの外周からはみ出すことのない構成である。一例として、位置保証用サンプル３１ｃは、外周縁に複数の凹部３０１を備えた構成とする。この凹部３０１は、ハンド部１４ａ’の把持爪１４７に対応して配置されている。搬送装置１４’は、位置保証用サンプル３１ｃの各凹部３０１に挿入した把持爪１４７の先端を互いに近接させることにより、位置保証用サンプル３１ｃを把持する。
【0064】
図１３は、第２実施形態に係るサンプル測定装置の構成を示す要部側面図（その２）である。また図１４は、第２実施形態に係るサンプル測定装置の構成を示す要部平面図（その２）である。これらの図に示すように、位置保証用サンプル３１ｄは、被測定面［Ｓ］の裏面側に、被把持部３０２を取り付けた構成であってもよい。この被把持部３０２は、ハンド部１４ａ’の把持爪１４７で把持可能な形状を有する。搬送装置１４’は、位置保証用サンプル３１ｄの被把持部３０２を把持することにより、位置保証用サンプル３１ｄを保持する。位置保証用サンプル３１ｄを把持した把持爪１４７が、位置保証用サンプル３１ｄの外周からはみ出すことのないように、位置保証用サンプル３１ｄに対して被把持部３０２が取り付けられている。
【0065】
＜第２実施形態の効果＞
以上、搬送装置１４’のハンド部１４ａ’が把持爪１４７で構成されたものであっても、位置保証用サンプル３１に凹部３０１（図１２参照）や被把持部３０２（図１３参照）を設けることで、第１実施形態で説明した位置保証動作ができる。位置保証動作とは、図１０のステップＳ１０４の位置保証動作である。このため、第１実施形態と同様の効果を得ることができる。
以上、搬送装置１４’のハンド部１４ａ’が把持爪１４７で構成されたものであっても、位置保証用サンプル３１に凹部３０１（図１２参照）や被把持部３０２（図１３参照）を設けることで、第１実施形態で説明した位置保証動作ができる。位置保証動作とは、図１０のステップＳ１０４の位置保証動作である。このため、第１実施形態と同様の効果を得ることができる。
【0066】
≪第３実施形態≫
図１５は、第３実施形態に係るサンプル測定装置の構成を示す要部斜視図（その１）であり、第１実施形態で説明した位置保証部の他の例を示す平面図である。図１５に示す位置保証部１６’は、１つのゲート開口１６ａを有する。ゲート開口１６ａは、位置保証用サンプル３１を一方向に移動させた場合に、移動方向に対して垂直な二方向において位置保証用サンプル３１を嵌合する。このようなゲート開口１６ａは、例えば板状の位置保証用サンプル３１の平面形状と相似形状を有する。ゲート開口１６ａは、一方向に移動させた位置保証用サンプル３１を通過可能な開口である。
図１５は、第３実施形態に係るサンプル測定装置の構成を示す要部斜視図（その１）であり、第１実施形態で説明した位置保証部の他の例を示す平面図である。図１５に示す位置保証部１６’は、１つのゲート開口１６ａを有する。ゲート開口１６ａは、位置保証用サンプル３１を一方向に移動させた場合に、移動方向に対して垂直な二方向において位置保証用サンプル３１を嵌合する。このようなゲート開口１６ａは、例えば板状の位置保証用サンプル３１の平面形状と相似形状を有する。ゲート開口１６ａは、一方向に移動させた位置保証用サンプル３１を通過可能な開口である。
【0067】
図１６は、第３実施形態に係るサンプル測定装置の構成を示す要部斜視図（その２）である。図１６に示すように、位置保証部１６’は、ゲート開口１６ａを測定器１１ａの計測部１１０に対向させて配置してもよい。測定器１１ａは、計測部１１０に対するサンプルの位置決め精度が要求されるものである。この場合、位置保証用サンプル３１およびゲート開口１６ａの平面形状は、ここでの図示を省略した測定用のサンプルの平面形状よりも十分に大きいこととする。
【0068】
＜第３実施形態の効果＞
第３実施形態の成であっても、第１実施形態と同様の効果を得ることができる。また、第３実施形態の位置保証部１６’を測定器１１ａの計測部１１０に対向させて配置した場合、位置保証用サンプル３１を用いた測定動作と位置保証動作とを、同時に実施することができる。測定動作とは、図１０のステップＳ１０３の測定動作である。また位置保証動作とは、図１０のステップＳ１０４の位置保証動作である。
第３実施形態の成であっても、第１実施形態と同様の効果を得ることができる。また、第３実施形態の位置保証部１６’を測定器１１ａの計測部１１０に対向させて配置した場合、位置保証用サンプル３１を用いた測定動作と位置保証動作とを、同時に実施することができる。測定動作とは、図１０のステップＳ１０３の測定動作である。また位置保証動作とは、図１０のステップＳ１０４の位置保証動作である。
【0069】
なお、上記した実施形態は本発明をわかりやすく説明するために詳細に説明したものであり、本発明は上記した実施形態および変形例に限定されるものではない。例えば、サンプル２の位置決めは、カセット１２内で実施してもよい。この場合、保証用サンプル保管部１３に位置決め機能を持たせればよく、位置決め部１５を設ける必要はない。
【符号の説明】
【0070】
１…サンプル測定装置
２…サンプル
１１，１１ａ…測定器
１４，１４’…搬送装置
１４ａ，１４ａ’…ハンド部
１６，１６’…位置保証部
１５…位置決め部
１６ａ…ゲート開口
１７…制御部
１８…操作部
３１，３１ａ～３１ｄ…位置保証用サンプル
１１０…測定部
１６１，１６２…第１ゲート部材
１６１ａ，１６２ａ…Ｘ方向垂直壁
１６３，１６４…第２ゲート部材
１６３ａ，１６４ａ…Ｙ方向垂直壁
２…サンプル
１１，１１ａ…測定器
１４，１４’…搬送装置
１４ａ，１４ａ’…ハンド部
１６，１６’…位置保証部
１５…位置決め部
１６ａ…ゲート開口
１７…制御部
１８…操作部
３１，３１ａ～３１ｄ…位置保証用サンプル
１１０…測定部
１６１，１６２…第１ゲート部材
１６１ａ，１６２ａ…Ｘ方向垂直壁
１６３，１６４…第２ゲート部材
１６３ａ，１６４ａ…Ｙ方向垂直壁
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】
【図11】
【図12】
【図13】
【図14】
【図15】
【図16】