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(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】公開特許公報(A)
(11)【公開番号】P2025066387
(43)【公開日】2025-04-23
(54)【発明の名称】加圧システム
(51)【国際特許分類】
B30B 12/00 20060101AFI20250416BHJP
B30B 15/34 20060101ALI20250416BHJP
B30B 5/02 20060101ALI20250416BHJP
【ＦＩ】
B30B12/00 B
B30B15/34 A
B30B15/34 Z
B30B5/02 B
【審査請求】有
【請求項の数】11
【出願形態】ＯＬ
(21)【出願番号】P 2023175928
(22)【出願日】2023-10-11
(11)【特許番号】
(45)【特許公報発行日】2024-12-25
(71)【出願人】
【識別番号】000226242
【氏名又は名称】日機装株式会社
(74)【代理人】
【識別番号】100141173
【弁理士】
【氏名又は名称】西村 啓一
(72)【発明者】
【氏名】那須 慶太
(72)【発明者】
【氏名】森 隆博
(72)【発明者】
【氏名】森永 高広
(72)【発明者】
【氏名】中村 拓
【テーマコード（参考）】
4E090
【Ｆターム（参考）】
4E090AB01
4E090CA01
4E090DA02
4E090DA09
4E090DB01
4E090DB02
4E090DB06
4E090EA02
4E090EB01
4E090EC01
4E090HA10
(57)【要約】
【課題】加圧処理間の時間が短縮可能で、加圧処理の関連処理が実行可能な加圧システムを提供する。
【解決手段】本発明に加圧システム１，１Ｂ～１Ｄは、ワークＷの加圧処理と関連処理とを実行する。加圧システムは、複数の処理のうち、いずれか１つの処理が実行される複数の実行エリアＡ２と、ワークを収容して実行エリア間を搬送されるチャンバユニット２０と、を有してなる。実行エリアは、処理が実行される順番に従って配置される。チャンバユニットは、ワークの上方に配置されて、加圧処理においてワークを上方から加圧する上加圧ユニット６Ｕとして機能する天井部２６と、ワークの下方に配置されて、加圧処理においてワークを下方から加圧する下加圧ユニット６Ｄとして機能する床部２１と、水平方向において、ワークの全周を囲むように配置されて、天井部と床部と共にワークが収容される収容室２０Ｒを区画する周壁部２７と、を備える。
【選択図】図１
【解決手段】本発明に加圧システム１，１Ｂ～１Ｄは、ワークＷの加圧処理と関連処理とを実行する。加圧システムは、複数の処理のうち、いずれか１つの処理が実行される複数の実行エリアＡ２と、ワークを収容して実行エリア間を搬送されるチャンバユニット２０と、を有してなる。実行エリアは、処理が実行される順番に従って配置される。チャンバユニットは、ワークの上方に配置されて、加圧処理においてワークを上方から加圧する上加圧ユニット６Ｕとして機能する天井部２６と、ワークの下方に配置されて、加圧処理においてワークを下方から加圧する下加圧ユニット６Ｄとして機能する床部２１と、水平方向において、ワークの全周を囲むように配置されて、天井部と床部と共にワークが収容される収容室２０Ｒを区画する周壁部２７と、を備える。
【選択図】図１
【特許請求の範囲】
【請求項1】
ワークの加圧処理と、前記加圧処理に関連する関連処理と、を実行する加圧システムであって、
前記加圧処理と前記関連処理とを含む複数の処理のうち、いずれか１つの前記処理が実行される複数の実行エリアと、
前記ワークを収容して、複数の前記実行エリア間を搬送されるチャンバユニットと、
を有してなり、
複数の前記実行エリアは、前記処理が実行される順番に従って配置されて、
前記チャンバユニットは、
前記ワークの上方に配置されて、前記加圧処理において、前記ワークを上方から加圧する上加圧ユニットとして機能する天井部と、
前記ワークの下方に配置されて、前記加圧処理において、前記ワークを下方から加圧する下加圧ユニットとして機能する床部と、
水平方向において、前記ワークの全周を囲むように配置されて、前記天井部と前記床部と共に前記ワークが収容される収容室を区画する周壁部と、
を備える、
加圧システム。
前記加圧処理と前記関連処理とを含む複数の処理のうち、いずれか１つの前記処理が実行される複数の実行エリアと、
前記ワークを収容して、複数の前記実行エリア間を搬送されるチャンバユニットと、
を有してなり、
複数の前記実行エリアは、前記処理が実行される順番に従って配置されて、
前記チャンバユニットは、
前記ワークの上方に配置されて、前記加圧処理において、前記ワークを上方から加圧する上加圧ユニットとして機能する天井部と、
前記ワークの下方に配置されて、前記加圧処理において、前記ワークを下方から加圧する下加圧ユニットとして機能する床部と、
水平方向において、前記ワークの全周を囲むように配置されて、前記天井部と前記床部と共に前記ワークが収容される収容室を区画する周壁部と、
を備える、
加圧システム。
【請求項2】
前記チャンバユニットは、前記実行エリアにおける上部空間を通過して、前記実行エリア間を搬送される、
請求項１に記載の加圧システム。
請求項１に記載の加圧システム。
【請求項3】
前記天井部は、前記床部に対して、上下方向に相対的に移動可能である、
請求項１に記載の加圧システム。
請求項１に記載の加圧システム。
【請求項4】
前記天井部は、
前記加圧処理において、前記ワークの表面の形状に追従して変形する柔軟層を備える加圧パッド、
を備えて、
前記チャンバユニットは、
前記加圧パッドの上方に配置されて、前記加圧処理において、前記加圧パッドを下方へ向けて押圧することにより前記上加圧ユニットとして機能する上型、
を備える、
請求項３に記載の加圧システム。
前記加圧処理において、前記ワークの表面の形状に追従して変形する柔軟層を備える加圧パッド、
を備えて、
前記チャンバユニットは、
前記加圧パッドの上方に配置されて、前記加圧処理において、前記加圧パッドを下方へ向けて押圧することにより前記上加圧ユニットとして機能する上型、
を備える、
請求項３に記載の加圧システム。
【請求項5】
前記加圧処理が実行される加圧エリアに配置されて、前記加圧処理を実行する加圧装置、
を有してなり、
前記実行エリアは、
前記加圧エリア、
を含み、
前記加圧装置は、
前記加圧処理において、前記チャンバユニットの下方から上昇することにより前記床部に当接して、前記下加圧ユニットとして機能する押圧ユニット、
を備える、
請求項１に記載の加圧システム。
を有してなり、
前記実行エリアは、
前記加圧エリア、
を含み、
前記加圧装置は、
前記加圧処理において、前記チャンバユニットの下方から上昇することにより前記床部に当接して、前記下加圧ユニットとして機能する押圧ユニット、
を備える、
請求項１に記載の加圧システム。
【請求項6】
前記収容室の雰囲気は、前記収容室の内部圧力が前記チャンバユニットの外部空間の外部圧力よりも低い減圧雰囲気であり、
前記床部は、前記周壁部の下方に配置されて、前記内部圧力と前記外部圧力との圧力差により前記周壁部に取り付けられる、
請求項１に記載の加圧システム。
前記床部は、前記周壁部の下方に配置されて、前記内部圧力と前記外部圧力との圧力差により前記周壁部に取り付けられる、
請求項１に記載の加圧システム。
【請求項7】
前記収容室の雰囲気は、前記収容室の内部圧力が前記チャンバユニットの外部空間の外部圧力と同じになるようにガスが充填されるガス雰囲気であり、
前記チャンバユニットは、
前記床部を前記周壁部に固定する固定部材、
を備える、
請求項１に記載の加圧システム。
前記チャンバユニットは、
前記床部を前記周壁部に固定する固定部材、
を備える、
請求項１に記載の加圧システム。
【請求項8】
前記床部は、前記周壁部に対して着脱可能であり、
複数の前記実行エリアは、
前記ワークが載置された前記床部が前記周壁部に取り付けられることにより、前記ワークが前記チャンバユニットに収容される収容処理が前記関連処理として実行される収容エリアと、
加圧された前記ワークが載置された前記床部が前記周壁部から取り外されることにより、前記ワークが前記チャンバユニットから取り出される取出処理が前記関連処理として実行される取出エリアと、
を含み、
前記床部は、前記ワークを前記収容エリアに搬入して、加圧された前記ワークを前記取出エリアから搬出する、搬送パレットとして機能する、
請求項１に記載の加圧システム。
複数の前記実行エリアは、
前記ワークが載置された前記床部が前記周壁部に取り付けられることにより、前記ワークが前記チャンバユニットに収容される収容処理が前記関連処理として実行される収容エリアと、
加圧された前記ワークが載置された前記床部が前記周壁部から取り外されることにより、前記ワークが前記チャンバユニットから取り出される取出処理が前記関連処理として実行される取出エリアと、
を含み、
前記床部は、前記ワークを前記収容エリアに搬入して、加圧された前記ワークを前記取出エリアから搬出する、搬送パレットとして機能する、
請求項１に記載の加圧システム。
【請求項9】
前記収容エリアと前記取出エリアとの間に配置されて、前記床部が取り外された前記チャンバユニットのメンテナンス処理が実行されるメンテナンスエリア、
を有してなる、
請求項８に記載の加圧システム。
を有してなる、
請求項８に記載の加圧システム。
【請求項10】
前記加圧処理が実行される加圧エリアに配置されて、前記ワークを加熱する加熱ユニットと、
前記ワークを予備加熱する予備加熱ユニット、および／または、加圧後の前記ワークを冷却する冷却ユニットと、
を有してなり、
複数の前記実行エリアは、
前記予備加熱ユニットが配置されて、前記ワークの予備加熱処理が前記関連処理として実行される予備加熱エリア、および／または、前記冷却ユニットが配置されて、加圧後の前記ワークの冷却処理が前記関連処理として実行される冷却エリア、
を含み、
前記予備加熱エリアにおいて、前記予備加熱処理が実行されるとき、前記予備加熱ユニットは、前記チャンバユニットの下方から上昇することにより前記床部に当接して、および／または、
前記冷却エリアにおいて、前記冷却処理が実行されるとき、前記冷却ユニットは、前記チャンバユニットの下方から上昇することにより前記床部に当接する、
請求項１に記載の加圧システム。
前記ワークを予備加熱する予備加熱ユニット、および／または、加圧後の前記ワークを冷却する冷却ユニットと、
を有してなり、
複数の前記実行エリアは、
前記予備加熱ユニットが配置されて、前記ワークの予備加熱処理が前記関連処理として実行される予備加熱エリア、および／または、前記冷却ユニットが配置されて、加圧後の前記ワークの冷却処理が前記関連処理として実行される冷却エリア、
を含み、
前記予備加熱エリアにおいて、前記予備加熱処理が実行されるとき、前記予備加熱ユニットは、前記チャンバユニットの下方から上昇することにより前記床部に当接して、および／または、
前記冷却エリアにおいて、前記冷却処理が実行されるとき、前記冷却ユニットは、前記チャンバユニットの下方から上昇することにより前記床部に当接する、
請求項１に記載の加圧システム。
【請求項11】
複数の前記チャンバユニット、
を有してなり、
複数の前記チャンバユニットの数は、複数の前記実行エリアの数以下である、
請求項１乃至１０のいずれか１項に記載の加圧システム。
を有してなり、
複数の前記チャンバユニットの数は、複数の前記実行エリアの数以下である、
請求項１乃至１０のいずれか１項に記載の加圧システム。
【請求項12】
複数の前記実行エリアは、前記処理が実行される順番に従って環状に配置されて、
複数の前記チャンバユニットそれぞれは、複数の前記実行エリア間を周回搬送される、
請求項１１に記載の加圧システム。
複数の前記チャンバユニットそれぞれは、複数の前記実行エリア間を周回搬送される、
請求項１１に記載の加圧システム。
【請求項13】
前記チャンバユニットの移動方向における前記チャンバユニットの向きが常に同じになるように、前記移動方向を転換させる転換機構、
を有してなり、
複数の前記実行エリアは、
前記転換機構が配置される転換エリア、
を含む、
請求項１２に記載の加圧システム。
を有してなり、
複数の前記実行エリアは、
前記転換機構が配置される転換エリア、
を含む、
請求項１２に記載の加圧システム。
【請求項14】
真空ポンプと、
前記真空ポンプに接続される減圧系配管と、
不活性ガスの供給系統の配管に接続されるガス系配管と、
複数の前記実行エリアのうち、２つ以上の前記実行エリアそれぞれに配置されて、前記減圧系配管と前記ガス系配管とに接続される複数の固定コネクタと、
を有してなり、
前記チャンバユニットは、
前記固定コネクタに着脱可能な移動コネクタと、
前記収容室と前記移動コネクタとを連通させる連通路と、
を備えて、
前記固定コネクタが配置されている前記実行エリアに前記チャンバユニットが位置しているとき、前記移動コネクタは前記固定コネクタに接続されて、前記収容室は前記減圧系配管または前記ガス系配管に連通可能であり、
前記チャンバユニットが搬送されているとき、前記収容室は密閉される、
請求項６または７のいずれかに記載の加圧システム。
前記真空ポンプに接続される減圧系配管と、
不活性ガスの供給系統の配管に接続されるガス系配管と、
複数の前記実行エリアのうち、２つ以上の前記実行エリアそれぞれに配置されて、前記減圧系配管と前記ガス系配管とに接続される複数の固定コネクタと、
を有してなり、
前記チャンバユニットは、
前記固定コネクタに着脱可能な移動コネクタと、
前記収容室と前記移動コネクタとを連通させる連通路と、
を備えて、
前記固定コネクタが配置されている前記実行エリアに前記チャンバユニットが位置しているとき、前記移動コネクタは前記固定コネクタに接続されて、前記収容室は前記減圧系配管または前記ガス系配管に連通可能であり、
前記チャンバユニットが搬送されているとき、前記収容室は密閉される、
請求項６または７のいずれかに記載の加圧システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、加圧システムに関する。
【背景技術】
【0002】
従来から、被加圧物（例えば、電子部品など）を加圧するために、加圧装置が用いられている。例えば、特許文献１に開示された加圧装置は、上加圧ユニットおよび下加圧ユニットを備えて、上加圧ユニットおよび下加圧ユニットにより被加圧物を挟持・加圧すると共に、下加圧ユニットが備える熱ユニットにより被加圧物を加熱する。同加圧装置では、被加圧物の加圧および加熱が完了した後は、加圧状態のまま被加工物は冷却されて、被加圧物は冷却後に取り出される。同加圧装置では、１つの熱ユニットにより被加圧物が加熱および冷却される。そのため、熱ユニットによる加熱と冷却の切り替えに時間が必要となり、加圧処理ごとの処理時間が長期化していた。
【0003】
特許文献２に開示された加圧装置では、下加圧ユニットは、予め加熱されている加熱ユニット、および、予め冷却されている冷却ユニットを備える。加熱ユニットおよび冷却ユニットは、被加圧物を保持した上加圧ユニットに対して移動可能に構成されていて、加圧処理の進行状況に応じて、適宜切り替えられる。そのため、下加圧ユニットによる加熱と冷却の切り替え時間が短縮されて、処理時間も短縮される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0004】
【特許文献1】特開２００７－８９６号公報
【特許文献2】特開２０１７－１９９８１２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0005】
しかしながら、特許文献１，２に開示された加圧装置では、被加圧物に対する各処理（加熱・加圧・冷却）が実行されている間、被加圧物は、上加圧ユニットと下加圧ユニットとに挟持されている。そのため、各処理が開始されてから終了するまでの間、同加圧装置は処理中の被加圧物のみに対応する専用機となる。その結果、加圧処理中は、次の加圧処理用の被加圧物は加圧装置にセットできない。すなわち、加圧処理と次の加圧処理との間に長い時間が必要となる。
【0006】
ここで、加圧処理の前処理として被加圧物に予備加熱処理を実行することにより、処理時間の短縮が見込まれる。また、加圧処理から冷却処理を分離して、加圧処理の後処理として被加圧物に冷却処理を実行することによっても、処理時間の短縮が見込まれる。このように、加圧処理に関連する処理（以下「関連処理」という。）が加圧装置で実行可能となることにより、加圧装置における処理時間が短縮されると共に、加圧処理間の時間も短縮可能となる。しかしながら、同加圧装置において、関連処理の実行は容易ではない。また、仮に、関連処理が実行できたとしても、同加圧装置では被加圧物は加圧処理中のみ密封されるため、関連処理中の被加圧物は大気に曝されてしまい、被加圧物が酸化し得る。そのため、関連処理用のチャンバ、および、同チャンバ内を満たす大量の不活性ガス（例えば、窒素ガス）が必要となる。
【0007】
本発明は、加圧処理間の時間が短縮可能で、加圧処理の関連処理が実行可能な加圧システムを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【0008】
本発明の一実施態様における加圧システムは、ワークの加圧処理と、前記加圧処理に関連する関連処理と、を実行する加圧システムであって、前記加圧処理と前記関連処理とを含む複数の処理のうち、いずれか１つの前記処理が実行される複数の実行エリアと、前記ワークを収容して、複数の前記実行エリア間を搬送されるチャンバユニットと、を有してなり、複数の前記実行エリアは、前記処理が実行される順番に従って配置されて、前記チャンバユニットは、前記ワークの上方に配置されて、前記加圧処理において、前記ワークを上方から加圧する上加圧ユニットとして機能する天井部と、前記ワークの下方に配置されて、前記加圧処理において、前記ワークを下方から加圧する下加圧ユニットとして機能する床部と、水平方向において、前記ワークの全周を囲むように配置されて、前記天井部と前記床部と共に前記ワークが収容される収容室を区画する周壁部と、を備える。
【発明の効果】
【0009】
本発明によれば、加圧処理間の時間が短縮可能で、加圧処理の関連処理が実行可能な加圧システムを提供できる。
【図面の簡単な説明】
【0010】
【図1】本発明に係る加圧システムの実施の形態を示す模式斜視図である。
【図20】複数の図５のチャンバユニットの位置を時系列順に示す模式平面図であり、（ａ）は時刻「Ｔ１」における位置を示していて、（ｂ）は時刻「Ｔ２」における位置を示していて、（ｃ）は時刻「Ｔ３」における位置を示していて、（ｄ）は時刻「Ｔ４」における位置を示していて、（ｅ）は時刻「Ｔ５」における位置を示していて、（ｆ）は時刻「Ｔ６」における位置を示している。
【図21】第１変形例におけるチャンバユニットの模式断面図である。
【図22】（ａ）は第２変形例に係る加圧システムの模式平面図であり、（ｂ）は第３変形例に係る加圧システムの模式平面図であり、（ｃ）は第４変形例に係る加圧システムの模式平面図である。
【発明を実施するための形態】
【0011】
本発明に係る加圧システム（以下「本システム」という。）の実施の形態が、以下に説明される。以下の説明において、各図面は、適宜参照される。各図面において、同一の部材および要素については同一の符号が付されて、重複する説明は省略される。また、各要素の寸法比率は、説明の便宜上、誇張されている場合が有り、各図面に示されている比率に限定されない。
【0012】
以下の説明および図面において、特に断りがない限り、空間において相互に直交する３軸をそれぞれＸ軸、Ｙ軸、およびＺ軸としたとき、「Ｘ軸方向」はＸ軸に沿う方向であり、例えば、左右方向である。「Ｙ軸方向」は、Ｙ軸に沿う方向であり、例えば、前後方向である。「Ｚ軸方向」は、Ｚ軸に沿う方向であり、上下方向である。また、「＋Ｘ軸方向」は左方であり、「－Ｘ軸方向」は右方であり、「＋Ｙ軸方向」は前方であり、「－Ｙ軸方向」は後方であり、「＋Ｚ軸方向」は上方であり、「－Ｚ軸方向」は下方である。以下の説明において、上下方向を除く方向の特定には、主に、Ｘ軸方向（＋Ｘ軸方向、－Ｘ軸方向）およびＹ軸方向（＋Ｙ軸方向、－Ｙ軸方向）が用いられる。
【0013】
本発明では、加圧装置に対して加圧処理に関連する処理（以下「関連処理」という。）を実行する機能が追加されて、加圧処理を含む複数の処理を実行する本システムが構成されている。また、加圧処理においてワークを加圧する上加圧ユニットの一部、および、下加圧ユニットの一部により、ワークが収容されているチャンバユニットが形成されている。チャンバユニットは本システム内に配置されている複数の実行エリア間を移動して、ワークに対して各実行エリアに対応する処理が実行される。その結果、本発明は、チャンバユニットを移動させることにより、ワークに対する複数の関連処理を実行可能である。また、本発明は、加圧処理の実行後にチャンバユニットを移動させることにより、加圧処理間の時間を短縮可能である。各用語の説明および各要素の具体的な構成は、後述される。
【0014】
「加圧処理」は、ワークに対して上下方向から圧力を加えて、ワークに所定の加工（例えば、圧縮、圧接、シンタリング接合など）を実行する処理である。加圧処理は、加圧のみが実行される処理、および加圧および加熱が実行される処理を含む。
【0015】
「ワーク」は、本システムにおいて加圧される対象（すなわち、被加圧物）であり、例えば、シート状の基材（セラミックグリーンシートなど）、電子部品、回路などが搭載されている基板、などである。
【0016】
「関連処理」は、本システムにおいて加圧処理に関連する処理であり、加圧処理の実行のためにワークに対して必要な前処理（例えば、チャンバユニットの組立、チャンバユニットへのワークの収容、ワークの予備加熱など）、および加圧処理の実行後にワークに対して必要な後処理（例えば、ワークの冷却、チャンバユニットからのワークの取り出しなど）を含む。本実施の形態において、関連処理は、加圧処理の前処理として収容処理および予備加熱処理を含み、加圧処理の後処理として一次冷却処理、二次冷却処理、および取出処理を含む。また、チャンバユニットの状態は加圧処理の正否に関連するため、チャンバユニット（後述される、上側ユニット）のメンテナンス処理も関連処理に含まれるものとする。
【0017】
●加圧システム●
●加圧システムの構成
図１は、本システム１の実施の形態を示す模式斜視図である。
図２は、本システム１の機能ブロック図である。
図１では、後述される各エリアの境界が、太い一点鎖線により示されている。
●加圧システムの構成
図１は、本システム１の実施の形態を示す模式斜視図である。
図２は、本システム１の機能ブロック図である。
図１では、後述される各エリアの境界が、太い一点鎖線により示されている。
【0018】
本システム１は、ワークＷに対して、加圧処理および関連処理を実行する。本システム１は、筐体２、制御装置３、収容装置４、予備加熱装置５、加圧装置６、一次冷却装置７、取出装置８、搬送装置９、雰囲気調整装置１０、搬入装置１１、搬出装置１２、および複数（本実施の形態では５個）のチャンバユニット２０を有してなる。
【0019】
筐体２は、制御装置３、収容装置４、予備加熱装置５、加圧装置６、一次冷却装置７、取出装置８、搬送装置９、雰囲気調整装置１０、搬入装置１１、搬出装置１２、およびチャンバユニット２０を収容する。平面視において、筐体２の形状は、Ｘ軸方向およびＹ軸方向（以下「ＸＹ軸方向」という。）に沿う矩形状であり、中空の直方体状である。筐体２は、水平な床面に配置されている。以下の説明において、「水平方向」は、床面に対して平行な方向であり、ＸＹ軸方向に平行な方向である。また、水平方向は、完全な水平だけでなく、床面の僅かな傾斜、および本システム１を構成している各部品の製造公差および組立公差による誤差（僅かな傾斜）を含む。
【0020】
上方視において、筐体２の内部の空間は、搬入エリアＡ１、複数の実行エリアＡ２、および搬出エリアＡ３に区分されている。換言すれば、本システム１は、搬入エリアＡ１、複数の実行エリアＡ２、および搬出エリアＡ３を有してなる。本明細書において、搬入エリアＡ１、複数の実行エリアＡ２、および搬出エリアＡ３が特に区別されないとき、これらは単に「エリア」と称呼される。
【0021】
「搬入エリアＡ１」は、実行エリアＡ２に向けてワークＷが搬入される搬入処理が実行されるエリアである。
【0022】
「実行エリアＡ２」は、加圧処理および関連処理のいずれか１つの処理が実行されるエリアである。実行エリアＡ２は、加圧処理および関連処理それぞれに対応する複数の実行エリアＡ２１～Ａ２６を含む。
【0023】
「実行エリアＡ２１」は収容処理が実行されるエリアであり、本発明における収容エリアの一例である。「実行エリアＡ２２」は予備加熱処理が実行されるエリアであり、本発明における予備加熱エリアの一例である。「実行エリアＡ２３」は加圧処理が実行されるエリアであり、本発明における加圧エリアの一例である。「実行エリアＡ２４」は一次冷却処理が実行されるエリアであり、本発明における冷却エリアの一例である。「実行エリアＡ２５」は二次冷却処理および取出処理が実行されるエリアであり、本発明における冷却エリアおよび取出エリアの一例である。「実行エリアＡ２６」はメンテナンス処理が実行されるエリアであり、本発明におけるメンテナンスエリアの一例である。
【0024】
「搬出エリアＡ３」は、加圧処理が実行された後のワークＷが実行エリアから搬出される搬出処理が実行されるエリアである。
【0025】
上方視において、実行エリアＡ２は、搬入エリアＡ１と搬出エリアＡ３との間に配置されている。各実行エリアＡ２１～Ａ２６は、ワークＷおよび後述される上側ユニット２２（図５参照。以下同じ。）に対する各処理が実行される順番に応じて、上方視における時計回り方向に矩形環状に配置されている。具体的には、実行エリアＡ２１は搬入エリアＡ１の＋Ｘ軸方向側に隣接して配置されていて、実行エリアＡ２２は実行エリアＡ２１の＋Ｙ軸方向側に隣接して配置されていて、実行エリアＡ２３は実行エリアＡ２２の＋Ｘ軸方向側に隣接して配置されていて、実行エリアＡ２４は実行エリアＡ２３の＋Ｘ軸方向側に隣接して配置されていて、実行エリアＡ２５は実行エリアＡ２４の－Ｙ軸方向側に隣接して配置されていて、実行エリアＡ２６は実行エリアＡ２５の－Ｘ軸方向側および実行エリアＡ２１の＋Ｘ軸方向側に隣接して配置されていて、搬出エリアＡ３は実行エリアＡ２５の＋Ｘ軸方向側に隣接して配置されている。すなわち、Ｘ軸方向において、実行エリアＡ２３は実行エリアＡ２２，Ａ２４間に配置されていて、実行エリアＡ２６は実行エリアＡ２１，Ａ２５間に配置されている。
【0026】
制御装置３は、本システム１全体の動作を制御する。制御装置３は、例えば、ＣＰＵ（Central Processing Unit）３ａなどのプロセッサ、ＣＰＵ３ａの作業領域として機能するＲＡＭ（Random Access Memory）３ｂなどの揮発性メモリ、および、制御プログラムなどの各種情報を記憶するＲＯＭ（Read Only Memory）３ｃなどの不揮発性メモリ、を備える。
【0027】
図３は、各実行エリアＡ２１～Ａ２６に配置されている各装置の主要な構成を示す模式断面図である。
同図は、各実行エリアＡ２１～Ａ２６に配置されている後述されるレール部材Ｒ１～Ｒ１６が向けられている方向（Ｘ軸方向またはＹ軸方向）視における各装置の模式断面図を示している。
同図は、各実行エリアＡ２１～Ａ２６に配置されている後述されるレール部材Ｒ１～Ｒ１６が向けられている方向（Ｘ軸方向またはＹ軸方向）視における各装置の模式断面図を示している。
【0028】
収容装置４は、ワークＷが載置されている載置台２１を、上側ユニット２２に取り付けることにより、チャンバユニット２０を組み立てると共に、ワークＷをチャンバユニット２０に収容する。収容装置４は、テーブル４０および昇降装置４１を備える。収容装置４は、実行エリアＡ２１に配置されている。載置台２１および上側ユニット２２の詳細は、後述される。
【0029】
テーブル４０は、載置台２１が載置される台である。テーブル４０の形状は、例えば、上方視においてＸ軸方向およびＹ軸方向（以下「ＸＹ軸方向」という。）に沿う矩形状であり、板状である。テーブル４０の上面４０ａは、水平方向に平行な平面状である。
【0030】
昇降装置４１は、テーブル４０を昇降させる。昇降装置４１は、例えば、公知のシリンダである。
【0031】
予備加熱装置５は、チャンバユニット２０に収容されているワークＷを後述される予備加熱温度まで加熱する。予備加熱装置５は、テーブル５０、予備加熱ユニット５１、および昇降装置５３を備える。予備加熱装置５は、実行エリアＡ２２に配置されている。
【0032】
テーブル５０は、予備加熱ユニット５１が載置される台である。テーブル５０の形状は、例えば、上方視においてＸＹ軸方向に沿う矩形状であり、板状である。
【0033】
予備加熱ユニット５１は、テーブル５０の上方に配置されていて、テーブル５０に取り付けられている。予備加熱ユニット５１は、本体部５１ａ、断熱部材５１ｂ、および複数のヒータＨ１を備える。本体部５１ａは、ヒータＨ１を保護する。本体部５１ａは、例えば、高い熱伝導性を有する金属（例えば、銅合金）製である。本体部５１ａの形状は、例えば、上方視においてＸＹ軸方向に沿う矩形状であり、直方体状である。断熱部材５１ｂは、本体部５１ａの周囲（水平方向の全周および下方向。以下同じ。）を覆い、ヒータＨ１の熱の周囲への漏れを抑制している。ヒータＨ１は、本体部５１ａの内部に配置されている。予備加熱ユニット５１の上面５１ｃは、水平方向に平行な平面状である。
【0034】
昇降装置５２は、テーブル５０および予備加熱ユニット５１を昇降させる。昇降装置５２は、例えば、公知のシリンダである。
【0035】
加圧装置６は、チャンバユニット２０に収容されているワークＷを加圧する。加圧装置６は、下ベース部材６０、熱ユニット６１、および昇降装置６２を備える。加圧装置６は、実行エリアＡ２３に配置されている。
【0036】
下ベース部材６０は、熱ユニット６１を支持する。下ベース部材６０は、例えば、高い剛性を有する金属（例えば、ステンレス鋼）製である。下ベース部材６０の形状は、例えば、上下方向視においてＸＹ軸方向に沿う矩形状であり、直方体状である。
【0037】
熱ユニット６１は、下ベース部材６０の上方に配置されていて、下ベース部材６０に取り付けられている。熱ユニット６１は、本体部６１ａ、断熱部材６１ｂ、複数のヒータＨ２、および複数の冷媒流路Ｃ１を備える。本体部６１ａは、ヒータＨ２および冷媒流路Ｃ１を保護する。本体部６１ａは、例えば、高い剛性を有する金属（例えば、炭素鋼）製である。本体部６１ａの形状は、上下方向視においてＸＹ軸方向に沿う矩形状であり、直方体状である。断熱部材６１ｂは、本体部６１ａの周囲を覆うと共に、本体部６１ａを上下に２分割するように配置されている。断熱部材６１ｂは、ヒータＨ２の熱の周囲への漏れ、および、本体部６１ａの結露を抑制している。ヒータＨ２は、ワークＷが加圧されるとき、ワークＷを加熱する。ヒータＨ２は、本体部６１ａの上半部内に配置されている。冷媒流路Ｃ１は、本体部６１ａの下半部を冷却する冷媒（不図示。以下同じ。）が流れる流路である。冷媒は、冷却装置（不図示。以下同じ。）により冷却されていて、冷媒流路Ｃ１と冷却装置との間で循環されている。冷媒流路Ｃ１は、本体部６１ａの下半部内に配置されている。熱ユニット６１は、下ベース部材６０の上に取り付けられている。熱ユニット６１は、本発明における押圧ユニットおよび加熱ユニットの一例である。熱ユニット６１の上面６１ｃは、水平方向に平行な平面状である。
【0038】
昇降装置６２は、下ベース部材６０および熱ユニット６１を昇降させる。昇降装置６２は、例えば、公知の油圧シリンダである。
【0039】
一次冷却装置７は、チャンバユニット２０に収容されている加熱後のワークＷを冷却する。一次冷却装置７は、テーブル７０、一次冷却ユニット７１、および昇降装置７２を備える。一次冷却装置７は、実行エリアＡ２４に配置されている。
【0040】
テーブル７０は、一次冷却ユニット７１が載置される台である。テーブル７０の形状は、例えば、上方視においてＸＹ軸方向に沿う矩形状であり、板状である。
【0041】
一次冷却ユニット７１は、テーブル７０の上方に配置されていて、テーブル７０に取り付けられている。一次冷却ユニット７１は、本体部７１ａ、断熱部材７１ｂ、および複数の冷媒流路Ｃ２を備える。本体部７１ａは、冷媒流路Ｃ２を保護する。本体部７１ａは、例えば、高い熱伝導性を有する金属（例えば、銅合金）製である。本体部７１ａの形状は、例えば、上方視においてＸＹ軸方向に沿う矩形状であり、直方体状である。断熱部材７１ｂは、本体部７１ａの周囲を覆い、本体部７１ａの結露を抑制している。冷媒流路Ｃ２は、冷媒が流れる流路である。冷媒は、冷却装置により冷却されていて、冷媒流路Ｃ２と冷却装置との間で循環されている。一次冷却ユニット７１の上面７１ｃは、水平方向に平行な平面状である。一次冷却ユニット７１は、本発明における冷却ユニットの一例である。
【0042】
昇降装置７２は、テーブル７０および一次冷却ユニット７１を昇降させる。昇降装置７２は、例えば、公知のシリンダである。
【0043】
取出装置８は、チャンバユニット２０に収容されているワークＷを冷却すると共に、ワークＷをチャンバユニット２０から取り出す。取出装置８は、テーブル８０、二次冷却ユニット８１、および昇降装置８２を備える。取出装置８は、実行エリアＡ２５に配置されている。
【0044】
テーブル８０は、二次冷却ユニット８１が載置される台である。テーブル８０の形状は、例えば、上方視においてＸＹ軸方向に沿う矩形状であり、板状である。
【0045】
二次冷却ユニット８１は、テーブル８０の上方に配置されていて、テーブル８０に取り付けられている。二次冷却ユニット８１は、本体部８１ａ、断熱部材８２ｂ、および複数の冷媒流路Ｃ３を備える。本体部８１ａは、冷媒流路Ｃ３を保護する。本体部８１ａは、例えば、高い熱伝導性を有する金属（例えば、銅合金）製である。本体部８１ａの形状は、例えば、上方視においてＸＹ軸方向に沿う矩形状であり、直方体状である。断熱部材８１ｂは、本体部８１ａの周囲を覆い、本体部８１ａの結露を抑制している。冷媒流路Ｃ３は、冷媒が流れる流路である。冷媒は、冷却装置により冷却されていて、冷媒流路Ｃ３と冷却装置との間で循環されている。二次冷却ユニット８１の上面８１ｃは、水平方向に平行な平面状である。二次冷却ユニット８１は、本発明における冷却ユニットの一例である。
【0046】
昇降装置８２は、テーブル８０および二次冷却ユニット８１を昇降させる。昇降装置８２は、例えば、公知のシリンダである。
【0047】
図４は、本システム１の模式平面図である。
同図では、説明の便宜上、主に搬送装置９、搬入装置１１、および搬出装置１２が示されている。また、同図では、後述されるベース部材Ｂ１～Ｂ８が半透明な状態で示されていて、チャンバユニット２０が二点鎖線で示されている。以下の説明では、図１～図３も適宜参照される。
同図では、説明の便宜上、主に搬送装置９、搬入装置１１、および搬出装置１２が示されている。また、同図では、後述されるベース部材Ｂ１～Ｂ８が半透明な状態で示されていて、チャンバユニット２０が二点鎖線で示されている。以下の説明では、図１～図３も適宜参照される。
【0048】
搬送装置９は、チャンバユニット２０および上側ユニット２２を搬送する。搬送装置９は、複数（本実施の形態では、１６個）のレール部材Ｒ１，Ｒ２，Ｒ３，Ｒ４，Ｒ５，Ｒ６，Ｒ７，Ｒ８，Ｒ９，Ｒ１０，Ｒ１１，Ｒ１２，Ｒ１３，Ｒ１４，Ｒ１５，Ｒ１６、複数（本実施形態では、８個）のベース部材Ｂ１，Ｂ２，Ｂ３，Ｂ４，Ｂ５，Ｂ６，Ｂ７，Ｂ８、複数のローラＲｏ、駆動装置９０、および４個の回転機構９１，９２，９３，９４を備える。回転機構９１～９４は、本発明における転換機構の一例である。
【0049】
レール部材Ｒ１～Ｒ１６は、チャンバユニット２０が水平方向（Ｘ軸方向またはＹ軸方向）に移動可能となるように、チャンバユニット２０を支持する。レール部材Ｒ１～Ｒ１６の形状は、例えば、Ｘ軸方向またはＹ軸方向に沿う長尺状である。また、レール部材Ｒ１～Ｒ１６の下端部は短手方向の一方側に突出していて、レール部材Ｒ１～Ｒ１６の長手方向視において、レール部材Ｒ１～Ｒ１６の形状は「Ｌ字」状である。レール部材Ｒ１～Ｒ１６は、重量物であるチャンバユニット２０を支持可能な強度を有するように設計されている。以下の説明において、レール部材Ｒ１～Ｒ１６が特に区別されないとき、レール部材Ｒ１～Ｒ１６は単に「レール部材Ｒ」と称呼される。また、レール部材Ｒの長手方向がＸ軸方向に沿っているときレール部材ＲはＸ軸方向に向けられているものとして、同長手方向がＹ軸方向に沿っているときレール部材ＲはＹ軸方向に向けられているものとする。
【0050】
ベース部材Ｂ１～Ｂ８は、対応するレール部材Ｒ１～Ｒ１６を支持する。ベース部材Ｂ１～Ｂ８の形状は、上方視においてＸＹ軸方向に沿う矩形状であり、直方体状である。レール部材Ｒ１～Ｒ１６は、対応するベース部材Ｂ１～Ｂ８の４辺のうち、平行な２辺それぞれの下面に、突出部同士が対向するように取り付けられている。
【0051】
ベース部材Ｂ１は、レール部材Ｒ１，Ｒ２を支持している。ベース部材Ｂ１は、実行エリアＡ２１におけるテーブル４０の上方、すなわち、実行エリアＡ２１における上部空間に配置されている。ベース部材Ｂ１は、回転機構９１を介して、筐体２の天井（不図示。以下同じ。）に取り付けられている。
【0052】
ベース部材Ｂ２は、レール部材Ｒ３，Ｒ４を支持している。ベース部材Ｂ２は、実行エリアＡ２２における予備加熱ユニット５１の上方、すなわち、実行エリアＡ２２における上部空間に配置されている。ベース部材Ｂ２は、回転機構９２を介して、筐体２の天井に取り付けられている。
【0053】
ベース部材Ｂ３は、レール部材Ｒ５，Ｒ６を支持している。ベース部材Ｂ３は、実行エリアＡ２４における一次冷却ユニット７１の上方、すなわち、実行エリアＡ２４における上部空間に配置されている。ベース部材Ｂ３は、回転機構９３を介して、筐体２の天井に取り付けられている。
【0054】
ベース部材Ｂ４は、レール部材Ｒ７，Ｒ８を支持している。ベース部材Ｂ４は、実行エリアＡ２５における二次冷却ユニット８１の上方、すなわち、実行エリアＡ２５における上部空間に配置されている。ベース部材Ｂ４は、回転機構９４を介して、筐体２の天井に取り付けられている。
【0055】
ベース部材Ｂ５は、レール部材Ｒ９，Ｒ１０を支持している。ベース部材Ｂ５は、実行エリアＡ２１，Ａ２２において、ベース部材Ｂ１，Ｂ２の間に配置されている。すなわち、ベース部材Ｂ５は、実行エリアＡ２１，Ａ２２における上部空間に配置されている。ベース部材Ｂ５は、筐体２の天井に取り付けられている。
【0056】
ベース部材Ｂ６は、レール部材Ｒ１１，Ｒ１２を支持している。ベース部材Ｂ６は、実行エリアＡ２３における熱ユニット６１の上方、すなわち、実行エリアＡ２３における上部空間に配置されている。ベース部材Ｂ６は、筐体２の天井に取り付けられている。後述のとおり、ベース部材Ｂ６には加圧処理において所定の加圧力が加えられるため、ベース部材Ｂ６は同加圧力に耐え得る強度を有するように設計されている。ベース部材Ｂ６は、加圧処理において、上側ユニット２２の一部と共に上加圧ユニット６Ｕ（図１３参照。以下同じ。）を構成している。
【0057】
ベース部材Ｂ７は、レール部材Ｒ１３，Ｒ１４を支持している。ベース部材Ｂ７は、実行エリアＡ２４，Ａ２５において、ベース部材Ｂ３，Ｂ４の間に配置されている。すなわち、ベース部材Ｂ７は、実行エリアＡ２４，Ａ２５における上部空間に配置されている。ベース部材Ｂ７は、筐体２の天井に取り付けられている。
【0058】
ベース部材Ｂ８は、レール部材Ｒ１５，Ｒ１６を支持している。ベース部材Ｂ８は、実行エリアＡ２６において、ベース部材Ｂ１，Ｂ４の間に配置されている。すなわち、ベース部材Ｂ８は、実行エリアＡ２６における上部空間に配置されている。ベース部材Ｂ８は、筐体２の天井に取り付けられている。
【0059】
駆動装置９０は、チャンバユニット２０を搬送するための動力を生成して、ローラＲｏに伝達する。駆動装置９０は、例えば、１つ以上の動力源（例えば、モータ）、および複数の動力伝達機構（例えば、ギアやボールねじなど）を備える。
【0060】
回転機構９１～９４は、対応するベース部材Ｂ１～Ｂ４を回転させる。回転機構９１～９４は、例えば、モータおよび複数のギアを備えて、Ｚ軸を回転軸として回転可能に構成されている。
【0061】
回転機構９１は、筐体２の天井とベース部材Ｂ１との間に配置されている。回転機構９１は、レール部材Ｒ１，Ｒ２の向きがＸ軸方向またはＹ軸方向のいずれか一方に向けられるように、ベース部材Ｂ１を回転させる。換言すれば、回転機構９１は、レール部材Ｒ１，Ｒ２に案内されるチャンバユニット２０の移動方向をＸ軸方向とＹ軸方向との間で転換させる。
【0062】
回転機構９２は、筐体２の天井とベース部材Ｂ１と２間に配置されている。回転機構９２は、レール部材Ｒ３，Ｒ４の向きがＸ軸方向またはＹ軸方向のいずれか一方に向けられるように、ベース部材Ｂ２を回転させる。換言すれば、回転機構９２は、レール部材Ｒ３，Ｒ４に案内されるチャンバユニット２０の移動方向をＸ軸方向とＹ軸方向との間で転換させる。
【0063】
回転機構９３は、筐体２の天井とベース部材Ｂ３との間に配置されている。回転機構９３は、レール部材Ｒ５，Ｒ６の向きがＸ軸方向またはＹ軸方向のいずれか一方に向けられるように、ベース部材Ｂ３を回転させる。換言すれば、回転機構９３は、レール部材Ｒ５，Ｒ６に案内されるチャンバユニット２０の移動方向をＸ軸方向とＹ軸方向との間で転換させる。
【0064】
回転機構９４は、筐体２の天井とベース部材Ｂ４との間に配置されている。回転機構９４は、レール部材Ｒ７，Ｒ８の向きがＸ軸方向またはＹ軸方向のいずれか一方に向けられるように、ベース部材Ｂ４を回転させる。換言すれば、回転機構９４は、レール部材Ｒ７，Ｒ８に案内されるチャンバユニット２０の移動方向をＸ軸方向とＹ軸方向との間で転換させる。
【0065】
このように、ベース部材Ｂ１～Ｂ４は、Ｚ軸を回転軸として回転可能な回転ベース部材である。一方、ベース部材Ｂ５～Ｂ８は、回転不可能な固定ベース部材である。
【0066】
なお、本発明において、搬送装置９の構成は、チャンバユニット２０および上側ユニット２２を各実行エリアＡ２１～Ａ２６間に搬送可能であればよく、本実施の形態に限定されない。
【0067】
雰囲気調整装置１０は、後述される収容室２０Ｒの雰囲気を調整する。雰囲気調整装置１０は、真空ポンプＰ、減圧系配管Ｌｐ、ガス系配管Ｌｇ、複数（本実施の形態では５つ）の弁Ｖ１，Ｖ２，Ｖ３，Ｖ４，Ｖ５および複数（本実施の形態では５つ）の固定コネクタＣｓ１，Ｃｓ２，Ｃｓ３，Ｃｓ４，Ｃｓ５を備える。雰囲気調整装置１０は、収容室２０Ｒの雰囲気を減圧雰囲気（真空雰囲気）または不活性ガス雰囲気へと調整可能に構成されている。
【0068】
真空ポンプＰは、収容室２０Ｒ内の雰囲気を減圧雰囲気（真空雰囲気）に調整する。真空ポンプＰは、公知の真空ポンプである。真空ポンプＰは、減圧系配管Ｌｐ、弁Ｖ１～Ｖ５を介して固定コネクタＣｓ１～Ｃｓ５に接続されている。
【0069】
減圧系配管Ｌｐは、真空ポンプＰに接続される配管である。ガス系配管Ｌｇは、不活性ガス（例えば、窒素ガス）の供給配管（不図示。以下同じ。）に接続される配管である。減圧系配管Ｌｐおよびガス系配管Ｌｇは複数（本実施の形態では、少なくとも５つ）の枝管に分岐していて、各枝管は対応する弁Ｖ１～Ｖ５を介して対応する固定コネクタＣｓ１～Ｃｓ５に接続されている。弁Ｖ１～Ｖ５は、固定コネクタＣｓ１～Ｃｓ５に対する減圧系配管Ｌｐおよびガス系配管Ｌｇの接続を切り替える公知の電磁弁である。
【0070】
固定コネクタＣｓ１～Ｃｓ５は、後述される移動コネクタＣｐが接続される配管用のジョイントである。固定コネクタＣｓ１～Ｃｓ５は、例えば、公知のチェッキ弁付きカプラのソケットである。固定コネクタＣｓ１は実行エリアＡ２１に配置されていて、固定コネクタＣｓ２は実行エリアＡ２２に配置されていて、固定コネクタＣｓ３は実行エリアＡ２３に配置されていて、固定コネクタＣｓ４は実行エリアＡ２４に配置されていて、固定コネクタＣｓ５は実行エリアＡ２５に配置されている。固定コネクタＣｓ１～Ｃｓ５は、移動コネクタＣｐとの接続が解除されたとき、減圧雰囲気下であっても閉じるように構成されている。
【0071】
なお、本発明において、固定コネクタＣｓ１～Ｃｓ５は、チャンバユニット２０の搬送に伴う移動コネクタＣｐからの衝撃を吸収・緩和する機構（例えば、フローティング機構）などを介して、実行エリアＡ２１～Ａ２５に配置されていてもよい。また、固定コネクタＣｓ１～Ｃｓ５は、チャンバユニット２０の搬送終了後に、移動コネクタＣｐに向けて進退可能に実行エリアＡ２１～Ａ２５に配置されていてもよい。
【0072】
搬入装置１１は、ワークＷが載置されている載置台２１を実行エリアＡ２１の収容装置４（テーブル４０）に搬入する。搬入装置１１は、例えば、スライドレール、およびスライドレールを動作させるモータを備える。
【0073】
搬出装置１２は、加圧されたワークＷが載置されている載置台２１を実行エリアＡ２５の取出装置８（二次冷却ユニット８１）から搬出する。搬出装置１２は、例えば、スライドレール、およびスライドレールを動作させるモータを備える。
【0074】
●チャンバユニットの構成
図５は、チャンバユニット２０の模式断面図である。
図５は、チャンバユニット２０の模式断面図である。
【0075】
チャンバユニット２０は、ワークＷを収容して、各実行エリアＡ２１～Ａ２５間を搬送される。チャンバユニット２０は、載置台２１、上側ユニット２２、および収容室２０Ｒを備える。
【0076】
載置台２１は、ワークＷを搬送すると共に、収容室２０Ｒを区画する。後述のとおり、載置台２１は、ワークＷの搬送プレートとして機能すると共に、ワークＷが加圧されるとき下加圧ユニット６Ｄ（図１３参照。以下同じ。）として機能する。載置台２１は、例えば、高い熱伝導性を有する金属（例えば、銅合金）製である。載置台２１の形状は、上方視においてＸＹ軸方向に沿う矩形状であり、板状である。載置台２１は、後述される本システム１の動作において加えられる力に耐えられる程度の強度を有すると共に、ワークＷの加熱／冷却時の載置台２１の熱容量が比較的小さくなるような厚みを有する。載置台２１の上面２１ａおよび下面２１ｂの形状は、水平方向に平行な平面状である。載置台２１は、上側ユニット２２（サイド部材２７）に対して着脱可能に構成されている。
【0077】
上側ユニット２２は、ワークＷを上方から覆う。上側ユニット２２は、ベース部材２３、上型２４、枠部材２５、加圧パッド２６、サイド部材２７、第１ばね部材２８、第２ばね部材２９、２つのシール部材３０，３１、および移動コネクタＣｐを備える。後述のとおり、ベース部材２３、上型２４、および加圧パッド２６は、ワークＷが加圧されるとき上加圧ユニット６Ｕとして機能する。
【0078】
ベース部材２３は、上型２４、第１ばね部材２８、および第２ばね部材２９を支持する。ベース部材２３は、例えば、高い剛性を有する金属（例えば、ステンレス鋼）製である。ベース部材２３の形状は、上方視においてＸＹ軸方向に沿う矩形状であり、上下方向に扁平な直方体状である。
【0079】
上型２４は、加圧パッド２６を介して、上方からワークＷを加圧する。上型２４は、例えば、高い剛性を有する金属（例えば、ステンレス鋼）製である。上型２４は、ベース部材２３の下方に配置されていて、ベース部材２３の下面２３ａに取り付けられている。上型２４の形状は、下方視においてベース部材２３よりも小さくＸＹ軸方向に沿う矩形状であり、直方体状である。上型２４の下面２４ａは、水平方向に平行な平面状である。
【0080】
なお、本発明において、上型２４は、ベース部材２３と一体に成型されていてもよい。
【0081】
枠部材２５は、加圧パッド２６を保持する。枠部材２５は、例えば、高い剛性を有する金属（例えば、ステンレス鋼）製である。下方視において、枠部材２５の形状は、ＸＹ軸方向に沿う矩形状であり、枠状である。すなわち、下方視において、枠部材２５の中央には、矩形状の内部空間が形成されている。水平方向において、枠部材２５は、上型２４を囲むように配置されている。すなわち、内部空間には、上型２４が配置されている。上下方向において、枠部材２５の下端部２５ａは、上型２４の下面２４ａよりも下方に位置している。枠部材２５は、第１ばね部材２８を介して、上型２４に対して上下方向に相対移動可能に、ベース部材２３に支持されている。枠部材２５は、枠部材２５の外周面２５ｂを一周するように形成されている溝部２５ｃを備える。
【0082】
加圧パッド２６は、ワークＷが加圧されるとき、ワークＷの表面の形状に追従するように変形して、ワークＷを均等に加圧すると共に、収容室２０Ｒを区画する。加圧パッド２６は、枠部材２５の下端部２５ａに保持されていて、上型２４の下方に配置されている。加圧パッド２６は、柔軟層２６ａおよび断熱層２６ｂを備える。
【0083】
柔軟層２６ａは、ワークＷが加圧されるとき、上型２４からの圧力をワークＷへ均等に伝達する。柔軟層２６ａは、例えば、公知の高い流動性および低い反発弾性率を有する弾性体材料製である。柔軟層２６ａは、例えば、柔軟層２６ａの上下に配置されている２枚の膜部材（不図示。以下同じ。）の間に充填されている。膜部材の外縁部が全周に亘って枠部材２５の下端部２５ａに保持されることにより、水平方向において、柔軟層２６ａは、枠部材２５の下端部２５ａに囲まれている。
【0084】
断熱層２６ｂは、ワークＷが加圧されるとき、上型２４からの圧力をワークＷへ均等に伝達すると共に、熱ユニット６１からの熱の柔軟層２６ａへの伝達を抑制する。断熱層２６ｂは、例えば、公知の高い柔軟性および低い熱伝導性を有する繊維素材製である。断熱層２６ｂは、柔軟層２６ａの下方に、柔軟層２６ａに隣接して配置されている。断熱層２６ｂは、例えば、断熱層２６ｂの上下に配置されている２枚の膜部材（不図示。以下同じ。）の間に充填されている。膜部材の外縁部が全周に亘って枠部材２５の下端部２５ａに保持されることにより、水平方向において、断熱層２６ｂは、枠部材２５の下端部２５ａに囲まれている。
【0085】
なお、本発明において、後述される本加熱の温度が柔軟層２６ａの耐熱温度よりも低いとき、加圧パッド２６は、断熱層２６ｂを備えていなくてもよい。
【0086】
サイド部材２７は、収容室２０Ｒを区画する。サイド部材２７は、例えば、高い剛性を有する金属（例えば、ステンレス鋼）製である。下方視において、サイド部材２７の形状は、ＸＹ軸方向に沿う矩形状であり、枠状である。すなわち、下方視において、サイド部材２７の中央には、矩形状の内部空間が形成されている。水平方向において、サイド部材２７は、枠部材２５を囲むように配置されている。すなわち、内部空間には、枠部材２５（上型２４、加圧パッド２６）が配置されている。サイド部材２７は、第２ばね部材２９を介して、上型２４および枠部材２５に対して上下方向に相対移動可能に、ベース部材２３に支持されている。サイド部材２７は、サイド部材２７の下面２７ａに形成されている溝部２７ｂ、および、サイド部材２７の内面および外面に開口している貫通孔２７ｃを備える。貫通孔２７ｃは、本発明における連通路の一例である。
【0087】
第１ばね部材２８は、枠部材２５を上型２４に対して上下方向に相対移動可能に支持する。第１ばね部材２８は、ベース部材２３と枠部材２５との間に配置されていて、ベース部材２３の下面２３ａおよび枠部材２５の上面２５ｄに取り付けられている。
【0088】
第２ばね部材２９は、サイド部材２７を上型２４および枠部材２５に対して上下方向に相対移動可能に支持する。第２ばね部材２９は、ベース部材２３とサイド部材２７との間に配置されていて、ベース部材２３の下面２３ａおよびサイド部材２７の上面２７ｄに取り付けられている。
【0089】
シール部材３０，３１は、枠部材２５とサイド部材２７との間、および載置台２１とサイド部材２７との間を気密に封止する。シール部材３０，３１は、例えば、公知のＯ－リングである。シール部材３０は溝部２５ｃに配置されていて、枠部材２５とサイド部材２７とに当接している。シール部材３１は溝部２７ｂに配置されていて、載置台２１とサイド部材２７とに当接している。
【0090】
移動コネクタＣｐは、固定コネクタＣｓ１～Ｃｓ５に接続される配管用のジョイントである。移動コネクタＣｐは、例えば、公知のチェッキ弁付きカプラのプラグである。移動コネクタＣｐは、貫通孔２７ｃに連通するように、例えば、サイド部材２７の外面に取り付けられている。移動コネクタＣｐは、固定コネクタＣｓ１～Ｃｓ５に着脱可能に構成されている。移動コネクタＣｐのチェッキ弁は、固定コネクタＣｓ１～Ｃｓ５との接続が解除されたとき、収容室Ｒ２０が減圧雰囲気であっても閉じるように構成されている。
【0091】
収容室２０Ｒは、チャンバユニット２０内に形成されているワークＷが収容される空間である。収容室２０Ｒは、載置台２１、枠部材２５、加圧パッド２６、サイド部材２７、およびシール部材３０，３１により区画される密閉空間である。収容室２０Ｒは、貫通孔２７ｃを介して、移動コネクタＣｐに連通している。載置台２１は収容室２０Ｒを区画する床部として機能していて、加圧パッド２６は収容室２０Ｒを区画する天井部として機能していて、サイド部材２７は収容室２０Ｒを区画する周壁部として機能している。すなわち、載置台２１は本発明における床部の一例であり、加圧パッド２６は本発明における天井部の一例であり、サイド部材２７は本発明における周壁部の一例である。
【0092】
このように構成されるチャンバユニット２０は、搬送装置９により実行エリアＡ２１～Ａ２５間を搬送される。このとき、ベース部材２３の外周縁部はレール部材Ｒ１～Ｒ１６に載置されて、ローラＲｏがベース部材２３の外周面２３ｂに当接している。ローラＲｏが回転することにより、ベース部材２３がレール部材Ｒ１～Ｒ１６上を摺動して、チャンバユニット２０は、搬送される。前述のとおり、ベース部材Ｂ１～Ｂ８は筐体２の天井に取り付けられているため、チャンバユニット２０は、実行エリアＡ２１～Ａ２５における上部空間を通過して、実行エリアＡ２１～Ａ２５間を搬送される（移動する）。
【0093】
【0094】
図６は、本システム１の動作の一例を示すフローチャートである。
同図は、１つのワークＷに対する本システム１の動作を示している。
同図は、１つのワークＷに対する本システム１の動作を示している。
【0095】
先ず、ワークＷが準備される（ＳＴ１）。ワークＷは、例えば、ロボットアームなどの装置や本システム１の使用者により、対応する載置台２１の上に載置される。複数の載置台２１は、例えば、カセットなどの収容器（不図示。以下同じ。）に収容されていて、１つの載置台２１が収容器から搬入装置１１に搬送される。このとき、ワークＷの上には、貼付防止シート（不図示。以下同じ。）が被せられる。貼付防止シートは、加熱処理後のワークＷの加圧パッド２６への貼り付きを防止するシートである。貼付防止シートは、例えば、後述される本加熱の温度に対する耐熱性を有する合成樹脂（例えば、ＰＴＦＥ（polytetrafluoroethylene））製のシートである。
【0096】
図７は、載置台２１が収容装置４に搬入された状態を示す模式断面図である。
同図は、レール部材Ｒ１，Ｒ２が向けられている方向視における実行エリアＡ２１内の各装置の模式断面を示している。また、同図は、雰囲気調整装置１０の一部も示している。後述される図８および図９も同様である。
同図は、レール部材Ｒ１，Ｒ２が向けられている方向視における実行エリアＡ２１内の各装置の模式断面を示している。また、同図は、雰囲気調整装置１０の一部も示している。後述される図８および図９も同様である。
【0097】
次いで、制御装置３は、搬入装置１１の動作を制御して、ワークＷが載置されている載置台２１を搬入エリアＡ１から実行エリアＡ２１へ搬入させる（ＳＴ２）。具体的には、搬入装置１１は、ワークＷが載置されている載置台２１をテーブル４０の上に搬入する。このとき、載置台２１は、ワークＷを実行エリアＡ２１に搬送（搬入）する搬送パレットとして機能している。上側ユニット２２は、Ｘ軸方向に向けられたレール部材Ｒ１，Ｒ２に支持されていて、載置台２１（テーブル４０）の上方に配置されている。移動コネクタＣｐは、固定コネクタＣｓ１に接続されている。上下方向において、サイド部材２７の下端部２７ｅは、第２ばね部材２９の弾性力により、加圧パッド２６よりも下方に位置している。
【0098】
【0099】
次いで、制御装置３は収容装置４および雰囲気調整装置１０の動作を制御して、ワークＷをチャンバユニット２０に収容する（ＳＴ３）。すなわち、収容処理が実行される。
【0100】
「収容処理」は、チャンバユニット２０が組み立てられて、ワークＷがチャンバユニット２０に収容される処理である。加圧処理はチャンバユニット２０に収容されているワークＷに対して実行されるため、収容処理は加圧処理の準備をする処理、すなわち、加圧処理の前処理である。
【0101】
具体的には、昇降装置４１は、ワークＷが載置されている載置台２１が上側ユニット２２（シール部材３１）に密着するまで、テーブル４０を上昇させる。このとき、載置台２１と上側ユニット２２との間には収容室２０Ｒが形成されていて、ワークＷは収容室２０Ｒに収容されている。次いで、雰囲気調整装置１０は、真空ポンプＰおよび弁Ｖ１を動作させて、収容室２０Ｒ内の雰囲気を不活性ガスで置換した後に、収容室２０Ｒ内の雰囲気を減圧雰囲気にする。このとき、真空圧（収容室２０Ｒとチャンバユニット２０の外部空間との圧力差）により、載置台２１がサイド部材２７に密着して（取り付けられて）、第２ばね部材２９が収縮して載置台２１およびサイド部材２７が上昇する。すなわち、上下方向において、枠部材２５および加圧パッド２６は、載置台２１（ワークＷ）に接近する。換言すれば、枠部材２５および加圧パッド２６は、載置台２１に対して相対的に下降する。そして、最終的に、加圧パッド２６がワークＷに接触して、ワークＷは真空圧に応じた加圧力により予備加圧される。また、枠部材２５は、載置台２１に当接している。予備加圧により、加圧パッド２６がワークＷの表面の形状に応じて変形して、ワークＷは載置台２１および加圧パッド２６に保持される。ここで、予備加圧においてワークＷに加えられる加圧力は、加圧処理においてワークＷに加えられる加圧力よりも十分に小さい。次いで、昇降装置４１は、テーブル４０を下降させる。このように、実行エリアＡ２１において、載置台２１が上側ユニット２２に取り付けられることにより、チャンバユニット２０が組み立てられて、ワークＷがチャンバユニット２０に収容される（収容処理が実行される）。チャンバユニット２０が組み立てられたとき、載置台２１はワークＷの下方に配置されていて、加圧パッド２６はワークＷの上方に配置されていて、水平方向においてサイド部材２７はワークＷの全周を取り囲むように配置されている。
【0102】
次いで、制御装置３は搬送装置９の動作を制御して、チャンバユニット２０を実行エリアＡ２１から実行エリアＡ２２に移動させる（ＳＴ４）。具体的には、回転機構９１は、ベース部材Ｂ１を上方視において時計回り方向に９０°回転させる。このとき、レール部材Ｒ１，Ｒ２の向きは、Ｘ軸方向からＹ軸方向に転換される。すなわち、チャンバユニット２０の移動方向は、Ｘ軸方向からＹ軸方向に転換される。つまり、実行エリアＡ２１は、本発明における転換エリアとしても機能している。次いで、レール部材Ｒ１～Ｒ４，Ｒ９，Ｒ１０に対応するローラＲｏが回転することにより、チャンバユニット２０は、レール部材Ｒ９，Ｒ１０を介して、実行エリアＡ２２に搬送される。このとき、レール部材Ｒ３，Ｒ４の向きは、Ｙ軸方向に向けられている。次いで、回転機構９２は、ベース部材Ｂ２を上方視において時計回り方向に９０°回転させる。このとき、レール部材Ｒ３，Ｒ４の向きは、Ｙ軸方向からＸ軸方向に転換される。すなわち、チャンバユニット２０の移動方向は、Ｙ軸方向からＸ軸方向に転換される。つまり、実行エリアＡ２２は、本発明における転換エリアとしても機能している。次いで、回転機構９１は、ベース部材Ｂ１を上方視において反時計回り方向に９０°回転させる。
【0103】
チャンバユニット２０が実行エリアＡ２１から移動するとき、移動コネクタＣｐと固定コネクタＣｓ１との接続は、解除される。このとき、移動コネクタＣｐのチェッキ弁が閉じることにより、収容室２０Ｒは密閉されていて、収容室２０Ｒの減圧雰囲気は維持される。
【0104】
図１０は、予備加熱処理が実行される実行エリアＡ２２にチャンバユニット２０が搬送された状態を示す模式断面図である。
図１１は、予備加熱処理が実行されているチャンバユニット２０を示す模式断面図である。
これらの図は、レール部材Ｒ３，Ｒ４が向けられている方向視における実行エリアＡ２２内の各装置の模式断面を示している。また、これらの図は、雰囲気調整装置１０の一部も示している。
図１１は、予備加熱処理が実行されているチャンバユニット２０を示す模式断面図である。
これらの図は、レール部材Ｒ３，Ｒ４が向けられている方向視における実行エリアＡ２２内の各装置の模式断面を示している。また、これらの図は、雰囲気調整装置１０の一部も示している。
【0105】
次いで、制御装置３は予備加熱装置５の動作を制御して、ワークＷに予備加熱処理を実行する（ＳＴ５）。
【0106】
「予備加熱処理」は、加圧処理の前に予めワークＷを所定の予備加熱温度まで加熱する処理である。予備加熱処理は、加圧処理におけるワークＷの加熱時間を短縮するために、加圧処理の前に実行される前処理である。予備加熱温度は、後述される本加熱温度よりも低い温度（例えば、約２００℃）である。
【0107】
具体的には、昇降装置５２は、予備加熱ユニット５１の上面５１ｃがチャンバユニット２０（載置台２１の下面２１ｂ）に当接するまで、テーブル５０および予備加熱ユニット５１を上昇させる。次いで、昇降装置５２は、予備加熱ユニット５１が載置台２１に当接している状態を所定時間維持する。ここで、予備加熱ユニット５１は、予め既定の予備加熱温度まで加熱されている。そのため、予備加熱ユニット５１からの熱は、載置台２１を介して、ワークＷに伝達される。所定時間の経過後、昇降装置５２は、テーブル５０を降下させて、予備加熱処理を終了させる。
【0108】
ここで、チャンバユニット２０が実行エリアＡ２２に位置しているとき、移動コネクタＣｐは、固定コネクタＣｓ２に接続されている。そして、雰囲気調整装置１０は、真空ポンプＰおよび弁Ｖ２を動作させて、実行エリアＡ２２において収容室２０Ｒの雰囲気を減圧雰囲気に維持している。
【0109】
次いで、制御装置３は搬送装置９の動作を制御して、チャンバユニット２０を実行エリアＡ２２から実行エリアＡ２３に移動させる（ＳＴ６）。具体的には、レール部材Ｒ３，Ｒ４，Ｒ１１，Ｒ１２に対応するローラＲｏが回転することにより、チャンバユニット２０は、実行エリアＡ２３に搬送される。次いで、回転機構９２は、ベース部材Ｂ２を上方視において反時計回り方向に９０°回転させる。
【0110】
チャンバユニット２０が実行エリアＡ２２から移動するとき、移動コネクタＣｐと固定コネクタＣｓ２との接続は、解除される。このとき、移動コネクタＣｐのチェッキ弁が閉じることにより、収容室２０Ｒは密閉されていて、収容室２０Ｒの減圧雰囲気は維持される。
【0111】
図１２は、加圧処理が実行される実行エリアＡ２３にチャンバユニット２０が搬送された状態を示す模式断面図である。
図１３は、加圧処理が実行されているチャンバユニット２０を示す模式断面図である。
これらの図は、レール部材Ｒ１１，Ｒ１２が向けられている方向視における実行エリアＡ２３内の各装置の模式断面を示している。また、これらの図は、雰囲気調整装置１０の一部も示している。
図１３は、加圧処理が実行されているチャンバユニット２０を示す模式断面図である。
これらの図は、レール部材Ｒ１１，Ｒ１２が向けられている方向視における実行エリアＡ２３内の各装置の模式断面を示している。また、これらの図は、雰囲気調整装置１０の一部も示している。
【0112】
次いで、制御装置３は、加圧装置６の動作を制御して、ワークＷに加圧処理を実行する（ＳＴ７）。
【0113】
具体的には、昇降装置６２は、熱ユニット６１の上面６１ｃがチャンバユニット２０（載置台２１の下面２１ｂ）に当接するまで、下ベース部材６０および熱ユニット６１を上昇させる。ついで、昇降装置６２は、ワークＷに所定の加圧力（以下「本加圧力」という。）が加えられるまで、下ベース部材６０および熱ユニット６１を上昇させる。このとき、載置台２１は枠部材２５およびサイド部材２７と共に上昇して、上型２４が枠部材２５およびサイド部材２７に対して相対的に下降する。そのため、上型２４は、加圧パッド２６を下方へ向けて押圧して、加圧パッド２６はワークＷの表面の形状に追従するように変形して、ワークＷを均等に加圧する。その結果、ワークＷは下方から載置台２１に押圧されて、上方から加圧パッド２６（上型２４）に押圧される。
【0114】
ワークＷが加圧されるとき、ベース部材２３は、昇降装置６２によりレール部材Ｒ１１，Ｒ１２から持ち上げられて、ベース部材Ｂ６に当接する。すなわち、ベース部材Ｂ６はチャンバユニット２０の上方への移動を規制して、チャンバユニット２０は熱ユニット６１およびベース部材Ｂ６により挟圧される。このとき、ベース部材Ｂ６および下ベース部材６０は、昇降装置６２による本加圧力を受ける、いわゆるボルスタとして機能している。その結果、ワークＷには本加圧力が加えられると共に、ワークＷに加えられる本加圧力は安定する。このように、ベース部材２３単独では無く、２つのベース部材２３，Ｂ６が加圧処理における本加圧力を受けることにより、ベース部材２３の厚みは、ベース部材２３単独で本加圧力を受ける場合と比較して薄くなるように設計できる。そのため、チャンバユニット２０および上側ユニット２２の重量は軽くでき、これらの搬送に必要な動力は抑えられる。また、レール部材Ｒ１１，Ｒ１２に本加圧力が加えられないため、レール部材Ｒ１１，Ｒ１２には本加圧力に基づく負荷は加えられない。
【0115】
次いで、昇降装置６２は、ワークＷに本加圧力が加えられている状態を所定時間維持する。ここで、熱ユニット６１の上半部は、予め既定の加熱温度（以下「本加圧温度」という。例えば、約３００℃）まで加熱されている。そのため、熱ユニット６１からの熱は、載置台２１を介して、ワークＷに伝達される。このとき、熱ユニット６１からの熱は、枠部材２５およびワークＷを介して、加圧パッド２６にも伝達される。前述のとおり、柔軟層２６ａの下方には断熱層２６ｂが配置されているため、熱ユニット６１からの熱は断熱層２６ｂにより柔軟層２６ａへは伝達され難い。すなわち、柔軟層２６ａは、断熱層２６ｂにより、熱的に保護されている。所定時間の経過後、昇降装置６２は、下ベース部材６０および熱ユニット６１を降下させて、加圧処理を終了させる。このとき、チャンバユニット２０は、レール部材Ｒ１１，Ｒ１２に支持されている。
【0116】
ここで、チャンバユニット２０が実行エリアＡ２３に位置しているとき、移動コネクタＣｐは、固定コネクタＣｓ３に接続されている。そして、雰囲気調整装置１０は、真空ポンプＰおよび弁Ｖ３を動作させて、実行エリアＡ２３における収容室２０Ｒの雰囲気を減圧雰囲気に維持している。そのため、加圧処理中のワークＷは、外気に曝されず、酸化しない。
【0117】
このように、加圧処理において、チャンバユニット２０のうち、ベース部材２３、上型２４、および加圧パッド２６は、ベース部材Ｂ６と共にワークＷを上方から加圧する上加圧ユニット６Ｕとして機能している。また、チャンバユニット２０のうち、載置台２１は、下ベース部材６０および熱ユニット６１と共にワークＷを下方から加圧する下加圧ユニット６Ｄとして機能している。
【0118】
次いで、制御装置３は搬送装置９の動作を制御して、チャンバユニット２０を実行エリアＡ２３から実行エリアＡ２４に移動させる（ＳＴ８）。具体的には、レール部材Ｒ５，Ｒ６，Ｒ１１，Ｒ１２に対応するローラＲｏが回転することにより、チャンバユニット２０は、実行エリアＡ２４に搬送される。このとき、レール部材Ｒ５，Ｒ６の向きは、Ｘ軸方向に向けられている。次いで、回転機構９３は、ベース部材Ｂ３を上方視において時計回り方向に９０°回転させる。このとき、レール部材Ｒ５，Ｒ６の向きは、Ｘ軸方向からＹ軸方向に転換される。すなわち、チャンバユニット２０の移動方向は、Ｘ軸方向からＹ軸方向に転換される。つまり、実行エリアＡ２４は、本発明における転換エリアとしても機能している。
【0119】
チャンバユニット２０が実行エリアＡ２３から移動するとき、移動コネクタＣｐと固定コネクタＣｓ３との接続は、解除される。このとき、移動コネクタＣｐのチェッキ弁が閉じることにより、収容室２０Ｒは密閉されていて、収容室２０Ｒの減圧雰囲気は維持される。
【0120】
図１４は、一次冷却処理が実行される実行エリアＡ２４にチャンバユニット２０が搬送された状態を示す模式断面図である。
図１５は、一次冷却処理が実行されているチャンバユニット２０を示す模式断面図である。
これらの図は、レール部材Ｒ５，Ｒ６が向けられている方向視における実行エリアＡ２４内の各装置の模式断面を示している。また、これらの図は、雰囲気調整装置１０の一部も示している。
図１５は、一次冷却処理が実行されているチャンバユニット２０を示す模式断面図である。
これらの図は、レール部材Ｒ５，Ｒ６が向けられている方向視における実行エリアＡ２４内の各装置の模式断面を示している。また、これらの図は、雰囲気調整装置１０の一部も示している。
【0121】
次いで、制御装置３は一次冷却装置７の動作を制御して、加圧処理後のワークＷに一次冷却処理を実行する（ＳＴ９）。
【0122】
「一次冷却処理」は、加圧処理後のワークＷを所定の温度（例えば、約１００℃）まで冷却する処理である。一次冷却処理は、加圧処理後におけるワークＷを冷却するために加熱処理の後に実行される加圧処理の後処理である。加圧処理では、ワークＷだけでなく、チャンバユニット２０（載置台２１、枠部材２５、およびサイド部材２７）も加熱されている。これらの熱容量は比較的大きいため、ワークＷの冷却には時間が掛かる。特に、温度の低下速度は、所定の温度（例えば、約１００℃）を境に減速する。そこで、本システム１では、冷却時間を短縮するために、ワークＷの冷却処理は、所定の温度を基準として一次冷却処理および二次冷却処理の２段階に分けて実行される。
【0123】
具体的には、昇降装置７２は、一次冷却ユニット７１の上面７１ｃがチャンバユニット２０（載置台２１の下面２１ｂ）に当接するまで、テーブル７０および一次冷却ユニット７１を上昇させる。次いで、昇降装置７２は、一次冷却ユニット７１が載置台２１に当接している状態を所定時間維持する。ここで、一次冷却ユニット７１は、予め既定の一次冷却温度（例えば、約２０℃）まで冷却されている。そのため、ワークＷは、載置台２１を介して、一次冷却ユニット７１により所定の温度（例えば、約１００℃）前後まで冷却される。所定時間の経過後、昇降装置７２は、テーブル７０を降下させて、一次冷却処理を終了させる。
【0124】
ここで、チャンバユニット２０が実行エリアＡ２４に位置しているとき、移動コネクタＣｐは、固定コネクタＣｓ４に接続されている。そして、雰囲気調整装置１０は、真空ポンプＰおよび弁Ｖ４を動作させて、一次冷却処理中の収容室２０Ｒ内の雰囲気を減圧雰囲気に維持している。そのため、一次冷却処理中のワークＷは、外気に曝されず、酸化しない。
【0125】
次いで、制御装置３は搬送装置９の動作を制御して、チャンバユニット２０を実行エリアＡ２４から実行エリアＡ２５に移動させる（ＳＴ１０）。具体的には、レール部材Ｒ５～Ｒ８，Ｒ１３，Ｒ１４に対応するローラＲｏが回転することにより、チャンバユニット２０は、レール部材Ｒ１３，Ｒ１４を介して、実行エリアＡ２４に搬送される。このとき、レール部材Ｒ７，Ｒ８の向きは、Ｙ軸方向に向けられている。次いで、回転機構９４は、ベース部材Ｂ４を上方視において時計回り方向に９０°回転させる。このとき、レール部材Ｒ７，Ｒ８の向きは、Ｙ軸方向からＸ軸方向に転換される。すなわち、チャンバユニット２０の移動方向は、Ｙ軸方向からＸ軸方向に転換される。つまり、実行エリアＡ２５は、本発明における転換エリアとしても機能している。次いで、回転機構９３は、ベース部材Ｂ３を上方視において反時計回り方向に９０°回転させる。
【0126】
チャンバユニット２０が実行エリアＡ２４から移動するとき、移動コネクタＣｐと固定コネクタＣｓ４との接続は、解除される。このとき、移動コネクタＣｐのチェッキ弁が閉じることにより、収容室２０Ｒは密閉されていて、収容室２０Ｒの減圧雰囲気は維持される。
【0127】
図１６は、二次冷却処理が実行される実行エリアＡ２５にチャンバユニット２０が搬送された状態を示す模式断面図である。
図１７は、二次冷却処理の終了後のチャンバユニット２０を示す模式断面図である。
これらの図は、レール部材Ｒ７，Ｒ８が向けられている方向視における実行エリアＡ２５内の各装置の模式断面を示している。また、これらの図は、雰囲気調整装置１０の一部も示している。後述される図１８も同様である。
図１７は、二次冷却処理の終了後のチャンバユニット２０を示す模式断面図である。
これらの図は、レール部材Ｒ７，Ｒ８が向けられている方向視における実行エリアＡ２５内の各装置の模式断面を示している。また、これらの図は、雰囲気調整装置１０の一部も示している。後述される図１８も同様である。
【0128】
次いで、制御装置３は取出装置８および雰囲気調整装置１０の動作を制御して、ワークＷに二次冷却処理を実行して（ＳＴ１１）、その後にワークＷの取出処理を実行する。
【0129】
「二次冷却処理」は、一次冷却処理後のワークＷを取り出し可能な温度（例えば、約６０℃以下）まで冷却する処理である。二次冷却処理は、一次冷却処理と共に加圧処理後におけるワークＷを冷却するために加熱処理の後に実行される加圧処理の後処理である。
【0130】
「取出処理」は、チャンバユニット２０の組み立てが解除されて（上側ユニット２２から載置台２１が取り外されて）、ワークＷがチャンバユニット２０から取り出される処理である。ワークＷがチャンバユニット２０から取り出されることにより、ワークＷに対する一連の処理が完了するため、取出処理は加圧処理の後処理である。
【0131】
具体的には、昇降装置８２は、二次冷却ユニット８１の上面８１ｃがチャンバユニット２０（載置台２１の下面２１ｂ）に当接するまで、テーブル８０および二次冷却ユニット８１を上昇させる。次いで、昇降装置８２は、二次冷却ユニット８１が載置台２１に当接している状態を所定時間維持する。ここで、二次冷却ユニット８１は、予め既定の二次冷却温度（例えば、約２０℃）まで冷却されている。そのため、ワークＷは、載置台２１を介して、二次冷却ユニット８１により所定の温度（例えば、約６０℃以下）まで冷却される。所定時間の経過後、一次冷却処理は終了する。
【0132】
ここで、チャンバユニット２０が実行エリアＡ２５に位置しているとき、移動コネクタＣｐは、固定コネクタＣｓ５に接続されている。そして、雰囲気調整装置１０は、真空ポンプＰおよび弁Ｖ５を動作させて、実行エリアＡ２５における収容室２０Ｒの雰囲気を減圧雰囲気に維持している。そのため、二次冷却中のワークＷは、外気に曝されず、酸化しない。
【0133】
図１８は、載置台２１が上側ユニット２２から取り外された状態を示す模式断面図である。
【0134】
次いで、雰囲気調整装置１０は、真空ポンプＰおよび弁Ｖ５を動作させて、収容室２０Ｒ内の雰囲気を不活性ガスでパージして、収容室２０Ｒ内の雰囲気を不活性ガス雰囲気（大気圧）にする。このとき、真空圧が無くなり、第２ばね部材２９が伸長して載置台２１およびサイド部材２７が下降する。すなわち、上下方向において、枠部材２５および加圧パッド２６は、載置台２１から遠ざかる。換言すれば、枠部材２５および加圧パッド２６は、載置台２１に対して相対的に上昇する。そして、載置台２１が上側ユニット２２から取り外し可能となる。次いで、昇降装置８２は、テーブル８０および二次冷却ユニット８１を降下させて、載置台２１を上側ユニット２２から取り外すと共に、ワークＷをチャンバユニット２０から取り出す（ＳＴ１２）。このように、実行エリアＡ２５において、載置台２１が上側ユニット２２から取り外されることにより、チャンバユニット２０の組み立てが解除されて、ワークＷがチャンバユニット２０から取り出される（取出処理が実行される）。
【0135】
なお、本発明において、収容室Ｒ２０のパージは、エアを用いて行われていてもよい。
【0136】
次いで、制御装置３は、搬出装置１２の動作を制御して、二次冷却処理後のワークＷが載置されている載置台２１を実行エリアＡ２５から搬出エリアＡ３へ搬出させる（ＳＴ１３）。具体的には、搬出装置１２は、ワークＷが載置されている載置台２１を二次冷却ユニット８１の上から、搬出エリアＡ３の搬出位置に搬出する。すなわち、載置台２１は、加圧後のワークＷを実行エリアＡ２５から搬出エリアＡ３に搬送（搬出）する搬送パレットとして機能している。
【0137】
次いで、制御装置３は搬送装置９の動作を制御して、上側ユニット２２（換言すれば、載置台２１が取り外されたチャンバユニット２０）を実行エリアＡ２５から実行エリアＡ２６に移動させて、次いで、実行エリアＡ２６から実行エリアＡ２１へ移動させる（ＳＴ１４）。具体的には、レール部材Ｒ７，Ｒ８，Ｒ１５，Ｒ１６に対応するローラＲｏが回転することにより、上側ユニット２２は、実行エリアＡ２６に搬送される。次いで、回転機構９４は、ベース部材Ｂ４を上方視において反時計回り方向に９０°回転させる。
【0138】
図１９は、メンテナンス処理が実行可能な実行エリアＡ２６に上側ユニット２２が搬送された状態を示す模式断面図である。
同図は、レール部材Ｒ１５，Ｒ１６が向けられている方向視における実行エリアＡ２６内の各装置の模式断面図を示している。
同図は、レール部材Ｒ１５，Ｒ１６が向けられている方向視における実行エリアＡ２６内の各装置の模式断面図を示している。
【0139】
「メンテナンス処理」は、例えば、本システム１の使用者により、上側ユニット２２（換言すれば、載置台２１が取り外されたチャンバユニット２０）のメンテナンス（例えば、加圧パッド２６やシール部材３０，３１の状態の確認、加圧パッド２６の交換など）が実行される処理である。メンテナンス処理は、直接的には加圧処理に関連しないが、間接的には加圧処理に関連している。したがって、本実施の形態において、メンテナンス処理は、関連処理の一例であるものとする。
【0140】
前述のとおり、実行エリアＡ２６には、他の実行エリアＡ２１～Ａ２５のように昇降装置４１，５２，６２，７２，８２が配置されていない。すなわち、上側ユニット２２が実行エリアＡ２６に位置しているとき、上側ユニット２２の下方には、他の実行エリアＡ２１～Ａ２５と比べて、上側ユニット２２へのメンテナンスが可能な比較的広い空間（以下「メンテナンス空間ＭＲ」という。）が確保されている。本システム１の使用者は、必要に応じて、上側ユニット２２のメンテナンス処理を実行する。
【0141】
なお、本発明において、メンテナンス処理の一部または全部は、自動的に実行されていてもよい。すなわち、例えば、実行エリアＡ２６に上側ユニット２２を下方から撮像する撮像装置が配置されていて、その画像に基づいて、加圧パッド２６の状態が自動的に判定されていてもよい。また、例えば、実行エリアＡ２６に加圧パッド２６を交換する装置（機構）が配置されていて、加圧パッド２６が自動的に交換されていてもよい。
【0142】
次いで、レール部材Ｒ１，Ｒ２，Ｒ１５，Ｒ１６に対応するローラＲｏが回転することにより、上側ユニット２２は、実行エリアＡ２１に搬送される。このとき、レール部材Ｒ１，Ｒ２の向きは、Ｘ軸方向に向けられている。
【0143】
このように、チャンバユニット２０は実行エリアＡ２１～Ａ２５間を搬送されると共に、上側ユニット２２（載置台２１が取り外されたチャンバユニット２０）は実行エリアＡＡ２５，Ａ２６，Ａ２１間を搬送される。すなわち、上側ユニット２２は、実行エリアＡ２１～Ａ２６間を一周する。そして、実行エリアＡ２１において、上側ユニット２２には次の載置台２１が取り付けられて、次のワークＷが収容されているチャンバユニット２０が組み立てられて、再度実行エリアＡ２１～Ａ２５間を搬送される。換言すれば、本システム１では、チャンバユニット２０は、形式的には（見かけ上）実行エリアＡ２１～Ａ２５を周回搬送されている。そして、そのチャンバユニット２０の周回ごとに、１つのワークＷに対する加圧処理および関連処理が順次実行されている。この構成では、ある実行エリアＡ２１～Ａ２５において対応する処理の終了後、チャンバユニット２０は次の処理が実行される実行エリアＡ２１～Ａ２５に搬送される。そのため、以下に説明されるとおり、処理が終了した実行エリアＡ２１～Ａ２５では、別のチャンバユニット２０に対して同じ処理が実行可能となる。
【0144】
【0145】
図２０は、複数のチャンバユニット２０（一部は上側ユニット２２）の位置を時系列順に示す模式平面図であり、（ａ）は時刻「Ｔ１」における位置を示していて、（ｂ）は時刻「Ｔ２」における位置を示していて、（ｃ）は時刻「Ｔ３」における位置を示していて、（ｄ）は時刻「Ｔ４」における位置を示していて、（ｅ）は時刻「Ｔ５」における位置を示していて、（ｆ）は時刻「Ｔ６」における位置を示している。
【0146】
ここで、時系列上、時刻「Ｔ１」「Ｔ２」「Ｔ３」「Ｔ４」「Ｔ５」「Ｔ６」の順に時間が経過しているものとする。同図は、説明の便宜上、実行エリアＡ２１～Ａ２６（一点鎖線）とチャンバユニット２０（実線）のみを示している。同図の黒丸は、チャンバユニット２０（上側ユニット２２）の向きを示していて、同図のグレーの丸は収容処理直後のチャンバユニット２０の向きを示している。同図では、５つのチャンバユニット２０を区別するために、説明の便宜上、チャンバユニット２０および上側ユニット２２に（Ａ）～（Ｅ）の文字が付加されている。
【0147】
時刻「Ｔ１」において、チャンバユニット２０（Ａ）は実行エリアＡ２５に位置していて、チャンバユニット２０（Ｂ）は実行エリアＡ２４に位置していて、チャンバユニット２０（Ｃ）は実行エリアＡ２３に位置していて、チャンバユニット２０（Ｄ）は実行エリアＡ２２に位置していて、チャンバユニット２０（Ｅ）は実行エリアＡ２１に位置している。各チャンバユニット２０（Ａ～Ｅ）に収容されているワークＷには、対応する各処理が実行されている。
【0148】
時刻「Ｔ２」において、上側ユニット２２（Ａ）は実行エリアＡ２６に位置していて、チャンバユニット２０（Ｂ）は実行エリアＡ２５に位置していて、チャンバユニット２０（Ｃ）は実行エリアＡ２４に位置していて、チャンバユニット２０（Ｄ）は実行エリアＡ２３に位置していて、チャンバユニット２０（Ｅ）は実行エリアＡ２２に位置している。各チャンバユニット２０（Ｂ～Ｅ）に収容されているワークＷには、対応する各処理が実行されている。また、上側ユニット２２（Ａ）には、メンテナンス処理が実行されている。
【0149】
時刻「Ｔ３」において、チャンバユニット２０（Ａ）は実行エリアＡ２１に位置していて、上側ユニット２２（Ｂ）は実行エリアＡ２６に位置していて、チャンバユニット２０（Ｃ）は実行エリアＡ２５に位置していて、チャンバユニット２０（Ｄ）は実行エリアＡ２４に位置していて、チャンバユニット２０（Ｅ）は実行エリアＡ２３に位置している。各チャンバユニット２０（Ａ，Ｃ～Ｅ）に収容されているワークＷには、対応する各処理が実行されている。また、上側ユニット２２（Ｂ）には、メンテナンス処理が実行されている。
【0150】
時刻「Ｔ４」において、チャンバユニット２０（Ａ）は実行エリアＡ２２に位置していて、チャンバユニット２０（Ｂ）は実行エリアＡ２１に位置していて、上側ユニット２２（Ｃ）は実行エリアＡ２６に位置していて、チャンバユニット２０（Ｄ）は実行エリアＡ２５に位置していて、チャンバユニット２０（Ｅ）は実行エリアＡ２４に位置している。各チャンバユニット２０（Ａ，Ｂ，Ｄ，Ｅ）に収容されているワークＷには、対応する各処理が実行されている。また、上側ユニット２２（Ｃ）には、メンテナンス処理が実行されている。
【0151】
時刻「Ｔ５」において、チャンバユニット２０（Ａ）は実行エリアＡ２３に位置していて、チャンバユニット２０（Ｂ）は実行エリアＡ２２に位置していて、チャンバユニット２０（Ｃ）は実行エリアＡ２１に位置していて、上側ユニット２２（Ｄ）は実行エリアＡ２６に位置していて、チャンバユニット２０（Ｅ）は実行エリアＡ２５に位置している。各チャンバユニット２０（Ａ～Ｃ，Ｅ）に収容されているワークＷには、対応する各処理が実行されている。また、上側ユニット２２（Ｄ）には、メンテナンス処理が実行されている。
【0152】
時刻「Ｔ６」において、チャンバユニット２０（Ａ）は実行エリアＡ２４に位置していて、チャンバユニット２０（Ｂ）は実行エリアＡ２３に位置していて、チャンバユニット２０（Ｃ）は実行エリアＡ２２に位置していて、チャンバユニット２０（Ｄ）は実行エリアＡ２６に位置していて、上側ユニット２２（Ｅ）は実行エリアＡ２６に位置している。各チャンバユニット２０（Ａ～Ｄ）に収容されているワークＷには、対応する各処理が実行されている。また、上側ユニット２２（Ｅ）には、メンテナンス処理が実行されている。
【0153】
ここで、チャンバユニット２０（Ａ～Ｅ）の搬送は、最も処理時間が長い処理（本実施の形態では、加圧処理）の終了を基準に実行される。すなわち、例えば、チャンバユニット２０（Ａ～Ｅ）の搬送は、実行エリアＡ２４に位置しているチャンバユニット２０（Ａ～Ｅ）の実行エリアＡ２５への搬送が終了したとき、実行エリアＡ２３における加圧処理が終了するように実行される。
【0154】
また、本実施の形態では、実行エリアＡ２１～Ａ２６のうち、実行エリアＡ２１，Ａ２２，Ａ２４，Ａ２５は転換エリアとしても機能している。この構成では、実行エリアＡ２１～Ａ２６とは別に転換エリアを配置する必要がなく、実行エリアＡ２１～Ａ２６を直線上に配置しなくてもよいため、筐体２の床面積は小さくできる。転換エリアでは、レール部材Ｒ１～Ｒ８の向きは、転換エリアからチャンバユニット２０または上側ユニット２２が搬出されなければ、転換できない。したがって、搬送装置９は、全てのチャンバユニット２０および上側ユニット２２を同時に搬送できず、順繰りに搬送しなければならない。そのため、チャンバユニット２０および上側ユニット２２の総数は、実行エリアＡ２１～Ａ２６の数よりも「１」以上減じた数に設定されている。
【0155】
なお、本発明において、実行エリアＡ２１～Ａ２６が転換エリアを含まないように構成されているとき（例えば、後述される第２～第４変形例）、または、実行エリアＡ２１～Ａ２６間にチャンバユニット２０または上側ユニット２２が待機できる待機エリアが配置されているとき、チャンバユニット２０および上側ユニット２２の総数は、実行エリアＡ２１～Ａ２６の数と同じでもよい。
【0156】
このように、チャンバユニット２０（Ａ～Ｅ）は、上側ユニット２２（Ａ～Ｅ）としての実行エリアＡ２６への移動を介して、形式的には実行エリアＡ２１～Ａ２５を周回している。したがって、本システム１は、複数のチャンバユニット２０（Ａ～Ｅ）に対して異なる処理を同時並行的に実行可能である。その結果、本システム１では、あるワークＷに対する加圧処理と、その次のワークＷに対する加圧処理と、の間に必要な時間（加圧処理間の時間）は、従来の加圧装置における同時間よりも大幅に短縮される。また、本システム１では、加圧処理と同時に、加圧処理の前処理および後処理（関連処理）も実行できる。
【0157】
また、ワークＷは、減圧雰囲気の密閉された収容室２０Ｒ（チャンバユニット２０）に収容されている状態で実行エリアＡ２１～Ａ２５に搬送されて、一連の各処理（予備加熱処理、加圧処理、一次冷却処理、および二次冷却処理）を受ける。すなわち、ワークＷは、一連の各処理の間外気に曝されない。そのため、各処理において、熱および外気によるワークＷの酸化が防止されて、チャンバユニット２０の外部からの異物（例えば、埃、塵など）によるワークＷの汚染リスクは低減される。
【0158】
さらに、本システム１では、加圧処理の前処理として予備加熱処理が実行されている。そのため、本システム１における加圧処理は、予備加熱処理が実行できない従来の加圧装置における加圧処理よりも短時間で実行可能である。
【0159】
さらにまた、本システム１では、加圧処理と冷却処理とが分離されている。そのため、本システム１における加圧処理は、加圧処理と冷却処理とが分離できない従来の加圧装置における加圧処理よりも短時間で実行可能である。
【0160】
さらにまた、本システム１では、冷却処理を一次冷却処理と二次冷却処理とに分けて実行されている。そのため、本システム１では、ワークＷは効率的に冷却される。また、本システム１では、ワークＷごとの冷却時間は、冷却処理を分けることができない従来の加圧装置よりも短縮される。
【0161】
このように、本システム１では、関連処理として予備加熱処理、一次冷却処理、および二次冷却処理が実行可能である。そのため、本システム１においてワークＷの搬入から搬出までに必要な総時間は、従来の加圧装置に必要な総時間よりも短縮される。すなわち、本システム１では、複数の関連処理を実行することにより、加圧処理間の時間は、関連処理が実行不可能な従来の加圧装置における同時間よりも短縮される。
【0162】
また、チャンバユニット２０は、実行エリアＡ２１～Ａ２５間で、実行エリアＡ２１，Ａ２２，Ａ２４，Ａ２５（転換エリア）において計４回、同じ方向（本実施の形態では、上方視における時計回り方向）に９０°回転される。その結果、チャンバユニット２０の移動方向に対するチャンバユニット２０の向きは、常に同じである。この構成では、搬入エリアＡ１に位置しているときのワークＷの向きは、搬出エリアＡ３に位置しているときのワークＷの向きと同じとなる。すなわち、本システム１による処理の前後の処理において、ワークＷの向きが同じとなる。
【0163】
さらに、本システム１では、チャンバユニット２０が実行エリアＡ２１～Ａ２５に位置しているとき、移動コネクタＣｐは固定コネクタＣｓ１～Ｃｓ５に接続されていて、収容室２０Ｒは貫通孔２７ｃ、移動コネクタＣｐ、固定コネクタＣｓ１～Ｃｓ５、および弁Ｖ１～Ｖ５を介して減圧系配管Ｌｐまたはガス系配管Ｌｇに連通可能である。チャンバユニット２０が搬送されているとき、移動コネクタＣｐのチェッキ弁は閉じていて、収容室２０Ｒは密閉されている。この構成では、チャンバユニット２０の搬送中に収容室２０Ｒの真空度が低下しても、各実行エリアＡ２１～Ａ２５において収容室２０Ｒの減圧雰囲気は維持される。そのため、熱および外気によるワークＷの酸化は、防止される。
【0164】
さらにまた、本システム１では、チャンバユニット２０は、上下加圧ユニット６Ｕ，６Ｄとして機能する部材（載置台２１、ベース部材２３、上型２４、および加圧パッド２６）を備えて、各実行エリアＡ２１～Ａ２５間を搬送されている。また、同部材のうち、ベース部材２３、上型２４、および加圧パッド２６については各実行エリアＡ２１～Ａ２６間を搬送されている。すなわち、これらの部材は実行エリアＡ２３に据え付けられておらず、他の実行エリアＡ２１，Ａ２２，Ａ２４～Ａ２６へも搬送されている。そのため、他の実行エリアＡ２１，Ａ２２，Ａ２４～Ａ２６において、チャンバユニット２０および上側ユニット２２のメンテナンスが可能となり、そのメンテナンス性が向上する。
【0165】
さらにまた、本システム１では、１個（１セット）のワークＷが１個のチャンバユニット２０（収容室２０Ｒ）に収容された状態で各処理が実行されている。すなわち、１個（１セット）のワークＷに対して１個のチャンバユニット２０が紐づけられている。つまり、１個（１セット）のワークＷに対して、１セットの載置台２１および加圧パッド２６が紐づけられている。そのため、ワークＷごとに、各処理の実行時に用いられた載置台２１および加圧パッド２６の追跡が可能となる。
【0166】
さらにまた、本システム１は、上下加圧ユニット６Ｕ，６Ｄとして機能する部材を備える複数のチャンバユニット２０を備える。そのため、仮に、これらの部材に不具合が生じても、そのチャンバユニット２０を取り外す（または交換する）だけで、他のワークＷに対する各処理は、続けて実行可能である。
【0167】
さらにまた、本システム１は、実行エリアＡ２３とは別にメンテナンス処理用の実行エリアＡ２６を備える。そのため、実行エリアＡ２３において、メンテナンス（主に部材の交換）用のスペースが不要となる。したがって、実行エリアＡ２３（筐体２）の高さは低くできる。
【0168】
●まとめ
以上説明された実施の形態によれば、本システム１は、複数の実行エリアＡ２１～Ａ２６、およびチャンバユニット２０を有してなる。各実行エリアＡ２１～Ａ２６は、各処理が実行される順番に従って配置されている。チャンバユニット２０は、ワークＷを収容して各実行エリアＡ２１～Ａ２５間を搬送される。チャンバユニット２０は、載置台２１、加圧パッド２６、およびサイド部材２７を備える。載置台２１は、ワークＷの下方に配置されていて、下加圧ユニット６Ｄとして機能している。加圧パッド２６は、ワークＷの上方に配置されていて、上加圧ユニット６Ｕとして機能している。サイド部材２７は、水平方向においてワークＷの全周を囲むように配置されていて、載置台２１および加圧パッド２６と共に収容室Ｒ２０を区画している。この構成によれば、処理が終了した実行エリアＡ２１～Ａ２５では、別のチャンバユニット２０に対して同じ処理が実行可能となる。すなわち、本システム１では、加圧処理間の時間は短縮される。また、本システム１では、載置台２１が下加圧ユニット６Ｄとして機能していて、加圧パッド２６が上加圧ユニット６Ｕとして機能している。そのため、チャンバユニット２０（収容室２０Ｒ）に収容されているワークＷに対して加圧処理が実行可能である。さらに、加圧処理が実行される実行エリアＡ２３に上下加圧ユニット６Ｕ，６Ｄとして機能しているチャンバユニット２０が据え付けられておらず、他の実行エリアＡ２１，Ａ２２，Ａ２４～Ａ２６に搬送されている。そのため、本システム１では、加圧パッド２６のメンテナンス性が向上する。さらにまた、本システム１では、ワークＷごとに、各処理の実行時に用いられた載置台２１および加圧パッド２６の追跡が可能となる。さらにまた、本システム１では、チャンバユニット２０が各実行エリアＡ２１～Ａ２５間を搬送されることにより、複数の関連処理が実行可能である。さらにまた、チャンバユニット２０の外部からの異物（例えば、埃、塵など）によるワークＷの汚染リスクは、低減される。
以上説明された実施の形態によれば、本システム１は、複数の実行エリアＡ２１～Ａ２６、およびチャンバユニット２０を有してなる。各実行エリアＡ２１～Ａ２６は、各処理が実行される順番に従って配置されている。チャンバユニット２０は、ワークＷを収容して各実行エリアＡ２１～Ａ２５間を搬送される。チャンバユニット２０は、載置台２１、加圧パッド２６、およびサイド部材２７を備える。載置台２１は、ワークＷの下方に配置されていて、下加圧ユニット６Ｄとして機能している。加圧パッド２６は、ワークＷの上方に配置されていて、上加圧ユニット６Ｕとして機能している。サイド部材２７は、水平方向においてワークＷの全周を囲むように配置されていて、載置台２１および加圧パッド２６と共に収容室Ｒ２０を区画している。この構成によれば、処理が終了した実行エリアＡ２１～Ａ２５では、別のチャンバユニット２０に対して同じ処理が実行可能となる。すなわち、本システム１では、加圧処理間の時間は短縮される。また、本システム１では、載置台２１が下加圧ユニット６Ｄとして機能していて、加圧パッド２６が上加圧ユニット６Ｕとして機能している。そのため、チャンバユニット２０（収容室２０Ｒ）に収容されているワークＷに対して加圧処理が実行可能である。さらに、加圧処理が実行される実行エリアＡ２３に上下加圧ユニット６Ｕ，６Ｄとして機能しているチャンバユニット２０が据え付けられておらず、他の実行エリアＡ２１，Ａ２２，Ａ２４～Ａ２６に搬送されている。そのため、本システム１では、加圧パッド２６のメンテナンス性が向上する。さらにまた、本システム１では、ワークＷごとに、各処理の実行時に用いられた載置台２１および加圧パッド２６の追跡が可能となる。さらにまた、本システム１では、チャンバユニット２０が各実行エリアＡ２１～Ａ２５間を搬送されることにより、複数の関連処理が実行可能である。さらにまた、チャンバユニット２０の外部からの異物（例えば、埃、塵など）によるワークＷの汚染リスクは、低減される。
【0169】
また、以上説明された実施の形態によれば、チャンバユニット２０は、実行エリアＡ２１～Ａ２６における上部空間を通過して、実行エリアＡ２１～Ａ２５間を搬送される。この構成では、実行エリアＡ２１～Ａ２５ごとに、各処理に必要な部材を下方から上昇させることにより各処理が容易に実行可能となる。
【0170】
さらに、以上説明された実施の形態によれば、加圧パッド２６は、載置台２１に対して、上下方向に相対的に移動可能である。すなわち、チャンバユニット２０の収容室２０Ｒを区画している加圧パッド２６は、載置台２１に対して相対的に移動可能である。この構成によれば、チャンバユニット２０（収容室２０Ｒ）に収容されているワークＷに対して、加圧処理が確実に可能となる。
【0171】
さらにまた、以上説明された実施の形態によれば、加圧パッド２６は、加圧処理においてワークＷの表面の形状に追従して変形する柔軟層２６ａを備える。チャンバユニット２０は、加圧パッド２６の上方に配置されていて、加圧処理において加圧パッド２６を下方へ向けて押圧することにより上加圧ユニット６Ｕとして機能している上型２４を備える。この構成によれば、加圧処理において、チャンバユニット２０ごとの上型２４に対する加圧パッド２６の位置合わせが不要となる。また、ワークＷに対する上型２４および加圧パッド２６の位置合わせも不要となる。さらに、上加圧ユニット６Ｕの大半がチャンバユニット２０として搬送される。そのため、実行エリアＡ２３へのチャンバユニット２０の搬送が容易となり、実行エリアＡ２３の上部空間に配置されている上加圧ユニット６Ｕとして機能する部材の数も少なくなる。
【0172】
さらにまた、以上説明された実施の形態によれば、加圧装置６は、加圧処理において、チャンバユニット２０の下方から上昇することにより載置台２１に当接して、下加圧ユニット６Ｄとして機能する熱ユニット６１を備える。この構成では、実行エリアＡ２３の上部空間はチャンバユニット２０の搬送のみに使用可能となり、上部空間における部材構成は簡素化できる。また、ワークＷに本加圧力を加える機構の大半（特に、昇降装置６２）がチャンバユニット２０の下方に配置されるため、筐体２の高さは抑制できる。
【0173】
さらにまた、以上説明された実施の形態によれば、収容室２０Ｒの雰囲気は、収容室２０Ｒの内部圧力がチャンバユニット２０の外部空間の外部圧力よりも低い減圧雰囲気である。載置台２１は、サイド部材２７の下方に配置されていて、圧力差によりサイド部材２７に取り付けられている。この構成によれば、載置台２１をサイド部材２７に取り付けるための個別の部材は不要となる。すなわち、チャンバユニット２０の部品点数は減少する。また、各処理において、ワークＷは外気に曝されない。そのため、熱および外気によるワークＷの酸化は、防止される。
【0174】
さらにまた、以上説明された実施の形態によれば、載置台２１は、ワークＷを実行エリアＡ２１に搬入して、加圧されたワークＷを実行エリアＡ２５から搬出する、搬送パレットとして機能している。この構成によれば、本システム１におけるワークＷの搬入から搬出までの各処理を１個の載置台２１上で完結できる。
【0175】
さらにまた、以上説明された実施の形態によれば、本システム１は、実行エリアＡ２６を有してなる。この構成によれば、加圧処理および関連処理の一連の流れの中で、上側ユニット２２のメンテナンスも可能となる。また、実行エリアＡ２３（筐体２）の高さは低くできる。
【0176】
さらにまた、以上説明された実施の形態によれば、本システム１は、予備加熱ユニット５１、熱ユニット６１、一次冷却ユニット７１、および二次冷却ユニット８１を備える。実行エリアＡ２２において予備加熱処理が実行されるとき、予備加熱ユニット５１は、チャンバユニット２０の下方から上昇することにより載置台２１に当接して、ワークＷを予備加熱する。実行エリアＡ２４において一次冷却処理が実行されるとき、一次冷却ユニット７１は、チャンバユニット２０の下方から上昇することにより載置台２１に当接して、ワークを冷却する。実行エリアＡ２５において二次冷却処理が実行されるとき、二次冷却ユニット８１は、チャンバユニット２０の下方から上昇することにより載置台２１に当接して、ワークを冷却する。この構成によれば、加圧処理は、短時間で実行可能である。したがって、加圧処理間の時間は短縮される。
【0177】
さらにまた、以上説明された実施の形態によれば、本システム１は、複数のチャンバユニット２０を有してなる。チャンバユニット２０の数は、実行エリアＡ２１～Ａ２６の数よりも少ない。この構成によれば、加圧処理間だけでなく関連処理間の時間は、短縮される。また、全てのチャンバユニット２０を同時に搬送しなくてもよいため、チャンバユニット２０（Ａ～Ｅ）の搬送は、最も処理時間が長い処理の終了を基準に実行できる。
【0178】
さらにまた、以上説明された実施の形態によれば、実行エリアＡ２１～Ａ２６は、各処理が実行される順番に従って環状に配置されている。チャンバユニット２０および上側ユニット２２それぞれは、実行エリアＡ２１～Ａ２６間を周回搬送される。この構成によれば、本システム１は、ワークＷが連続的に投入可能となり、投入された各ワークＷに対する各処理が連続的に実行可能となり、かつ、異なるワークＷに対する異なる処理が同時に実行可能となる。その結果、複数のワークＷに対する連続的な処理が効率的に実行可能となる。
【0179】
さらにまた、以上説明された実施の形態によれば、本システム１は、チャンバユニット２０の移動方向におけるチャンバユニット２０の向きが常に同じになるように、移動方向を転換させる回転機構９１～９４を備える。実行エリアＡ２１～Ａ２６は、回転機構９１～９４が配置されている転換エリアを含む。この構成によれば、本システム１による処理の前後の処理において、ワークＷの向きの調整が可能となる。また、筐体２の床面積は小さくできる。
【0180】
さらにまた、以上説明された実施の形態によれば、本システム１は、雰囲気調整装置１０を有してなる。雰囲気調整装置１０は、真空ポンプＰ、減圧系配管Ｌｐ、ガス系配管Ｌｇ、および固定コネクタＣｓ１～Ｃｓ５を備える。チャンバユニット２０は、移動コネクタＣｐおよび貫通孔２７ｃを備える。固定コネクタＣｓ１～Ｃｓ５が配置されている実行エリアＡ２１～Ａ２５にチャンバユニット２０が位置しているとき、移動コネクタＣｐは固定コネクタＣｓ１～Ｃｓ５に接続されていて、収容室２０Ｒは減圧系配管Ｌｐまたはガス系配管Ｌｇに連通可能である。チャンバユニット２０が搬送されているとき、収容室２０Ｒは密閉されている。この構成によれば、チャンバユニット２０の搬送中に収容室２０Ｒの真空度が低下しても、各実行エリアＡ２１～Ａ２５において収容室２０Ｒの減圧雰囲気は維持される。
【0181】
●変形例●
次に、本システム１の変形例が、先に説明した実施の形態（以下「第１実施形態」という。）と異なる点を中心に、以下に説明される。以下の変形例において、説明の便宜上、第１実施形態と同じ部材、および、共通する機能を有する部材には、第１実施形態と同じ符号が付されている。以下の変形例において、図１～図５は、適宜参照される。
次に、本システム１の変形例が、先に説明した実施の形態（以下「第１実施形態」という。）と異なる点を中心に、以下に説明される。以下の変形例において、説明の便宜上、第１実施形態と同じ部材、および、共通する機能を有する部材には、第１実施形態と同じ符号が付されている。以下の変形例において、図１～図５は、適宜参照される。
【0182】
●第１変形例
第１変形例では、チャンバユニットの構成、および収容室の雰囲気が第１実施形態と異なる。
第１変形例では、チャンバユニットの構成、および収容室の雰囲気が第１実施形態と異なる。
【0183】
図２１は、第１変形例におけるチャンバユニット２０Ａの模式断面図である。
【0184】
チャンバユニット２０Ａは、載置台２１、上側ユニット２２Ａ、および収容室２０Ｒを備える。上側ユニット２２Ａは、ベース部材２３、上型２４、枠部材２５、加圧パッド２６、サイド部材２７、第１ばね部材２８、第２ばね部材２９、２つのシール部材３０，３１、複数の固定部材３２、および移動コネクタＣｐを備える。
【0185】
固定部材３２は、載置台２１をサイド部材２７（上側ユニット２２Ａ）に固定する。固定部材３２は、サイド部材２７の下部の外周面２７ｆに取り付けられている。固定部材３２は、例えば、支持部３２ａ、本体部３２ｂ、および公知のラチェット機構（不図示。以下同じ。）を備える。支持部３２ａは、本体部３２ｂを固定位置と開放位置との間で回転可能に支持している。本体部３２ｂの形状は、例えば、側方視においてＬ字状である。本体部３２ｂは、例えば、ラチェット機構により、開放位置側へは回転可能であり固定位置側へは回転不可能であり、ラチェット機構が解除されると固定位置へ回転可能である。本体部３２ｂが固定位置に位置しているとき、本体部３２ｂの一部は、載置台２１およびサイド部材２７の下方に位置していて、載置台２１を支持可能である。本体部３２ｂが解放位位置に位置しているとき、本体部３２ｂの一部は、サイド部材２７の側方に位置していて、載置台２１を支持不可能である。
【0186】
チャンバユニット２０ＡにワークＷが収容されているとき、収容室２０Ｒの雰囲気は、雰囲気調整装置１０により不活性ガス雰囲気に調整されている。すなわち、収容室２０Ｒには、収容室２０Ｒの内部圧力が外部圧力（大気圧）と同じになるように不活性ガスが充填されている。この場合、真空圧が生じていないため、載置台２１は、固定位置に回転した固定部材３２によりサイド部材２７（上側ユニット２２Ａ）に固定されている。前述のとおり、移動コネクタＣｐは各固定コネクタＣｓ１～Ｃｓ５に接続されて、収容室２０Ｒの雰囲気は各実行エリアＡ２１～Ａ２５で維持可能である。そのため、載置台２１とシール部材３１との間には、僅かに隙間が生じていてもよい。
【0187】
この構成では、収容室２０Ｒの雰囲気は不活性ガス雰囲気であるため、ワークＷは、予備加熱処理、加圧処理、および一次冷却処理において外気に曝されず、酸化しない。また、必要となる不活性ガスの量は、収容室Ｒ２０の容積の量（数回の置換が行われる場合、同容積に置換回数を乗算した量）に抑えられる。
【0188】
なお、第１変形例において、ワークＷが酸化しない（酸化し難い）材質製の場合、収容室２０Ｒには、エアが充填されていてもよい。
【0189】
また、第１変形例において、固定部材３２の構成は、支持部３２ａ、本体部３２ｂ、および公知のラチェット機構に限定されない。すなわち、例えば、固定部材３２は、側方視において矩形の「Ｃ字」状でもよい。この場合、例えば、サイド部材２７の下端部２７ｅの外周面２７ｆには固定部材３２が嵌め込まれる凹部又は凸部が形成されていて、固定部材３２はサイド部材２７の下端部２７ｅおよび載置台２１の外縁部を挟み込む。また、例えば、固定部材３２は、載置台２１の外縁部とサイド部材２７とを締結するボルトでもよい。収容装置４は固定部材３２の取付機構を備えていて、取出装置８は固定部材３２の取外機構を備えていてもよい。
【0190】
●第２～第４変形例
第２～第４変形例では、実行エリアの配置、および搬送装置の構成が第１実施形態と異なる。
第２～第４変形例では、実行エリアの配置、および搬送装置の構成が第１実施形態と異なる。
【0191】
図２２（ａ）は第２変形例に係る加圧システム１Ｂ（以下「本システム１Ｂ」という。）の模式平面図であり、（ｂ）は第３変形例に係る加圧システム１Ｃ（以下「本システム１Ｃ」という。）の模式平面図であり、（ｃ）は第４変形例に係る加圧システム１Ｄ（以下「本システム１Ｄ」という。）の模式平面図である。
同図は、説明の便宜上、実行エリアＡ２１～Ａ２５（Ａ２６）のみを一点鎖線で示している。同図は、チャンバユニット２０または上側ユニット２２の搬送経路を矢印で示している。図２２に示されていない部材は、図１～図５が参照される。
同図は、説明の便宜上、実行エリアＡ２１～Ａ２５（Ａ２６）のみを一点鎖線で示している。同図は、チャンバユニット２０または上側ユニット２２の搬送経路を矢印で示している。図２２に示されていない部材は、図１～図５が参照される。
【0192】
図２２（ａ）に示されるとおり、本システム１Ｂでは、実行エリアＡ２１～Ａ２５は直線状に配置されていて、実行エリアＡ２６は実行エリアＡ２１～Ａ２５の側方に配置されている。搬送装置９Ｂは、第２レール部材Ｒ２１～Ｒ２４を備えて、回転機構９１～９４を備えていない。第２レール部材Ｒ２１，Ｒ２２は、実行エリアＡ２１，Ａ２６に配置されていて、第２レール部材Ｒ２３，Ｒ２４は実行エリアＡ２５，Ａ２６に配置されている。ベース部材Ｂ１は、第２レール部材Ｒ２１，Ｒ２２に支持されていて、実行エリアＡ２１，Ａ２６間を平行移動可能に構成されている。ベース部材Ｂ４は、第２レール部材Ｒ２３，Ｒ２４に支持されていて、実行エリアＡ２５，Ａ２６間を平行移動可能に構成されている。この構成では、搬送装置９Ｂが回転機構９１～９４を備えていなくても、本システム１Ｂによる処理の前後の処理において、ワークＷの向きが同じとなる。また、この構成では、実行エリアＡ２６において、複数の上側ユニット２２が保管可能であるため、チャンバユニット２０および上側ユニット２２の総数は実行エリアＡ２１～Ａ２６の数以上に設定できる。
【0193】
なお、第２変形例において、実行エリアＡ２６は、実行エリアＡ２１～Ａ２５の上方に配置されていてもよい。すなわち、例えば、実行エリアＡ２１～Ａ２６は、キャタピラのような立体状に配置されていてもよい。
【0194】
図２２（ｂ）に示されるとおり、本システム１Ｃでは、実行エリアＡ２１～Ａ２６は、円環状に配置されている。搬送装置９Ｃは、回転機構９１～９４を備えていない。上方視において、レール部材Ｒ１～Ｒ１６は、円環状に配置されている。この構成では、搬送装置９Ｃが回転機構９１～９４を備えていなくても、本システム１Ｃによる処理の前後の処理において、ワークＷの向きが同じとなる。また、この構成では、実行エリアＡ２１～Ａ２６間にチャンバユニット２０の待機エリアを配置可能である。そのため、チャンバユニット２０および上側ユニット２２の総数は実行エリアＡ２１～Ａ２６の数以上に設定できる。
【0195】
図２２（ｃ）に示されるとおり、本システム１Ｄでは、実行エリアＡ２１～Ａ２５は、直線状に配置されている。実行エリアＡ２１において、上側ユニット２２は、例えば、使用者によりレール部材Ｒ１，Ｒ２にセットされる。また、実行エリアＡ２５において、上側ユニット２２は、例えば、本システム１Ｄの使用者によりレール部材Ｒ７，Ｒ８から取り外される。取り外された上側ユニット２２は、使用者または搬送ロボットにより、実行エリアＡ２１の近傍まで搬送される。この構成では、実行エリアＡ２１～Ａ２５の周囲全てがメンテナンスエリア（実行エリアＡ２６）として機能できる。
【0196】
●その他の実施形態●
なお、本発明において、実行エリアＡ２の数は複数であればよく、実行エリアＡ２の種類は関連処理の種類により設定されていればよく、実行エリアＡ２の数および種類は第１実施形態に限定されない。すなわち、例えば、実行エリアＡ２の数は、「２」以上であればよい。具体的には、例えば、本システム１において予備加熱処理が実行されないとき、本システム１は実行エリアＡ２２および予備加熱装置５を備えていなくてもよい。また、例えば、本システム１において冷却処理が二段階に分かれていないとき、本システム１は実行エリアＡ２４および一次冷却装置７を備えていなくてもよい。さらに、例えば、複数の処理（例えば、収容処理と予備加熱処理、取出処理とメンテナンス処理など）が同じ実行エリアＡ２で実行されていてもよい。さらにまた、例えば、収容処理および／または取出処理が本システム１の外部で実行されていて、チャンバユニット２０が本システム１に搬入／搬出されていてもよい。さらにまた、実行エリアＡ２は、実行エリアＡ２１～Ａ２６の間に１個以上のチャンバユニット２０を配置可能な搬送経路（前述した待機エリア）を含んでいてもよい。
なお、本発明において、実行エリアＡ２の数は複数であればよく、実行エリアＡ２の種類は関連処理の種類により設定されていればよく、実行エリアＡ２の数および種類は第１実施形態に限定されない。すなわち、例えば、実行エリアＡ２の数は、「２」以上であればよい。具体的には、例えば、本システム１において予備加熱処理が実行されないとき、本システム１は実行エリアＡ２２および予備加熱装置５を備えていなくてもよい。また、例えば、本システム１において冷却処理が二段階に分かれていないとき、本システム１は実行エリアＡ２４および一次冷却装置７を備えていなくてもよい。さらに、例えば、複数の処理（例えば、収容処理と予備加熱処理、取出処理とメンテナンス処理など）が同じ実行エリアＡ２で実行されていてもよい。さらにまた、例えば、収容処理および／または取出処理が本システム１の外部で実行されていて、チャンバユニット２０が本システム１に搬入／搬出されていてもよい。さらにまた、実行エリアＡ２は、実行エリアＡ２１～Ａ２６の間に１個以上のチャンバユニット２０を配置可能な搬送経路（前述した待機エリア）を含んでいてもよい。
【0197】
また、本発明において、実行エリアＡ２の配置は、第２～第４変形例に例示されるとおり、第１実施形態に限定されない。
【0198】
さらに、本発明において、ワークＷのみが本システム１に搬入／搬出されていてもよい。すなわち、例えば、実行エリアＡ２５において、ワークＷのみが搬出されて、ワークＷが載置されていない載置台２１が上側ユニット２２に取り付けられてチャンバユニット２０が組み立てられて、同チャンバユニット２０は実行エリアＡ２１に搬送されていてもよい。この場合、実行エリアＡ２１において、載置台２１が上側ユニット２２から取り外されて、同載置台にワークＷのみが搬入される。また、この例では、実行エリアＡ２５の載置台２１は、上側ユニット２２とは異なる経路で実行エリアＡ２１に搬送されていて、上側ユニット２２は実行エリアＡ２６を経由して実行エリアＡ２１に搬送されていてもよい。さらに、この例では、本システム１は、搬入エリアＡ１および搬出エリアＡ３を備えていなくてもよい。
【0199】
さらにまた、本発明において、前述のとおり、本システム１は、予備加熱装置５および／または一次冷却装置７（および／または二次冷却ユニット８１）を備えていなくてもよい。具体的には、例えば、加圧処理において冷却処理も実行されていてもよい。この場合でも、加圧処理と平行して収容処理、取出処理、およびメンテナンス処理が実行可能であり、加圧処理間の処理時間は従来の加圧装置よりも短縮可能である。
【0200】
さらにまた、本発明において、加圧装置６は、熱ユニット６１を備えていなくてもよい。
【0201】
さらにまた、本発明において、搬送装置９の構成は、チャンバユニット２０および上側ユニット２２が各実行エリアＡ２１～Ａ２６の上部空間を搬送可能に構成されていればよく、第１実施形態に限定されない。すなわち、例えば、チャンバユニット２０（上側ユニット２２）が、動力源およびレール部材Ｒ１～Ｒ１６上を転動可能な駆動輪を備えていてもよい。また、例えば、レール部材Ｒ１～Ｒ１６には、ベース部材２３の下面２３ａと当接可能な複数のローラが取り付けられていてもよい。さらに、例えば、搬送装置９は、ベース部材２３に着脱可能に構成されている係止部材、および隣接する実行エリアＡ２１～Ａ２６間で係止部材を移動させる移動機構を備えていてもよい。
【0202】
さらにまた、本発明において、チャンバユニット２０の数は、好適には、実行エリアＡ２の数以下であればよく、「５個」に限定されない。すなわち、例えば、本発明において、チャンバユニット２０の数は、「１個」でもよい。この場合、第１実施形態のような顕著な効果は奏さないが、加熱から冷却までを単一の加圧処理において実行する従来の加圧装置と比較して、搬入から搬出までの総時間は短縮される。したがって、加圧処理間の時間は、従来の加圧装置よりも短縮される。
【0203】
さらにまた、本発明において、回転機構９１～９４の数および回転の方向は、第１実施形態に限定されない。すなわち、例えば、本システム１による処理の前後の処理においてワークＷの向きが異なってもよい場合、回転機構９１～９４の一部または全部は、上方視における反時計回り方向に９０°回転してもよい。
【0204】
さらにまた、本発明において、レール部材Ｒ１～Ｒ８は、回転時におけるチャンバユニット２０（上側ユニット２２）の脱落リスク低減のため、長手方向の一方向側からのみ出入可能に構成されていてもよい。
【0205】
さらにまた、本発明において、本システム１は、固定コネクタＣｓ２～Ｃｓ５の一部または全てを備えていなくてもよい。
【0206】
さらにまた、本発明において、本システム１は、固定コネクタＣｓ１～Ｃｓ５および移動コネクタＣｐを備えていなくてもよい。この場合、収容室Ｒ２０は、チャンバユニット２０の外気（空気）に満たされている。
【0207】
さらにまた、本発明において、ワークＷの上方には、貼付防止シートが被せられていなくてもよい。
【0208】
さらにまた、各図面において、説明の便宜上、チャンバユニット２０に収容されているワークＷの形状は、１枚の平板状に示されているが、これに限定されない。すなわち、例えば、チャンバユニット２０には複数の被加圧物から構成される１セットのワークＷが収容されていてもよい。また、例えば、１セットのワークＷを構成する被加圧物それぞれの形状は、同じでもよく、あるいは、異なっていてもよい。
【0209】
●本発明の実施態様●
次に、以上説明した各実施形態から把握される本発明の実施態様について、各実施形態において記載された用語と符号とを援用しつつ、以下に記載する。
次に、以上説明した各実施形態から把握される本発明の実施態様について、各実施形態において記載された用語と符号とを援用しつつ、以下に記載する。
【0210】
本発明の第１の実施態様は、ワーク（例えば、ワークＷ）の加圧処理と、前記加圧処理に関連する関連処理と、を実行する加圧システム（例えば、加圧システム１，１Ｂ～１Ｄ）であって、前記加圧処理と前記関連処理とを含む複数の処理のうち、いずれか１つの前記処理が実行される複数の実行エリア（例えば、実行エリアＡ２１～Ａ２６）と、前記ワークを収容して、複数の前記実行エリア間を搬送されるチャンバユニット（例えば、チャンバユニット２０，２０Ａ）と、を有してなり、複数の前記実行エリアは、前記処理が実行される順番に従って配置されて、前記チャンバユニットは、前記ワークの上方に配置されて、前記加圧処理において、前記ワークを上方から加圧する上加圧ユニット（例えば、上加圧ユニット６Ｕ）として機能する天井部（例えば、加圧パッド２６）と、前記ワークの下方に配置されて、前記加圧処理において、前記ワークを下方から加圧する下加圧ユニット（例えば、下加圧ユニット６Ｄ）として機能する床部（例えば、載置台２１）と、水平方向において、前記ワークの全周を囲むように配置されて、前記天井部と前記床部と共に前記ワークが収容される収容室（例えば、収容室２０Ｒ）を区画する周壁部（例えば、サイド部材２７）と、を備える、加圧システムである。
この構成によれば、加圧処理間の時間が短縮可能で、加圧処理の関連処理が実行できる。
この構成によれば、加圧処理間の時間が短縮可能で、加圧処理の関連処理が実行できる。
【0211】
本発明の第２の実施態様は、第１の実施態様において、前記チャンバユニットは、前記実行エリアにおける上部空間を通過して、前記実行エリア間を搬送される、加圧システムである。
この構成によれば、各処理が容易に実行可能となる。
この構成によれば、各処理が容易に実行可能となる。
【0212】
本発明の第３の実施態様は、第１の実施態様において、前記天井部は、前記床部に対して、上下方向に相対的に移動可能である、加圧システムである。
この構成によれば、チャンバユニット（収容室）に収容されているワークに対して、加圧処理が確実に可能となる。
この構成によれば、チャンバユニット（収容室）に収容されているワークに対して、加圧処理が確実に可能となる。
【0213】
本発明の第４の実施態様は、第３の実施態様において、前記天井部は、前記加圧処理において、前記ワークの表面の形状に追従して変形する柔軟層（例えば、柔軟層２６ａ）を備える加圧パッド（例えば、加圧パッド２６）、を備えて、前記チャンバユニットは、前記加圧パッドの上方に配置されて、前記加圧処理において、前記加圧パッドを下方へ向けて押圧することにより前記上加圧ユニットとして機能する上型（例えば、上型２４）、を備える、加圧システムである。
この構成によれば、実行エリア（加圧エリア）へのチャンバユニットの搬送が容易となり、実行エリアの上部空間に配置されている上加圧ユニットとして機能する部材の数も少なくなる。
この構成によれば、実行エリア（加圧エリア）へのチャンバユニットの搬送が容易となり、実行エリアの上部空間に配置されている上加圧ユニットとして機能する部材の数も少なくなる。
【0214】
本発明の第５の実施態様は、第１の実施態様において、前記加圧処理が実行される加圧エリア（例えば、実行エリアＡ２３）に配置されて、前記加圧処理を実行する加圧装置（例えば、加圧装置６）、を有してなり、前記実行エリアは、前記加圧エリア、を含み、前記加圧装置は、前記加圧処理において、前記チャンバユニットの下方から上昇することにより前記床部に当接して、前記下加圧ユニットとして機能する押圧ユニット（例えば、熱ユニット６１）、を備える、加圧システムである。
この構成によれば、実行エリア（加圧エリア）の上部空間における部材構成を簡素化できる。また、筐体の高さを抑制できる。
この構成によれば、実行エリア（加圧エリア）の上部空間における部材構成を簡素化できる。また、筐体の高さを抑制できる。
【0215】
本発明の第６の実施態様は、第１の実施態様において、前記収容室の雰囲気は、前記収容室の内部圧力が前記チャンバユニットの外部空間の外部圧力よりも低い減圧雰囲気であり、前記床部は、前記周壁部の下方に配置されて、前記内部圧力と前記外部圧力との圧力差により前記周壁部に取り付けられる、加圧システムである。
この構成によれば、各処理において、ワークは外気に曝されない。
この構成によれば、各処理において、ワークは外気に曝されない。
【0216】
本発明の第７の実施態様は、第１の実施態様において、前記収容室の雰囲気は、前記収容室の内部圧力が前記チャンバユニットの外部空間の外部圧力と同じになるようにガスが充填されるガス雰囲気であり、前記チャンバユニット（例えば、チャンバユニット２０Ａ）は、前記床部を前記周壁部に固定する固定部材（例えば、固定部材３２）、を備える、加圧システムである。
この構成によれば、ガスに不活性ガスが用いられることにより、各処理において、ワークは外気に曝されない。
この構成によれば、ガスに不活性ガスが用いられることにより、各処理において、ワークは外気に曝されない。
【0217】
本発明の第８の実施態様は、第１の実施態様において、前記床部は、前記周壁部に対して着脱可能であり、複数の前記実行エリアは、前記ワークが載置された前記床部が前記周壁部に取り付けられることにより、前記ワークが前記チャンバユニットに収容される収容処理が前記関連処理として実行される収容エリア（例えば、実行エリアＡ２１）と、加圧された前記ワークが載置された前記床部が前記周壁部から取り外されることにより、前記ワークが前記チャンバユニットから取り出される取出処理が前記関連処理として実行される取出エリア（例えば、実行エリアＡ２５）と、を含み、前記床部は、前記ワークを前記収容エリアに搬入して、加圧された前記ワークを前記取出エリアから搬出する、搬送パレットとして機能する、加圧システムである。
この構成によれば、本システムにおけるワークの搬入から搬出までの各処理を１個の載置台上で完結できる。
この構成によれば、本システムにおけるワークの搬入から搬出までの各処理を１個の載置台上で完結できる。
【0218】
本発明の第９の実施態様は、第８の実施態様において、前記収容エリアと前記取出エリアとの間に配置されて、前記床部が取り外された前記チャンバユニット（例えば、上側ユニット２２）のメンテナンス処理が実行されるメンテナンスエリア（例えば、実行エリアＡ２６）、を有してなる、加圧システムである。
この構成によれば、上側ユニットのメンテナンスが可能となり、実行エリア（加圧エリア）の高さは低くできる。
この構成によれば、上側ユニットのメンテナンスが可能となり、実行エリア（加圧エリア）の高さは低くできる。
【0219】
本発明の第１０の実施態様は、第１の実施態様において、前記加圧処理が実行される加圧エリアに配置されて、前記ワークを加熱する加熱ユニット（例えば、熱ユニット６１）と、前記ワークを予備加熱する予備加熱ユニット（例えば、予備加熱ユニット５１）、および／または、加圧後の前記ワークを冷却する冷却ユニット（例えば、一次冷却ユニット７１、二次冷却ユニット８１）と、を有してなり、複数の前記実行エリアは、前記予備加熱ユニットが配置されて、前記ワークの予備加熱処理が前記関連処理として実行される予備加熱エリア（例えば、実行エリアＡ２２）、および／または、前記冷却ユニットが配置されて、加圧後の前記ワークの冷却処理が前記関連処理として実行される冷却エリア（例えば、実行エリアＡ２４，Ａ２５）、を含み、前記予備加熱エリアにおいて、前記予備加熱処理が実行されるとき、前記予備加熱ユニットは、前記チャンバユニットの下方から上昇することにより前記床部に当接して、および／または、前記冷却エリアにおいて、前記冷却処理が実行されるとき、前記冷却ユニットは、前記チャンバユニットの下方から上昇することにより前記床部に当接する、加圧システムである。
この構成によれば、加圧処理間の時間は短縮される。
この構成によれば、加圧処理間の時間は短縮される。
【0220】
本発明の第１１の実施態様は、第１乃至第１０のいずれか１つの実施態様において、複数の前記チャンバユニット、を有してなり、複数の前記チャンバユニットの数は、複数の前記実行エリアの数以下である、加圧システムである。
この構成によれば、加圧処理間だけでなく関連処理間の時間は短縮される。
この構成によれば、加圧処理間だけでなく関連処理間の時間は短縮される。
【0221】
本発明の第１２の実施態様は、第１１の実施態様において、複数の前記実行エリアは、前記処理が実行される順番に従って環状に配置されて、複数の前記チャンバユニットそれぞれは、複数の前記実行エリア間を周回搬送される、加圧システムである。
この構成によれば、複数のワークに対する連続的な処理が効率的に実行可能となる。
この構成によれば、複数のワークに対する連続的な処理が効率的に実行可能となる。
【0222】
本発明の第１３の実施態様は、第１２の実施態様において、前記チャンバユニットの移動方向における前記チャンバユニットの向きが常に同じになるように、前記移動方向を転換させる転換機構（例えば、回転機構９１～９４）、を有してなり、複数の前記実行エリアは、前記転換機構が配置される転換エリア（例えば、実行エリアＡ２１，Ａ２２，Ａ２４，Ａ２５）、を含む、加圧システム（例えば、加圧システム１）である。
この構成によれば、本システムによる処理の前後の処理において、ワークの向きの調整が可能となる。また、筐体の床面積は小さくできる。
この構成によれば、本システムによる処理の前後の処理において、ワークの向きの調整が可能となる。また、筐体の床面積は小さくできる。
【0223】
本発明の第１４の実施態様は、第６または第７のいずれかの実施態様において、真空ポンプ（例えば、真空ポンプＰ）と、前記真空ポンプに接続される減圧系配管（例えば、減圧系配管Ｌｐ）と、不活性ガスの供給系統の配管に接続されるガス系配管（例えば、ガス系配管Ｌｇ）と、複数の前記実行エリアのうち、２つ以上の前記実行エリアそれぞれに配置されて、前記減圧系配管と前記ガス系配管とに接続される複数の固定コネクタ（例えば、固定コネクタＣｓ１～Ｃｓ５）と、を有してなり、前記チャンバユニットは、前記固定コネクタに着脱可能な移動コネクタ（例えば、移動コネクタＣｐ）と、前記収容室と前記移動コネクタとを連通させる連通路（例えば、貫通孔２７ｃ）と、を備えて、前記固定コネクタが配置されている前記実行エリアに前記チャンバユニットが位置しているとき、前記移動コネクタは前記固定コネクタに接続されて、前記収容室は前記減圧系配管または前記ガス系配管に連通可能であり、前記チャンバユニットが搬送されているとき、前記収容室は密閉される、加圧システムである。
この構成によれば、各実行エリアにおいて収容室の減圧雰囲気は維持される。
この構成によれば、各実行エリアにおいて収容室の減圧雰囲気は維持される。
【符号の説明】
【0224】
１ 加圧システム
２０ チャンバユニット
２０Ｒ 収容室
２１ 載置台（床部）
２４ 上型
２６ 加圧パッド（天井部）
２６ａ 柔軟層
２７ サイド部材（周壁部）
５１ 予備加熱ユニット
６１ 熱ユニット（押圧ユニット、加熱ユニット）
７１ 一次冷却ユニット（冷却ユニット）
８１ 二次冷却ユニット（冷却ユニット）
９１～９４ 回転機構（転換機構）
Ａ２１ 実行エリア（収容エリア、転換エリア）
Ａ２２ 実行エリア（予備加熱エリア、転換エリア）
Ａ２３ 実行エリア（加圧エリア）
Ａ２４ 実行エリア（冷却エリア、転換エリア）
Ａ２５ 実行エリア（冷却エリア、取出エリア、転換エリア）
Ｃｐ 移動コネクタ
Ｃｓ１～Ｃｓ５ 固定コネクタ
Ｌｐ 減圧系配管
Ｌｇ ガス系配管
２０ チャンバユニット
２０Ｒ 収容室
２１ 載置台（床部）
２４ 上型
２６ 加圧パッド（天井部）
２６ａ 柔軟層
２７ サイド部材（周壁部）
５１ 予備加熱ユニット
６１ 熱ユニット（押圧ユニット、加熱ユニット）
７１ 一次冷却ユニット（冷却ユニット）
８１ 二次冷却ユニット（冷却ユニット）
９１～９４ 回転機構（転換機構）
Ａ２１ 実行エリア（収容エリア、転換エリア）
Ａ２２ 実行エリア（予備加熱エリア、転換エリア）
Ａ２３ 実行エリア（加圧エリア）
Ａ２４ 実行エリア（冷却エリア、転換エリア）
Ａ２５ 実行エリア（冷却エリア、取出エリア、転換エリア）
Ｃｐ 移動コネクタ
Ｃｓ１～Ｃｓ５ 固定コネクタ
Ｌｐ 減圧系配管
Ｌｇ ガス系配管
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】
【図11】
【図12】
【図13】
【図14】
【図15】
【図16】
【図17】
【図18】
【図19】
【図20】
【図21】
【図22】
【手続補正書】
【提出日】2024-05-07
【手続補正1】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項1】
ワークの加圧処理と、前記加圧処理に関連する関連処理と、を実行する加圧システムであって、
前記加圧処理と前記関連処理とを含む複数の処理のうち、いずれか１つの前記処理が実行される複数の実行エリアと、
前記ワークを収容して、複数の前記実行エリア間を搬送されるチャンバユニットと、
前記実行エリアそれぞれに配置される昇降装置と、
前記チャンバユニットを搬送する搬送装置と、
を有してなり、
複数の前記実行エリアは、前記処理が実行される順番に従って配置されて、
前記チャンバユニットは、
前記ワークの上方に配置されて、前記加圧処理において、前記ワークを上方から加圧する上加圧ユニットとして機能する天井部と、
前記ワークの下方に配置されて、前記加圧処理において、前記ワークを下方から加圧する下加圧ユニットとして機能する床部と、
水平方向において、前記ワークの全周を囲むように配置されて、前記天井部と前記床部と共に前記ワークが収容される収容室を区画する周壁部と、
を備えて、
前記実行エリアそれぞれは、
前記昇降装置の上方に前記昇降装置が昇降可能な昇降空間と、
前記昇降空間よりも上方に位置する上部空間と、
を備えて、
前記搬送装置は、前記上部空間に配置されて、
前記チャンバユニットは、前記上部空間を通過して、前記実行エリア間を搬送される、
加圧システム。
前記加圧処理と前記関連処理とを含む複数の処理のうち、いずれか１つの前記処理が実行される複数の実行エリアと、
前記ワークを収容して、複数の前記実行エリア間を搬送されるチャンバユニットと、
前記実行エリアそれぞれに配置される昇降装置と、
前記チャンバユニットを搬送する搬送装置と、
を有してなり、
複数の前記実行エリアは、前記処理が実行される順番に従って配置されて、
前記チャンバユニットは、
前記ワークの上方に配置されて、前記加圧処理において、前記ワークを上方から加圧する上加圧ユニットとして機能する天井部と、
前記ワークの下方に配置されて、前記加圧処理において、前記ワークを下方から加圧する下加圧ユニットとして機能する床部と、
水平方向において、前記ワークの全周を囲むように配置されて、前記天井部と前記床部と共に前記ワークが収容される収容室を区画する周壁部と、
を備えて、
前記実行エリアそれぞれは、
前記昇降装置の上方に前記昇降装置が昇降可能な昇降空間と、
前記昇降空間よりも上方に位置する上部空間と、
を備えて、
前記搬送装置は、前記上部空間に配置されて、
前記チャンバユニットは、前記上部空間を通過して、前記実行エリア間を搬送される、
加圧システム。
【請求項2】
前記天井部は、前記床部に対して、上下方向に相対的に移動可能である、
請求項１に記載の加圧システム。
請求項１に記載の加圧システム。
【請求項3】
前記天井部は、
前記加圧処理において、前記ワークの表面の形状に追従して変形する柔軟層を備える加圧パッド、
を備えて、
前記チャンバユニットは、
前記加圧パッドの上方に配置されて、前記加圧処理において、前記加圧パッドを下方へ向けて押圧することにより前記上加圧ユニットとして機能する上型、
を備える、
請求項２に記載の加圧システム。
前記加圧処理において、前記ワークの表面の形状に追従して変形する柔軟層を備える加圧パッド、
を備えて、
前記チャンバユニットは、
前記加圧パッドの上方に配置されて、前記加圧処理において、前記加圧パッドを下方へ向けて押圧することにより前記上加圧ユニットとして機能する上型、
を備える、
請求項２に記載の加圧システム。
【請求項4】
前記加圧処理が実行される加圧エリアに配置されて、前記加圧処理を実行する加圧装置、
を有してなり、
前記実行エリアは、
前記加圧エリア、
を含み、
前記加圧装置は、
前記加圧処理において、前記チャンバユニットの下方から上昇することにより前記床部に当接して、前記下加圧ユニットとして機能する押圧ユニット、
を備える、
請求項１に記載の加圧システム。
を有してなり、
前記実行エリアは、
前記加圧エリア、
を含み、
前記加圧装置は、
前記加圧処理において、前記チャンバユニットの下方から上昇することにより前記床部に当接して、前記下加圧ユニットとして機能する押圧ユニット、
を備える、
請求項１に記載の加圧システム。
【請求項5】
前記収容室の雰囲気は、前記収容室の内部圧力が前記チャンバユニットの外部空間の外部圧力よりも低い減圧雰囲気であり、
前記床部は、前記周壁部の下方に配置されて、前記内部圧力と前記外部圧力との圧力差により前記周壁部に取り付けられる、
請求項１に記載の加圧システム。
前記床部は、前記周壁部の下方に配置されて、前記内部圧力と前記外部圧力との圧力差により前記周壁部に取り付けられる、
請求項１に記載の加圧システム。
【請求項6】
前記収容室の雰囲気は、前記収容室の内部圧力が前記チャンバユニットの外部空間の外部圧力と同じになるようにガスが充填されるガス雰囲気であり、
前記チャンバユニットは、
前記床部を前記周壁部に固定する固定部材、
を備える、
請求項１に記載の加圧システム。
前記チャンバユニットは、
前記床部を前記周壁部に固定する固定部材、
を備える、
請求項１に記載の加圧システム。
【請求項7】
前記床部は、前記周壁部に対して着脱可能であり、
複数の前記実行エリアは、
前記ワークが載置された前記床部が前記周壁部に取り付けられることにより、前記ワークが前記チャンバユニットに収容される収容処理が前記関連処理として実行される収容エリアと、
加圧された前記ワークが載置された前記床部が前記周壁部から取り外されることにより、前記ワークが前記チャンバユニットから取り出される取出処理が前記関連処理として実行される取出エリアと、
を含み、
前記床部は、前記ワークを前記収容エリアに搬入して、加圧された前記ワークを前記取出エリアから搬出する、搬送パレットとして機能する、
請求項１に記載の加圧システム。
複数の前記実行エリアは、
前記ワークが載置された前記床部が前記周壁部に取り付けられることにより、前記ワークが前記チャンバユニットに収容される収容処理が前記関連処理として実行される収容エリアと、
加圧された前記ワークが載置された前記床部が前記周壁部から取り外されることにより、前記ワークが前記チャンバユニットから取り出される取出処理が前記関連処理として実行される取出エリアと、
を含み、
前記床部は、前記ワークを前記収容エリアに搬入して、加圧された前記ワークを前記取出エリアから搬出する、搬送パレットとして機能する、
請求項１に記載の加圧システム。
【請求項8】
前記収容エリアと前記取出エリアとの間に配置されて、前記床部が取り外された前記チャンバユニットのメンテナンス処理が実行されるメンテナンスエリア、
を有してなる、
請求項７に記載の加圧システム。
を有してなる、
請求項７に記載の加圧システム。
【請求項9】
前記加圧処理が実行される加圧エリアに配置されて、前記ワークを加熱する加熱ユニットと、
前記ワークを予備加熱する予備加熱ユニット、および／または、加圧後の前記ワークを冷却する冷却ユニットと、
を有してなり、
複数の前記実行エリアは、
前記予備加熱ユニットが配置されて、前記ワークの予備加熱処理が前記関連処理として実行される予備加熱エリア、および／または、前記冷却ユニットが配置されて、加圧後の前記ワークの冷却処理が前記関連処理として実行される冷却エリア、
を含み、
前記予備加熱エリアにおいて、前記予備加熱処理が実行されるとき、前記予備加熱ユニットは、前記チャンバユニットの下方から上昇することにより前記床部に当接して、および／または、
前記冷却エリアにおいて、前記冷却処理が実行されるとき、前記冷却ユニットは、前記チャンバユニットの下方から上昇することにより前記床部に当接する、
請求項１に記載の加圧システム。
前記ワークを予備加熱する予備加熱ユニット、および／または、加圧後の前記ワークを冷却する冷却ユニットと、
を有してなり、
複数の前記実行エリアは、
前記予備加熱ユニットが配置されて、前記ワークの予備加熱処理が前記関連処理として実行される予備加熱エリア、および／または、前記冷却ユニットが配置されて、加圧後の前記ワークの冷却処理が前記関連処理として実行される冷却エリア、
を含み、
前記予備加熱エリアにおいて、前記予備加熱処理が実行されるとき、前記予備加熱ユニットは、前記チャンバユニットの下方から上昇することにより前記床部に当接して、および／または、
前記冷却エリアにおいて、前記冷却処理が実行されるとき、前記冷却ユニットは、前記チャンバユニットの下方から上昇することにより前記床部に当接する、
請求項１に記載の加圧システム。
【請求項10】
複数の前記チャンバユニット、
を有してなり、
複数の前記チャンバユニットの数は、複数の前記実行エリアの数以下である、
請求項１乃至９のいずれか１項に記載の加圧システム。
を有してなり、
複数の前記チャンバユニットの数は、複数の前記実行エリアの数以下である、
請求項１乃至９のいずれか１項に記載の加圧システム。
【請求項11】
複数の前記実行エリアは、前記処理が実行される順番に従って環状に配置されて、
複数の前記チャンバユニットそれぞれは、複数の前記実行エリア間を周回搬送される、
請求項１０に記載の加圧システム。
複数の前記チャンバユニットそれぞれは、複数の前記実行エリア間を周回搬送される、
請求項１０に記載の加圧システム。
【請求項12】
前記チャンバユニットの移動方向における前記チャンバユニットの向きが常に同じになるように、前記移動方向を転換させる転換機構、
を有してなり、
複数の前記実行エリアは、
前記転換機構が配置される転換エリア、
を含む、
請求項１１に記載の加圧システム。
を有してなり、
複数の前記実行エリアは、
前記転換機構が配置される転換エリア、
を含む、
請求項１１に記載の加圧システム。
【請求項13】
真空ポンプと、
前記真空ポンプに接続される減圧系配管と、
不活性ガスの供給系統の配管に接続されるガス系配管と、
複数の前記実行エリアのうち、２つ以上の前記実行エリアそれぞれに配置されて、前記減圧系配管と前記ガス系配管とに接続される複数の固定コネクタと、
を有してなり、
前記チャンバユニットは、
前記固定コネクタに着脱可能な移動コネクタと、
前記収容室と前記移動コネクタとを連通させる連通路と、
を備えて、
前記固定コネクタが配置されている前記実行エリアに前記チャンバユニットが位置しているとき、前記移動コネクタは前記固定コネクタに接続されて、前記収容室は前記減圧系配管または前記ガス系配管に連通可能であり、
前記チャンバユニットが搬送されているとき、前記収容室は密閉される、
請求項５または６のいずれかに記載の加圧システム。
前記真空ポンプに接続される減圧系配管と、
不活性ガスの供給系統の配管に接続されるガス系配管と、
複数の前記実行エリアのうち、２つ以上の前記実行エリアそれぞれに配置されて、前記減圧系配管と前記ガス系配管とに接続される複数の固定コネクタと、
を有してなり、
前記チャンバユニットは、
前記固定コネクタに着脱可能な移動コネクタと、
前記収容室と前記移動コネクタとを連通させる連通路と、
を備えて、
前記固定コネクタが配置されている前記実行エリアに前記チャンバユニットが位置しているとき、前記移動コネクタは前記固定コネクタに接続されて、前記収容室は前記減圧系配管または前記ガス系配管に連通可能であり、
前記チャンバユニットが搬送されているとき、前記収容室は密閉される、
請求項５または６のいずれかに記載の加圧システム。
【手続補正2】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【0008】
本発明の一実施態様における加圧システムは、ワークの加圧処理と、前記加圧処理に関連する関連処理と、を実行する加圧システムであって、前記加圧処理と前記関連処理とを含む複数の処理のうち、いずれか１つの前記処理が実行される複数の実行エリアと、前記ワークを収容して、複数の前記実行エリア間を搬送されるチャンバユニットと、前記実行エリアそれぞれに配置される昇降装置と、前記チャンバユニットを搬送する搬送装置と、を有してなり、複数の前記実行エリアは、前記処理が実行される順番に従って配置されて、前記チャンバユニットは、前記ワークの上方に配置されて、前記加圧処理において、前記ワークを上方から加圧する上加圧ユニットとして機能する天井部と、前記ワークの下方に配置されて、前記加圧処理において、前記ワークを下方から加圧する下加圧ユニットとして機能する床部と、水平方向において、前記ワークの全周を囲むように配置されて、前記天井部と前記床部と共に前記ワークが収容される収容室を区画する周壁部と、を備えて、前記実行エリアそれぞれは、前記昇降装置の上方に前記昇降装置が昇降可能な昇降空間と、前記昇降空間よりも上方に位置する上部空間と、を備えて、前記搬送装置は、前記上部空間に配置されて、前記チャンバユニットは、前記上部空間を通過して、前記実行エリア間を搬送される。
【手続補正書】
【提出日】2024-11-05
【手続補正1】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項1】
ワークの加圧処理と、前記加圧処理に関連する関連処理と、を実行する加圧システムであって、
前記加圧処理と前記関連処理とを含む複数の処理のうち、いずれか１つの前記処理が実行される複数の実行エリアと、
前記ワークを収容して、複数の前記実行エリア間を搬送されるチャンバユニットと、
前記実行エリアそれぞれに配置される昇降装置と、
前記チャンバユニットを搬送する搬送装置と、
前記ワークを加熱する加熱ユニットと、
前記ワークを予備加熱する予備加熱ユニット、および／または、加圧後の前記ワークを冷却する冷却ユニットと、
を有してなり、
複数の前記実行エリアは、前記処理が実行される順番に従って配置されて、
前記チャンバユニットは、
前記ワークの上方に配置されて、前記ワークの表面の形状に追従して変形する柔軟層を備える加圧パッドを備えて、前記加圧処理において、前記ワークを上方から加圧する上加圧ユニットとして機能する天井部と、
前記ワークの下方に配置されて、前記加圧処理において、前記ワークを下方から加圧する下加圧ユニットとして機能する床部と、
水平方向において、前記ワークの全周を囲むように配置されて、前記天井部と前記床部と共に前記ワークが収容される収容室を区画する周壁部と、
前記加圧パッドの上方に配置されて、前記加圧処理において、前記加圧パッドを下方へ向けて押圧することにより前記上加圧ユニットとして機能する上型と、
を備えて、
複数の前記実行エリアは、
前記加熱ユニットが配置されて、前記加圧処理が実行される加圧エリアと、
前記予備加熱ユニットが配置されて、前記ワークの予備加熱処理が前記関連処理として実行される予備加熱エリア、および／または、前記冷却ユニットが配置されて、加圧後の前記ワークの冷却処理が前記関連処理として実行される冷却エリアと、
を含み、
前記加圧エリアに配置される前記昇降装置は、前記加熱ユニットを昇降して、
前記予備加熱エリアに配置される前記昇降装置は、前記予備加熱ユニットを昇降して、および／または、前記冷却エリアに配置される前記昇降装置は、前記冷却ユニットを昇降して、
前記加圧エリアにおいて、前記加圧処理が実行されるとき、前記加熱ユニットは、前記チャンバユニットの下方から上昇することにより前記床部に当接して、
前記予備加熱エリアにおいて、前記予備加熱処理が実行されるとき、前記予備加熱ユニットは、前記チャンバユニットの下方から上昇することにより前記床部に当接して、および／または、前記冷却エリアにおいて、前記冷却処理が実行されるとき、前記冷却ユニットは、前記チャンバユニットの下方から上昇することにより前記床部に当接して、
前記加圧エリアと、前記予備加熱エリアおよび／または前記冷却エリアとは、
前記昇降装置の上方に、前記加熱ユニットと、前記予備加熱ユニットおよび／または前記冷却ユニットと、が昇降可能な昇降空間と、
前記昇降空間よりも上方に位置する上部空間と、
を備えて、
前記搬送装置は、前記上部空間に配置されて、
前記チャンバユニットは、前記上部空間を通過して、前記実行エリア間を搬送される、
加圧システム。
前記加圧処理と前記関連処理とを含む複数の処理のうち、いずれか１つの前記処理が実行される複数の実行エリアと、
前記ワークを収容して、複数の前記実行エリア間を搬送されるチャンバユニットと、
前記実行エリアそれぞれに配置される昇降装置と、
前記チャンバユニットを搬送する搬送装置と、
前記ワークを加熱する加熱ユニットと、
前記ワークを予備加熱する予備加熱ユニット、および／または、加圧後の前記ワークを冷却する冷却ユニットと、
を有してなり、
複数の前記実行エリアは、前記処理が実行される順番に従って配置されて、
前記チャンバユニットは、
前記ワークの上方に配置されて、前記ワークの表面の形状に追従して変形する柔軟層を備える加圧パッドを備えて、前記加圧処理において、前記ワークを上方から加圧する上加圧ユニットとして機能する天井部と、
前記ワークの下方に配置されて、前記加圧処理において、前記ワークを下方から加圧する下加圧ユニットとして機能する床部と、
水平方向において、前記ワークの全周を囲むように配置されて、前記天井部と前記床部と共に前記ワークが収容される収容室を区画する周壁部と、
前記加圧パッドの上方に配置されて、前記加圧処理において、前記加圧パッドを下方へ向けて押圧することにより前記上加圧ユニットとして機能する上型と、
を備えて、
複数の前記実行エリアは、
前記加熱ユニットが配置されて、前記加圧処理が実行される加圧エリアと、
前記予備加熱ユニットが配置されて、前記ワークの予備加熱処理が前記関連処理として実行される予備加熱エリア、および／または、前記冷却ユニットが配置されて、加圧後の前記ワークの冷却処理が前記関連処理として実行される冷却エリアと、
を含み、
前記加圧エリアに配置される前記昇降装置は、前記加熱ユニットを昇降して、
前記予備加熱エリアに配置される前記昇降装置は、前記予備加熱ユニットを昇降して、および／または、前記冷却エリアに配置される前記昇降装置は、前記冷却ユニットを昇降して、
前記加圧エリアにおいて、前記加圧処理が実行されるとき、前記加熱ユニットは、前記チャンバユニットの下方から上昇することにより前記床部に当接して、
前記予備加熱エリアにおいて、前記予備加熱処理が実行されるとき、前記予備加熱ユニットは、前記チャンバユニットの下方から上昇することにより前記床部に当接して、および／または、前記冷却エリアにおいて、前記冷却処理が実行されるとき、前記冷却ユニットは、前記チャンバユニットの下方から上昇することにより前記床部に当接して、
前記加圧エリアと、前記予備加熱エリアおよび／または前記冷却エリアとは、
前記昇降装置の上方に、前記加熱ユニットと、前記予備加熱ユニットおよび／または前記冷却ユニットと、が昇降可能な昇降空間と、
前記昇降空間よりも上方に位置する上部空間と、
を備えて、
前記搬送装置は、前記上部空間に配置されて、
前記チャンバユニットは、前記上部空間を通過して、前記実行エリア間を搬送される、
加圧システム。
【請求項2】
前記天井部は、前記床部に対して、上下方向に相対的に移動可能である、
請求項１に記載の加圧システム。
請求項１に記載の加圧システム。
【請求項3】
前記加圧エリアに配置されて、前記加圧処理を実行する加圧装置、
を有してなり、
前記加圧装置は、
前記加圧処理において、前記下加圧ユニットとして機能する押圧ユニット、
を備える、
請求項１に記載の加圧システム。
を有してなり、
前記加圧装置は、
前記加圧処理において、前記下加圧ユニットとして機能する押圧ユニット、
を備える、
請求項１に記載の加圧システム。
【請求項4】
前記収容室の雰囲気は、前記収容室の内部圧力が前記チャンバユニットの外部空間の外部圧力よりも低い減圧雰囲気であり、
前記床部は、前記周壁部の下方に配置されて、前記内部圧力と前記外部圧力との圧力差により前記周壁部に取り付けられる、
請求項１に記載の加圧システム。
前記床部は、前記周壁部の下方に配置されて、前記内部圧力と前記外部圧力との圧力差により前記周壁部に取り付けられる、
請求項１に記載の加圧システム。
【請求項5】
前記収容室の雰囲気は、前記収容室の内部圧力が前記チャンバユニットの外部空間の外部圧力と同じになるようにガスが充填されるガス雰囲気であり、
前記チャンバユニットは、
前記床部を前記周壁部に固定する固定部材、
を備える、
請求項１に記載の加圧システム。
前記チャンバユニットは、
前記床部を前記周壁部に固定する固定部材、
を備える、
請求項１に記載の加圧システム。
【請求項6】
前記床部は、前記周壁部に対して着脱可能であり、
複数の前記実行エリアは、
前記ワークが載置された前記床部が前記周壁部に取り付けられることにより、前記ワークが前記チャンバユニットに収容される収容処理が前記関連処理として実行される収容エリアと、
加圧された前記ワークが載置された前記床部が前記周壁部から取り外されることにより、前記ワークが前記チャンバユニットから取り出される取出処理が前記関連処理として実行される取出エリアと、
を含み、
前記床部は、前記ワークを前記収容エリアに搬入して、加圧された前記ワークを前記取出エリアから搬出する、搬送パレットとして機能する、
請求項１に記載の加圧システム。
複数の前記実行エリアは、
前記ワークが載置された前記床部が前記周壁部に取り付けられることにより、前記ワークが前記チャンバユニットに収容される収容処理が前記関連処理として実行される収容エリアと、
加圧された前記ワークが載置された前記床部が前記周壁部から取り外されることにより、前記ワークが前記チャンバユニットから取り出される取出処理が前記関連処理として実行される取出エリアと、
を含み、
前記床部は、前記ワークを前記収容エリアに搬入して、加圧された前記ワークを前記取出エリアから搬出する、搬送パレットとして機能する、
請求項１に記載の加圧システム。
【請求項7】
前記収容エリアと前記取出エリアとの間に配置されて、前記床部が取り外された前記チャンバユニットのメンテナンス処理が実行されるメンテナンスエリア、
を有してなる、
請求項６に記載の加圧システム。
を有してなる、
請求項６に記載の加圧システム。
【請求項8】
複数の前記チャンバユニット、
を有してなり、
複数の前記チャンバユニットの数は、複数の前記実行エリアの数以下である、
請求項１乃至７のいずれか１項に記載の加圧システム。
を有してなり、
複数の前記チャンバユニットの数は、複数の前記実行エリアの数以下である、
請求項１乃至７のいずれか１項に記載の加圧システム。
【請求項9】
複数の前記実行エリアは、前記処理が実行される順番に従って環状に配置されて、
複数の前記チャンバユニットそれぞれは、複数の前記実行エリア間を周回搬送される、
請求項８に記載の加圧システム。
複数の前記チャンバユニットそれぞれは、複数の前記実行エリア間を周回搬送される、
請求項８に記載の加圧システム。
【請求項10】
前記チャンバユニットの移動方向における前記チャンバユニットの向きが常に同じになるように、前記移動方向を転換させる転換機構、
を有してなり、
複数の前記実行エリアは、
前記転換機構が配置される転換エリア、
を含む、
請求項９に記載の加圧システム。
を有してなり、
複数の前記実行エリアは、
前記転換機構が配置される転換エリア、
を含む、
請求項９に記載の加圧システム。
【請求項11】
真空ポンプと、
前記真空ポンプに接続される減圧系配管と、
不活性ガスの供給系統の配管に接続されるガス系配管と、
複数の前記実行エリアのうち、２つ以上の前記実行エリアそれぞれに配置されて、前記減圧系配管と前記ガス系配管とに接続される複数の固定コネクタと、
を有してなり、
前記チャンバユニットは、
前記固定コネクタに着脱可能な移動コネクタと、
前記収容室と前記移動コネクタとを連通させる連通路と、
を備えて、
前記固定コネクタが配置されている前記実行エリアに前記チャンバユニットが位置しているとき、前記移動コネクタは前記固定コネクタに接続されて、前記収容室は前記減圧系配管または前記ガス系配管に連通可能であり、
前記チャンバユニットが搬送されているとき、前記収容室は密閉される、
請求項４または５のいずれかに記載の加圧システム。
前記真空ポンプに接続される減圧系配管と、
不活性ガスの供給系統の配管に接続されるガス系配管と、
複数の前記実行エリアのうち、２つ以上の前記実行エリアそれぞれに配置されて、前記減圧系配管と前記ガス系配管とに接続される複数の固定コネクタと、
を有してなり、
前記チャンバユニットは、
前記固定コネクタに着脱可能な移動コネクタと、
前記収容室と前記移動コネクタとを連通させる連通路と、
を備えて、
前記固定コネクタが配置されている前記実行エリアに前記チャンバユニットが位置しているとき、前記移動コネクタは前記固定コネクタに接続されて、前記収容室は前記減圧系配管または前記ガス系配管に連通可能であり、
前記チャンバユニットが搬送されているとき、前記収容室は密閉される、
請求項４または５のいずれかに記載の加圧システム。
【手続補正2】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【0008】
本発明の一実施態様における加圧システムは、ワークの加圧処理と、前記加圧処理に関連する関連処理と、を実行する加圧システムであって、前記加圧処理と前記関連処理とを含む複数の処理のうち、いずれか１つの前記処理が実行される複数の実行エリアと、前記ワークを収容して、複数の前記実行エリア間を搬送されるチャンバユニットと、前記実行エリアそれぞれに配置される昇降装置と、前記チャンバユニットを搬送する搬送装置と、前記ワークを加熱する加熱ユニットと、前記ワークを予備加熱する予備加熱ユニット、および／または、加圧後の前記ワークを冷却する冷却ユニットと、を有してなり、複数の前記実行エリアは、前記処理が実行される順番に従って配置されて、前記チャンバユニットは、前記ワークの上方に配置されて、前記ワークの表面の形状に追従して変形する柔軟層を備える加圧パッドを備えて、前記加圧処理において、前記ワークを上方から加圧する上加圧ユニットとして機能する天井部と、前記ワークの下方に配置されて、前記加圧処理において、前記ワークを下方から加圧する下加圧ユニットとして機能する床部と、水平方向において、前記ワークの全周を囲むように配置されて、前記天井部と前記床部と共に前記ワークが収容される収容室を区画する周壁部と、前記加圧パッドの上方に配置されて、前記加圧処理において、前記加圧パッドを下方へ向けて押圧することにより前記上加圧ユニットとして機能する上型と、を備えて、複数の前記実行エリアは、前記加熱ユニットが配置されて、前記加圧処理が実行される加圧エリアと、前記予備加熱ユニットが配置されて、前記ワークの予備加熱処理が前記関連処理として実行される予備加熱エリア、および／または、前記冷却ユニットが配置されて、加圧後の前記ワークの冷却処理が前記関連処理として実行される冷却エリアと、を含み、前記加圧エリアに配置される前記昇降装置は、前記加熱ユニットを昇降して、前記予備加熱エリアに配置される前記昇降装置は、前記予備加熱ユニットを昇降して、および／または、前記冷却エリアに配置される前記昇降装置は、前記冷却ユニットを昇降して、前記加圧エリアにおいて、前記加圧処理が実行されるとき、前記加熱ユニットは、前記チャンバユニットの下方から上昇することにより前記床部に当接して、前記予備加熱エリアにおいて、前記予備加熱処理が実行されるとき、前記予備加熱ユニットは、前記チャンバユニットの下方から上昇することにより前記床部に当接して、および／または、前記冷却エリアにおいて、前記冷却処理が実行されるとき、前記冷却ユニットは、前記チャンバユニットの下方から上昇することにより前記床部に当接して、前記加圧エリアと、前記予備加熱エリアおよび／または前記冷却エリアとは、前記昇降装置の上方に、前記加熱ユニットと、前記予備加熱ユニットおよび／または前記冷却ユニットと、が昇降可能な昇降空間と、前記昇降空間よりも上方に位置する上部空間と、を備えて、前記搬送装置は、前記上部空間に配置されて、前記チャンバユニットは、前記上部空間を通過して、前記実行エリア間を搬送される。