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(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】公開特許公報(A)
(11)【公開番号】P2025068544
(43)【公開日】2025-04-28
(54)【発明の名称】加圧装置
(51)【国際特許分類】
B30B 15/02 20060101AFI20250421BHJP
B30B 15/34 20060101ALI20250421BHJP
【ＦＩ】
B30B15/02 C
B30B15/34
B30B15/02 E
【審査請求】未請求
【請求項の数】11
【出願形態】ＯＬ
(21)【出願番号】P 2023178525
(22)【出願日】2023-10-16
(71)【出願人】
【識別番号】000226242
【氏名又は名称】日機装株式会社
(74)【代理人】
【識別番号】100141173
【弁理士】
【氏名又は名称】西村 啓一
(72)【発明者】
【氏名】平川 翔太
(72)【発明者】
【氏名】森 隆博
(72)【発明者】
【氏名】森永 高広
(72)【発明者】
【氏名】森本 崇
【テーマコード（参考）】
4E088
4E090
【Ｆターム（参考）】
4E088AB05
4E088DA08
4E088EA03
4E090AA01
4E090AB01
4E090DA02
4E090DA03
4E090HA10
(57)【要約】
【課題】簡易な構成で均圧性の悪化を抑制可能な加圧装置を提供する。
【解決手段】本発明に係る加圧装置１は、被加圧物の上下に配置される上加圧ユニット２と下加圧ユニット３とを有してなる。上加圧ユニットは、加圧時に被加圧物に当接する上金型２４と、上金型よりも上方に上金型に隣接して配置される上弾性部材２５と、水平方向において上弾性部材の全周を囲むように配置される上筐体２３と、を備える。上金型は、加圧時に被加圧物に当接する金属製で平面状の上プレス面２４ａを備える。上下方向視において、上プレス面が占める領域の全域は、上弾性部材が占める領域と重複する。上筐体は、非加圧時に上金型の下方向への移動を規制する規制部２３２を備える。上金型は、非加圧時、規制部のみにより支持されて、被加圧物への加圧の状態に応じて、上筐体に対して上下方向に摺動可能に配置される。
【選択図】図２
【解決手段】本発明に係る加圧装置１は、被加圧物の上下に配置される上加圧ユニット２と下加圧ユニット３とを有してなる。上加圧ユニットは、加圧時に被加圧物に当接する上金型２４と、上金型よりも上方に上金型に隣接して配置される上弾性部材２５と、水平方向において上弾性部材の全周を囲むように配置される上筐体２３と、を備える。上金型は、加圧時に被加圧物に当接する金属製で平面状の上プレス面２４ａを備える。上下方向視において、上プレス面が占める領域の全域は、上弾性部材が占める領域と重複する。上筐体は、非加圧時に上金型の下方向への移動を規制する規制部２３２を備える。上金型は、非加圧時、規制部のみにより支持されて、被加圧物への加圧の状態に応じて、上筐体に対して上下方向に摺動可能に配置される。
【選択図】図２
【特許請求の範囲】
【請求項1】
上下方向において被加圧物を挟み込んで加圧する加圧装置であって、
前記被加圧物の上方に配置される上加圧ユニットと、
前記被加圧物の下方に配置される下加圧ユニットと、
を有してなり、
前記上加圧ユニットは、
前記被加圧物が加圧されるとき、前記被加圧物に当接する上金型と、
前記上金型よりも上方に、前記上金型に隣接して配置される上弾性部材と、
水平方向において、前記上弾性部材の全周を囲むように配置される上筐体と、
を備えて、
前記上金型は、
前記被加圧物が加圧されるとき、前記被加圧物に当接する、金属製で平面状の上プレス面、
を備えて、
上下方向視において、前記上プレス面が占める領域の全域は、前記上弾性部材が占める領域と重複して、
前記上筐体は、
前記被加圧物が加圧されていないとき、前記上金型の下方向への移動を規制する規制部、
を備えて、
前記上金型は、
前記被加圧物が加圧されていないとき、前記規制部のみにより支持されて、
前記被加圧物への加圧の状態に応じて、前記上筐体に対して前記上下方向に摺動可能に配置される、
加圧装置。
前記被加圧物の上方に配置される上加圧ユニットと、
前記被加圧物の下方に配置される下加圧ユニットと、
を有してなり、
前記上加圧ユニットは、
前記被加圧物が加圧されるとき、前記被加圧物に当接する上金型と、
前記上金型よりも上方に、前記上金型に隣接して配置される上弾性部材と、
水平方向において、前記上弾性部材の全周を囲むように配置される上筐体と、
を備えて、
前記上金型は、
前記被加圧物が加圧されるとき、前記被加圧物に当接する、金属製で平面状の上プレス面、
を備えて、
上下方向視において、前記上プレス面が占める領域の全域は、前記上弾性部材が占める領域と重複して、
前記上筐体は、
前記被加圧物が加圧されていないとき、前記上金型の下方向への移動を規制する規制部、
を備えて、
前記上金型は、
前記被加圧物が加圧されていないとき、前記規制部のみにより支持されて、
前記被加圧物への加圧の状態に応じて、前記上筐体に対して前記上下方向に摺動可能に配置される、
加圧装置。
【請求項2】
前記水平方向において、前記上筐体は、前記上金型を挟み込むように配置されて、
前記規制部は、
前記水平方向において、前記上筐体に対して前記上金型が配置される方向に突出して、または、前記上金型の一部を収容して、
前記被加圧物が加圧されていないとき、前記上金型を支持する支持面、
を備える、
請求項１に記載の加圧装置。
前記規制部は、
前記水平方向において、前記上筐体に対して前記上金型が配置される方向に突出して、または、前記上金型の一部を収容して、
前記被加圧物が加圧されていないとき、前記上金型を支持する支持面、
を備える、
請求項１に記載の加圧装置。
【請求項3】
前記上金型は、
前記上プレス面を備える金型本体部と、
前記水平方向において、前記金型本体部から突出する金型突出部と、
を備えて、
前記被加圧物が加圧されていないとき、前記支持面は、前記金型突出部に当接する、
請求項２に記載の加圧装置。
前記上プレス面を備える金型本体部と、
前記水平方向において、前記金型本体部から突出する金型突出部と、
を備えて、
前記被加圧物が加圧されていないとき、前記支持面は、前記金型突出部に当接する、
請求項２に記載の加圧装置。
【請求項4】
前記上加圧ユニットは、
前記被加圧物を加熱または冷却する上熱ユニット、
を備えて、
前記上下方向において、前記上弾性部材は、前記上金型と前記上熱ユニットとの間に配置される、
請求項１に記載の加圧装置。
前記被加圧物を加熱または冷却する上熱ユニット、
を備えて、
前記上下方向において、前記上弾性部材は、前記上金型と前記上熱ユニットとの間に配置される、
請求項１に記載の加圧装置。
【請求項5】
前記上金型は、
前記被加圧物を加熱または冷却する上熱ユニット、
を備えて、
前記上下方向において、前記上弾性部材は、前記上熱ユニットの上方に前記上熱ユニットに隣接して配置される、
請求項１に記載の加圧装置。
前記被加圧物を加熱または冷却する上熱ユニット、
を備えて、
前記上下方向において、前記上弾性部材は、前記上熱ユニットの上方に前記上熱ユニットに隣接して配置される、
請求項１に記載の加圧装置。
【請求項6】
前記上加圧ユニットにおいて、前記上筐体または前記規制部は、着脱可能に構成されて、
前記上筐体または前記規制部が取り外されたとき、前記上金型は、交換可能である、
請求項１乃至５のいずれか１項に記載の加圧装置。
前記上筐体または前記規制部が取り外されたとき、前記上金型は、交換可能である、
請求項１乃至５のいずれか１項に記載の加圧装置。
【請求項7】
上下方向視において、前記上プレス面の形状および大きさは、前記被加圧物の形状および大きさと同じである、
請求項６に記載の加圧装置。
請求項６に記載の加圧装置。
【請求項8】
上下方向視における前記被加圧物の形状および大きさに対応する複数種の前記上金型、
を有してなる、
請求項７に記載の加圧装置。
を有してなる、
請求項７に記載の加圧装置。
【請求項9】
前記下加圧ユニットは、
前記被加圧物が加圧されるとき、前記被加圧物に当接する下金型、
を備えて、
前記下金型は、
前記被加圧物が加圧されるとき、前記被加圧物に当接する、金属製で平面状の下プレス面、
を備えて、
上下方向視において、前記下プレス面の形状および大きさは、前記被加圧物の形状および大きさと同じである、
請求項７に記載の加圧装置。
前記被加圧物が加圧されるとき、前記被加圧物に当接する下金型、
を備えて、
前記下金型は、
前記被加圧物が加圧されるとき、前記被加圧物に当接する、金属製で平面状の下プレス面、
を備えて、
上下方向視において、前記下プレス面の形状および大きさは、前記被加圧物の形状および大きさと同じである、
請求項７に記載の加圧装置。
【請求項10】
前記下加圧ユニットは、
前記被加圧物が加圧されるとき、前記被加圧物に当接する下金型と、
前記下金型よりも下方に配置される下弾性部材と、
を備えて、
前記下金型は、
前記被加圧物が加圧されるとき、前記被加圧物に当接する、金属製で平面状の下プレス面、
を備えて、
上下方向視において、前記下プレス面が占める領域の全域は、前記下弾性部材が占める領域と重複する、
請求項１に記載の加圧装置。
前記被加圧物が加圧されるとき、前記被加圧物に当接する下金型と、
前記下金型よりも下方に配置される下弾性部材と、
を備えて、
前記下金型は、
前記被加圧物が加圧されるとき、前記被加圧物に当接する、金属製で平面状の下プレス面、
を備えて、
上下方向視において、前記下プレス面が占める領域の全域は、前記下弾性部材が占める領域と重複する、
請求項１に記載の加圧装置。
【請求項11】
前記上弾性部材の外周面は、前記上筐体に対向して、前記上筐体から離れる方向に凹む凹面である、
請求項１に記載の加圧装置。
請求項１に記載の加圧装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、加圧装置に関する。
【背景技術】
【0002】
複数のシート状の基材（例えば、積層セラミックコンデンサのグリーンシート、プリント配線基板、など）が積層された積層体を加圧する装置として、加圧装置が用いられている。加圧装置は、一対の加圧ユニットにより積層体（被加圧物）を上下から挟み込み、積層体を所定の加圧力で加圧する。加圧ユニットのうち、積層体に当接する金型のプレス面は、積層体が加圧されるとき、積層体の上下面の全体に対してプレス面から均等な面圧が加えられるように、相互に平行な平面状に形成されている。
【0003】
ところで、被加圧物が平面状のプレス面により加圧されたとき、プレス面の外縁部における圧力が高くなり、プレス面の中央部における圧力が低くなる現象（均圧性の悪化、面圧の不均一化）は、よく知られている。この均圧性の悪化の正確な要因は特定されていないが、加圧時に生じる金型からの反力による加圧ユニット（金型）の撓みなどが要因の一例として挙げられている（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0004】
【特許文献1】国際公開公報第２０２２／１１４１１３号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0005】
特許文献１に開示された技術では、加圧ユニットの撓みを前提として、同撓みを吸収するための隙間が加圧ユニット内に形成されている。その結果、同技術では、加圧ユニットのうち、金型以外の歪みが隙間に吸収されることにより、金型は歪むことなく積層体を加圧できる。しかしながら、同技術では、加圧ユニットの構成、荷重、および被加圧物の大きさ（面積）などに応じた隙間の形成加工が必要となる。そのため、より簡易な構成で均圧性の悪化を抑制する（均圧性を向上させる）技術が求められている。
【0006】
本発明は、簡易な構成で均圧性の悪化を抑制可能な加圧装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【0007】
本発明の一実施態様における加圧装置は、上下方向において被加圧物を挟み込んで加圧する加圧装置であって、前記被加圧物の上方に配置される上加圧ユニットと、前記被加圧物の下方に配置される下加圧ユニットと、を有してなり、前記上加圧ユニットは、前記被加圧物が加圧されるとき、前記被加圧物に当接する上金型と、前記上金型よりも上方に、前記上金型に隣接して配置される上弾性部材と、水平方向において、前記上弾性部材の全周を囲むように配置される上筐体と、を備えて、前記上金型は、前記被加圧物が加圧されるとき、前記被加圧物に当接する、金属製で平面状の上プレス面、を備えて、上下方向視において、前記上プレス面が占める領域の全域は、前記上弾性部材が占める領域と重複して、前記上筐体は、前記被加圧物が加圧されていないとき、前記上金型の下方向への移動を規制する規制部、を備えて、前記上金型は、前記被加圧物が加圧されていないとき、前記規制部のみにより支持されて、前記被加圧物への加圧の状態に応じて、前記上筐体に対して前記上下方向に摺動可能に配置される、加圧装置である。
【発明の効果】
【0008】
本発明によれば、簡易な構成で均圧性の悪化を抑制可能な加圧装置を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【0009】
【図1】本発明に係る加圧装置の実施の形態を示す模式断面図である。
【図6】均圧性の悪化を抑制する要因を説明する模式図であり、（ａ）は被加圧物Ｗが加圧されているときに生じている部材の撓みの状態を示していて、（ｂ）は被加圧物Ｗが加圧されているときに生じている応力の伝播を示している。
【図7】（ａ）は第１変形例に係る加圧装置の部分拡大模式断面図であり、（ｂ）は第２変形例に係る加圧装置の部分拡大模式断面図であり、（ｃ）は第３変形例に係る加圧装置の部分拡大模式断面図であり、（ｄ）は第４変形例に係る加圧装置の部分拡大模式断面図である。
【図8】（ａ）は第５変形例に係る加圧装置の模式断面図であり、（ｂ）は第６変形例に係る加圧装置の模式断面図であり、（ｃ）は第７変形例に係る加圧装置の模式断面図であり、（ｄ）は第８変形例に係る加圧装置の模式断面図である。
【発明を実施するための形態】
【0010】
以下、図面を参照しながら、本発明に係る加圧装置の実施の形態が説明される。以下の説明において、各図面は、適宜参照される。各図面において、同一の部材および要素については同一の符号が付されて、重複する説明は省略される。また、各要素の寸法比率は、説明の便宜上、誇張されている場合が有り、各図面に示されている比率に限定されない。
【0011】
以下の説明および図面において、特に断りがない限り、空間において相互に直交する３軸をそれぞれＸ軸、Ｙ軸およびＺ軸としたとき、「Ｘ軸方向」は、Ｘ軸に沿う方向であり、左右方向である。「Ｙ軸方向」は、Ｙ軸に沿う方向であり、前後方向である。「Ｚ軸方向」は、Ｚ軸に沿う方向であり、上下方向である。また、「＋Ｘ方向」は左方であり、「－Ｘ方向」は右方であり、「＋Ｙ方向」は前方であり、「－Ｙ方向」は後方であり、「＋Ｚ方向」は上方であり、「－Ｚ方向」は下方である。
【0012】
本発明は、平面状のプレス面により上下方向から被加圧物を加圧する加圧装置において発生する均圧性の悪化（面圧の不均一化）を、弾性部材を用いて抑制する。また、本発明は、金型の交換を容易にすることにより、被加圧物の形状および大きさが変更されても、被加圧物に応じて均圧性の悪化を抑制する。
【0013】
「均圧性の悪化」は、被加圧物が平面状のプレス面により加圧されたとき、プレス面の外縁部における圧力が高くなり、プレス面の中央部における圧力が低くなる現象である。
【0014】
「被加圧物」は、本発明に係る加圧装置に加圧される対象であり、例えば、シート状の基材（セラミックグリーンシートなど）、電子部品、回路などが搭載されている基板、などである。
【0015】
●加圧装置●
●加圧装置の構成
図１は、本発明に係る加圧装置（以下「本装置」という。）の実施の形態を示す模式断面図である。
同図は、本装置１がＹ軸方向における中央部で切断された、本装置１のＸ軸方向およびＺ軸方向（以下「ＸＺ軸方向」という。）における切断面を示している（図２、図５、図８、および図９も同じ。）。
●加圧装置の構成
図１は、本発明に係る加圧装置（以下「本装置」という。）の実施の形態を示す模式断面図である。
同図は、本装置１がＹ軸方向における中央部で切断された、本装置１のＸ軸方向およびＺ軸方向（以下「ＸＺ軸方向」という。）における切断面を示している（図２、図５、図８、および図９も同じ。）。
【0016】
本装置１は、Ｚ軸方向（上下方向）において被加圧物Ｗを挟み込んで加圧する。本装置１は、上加圧ユニット２、下加圧ユニット３、昇降機構４、制御装置５、ポンプ用配管Ｌｐ、および真空ポンプＰを有してなる。
【0017】
上加圧ユニット２は、下加圧ユニット３と共に、Ｚ軸方向において被加圧物Ｗを挟み込んで加圧する。上加圧ユニット２は、下加圧ユニット３の＋Ｚ方向（上方向）に、下加圧ユニット３と対向するように配置されている。上加圧ユニット２は、昇降機構４の動作により、Ｚ軸方向に移動（昇降）可能に構成されている。上加圧ユニット２は、上ベース部材２０、第１上筐体２１、シリンダ２２、第２上筐体２３、上金型ユニット２４、上弾性部材２５、およびＯ－リングＲ１，Ｒ２を備える。
【0018】
図２は、図１の本装置１の部分拡大模式断面図である。
図３は、図１の本装置１のＡ矢視における部分拡大模式下面図である。
同図３は、説明の便宜上、被加圧物Ｗを太い二点鎖線で示していて、後述される本体部２３１の内周面２３ａを細い二点鎖線で示している。以下の説明において、図１は、適宜参照される。
図３は、図１の本装置１のＡ矢視における部分拡大模式下面図である。
同図３は、説明の便宜上、被加圧物Ｗを太い二点鎖線で示していて、後述される本体部２３１の内周面２３ａを細い二点鎖線で示している。以下の説明において、図１は、適宜参照される。
【0019】
上ベース部材２０は、シリンダ２２および第２上筐体２３を支持している。上ベース部材２０は、Ｚ軸方向に移動（昇降）可能に昇降機構４に支持されている。
【0020】
第１上筐体２１は、第２上筐体２３、上金型ユニット２４、および上弾性部材２５を収容すると共に、被加圧物Ｗが加圧されているとき（加圧時）、被加圧物Ｗが収容される空間（収容空間Ｓ４：図５参照。）を画定する。第１上筐体２１は、例えば、ステンレス鋼などの金属製である。第１上筐体２１の形状は、Ｚ軸方向視において正方形状で、略筒状（矩形筒状）である。すなわち、Ｚ軸方向視において、第１上筐体２１の中央には、正方形状の内部空間が形成されている。第１上筐体２１は、第１上筐体２１の内側から外側へ貫通している排気孔２１ａを備える。排気孔２１ａは、ポンプ用配管Ｌｐを介して真空ポンプＰに接続されている。第１上筐体２１は、シリンダ２２を介して上ベース部材２０に支持されている。水平方向において、第１上筐体２１は、第２上筐体２３、上金型ユニット２４、および上弾性部材２５を囲むように配置されている。
【0021】
Ｘ軸方向およびＹ軸方向（以下「ＸＹ軸方向」という。）において、第１上筐体２１の内周面同士の間隔は、第２上筐体２３（本体部２３１）の外周面同士の間隔よりも大きい。第１上筐体２１の内周面と第２上筐体２３の外周面との間、および第１上筐体２１の下面には、Ｏ－リングＲ１，Ｒ２が配置されている。
【0022】
シリンダ２２は、第１上筐体２１をＺ軸方向に昇降可能に支持している。シリンダ２２は、上ベース部材２０の下面２０ａに取り付けられている。シリンダ２２は、例えば、公知のエアシリンダである。
【0023】
第２上筐体２３は、上金型ユニット２４の一部、および上弾性部材２５を収容する。第２上筐体２３は、例えば、ステンレス鋼などの金属製である。第２上筐体２３の形状は、Ｚ軸方向視において正方形状で、略筒状（矩形筒状）である。第２上筐体２３は、両端部の開口がＺ軸方向に向けられた状態で、例えば、複数のボルト（不図示。以下同じ。）により、上ベース部材２０の下面２０ａに取り付けられている。そのため、第２上筐体２３は、ボルトの着脱により、上ベース部材２０から容易に着脱可能である。第２上筐体２３は、本体部２３１および内フランジ部２３２を備える。第２上筐体２３は、本発明における上筐体の一例である。
【0024】
本体部２３１は、上金型ユニット２４の一部、および上弾性部材２５を収容すると共に、加圧時に上弾性部材２５の過度な変形を抑制する。本体部２３１の形状は、Ｚ軸方向視において正方形状の筒状（矩形筒状）である。本体部２３１の内周面２３ａは、Ｚ軸方向視において正方形状で、Ｚ軸方向に平行な平面状であり、ＸＹ軸方向に向けられている。水平方向において、本体部２３１は、上金型ユニット２４および上弾性部材２５の全周を囲むように配置されている。すなわち、本体部２３１は、ＸＹ軸方向において、上金型ユニット２４および上弾性部材２５を挟み込むように配置されている。
【0025】
内フランジ部２３２は、上金型ユニット２４を支持して、上金型ユニット２４の落下を防止する。すなわち、内フランジ部２３２は、被加圧物Ｗが加圧されていないとき（非加圧時）、上金型ユニット２４を支持していて、上金型ユニット２４の－Ｚ方向（下方向）への移動を規制している。本体部２３１の下端部は、全周に亘って内方（本体部２３１に対して後述される金型部２４１が配置されている方向）に向けて均等に突出していて、内フランジ部２３２を形成している。すなわち、水平方向において、内フランジ部２３２は、本体部２３１から内方に向けて突出していて、本体部２３１と一体に構成されている。Ｚ軸方向視において、内フランジ部２３２の形状は、正方形状の枠状（矩形リング状）である。Ｚ軸方向において、内フランジ部２３２の厚みは、内フランジ部２３２が上金型ユニット２４を十分に支持可能な強度を有するために必要な厚みに設定されている。内フランジ部２３２の上面２３ｂは、水平方向に平行な平面状である。Ｚ軸方向視において、内フランジ部２３２の内周面２３ｃは正方形状で、Ｚ軸方向に平行な平面状であり、ＸＹ軸方向に向けられている。内フランジ部２３２は、本発明における規制部の一例である。内フランジ部２３２の上面２３ｂは本発明における支持面の一例である。すなわち、本発明における規制部は、本発明における支持面を備える。
【0026】
なお、本発明において、内フランジ部２３２の形状は、本実施の形態に限定されない。すなわち、例えば、内フランジ部２３２は、本体部２３１からＸ軸方向またはＹ軸方向のみに向けて突出していてもよい。つまり、内フランジ部２３２は、Ｘ軸方向またはＹ軸方向に平行な内周面２３ａのみから突出していてもよい。また、例えば、本体部２３１からＸ軸方向および／またはＹ軸方向に向けて等距離に突出する複数の棒状の部分それぞれが、本発明における規制部として機能していてもよい。
【0027】
上金型ユニット２４は、被加圧物Ｗが加圧されるとき、被加圧物Ｗに当接する金型である。上金型ユニット２４は、金型部２４１および熱ユニット部２４４を備える。上金型ユニット２４は、本発明における上金型の一例である。
【0028】
金型部２４１は、例えば、ステンレス鋼などの高い剛性を有する金属製である。金型部２４１の形状は、Ｚ軸方向視において正方形状で、側方向視において逆ハット状である。金型部２４１は本体部２４２および外フランジ部２４３を備える。
【0029】
本体部２４２の形状は、Ｚ軸方向視において正方形状で、Ｚ軸方向に扁平な直方体状である。本体部２４２の下面２４ａおよび上面２４ｂは、水平方向に平行な平面状である。下方向視において、本体部２４２の外周面２４ｃは正方形状で、Ｚ軸方向に平行な平面状であり、ＸＹ軸方向に向けられている。下面２４ａの外縁部は、全周に亘って＋Ｚ方向に凹んでいて、段部２４ｄを形成している。以下の説明において、下面２４ａのうち、段部２４ｄを除く部分が下面２４ａである。すなわち、下面２４ａは段部２４ｄよりも－Ｚ方向に配置されていて、Ｚ軸方向視において、下面２４ａの形状は正方形状である。下面２４ａは、加圧時に被加圧物Ｗに当接する面であり、本発明における上プレス面の一例である。
【0030】
外フランジ部２４３は、内フランジ部２３２に支持されることにより、本体部２４２（上金型ユニット２４）の落下を防止する。水平方向において、本体部２４２の上端部は、全周に亘って外方（本体部２４２に対して第２上筐体２３が配置されている方向：本体部２４２から離れる方向）に向けて均等に突出していて、外フランジ部２４３を形成している。すなわち、水平方向において、外フランジ部２４３は、本体部２４２から外方に向けて突出していて、本体部２４２と一体に構成されている。Ｚ軸方向視において、外フランジ部２４３の形状は、正方形状の枠状（矩形リング状）である。Ｚ軸方向において、外フランジ部２４３の厚みは、本体部２４２および熱ユニット部２４４（上金型ユニット２４）を十分に支持可能な程度に設定されている。外フランジ部２４３の下面２４ｅおよび上面２４ｆは、水平方向に平行な平面状である。同上面２４ｆは、本体部２４２の上面２４ｂと同一の仮想平面上に配置されている。Ｚ軸方向視において、外フランジ部２４３の外周面２４ｇは、正方形状で、Ｚ軸方向に平行な平面状であり、ＸＹ軸方向に向けられている。外フランジ部２４３の下面２４ｅは、内フランジ部２３２の上面２３ｂに対向している。外フランジ部２４３は、本発明における金型突出部の一例である。
【0031】
なお、本発明において、外フランジ部２４３の形状は、本実施の形態に限定されない。すなわち、例えば、外フランジ部２４３は、本体部２４２からＸ軸方向またはＹ軸方向のみに向けて突出していてもよい。つまり、外フランジ部２４３は、Ｘ軸方向またはＹ軸方向に平行な外周面２４ｃのみから突出していてもよい。また、例えば、本体部２４２からＸ軸方向および／またはＹ軸方向に向けて等距離に突出する複数の棒状の部分それぞれが、本発明における金型突出部として機能していてもよい。
【0032】
熱ユニット部２４４は、被加圧物Ｗが加圧されるとき、被加圧物Ｗを加熱／冷却する。熱ユニット部２４４の形状は、Ｚ軸方向視において正方形状で、Ｚ軸方向に扁平な直方体状である。熱ユニット部２４４は、本体部２４５、第１断熱部材２４６、第２断熱部材２４７、複数のヒータＨ１、および複数の冷媒流路Ｌ１を備える。熱ユニット部２４４は、本発明における上熱ユニットの一例である。
【0033】
本体部２４５は、ヒータＨ１および冷媒流路Ｌ１を保護する。本体部２４５は、例えば、ステンレス鋼などの高い剛性を有する金属製である。本体部２４５の形状は、Ｚ軸方向視において正方形状で、Ｚ軸方向に扁平な直方体状である。水平方向において、第１断熱部材２４６は、本体部２４５の周囲（ＸＹ軸方向に向けられる４面）を覆い、ヒータＨ１の熱の側方への漏れを抑制している。第２断熱部材２４７は、本体部２４５を上下に２分割するように配置されていて、ヒータＨ１の熱の＋Ｚ方向への漏れを抑制している。ヒータＨ１は、被加圧物Ｗが加圧されるとき、被加圧物Ｗを加熱する。ヒータＨ１は、本体部２４５の下半部内に配置されている。冷媒流路Ｌ１は、本体部２４５および被加圧物Ｗを冷却する冷媒（不図示。以下同じ。）が流れる流路である。冷媒は、冷却装置（不図示。以下同じ。）により冷却されていて、冷媒流路Ｌ１と冷却装置との間で循環されている。冷媒流路Ｌ１は、本体部２４５の上半部内に配置されている。熱ユニット部２４４は、第２上筐体２３に収容されていて、金型部２４１の＋Ｚ方向に、金型部２４１に隣接して配置されている。熱ユニット部２４４は、例えば、ボルト（不図示。以下同じ。）により、金型部２４１に取り付けられている。
【0034】
なお、本発明において、熱ユニット部２４４は、ヒータＨ１または冷媒流路Ｌ１を備えていなくてもよい。この場合、熱ユニット部２４４は、必要に応じて、第１断熱部材２４６および第２断熱部材２４７を備える。
【0035】
また、本発明において、熱ユニット部２４４は、金型部２４１の上に載置されていて、金型部２４１に取り付けられていなくてもよい。
【0036】
ＸＹ軸方向において、外フランジ部２４３の大きさ（Ｌ３）は、本体部２４２の大きさ（Ｌ２）よりも大きく、熱ユニット部２４４の大きさ（Ｌ４）と同じである。ＸＹ軸方向において、本体部２４２の下面２４ａの大きさ（Ｌ１）は、本体部２４２の大きさ（Ｌ２）よりも小さく、被加圧物Ｗの大きさ（Ｌｗ）と同じである。すなわち、Ｚ軸方向視において、下面２４ａの（外縁の）形状および大きさ（Ｌ１）は、被加圧物Ｗの（外縁の）形状および大きさ（Ｌｗ）と同じである。
【0037】
ここで、下面２４ａと被加圧物Ｗとの関係における「同じ」は、完全に同一だけでなく、公差や製造時の寸法精度に基づく差異を含むが、下面２４ａの大きさ（Ｌ１）が被加圧物Ｗの大きさ（Ｌｗ）よりも小さくなることはない。
【0038】
なお、本発明において、ＸＹ軸方向における熱ユニット部２４４の大きさ（Ｌ４）は、本体部２４２の大きさ以上であればよく、外フランジ部２４３の大きさ（Ｌ３）よりも小さくてもよい。
【0039】
上金型ユニット２４のうち、本体部２４２の一部（上半部）、外フランジ部２４３、および熱ユニット部２４４は、第２上筐体２３に収容されている。本体部２４２の他の一部（下半部）は、第２上筐体２３よりも－Ｚ方向に突出している。本体部２４２の外周面２４ｃは、内フランジ部２３２の内周面２３ｃに対向している。ＸＹ軸方向において、本体部２４２の外周面２４ｃ同士の間隔（Ｌ２）は、内フランジ部２３２の内周面２３ｃ同士の間隔（Ｌ１１）よりも小さい。外フランジ部２４３の外周面２４ｇ、および熱ユニット部２４４の外周面２４ｈは、第２上筐体２３の本体部２３１の内周面２３ａに対向していて、Ｚ軸方向に摺動可能な状態で同内周面２３ａに当接している。ＸＹ軸方向において、外フランジ部２４３の外周面２４ｇ同士の間隔（Ｌ３）は、本体部２３１の内周面２３ａ同士の間隔（Ｌ１２）と略同じである（僅かに小さい）。ＸＹ軸方向において、熱ユニット部２４４の外周面２４ｈ同士の間隔（Ｌ４）は、外フランジ部２４３の外周面２４ｇ同士の間隔（Ｌ３）と同じである。非加圧時、内フランジ部２３２の上面２３ｂは、外フランジ部２４３の下面２４ｅに当接している。その結果、非加圧時、上金型ユニット２４は、内フランジ部２３２（上面２３ｂ）のみにより支持されている。このとき、上金型ユニット２４は、＋Ｚ方向へは後述される空間Ｓ１および上弾性部材２５の弾性変形分のみ摺動可能であり、－Ｚ方向へは摺動不可能である。
【0040】
本発明において、「上金型ユニット２４の摺動」は、下面２４ａが水平方向に平行な状態でＺ軸方向に移動することを意味する。すなわち、外周面２４ｇ，２４ｈの全面は、必ずしも内周面２３ａに当接していなくてもよい。つまり、上金型ユニット２４がＺ軸方向にガタつきなく摺動可能あれば、外周面２４ｇ，２４ｈの一部または全部は、内周面２３ａに当接していなくてもよい。
【0041】
図４は、図１の本装置１のＢＢ線における模式断面図である。
同図は、説明の便宜上、第２上筐体２３および上弾性部材２５のみの断面を示していて、本体部２４２の下面２４ａおよび被加圧物Ｗの外縁を二点鎖線で示している。以下の上弾性部材２５の説明において、図１～図３は、適宜参照される。
同図は、説明の便宜上、第２上筐体２３および上弾性部材２５のみの断面を示していて、本体部２４２の下面２４ａおよび被加圧物Ｗの外縁を二点鎖線で示している。以下の上弾性部材２５の説明において、図１～図３は、適宜参照される。
【0042】
上弾性部材２５は、均圧性の悪化を抑制する。上弾性部材２５は、例えば、シリコン系のゴム製である。上弾性部材２５の形状は、Ｚ軸方向視において正方形状の板状（矩形板状）である。上弾性部材２５は、第２上筐体２３に収容されていて、上金型ユニット２４の上に載置されている。すなわち、上弾性部材２５は、上ベース部材２０と上金型ユニット２４との間に配置されていて、上金型ユニット２４の＋Ｚ方向に、上金型ユニット２４に隣接して配置されている。水平方向において、上弾性部材２５は、全周を第２上筐体２３に取り囲まれている。上弾性部材２５の下面２５ａおよび上面２５ｂは、水平方向に平行な平面状である。外周面２５ｃは、第２上筐体２３の本体部２３１の内周面２３ａに対向している。上弾性部材２５の外周面（水平方向に向けられる面）２５ｃは、Ｚ軸方向に平行な断面視において、内方（第２上筐体２３から離れる方向）に向けて半球状に凹んでいる凹面である。下面２５ａは、上金型ユニット２４の上面（熱ユニット部２４４の上面）に当接している。上面２５ｂは上ベース部材２０の下面２０ａに対向していて、非加圧時、上ベース部材２０と上弾性部材２５との間には空間Ｓ１が形成されている。すなわち、非加圧時、上弾性部材２５は、上ベース部材２０に当接しない。ＸＹ軸方向において、外周面２５ｃ同士の間隔（Ｌ２１）は、本体部２３１の内周面２３ａ同士の間隔（Ｌ１２）よりも小さく、金型部２４１の本体部２４２の外周面２４ｃ同士の間隔（Ｌ２）、および、下面２４ａの大きさ（Ｌ１）よりも大きい。すなわち、Ｚ軸方向視において、下面２４ａが占める領域の全域は、上弾性部材２５が占める領域と重複する。前述のとおり、外周面２５ｃは凹面であるため、外周面２５ｃは内周面２３ａに当接しておらず、内周面２３ａと外周面２５ｃとの間には隙間Ｓ２が形成されている。
【0043】
なお、本発明において、非加圧時、上弾性部材２５は、上ベース部材２０と当接していてもよい。すなわち、空間Ｓ１は、形成されていなくてもよい。
【0044】
また、本発明において、上弾性部材２５の外周面２５ｃは、半球状に凹んでいる凹面に限定されない。すなわち、例えば、Ｚ軸方向に平行な断面視において、同外周面２５ｃは、三角形状に凹む凹面でもよく、または、Ｚ軸方向に平行な平面でもよい（凹面でなくてもよい）。
【0045】
上弾性部材２５の厚みは、加圧時、後述される応力のばらつきのキャンセルが可能な程度の厚みに設定されている。すなわち、例えば、加圧時、上弾性部材２５の厚みの下限は上弾性部材２５が弾性を完全に失わない程度の厚みであり、同上限は本装置１が設定どおりの加圧を実行可能な程度の厚みである。したがって、上弾性部材２５の厚みは、極端に薄く（例えば、１ｍｍ以下）、または、極端に厚く（例えば、１００ｍｍ以上）には設定されない。
【0046】
本説明において主に参照される図面は、図１および図２に戻る。
下加圧ユニット３は、上加圧ユニット２と共に、Ｚ軸方向において被加圧物Ｗを挟み込んで加圧する。下加圧ユニット３は、上加圧ユニット２の－Ｚ方向に、上加圧ユニット２と対向するように配置されている。下加圧ユニット３は、下ベース部材３０、下筐体３１、下金型ユニット３２、および下弾性部材３３を備える。
下加圧ユニット３は、上加圧ユニット２と共に、Ｚ軸方向において被加圧物Ｗを挟み込んで加圧する。下加圧ユニット３は、上加圧ユニット２の－Ｚ方向に、上加圧ユニット２と対向するように配置されている。下加圧ユニット３は、下ベース部材３０、下筐体３１、下金型ユニット３２、および下弾性部材３３を備える。
【0047】
下ベース部材３０は、下筐体３１、下金型ユニット３２、および下弾性部材３３を支持している。
【0048】
下筐体３１は、下金型ユニット３２および下弾性部材３３を収容する。下筐体３１は、例えば、ステンレス鋼などの金属製である。下筐体３１の形状は、Ｚ軸方向視において正方形状で、筒状（矩形筒状）である。下筐体３１は、両端部の開口が上下方向に向けられた状態で、例えば、複数のボルト（不図示）により、下ベース部材３０の上面３０ａに取り付けられている。下筐体３１の内周面３１ａは、Ｚ軸方向視において正方形状で、Ｚ軸方向に平行な平面状であり、ＸＹ軸方向に向けられている。
【0049】
下金型ユニット３２は、加圧時、被加圧物Ｗが載置される（被加圧物Ｗに当接する）金型である。すなわち、下金型ユニット３２は、加圧時、被加圧物Ｗに当接する。下金型ユニット３２の形状は、Ｚ軸方向において、上金型ユニット２４が反転させられた形状と同じである。下金型ユニット３２は、金型部３２１および熱ユニット部３２４を備える。下金型ユニット３２は、本発明における下金型の一例である。
【0050】
金型部３２１は、例えば、ステンレス鋼などの高い剛性を有する金属製である。金型部３２１の形状は、Ｚ軸方向視において正方形状で、側方向視においてハット状である。金型部３２１は本体部３２２および外フランジ部３２３を備える。
【0051】
本体部３２２の形状は、Ｚ軸方向視において正方形状で、Ｚ軸方向に扁平な直方体状である。本体部３２２の上面３２ａおよび下面３２ｂは、水平方向に平行な平面状である。Ｚ軸方向視において、本体部３２２の外周面３２ｃは正方形状で、Ｚ軸方向に平行な平面状であり、ＸＹ軸方向に向けられている。上面３２ａの外縁部は、全周に亘って－Ｚ方向に凹んでいて、段部３２ｄを形成している。以下の説明において、上面３２ａのうち、段部３２ｄを除く部分が上面３２ａである。すなわち、上面３２ａは段部３２ｄよりも＋Ｚ方向に配置されていて、Ｚ軸方向視において、上面３２ａの形状は正方形状である。Ｚ軸方向視において、上面３２ａの（外縁の）形状および大きさは、被加圧物Ｗの（外縁の）形状および大きさと同じである。上面３２ａは、加圧時に被加圧物Ｗに当接する面であり、本発明における下プレス面の一例である。
【0052】
水平方向において、本体部３２２の下端部は、全周に亘って外方（本体部３２２に対して下筐体３１が配置されている方向：本体部３２２から離れる方向）へ均等に突出していて、外フランジ部３２３を形成している。すなわち、水平方向において、外フランジ部３２３は、本体部３２２から外方に向けて突出していて、本体部３２２と一体に構成されている。Ｚ軸方向視において、外フランジ部３２３の形状は、正方形状の枠状（矩形リング状）である。外フランジ部３２３の下面３２ｅは、水平方向に平行な平面状である。同下面３２ｅは、本体部３２２の下面３２ｂと同一の仮想平面上に配置されている。Ｚ軸方向視において、外フランジ部３２３の外周面３２ｆは、正方形状で、Ｚ軸方向に平行な平面状であり、ＸＹ軸方向に向けられている。
【0053】
熱ユニット部３２４は、加圧時、被加圧物Ｗを加熱／冷却する。熱ユニット部３２４の形状は、Ｚ軸方向視において正方形状で、Ｚ軸方向に扁平な直方体状である。熱ユニット部３２４は、本体部３２５、第１断熱部材３２６、第２断熱部材３２７、複数のヒータＨ２、および複数の冷媒流路Ｌ２を備える。
【0054】
本体部３２５は、ヒータＨ２および冷媒流路Ｌ２を保護する。本体部３２５は、例えば、ステンレス鋼などの高い剛性を有する金属製である。本体部３２５の形状は、Ｚ軸方向視において正方形状で、Ｚ軸方向に扁平な直方体状である。水平方向において、第１断熱部材３２６は、本体部３２５の周囲（ＸＹ軸方向に向けられる４面）を覆い、ヒータＨ２の熱の側方への漏れを抑制している。第２断熱部材３２７は、本体部３２５を上下に２分割するように配置されていて、ヒータＨ２の熱の－Ｚ方向への漏れを抑制している。ヒータＨ２は、被加圧物Ｗが加圧されるとき、被加圧物Ｗを加熱する。ヒータＨ２は、本体部３２５の上半部内に配置されている。冷媒流路Ｌ２は、本体部３２５および被加圧物Ｗを冷却する冷媒が流れる流路である。冷媒は、冷却装置により冷却されていて、冷媒流路Ｌ２と冷却装置との間で循環されている。冷媒流路Ｌ２は、本体部３２５の下半部内に配置されている。熱ユニット部３２４は、下筐体３１に収容されていて、金型部３２１の－Ｚ方向に、金型部３２１に隣接して配置されている。熱ユニット部３２４は、例えば、ボルト（不図示。以下同じ。）により、金型部３２１に取り付けられている。
【0055】
なお、本発明において、熱ユニット部３２４は、ヒータＨ２または冷媒流路Ｌ２を備えていなくてもよい。この場合、熱ユニット部３２４は、必要に応じて、第１断熱部材３２６および第２断熱部材３２７を備える。
【0056】
また、本発明において、熱ユニット部３２４は、金型部３２１に取り付けられていなくてもよい。
【0057】
下金型ユニット３２のうち、本体部３２２の一部（下半部）、外フランジ部３２３、および熱ユニット部３２４は、下筐体３１に収容されている。本体部３２２の他の一部（上半部）は、下筐体３１よりも＋Ｚ方向に突出している。ＸＹ軸方向において、外フランジ部３２３の外周面３２ｆ、および熱ユニット部３２４の外周面３２ｇは、下筐体３１の内周面３１ａに対向していて、Ｚ軸方向に摺動可能な状態で同内周面３１ａに当接している。ＸＹ軸方向において、外フランジ部３２３の外周面３２ｆ同士の間隔（Ｌ３１）は、下筐体３１の内周面３１ａ同士の間隔（Ｌ３２）と略同じである（僅かに小さい）。その結果、非加圧時、下金型ユニット３２は、下弾性部材３３のみにより支持されていて、＋Ｚ方向へは取外し可能であり、－Ｚ方向へは下弾性部材３３の弾性変形分のみ摺動可能である。
【0058】
本発明において、「下金型ユニット３２の摺動」は、上面３２ａが水平方向に平行な状態でＺ軸方向に移動することを意味する。すなわち、外周面３２ｆ，３２ｇの全面は、必ずしも内周面３１ａに当接していなくてもよい。つまり、下金型ユニット３２がＺ軸方向にガタつきなく摺動可能あれば、外周面３２ｆ，３２ｇの一部または全部は、内周面３１ａに当接していなくてもよい。
【0059】
下弾性部材３３は、均圧性の悪化を抑制する。下弾性部材３３は、例えば、シリコン系のゴム製である。下弾性部材３３の形状は、上弾性部材２５の形状と同じである。すなわち、下弾性部材３３は、水平方向に平行な平面状である上面３３ａおよび下面３３ｂ、および、半球状の凹面である外周面３３ｃを備える。下弾性部材３３は、下筐体３１に収容されていて、下ベース部材３０と下金型ユニット３２との間に配置されている。すなわち、下弾性部材３３は、下金型ユニット３２の下方に配置されている。上面３３ａは、下金型ユニット３２の下面（熱ユニット部２４４の下面）に当接している。下面３３ｂは下ベース部材３０の上面３０ａに当接している。外周面３３ｃは、下筐体３１の内周面３１ａに対向している。外周面３３ｃは凹面であるため、外周面３３ｃは内周面３１ａに当接しておらず、下筐体３１と下弾性部材３３との間には隙間Ｓ３が形成されている。Ｚ軸方向視において、上面３２ａが占める領域の全域は、下弾性部材３３が占める領域と重複する。
【0060】
なお、本発明において、下弾性部材３３の外周面３３ｃは、半球状に凹んでいる凹面に限定されない。すなわち、例えば、Ｚ軸方向に平行な断面視において、同外周面３３ｃは、三角形状に凹む凹面でもよく、または、Ｚ軸方向に平行な平面でもよい（凹面でなくてもよい）。
【0061】
昇降機構４は、制御装置５の制御により、上加圧ユニット２を昇降させる。昇降機構４は、例えば、公知の油圧シリンダである。
【0062】
制御装置５は、本装置１全体の動作を制御する。制御装置５は、例えば、ＣＰＵ（Central Processing Unit）などのプロセッサ、ＣＰＵの作業領域として機能するＲＡＭ（Random Access Memory）などの揮発性メモリ、および、本装置１の動作を制御するプログラムや他の制御プログラムなどの各種情報を記憶するＲＯＭ（Read Only Memory）などの不揮発性メモリ、を備える、ＰＬＣやマイクロコンピュータである。
【0063】
このように構成されている本装置１では、非加圧時、外フランジ部２４３の下面２４ｅが内フランジ部２３２の上面２３ｂに当接していて、上金型ユニット２４および上弾性部材２５は、上ベース部材２０および第２上筐体２３には固定されておらず、内フランジ部２３２のみにより支持されている。そして、第２上筐体２３は、ボルトの着脱により、上ベース部材２０に対して着脱可能である。そのため、第２上筐体２３が取り外されることにより、上金型ユニット２４（金型部２４１）は、容易に交換可能である。一方、下金型ユニット３２も下筐体３１にＺ軸方向に摺動可能に収容されていて、下筐体３１に固定されていない。そのため、非加圧時、下金型ユニット３２（金型部３２１）は、容易に交換可能である。Ｚ軸方向視において、金型部２４１の下面２４ａおよび金型部３２１の上面３２ａの形状および大きさは、被加圧物Ｗの形状および大きさと同じに設定されている。そのため、本装置１が、被加圧物Ｗの形状および大きさに対応する下面２４ａを備える複数種の金型部２４１を備えるのであれば、被加圧物Ｗの形状または大きさが変更されるとき、金型部２４１は被加圧物Ｗに対応して変更可能となる。
【0064】
【0065】
図５は、加圧時の本装置１を示す部分拡大模式断面図である。
【0066】
先ず、被加圧物Ｗが下金型ユニット３２の上面（本体部３２２の上面３２ａ）に載置される。すなわち、被加圧物Ｗは、上面３２ａに当接している。前述のとおり、ＸＹ軸方向において、被加圧物Ｗの大きさは、上面３２ａ（すなわち、上金型ユニット２４の下面（本体部２４２の下面２４ａ））の大きさと同じである。このとき、上金型ユニット２４は、内フランジ部２３２のみにより支持されていて、第２上筐体２３に対して＋Ｚ方向に摺動可能な状態である。
【0067】
次いで、制御装置５は、昇降機構４の動作を制御して、上加圧ユニット２を所定の位置まで降下させる。このとき、上金型ユニット２４は、被加圧物Ｗに当接していない。
【0068】
次いで、制御装置５は、シリンダ２２の動作を制御して、第１上筐体２１を降下させて、Ｏ－リングＲ１を下ベース部材３０の上面３０ａに当接させて、押圧させる。このとき、収容空間（上加圧ユニット２と下加圧ユニット３との間の空間）Ｓ４は、第１上筐体２１により密閉される。次いで、制御装置５は、真空ポンプＰを動作させて、収容空間Ｓ４内を減圧する。
【0069】
次いで、制御装置５は、昇降機構４の動作を制御して、上金型ユニット２４をさらに降下させて、下面２４ａを被加圧物Ｗに当接させて、被加圧物Ｗを加圧する。このとき、後述のとおり、下面２４ａから被加圧物Ｗに加えられる圧力は、上弾性部材２５が配置されていることにより、被加圧物Ｗの上面の全体に略均等に加えられる。同様に、上面３２ａには被加圧物Ｗが当接していて、上面３２ａから被加圧物Ｗに加えられる圧力も、下弾性部材３３が配置されていることにより、被加圧物Ｗの下面の全体に略均等に加えられる。すなわち、本装置１では、均圧性の悪化が抑制される。
【0070】
また、前述のとおり、Ｚ軸方向視において、下面２４ａおよび上面３２ａの（外縁の）形状および大きさは、被加圧物Ｗの（外縁の）形状および大きさと同じである。そのため、加圧時、ＸＹ軸方向における被加圧物Ｗのエッジ部分は、下面２４ａおよび上面３２ａに当接しない。ここで、仮に、被加圧物Ｗのエッジ部分が下面２４ａおよび上面３２ａに当接すると、同エッジ部分に応力の集中が生じて、下面２４ａおよび上面３２ａにおける同エッジ部分の内側に隣接する部分が局所的に変形し得る。この場合、被加圧物Ｗのエッジ部分における応力は局所的に増加して、エッジ部分の内側に隣接する部分における応力は局所的に減少する。その結果、被加圧物Ｗのエッジ部分の近傍に加えられる応力は、不均一になり得る。本実施の形態では、被加圧物Ｗのエッジ部分が下面２４ａおよび上面３２ａに当接しないため、この応力の不均一化は生じない。
【0071】
さらに、加圧時、上金型ユニット２４は＋Ｚ方向に摺動して上弾性部材２５を押圧して、下金型ユニット３２は－Ｚ方向に摺動して下弾性部材３３を押圧する。このとき、外フランジ部２４３の外周面２４ｇおよび熱ユニット部２４４の外周面２４ｈは、本体部２３１の内周面２３ａに対して摺動する。また、外フランジ部３２３の外周面３２ｆおよび熱ユニット部３２４の外周面３２ｇは、下筐体３１の内周面３１ａに対して摺動する。その結果、上弾性部材２５および下弾性部材３３はＺ軸方向に圧縮されて、外周面２５ｃ，３３ｃは水平方向に押し出される。このとき、外周面２５ｃ，３３ｃは凹面であるため、外周面２５ｃ，３３ｃは水平方向に過剰に変形しない（はみ出ない）。また、仮に、大きな加圧力が被加圧物Ｗに加えられていても、外周面２５ｃ，３３ｃの水平方向への過剰な変形は第２上筐体２３の本体部２３１の内周面２３ａにより防止される。したがって、加圧時に水平方向への変形量が大きくなる流動性の高い材料であっても、上弾性部材２５および下弾性部材３３として用いることができる。
【0072】
次いで、制御装置５は、熱ユニット部２４４，３２４の動作を制御して、被加圧物Ｗへの加熱処理を実行する。このとき、冷媒流路Ｌ１，Ｌ２を流れる冷媒により、ヒータＨ１，Ｈ２の熱は、上弾性部材２５および下弾性部材３３には、殆ど伝達されない。
【0073】
加熱処理の終了後、制御装置５は、収容空間Ｓ４内を大気圧に戻すと共に、昇降機構４の動作を制御して、上加圧ユニット２を上昇させる。その後、加圧された被加圧物Ｗは、取り出される。
【0074】
●均圧性の悪化の抑制
本装置１において、被加圧物Ｗに対する均圧性の悪化は、上弾性部材２５および下弾性部材３３により抑制されている。この抑制の要因は解明されていないが、本発明の発明者らの所見が以下に説明される。以下の説明において、主として上加圧ユニット２における要因が説明されて、図１～図３は、適宜参照される。
本装置１において、被加圧物Ｗに対する均圧性の悪化は、上弾性部材２５および下弾性部材３３により抑制されている。この抑制の要因は解明されていないが、本発明の発明者らの所見が以下に説明される。以下の説明において、主として上加圧ユニット２における要因が説明されて、図１～図３は、適宜参照される。
【0075】
図６は、均圧性の悪化を抑制する要因を説明する模式図であり、（ａ）は加圧時に生じている部材の撓みの状態を示していて、（ｂ）は加圧時に生じている応力の伝播を示している。同図（ｂ）は、説明の便宜上、応力の大きさを黒塗り矢印で示している。
【0076】
前述のとおり、均圧性の悪化を抑制する要因は特定されていないが、加圧時に生じている部材の撓みが同要因の１つとして提唱されている。同要因によれば、図６（ａ）に示されているように、被加圧物Ｗが加圧されているとき、上ベース部材２０は、昇降機構４からの加圧力および被加圧物Ｗからの反力により、側方視において上に凸となるように僅かに撓む（変形する）。この撓みは、上弾性部材２５の弾性変形により吸収されて、上金型ユニット２４へは（殆ど）影響を及ぼさない。その結果、上金型ユニット２４は上ベース部材２０の撓みに追随して撓まず、下面２４ａの全面は被加圧物Ｗに均一に当接する。その結果、下面２４ａからの圧力は、被加圧物Ｗに均一に加えられる。
【0077】
また、別の要因として、本発明の発明者らは、加圧時に部材内に伝播される応力のばらつきが要因の１つになると推測している。同推測によれば、図６（ｂ）に示されているように、昇降機構４から加えられた応力は上ベース部材２０の内部に伝播されるが、上ベース部材２０の端部に到達した応力は行き場を失い、端部に沿って伝播され得る。その結果、端部に伝播される応力は中央部に伝播される応力よりも大きくなり、応力のばらつきが生じ得る。このばらつきは上弾性部材２５の弾性力によりキャンセルされて、上ベース部材２０から伝播された応力は上弾性部材２５から上金型ユニット２４へは均等に伝播される。その結果、下面２４ａからの圧力は、被加圧物Ｗに均一に加えられる。
【0078】
なお、本発明において、均圧性の悪化を抑制する要因は、上記２つの要因に限定されない。すなわち、例えば、均圧性の悪化を抑制する要因として、他の要因、または、これらの要因の組合せもあり得る。また、これらの要因が誤りであったとしても、後述される実施例に示されるとおり、本発明は均圧性の悪化を抑制している。
【0079】
●まとめ
以上説明された実施の形態によれば、上加圧ユニット２は、上金型ユニット２４、上弾性部材２５、および第２上筐体２３を備える。上金型ユニット２４（本体部２４２）は、加圧時に被加圧物Ｗに当接する平面状の下面２４ａを備える。上弾性部材２５は、上金型ユニット２４の＋Ｚ方向に上金型ユニット２４に隣接して配置されている。Ｚ軸方向視において、下面２４ａが占める領域の全域は、上弾性部材２５が占める領域と重複している。この構成では、上ベース部材２０と上金型ユニット２４との間に上弾性部材２５が配置されているため、下面２４ａと被加圧物Ｗとの間に生じる均圧性の悪化は、上弾性部材２５により抑制される。また、加圧時、Ｚ軸方向において上弾性部材２５が圧縮されても、第２上筐体２３により上弾性部材２５の水平方向への過剰な変形（はみ出し）は防止される。
以上説明された実施の形態によれば、上加圧ユニット２は、上金型ユニット２４、上弾性部材２５、および第２上筐体２３を備える。上金型ユニット２４（本体部２４２）は、加圧時に被加圧物Ｗに当接する平面状の下面２４ａを備える。上弾性部材２５は、上金型ユニット２４の＋Ｚ方向に上金型ユニット２４に隣接して配置されている。Ｚ軸方向視において、下面２４ａが占める領域の全域は、上弾性部材２５が占める領域と重複している。この構成では、上ベース部材２０と上金型ユニット２４との間に上弾性部材２５が配置されているため、下面２４ａと被加圧物Ｗとの間に生じる均圧性の悪化は、上弾性部材２５により抑制される。また、加圧時、Ｚ軸方向において上弾性部材２５が圧縮されても、第２上筐体２３により上弾性部材２５の水平方向への過剰な変形（はみ出し）は防止される。
【0080】
また、第２上筐体２３は、非加圧時、上金型ユニット２４の－Ｚ方向への移動を規制する内フランジ部２３２を備える。上金型ユニット２４は、非加圧時、内フランジ部２３２のみにより支持されていて、被加圧物Ｗへの加圧の状態に応じて、第２上筐体２３に対してＺ軸方向にのみ摺動可能に配置されている。この構成によれば、上金型ユニット２４を固定するための構造および部材は不要となり、上加圧ユニット２の構造は、上金型ユニット２４が固定されていた従来の上加圧ユニットよりも簡易になる。また、第２上筐体２３が着脱可能に構成されている場合、その着脱により上金型ユニット２４が着脱可能となり、上金型ユニット２４（金型部２４１）の交換は容易となる。したがって、被加圧物Ｗの形状および大きさに応じて、最適な上金型ユニット２４（金型部２４１）への交換が容易となる。その結果、被加圧物Ｗの形状および大きさが変更されても、被加圧物Ｗのエッジ部分に基づく応力の不均一化は抑制可能である。さらに、上金型ユニット２４は、第２上筐体２３に対してＺ軸方向にのみ摺動可能である。そのため、上金型ユニット２４の上方に局所的に変形可能な上弾性部材２５が配置されていても、上金型ユニット２４は水平方向から傾くことなく上弾性部材２５の全面を均等に押圧する。その結果、上弾性部材２５による均圧性の悪化の抑制効果は、偏在することなく、上金型ユニット２４全体に影響を及ぼす。
【0081】
このように、本発明では、上弾性部材２５が上金型ユニット２４に隣接して配置されるという簡易な構成で均圧性の悪化が抑制されると共に、上金型ユニット２４の交換も容易に可能となり得る。
【0082】
また、以上説明された実施の形態によれば、水平方向（ＸＹ軸方向）において、第２上筐体２３は、上金型ユニット２４を挟み込むように配置されている。水平方向において、内フランジ部２３２は、本体部２３１に対して上金型ユニット２４が配置されている方向に突出していて、非加圧時、上金型ユニット２４を支持する上面２３ｂを備える。この構成によれば、第２上筐体２３は、本体部２３１から内フランジ部２３２を突出させるという簡易な構成で、上金型ユニット２４を＋Ｚ方向に摺動可能に支持できる。
【0083】
さらに、以上説明された実施の形態によれば、上金型ユニット２４は、下面２４ａを備える本体部２４２、および、水平方向において、本体部２４２から突出する外フランジ部２４３を備える。非加圧時、内フランジ部２３２の上面２３ｂは、外フランジ部２４３の下面２４ｅに当接している。この構成によれば、２つの突出部（内フランジ部２３２、外フランジ部２４３）を組み合わせるという簡易な構成で、上金型ユニット２４を＋Ｚ方向に摺動可能に支持できる。
【0084】
さらにまた、以上説明された実施の形態によれば、上金型ユニット２４は、被加圧物Ｗを加熱または冷却する熱ユニット部２４４を備える。Ｚ軸方向において、上弾性部材２５は、熱ユニット部２４４の＋Ｚ方向に熱ユニット部２４４に隣接して配置されている。この構成によれば、熱ユニット部２４４と上弾性部材２５との間が断熱されることにより、熱ユニット部２４４の熱は上弾性部材２５には伝達されず、同熱による上弾性部材２５へのダメージを抑制／防止できる。また、熱ユニット部２４４と被加圧物Ｗとの間に断熱材として機能し得る上弾性部材２５が配置されていないため、熱ユニット部２４４の熱は効率的に被加圧物Ｗに伝達される。さらに、上弾性部材２５が上ベース部材２０と上金型ユニット２４との間に配置されているため、下面２４ａと被加圧物Ｗとの間に生じる均圧性の悪化は、上弾性部材２５により抑制される。
【0085】
さらにまた、以上説明された実施の形態によれば、上加圧ユニット２において、第２上筐体２３は、上ベース部材２０に対して着脱可能に構成されている。その結果、上金型ユニット２４は、第２上筐体２３が取り外されたとき、交換可能である。この構成によれば、上金型ユニット２４（金型部２４１）の交換は、容易となる。したがって、被加圧物Ｗの形状および大きさに応じて、最適な上金型ユニット２４（金型部２４１）への交換が容易となる。その結果、被加圧物Ｗの形状および大きさが変更されても、被加圧物Ｗのエッジ部分に基づく応力の不均一化は抑制可能である。
【0086】
さらにまた、以上説明された実施の形態によれば、Ｚ軸方向視において、上金型ユニット２４の下面２４ａの形状および大きさは、被加圧物Ｗの形状および大きさと同じである。この構成によれば、被加圧物Ｗのエッジ部分に基づく応力の不均一化は、抑制される。
【0087】
さらにまた、以上説明された実施の形態によれば、下加圧ユニット３は、加圧時に被加圧物Ｗに当接する下金型ユニット３２を備える。Ｚ軸方向視において、下金型ユニット３２の上面３２ａの形状および大きさは、被加圧物Ｗの形状および大きさと同じである。この構成によれば、被加圧物Ｗのエッジ部分に基づく応力の不均一化は、さらに抑制される。
【0088】
さらにまた、以上説明された実施の形態によれば、下加圧ユニット３は、下ベース部材３０と下金型ユニット３２との間に挟持される下弾性部材３３を備える。Ｚ軸方向視において、下金型ユニット３２の上面３２ａが占める領域の全域は、下弾性部材３３が占める領域と重複している。この構成によれば、下弾性部材３３が下金型ユニット３２に隣接して配置されるという簡易な構成で、被加圧物Ｗの－Ｚ方向側における均圧性の悪化も抑制される。
【0089】
さらにまた、以上説明された実施の形態によれば、上弾性部材２５の外周面２５ｃは、第２上筐体２３に対向していて、内方（第２上筐体２３から離れる方向）に凹む凹面である。この構成によれば、加圧時、外周面２５ｃは水平方向に過剰に変形しない（はみ出ない）。
【0090】
●変形例●
次に、本装置１の変形例が、先に説明した実施の形態（以下「第１実施形態」という。）と異なる点を中心に、以下に説明される。以下の変形例において、説明の便宜上、第１実施形態と同じ部材、および、共通する機能を有する部材には、第１実施形態と同じ符号が付されている。また、他の変形例と同じ部材、および、共通する機能を有する部材には、その変形例と同じ符号が付されている。以下の変形例において、図１および図２は、適宜参照される。
次に、本装置１の変形例が、先に説明した実施の形態（以下「第１実施形態」という。）と異なる点を中心に、以下に説明される。以下の変形例において、説明の便宜上、第１実施形態と同じ部材、および、共通する機能を有する部材には、第１実施形態と同じ符号が付されている。また、他の変形例と同じ部材、および、共通する機能を有する部材には、その変形例と同じ符号が付されている。以下の変形例において、図１および図２は、適宜参照される。
【0091】
●第１～第４変形例
先ず、第１～第４変形例に係る加圧装置１Ａ～１Ｄが説明される。第１～第４変形例に係る加圧装置１Ａ～１Ｄでは、本発明における筐体および／または規制部の構成が第１実施形態と異なる。
先ず、第１～第４変形例に係る加圧装置１Ａ～１Ｄが説明される。第１～第４変形例に係る加圧装置１Ａ～１Ｄでは、本発明における筐体および／または規制部の構成が第１実施形態と異なる。
【0092】
図７（ａ）は第１変形例に係る加圧装置１Ａの部分拡大模式断面図であり、（ｂ）は第２変形例に係る加圧装置１Ｂの部分拡大模式断面図であり、（ｃ）は第３変形例に係る加圧装置１Ｃの部分拡大模式断面図であり、（ｄ）は第４変形例に係る加圧装置１Ｄの部分拡大模式断面図である。
同図では、説明の便宜上、上加圧ユニット２の断面のみが示されていて、第１上筐体２１およびシリンダ２２の図示は省略されている。
同図では、説明の便宜上、上加圧ユニット２の断面のみが示されていて、第１上筐体２１およびシリンダ２２の図示は省略されている。
【0093】
第１変形例に係る加圧装置１Ａ（本装置１Ａ）では、Ｚ軸方向において、第２上筐体２３は、上半体２３３および下半体２３４に分割可能である。上半体２３３は本体部２３１の上半部により構成されていて、下半体２３４は本体部２３１の下半部および内フランジ部２３２により構成されている。上半体２３３は、例えば、ボルト（不図示。以下同じ。）により上ベース部材２０の下面２０ａに取り付けられている。下半体２３４は、例えば、ボルト（不図示。以下同じ。）により、上半体２３３の下面に着脱可能に取り付けられている。この構成では、第２上筐体２３全体では無く、下半体２３４のみが取り外されることにより、上金型ユニット２４は容易に交換可能である。
【0094】
第２変形例に係る加圧装置１Ｂ（本装置１Ｂ）では、第２上筐体２３は、内フランジ部２３２に代えて、凹部２３５を備える。本体部２３１の内周面２３ａの下部寄りの一部は、第１上筐体２１（図１参照）側に向けて、内周面２３ａの全周に亘って凹んでいて、凹部２３５を形成している。第２上筐体２３は、例えば、Ｙ軸方向において、２分割可能に構成されている。金型部２４１は、外フランジ部２４３に代えて、外フランジ部２４８を備える。Ｚ軸方向において、金型部２４１の本体部２４２の中央部は、全周に亘って外方に向けて均等に突出していて、外フランジ部２４８を形成している。外フランジ部２４８は凹部２３５内に収容されていて、非加圧時、外フランジ部２４８の下面２４ｊは、凹部２３５の底面２３ｄに当接している。Ｚ軸方向において、凹部２３５の大きさは、外フランジ部２４８の厚みと空間Ｓ１の大きさとの和よりも大きい。この構成では、上金型ユニット２４は凹部２３５のみにより支持されていて、凹部２３５は本発明における規制部として機能していて、底面２３ｄは本発明における支持面として機能している。第２上筐体２３が取り外されて、２分割されることにより、上金型ユニット２４は容易に交換可能である。また、Ｚ軸方向における凹部２３５の長さや外フランジ部２４８の厚みの調整により、上金型ユニット２４の摺動量が調整可能である。
【0095】
第３変形例に係る加圧装置１Ｃ（本装置１Ｃ）では、第２上筐体２３は、内フランジ部２３２に代えて、枠体部２３６および連結部２３７を備える。Ｚ軸方向において、本体部２３１の長さは、第１実施形態における本体部２３１の長さよりも短い。枠体部２３６の形状は、Ｚ軸方向視において、本体部２３１の形状と一致する矩形枠状である。Ｚ軸方向において、枠体部２３６の長さは、第１実施形態における内フランジ部２３２の長さと同じである。枠体部２３６は、本体部２３１の－Ｚ方向に本体部２３１から離間した位置に配置されていて、連結部２３７により同位置に固定されている。連結部２３７は、例えば、複数のボルトである。連結部２３７が着脱されることにより、枠体部２３６は本体部２３１から着脱可能である。本体部２３１と枠体部２３６との間には、空間Ｓ５が形成されている。外フランジ部２４８は空間Ｓ５内に収容されていて、被加圧物Ｗが加圧されていないとき、外フランジ部２４８の下面２４ｊは枠体部２３６の上面２３ｅに当接している。Ｚ軸方向において、空間Ｓ５の大きさは、外フランジ部２４８の厚みと空間Ｓ１の大きさとの和よりも大きい。この構成では、上金型ユニット２４は枠体部２３６のみにより支持されていて、枠体部２３６は本発明における規制部として機能していて、上面２３ｅは本発明における支持面として機能している。第２上筐体２３全体では無く、枠体部２３６のみが取り外されることにより、上金型ユニット２４は容易に交換可能である。
【0096】
第４変形例に係る加圧装置１Ｄ（本装置１Ｄ）では、上金型ユニット２４の金型部２４１は、本体部２４２、外フランジ部２４３、および第２外フランジ部２４９を備える。本体部２４２の下端部は、全周に亘って外方（第２上筐体２３が位置する方向）へ均等に突出していて、第２外フランジ部２４９を形成している。第２上筐体２３は、例えば、Ｙ軸方向において、２分割可能に構成されている。内フランジ部２３２は、本体部２３１の下端部よりもやや＋Ｚ方向に配置されていて、外フランジ部２４３と第２外フランジ部２４９との間に配置（収容）されている。非加圧時、内フランジ部２３２の上面２３ｆは、外フランジ部２４３の下面２４ｅに当接している。Ｚ軸方向において、外フランジ部２４３と第２外フランジ部２４９との間の間隔は、内フランジ部２３２の厚みと空間Ｓ１の大きさとの和よりも大きい。この構成では、内フランジ部２４３は、第１実施形態における内フランジ部２３２と同様に本発明における規制部として機能している。第２上筐体２３が取り外されて、２分割されることにより、上金型ユニット２４は容易に交換可能である。また、Ｚ軸方向における外フランジ部２４３と第２外フランジ部２４９との間隔や内フランジ部２３２の厚みの調整により、上金型ユニット２４の摺動量が調整可能である。
【0097】
●第５～第８変形例
次に、第５～第８変形例に係る加圧装置１Ｅ～１Ｈが説明される。第５～第８変形例に係る加圧装置１Ｅ～１Ｈでは、上金型ユニット２４および／または下金型ユニット３２の構成が第１実施形態と異なる。
次に、第５～第８変形例に係る加圧装置１Ｅ～１Ｈが説明される。第５～第８変形例に係る加圧装置１Ｅ～１Ｈでは、上金型ユニット２４および／または下金型ユニット３２の構成が第１実施形態と異なる。
【0098】
図８（ａ）は第５変形例に係る加圧装置１Ｅの模式断面図であり、（ｂ）は第６変形例に係る加圧装置１Ｆの模式断面図であり、（ｃ）は第７変形例に係る加圧装置１Ｇの模式断面図であり、（ｄ）は第８変形例に係る加圧装置１Ｈの模式断面図である。
【0099】
第５変形例に係る加圧装置１Ｅ（本装置１Ｅ）では、金型部２４１の本体部２４２の下面２４ａは複数の小領域２４Ｒに区画されていて、金型部３２１の本体部３２２の上面３２ａは複数の小領域３２Ｒに区画されている。Ｚ軸方向視において、各小領域２４Ｒ，３２Ｒの形状は正方形状であり、各小領域２４Ｒ，３２Ｒの形状および大きさは被加圧物ＷＥの形状および大きさと同じである。Ｚ軸方向視において、各小領域２４Ｒの位置、大きさ、および形状は、各小領域３２Ｒの位置、大きさ、および形状と一致している。Ｚ軸方向視において、各小領域２４Ｒ，３２Ｒが占める領域の全域は、上弾性部材２５および下弾性部材３３が占める領域と重複している。この構成では、各小領域２４Ｒ，３２Ｒにおける均圧性の悪化は、上弾性部材２５および下弾性部材３３により抑制されている。そのため、本装置１Ｅでは、複数の被加圧物ＷＥを一括で加圧可能である。
【0100】
第６変形例に係る加圧装置１Ｆ（本装置１Ｆ）では、上加圧ユニット２は、上ベース部材２０、第１上筐体２１（図１参照）、シリンダ２２（図１参照）、第２上筐体２３、金型部２４１、熱ユニット部２４４、上弾性部材２５、上保護板２６、およびＯ－リングＲ１，Ｒ２（図１参照）を備える。すなわち、第６変形例では、金型部２４１および熱ユニット部２４４はユニット化されておらず、上加圧ユニット２が熱ユニット部２４４を備える。第６変形例では、金型部２４１は、本発明における上金型の一例である。熱ユニット部２４４は、例えば、ボルト（不図示。以下同じ。）により上ベース部材２０の下面２０ａに取り付けられている。上弾性部材２５は、金型部２４１の上に載置されている。すなわち、上弾性部材２５は、金型部２４１の＋Ｚ方向に金型部２４１に隣接して配置されていて、金型部２４１と熱ユニット部２４４との間に配置されている。上保護板２６は、熱ユニット部２４４と上弾性部材２５との接触を防止する。上保護板２６は、例えば、ステンレス鋼などの高い剛性を有する金属製である。Ｚ軸方向視において、上保護板２６の形状は、正方形状の板状（矩形板状）である。上保護板２６の下面２６ａおよび上面２６ｂの形状は、水平方向に平行な平面状である。上保護板２６は、上弾性部材２５の上に載置されている。上保護板２６と熱ユニット部２４４との間には、空間Ｓ１に対応する空間Ｓ１Ｆが形成されている。下加圧ユニット３は、下ベース部材３０、下筐体３１、金型部３２１、熱ユニット部３２４、下弾性部材３３、および下保護板３４を備える。すなわち、第６変形例では、金型部３２１および熱ユニット部３２４はユニット化されておらず、下加圧ユニット３が熱ユニット部３２４を備える。熱ユニット部３２４は、下ベース部材３０の上面３０ａの上に載置されている。下保護板３４は、熱ユニット部３２４と下弾性部材３３との接触を防止する。下保護板３４の形状および大きさは、上保護板２６の形状および大きさと同じである。下保護板３４は、熱ユニット部３２４の上に載置されていて、金型部３２１と熱ユニット部３２４とに挟持されている。この構成では、熱ユニット部２４４，３２４からの熱は、第１実施形態よりも被加圧物Ｗに伝達され難い。その代わり、Ｚ軸方向において、上弾性部材２５および下弾性部材３３は、第１実施形態よりも被加圧物Ｗに近い位置に配置可能となる。その結果、上弾性部材２５および下弾性部材３３による均圧性の悪化の抑制効果は、高まる。
【0101】
第７変形例に係る加圧装置１Ｇ（本装置１Ｇ）では、下加圧ユニット３は、下ベース部材３０、下筐体３１、および下金型ユニット３２を備えていて、下弾性部材３３を備えていない。この構成では、下弾性部材３３による被加圧物Ｗの－Ｚ方向側の均圧性の悪化の抑制効果は得られないが、被加圧物Ｗの＋Ｚ方向側の均圧性の悪化は抑制される。被加圧物Ｗにおいて、＋Ｚ方向側の均圧性が改善されることにより、－Ｚ方向側の均圧性もやや改善される。
【0102】
第８変形例に係る加圧装置１Ｈ（本装置１Ｈ）は、熱ユニット部２４４，３２４を備えていない。すなわち、上弾性部材２５は、上ベース部材２０と金型部２４１との間に、金型部２４１に隣接して配置されている。下弾性部材３３は、下ベース部材３０と金型部３２１との間に、これらに隣接して配置されている。この構成では、Ｚ軸方向において、上弾性部材２５および下弾性部材３３は、第１実施形態よりも被加圧物Ｗに近い位置に配置可能となる。その結果、上弾性部材２５および下弾性部材３３による均圧性の悪化の抑制効果は、高まる。
【0103】
●実施例●
次に、既存の加圧装置（試験装置）に対して、上弾性部材２５および下弾性部材３３に相当する弾性部材が組み込まれた試験装置による加圧結果が、本発明の実施例として説明される。以下の実施例の説明において、富士フィルム株式会社製の「プレスケール（登録商標：以下単に「スケール」という。）」が圧力の測定に用いられている。実施例に用いられた試験装置は、空間Ｓ１Ｆが形成されておらず、上金型ユニット２４が摺動しない点を除き、第６変形例に係る加圧装置１Ｆ（図８参照）に近い構成を備えている。弾性部材には、厚さ４ｍｍのフェルトが用いられている。加圧力は、５ＭＰａである。以下の実施例において、弾性部材が組み込まれていない既存の加圧装置による加圧結果も、比較例として得られている。
次に、既存の加圧装置（試験装置）に対して、上弾性部材２５および下弾性部材３３に相当する弾性部材が組み込まれた試験装置による加圧結果が、本発明の実施例として説明される。以下の実施例の説明において、富士フィルム株式会社製の「プレスケール（登録商標：以下単に「スケール」という。）」が圧力の測定に用いられている。実施例に用いられた試験装置は、空間Ｓ１Ｆが形成されておらず、上金型ユニット２４が摺動しない点を除き、第６変形例に係る加圧装置１Ｆ（図８参照）に近い構成を備えている。弾性部材には、厚さ４ｍｍのフェルトが用いられている。加圧力は、５ＭＰａである。以下の実施例において、弾性部材が組み込まれていない既存の加圧装置による加圧結果も、比較例として得られている。
【0104】
図９は、本装置１（本装置１Ｆ）の実施例を示す圧力分布図である。
同図は、試験装置により加圧された被加圧物に加えられた圧力の分布を色彩の濃淡（濃：圧力が大きい、淡：圧力が小さい）で示している。同図は、本発明における上プレス面（下プレス面）に相当する面の外縁を破線で示している。本実施例において、上プレス面は下プレス面と同じ形状および大きさを有する。同図において、「面積率」は、上下方向視における上プレス面（下プレス面）に対する被加圧物Ｗが占める割合である。また、各スケールの左上または左下に存在していた本願の発明者らによるメモ部分は、白く塗りつぶされている。
同図は、試験装置により加圧された被加圧物に加えられた圧力の分布を色彩の濃淡（濃：圧力が大きい、淡：圧力が小さい）で示している。同図は、本発明における上プレス面（下プレス面）に相当する面の外縁を破線で示している。本実施例において、上プレス面は下プレス面と同じ形状および大きさを有する。同図において、「面積率」は、上下方向視における上プレス面（下プレス面）に対する被加圧物Ｗが占める割合である。また、各スケールの左上または左下に存在していた本願の発明者らによるメモ部分は、白く塗りつぶされている。
【0105】
図９に示されるとおり、弾性部材が用いられていない比較例では、スケールの外縁部分のみが強く変色していて、スケールの中央部は殆ど変色しておらず、均圧性の悪化が生じている。これに対して、弾性部材が用いられている各実施例では、面積率による差異は生じているが、比較例に示されているような極端な均圧性の悪化は生じておらず、均圧性の悪化は抑制されている。
【0106】
この均一性の悪化の抑制効果は、面積率による影響を受けている。例えば、面積率１００％の実施例では、スケールの全体が均一に変色しており、均圧性の悪化が生じていない。そして、面積率約９０％および約８０％の実施例でも、スケールの全体が略均一に変色しており、均圧性の悪化は生じていないが、若干の変色のムラが生じている。次いで、面積率約７０％の実施例では、スケールの中央部よりも外縁部分の方が変色しており、若干の均一性の悪化が生じている。一方、面積率約６０％、約５０％および約２５％の実施例では、実施例よりは抑制されているものの、面積率が減少するにつれて均圧性の悪化が生じている。この結果から、面積率は、７０％以上１００％以下であればよく、好適には、８０％以上１００％以下であればよく、さらに好適には、９０％以上１００％以下であればよく、さらに好適には、１００％であるとよい。この均圧性の悪化の要因は明確には解明されていないが、本発明の発明者らは前述した被加圧物Ｗのエッジ部分による影響も要因の１つとなっていると考えている。
【0107】
このように、本発明は、上ベース部材２０（下ベース部材３０）と上金型ユニット２４（下金型ユニット３２）との間に、上下方向視において、下面２４ａ（上面３２ａ）以上の大きさの上弾性部材２５（下弾性部材３３）を配置するという簡易な構成で、均圧性の悪化を抑制・防止できる。
【0108】
●その他の実施形態●
なお、本発明において、上加圧ユニット２は、第１上筐体２１、シリンダ２２、およびＯ－リングＲ１，Ｒ２を備えていなくてもよい。この場合、ポンプ用配管Ｌｐおよび真空ポンプＰも不要となる。
なお、本発明において、上加圧ユニット２は、第１上筐体２１、シリンダ２２、およびＯ－リングＲ１，Ｒ２を備えていなくてもよい。この場合、ポンプ用配管Ｌｐおよび真空ポンプＰも不要となる。
【0109】
また、本発明において、内フランジ部２３２は、本体部２３１と別体で構成されていて、ボルトなどにより本体部２３１に着脱可能に取り付けられていてもよい。この構成では、内フランジ部２３２が本体部２３１から取り外されるだけで、上金型ユニット２４は容易に交換可能である。
【0110】
さらに、本発明において、本装置１～１Ｈは、被加圧物Ｗの形状および大きさに対応する複数種の上金型ユニット２４を備えていてもよい。この構成では、被加圧物Ｗの形状および大きさが変更されるたびに、上金型ユニット２４は同被加圧物Ｗに対応する上金型ユニット２４に交換可能である。そのため、被加圧物Ｗの形状および大きさが変更されても、被加圧物Ｗごとに均圧性の悪化は抑制される。
【0111】
さらにまた、本発明において、Ｚ軸方向視における上金型ユニット２４および下金型ユニット３２の形状は、正方形状に限定されない。すなわち、例えば、Ｚ軸方向視における上金型ユニット２４および下金型ユニット３２の形状は、Ｘ軸方向またはＹ軸方向に長い長方形状でもよく、または、円状でもよい。この場合、第１上筐体２１、第２上筐体２３、上弾性部材２５、下筐体３１、および下弾性部材３３の形状は、上金型ユニット２４および下金型ユニット３２の形状に合わせて設定される。
【0112】
さらにまた、本発明において、上弾性部材２５および下弾性部材３３の材料は、均圧性の悪化の抑制効果を奏する弾性を有する材料であればよく、シリコン系のゴムに限定されない。すなわち、例えば、上弾性部材２５および下弾性部材３３の材料は、フェルト、または、ＸＹ軸方向に均等に配列されたバネでもよい。
【0113】
さらにまた、本発明において、上弾性部材２５が水平方向へ変形し難い材料製のとき、第２上筐体２３は、上金型ユニット２４および上弾性部材２５のＸ軸方向またはＹ軸方向のみに配置されるように構成されていてもよい。すなわち、例えば、第２上筐体２３は、Ｘ軸方向（Ｙ軸方向）において、上金型ユニット２４および上弾性部材２５を挟み込むように配置される２つの部分により構成されていてもよい。
【0114】
さらにまた、本発明において、規制部として機能する構造は、上金型ユニット２４がＺ軸方向に摺動可能で、上金型ユニット２４の－Ｚ方向への移動を規制可能な構造であればよく、内フランジ部２３２および外フランジ部２４３に限定されない。すなわち、例えば、規制部として機能する構造は、第１変形例～第４変形例に例示されるように、種々の構造で実現され得る。
【0115】
さらにまた、本発明において、金型部２４１の本体部２４２の下面２４ａ、および金型部３２１の本体部３２２の上面３２ａの形状は、被加圧物Ｗに当接する面が平面状であればよく、例えば、第５変形例に示されるように、全面に亘り平面状でなくてもよい。
【0116】
さらにまた、本発明において、熱ユニット部２４４は、金型部２４１よりも＋Ｚ方向に配置されていればよく、第６変形例に示されるように、上弾性部材２５よりも＋Ｚ方向に配置されていてもよい。同様に、熱ユニット部３２４も、下弾性部材３３よりも－Ｚ方向に配置されていてもよい。
【0117】
さらにまた、本発明において、第８変形例に示されるように、上金型ユニット２４は熱ユニット部２４４を備えていなくてもよく、および／または、下金型ユニット３２は熱ユニット部３２４を備えていなくてもよい。
【0118】
さらにまた、本発明において、熱ユニット部２４４はヒータＨ１または冷媒流路Ｌ１を備えていなくてもよく、熱ユニット部３２４はヒータＨ２または冷媒流路Ｌ２を備えていなくてもよい。
【0119】
さらにまた、本発明において、上弾性部材２５および下弾性部材３３の＋Ｚ方向および／または－Ｚ方向には、第６変形例に示される上保護板２６のような板状部材が配置されていてもよい。この場合、上金型ユニット２４および／または下金型ユニット３２が、同板状部材を備えている。
【0120】
さらにまた、本発明において、下金型ユニット３２の金型部３２１の上面３２ａ大きさは、上金型ユニット２４の金型部２４１の下面２４ａの大きさよりも大きくてもよい。
【0121】
さらにまた、本発明において、上金型ユニット２４の金型部２４１の下面２４ａの大きさは、被加圧物Ｗの大きさ以上であればよく、被加圧物Ｗの大きさと同じでなくてもよい。この場合、被加圧物Ｗの大きさ（面積）は、下面２４ａの大きさ（面積）に対して約７５％～１００％であればよく、好適には約９０％～１００％であればよく、さらに好適には９５％～１００％であればよい。
【0122】
さらにまた、本発明において、本体部２４２は段部２４ｄを備えていなくてもよく、本体部３２２は段部３２ｄを備えていなくてもよい。
【0123】
●本発明の実施態様●
次に、以上説明した各実施形態から把握される本発明の実施態様について、各実施形態において記載された用語と符号とを援用しつつ、以下に記載する。
次に、以上説明した各実施形態から把握される本発明の実施態様について、各実施形態において記載された用語と符号とを援用しつつ、以下に記載する。
【0124】
本発明の第１の実施態様は、上下方向において被加圧物（例えば、被加圧物Ｗ）を挟み込んで加圧する加圧装置（例えば、加圧装置１，１Ａ～１Ｈ）であって、前記被加圧物の上方に配置される上加圧ユニット（例えば、上加圧ユニット２）と、前記被加圧物の下方に配置される下加圧ユニット（例えば、下加圧ユニット３）と、を有してなり、前記上加圧ユニットは、前記被加圧物が加圧されるとき、前記被加圧物に当接する上金型（例えば、上金型ユニット２４）と、前記上金型よりも上方に、前記上金型に隣接して配置される上弾性部材（例えば、上弾性部材２５）と、水平方向において、前記上弾性部材の全周を囲むように配置される上筐体（例えば、第２上筐体２３）と、を備えて、前記上金型は、前記被加圧物が加圧されるとき、前記被加圧物に当接する、金属製で平面状の上プレス面（例えば、下面２４ａ）、を備えて、上下方向視において、前記上プレス面が占める領域の全域は、前記上弾性部材が占める領域と重複して、前記上筐体は、前記被加圧物が加圧されていないとき、前記上金型の下方向への移動を規制する規制部（例えば、内フランジ部２３２、凹部２３５、枠体部２３６）、を備えて、前記上金型は、前記被加圧物が加圧されていないとき、前記規制部のみにより支持されて、前記被加圧物への加圧の状態に応じて、前記上筐体に対して前記上下方向に摺動可能に配置される、加圧装置である。
この構成によれば、簡易な構成で均圧性の悪化が抑制されると共に、上金型ユニットの交換も容易に可能である。
この構成によれば、簡易な構成で均圧性の悪化が抑制されると共に、上金型ユニットの交換も容易に可能である。
【0125】
本発明の第２の実施態様は、第１の実施態様において、前記水平方向において、前記上筐体は、前記上金型を挟み込むように配置されて、前記規制部は、前記水平方向において、前記上筐体に対して前記上金型が配置される方向に突出して、または、前記上金型の一部を収容して、前記被加圧物が加圧されていないとき、前記上金型を支持する支持面（例えば、上面２３ｂ，２３ｅ、底面２３ｄ）、を備える、加圧装置である。
この構成によれば、上金型ユニットは簡易な構成で＋Ｚ方向に摺動可能に支持される。
この構成によれば、上金型ユニットは簡易な構成で＋Ｚ方向に摺動可能に支持される。
【0126】
本発明の第３の実施態様は、第２の実施態様において、前記上金型は、前記上プレス面を備える金型本体部（例えば、本体部２４２）と、前記水平方向において、前記金型本体部から突出する金型突出部（例えば、外フランジ部２４３，２４８）と、を備えて、前記被加圧物が加圧されていないとき、前記支持面は、前記金型突出部に当接する、加圧装置である。
この構成によれば、上金型ユニットは簡易な構成で＋Ｚ方向に摺動可能に支持される。
この構成によれば、上金型ユニットは簡易な構成で＋Ｚ方向に摺動可能に支持される。
【0127】
本発明の第４の実施態様は、第１の実施態様において、前記上加圧ユニットは、前記被加圧物を加熱または冷却する上熱ユニット（例えば、熱ユニット部２４４）、を備えて、前記上下方向において、前記上弾性部材は、前記上金型と前記上熱ユニットとの間に配置される、加圧装置（例えば、加圧装置１Ｆ）である。
この構成によれば、上弾性部材および下弾性部材による均圧性の悪化の抑制効果は、高まる。
この構成によれば、上弾性部材および下弾性部材による均圧性の悪化の抑制効果は、高まる。
【0128】
本発明の第５の実施態様は、第１の実施態様において、前記上金型は、前記被加圧物を加熱または冷却する上熱ユニット（例えば、熱ユニット部２４４）、を備えて、前記上下方向において、前記上弾性部材は、前記上熱ユニットの上方に前記上熱ユニットに隣接して配置される、加圧装置（例えば、加圧装置１，１Ａ～１Ｅ，１Ｇ）である。
この構成によれば、熱ユニット部の熱は効率的に被加圧物に伝達される。また、均圧性の悪化は上弾性部材により抑制される。
この構成によれば、熱ユニット部の熱は効率的に被加圧物に伝達される。また、均圧性の悪化は上弾性部材により抑制される。
【0129】
本発明の第６の実施態様は、第１乃至第５のいずれか１つの実施態様において、前記上加圧ユニットにおいて、前記上筐体または前記規制部は、着脱可能に構成されて、前記上筐体または前記規制部が取り外されたとき、前記上金型は、交換可能である、加圧装置である。
この構成によれば、上金型ユニット（金型部）への交換が容易となる。
この構成によれば、上金型ユニット（金型部）への交換が容易となる。
【0130】
本発明の第７の実施態様は、第６の実施態様において、上下方向視において、前記上プレス面の形状および大きさは、前記被加圧物の形状および大きさと同じである、加圧装置である。
この構成によれば、被加圧物のエッジ部分に基づく応力の不均一化は、抑制される。
この構成によれば、被加圧物のエッジ部分に基づく応力の不均一化は、抑制される。
【0131】
本発明の第８の実施態様は、第７の実施態様において、上下方向視における前記被加圧物の形状および大きさに対応する複数種の前記上金型、を有してなる、加圧装置である。
この構成によれば、被加圧物のエッジ部分に基づく応力の不均一化は、抑制される。
この構成によれば、被加圧物のエッジ部分に基づく応力の不均一化は、抑制される。
【0132】
本発明の第９の実施態様は、第８の実施態様において、前記下加圧ユニットは、前記被加圧物が加圧されるとき、前記被加圧物に当接する下金型（例えば、下金型ユニット３２）、を備えて、前記下金型は、前記被加圧物が加圧されるとき、前記被加圧物に当接する、金属製で平面状の下プレス面（例えば、上面３２ａ）、を備えて、上下方向視において、前記下プレス面の形状および大きさは、前記被加圧物の形状および大きさと同じである、加圧装置である。
この構成によれば、被加圧物のエッジ部分に基づく応力の不均一化は、さらに抑制される。
この構成によれば、被加圧物のエッジ部分に基づく応力の不均一化は、さらに抑制される。
【0133】
本発明の第１０の実施態様は、第１の実施態様において、前記下加圧ユニットは、前記被加圧物が加圧されるとき、前記被加圧物に当接する下金型と、前記下金型よりも下方に配置される下弾性部材（例えば、下弾性部材３３）と、を備えて、前記下金型は、前記被加圧物が加圧されるとき、前記被加圧物に当接する、金属製で平面状の下プレス面、を備えて、上下方向視において、前記下プレス面が占める領域の全域は、前記下弾性部材が占める領域と重複する、加圧装置（例えば、加圧装置１，１Ａ～１Ｆ，１Ｈ）である。
この構成によれば、被加圧物の－Ｚ方向側における均圧性の悪化も抑制される。
この構成によれば、被加圧物の－Ｚ方向側における均圧性の悪化も抑制される。
【0134】
本発明の第１１の実施態様は、第１の実施態様において、前記上弾性部材の外周面（例えば、外周面２５ｃ）は、前記上筐体に対向して、前記上筐体から離れる方向に凹む凹面である、加圧装置である。
この構成によれば、加圧時に、外周面は、水平方向に過剰に変形しない。
この構成によれば、加圧時に、外周面は、水平方向に過剰に変形しない。
【符号の説明】
【0135】
１ 加圧装置
２ 上加圧ユニット
２３ 第２上筐体（上筐体）
２３２ 内フランジ部（規制部）
２３ｂ 上面（支持面）
２４ 上金型ユニット（上金型）
２４ａ 下面（上プレス面）
２４１ 金型部
２４２ 本体部（金型本体部）
２４３ 外フランジ部（金型突出部）
２４４ 熱ユニット部（上熱ユニット）
２４８ 外フランジ部（金型突出部）
２５ 上弾性部材
３ 下加圧ユニット
３２ 下金型ユニット（下金型）
３２ａ 上面（下プレス面）
３３ 下弾性部材
３３ｃ 外周面
１Ｂ～１Ｈ 加圧装置
２ 上加圧ユニット
２３ 第２上筐体（上筐体）
２３２ 内フランジ部（規制部）
２３ｂ 上面（支持面）
２４ 上金型ユニット（上金型）
２４ａ 下面（上プレス面）
２４１ 金型部
２４２ 本体部（金型本体部）
２４３ 外フランジ部（金型突出部）
２４４ 熱ユニット部（上熱ユニット）
２４８ 外フランジ部（金型突出部）
２５ 上弾性部材
３ 下加圧ユニット
３２ 下金型ユニット（下金型）
３２ａ 上面（下プレス面）
３３ 下弾性部材
３３ｃ 外周面
１Ｂ～１Ｈ 加圧装置
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】