特開 2025-6960 軟Ｘ線式静電除去装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2025006960

(43)【公開日】2025-01-17

(54)【発明の名称】軟Ｘ線式静電除去装置

(51)【国際特許分類】

   H05F 3/06 20060101AFI20250109BHJP

   H01L 21/02 20060101ALI20250109BHJP

【ＦＩ】

H05F3/06

H01L21/02 Z

【審査請求】未請求

【請求項の数】4

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2023108034

(22)【出願日】2023-06-30

(71)【出願人】

【識別番号】000163660

【氏名又は名称】ケンブリッジフィルターコーポレーション株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】110003579

【氏名又は名称】弁理士法人山崎国際特許事務所

(74)【代理人】

【識別番号】100118647

【弁理士】

【氏名又は名称】赤松 利昭

(74)【代理人】

【識別番号】100123892

【弁理士】

【氏名又は名称】内藤 忠雄

(74)【代理人】

【識別番号】100169993

【弁理士】

【氏名又は名称】今井 千裕

(74)【代理人】

【識別番号】100173978

【弁理士】

【氏名又は名称】朴 志恩

(72)【発明者】

【氏名】木崎原 稔郎

【テーマコード（参考）】

5G067

【Ｆターム（参考）】

5G067AA41

5G067DA17

5G067DA22

(57)【要約】

【課題】静電除去する対象物に多量のイオンを吹き付けることができる軟Ｘ線式静電除去装置を提供する。
【解決手段】
軟Ｘ線９２を発生する軟Ｘ線発生装置９０と、吸気口１４と軟Ｘ線９２によりイオン化されたイオン化空気１００を流出する出口１２を有する容器１０と、容器１０の出口１２に使用する軟Ｘ線遮蔽シート２０と、軟Ｘ線遮蔽シート２０と容器１０とを絶縁する絶縁層５０と、出口２０から排出されるイオン化空気１００の拡散を防止して、静電除去する対象物Ｗにイオン化空気１００を吹き付けるノズル７０であって、容器１０から絶縁されるノズル７０とを備える、軟Ｘ線式静電除去装置１。
【選択図】図１

【特許請求の範囲】

【請求項1】

空気をイオン化するための軟Ｘ線を発生する軟Ｘ線発生装置と；
空気を取り入れる吸気口と、軟Ｘ線によりイオン化されたイオン化空気を流出する出口を有する容器と；
前記容器の出口に使用する軟Ｘ線遮蔽シートであって、
軟Ｘ線を通さない素材で形成される第１外層シートと、
軟Ｘ線を通さない素材で形成される中間層シートと、
軟Ｘ線を通さない素材で形成される第２外層シートとを有し、
前記第１外層シートには、イオン化空気の供給口が形成され、
前記中間層シートには、前記供給口と連通するイオン化空気流入開口を備えたイオン化空気通路が形成され、
前記第２外層シートには、前記イオン化空気通路に連通する排出口が形成され、
前記第１外層シート、前記中間層シートおよび前記第２外層シートは積層固着され、前記供給口、イオン化空気通路および排出口を連通して設けられたイオン化空気通過部を備えて形成される、軟Ｘ線遮蔽シートと；
前記軟Ｘ線遮蔽シートと前記容器とを絶縁する絶縁層と；
前記出口から排出される前記イオン化空気の拡散を防止して、静電除去する対象物に前記イオン化空気を吹き付けるノズルであって、前記容器から絶縁されるノズルとを備える；
軟Ｘ線式静電除去装置。

【請求項2】

前記ノズルは、前記軟Ｘ線遮断シートに接続され、前記軟Ｘ線遮断シートにより支持される、
請求項１記載の軟Ｘ線式静電除去装置。

【請求項3】

前記ノズルは、前記軟Ｘ線遮断シートに接続され、支持部材により支持される、
請求項１記載の軟Ｘ線式静電除去装置。

【請求項4】

前記吸気口に、
軟Ｘ線を通さない素材で形成される第１外層シートと、
軟Ｘ線を通さない素材で形成される中間層シートと、
軟Ｘ線を通さない素材で形成される第２外層シートとを有し、
前記第１外層シートには、空気の流入口が形成され、
前記中間層シートには、前記流入口と連通する空気流入開口を備えた空気通路が形成され、
前記第２外層シートには、前記空気通路に連通する取り入れ口が形成され、
前記第１外層シート、前記中間層シートおよび前記第２外層シートは積層固着され、前記流入口、空気通路および取り入れ口を連通して設けられた空気通過部を備えて形成される、軟Ｘ線遮蔽シートを備える；
請求項１ないし３のいずれか１項に記載の軟Ｘ線式静電除去装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、軟Ｘ線式静電除去装置に関する。特に、イオンを多量に対象物に吹き付けることが可能な、軟Ｘ線式静電除去装置に関する。

【背景技術】

【0002】

従来から、半導体、液晶、有機ＥＬの製造工程においては、半導体基板、液晶基板、有機ＥＬ基板の加工・ハンドリング工程で、該基板表面に静電気が帯電し、該静電気で半導体基板、液晶基板、有機ＥＬ基板の回路が破壊するトラブルを生ずることが知られている。また、各基板の帯電は表面への塵の付着というトラブルも引き起こしている。

【0003】

このようなトラブル対策として、半導体、液晶、有機ＥＬ製造装置において、基板表面上の帯電防止・静電気を除去するためのイオンを発生する静電除去装置が設置されている。静電除去装置には、高電圧で空気をイオン化するコロナ放電式静電除去装置と、軟Ｘ線を空気に照射して空気をイオン化する軟Ｘ線式静電除去装置がある。

【0004】

コロナ放電式静電除去装置では、放電時に電極からのパーティクルが発生し、軟Ｘ線式静電除去装置では、パーティクルは発生しないが、軟Ｘ線が漏洩すると人体に影響を及し、それぞれ短所を有していた。

【0005】

従来からイオン化空気のみを取り出し、軟Ｘ線を外部に漏洩しない軟Ｘ線式静電除去装置が開発されているが、構造が複雑であった。そこで先に発明者は、供給口から入射した軟Ｘ線が排出口に至る間に通路に衝突する回数を少なくとも３回以上とすることにより、軟Ｘ線の直進性を阻止して、軟Ｘ線を減衰・消滅させて、簡単な構造で排出口からの軟Ｘ線の漏洩を防止できる軟Ｘ線遮蔽シートを提案した（特許文献－１）。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0006】

【特許文献1】国際公開第ＷＯ２００８／０２３７２７号

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0007】

しかし、発明者らは、イオン化空気は排出口から排出されると拡散し、また、イオン化空気中のイオン数が時間とともに減衰するので、対象とする基板表面に到達するときにはイオン濃度が減少してしまうことを見出した。そこで本発明は、静電除去する対象物に多量のイオンを吹き付けることができる軟Ｘ線式静電除去装置を提供することを課題とする。

【課題を解決するための手段】

【0008】

上記課題を解決するために、本発明の第１の態様に係る軟Ｘ線式静電除去装置１は、例えば図１および図２に示すように、空気１０２をイオン化するための軟Ｘ線９２を発生する軟Ｘ線発生装置９０と、空気１０２を取り入れる吸気口１４と、軟Ｘ線９２によりイオン化されたイオン化空気１００を流出する出口１２を有する容器１０と、容器１０の出口１２に使用する軟Ｘ線遮蔽シート２０であって、軟Ｘ線９２を通さない素材で形成される第１外層シート３０と、軟Ｘ線９２を通さない素材で形成される中間層シート３４と、軟Ｘ線９２を通さない素材で形成される第２外層シート４０とを有し、第１外層シート３０には、イオン化空気１００の供給口３２が形成され、中間層シート３４には、供給口３２と連通するイオン化空気流入開口３６を備えたイオン化空気通路３８が形成され、第２外層シート４０には、イオン化空気通路３８に連通する排出口４２が形成され、第１外層シート３０、中間層シート３４および第２外層シート４０は積層固着され、供給口３２、イオン化空気通路３８および排出口４２を連通して設けられたイオン化空気通過部４４を備えて形成される、軟Ｘ線遮蔽シート２０と、軟Ｘ線遮蔽シート２０と容器１０とを絶縁する絶縁層５０と、出口２０から排出されるイオン化空気１００の拡散を防止して、静電除去する対象物Ｗにイオン化空気１００を吹き付けるノズルであって、容器１０から絶縁されるノズル７０とを備える。

【0009】

このように構成すると、軟Ｘ線で空気をイオン化し、軟Ｘ線遮蔽シートによりイオン化空気を通して軟Ｘ線が外部に漏洩することを防止することができ、また、ノズルで静電除去する対象物にイオン化空気を吹き付け、かつ、軟Ｘ線遮蔽シートおよびノズルが容器から絶縁されるので、イオン化空気中のイオンが軟Ｘ線遮蔽シートやノズルにトラップされず、静電除去する対象物に多量のイオンを吹き付けることができる。

【0010】

本発明の第２の態様に係る軟Ｘ線式静電除去装置１は、例えば図１に示すように、ノズル７０は、軟Ｘ線遮蔽シート２０に接続され、軟Ｘ線遮蔽シート２０により支持される。このように構成すると、ノズルが軟Ｘ線遮断シートにより支持されるので、部品数が増えず、構造が簡単になる。

【0011】

本発明の第３の態様に係る軟Ｘ線式静電除去装置２は、例えば図７に示すように、ノズル７０は、軟Ｘ線遮蔽シート２０に接続され、支持部材７２により支持される。このように構成すると、ノズルが支持部材により支持されるので、ノズルの設置について自由度が増して、例えば、ノズルの先端位置は先端からのイオン化空気の流れ方向を変えることも可能になる。

【0012】

本発明の第４の態様に係る軟Ｘ線式静電除去装置１は、例えば図１および図６に示すように、吸気口１４に、軟Ｘ線を通さない素材で形成される第１外層シート１３０と、軟Ｘ線を通さない素材で形成される中間層シート１３４と、軟Ｘ線を通さない素材で形成される第２外層シート１４０とを有し、第１外層シート１３０には、空気１０２の流入口１３２が形成され、中間層シート１３４には、流入口１３２と連通する空気流入開口１３６を備えた空気通路１３８が形成され、第２外層シート１４０には、空気通路１３８に連通する取り入れ口１４２が形成され、第１外層シート１３０、中間層シート１３４および第２外層シート１４０は積層固着され、流入口１３２、空気通路１３８および取り入れ口１４２を連通して設けられた空気通過部１４４を備えて形成される、軟Ｘ線遮蔽シート１２０を備える。このように構成すると、吸気口からの軟Ｘ線の漏洩も防止でき、より安全性の高い軟Ｘ線式静電除去装置となる。

【発明の効果】

【0013】

本発明によれば、軟Ｘ線により空気をイオン化し、軟Ｘ線遮蔽シートによりイオン化空気を通して軟Ｘ線が外部に漏洩することを防止することができ、かつ、ノズルにより静電除去する対象物に多量のイオンを吹き付けることができる軟Ｘ線式静電除去装置を提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【0014】

【図1】本発明の軟Ｘ線式静電除去装置を説明するための概念図である。

【図2】軟Ｘ線式静電除去装置の出口に用いられる軟Ｘ線遮蔽シートのイオン化空気通過部を説明するための断面図である。

【図3】軟Ｘ線式静電除去装置の出口に用いられる軟Ｘ線遮蔽シートのイオン化空気通過部を説明するための軟Ｘ線遮蔽シートの分解斜視図である。

【図4】軟Ｘ線式静電除去装置の出口に用いられる軟Ｘ線遮蔽シートと絶縁層を説明するための図で、（ａ）はイオン化空気の流れ方向に直交する面での断面図、（ｂ）はイオン化空気の流れ方向から見た側面図である。

【図5】一実施形態の絶縁層を説明するための図で、（ａ）はイオン化空気の流れ方向に直交する面での断面図、（ｂ）はＡ－Ａ断面図である。

【図6】軟Ｘ線式静電除去装置の吸気口に用いられる軟Ｘ線遮蔽シートの空気通過部を説明するための断面図である。

【図7】本発明の軟Ｘ線式静電除去装置を説明するための概念図であって、ノズルを支持部材で支持する例を示す概念図である。

【発明を実施するための形態】

【0015】

以下、図面を参照して、本発明の実施の形態について説明する。なお、各図において、互いに同一または相当する装置には同一符号を付し、重複した説明は省略する。先ず、図１を参照して、本発明の軟Ｘ線式静電除去装置１を説明する。

【0016】

軟Ｘ線式静電除去装置１は、空気をイオン化し、イオン化された空気であるイオン化空気１００が流れる空間を提供する容器１０を有する。容器１０は、容器１０内に空気１０２を取り入れる吸気口１４を有する。吸気口１４にはファン（不図示）を備え、容器１０外の空気１０２を強制的に容器１０内に取り入れてもよい。容器１０において吸気口１４が設けられた位置の近くに軟Ｘ線発生装置９０が配置される。軟Ｘ線発生装置９０から軟Ｘ線９２を発生し、容器１０内で空気に照射することにより、空気がイオン化される。軟Ｘ線発生装置９０は公知の軟Ｘ線装置でよいので、詳細な説明は省略する。容器１０において吸気口１４が設けられた位置から離れた位置に、イオン化空気１００の出口１２が形成される。軟Ｘ線発生装置９０が吸気口１４の近くに設けられ、出口１２が吸気口１４から離れた位置に設けられると、吸気口１４から出口１２へと空気が流れ、その空気を軟Ｘ線発生装置９０からの軟Ｘ線９２でイオン化でき、イオン化空気１００は短時間で出口から放出されるので好ましいが、他の配置であってもよい。なお、容器１０は、ステンレス鋼その他の金属で成形されるのが一般的である。

【0017】

出口１２には、軟Ｘ線遮蔽シート２０が配置される。すなわち、イオン化空気１００が容器１０から放出されるには、軟Ｘ線遮蔽シート２０を通過することになる。

【0018】

ここで、図２および図３を参照して、イオン化空気１００が通過する軟Ｘ線遮蔽シート２０のイオン化空気通過部４４について説明する。図２は軟Ｘ線遮蔽シート２０のイオン化空気通過部４４付近での断面図、図３は同分解斜視面図である。軟Ｘ線遮蔽シート２０は、軟Ｘ線９２を通さない素材で形成される第１外層シート３０、軟Ｘ線９２を通さない素材で形成される中間層シート３４および軟Ｘ線９２を通さない素材で形成される第２外層シート４０の３枚のシートが積層固着され形成されている。ここで、軟Ｘ線を通さない素材とは、鉛、鉄、アルミニウムなどの金属が代表的であるが、金属には限られない。金属であると薄くても軟Ｘ線９２の通過を遮断できるとともに薄く形成しやすく、軟Ｘ線遮蔽シート２０用には適している。また、積層固着する方法は、特に限定されない。第１外層シート３０には、容器１０内のイオン化空気１００が軟Ｘ線遮蔽シート２０に進入する供給口３２が開口する。中間層シート３４には、その両端部にイオン化空気流入開口３６を備えてイオン化空気通路３８が開口する。第２外層シート４０には、イオン化空気１００が容器１０外に放出される排出口４２が開口している。

【0019】

本実施例では、第１外層シート３０の供給口３２は、第１外層シート３０にそれぞれ間隔を有して２個開口している。中間層シート３４のイオン化空気通路３８は、第１外層シート３０の供給口３２と連通する位置にそれぞれ開口されたイオン化空気流入開口３６を備えると共に、各イオン化空気流入開口３６と連通して形成されている。第２外層シート４０の排出口４２は、中間層シート３４のイオン化空気通路３８と連通する位置に開口している。

【0020】

上述のように形成された第１外層シート３０、中間層シート３４および第２外層シート４０を積層固着すると、第１外層シート３０の各供給口３２と中間層シート３４の各イオン化空気流入開口３６とが連通され、更に中間層シート３４のイオン化空気通路３８の中間位置において、イオン化空気通路３８と、第２外層シート４０の排出口４２とが連通して、イオン化空気通過部４４が形成される。軟Ｘ線遮蔽シート２０には、１個のイオン化空気通過部４４が形成されてもよいが、複数のイオン化空気通過部４４が形成されてもよい。また、イオン化空気通過部４４の形状、開口の個数等は上記には限定されない。

【0021】

軟Ｘ線９２が供給口３２から入射して排出口４２に至る間に、第２外層シート４０の内側面４１と、第１外層シート３０の内側面３１への衝突回数が増え、軟Ｘ線９２が減衰・消滅するように、イオン化空気通路３８には、平面上で９０度折れ曲がる折曲部３９が設けられる。

【0022】

また、イオン化されたイオン化空気１００の流体抵抗を抑え、短時間で排出口４２に至り、プラスイオンと、マイナスイオンの再結合を抑えるように、イオン化空気通路３８の各折曲部３９は、イオン化空気１００の流体抵抗を低くするべく、それぞれ湾曲した湾曲面３７を備えて形成されている。すなわち、イオン化空気通路３８は、平面上で９０度折れ曲がる少なくとも１個所以上の折曲部３９を備え、内側面、すなわち通路、への軟Ｘ線９２の衝突による消滅を図っている。なお、イオン化空気通路３８の形状は他の形状であってもよい。軟Ｘ線９２の通路への衝突の回数を増やしつつ、イオン化空気１００の流体抵抗を抑える形状が好ましい。

【0023】

上記の構成による本発明の軟Ｘ線式静電除去装置１に使用する軟Ｘ線遮蔽シート２０の作用につき、図２に基づいて説明する。軟Ｘ線遮蔽シート２０の上流側である容器１０内では、軟Ｘ線９２により、プラスイオンとマイナスイオンにイオン化されたイオン化空気１００が、容器１０内に空気１０２が送り込まれることにより、加圧された状態にある。したがって、イオン化空気１００は、供給口３２からイオン化空気流入開口３６およびイオン化空気通路３８を経て排出口４２より、軟Ｘ線遮蔽シート２０の下流側へ放出される。

【0024】

一方、軟Ｘ線９２は、各供給口３２から入射し直進して、イオン化空気流入開口３６からイオン化空気通路３８を経て、排出口４２に至る間に、図２に示すように、第２外層シート４０の内側面４１、第１外層シート３０の内側面３１、あるいは、折曲部３９の湾曲面３７等へ衝突して直進性が阻止される。内側面３１・４１等への衝突で、軟Ｘ線９２は減衰し、最終的にはほぼ消滅し、前記排出口４２から危険な軟Ｘ線９２が漏洩されることはない。軟Ｘ線９２が減衰し、ほぼ消滅するには、内側面３１・４１等へ３回以上衝突するのが好ましい。そのために、イオン化空気通過部４４の断面の大きさ、長さ、折曲部３９の数、すなわちイオン化空気通路３８の経路などが設計される。なお、軟Ｘ線遮蔽シート２０を構成するシートの枚数を３枚ではなく、イオン化空気通路３８が連通する複数の中間層シート３４を有して、４枚以上としてもよい。

【0025】

そして、供給口３２から導入されたイオン化空気１００は、イオン化空気通路３８を経て排出口４２に至るが、軟Ｘ線９２の漏洩防止の観点から設けたイオン化空気通路３８の折曲部３９を湾曲面３７とすることで流体抵抗は低減され、イオン化空気１００は短時間で排出口４２に至ることができる。特に、プラスイオンとマイナスイオンの再結合が抑えられるようにイオン化空気１００が短時間で軟Ｘ線遮蔽シート２０を通過できるのが好ましく、イオン化空気通過部４４の経路は短くする。したがって、多量のイオンが、排出口４２より下流側に放出される。

【0026】

なお、図２および図３に示す軟Ｘ線遮蔽シート２０の場合、供給口３２が２箇所、排出口４２が１箇所となっているが、イオン化空気通路３８を経て、双方から流れてくるイオン化空気１００が排出口４２で衝突することにより、排出口４２からのイオン化空気１００を垂直に噴出させることができるのである。

【0027】

また、図１および図４に示すように、軟Ｘ線式静電除去装置１では、容器１０と軟Ｘ線遮蔽シート２０とを絶縁層５０で絶縁する。図４に示す軟Ｘ線遮蔽シート２０は、円形断面を有し、多数のイオン化空気通過部４４が形成されている。その円形の外周に絶縁層５０を配置する。容器１０と軟Ｘ線遮蔽シート２０とが導通し、容器１０をアースすると、イオン化空気１００中のイオンが軟Ｘ線遮蔽シート２０にトラップされて、軟Ｘ線遮蔽シート２０を通過するイオンの量が減少する恐れがあるためである。

【0028】

図５に絶縁層５０の一例を示す。円形の軟Ｘ線遮蔽シート２０の外周に３個の円弧形のセラミック５２を配置する。なお、セラミック以外にプラスチック等の絶縁材料もあるが、軟Ｘ線を照射すると劣化して、粉末が発生する。セラミックであると、軟Ｘ線の照射を受けても劣化しにくいので、好ましい。また、軟Ｘ線遮蔽シート２０の外周を覆う円環形状のセラミックでもよいが、セラミックは脆性な材料であるので、製造時や使用時に割れる恐れがある。そこで、１つの円環形状の部材で全周を覆うのではなく、複数に分けた円弧形のセラミック５２を用いる。また、軟Ｘ線９２はセラミックを透過する。そこで、軟Ｘ線９２が軟Ｘ線遮蔽シート２０の外周を覆う円環形状の絶縁層５０を透過して漏洩するの防ぐために、軟Ｘ線遮蔽シート２０のケーシング５５により円環形状の絶縁層５０を覆う。ケーシング５５は、ステンレス鋼など、容器１０と同質の材料で形成されるのが一般的である。ここで、ケーシング５５は、軟Ｘ線遮蔽シート２０を、狭いギャップ５６（例えば、０．５ｍｍの隙間で、半径方向の幅２ｍｍ）を有して覆う構造にする。このギャップ５６により、軟Ｘ線遮蔽シート２０とケーシング５５とが絶縁される。また、ギャップ５６を狭く長く、すなわち半径方向の幅を隙間より大きくすることにより、軟Ｘ線遮蔽シート２０とケーシング５５の間を、軟Ｘ線９２が通り抜けることが防止される。具体的には、軟Ｘ線９２がギャップ５６を通り抜けようとすると、軟Ｘ線遮蔽シート２０およびケーシング５５に３回以上の衝突をすることになるようなギャップ５６の形状である。そのため、軟Ｘ線９２の直進性が阻止され、ケーシング５５や軟Ｘ線遮蔽シート２０の外縁付近に衝突して、減衰・消滅するためである。軟Ｘ線遮蔽シート２０のケーシング５５としては、図５（ａ）に示すように、断面コの字状の円環として、コの字の中に円弧形のセラミック５２を収納する構成とするのが、絶縁層５０のハンドリングがし易く、好ましい。なお、図５では、円周を３等分した円弧形のセラミック５２を用いるが、その個数は任意である。

【0029】

あるいは、ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）シートを軟Ｘ線遮蔽シート２０の外周に巻き付けて、ケーシング５５の溝（図（ａ）の５０に相当する空間）に嵌めてもよい。ＰＴＦＥは、絶縁性があり、ＰＴＦＥシートを軟Ｘ線遮蔽シート２０とケーシング５５の間に配置し、軟Ｘ線遮蔽シート２０とケーシング５５が接触しないようにすることで両者を絶縁できる。

【0030】

容器１０と軟Ｘ線遮蔽シート２０とを絶縁することにより、運転初期にイオンが軟Ｘ線遮蔽シート２０にトラップされると、軟Ｘ線遮蔽シート２０はトラップしたイオンの電位（プラスまたはマイナス）を有することになり、以降は同性（プラスまたはマイナス）の電位のイオンはトラップされず、軟Ｘ線遮蔽シート２０を通過することになる。したがって、軟Ｘ線遮蔽シート２０を通過して放出されるイオン量は増大する。

【0031】

さらに、容器１０と軟Ｘ線遮蔽シート２０とが絶縁されるので、容器１０と軟Ｘ線遮蔽シート２０に電位差を印加することが可能になる。図１に示すように電源装置６０を備え、プラスまたはマイナスの電極を軟Ｘ線遮蔽シート２０に軟Ｘ線遮蔽シート用ケーブル６２で接続し、他の電極を容器１０に容器用ケーブル６４で接続する。すると、軟Ｘ線遮蔽シート２０はプラスまたはマイナスに帯電し、容器１０はプラス／マイナスが逆の電圧に帯電する。容器１０が帯電していることにより、容器１０での同性のイオン（プラスに帯電しているならプラスイオン、マイナスに帯電しているならマイナスイオン）の逸散が減少し、容器１０内の同性イオンが増大し、軟Ｘ線遮蔽シート２０を通過する同性イオンが増加するものと推測される。すなわち、放出されるプラス／マイナスイオンの量を調整できることになる。なお、容器１０および軟Ｘ線遮蔽シート２０は小さく、印加する電位も低くてもよいので、電源装置６０から流れる電流は、数ｎＡ～数ｐＡと極めて微小でよく、電源装置６０としても低電力の電池等でよい。

【0032】

さらに、軟Ｘ線式静電除去装置１では、図１に示すように、容器１０のイオン化空気１００の出口１２にノズル７０が設けられる。ノズル７０は出口１２から軟Ｘ線遮蔽シート２０を通過して流出するイオン化空気１００を所定の位置に流す。ノズル７０は、ステンレス鋼などの金属で形成されるのが一般的であるが、材質は限定されない。また、ノズル７０の上流側、すなわち出口１２側では、出口１２と同寸法の断面を有するが、下流側では断面が減少されてもよい。また、ノズル７０は、直線状ではなく、曲がりを有する形状であってもよい。ノズル７０の下端は、軟Ｘ線式静電除去装置１で静電除去する対象物Ｗの近くに開口し、イオン化空気１００を対象物Ｗに吹き付けるようにする。

【0033】

このようにノズル７０を備えることにより、容器１０から流出するイオン化空気１００は拡散することなく、多量のイオンが対象物Ｗに吹き付けられることになる。なお、ノズル７０も金属等の導電材料で形成されるのが一般的であるので、容器１０から絶縁するのが好ましい。なお、ノズル７０を不導体材料で形成する場合には、特に絶縁することは不要となるが、この場合にも、ノズル７０は容器１０から絶縁されるものと称する。容器１０とノズル」７０とを絶縁することにより、ノズル７０を通過するイオン化空気１００中のイオンが、ノズル７０にトラップされて、対象物Ｗに到達するイオンの量が減少することを防止することができる。

【0034】

図１に示す例では、ノズル７０は、軟Ｘ線遮蔽シート２０に接続され、固着されて、軟Ｘ線遮蔽シート２０により支持されている。ノズル７０を軟Ｘ線遮蔽シート２０で支持するように構成すると、ノズル７０を備えるための部品点数が増えることがなく、構造も単純で、結果としてコストを抑えることもできる。

【0035】

また、軟Ｘ線式静電除去装置１では、図１に示すように、容器１０内に空気１０２を取り入れる吸気口１４に軟Ｘ線遮蔽シート１２０を配置し、空気１０２が容器１０に取り入れられるのに、軟Ｘ線遮蔽シート１２０を通過するように構成してもよい。

【0036】

図６に示すように、軟Ｘ線遮蔽シート１２０は、出口１２の軟Ｘ線遮断シート２０と同様の構成である。すなわち、軟Ｘ線９２を通さない素材で形成される第１外層シート１３０、軟Ｘ線９２を通さない素材で形成される中間層シート１３４および軟Ｘ線９２を通さない素材で形成される第２外層シート１４０の３枚のシートが積層固着され形成されている。第１外層シート１３０には空気１０２を取り入れる空気の流入口１３２が形成される。中間層シート３４には、流入口１３２に連通する空気流入開口１３６を有する空気通路１３８が形成される。第２外層シート１４０には、空気１０２が容器１０内に放出される取り入れ口１４２が開口している。第１外層シート１３０の流入口１３２と中間層シート１３４の空気通路１３８と第２外層シート１４０の取り入れ口１４２が連通して、空気通過部１４４が形成される。軟Ｘ線遮蔽シート１２０には、１個の空気通過部１４４が形成されてもよいが、複数の空気通過部１４４が形成されてもよく、空気通過部１４４の形状、開口の個数等が上記には限定されないことも、軟Ｘ線遮断シート２０と同様である。

【0037】

上記のように、吸気口１４に軟Ｘ線遮蔽シート１２０を配置することにより、容器内の軟Ｘ線９２が吸気口１４を通過して漏洩することを防止できる。図１に示すように、軟Ｘ線発生装置９０から発生する軟Ｘ線９２が、吸気口１４方向に照射されないような位置関係に、軟Ｘ線発生装置９０と吸気口１４を配置するので、基本的には吸気口１４を通過する軟Ｘ線９２は微量であるものと考えられるが、吸気口１４に軟Ｘ線遮蔽シート１２０を配置することで微量な軟Ｘ線９２の漏洩も防止できるので、安全性が高まる。なお、吸気口１４の軟Ｘ線遮蔽シート１２０を通過するのは空気１０２であるので、イオンのトラップを防止する必要はなく、容器１０と軟Ｘ線遮蔽シート１２０とを絶縁する必要はない。

【0038】

軟Ｘ線式静電除去装置１の説明では、ノズル７０は、軟Ｘ線遮蔽シート２０に接続され、固着されて、軟Ｘ線遮蔽シート２０により支持されるものとした。しかし、ノズル７０の支持方法は、容器１０から絶縁される限り、任意である。例えば、図７に示す軟Ｘ線式静電除去装置２のように、容器１０に固定された支持部材７２を介して支持してもよい。その際に、支持部材７２を不導体材料で形成してもよいし、容器１０と支持部材７２の間、または、支持部材７２とノズル７０の間に絶縁層を設けてもよい。また、支持部材７２は、容器以外に固定されてもよい。

【0039】

支持部材７２でノズル７０を支持することにより、ノズル７０の設置に自由度が増える。例えば、ノズル７０を直線状ではなく曲げて、ノズル７０を回転させることによりイオン化空気１００を吹き出す方向を変えてもよい。あるいは、ノズル７０を変形可能にし、下流側を動かして、イオン化空気１００を吹き出す位置を変えるようにしてもよい。その際には、ノズル７０の複数個所を支持部材７２で支持してもよい。

【0040】

また、軟Ｘ線遮蔽シート２０とノズル７０との間に空隙があってもよい。ただし、空隙から漏洩するイオン化空気１００の量が、所望の量のイオン化空気１００が対象物Ｗに吹き付けられる範囲内に収まる程度の空隙である。空隙がある場合にも、ノズル７０は軟Ｘ線遮断シート２０に接続されているものとする。

【0041】

これまで説明したように、本発明の軟Ｘ線式静電除去装置１、２によれば、容器から絶縁したノズル７０を備え、出口から排出されるイオン化空気１００の拡散を防止し、イオン化空気１００を除電の対象物Ｗに吹き付けることにより、対象物Ｗに多量のイオンを吹き付けることができる。対象物Ｗが小型になると、ノズル７０で吹き付けることは特に有利であり、対象物Ｗの寸法に合わせてノズル７０の形状を変えることもできる。さらに、吸気口１４に軟Ｘ線遮蔽シート１２０を配置することで微量な軟Ｘ線９２の漏洩も防止でき、安全性が高まる。

【符号の説明】

【0042】

１、２ 軟Ｘ線式静電除去装置
１０ 容器
１２ 出口
１４ 吸気口
２０ 軟Ｘ線遮蔽シート
３０ 第１外層シート
３１ 第１外層シート３０の内側面
３２ 供給口
３４ 中間層シート
３６ イオン化空気流入開口
３７ 湾曲面
３８ イオン化空気通路
３９ 折曲部
４０ 第２外層シート
４１ 第２外層シートの内面
４２ 排出口
４４ イオン化空気通過部
５０ 絶縁層
５２ 円弧形のセラミック
５５ 軟Ｘ線遮蔽シートのケーシング
５６ ギャップ
６０ 電源装置
７０ ノズル
７２ （ノズル）支持部材
９０ 軟Ｘ線発生装置
９２ 軟Ｘ線
１００ イオン化空気
１０２ 空気
１２０ （吸気口の）軟Ｘ線遮蔽シート
１３０ 第１外層シート
１３２ 流入口
１３４ 中間層シート
１３６ 空気流入開口
１３８ 空気通路
１４０ 第２外層シート
１４２ 取り入れ口
１４４ 空気通過部
Ｗ 対象物

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】