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(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】公開特許公報(A)
(11)【公開番号】P2025007839
(43)【公開日】2025-01-17
(54)【発明の名称】気泡除去方法及び気泡除去装置
(51)【国際特許分類】
C23C 14/50 20060101AFI20250109BHJP
H01L 21/683 20060101ALI20250109BHJP
【ＦＩ】
C23C14/50 D
H01L21/68 N
【審査請求】有
【請求項の数】8
【出願形態】ＯＬ
(21)【出願番号】P 2023109493
(22)【出願日】2023-07-03
(71)【出願人】
【識別番号】300075751
【氏名又は名称】株式会社オプトラン
(74)【代理人】
【識別番号】100133411
【弁理士】
【氏名又は名称】山本 龍郎
(74)【代理人】
【識別番号】100067677
【弁理士】
【氏名又は名称】山本 彰司
(72)【発明者】
【氏名】山本 留生
(72)【発明者】
【氏名】並木 恵一
【テーマコード（参考）】
4K029
5F131
【Ｆターム（参考）】
4K029AA09
4K029CA01
4K029CA05
5F131AA02
5F131AA03
5F131AA10
5F131BA53
5F131CA70
5F131EC32
5F131EC52
5F131EC62
(57)【要約】
【課題】貼着部材に特別な加工を施すことなく、被着体との間に生じる気泡を除去することが可能な気泡除去方法及び気泡除去装置の提供。
【解決手段】本発明に係る気泡除去方法は、ワークＷと貼着部材１３とを貼着させた際にこれらの間に生じる気泡を除去する気泡除去方法であって、線状部材配置工程と、押圧工程とを含んで構成されている。線状部材配置工程は、ワークＷと貼着部材１３との間に線状部材１４を貼着部材１３の一端から他端にかけて延伸するように配置する。押圧工程は、線状部材配置工程を行った後、ワークＷ及び貼着部材１３の少なくとも何れか一方を他方に向けて押圧する。
【選択図】 図１
【解決手段】本発明に係る気泡除去方法は、ワークＷと貼着部材１３とを貼着させた際にこれらの間に生じる気泡を除去する気泡除去方法であって、線状部材配置工程と、押圧工程とを含んで構成されている。線状部材配置工程は、ワークＷと貼着部材１３との間に線状部材１４を貼着部材１３の一端から他端にかけて延伸するように配置する。押圧工程は、線状部材配置工程を行った後、ワークＷ及び貼着部材１３の少なくとも何れか一方を他方に向けて押圧する。
【選択図】 図１
【特許請求の範囲】
【請求項1】
被着体と貼着部材とを貼着させた際にこれらの間に生じる気泡を除去する気泡除去方法であって、
前記被着体と前記貼着部材との間に線状部材を該貼着部材の一端から他端にかけて延伸するように配置する線状部材配置工程と、
前記線状部材配置工程を行った後、前記被着体及び前記貼着部材の少なくとも何れか一方を他方に向けて押圧する押圧工程と、
を含む、気泡除去方法。
前記被着体と前記貼着部材との間に線状部材を該貼着部材の一端から他端にかけて延伸するように配置する線状部材配置工程と、
前記線状部材配置工程を行った後、前記被着体及び前記貼着部材の少なくとも何れか一方を他方に向けて押圧する押圧工程と、
を含む、気泡除去方法。
【請求項2】
前記被着体は、ワークであり、
前記貼着部材は、前記ワークを貼着可能なワーク貼着部を有し、
前記線状部材配置工程は、前記ワークと前記ワーク貼着部との間に前記線状部材を配置する工程を含む、請求項１に記載の気泡除去工程。
前記貼着部材は、前記ワークを貼着可能なワーク貼着部を有し、
前記線状部材配置工程は、前記ワークと前記ワーク貼着部との間に前記線状部材を配置する工程を含む、請求項１に記載の気泡除去工程。
【請求項3】
前記被着体は、弾性変形可能な弾性部材からなり、基台上に設けられた接着テープに貼着される基台取付部を有し、
前記貼着部材は、粘着シートからなり、前記被着体の外周を前記基台取付部の一端から他端にかけて回り込むように貼着され、前記接着テープに貼着される基台側貼着部と、該基台側貼着部とは反対側でワークを貼着可能なワーク側貼着部とを有し、
前記貼着部材と前記接着テープとの粘着力を第１粘着力とし、前記貼着部材と前記ワークとの粘着力を第２粘着力とし、前記貼着部材と前記弾性部材との粘着力を第３粘着力とした場合、
前記第１粘着力＞前記第２粘着力＞前記第３粘着力
前記弾性部材と前記接着テープとの接着力＞前記第２粘着力＞前記第３粘着力
の関係が成立し、
前記線状部材配置工程は、前記弾性部材と前記ワーク側貼着部との間に前記線状部材を配置する工程を含む、請求項１に記載の気泡除去工程。
前記貼着部材は、粘着シートからなり、前記被着体の外周を前記基台取付部の一端から他端にかけて回り込むように貼着され、前記接着テープに貼着される基台側貼着部と、該基台側貼着部とは反対側でワークを貼着可能なワーク側貼着部とを有し、
前記貼着部材と前記接着テープとの粘着力を第１粘着力とし、前記貼着部材と前記ワークとの粘着力を第２粘着力とし、前記貼着部材と前記弾性部材との粘着力を第３粘着力とした場合、
前記第１粘着力＞前記第２粘着力＞前記第３粘着力
前記弾性部材と前記接着テープとの接着力＞前記第２粘着力＞前記第３粘着力
の関係が成立し、
前記線状部材配置工程は、前記弾性部材と前記ワーク側貼着部との間に前記線状部材を配置する工程を含む、請求項１に記載の気泡除去工程。
【請求項4】
前記被着体は、弾性変形可能な弾性部材からなり、基台上に設けられ、
前記貼着部材は、粘着シートからなり、前記弾性部材の外周全体を被覆するように貼着され、前記基台上に設けられた接着テープに貼着される基台側貼着部と、該基台側貼着部とは反対側でワークを貼着可能なワーク側貼着部とを有し、
前記貼着部材と前記接着テープとの粘着力を第１粘着力とし、前記貼着部材と前記ワークとの粘着力を第２粘着力とし、前記貼着部材と前記弾性部材との粘着力を第３粘着力とした場合、
前記第１粘着力＞前記第２粘着力＞前記第３粘着力
の関係が成立し、
前記線状部材配置工程は、前記弾性部材と前記基台側貼着部及び前記ワーク側貼着部の少なくとも何れか一方との間に前記線状部材を配置する工程を含む、請求項１に記載の気泡除去工程。
前記貼着部材は、粘着シートからなり、前記弾性部材の外周全体を被覆するように貼着され、前記基台上に設けられた接着テープに貼着される基台側貼着部と、該基台側貼着部とは反対側でワークを貼着可能なワーク側貼着部とを有し、
前記貼着部材と前記接着テープとの粘着力を第１粘着力とし、前記貼着部材と前記ワークとの粘着力を第２粘着力とし、前記貼着部材と前記弾性部材との粘着力を第３粘着力とした場合、
前記第１粘着力＞前記第２粘着力＞前記第３粘着力
の関係が成立し、
前記線状部材配置工程は、前記弾性部材と前記基台側貼着部及び前記ワーク側貼着部の少なくとも何れか一方との間に前記線状部材を配置する工程を含む、請求項１に記載の気泡除去工程。
【請求項5】
前記被着体及び前記貼着部材は、減圧可能な空間内に収容され、
前記気泡除去方法は、前記押圧工程を行った後、前記空間内を減圧する減圧工程を含む、請求項１～４の何れか１項に記載の気泡除去方法。
前記気泡除去方法は、前記押圧工程を行った後、前記空間内を減圧する減圧工程を含む、請求項１～４の何れか１項に記載の気泡除去方法。
【請求項6】
前記線状部材配置工程は、前記貼着部材と前記被着体との間に複数の前記線状部材を互いに間隔を空けて並行に配置する工程を含む、請求項１～４の何れか１項に記載の気泡除去方法。
【請求項7】
前記線状部材は、外径が０．０３～０.１ｍｍの範囲内である、請求項１～４の何れか１項に記載の気泡除去方法。
【請求項8】
被着体と貼着部材とを貼着させた際にこれらの間に生じる気泡を除去する気泡除去装置であって、
前記貼着部材の前記被着体が貼着される貼着面上に、該貼着面の一端から他端にかけて延伸するように配される線状部材を備える、気泡除去装置。
前記貼着部材の前記被着体が貼着される貼着面上に、該貼着面の一端から他端にかけて延伸するように配される線状部材を備える、気泡除去装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、気泡除去方法及び気泡除去装置に関し、特に、被着体と貼着部材とを貼着させた際にこれらの間に生じる気泡を除去する気泡除去方法及び気泡除去装置に関する。
【背景技術】
【0002】
従来から、粘着シート等の貼着部材として、貼着面が平滑な面に形成されたものが広く知られている。
しかしながら、このような貼着部材では、被着体に貼着した際、空気の逃げ道がないことから、これらの間に気泡が生じやすく、その結果、貼着部材の外観上の見栄えが悪くなるなどの問題があった。
しかしながら、このような貼着部材では、被着体に貼着した際、空気の逃げ道がないことから、これらの間に気泡が生じやすく、その結果、貼着部材の外観上の見栄えが悪くなるなどの問題があった。
【0003】
そこで、このような問題を解消するべく、例えば、特許文献１に記載の貼着部材（粘着加工シート）が提案されている。
【0004】
特許文献１に記載の貼着部材は、粘着層に独立した多数の小凸部が形成されたものである。
このような技術によれば、被着体に貼着部材を貼着した状態で、各小凸部間に空気の逃げ道が形成されるため、気泡の発生を抑制することができ、その結果、見栄えのよい貼着状態を実現等することが可能である。
このような技術によれば、被着体に貼着部材を貼着した状態で、各小凸部間に空気の逃げ道が形成されるため、気泡の発生を抑制することができ、その結果、見栄えのよい貼着状態を実現等することが可能である。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0005】
【特許文献1】実用新案登録第２５８７１９８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0006】
しかしながら、特許文献１に記載の貼着部材では、粘着層に小凸部を形成するための金型を準備等する必要があるため、製造コストが必然的に増加する等の問題があった。
【0007】
しかも、特許文献１に記載の貼着部材では、主に、小凸部が被着体に貼着される構成となっているため、被着体との貼着力（密着力）が自ずと弱くなってしまうといった問題もあった。
【0008】
ところで、ワーク（例えば、ガラス基板）の表面に成膜等の処理（以下、「表面処理」という）を行う場合、貼着部材にワークを保持させた状態で行うことがある。
この場合、仮に、特許文献１に記載の貼着部材を用いてワークを保持させると、貼着不良（密着不良）が原因で、ワークが貼着部材から離脱等するおそれがあり、斯かる場合、成膜等の品質が低下するなどの問題を招く。
この場合、仮に、特許文献１に記載の貼着部材を用いてワークを保持させると、貼着不良（密着不良）が原因で、ワークが貼着部材から離脱等するおそれがあり、斯かる場合、成膜等の品質が低下するなどの問題を招く。
【0009】
このような問題は、小凸部が形成されていない貼着部材、例えば、上記した従来の貼着部材を用いることが考えられる。
しかしながら、一般に、成膜等の表面処理は、大気圧以下に減圧した状態（真空状態）で行われるため、気泡が生じやすい貼着部材（例えば、上記した従来の貼着部材）を用いると、減圧した際に気泡が膨張してしまい、ワークと貼着部材との貼着力が低下するといった問題が生じる。
しかしながら、一般に、成膜等の表面処理は、大気圧以下に減圧した状態（真空状態）で行われるため、気泡が生じやすい貼着部材（例えば、上記した従来の貼着部材）を用いると、減圧した際に気泡が膨張してしまい、ワークと貼着部材との貼着力が低下するといった問題が生じる。
【0010】
なお、本願出願人は、先に出願した特願２０２２－１０９２３７号や特願２０２２－１７８１６６号（以下、「先行出願」という）において、貼着部材を用いてワークを保持するワーク保持機構及びワーク保持方法を開示している。
【0011】
ここで、先行出願に係る貼着部材を備えたワーク保持機構について図８を参照しつつ説明する。
図８に示すように、先行出願に係るワーク保持機構１１０´は、支持具１１と、支持具１１上に設けられた接着テープ１２と、接着テープ１２に対し支持具１１と反対側から設けられた弾性部材１１５（弾性シート）と、弾性部材１１５の外周をその底部１１５ｂの一端から他端にかけて回り込むように貼着される貼着部材１１３（粘着シート）とを備え、貼着部材１１３は、支持具１１上に設けられた接着テープ１２に貼着される基台側貼着部１１３ｂと、基台側貼着部１１３ｂとは反対側でワーク（例えば、ガラス基板、図６の「ワークＷ」参照）を貼着可能なワーク側貼着部１１３ａとを有したものとなっている。
図８に示すように、先行出願に係るワーク保持機構１１０´は、支持具１１と、支持具１１上に設けられた接着テープ１２と、接着テープ１２に対し支持具１１と反対側から設けられた弾性部材１１５（弾性シート）と、弾性部材１１５の外周をその底部１１５ｂの一端から他端にかけて回り込むように貼着される貼着部材１１３（粘着シート）とを備え、貼着部材１１３は、支持具１１上に設けられた接着テープ１２に貼着される基台側貼着部１１３ｂと、基台側貼着部１１３ｂとは反対側でワーク（例えば、ガラス基板、図６の「ワークＷ」参照）を貼着可能なワーク側貼着部１１３ａとを有したものとなっている。
【0012】
また、ワーク保持機構１１０´では、貼着部材１１３と接着テープ１２との粘着力（以下、「第１粘着力」という）、貼着部材１１３とワークとの粘着力（以下、「第２粘着力」という）、貼着部材１１３と弾性部材１１５との粘着力（以下、「第３粘着力」という）が、それぞれ、
・第１粘着力＞第２粘着力＞第３粘着力
・弾性部材１１５と接着テープ１２との粘着力＞第２粘着力＞第３粘着力
の関係が成立するように設定されている。
・第１粘着力＞第２粘着力＞第３粘着力
・弾性部材１１５と接着テープ１２との粘着力＞第２粘着力＞第３粘着力
の関係が成立するように設定されている。
【0013】
このように構成されたワーク保持機構１１０´では、貼着保持されたワークを貼着部材１１３から取り外す方向に移動させると、ワーク側貼着部１１３ａを弾性部材１１５の上部１１５ａから徐々に剥離させていくことが可能である（図７（ａ）及び（ｂ）参照）。
すなわち、先行出願に係るワーク保持機構１１０´によれば、ワークと貼着部材１１３との貼着面積（貼着力）を減少させていくことが可能なため、ワークの取り外しを容易に行うことができる。
すなわち、先行出願に係るワーク保持機構１１０´によれば、ワークと貼着部材１１３との貼着面積（貼着力）を減少させていくことが可能なため、ワークの取り外しを容易に行うことができる。
【0014】
また、先行出願に係るワーク保持機構１１０´では、その後、ワークを貼着部材１１３に押圧することで、ワーク側貼着部１１３ａを弾性部材１１５の上部１１５ａに再度貼着させることができるように構成されている。
その結果、先行出願に係るワーク保持機構１１０´では、ワークを貼着部材１１３に押圧した際、これらを互いに面接触させた状態で貼着することが可能なため、ワークを貼着部材１１３から外れにくくすることができる。
その結果、先行出願に係るワーク保持機構１１０´では、ワークを貼着部材１１３に押圧した際、これらを互いに面接触させた状態で貼着することが可能なため、ワークを貼着部材１１３から外れにくくすることができる。
【0015】
このように、先行出願に係るワーク保持機構１１０´によれば、成膜等の表面処理の際にはワークを外れにくくすることができる一方、表面処理後にはワークを容易に取り外すことが可能である。
【0016】
しかしながら、先行出願に係るワーク保持機構１１０´では、弾性部材１１５の上部１１５ａにワーク側貼着部１１３ａを貼着させた場合、上記した従来の貼着部材と同様に、これらの間に気泡が生じやすい。
斯かる場合、ワーク側貼着部１１３ａと弾性部材１１５の上部１１５ａとの貼着力が低下するため、場合によっては、これらが剥離等する可能性が少なからずともあり、これが原因で、保持されたワークが貼着部材１１３から剥がれるといった問題が生じかねない。
斯かる場合、ワーク側貼着部１１３ａと弾性部材１１５の上部１１５ａとの貼着力が低下するため、場合によっては、これらが剥離等する可能性が少なからずともあり、これが原因で、保持されたワークが貼着部材１１３から剥がれるといった問題が生じかねない。
【0017】
また、先行出願に係るワーク保持機構１１０´では、貼着部材１１３と弾性部材１１５との間に気泡が生じた結果、ワーク側貼着部１１３ａの表面側が凸凹な面になると、ワークと貼着部材１１３との貼着面積が減少するため、ワークを貼着保持する貼着部材１１３の貼着力が低下するといった問題を招く。
【0018】
さらに、先行出願に係るワーク保持機構１１０´では、ワークの取り外し・取り付けを繰り返し行うと、その都度生じる気泡が原因でワーク側貼着部１１３ａに縦皺やたるみなどが形成されるおそれがある。
斯かる場合、ワークや弾性部材１１５に貼着するワーク側貼着部１１３ａ（貼着部材１１３）の貼着力が低下するため、ワークを安定的に保持することが困難になるといった問題が生じやすい。
斯かる場合、ワークや弾性部材１１５に貼着するワーク側貼着部１１３ａ（貼着部材１１３）の貼着力が低下するため、ワークを安定的に保持することが困難になるといった問題が生じやすい。
【0019】
これらの点を踏まえると、先行出願に係るワーク保持機構１１０´は、ワークを安定的に保持する観点から、未だ改善の余地があるものといえる。
【0020】
本発明は、このような課題を解消するためになされたものであり、貼着部材に特別な加工を施すことなく、被着体との間に生じる気泡を除去することが可能な気泡除去方法及び気泡除去装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【0021】
上記課題は、被着体と貼着部材とを貼着させた際にこれらの間に生じる気泡を除去する気泡除去方法であって、前記被着体と前記貼着部材との間に線状部材を該貼着部材の一端から他端にかけて延伸するように配置する線状部材配置工程と、前記線状部材配置工程を行った後、前記被着体及び前記貼着部材の少なくとも何れか一方を他方に向けて押圧する押圧工程と、を含む、ことにより解決される。
【0022】
なお、前記気泡除去方法に係る発明においては、前記被着体は、ワークであり、前記貼着部材は、前記ワークを貼着可能なワーク貼着部を有し、前記線状部材配置工程は、前記ワークと前記ワーク貼着部との間に前記線状部材を配置する工程を含む、と好適である。
【0023】
また、前記気泡除去方法に係る発明においては、前記被着体は、弾性変形可能な弾性部材からなり、基台上に設けられた接着テープに貼着される基台取付部を有し、前記貼着部材は、粘着シートからなり、前記被着体の外周を前記基台取付部の一端から他端にかけて回り込むように貼着され、前記接着テープに貼着される基台側貼着部と、該基台側貼着部とは反対側でワークを貼着可能なワーク側貼着部とを有し、前記貼着部材と前記接着テープとの粘着力を第１粘着力とし、前記貼着部材と前記ワークとの粘着力を第２粘着力とし、前記貼着部材と前記弾性部材との粘着力を第３粘着力とした場合、前記第１粘着力＞前記第２粘着力＞前記第３粘着力、前記弾性部材と前記接着テープとの接着力＞前記第２粘着力＞前記第３粘着力の関係が成立し、前記線状部材配置工程は、前記弾性部材と前記ワーク側貼着部との間に前記線状部材を配置する工程を含む、と好適である。
【0024】
さらに、前記気泡除去方法に係る発明においては、前記被着体は、弾性変形可能な弾性部材からなり、基台上に設けられ、前記貼着部材は、粘着シートからなり、前記弾性部材の外周全体を被覆するように貼着され、前記基台上に設けられた接着テープに貼着される基台側貼着部と、該基台側貼着部とは反対側でワークを貼着可能なワーク側貼着部とを有し、前記貼着部材と前記接着テープとの粘着力を第１粘着力とし、前記貼着部材と前記ワークとの粘着力を第２粘着力とし、前記貼着部材と前記弾性部材との粘着力を第３粘着力とした場合、前記第１粘着力＞前記第２粘着力＞前記第３粘着力の関係が成立し、前記線状部材配置工程は、前記弾性部材と前記基台側貼着部及び前記ワーク側貼着部の少なくとも何れか一方との間に前記線状部材を配置する工程を含む、
と好適である。
と好適である。
【0025】
また、前記気泡除去方法に係る発明においては、前記被着体及び前記貼着部材は、減圧可能な空間内に収容され、前記気泡除去方法は、前記押圧工程を行った後、前記空間内を減圧する減圧工程を含む、と好適である。
【0026】
さらに、前記気泡除去方法に係る発明においては、前記線状部材配置工程は、前記貼着部材と前記被着体との間に複数の前記線状部材を互いに間隔を空けて並行に配置する工程を含む、と好適である。
【0027】
また、前記気泡除去方法に係る発明においては、前記線状部材は、外径が０．０３～０.１ｍｍの範囲内である、と好適である。
【0028】
上記課題は、被着体と貼着部材とを貼着させた際にこれらの間に生じる気泡を除去する気泡除去装置であって、前記貼着部材の前記被着体が貼着される貼着面上に、該貼着面の一端から他端にかけて延伸するように配される線状部材を備える、ことによっても解決される。
【発明の効果】
【0029】
以上のように、本発明に係る気泡除去方法及び気泡除去装置によれば、比較的簡易な構成でありながらも、貼着部材に特別な加工を施すことなく、被着体との間に生じた気泡を効率的かつ安定的に除去することができる。
【図面の簡単な説明】
【0030】
【発明を実施するための形態】
【0031】
以下、本発明の気泡除去方法及び気泡除去装置を、その好ましい一実施形態に基づき図面を参照しながら説明する。図１は本発明に係る気泡除去装置の一実施形態を示す側面概略図、図２は本発明に係る気泡除去方法を説明するためのフローチャート、図３はワークと貼着部材との間に生じた気泡の状態を示す平面概略図である。
【0032】
＜成膜装置１の全体構成＞
図１に示すように、本実施形態に係る気泡除去装置としてのワーク保持機構１０は、ワークＷ（例えば、ガラス基板）に成膜等の表面処理を行う成膜装置１の内部（内部空間Ｓ）に設けられている。
詳しくは後述するが、ワーク保持機構１０は、ワークＷを貼着して保持するとともに（ワーク保持機能）、当該ワークＷを貼着した際に生じる気泡を除去するように構成されている（気泡除去機能）。
なお、上記ワーク保持機構１０と、ワークＷと、内部空間Ｓとが、特許請求の範囲に記載の「気泡除去装置」と、「被着体」と、「減圧可能な空間」とに該当する。
図１に示すように、本実施形態に係る気泡除去装置としてのワーク保持機構１０は、ワークＷ（例えば、ガラス基板）に成膜等の表面処理を行う成膜装置１の内部（内部空間Ｓ）に設けられている。
詳しくは後述するが、ワーク保持機構１０は、ワークＷを貼着して保持するとともに（ワーク保持機能）、当該ワークＷを貼着した際に生じる気泡を除去するように構成されている（気泡除去機能）。
なお、上記ワーク保持機構１０と、ワークＷと、内部空間Ｓとが、特許請求の範囲に記載の「気泡除去装置」と、「被着体」と、「減圧可能な空間」とに該当する。
【0033】
以下、本実施形態に係るワーク保持機構１０について説明する前に、成膜装置１の構成について説明する。
【0034】
成膜装置１は、成膜室を構成する真空チャンバ２と、減圧手段３とを含んで構成されている。
真空チャンバ２は、内部空間Ｓを有し、この内部空間Ｓには、ワーク保持機構１０や、図示は省略するが、成膜等の表面処理を行う際に必要な各種装置、例えば、真空蒸着を行うための装置（図示省略）、スパッタリングを行うための装置、ワークＷを昇降等させてワーク保持機構１０に着脱するための装置等が設けられている。
減圧手段３は、真空チャンバ２の内部空間Ｓを大気圧以下の真空状態に減圧するための装置であり、例えば、公知の真空排気ポンプを用いて構成することが可能である。減圧手段３による減圧は、ワークＷに表面処理を行う際に行われる。
真空チャンバ２は、内部空間Ｓを有し、この内部空間Ｓには、ワーク保持機構１０や、図示は省略するが、成膜等の表面処理を行う際に必要な各種装置、例えば、真空蒸着を行うための装置（図示省略）、スパッタリングを行うための装置、ワークＷを昇降等させてワーク保持機構１０に着脱するための装置等が設けられている。
減圧手段３は、真空チャンバ２の内部空間Ｓを大気圧以下の真空状態に減圧するための装置であり、例えば、公知の真空排気ポンプを用いて構成することが可能である。減圧手段３による減圧は、ワークＷに表面処理を行う際に行われる。
【0035】
（ワーク保持機構１０）
次に、ワーク保持機構１０について説明する。
図１に示すように、ワーク保持機構１０は、支持具１１と、接着テープ１２と、貼着部材１３と、線状部材１４とを含んで構成されている。
なお、上記貼着部材１３と、線状部材１４とが、それぞれ特許請求の範囲に記載の「貼着部材」と、「線状部材」とに該当する。
次に、ワーク保持機構１０について説明する。
図１に示すように、ワーク保持機構１０は、支持具１１と、接着テープ１２と、貼着部材１３と、線状部材１４とを含んで構成されている。
なお、上記貼着部材１３と、線状部材１４とが、それぞれ特許請求の範囲に記載の「貼着部材」と、「線状部材」とに該当する。
【0036】
支持具１１は、上下面の各々が平坦状に形成された部材であり、下面側が真空チャンバ２の底部に固定的に取り付けられている。
接着テープ１２は、両面に接着層が形成された所謂両面テープであり、支持具１１の上面に貼着されている。このような接着テープ１２としては、例えば、公知のポリイミドからなる両面粘着テープを用いることができる。
接着テープ１２は、両面に接着層が形成された所謂両面テープであり、支持具１１の上面に貼着されている。このような接着テープ１２としては、例えば、公知のポリイミドからなる両面粘着テープを用いることができる。
【0037】
貼着部材１３は、両面に粘着層が形成されたシート状の部材からなり、一面が接着テープ１２を介して支持具１１に貼着固定される一方、他面がワークＷを貼着（保持）可能に構成されている。このような貼着部材１３としては、例えば、テープ厚が１ｍｍ程度のポリイミドやシリコンからなる両面粘着テープを用いることが可能である。
なお、本実施形態では、支持具１１を介して貼着部材１３を真空チャンバ２に取り付けたが、支持具１１を省略して、貼着部材１３を真空チャンバ２に直接取り付けることも可能である。
なお、本実施形態では、支持具１１を介して貼着部材１３を真空チャンバ２に取り付けたが、支持具１１を省略して、貼着部材１３を真空チャンバ２に直接取り付けることも可能である。
【0038】
線状部材１４は、直線状に延伸させることが可能な部材からなり、貼着部材１３の上面に貼着されている。
具体的に、本実施形態に係る線状部材１４は、貼着部材１３の幅方向中央の位置で、かつ、その長さ方向の一端から他端にかけて延伸するようにして配置される（図３参照）。このような線状部材１４としては、例えば、汎用されている糸材や針金を用いることが可能である。
詳しくは後述するが、本実施形態では、線状部材１４が配置された貼着部材１３にワークＷを押圧等することで、当該ワークＷが貼着部材１３に貼着（保持）されるとともに、この際にこれらの間に生じた気泡が線状部材１４を伝って外部に排出されるように構成されている（図３の「気泡Ａ１，Ａ２」及び「空気Ａ３」参照）。
なお、上記貼着部材１３の上面が特許請求の範囲に記載の「貼着面」に該当する。
具体的に、本実施形態に係る線状部材１４は、貼着部材１３の幅方向中央の位置で、かつ、その長さ方向の一端から他端にかけて延伸するようにして配置される（図３参照）。このような線状部材１４としては、例えば、汎用されている糸材や針金を用いることが可能である。
詳しくは後述するが、本実施形態では、線状部材１４が配置された貼着部材１３にワークＷを押圧等することで、当該ワークＷが貼着部材１３に貼着（保持）されるとともに、この際にこれらの間に生じた気泡が線状部材１４を伝って外部に排出されるように構成されている（図３の「気泡Ａ１，Ａ２」及び「空気Ａ３」参照）。
なお、上記貼着部材１３の上面が特許請求の範囲に記載の「貼着面」に該当する。
【0039】
＜ワーク保持機構１０の動作＞
次に、このように構成されたワーク保持機構１０による気泡除去方法について図１～図３を参照しつつ説明する。以下においては、貼着部材１３へのワークＷの貼着は、大気圧下で行うことを前提として説明する。
次に、このように構成されたワーク保持機構１０による気泡除去方法について図１～図３を参照しつつ説明する。以下においては、貼着部材１３へのワークＷの貼着は、大気圧下で行うことを前提として説明する。
【0040】
図２に示すように、本実施形態に係る気泡除去方法は、線状部材配置工程Ｓ１００と、押圧工程Ｓ２００と、減圧工程Ｓ３００とを含んで構成されている。
なお、上記気泡除去方法と、線状部材配置工程Ｓ１００と、押圧工程Ｓ２００と、減圧工程Ｓ３００とが、それぞれ、特許請求の範囲に記載の「気泡除去方法」と、「線状部材配置工程」と、「押圧工程」と、「減圧工程」とに該当する。
なお、上記気泡除去方法と、線状部材配置工程Ｓ１００と、押圧工程Ｓ２００と、減圧工程Ｓ３００とが、それぞれ、特許請求の範囲に記載の「気泡除去方法」と、「線状部材配置工程」と、「押圧工程」と、「減圧工程」とに該当する。
【0041】
（線状部材配置工程Ｓ１００）
本実施形態に係る気泡除去方法は、図２に示すように、線状部材配置工程Ｓ１００を行うことから始まる。
本実施形態に係る気泡除去方法は、図２に示すように、線状部材配置工程Ｓ１００を行うことから始まる。
【0042】
線状部材配置工程Ｓ１００では、線状部材１４を貼着部材１３の上面に配置する作業を行う。
具体的に、線状部材配置工程Ｓ３００では、図３に示すように、線状部材１４を、貼着部材１３の幅方向における略中央の位置で、かつ長手方向における一端から他端にかけて延伸するように貼着する作業を行う。
具体的に、線状部材配置工程Ｓ３００では、図３に示すように、線状部材１４を、貼着部材１３の幅方向における略中央の位置で、かつ長手方向における一端から他端にかけて延伸するように貼着する作業を行う。
【0043】
なお、線状部材１４の端部は、貼着部材１３の長手方向における端部からはみ出るように配置するか、または当該端部に近接した位置に配置することが好ましい。これにより、押圧工程Ｓ２００や減圧工程Ｓ３００を行った際に、ワークＷと貼着部材１３との間に存在する気泡（図３の「気泡Ａ１」）を、外部に効率よく排出することが可能になる。この点についての説明は後述する。
【0044】
図２に示すように、本実施形態に係る気泡除去方法では、線状部材押圧工程Ｓ１００を行った後、押圧工程Ｓ２００が行われるように構成されている。
【0045】
（押圧工程Ｓ２００）
押圧工程Ｓ２００では、ワークＷを貼着部材１３に貼着して押圧する作業を行う。なお、このような押圧は、ワークＷを昇降等させる装置を用いて機械的に行ってもよく、人手により行うことも可能である。
押圧工程Ｓ２００では、ワークＷを貼着部材１３に貼着して押圧する作業を行う。なお、このような押圧は、ワークＷを昇降等させる装置を用いて機械的に行ってもよく、人手により行うことも可能である。
【0046】
図３（ａ）に示すように、ワークＷを貼着部材１３に貼着すると、これらの間には気泡Ａ１が生じやすい。
この状態で、ワークＷを押圧すると、気泡Ａ１は、当該ワークＷと貼着部材１３との間で押し潰されて拡張していくようになる。
上記したように、本実施形態では、貼着部材１３に線状部材１４が貼着配置されているため、拡張した気泡Ａ１が線状部材１４に接すると、当該気泡Ａ２は、当該線状部材１４を伝うように移動して外部に排出されるようになっている（「空気Ａ３」参照）。
この状態で、ワークＷを押圧すると、気泡Ａ１は、当該ワークＷと貼着部材１３との間で押し潰されて拡張していくようになる。
上記したように、本実施形態では、貼着部材１３に線状部材１４が貼着配置されているため、拡張した気泡Ａ１が線状部材１４に接すると、当該気泡Ａ２は、当該線状部材１４を伝うように移動して外部に排出されるようになっている（「空気Ａ３」参照）。
【0047】
このように、本実施形態では、押圧工程Ｓ２００を行うことによって、ワークＷと貼着部材１３との間に存在する気泡（気泡Ａ１，Ａ２）を除去することが可能になっている。その結果、本実施形態では、ワークＷと貼着部材１３との貼着性（密着性）を向上させることができるので、ワークＷを貼着保持する貼着部材１３の貼着力を増加させることが可能である。
【0048】
なお、貼着部材１３に押圧されるワークＷの押圧力は、貼着部材１３と接触する接触面積や、気泡Ａ１の発生量等に応じて適宜調整することが可能である。
例えば、ワークＷと貼着部材１３との接触面積が大きい場合や、気泡Ａ１の発生量が多い場合には、比較的強めの押圧力でワークＷを押圧すればよい。これにより、気泡Ａ１を線状部材１４に接触させやすくすることができるので、ワークＷと貼着部材１３との間に存在する気泡（気泡Ａ１，Ａ２）を効率的に除去することが可能である。
これとは逆に、ワークＷと貼着部材１３との接触面積が小さい場合等には、自重を利用してワークＷを押圧するか、又は比較的軽めの押圧力でワークＷを押圧すればよい。
例えば、ワークＷと貼着部材１３との接触面積が大きい場合や、気泡Ａ１の発生量が多い場合には、比較的強めの押圧力でワークＷを押圧すればよい。これにより、気泡Ａ１を線状部材１４に接触させやすくすることができるので、ワークＷと貼着部材１３との間に存在する気泡（気泡Ａ１，Ａ２）を効率的に除去することが可能である。
これとは逆に、ワークＷと貼着部材１３との接触面積が小さい場合等には、自重を利用してワークＷを押圧するか、又は比較的軽めの押圧力でワークＷを押圧すればよい。
【0049】
図２に示すように、本実施形態に係る気泡除去方法では、押圧工程Ｓ２００を行った後、減圧工程Ｓ３００を行うように構成されている。
【0050】
【0051】
図３（ｂ）及び（ｃ）は、減圧工程Ｓ３００を行った後の気泡の状態を示す平面概略図であり、（ｂ）は減圧初期段階の状態（低真空状態）を示す図、（ｃ）は減圧終期段階の状態（高真空状態）を示す図である。
【0052】
図３（ｂ）に示すように、ワークＷと貼着部材１３との間に存在する気泡Ａ１、すなわち、上記した押圧工程Ｓ２００を行ってもなお、これらの間に残存する気泡Ａ１は、内部空間Ｓ（図１参照）が減圧されるのに従って、徐々に膨張していくようになる。
【0053】
その後、気泡Ａ１は、内部空間Ｓが減圧されていくのに従ってさらに膨張すると、図３（ｃ）に示すように、線状部材１４に接するようになる（「気泡Ａ２」参照）。これにより、線状部材１４に接した気泡Ａ２は、当該線状部材１４を伝って外部に排出されるため（「空気Ａ３」参照）、ワークＷと貼着部材１３との間に存在する気泡Ａ１が、徐々に除去されていくこととなる。その結果、ワークＷと貼着部材１３との貼着面積が増加するため、当該ワークＷを貼着保持する貼着部材１３の貼着力をさらに向上させることが可能になる。
【0054】
図２に示すように、本実施形態に係る気泡除去方法では、減圧工程Ｓ３００を行った後、
（１）ワークＷに対する表面処理、
（２）貼着部材１３からのワークＷの取り外し、
（３）新たなワークＷ（表面処理を行っていないワークＷ）の準備、
等の作業を順に行い、その後、再度、押圧工程Ｓ２００を行うように構成されている。
（１）ワークＷに対する表面処理、
（２）貼着部材１３からのワークＷの取り外し、
（３）新たなワークＷ（表面処理を行っていないワークＷ）の準備、
等の作業を順に行い、その後、再度、押圧工程Ｓ２００を行うように構成されている。
【0055】
なお、本実施形態では、減圧工程Ｓ３００を行った後、線状部材配置工程Ｓ１００を行うことなく（貼着部材１３上に配置された線状部材１４を取り換えることなく）、押圧工程Ｓ２００を繰り返し実行するように構成したが（減圧工程Ｓ３００→押圧工程Ｓ２００→減圧工程→・・・）、ワークＷに表面処理等を行う度に、貼着部材１３から線状部材１４を取り外し、その後、線状部材配置工程Ｓ１００を行うように構成することも可能である（減圧工程Ｓ３００→線状部材押圧工程Ｓ１００→押圧工程Ｓ２００→減圧工程Ｓ３００→・・・）。
【0056】
＜試験１＞
ところで、線状部材１４は、その直径が細すぎると、気泡を外部に効率的に排出しにくくなる一方、その反面、当該直径が太すぎると、貼着部材１３へのワークＷの貼着が阻害されるなどの問題が生じることが考えられる。このため、本願出願人は、このような問題を検証するべく、線状部材１４の直径に関する試験（以下、「試験１」という）を行った。以下、「試験１」について図１～図３を参照しつつ説明する。
ところで、線状部材１４は、その直径が細すぎると、気泡を外部に効率的に排出しにくくなる一方、その反面、当該直径が太すぎると、貼着部材１３へのワークＷの貼着が阻害されるなどの問題が生じることが考えられる。このため、本願出願人は、このような問題を検証するべく、線状部材１４の直径に関する試験（以下、「試験１」という）を行った。以下、「試験１」について図１～図３を参照しつつ説明する。
【0057】
「試験１」では、以下の条件のワークＷ及びワーク保持機構１０（図１参照）を用いて、直径の異なる複数の線状部材１４毎に、線状部材配置工程Ｓ１００、押圧工程Ｓ２００及び減圧工程Ｓ３００（図２参照）を順に行った。
・ワークＷ：ガラス基板（幅：１００ｍｍ、長さ：１００ｍｍ）
・接着テープ１２：ポリイミドテープ（ＰＩテープ）
・貼着部材１３：粘着シート（幅：１０ｍｍ、長さ：５０ｍｍ、テープ厚：１.０ｍｍ）
・線状部材１４：糸
・線状部材１４の直径：０．０１ｍｍ、０．０２ｍｍ、０．０３ｍｍ、０．０６ｍｍ、０．１ｍｍの計５種類
なお、以下においては、説明の便宜上、線状部材１４の直径が、０．０１ｍｍの試験を「試験１ａ」、０．０２ｍｍの試験を「試験１ｂ」、０．０３ｍｍの試験を「試験１ｃ」、０．０６ｍｍの試験を「試験１ｄ」、０．１ｍｍの試験を「試験１ｅ」ということとする。
・ワークＷ：ガラス基板（幅：１００ｍｍ、長さ：１００ｍｍ）
・接着テープ１２：ポリイミドテープ（ＰＩテープ）
・貼着部材１３：粘着シート（幅：１０ｍｍ、長さ：５０ｍｍ、テープ厚：１.０ｍｍ）
・線状部材１４：糸
・線状部材１４の直径：０．０１ｍｍ、０．０２ｍｍ、０．０３ｍｍ、０．０６ｍｍ、０．１ｍｍの計５種類
なお、以下においては、説明の便宜上、線状部材１４の直径が、０．０１ｍｍの試験を「試験１ａ」、０．０２ｍｍの試験を「試験１ｂ」、０．０３ｍｍの試験を「試験１ｃ」、０．０６ｍｍの試験を「試験１ｄ」、０．１ｍｍの試験を「試験１ｅ」ということとする。
【0058】
また、「試験１」では、直径の異なる複数の線状部材１４毎に、
・押圧工程Ｓ２００実施前後における気泡量の変化（図３（ａ）参照）、
・減圧工程Ｓ３００実施前後における気泡量の変化（図３（ｃ）参照）、
を目視で確認（目視検査）することにより行った。
・押圧工程Ｓ２００実施前後における気泡量の変化（図３（ａ）参照）、
・減圧工程Ｓ３００実施前後における気泡量の変化（図３（ｃ）参照）、
を目視で確認（目視検査）することにより行った。
【0059】
「試験１ａ」～「試験１ｅ」を行った結果、各試験において、以下のような気泡量の変化を確認することができた。
（１）「試験１ａ」及び「試験１ｂ」の試験結果
・押圧工程Ｓ２００の実施前後における気泡量の変化：減少
・減圧工程Ｓ３００の実施前後における気泡量の変化：変化なし
（２）「試験１ｃ」及び「試験１ｄ」の試験結果
・押圧工程Ｓ２００の実施前後における気泡量の変化：減少
・減圧工程Ｓ３００の実施前後における気泡量の変化：減少
（３）「試験１e」の試験結果
・押圧工程Ｓ２００の実施前後における気泡量の変化：減少
・減圧工程Ｓ３００の実施前後における気泡量の変化：減少（減圧工程Ｓ３００の実施後において気泡消失）
（１）「試験１ａ」及び「試験１ｂ」の試験結果
・押圧工程Ｓ２００の実施前後における気泡量の変化：減少
・減圧工程Ｓ３００の実施前後における気泡量の変化：変化なし
（２）「試験１ｃ」及び「試験１ｄ」の試験結果
・押圧工程Ｓ２００の実施前後における気泡量の変化：減少
・減圧工程Ｓ３００の実施前後における気泡量の変化：減少
（３）「試験１e」の試験結果
・押圧工程Ｓ２００の実施前後における気泡量の変化：減少
・減圧工程Ｓ３００の実施前後における気泡量の変化：減少（減圧工程Ｓ３００の実施後において気泡消失）
【0060】
このような試験結果から、線状部材１４の直径が、０．０１ｍｍ、０．０２ｍｍ、０．０３ｍｍ、０．０６ｍｍ、０．１ｍｍの何れの場合でも、大気圧下で貼着部材１３にワークＷを押圧すると、これらの間に存在する気泡量が減少することを確認することができた。
【0061】
一方、真空チャンバ２（図１参照）の内部空間Ｓを減圧したときの気泡量の変化については、線状部材１４の直径を、０.０３ｍｍ以上としたときに初めて減少し、０.１ｍｍのときにワークＷと貼着部材１３が全面に亘って貼着（全面貼着）することが分かった。
【0062】
以上の試験結果から、ワークＷに表面処理を行う場合、すなわち、大気圧状態から真空状態に変更する環境下の場合、線状部材１４の直径は、好ましくは０．０３ｍｍ～０.１ｍｍ、より好ましくは０.１ｍｍであることが判明した。
【0063】
＜試験２＞
また、本願出願人は、上記した「試験１」に加え、ワークＷを貼着保持する貼着部材１３の貼着力（密着力）を検証するための試験（以下、「試験２」という）も行った。
以下、「試験２」について図４及び図５を参照しつつ説明する。
また、本願出願人は、上記した「試験１」に加え、ワークＷを貼着保持する貼着部材１３の貼着力（密着力）を検証するための試験（以下、「試験２」という）も行った。
以下、「試験２」について図４及び図５を参照しつつ説明する。
【0064】
「試験２」は、大気圧下で貼着部材１３にワークＷを押圧した状態（「押圧工程Ｓ２００」実施後、「減圧工程Ｓ３００」実施前の状態）で、貼着部材１３の貼着力を測定することにより行った。貼着力の測定は、ワークＷに引張応力を付与して測定する公知の手法（引張試験方法）を用いて行っている。なお、「試験２」で用いたワークＷは、幅：５００ｍｍ、長さ：２５０ｍｍのガラス基板である。
【0065】
図４は、「試験２」で用いた装置を示す概略図であり、（ａ）は平面図、（ｂ）は側面図である。
「試験２」では、図４に示す装置を使用した。
図４に示すように、「試験２」で使用した装置は、上記したワーク保持機構１０（図１参照）を、一定の間隔を空けて複数（本試験では「５台」）並設したものである。
また、「試験２」では、図４に示す装置（以下、「線状部材有ワーク保持装置」という）のほか、当該装置から線状部材１４を取り外したもの（図示省略、以下、「線状部材無ワーク保持装置」という）を用いた試験も行った。なお、「線状部材無ワーク保持装置」を用いた試験は、「線状部材有ワーク保持装置」と同一の試験条件（例えば、貼着力の測定方法）で行っている。
「試験２」では、図４に示す装置を使用した。
図４に示すように、「試験２」で使用した装置は、上記したワーク保持機構１０（図１参照）を、一定の間隔を空けて複数（本試験では「５台」）並設したものである。
また、「試験２」では、図４に示す装置（以下、「線状部材有ワーク保持装置」という）のほか、当該装置から線状部材１４を取り外したもの（図示省略、以下、「線状部材無ワーク保持装置」という）を用いた試験も行った。なお、「線状部材無ワーク保持装置」を用いた試験は、「線状部材有ワーク保持装置」と同一の試験条件（例えば、貼着力の測定方法）で行っている。
【0066】
図５は、「試験２」の試験結果を示すグラフである。
図５に示すグラフから、「線状部材有ワーク保持装置」の場合、貼着部材１３にワークＷを貼着（押圧）してから「約１４分」経過するまでの間、その貼着力が、「５０Ｎ」から「４０Ｎ」に緩やかに減少するように推移し、その後、剥離を示す「０Ｎ」に向けて急落していることが読み取れる。
これに対し、「線状部材無ワーク保持装置」では、貼着部材１３にワークＷを押圧してから「約７分」経過するまでの間、その貼着力が、「５０Ｎ」から「４０Ｎ」に緩やかに減少するように推移し、その後、剥離を示す「０Ｎ」に急落していることが分かる。
図５に示すグラフから、「線状部材有ワーク保持装置」の場合、貼着部材１３にワークＷを貼着（押圧）してから「約１４分」経過するまでの間、その貼着力が、「５０Ｎ」から「４０Ｎ」に緩やかに減少するように推移し、その後、剥離を示す「０Ｎ」に向けて急落していることが読み取れる。
これに対し、「線状部材無ワーク保持装置」では、貼着部材１３にワークＷを押圧してから「約７分」経過するまでの間、その貼着力が、「５０Ｎ」から「４０Ｎ」に緩やかに減少するように推移し、その後、剥離を示す「０Ｎ」に急落していることが分かる。
【0067】
すなわち、「試験２」では、貼着部材１３に線状部材１４を配置した場合、当該貼着部材１３にこれが配置されていない場合と比較して、ワークＷを「約２倍」の時間に亘って保持できることが判明した。
この点、貼着部材１３上に線状部材１４を配置することで、ワークＷと貼着部材１３との間に存在する気泡が効率的に除去され、これにより、貼着部材１３の貼着力が増加されることを実証できたといえる。
この点、貼着部材１３上に線状部材１４を配置することで、ワークＷと貼着部材１３との間に存在する気泡が効率的に除去され、これにより、貼着部材１３の貼着力が増加されることを実証できたといえる。
【0068】
以上のように、本実施形態では、貼着部材１３上に線状部材１４を配置した後（図２の「線状部材配置工程Ｓ１００」）、貼着部材１３へのワークＷの押圧（図２の「押圧工程Ｓ２００」）、及びこれらが収納された内部空間Ｓの減圧（図２の「減圧工程Ｓ３００」）を行うことで、ワークＷと貼着部材１３との間に存在する気泡が、線状部材１４を伝って外部に排出されるように構成されている。
【0069】
すなわち、本実施形態では、ワークＷと貼着部材１３との間に生じた気泡（図３の「気泡Ａ１」等参照）を効率的かつ安定的に除去することが可能なため、これらの貼着面積を増加させることができる。
その結果、本実施形態では、ワークＷと貼着部材１３との貼着力を増大させることができるので、ワークＷを安定的に保持することが可能である。
その結果、本実施形態では、ワークＷと貼着部材１３との貼着力を増大させることができるので、ワークＷを安定的に保持することが可能である。
【0070】
また、本実施形態では、上記した従来技術（実用新案登録第２５８７１９８号公報）のように、貼着部材に加工等を施すことなく、線状部材１４としての糸材等（汎用品）を貼着部材１３上に配置（貼着）するだけで、気泡を除去するための構成（気泡除去装置）を得ることができるので、その作製が極めて容易である。
【0071】
＜第２実施形態＞
なお、上記実施形態では、貼着部材に貼着される被着体が、ワークＷ（例えば、ガラス基板）である場合を例にとって説明したが、本発明は、これに限られず、他の部材であっても構わない。
以下、被着体がワークＷ以外の部材である場合の一実施形態（変形例）を、図６～図９を参照しつつ説明する。なお、以下において、上記実施形態と同様な構成については、同一の符号を付して、その説明を省略する。また、説明の便宜上、上記実施形態を「第１実施形態」、以下に示す変形例を「第２実施形態」ということとする。
なお、上記実施形態では、貼着部材に貼着される被着体が、ワークＷ（例えば、ガラス基板）である場合を例にとって説明したが、本発明は、これに限られず、他の部材であっても構わない。
以下、被着体がワークＷ以外の部材である場合の一実施形態（変形例）を、図６～図９を参照しつつ説明する。なお、以下において、上記実施形態と同様な構成については、同一の符号を付して、その説明を省略する。また、説明の便宜上、上記実施形態を「第１実施形態」、以下に示す変形例を「第２実施形態」ということとする。
【0072】
図６及び図７に示すように、第２実施形態では、貼着部材１１３に貼着される被着体が、当該貼着部材１１３とともに、ワークＷを保持するワーク保持機構１１０に設けられる構成となっている。以下、このような被着体及び貼着部材を含むワーク保持機構１１０について図６～図９を参照しつつ説明する。
【0073】
（ワーク保持機構１１０）
図６に示すように、ワーク保持機構１１０は、第１実施形態に係るワーク保持機構１０と同様に、ワークＷ（例えば、ガラス基板）を保持するための装置であり、当該ワークＷの表面処理を行う成膜装置１内（内部空間Ｓ）に設けられている（図１参照）。
なお、上記ワーク保持機構１１０と、ワークＷとが、それぞれ、特許請求の範囲（請求項３）に記載の「気泡除去装置」と、「ワーク」とに該当する。
図６に示すように、ワーク保持機構１１０は、第１実施形態に係るワーク保持機構１０と同様に、ワークＷ（例えば、ガラス基板）を保持するための装置であり、当該ワークＷの表面処理を行う成膜装置１内（内部空間Ｓ）に設けられている（図１参照）。
なお、上記ワーク保持機構１１０と、ワークＷとが、それぞれ、特許請求の範囲（請求項３）に記載の「気泡除去装置」と、「ワーク」とに該当する。
【0074】
ワーク保持機構１１０は、先行出願に係るワーク保持機構１１０´（図８参照）と同様に、支持具１１と、接着テープ１２と、貼着部材１１３と、弾性部材１１５とを備えるほか、第１実施形態と同様な構成からなる線状部材１４を含んで構成されている。
なお、上記支持具１１と、接着テープ１２と、貼着部材１１３と、弾性部材１１５と、線状部材１４とが、それぞれ、特許請求の範囲（請求項３）に記載の「基台」と、「接着テープ」と、「貼着部材」と、「弾性部材」と、「線状部材」とに該当する。
なお、上記支持具１１と、接着テープ１２と、貼着部材１１３と、弾性部材１１５と、線状部材１４とが、それぞれ、特許請求の範囲（請求項３）に記載の「基台」と、「接着テープ」と、「貼着部材」と、「弾性部材」と、「線状部材」とに該当する。
【0075】
ここで、貼着部材１１３及び弾性部材１１５について改めて説明する。
弾性部材１１５は、弾性変形可能な公知の弾性シートからなり、その底部１１５ｂが接着テープ１２を介して支持具１１に貼着固定されている。
貼着部材１１３は、粘着性を有するシート状の部材（例えば、両面粘着テープ）からなり、弾性部材１１５の外周を底部１１５ｂの幅方向における一端から他端にかけて回り込むように貼着されている。
このように構成された貼着部材１１３は、接着テープ１２を介して支持具１１に貼着固定される基台側貼着部１１３ｂと、基台側貼着部１１３ｂとは反対側でワークＷを貼着可能なワーク側貼着部１１３ａと有したものとなっている。
なお、上記基台側貼着部１１３ｂと、ワーク側貼着部１１３ａと、底部１１５ｂが、それぞれ特許請求の範囲（請求項３）に記載の「基台側貼着部」と、「ワーク側貼着部」と、「基台取付部」とに該当する。
弾性部材１１５は、弾性変形可能な公知の弾性シートからなり、その底部１１５ｂが接着テープ１２を介して支持具１１に貼着固定されている。
貼着部材１１３は、粘着性を有するシート状の部材（例えば、両面粘着テープ）からなり、弾性部材１１５の外周を底部１１５ｂの幅方向における一端から他端にかけて回り込むように貼着されている。
このように構成された貼着部材１１３は、接着テープ１２を介して支持具１１に貼着固定される基台側貼着部１１３ｂと、基台側貼着部１１３ｂとは反対側でワークＷを貼着可能なワーク側貼着部１１３ａと有したものとなっている。
なお、上記基台側貼着部１１３ｂと、ワーク側貼着部１１３ａと、底部１１５ｂが、それぞれ特許請求の範囲（請求項３）に記載の「基台側貼着部」と、「ワーク側貼着部」と、「基台取付部」とに該当する。
【0076】
また、第２実施形態に係るワーク保持機構１１０では、弾性部材１１５と接着テープ１２との接着力（以下、「接着力Ａ０」という）、貼着部材１１３と接着テープ１２との粘着力（以下、「第１粘着力Ａ１」という）、貼着部材１１３とワークＷとの粘着力（以下、「第２粘着力Ｂ１」という）、貼着部材１１３と弾性部材１１５との粘着力（以下、「第３粘着力Ｃ１」という）が、それぞれ、
・第１粘着力Ａ１＞第２粘着力Ｂ１＞第３粘着力Ｃ１
・接着力Ａ０＞第２粘着力Ｂ１＞第３粘着力Ｃ１
の関係が成立するように設定されている（図７（ａ）参照）。
なお、上記接着力Ａ０と、第１粘着力Ａ１と、第２粘着力Ｂ１と、第３粘着力Ｃ１とが、それぞれ、特許請求の範囲（請求項３）に記載の「接着力」と、「第１粘着力」と、「第２粘着力」と、「第３粘着力」とに該当する。
・第１粘着力Ａ１＞第２粘着力Ｂ１＞第３粘着力Ｃ１
・接着力Ａ０＞第２粘着力Ｂ１＞第３粘着力Ｃ１
の関係が成立するように設定されている（図７（ａ）参照）。
なお、上記接着力Ａ０と、第１粘着力Ａ１と、第２粘着力Ｂ１と、第３粘着力Ｃ１とが、それぞれ、特許請求の範囲（請求項３）に記載の「接着力」と、「第１粘着力」と、「第２粘着力」と、「第３粘着力」とに該当する。
【0077】
さらに、第２実施形態に係るワーク保持機構１１０では、第２貼着力Ｂ１及び第３粘着力Ｃ１が、貼着部材１１３に貼着されたワークＷを取り外す力（図７（ｂ）参照、以下、「剥離力Ｅ」という）との関係において、
・第２粘着力Ｂ１＞剥離力Ｅ＞第３粘着力Ｃ１
となるように設定されている。
・第２粘着力Ｂ１＞剥離力Ｅ＞第３粘着力Ｃ１
となるように設定されている。
【0078】
第２実施形態に係る線状部材１４は、貼着部材１１３のワーク側貼着部１１３ａと弾性部材１１５の上部１１５ａとの間に配置されている。
具体的に、線状部材１４は、ワーク側貼着部１１３ａの裏面側に貼着され、貼着部材１１３を弾性部材１１５に貼着した状態で、弾性部材１１５の幅方向中央の位置で、かつ、その長さ方向の一端から他端にかけて延伸するように配置される（図３参照）。
なお、上記線状部材１４を貼着部材１１３と弾性部材１１５との間に配置する作業が、特許請求の範囲（請求項３）に記載の「線状部材配置工程」に該当する。
具体的に、線状部材１４は、ワーク側貼着部１１３ａの裏面側に貼着され、貼着部材１１３を弾性部材１１５に貼着した状態で、弾性部材１１５の幅方向中央の位置で、かつ、その長さ方向の一端から他端にかけて延伸するように配置される（図３参照）。
なお、上記線状部材１４を貼着部材１１３と弾性部材１１５との間に配置する作業が、特許請求の範囲（請求項３）に記載の「線状部材配置工程」に該当する。
【0079】
また、第２実施形態に係る線状部材１４は、貼着部材１１３を弾性部材１１５に貼着した状態で、弾性部材１１５の上部１１５ａに埋設配置されるようになっている。これにより、ワーク側貼着部１１３ａの表面側を略平坦な面とすることができるので、ワークＷを貼着部材１１３に貼着する貼着する際、これらを良好に面接触させることが可能になっている。
【0080】
【0081】
第２実施形態では、その後、第１実施形態と同様に、減圧工程Ｓ３００（図２参照）やワークＷに表面処理を行う工程等を行った後、ワークＷを剥離力Ｅで取り外す作業が行われるように構成されている。
【0082】
ワークＷを取り外す方向（紙面の上側の方向、以下、「取外方向」という）に移動させると、接着力Ａ０及び第１粘着力Ａ１～第３粘着力Ａ３が、
・第１粘着力Ａ１＞第２粘着力Ｂ１＞剥離力Ｅ＞第３粘着力Ｃ１
・接着力Ａ０＞第２粘着力Ｂ１＞剥離力Ｅ＞第３粘着力Ｃ１
の関係が成立するように設定されているため、貼着部材１１３及び弾性部材１１５は、図７（ｂ）のような挙動を示すようになる。
・第１粘着力Ａ１＞第２粘着力Ｂ１＞剥離力Ｅ＞第３粘着力Ｃ１
・接着力Ａ０＞第２粘着力Ｂ１＞剥離力Ｅ＞第３粘着力Ｃ１
の関係が成立するように設定されているため、貼着部材１１３及び弾性部材１１５は、図７（ｂ）のような挙動を示すようになる。
【0083】
すなわち、第２実施形態では、ワークＷを剥離力Ｅで取外方向に移動させると、貼着部材１１３のワーク側貼着部１１３ａが、弾性部材１１５の上部１１５ａから積極的に剥がれ、これらの間に隙間Ｇ１が形成されるようになっている。
【0084】
その後、ワークＷを取外方向にさらに移動させると、貼着部材１１３は、ワーク側貼着部１１３ａのうちのワークＷとの貼着部分が引っ張られることで、当該貼着部分を中心として、ワークＷの取外方向に移動することとなる。その結果、貼着部材１１３は、ワークＷとの貼着部分を最上部とする弧を描く形状となり、ワークＷから徐々に剥離するようになっている。
【0085】
すなわち、第２実施形態では、ワークＷを貼着部材１１３から取り外す場合、第１実施形態に係るワーク保持機構１０（図１参照）であれば、貼着部材１３とワークＷとの粘着力（第２粘着力Ｂ１に対応する粘着力）以上の力が必要になるところ、ワーク保持機構１１０では、第２粘着力Ｂ１よりも小さい力（剥離力Ｅ）でこれを行うことが可能になっている。
【0086】
第２実施形態では、このようなワークＷの取外作業を行った後、第１実施形態と同様に、新たなワークＷを貼着部材１１３に取り付ける作業を繰り返し行うように構成されている（図２の「減圧工程Ｓ３００」→「押圧工程Ｓ２００」→「減圧工程Ｓ３００」→・・・参照）。
【0087】
このように、第２実施形態では、貼着部材１１３へのワークＷの取り外し・取り付けが繰り返し行われるのに対応して、弾性部材１１５に対する貼着部材１１３の着脱も同様に行われる構成となっている。
【0088】
この点、ワーク保持機構１１０では、ワークＷをより安定的に保持するため、ワークＷ及び貼着部材１１３が第２粘着力Ｂ１で適切に貼着されることに加え、貼着部材１１３及び弾性部材１１５も第３粘着力Ｃ１で適切に貼着されること、すなわち、当該貼着部材１１３と弾性部材１１５との間に気泡が生じることなく、これらが強い貼着力（密着力）で貼着されていることが好ましい。
【0089】
仮に、貼着部材１１３と弾性部材１１５とが、このような密着力で貼着されていないと、ワークＷが貼着部材１１３に貼着されている状態であっても、貼着部材１１３と弾性部材１１５との貼着が解除等されるおそれがあり、斯かる場合、ワークＷが貼着部材１１３から離脱するといった問題が生じる。
【0090】
また、貼着部材１１３と弾性部材１１５との間に気泡が生じている状態で、これらの貼着が繰り返し行われると、当該貼着部材１１３に折皺等が形成される可能性があり、斯かる場合、貼着部材１１３と弾性部材１１５との第３粘着力Ｃ１が低下するばかりか、ワークＷと貼着部材１１３との第２粘着力Ｂ１も低下するといった問題を招く。
【0091】
そこで、ワーク保持機構１１０では、貼着部材１１３と弾性部材１１５の上部１１５ａとの間に、第１実施形態と同様な線状部材１４を配置するようにしている。これにより、第１実施形態で説明したように、貼着部材１１３と弾性部材１１５との間に生じる気泡を除去することができるので、その結果、上記したような問題を解消することが可能である。
【0092】
＜試験３＞
本願出願人は、貼着部材１１３と弾性部材１１５との貼着性（密着性）を検証するべく、線状部材１４が配置されたワーク保持機構１１０（図６参照）と、比較対象としての線状部材１４が未配置のワーク保持機構１１０´（図８参照）を用いて試験（以下、「試験３」という）を行った。なお、以下において、説明の便宜上、図６に示すワーク保持機構１１０を「線状部材有ワーク保持機構」、図８に示すワーク保持機構１１０´を「線状部材無ワーク保持機構」ということとする。
本願出願人は、貼着部材１１３と弾性部材１１５との貼着性（密着性）を検証するべく、線状部材１４が配置されたワーク保持機構１１０（図６参照）と、比較対象としての線状部材１４が未配置のワーク保持機構１１０´（図８参照）を用いて試験（以下、「試験３」という）を行った。なお、以下において、説明の便宜上、図６に示すワーク保持機構１１０を「線状部材有ワーク保持機構」、図８に示すワーク保持機構１１０´を「線状部材無ワーク保持機構」ということとする。
【0093】
「試験３」では、「線状部材有ワーク保持機構」及び「線状部材無ワーク保持機構」を用いて、以下に示す条件１～条件３の貼着部材１１３及び弾性部材１１５毎に試験を起こった。
（１）条件１
・貼着部材１１３：ポリイミド基材シリコン両面粘着テープ（「カプトン両面テープ ＮＯ．７６０Ｈ（寺岡製作所製）」）
・弾性部材１１５：シリコン系の弾性シート
（２）条件２
・貼着部材１１３：ポリイミド基材シリコン両面粘着テープ（「カプトン両面テープ ＮＯ．７６０Ｈ（寺岡製作所製）」）
・弾性部材１１５：非シリコン系の弾性シート
（３）条件３
・貼着部材１１３：ポリイミド基材シリコン両面粘着テープ（「ポリイミド基材シリコン両面粘着テープ ４３９０（３Ｍ製）」）
・弾性部材１１５：非シリコン系の弾性シート
なお、「試験３」では、ワークＷとして、上記した「試験１」及び「試験２」と同様に、「ガラス基板」を使用した。
（１）条件１
・貼着部材１１３：ポリイミド基材シリコン両面粘着テープ（「カプトン両面テープ ＮＯ．７６０Ｈ（寺岡製作所製）」）
・弾性部材１１５：シリコン系の弾性シート
（２）条件２
・貼着部材１１３：ポリイミド基材シリコン両面粘着テープ（「カプトン両面テープ ＮＯ．７６０Ｈ（寺岡製作所製）」）
・弾性部材１１５：非シリコン系の弾性シート
（３）条件３
・貼着部材１１３：ポリイミド基材シリコン両面粘着テープ（「ポリイミド基材シリコン両面粘着テープ ４３９０（３Ｍ製）」）
・弾性部材１１５：非シリコン系の弾性シート
なお、「試験３」では、ワークＷとして、上記した「試験１」及び「試験２」と同様に、「ガラス基板」を使用した。
【0094】
また、「試験３」では、「真空状態」下で、貼着部材１１３に貼着した「ガラス基板」に「引張荷重：４０Ｎ」を加え、当該貼着部材１１３が「ガラス基板」を保持している時間（以下、「保持時間」という）を計測することにより行った。なお、「試験３」では「保持時間」の計測を最長「６０分」とした。
【0095】
図９は、「試験３」の試験結果を示すグラフである。
図９に示すグラフから、「線状部材有ワーク保持機構」では、条件１～条件３の何れの条件においても、「ガラス基板」を「試験３」の最長計測時間である「６０分」もの間、貼着保持していることが読み取れる。
これに対し、「線状部材無ワーク保持機構」では、条件１～条件３の何れの条件においても、「ガラス基板」を約「２０分」程度しか貼着保持していないことが分かる。
図９に示すグラフから、「線状部材有ワーク保持機構」では、条件１～条件３の何れの条件においても、「ガラス基板」を「試験３」の最長計測時間である「６０分」もの間、貼着保持していることが読み取れる。
これに対し、「線状部材無ワーク保持機構」では、条件１～条件３の何れの条件においても、「ガラス基板」を約「２０分」程度しか貼着保持していないことが分かる。
【0096】
「ガラス基板」を保持する保持時間が「線状部材有ワーク保持機構」よりも「線状部材無ワーク保持機構」の方が短い理由としては、後者が、貼着部材１１３と弾性部材１１５との間に気泡が多く存在している状態で「ガラス基板」を保持していたこと、すなわち、当該気泡によって、貼着部材１１３と弾性部材１１５との貼着が徐々に解除されていったことが原因と考えられる。
【0097】
この点、「試験３」を行うことによって、貼着部材１１３と弾性部材１１５との間に線状部材１４を配置した場合、これらの間に生じる気泡を有効に除去できることを実証できたといえる。
【0098】
このように、第２実施形態に係るワーク保持機構１１０によれば、ワークＷを、成膜等の表面処理の際にはより安定的に保持することができ、当該表面処理後には比較的小さな力で取り外すことが可能である。
【0099】
＜変形例＞
上記第２実施形態では、接着テープ１２に、弾性部材１１５の底部１１５ｂを、貼着部材１１３の基板側貼着部１１３ｂ，１１３ｂとともに接着するように構成したが、図１０に示すワーク保持機構２１０のように接着しないように構成することもできる。以下、変形例に係るワーク保持機構２１０について図１０及び図１１を参照しつつ説明する。なお、ワーク保持機構２１０は、上記第２実施形態に係るワーク保持機構１１０と、弾性部材１１５に対する貼着部材の貼着態様が異なるのみで、その他の構成と同様であるため、必要な場合を除き、同一の符号を付してその説明を省略する。
上記第２実施形態では、接着テープ１２に、弾性部材１１５の底部１１５ｂを、貼着部材１１３の基板側貼着部１１３ｂ，１１３ｂとともに接着するように構成したが、図１０に示すワーク保持機構２１０のように接着しないように構成することもできる。以下、変形例に係るワーク保持機構２１０について図１０及び図１１を参照しつつ説明する。なお、ワーク保持機構２１０は、上記第２実施形態に係るワーク保持機構１１０と、弾性部材１１５に対する貼着部材の貼着態様が異なるのみで、その他の構成と同様であるため、必要な場合を除き、同一の符号を付してその説明を省略する。
【0100】
（ワーク保持機構２１０）
図１０に示すように、変形例に係るワーク保持機構２１０は、上記した支持具１１と、接着テープ１２と、線状部材１４と、弾性部材１１５とを備えるほか、上記した貼着部材１１３（図６参照）とは構成が異なる貼着部材２１３を含んで構成されている。
なお、上記ワーク保持機構２１０と、支持具１１と、接着テープ１２と、貼着部材２１３と、線状部材１４と、弾性部材１１５とが、それぞれ、特許請求の範囲（請求項４）に記載の「気泡除去装置」と、「基台」と、「接着テープ」と、「貼着部材」と、「線状部材」と、「弾性部材」とに該当する。
図１０に示すように、変形例に係るワーク保持機構２１０は、上記した支持具１１と、接着テープ１２と、線状部材１４と、弾性部材１１５とを備えるほか、上記した貼着部材１１３（図６参照）とは構成が異なる貼着部材２１３を含んで構成されている。
なお、上記ワーク保持機構２１０と、支持具１１と、接着テープ１２と、貼着部材２１３と、線状部材１４と、弾性部材１１５とが、それぞれ、特許請求の範囲（請求項４）に記載の「気泡除去装置」と、「基台」と、「接着テープ」と、「貼着部材」と、「線状部材」と、「弾性部材」とに該当する。
【0101】
貼着部材２１３は、弾性部材１１５の幅方向における外周全体を被覆するように貼着され、ワークＷを貼着可能なワーク側貼着部２１３ａと、支持具１１上に取り付けられた接着テープ１２に接着される基台側貼着部２１３ｂとを有している。
すなわち、本変形例に係る貼着部材２１３では、弾性部材１１５に貼着した状態で、基台側貼着部２１３ｂとワーク側貼着部２１３ａとが相対向（全対向）して配置されるようになっている。なお、このような貼着部材２１３としては、例えば、両面貼着シート等の粘着シートを用いることができる。
なお、上記ワーク側貼着部２１３ａと、基台側貼着部２１３ｂとが、それぞれ、特許請求の範囲（請求項４）に記載の「ワーク側貼着部」と、「基台側貼着部」とに該当する。
すなわち、本変形例に係る貼着部材２１３では、弾性部材１１５に貼着した状態で、基台側貼着部２１３ｂとワーク側貼着部２１３ａとが相対向（全対向）して配置されるようになっている。なお、このような貼着部材２１３としては、例えば、両面貼着シート等の粘着シートを用いることができる。
なお、上記ワーク側貼着部２１３ａと、基台側貼着部２１３ｂとが、それぞれ、特許請求の範囲（請求項４）に記載の「ワーク側貼着部」と、「基台側貼着部」とに該当する。
【0102】
このように構成された変形例では、図６に示す第２実施形態とは異なり、弾性部材１１５に貼着された貼着部材２１３の基台側貼着部２１３ｂを接着テープ１２に接着することで、弾性部材１１５が支持具１１に取り付けられるようになっている。
【0103】
変形例に係る線状部材１４は、第２実施形態に係る線状部材１４（図６参照）と同様に、貼着部材２１３のワーク側貼着部２１３ａと弾性部材１１５の上部１１５ａとの間に配置されている。
具体的に、変形例に係る線状部材１４は、ワーク側貼着部２１３ａの裏面側に貼着され、貼着部材２１３を弾性部材１１５に貼着した状態で、弾性部材１１５の幅方向中央の位置で、かつ、その長さ方向の一端から他端にかけて延在するように配置される（図３参照）。
具体的に、変形例に係る線状部材１４は、ワーク側貼着部２１３ａの裏面側に貼着され、貼着部材２１３を弾性部材１１５に貼着した状態で、弾性部材１１５の幅方向中央の位置で、かつ、その長さ方向の一端から他端にかけて延在するように配置される（図３参照）。
【0104】
なお、変形例に係る線状部材１４は、第２実施形態に係る線状部材１４（図６参照）と同様に、貼着部材２１３を弾性部材１１５に貼着した状態で、弾性部材１１５の上部１１５ａに埋設配置され、これにより、ワーク側貼着部２１３ａの表面側を略平坦な面とすることが可能になっている。
【0105】
また、本変形例に係るワーク保持機構２１０では、第２実施形態に係るワーク保持機構１１０（図６参照）と同様に、貼着部材２１３と接着テープ１２との第１粘着力Ａ２、貼着部材２１３とワークＷとの第２粘着力Ｂ２、貼着部材２１３と弾性部材１１５との第３粘着力Ｃ２が、それぞれ、
・第１粘着力Ａ２＞第２粘着力Ｂ２＞第３粘着力Ｃ２
の関係が成立するように設定されている。
なお、上記第１粘着力Ａ２と、第２粘着力Ｂ２と、第３粘着力Ｃ２とが、それぞれ、特許請求の範囲（請求項４）に記載の「第１粘着力」と、「第２粘着力」と、「第３粘着力」とに該当する。
・第１粘着力Ａ２＞第２粘着力Ｂ２＞第３粘着力Ｃ２
の関係が成立するように設定されている。
なお、上記第１粘着力Ａ２と、第２粘着力Ｂ２と、第３粘着力Ｃ２とが、それぞれ、特許請求の範囲（請求項４）に記載の「第１粘着力」と、「第２粘着力」と、「第３粘着力」とに該当する。
【0106】
すなわち、ワーク保持機構２１０では、貼着されたワークＷを貼着部材２１３から剥離力Ｅで取り外そうとすると、第３粘着力Ｃ２が、第２粘着力Ｂ２及び第３粘着力Ｃ２よりも小さく設定されているため、貼着部材２１３のワーク側貼着部２１３ａと弾性部材１１５の上部１１５ａとの貼着が徐々に解除されていくようになる。
【0107】
その結果、ワーク保持機構２１０では、貼着部材２１３のワーク側貼着部２１３ａと弾性部材１１５の上部１１５ａとの間から剥離させることが可能である（図１１（ａ）の「隙間Ｇ２」参照）。これにより、変形例に係るワーク保持機構２１０においても、第２実施形態に係るワーク保持機構１１０（図７（ｂ）参照）と同様に、第２粘着力Ｂ２よりも小さい力（剥離力Ｅ）で、ワークＷを取り外すことができる。
【0108】
また、ワーク保持機構２１０では、貼着部材２１３のワーク側貼着部２１３ａと弾性部材１１５の上部１１５ａとの間に、第２実施形態に係るワーク保持機構１１０（図７（ｂ）参照）と同様な線状部材１４が配置されている。
すなわち、変形例に係るワーク保持機構２１０では、押圧工程Ｓ２００や減圧工程Ｓ３００を行った際に、貼着部材２１３と弾性部材１１５との間に存在する気泡を良好に外部に排出させることが可能なため（図３参照）、ワークＷをより安定的に保持することができる。
すなわち、変形例に係るワーク保持機構２１０では、押圧工程Ｓ２００や減圧工程Ｓ３００を行った際に、貼着部材２１３と弾性部材１１５との間に存在する気泡を良好に外部に排出させることが可能なため（図３参照）、ワークＷをより安定的に保持することができる。
【0109】
このように、変形例に係るワーク保持機構２１０によれば、第２実施形態に係るワーク保持機構１１０（図６参照）と同様に、ワークＷを、成膜等の表面処理の際にはより安定的に保持することができ、当該表面処理後には比較的小さな力で取り外すことが可能である。
【0110】
ところで、本変形例では、第２貼着部材２１３が、上記した第２実施形態（図６参照）とは異なり、弾性部材１１５（例えば、弾性シート）の外周全体を被覆するように貼着されている。このため、ワークＷを貼着部材２１３から取り外す場合、取外方向や剥離力Ｅの大きさ等によっては、図１１（ｂ）のような態様で、貼着部材２１３の基台側貼着部２１３ｂと弾性部材１１５の下部１１５ｂとの間から剥離していく場合も有り得る。
【0111】
斯かる場合、貼着部材２１３は、ワーク側貼着部２１３ａのうちのワークＷとの貼着部分が引っ張られることで、当該部分を最上部とする弧を描く形状となり、弾性部材１１５も、貼着部材２１３に引っ張られて、底部１１５ｂと貼着部材２１３の基台側貼着部２１３ｂとの間にドーム状の隙間Ｇ３を形成しながら湾曲するようになる。
すなわち、貼着部材２１３と弾性部材１１５とが、図１１（ｂ）に示す態様で剥離する場合でも、ワークＷの取外方向への移動に伴って、貼着部材２１３をワークＷから徐々に剥離させることが可能である。
すなわち、貼着部材２１３と弾性部材１１５とが、図１１（ｂ）に示す態様で剥離する場合でも、ワークＷの取外方向への移動に伴って、貼着部材２１３をワークＷから徐々に剥離させることが可能である。
【0112】
このように、変形例に係るワーク保持機構２１０では、図１１（ｂ）に示す態様で剥離する場合も有り得るが、この場合でも、図１１（ａ）に示す態様で剥離する場合と同様に、第２粘着力Ｂ２よりも小さい力（剥離力Ｅ）で、ワークＷを取り外すことが可能である。
【0113】
しかしながら、このような剥離態様でワークＷを取り外した後、貼着部材２１３の基台側貼着部２１３ｂと弾性部材１１５の下部１１５ｂとが貼着すると、上記したように、その間に気泡が生じやすい。斯かる場合、貼着部材２１３と弾性部材１１５との貼着性（密着性）が低下するという問題、すなわち、ワークＷを保持する貼着部材２１３の貼着力（保持力）が低下するといった問題が生じる。
【0114】
そこで、本変形例では、このような剥離態様で貼着部材２１３と弾性部材１１５とが剥離する場合、貼着部材２１３の基台側貼着部２１３ｂと弾性部材１１５の下部１１５ｂとの間に線状部材１４を配置するようにしている。なお、このような配置は、線状部材１４を、例えば、基台側貼着部２１３ｂの裏面側に貼着することにより実現することが可能である（図１１（ｂ）参照）。これにより、貼着部材２１３の基台側貼着部２１３ｂと弾性部材１１５の下部１１５ｂとの間に生じる気泡を除去することができるので、その結果、ワークＷを保持する貼着部材２１３の貼着力（保持力）を向上させることが可能である。
【0115】
なお、本変形例では、線状部材１４を、図１１（ａ）及び（ｂ）の何れか一方の位置に配置する場合を例示したが、両方の位置にそれぞれ配置することも可能である。
【0116】
また、上記第２実施形態及びこの変形例では、線状部材１４を、貼着部材１１３（貼着部材２１３）側に取り付けた場合を示したが、弾性部材１１５側に取り付けてもよい。
【0117】
さらに、上記各実施形態では、線状部材１４を、貼着部材と弾性部材との間に一本配置する場合を例示したが、複数本配置することも可能である。この場合、複数の線状部材は、互いに間隔を空けて並行に配置すればよい。
このように構成すれば、貼着部材と弾性部材との間に生じた気泡をより効率的かつ安定的に除去することを期待できる。
このように構成すれば、貼着部材と弾性部材との間に生じた気泡をより効率的かつ安定的に除去することを期待できる。
【0118】
なお、上記各実施形態では、ワークＷ（被着体）を貼着部材に向けて押圧するように構成したが、その逆であってもよく、ワークＷ及び貼着部材が互いに押圧し合うように構成することも可能である。
【0119】
また、上記各実施形態では、気泡を除去する気泡除去方法として、ワーク保持機構を用いた例を示したが、本発明はこれに限定されるものではない。
例えば、シート状の貼着部材（例えば、シールやステッカー）を、所定の平滑面（被着体、例えば、自動販売機の外面）に貼着（貼付）する場合でも、本発明に係る気泡除去方法を適用することができる。この場合、例えば、直線状に延伸させた線状部材を貼着部材の貼着面からはみ出るように貼着した後、これを上記した所定の平滑面に貼り付ければよい。この場合、線状部材は、貼着部材を平滑面に貼着した後、除去する（引き抜く）ことも可能である。
例えば、シート状の貼着部材（例えば、シールやステッカー）を、所定の平滑面（被着体、例えば、自動販売機の外面）に貼着（貼付）する場合でも、本発明に係る気泡除去方法を適用することができる。この場合、例えば、直線状に延伸させた線状部材を貼着部材の貼着面からはみ出るように貼着した後、これを上記した所定の平滑面に貼り付ければよい。この場合、線状部材は、貼着部材を平滑面に貼着した後、除去する（引き抜く）ことも可能である。
【0120】
さらに、上記各実施形態では、線状部材配置工程及び押圧工程を行った後、減圧工程を行うように構成したが（図２等参照）、被着体と貼着部材とを貼着する目的や用途等に応じて、減圧工程を省略することも可能である。
【0121】
また、上記各実施形態では、気泡除去装置の一例として、ワーク保持機構を示したが、貼着部材を被着体に貼着する装置であれば、如何なる装置（例えば、シール材を製品等に貼り付ける装置）にも本発明を適用することが可能である。
【0122】
以上、本発明者によってなされた発明を適用した実施形態について説明したが、この実施形態による本発明の開示の一部をなす論述及び図面により、本発明は限定されるものではない。すなわち、この実施形態に基づいて当業者等によりなされる他の実施形態、実例及び運用技術等はすべて本発明の範疇に含まれることはもちろんであることを付け加えておく。
【符号の説明】
【0123】
１ 成膜装置
２ 真空チャンバ
３ 減圧手段
１０，１１０，２１０ ワーク保持機構（気泡除去装置）
１１０´ ワーク保持機構
１１ 支持具（基台）
１２ 接着テープ
１３，１１３，２１３ 貼着部材
１１３ａ，２１３ａ ワーク側貼着部
１１３ｂ，２１３ｂ 基台側貼着部
１４ 線状部材
１１５ 弾性部材
１１５ａ 上部
１１５ｂ 底部（基台取付部）
Ｗ ワーク
Ｓ 内部空間
Ａ１，Ａ２ 気泡
Ａ３ 空気
Ｇ１～Ｇ３ 隙間
Ａ０ 接着力
Ａ１，Ａ２ 第１粘着力
Ｂ１，Ｂ２ 第２粘着力
Ｃ１，Ｃ２ 第３粘着力
Ｅ 剥離力
２ 真空チャンバ
３ 減圧手段
１０，１１０，２１０ ワーク保持機構（気泡除去装置）
１１０´ ワーク保持機構
１１ 支持具（基台）
１２ 接着テープ
１３，１１３，２１３ 貼着部材
１１３ａ，２１３ａ ワーク側貼着部
１１３ｂ，２１３ｂ 基台側貼着部
１４ 線状部材
１１５ 弾性部材
１１５ａ 上部
１１５ｂ 底部（基台取付部）
Ｗ ワーク
Ｓ 内部空間
Ａ１，Ａ２ 気泡
Ａ３ 空気
Ｇ１～Ｇ３ 隙間
Ａ０ 接着力
Ａ１，Ａ２ 第１粘着力
Ｂ１，Ｂ２ 第２粘着力
Ｃ１，Ｃ２ 第３粘着力
Ｅ 剥離力
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】
【図11】