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(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】公開特許公報(A)
(11)【公開番号】P2025083012
(43)【公開日】2025-05-30
(54)【発明の名称】駆動部のない流体ポンプ
(51)【国際特許分類】
H02K 44/06 20060101AFI20250523BHJP
F04D 33/00 20060101ALI20250523BHJP
【ＦＩ】
H02K44/06
F04D33/00
【審査請求】未請求
【請求項の数】7
【出願形態】ＯＬ
(21)【出願番号】P 2023196634
(22)【出願日】2023-11-20
(71)【出願人】
【識別番号】000226242
【氏名又は名称】日機装株式会社
(74)【代理人】
【識別番号】240000327
【弁護士】
【氏名又は名称】弁護士法人クレオ国際法律特許事務所
(72)【発明者】
【氏名】田邉 晴也
(72)【発明者】
【氏名】枝村 一弥
(72)【発明者】
【氏名】桜井 康雄
【テーマコード（参考）】
3H130
【Ｆターム（参考）】
3H130AA02
3H130AB22
3H130AB41
3H130AC01
3H130BA66H
3H130DD01X
3H130DF00X
(57)【要約】
【課題】簡素な構造で、大流量で高出力化できる駆動部のない流体ポンプを提供する。
【解決手段】 駆動部のない流体ポンプは、ＥＣＦ（Ｅｌｅｃｔｒｏ－Ｃｏｎｊｕｇａｔｅ Ｆｌｕｉｄ）を流動させるポンプであって、正極又は負極のいずれか一方の極性の電源電圧が印加される第１のメッシュ状電極と、前記第１のメッシュ状電極から離隔して配置された第２のメッシュ状電極であって、前記第１のメッシュ状電極の極性とは異なる極性の電源電圧が印加される第２のメッシュ状電極と、前記第２のメッシュ状電極から離隔しかつ前記第１のメッシュ状電極との間に前記第２のメッシュ状電極を挟んで配置された第３のメッシュ状電極であって、前記第２のメッシュ状電極と同じ極性の電源電圧が印加される第３のメッシュ状電極と、を備え、前記第１のメッシュ状電極から前記第２のメッシュ状電極を介して前記第３のメッシュ状電極に向かってＥＣＦを流動させる。
【選択図】 図１
【解決手段】 駆動部のない流体ポンプは、ＥＣＦ（Ｅｌｅｃｔｒｏ－Ｃｏｎｊｕｇａｔｅ Ｆｌｕｉｄ）を流動させるポンプであって、正極又は負極のいずれか一方の極性の電源電圧が印加される第１のメッシュ状電極と、前記第１のメッシュ状電極から離隔して配置された第２のメッシュ状電極であって、前記第１のメッシュ状電極の極性とは異なる極性の電源電圧が印加される第２のメッシュ状電極と、前記第２のメッシュ状電極から離隔しかつ前記第１のメッシュ状電極との間に前記第２のメッシュ状電極を挟んで配置された第３のメッシュ状電極であって、前記第２のメッシュ状電極と同じ極性の電源電圧が印加される第３のメッシュ状電極と、を備え、前記第１のメッシュ状電極から前記第２のメッシュ状電極を介して前記第３のメッシュ状電極に向かってＥＣＦを流動させる。
【選択図】 図１
【特許請求の範囲】
【請求項1】
ＥＣＦ（Ｅｌｅｃｔｒｏ－Ｃｏｎｊｕｇａｔｅ Ｆｌｕｉｄ）に電圧を印加することで、ＥＣＦを流動させる駆動部のない流体ポンプであって、
正極又は負極のいずれか一方の極性の電源電圧が印加される第１のメッシュ状電極と、
前記第１のメッシュ状電極から離隔して配置された第２のメッシュ状電極であって、前記第１のメッシュ状電極の極性とは異なる極性の電源電圧が印加される第２のメッシュ状電極と、
前記第２のメッシュ状電極から離隔しかつ前記第１のメッシュ状電極との間に前記第２のメッシュ状電極を挟んで配置された第３のメッシュ状電極であって、前記第２のメッシュ状電極と同じ極性の電源電圧が印加される第３のメッシュ状電極と、を備え、
前記第１のメッシュ状電極から前記第２のメッシュ状電極を介して前記第３のメッシュ状電極に向かってＥＣＦを流動させる駆動部のない流体ポンプ。
正極又は負極のいずれか一方の極性の電源電圧が印加される第１のメッシュ状電極と、
前記第１のメッシュ状電極から離隔して配置された第２のメッシュ状電極であって、前記第１のメッシュ状電極の極性とは異なる極性の電源電圧が印加される第２のメッシュ状電極と、
前記第２のメッシュ状電極から離隔しかつ前記第１のメッシュ状電極との間に前記第２のメッシュ状電極を挟んで配置された第３のメッシュ状電極であって、前記第２のメッシュ状電極と同じ極性の電源電圧が印加される第３のメッシュ状電極と、を備え、
前記第１のメッシュ状電極から前記第２のメッシュ状電極を介して前記第３のメッシュ状電極に向かってＥＣＦを流動させる駆動部のない流体ポンプ。
【請求項2】
前記第１のメッシュ状電極は、複数の第１の頂点を有する多角形状を有する複数の第１の単位メッシュを有し、
前記第２のメッシュ状電極は、複数の第２の頂点を有する多角形状を有する複数の第２の単位メッシュを有し、
ＥＣＦの上下流方向視で、前記複数の第１の頂点のうちの少なくとも一部が、前記第２の単位メッシュ領域内に含まれる、請求項１に記載の駆動部のない流体ポンプ。
前記第２のメッシュ状電極は、複数の第２の頂点を有する多角形状を有する複数の第２の単位メッシュを有し、
ＥＣＦの上下流方向視で、前記複数の第１の頂点のうちの少なくとも一部が、前記第２の単位メッシュ領域内に含まれる、請求項１に記載の駆動部のない流体ポンプ。
【請求項3】
前記第３のメッシュ状電極は、複数の第３の頂点を有する多角形状を有する複数の第３の単位メッシュを有し、
ＥＣＦの上下流方向視で、前記複数の第２の頂点のうちの少なくとも一部が、前記第３の頂点と重なる、請求項２に記載の駆動部のない流体ポンプ。
ＥＣＦの上下流方向視で、前記複数の第２の頂点のうちの少なくとも一部が、前記第３の頂点と重なる、請求項２に記載の駆動部のない流体ポンプ。
【請求項4】
前記第３のメッシュ状電極は、複数の第３の頂点を有する多角形状を有する複数の第３の単位メッシュを有し、
ＥＣＦの上下流方向視で、前記複数の第２の頂点のうちの少なくとも一部が、前記第３の単位メッシュ領域内に含まれる、請求項２に記載の駆動部のない流体ポンプ。
ＥＣＦの上下流方向視で、前記複数の第２の頂点のうちの少なくとも一部が、前記第３の単位メッシュ領域内に含まれる、請求項２に記載の駆動部のない流体ポンプ。
【請求項5】
第１のメッシュ状電極は、複数の第１の頂点を有する多角形状を有する複数の第１の単位メッシュを有し、
第２のメッシュ状電極は、複数の第２の頂点を有する多角形状を有する複数の第２の単位メッシュを有し、
ＥＣＦの上下流方向視で、前記複数の第１の頂点のうちの少なくとも一部が、前記第２の頂点と重なる、請求項１に記載の駆動部のない流体ポンプ。
第２のメッシュ状電極は、複数の第２の頂点を有する多角形状を有する複数の第２の単位メッシュを有し、
ＥＣＦの上下流方向視で、前記複数の第１の頂点のうちの少なくとも一部が、前記第２の頂点と重なる、請求項１に記載の駆動部のない流体ポンプ。
【請求項6】
前記第３のメッシュ状電極は、複数の第３の頂点を有する多角形状を有する複数の第３の単位メッシュを有し、
ＥＣＦの上下流方向視で、前記複数の第２の頂点のうちの少なくとも一部が、前記第３の頂点と重なる、請求項５に記載の駆動部のない流体ポンプ。
ＥＣＦの上下流方向視で、前記複数の第２の頂点のうちの少なくとも一部が、前記第３の頂点と重なる、請求項５に記載の駆動部のない流体ポンプ。
【請求項7】
前記第１のメッシュ状電極と、前記第２のメッシュ状電極と、前記第３のメッシュ状電極とは、第１の電線と前記第１の電線とは異なる第２の電線とを有し、
前記第１のメッシュ状電極は、複数の第１の頂点を有する多角形状を有する複数の第１の単位メッシュを有し、
前記第２のメッシュ状電極は、複数の第２の頂点を有する多角形状を有する複数の第２の単位メッシュを有し、
前記第３のメッシュ状電極は、複数の第３の頂点を有する多角形状を有する複数の第３の単位メッシュを有し、
前記第１の頂点と、前記第２の頂点と、前記第３の頂点とは、前記第１の電線と前記第２の電線とが、重畳して交差することによって形成された、請求項１に記載の駆動部のない流体ポンプ。
前記第１のメッシュ状電極は、複数の第１の頂点を有する多角形状を有する複数の第１の単位メッシュを有し、
前記第２のメッシュ状電極は、複数の第２の頂点を有する多角形状を有する複数の第２の単位メッシュを有し、
前記第３のメッシュ状電極は、複数の第３の頂点を有する多角形状を有する複数の第３の単位メッシュを有し、
前記第１の頂点と、前記第２の頂点と、前記第３の頂点とは、前記第１の電線と前記第２の電線とが、重畳して交差することによって形成された、請求項１に記載の駆動部のない流体ポンプ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、駆動部のない流体ポンプに関する。
【背景技術】
【0002】
メッシュ電極を用いたＥＣＦポンプが知られている（例えば、非特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【非特許文献】
【0003】
【非特許文献1】桜井康雄，五十嵐友彰，中田毅，枝村一弥，”メッシュ電極を用いたＥＣＦポンプの提案”，日本機械学会論文集（Ｂ編），Vol，７８，Ｎｏ．７８６（２０１２），ｐｐ２９１－２９９
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0004】
従前のＥＣＦポンプは、第１のメッシュ電極と第１のメッシュ電極から離隔した第２のメッシュ電極を有する。第１のメッシュ電極は、流路の上流側に配設され、第２のメッシュ電極は、流路の下流側に配設される。このＥＣＦポンプは、２枚のメッシュ電極のみでＥＣＦを流動させるため、十分な流量を得ることが困難であった。
【0005】
本発明は、上述の点に鑑みてなされたものである。その目的は、簡素な構造で、流量を増やすことができる、駆動部のない流体ポンプを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【0006】
本発明による駆動部のない流体ポンプの特徴は、
ＥＣＦ（Ｅｌｅｃｔｒｏ－Ｃｏｎｊｕｇａｔｅ Ｆｌｕｉｄ）に電圧を印加することで、ＥＣＦを流動させる駆動部のない流体ポンプであって、
正極又は負極のいずれか一方の極性の電源電圧が印加される第１のメッシュ状電極と、
前記第１のメッシュ状電極から離隔して配置された第２のメッシュ状電極であって、前記第１のメッシュ状電極の極性とは異なる極性の電源電圧が印加される第２のメッシュ状電極と、
前記第２のメッシュ状電極から離隔しかつ前記第１のメッシュ状電極との間に前記第２のメッシュ状電極を挟んで配置された第３のメッシュ状電極であって、前記第２のメッシュ状電極と同じ極性の電源電圧が印加される第３のメッシュ状電極と、を備え、
前記第１のメッシュ状電極から前記第２のメッシュ状電極を介して前記第３のメッシュ状電極に向かってＥＣＦを流動させることである。
ＥＣＦ（Ｅｌｅｃｔｒｏ－Ｃｏｎｊｕｇａｔｅ Ｆｌｕｉｄ）に電圧を印加することで、ＥＣＦを流動させる駆動部のない流体ポンプであって、
正極又は負極のいずれか一方の極性の電源電圧が印加される第１のメッシュ状電極と、
前記第１のメッシュ状電極から離隔して配置された第２のメッシュ状電極であって、前記第１のメッシュ状電極の極性とは異なる極性の電源電圧が印加される第２のメッシュ状電極と、
前記第２のメッシュ状電極から離隔しかつ前記第１のメッシュ状電極との間に前記第２のメッシュ状電極を挟んで配置された第３のメッシュ状電極であって、前記第２のメッシュ状電極と同じ極性の電源電圧が印加される第３のメッシュ状電極と、を備え、
前記第１のメッシュ状電極から前記第２のメッシュ状電極を介して前記第３のメッシュ状電極に向かってＥＣＦを流動させることである。
【発明の効果】
【0007】
簡素な構造で、流量を増やすことができる駆動部のない流体ポンプを提供できる。
【図面の簡単な説明】
【0008】
【図1】３枚のメッシュ状電極１００－１、１００－２、１００－３を有するＥＣＦポンプ１０の構成を示す斜視図である。
【図2】単位メッシュ１２０の構造をＥＣＦの上下流方向視で示す図である。
【図3】３枚のメッシュ状電極１００－１、１００－２、１００－３の突出部１３０の配置の例を、上下流方向に対して垂直な方向視で示す図である。
【図4】３枚のメッシュ状電極１００－１、１００－２、１００－３の突出部１３０の配置の例を、上下流方向に対して垂直な方向視で示す図である。
【図5】３枚のメッシュ状電極１００－１、１００－２、１００－３の突出部１３０の配置の例を、上下流方向に対して垂直な方向視で示す図である。
【図6】３枚のメッシュ状電極１００－１、１００－２、１００－３に接続された電源装置を示す回路ブロック図である。
【図7】３つのＥＣＦポンプ１０（１）、１０（２）、１０（３）を上下流方向に直列に配置した例を上下流方向視で示す図である。
【発明を実施するための形態】
【0009】
＜＜＜＜本実施の形態の詳細＞＞＞＞
以下に、実施の形態について図面に基づいて説明する。
以下に、実施の形態について図面に基づいて説明する。
【0010】
＜＜＜方向等＞＞＞
＜縦方向、鉛直方向、上下方向＞
ＥＣＦポンプを駆動できる状態において、重力の方向及び重力と反対の方向に沿った方向、すなわち物体を吊り下げた糸の示す方向をいう。
＜縦方向、鉛直方向、上下方向＞
ＥＣＦポンプを駆動できる状態において、重力の方向及び重力と反対の方向に沿った方向、すなわち物体を吊り下げた糸の示す方向をいう。
【0011】
＜横方向、水平方向＞
ＥＣＦポンプを駆動できる状態において、縦方向に対して垂直な方向をいう。
ＥＣＦポンプを駆動できる状態において、縦方向に対して垂直な方向をいう。
【0012】
＜上流方向＞
ＥＣＦポンプを駆動できる状態において、ＥＣＦの流れのかわかみをいう。
ＥＣＦポンプを駆動できる状態において、ＥＣＦの流れのかわかみをいう。
【0013】
＜下流方向＞
ＥＣＦポンプを駆動できる状態において、ＥＣＦの流れのかわしもをいう。
ＥＣＦポンプを駆動できる状態において、ＥＣＦの流れのかわしもをいう。
【0014】
＜上下流方向＞
上流方向と下流方向とを区別せずに、いずれの方向でもよい方向をいう。
上流方向と下流方向とを区別せずに、いずれの方向でもよい方向をいう。
【0015】
＜＜＜ＥＣＦポンプ１０＞＞＞
図１は、３枚のメッシュ状電極１００－１、１００－２、１００－３を有するＥＣＦポンプ１０の構成を示す斜視図である。
図１は、３枚のメッシュ状電極１００－１、１００－２、１００－３を有するＥＣＦポンプ１０の構成を示す斜視図である。
【0016】
ＥＣＦポンプ１０は、３枚のメッシュ状電極１００－１、１００－２、１００－３を有する。ＥＣＦポンプ１０は、所定の大きさの容器（図示せず）を有する。ＥＣＦが、容器に貯留されている。３枚のメッシュ状電極１００－１、１００－２、１００－３の全体が、容器内に配置され、ＥＣＦに浸漬されている。
【0017】
＜＜メッシュ状電極１００－１、１００－２、１００－３＞＞
３枚のメッシュ状電極１００－１、１００－２、１００－３は、一定の形状及び大きさの輪郭を有する。３枚のメッシュ状電極１００－１、１００－２、１００－３は、容器内で絶縁性の保持部材（図示せず）などに保持され、一定の位置に配置されて一定の形状及び大きさを保つことができればよい。本実施の形態では、３枚のメッシュ状電極１００－１、１００－２、１００－３の延在面ＥＰ（図３～図５参照）が鉛直方向に延在するように、容器内で３枚のメッシュ状電極１００－１、１００－２、１００－３が配置される。以下では、３枚のメッシュ状電極１００－１、１００－２、１００－３を、特に区別する必要がない場合や区別できない場合などには、単にメッシュ状電極１００と称する。
３枚のメッシュ状電極１００－１、１００－２、１００－３は、一定の形状及び大きさの輪郭を有する。３枚のメッシュ状電極１００－１、１００－２、１００－３は、容器内で絶縁性の保持部材（図示せず）などに保持され、一定の位置に配置されて一定の形状及び大きさを保つことができればよい。本実施の形態では、３枚のメッシュ状電極１００－１、１００－２、１００－３の延在面ＥＰ（図３～図５参照）が鉛直方向に延在するように、容器内で３枚のメッシュ状電極１００－１、１００－２、１００－３が配置される。以下では、３枚のメッシュ状電極１００－１、１００－２、１００－３を、特に区別する必要がない場合や区別できない場合などには、単にメッシュ状電極１００と称する。
【0018】
＜メッシュ状＞
メッシュ状電極１００は、メッシュ状の電極を有する。メッシュ状とは、交差する導電性細線１１０により構成される複数の多角形状（例えば、正方形状など）の開口部１２６（格子）（図２参照）を含んでいる形状をいう。メッシュ状は、網目状と視認できる形状である。メッシュ状は、導電性細線１１０だけでなく、例えば、パンチングメタル、エキスパンドメタル等によって形成されてもよい。メッシュ状電極１００は、電源電圧が印加されることによって、ＥＣＦが開口部１２６を通過できる形状であればよい。
メッシュ状電極１００は、メッシュ状の電極を有する。メッシュ状とは、交差する導電性細線１１０により構成される複数の多角形状（例えば、正方形状など）の開口部１２６（格子）（図２参照）を含んでいる形状をいう。メッシュ状は、網目状と視認できる形状である。メッシュ状は、導電性細線１１０だけでなく、例えば、パンチングメタル、エキスパンドメタル等によって形成されてもよい。メッシュ状電極１００は、電源電圧が印加されることによって、ＥＣＦが開口部１２６を通過できる形状であればよい。
【0019】
＜メッシュ状電極１００の形状及び大きさ＞
メッシュ状電極１００は、正方形状や長方形状の輪郭を有する。メッシュ状電極１００の全体の輪郭は、正方形でも長方形でも多角形状、円状でも楕円でも長円状でもよい。メッシュ状電極１００の全体の輪郭は、一定の大きさと形状を有すればよい。メッシュ状電極１００は、平面（延在面ＥＰ（図３～図５参照））に沿って延在する。平面は、平坦な面でも湾曲した面（例えば、円筒面や球面など）でもよい。本実施の形態のメッシュ状電極１００は、略平坦状の形状を有する。メッシュ状電極１００は、平面と曲面とが混在した形状を有してもよい。メッシュ状電極１００は、法線の方向が互いに異なる２以上の平面が接続されて形成された形状を有してもよい。
メッシュ状電極１００は、正方形状や長方形状の輪郭を有する。メッシュ状電極１００の全体の輪郭は、正方形でも長方形でも多角形状、円状でも楕円でも長円状でもよい。メッシュ状電極１００の全体の輪郭は、一定の大きさと形状を有すればよい。メッシュ状電極１００は、平面（延在面ＥＰ（図３～図５参照））に沿って延在する。平面は、平坦な面でも湾曲した面（例えば、円筒面や球面など）でもよい。本実施の形態のメッシュ状電極１００は、略平坦状の形状を有する。メッシュ状電極１００は、平面と曲面とが混在した形状を有してもよい。メッシュ状電極１００は、法線の方向が互いに異なる２以上の平面が接続されて形成された形状を有してもよい。
【0020】
本実施の形態では、３枚のメッシュ状電極１００－１、１００－２、１００－３は、同じ形状及び大きさを有する例を示したが、３枚のメッシュ状電極１００－１、１００－２、１００－３のうちの少なくとも１枚が異なる形状や大きさを有してもよい。所望されるＥＣＦポンプ１０の流量や出力などに応じて、適宜に決定すればよい。
【0021】
＜長さＬＰ－１、長さＬＴ－１、長さＬＰ－２、長さＬＴ－２、長さＬＰ－３、長さＬＴ－３＞
図１に示すように、メッシュ状電極１００－１は、縦方向の長さＬＰ－１と横方向の長さＬＴ－１とを有する。メッシュ状電極１００－２は、縦方向の長さＬＰ－２と横方向の長さＬＴ－２とを有する。メッシュ状電極１００－３は、縦方向の長さＬＰ－３と横方向の長さＬＴ－３とを有する。
図１に示すように、メッシュ状電極１００－１は、縦方向の長さＬＰ－１と横方向の長さＬＴ－１とを有する。メッシュ状電極１００－２は、縦方向の長さＬＰ－２と横方向の長さＬＴ－２とを有する。メッシュ状電極１００－３は、縦方向の長さＬＰ－３と横方向の長さＬＴ－３とを有する。
【0022】
＜法線ＮＵ－１、法線ＮＤ－１、法線ＮＵ－２、法線ＮＤ－２、法線ＮＵ－３、法線ＮＤ－３＞
図３～図５に示すように、メッシュ状電極１００－１は、上流方向に向かう法線ＮＵ－１と下流方向に向かう法線ＮＤ－１とを有する。メッシュ状電極１００－２は、上流方向に向かう法線ＮＵ－２と下流方向に向かう法線ＮＤ－２とを有する。メッシュ状電極１００－３は、上流方向に向かう法線ＮＵ－３と下流方向に向かう法線ＮＤ－３とを有する。
図３～図５に示すように、メッシュ状電極１００－１は、上流方向に向かう法線ＮＵ－１と下流方向に向かう法線ＮＤ－１とを有する。メッシュ状電極１００－２は、上流方向に向かう法線ＮＵ－２と下流方向に向かう法線ＮＤ－２とを有する。メッシュ状電極１００－３は、上流方向に向かう法線ＮＵ－３と下流方向に向かう法線ＮＤ－３とを有する。
【0023】
＜３枚のメッシュ状電極１００－１、１００－２、１００－３の配置＞
３枚のメッシュ状電極１００－１、１００－２、１００－３は、延在面ＥＰが鉛直方向に延在するように配置される。３枚のメッシュ状電極１００－１、１００－２、１００－３は、互いに離隔して略平行に配置される。３枚のメッシュ状電極１００－１、１００－２、１００－３は、上流から下流に沿って互いに離隔して配置される。本実施の形態では、メッシュ状電極１００－１とメッシュ状電極１００－２との間隔は、ＤＥ１である。メッシュ状電極１００－２とメッシュ状電極１００－３との間隔は、ＤＥ２である。
３枚のメッシュ状電極１００－１、１００－２、１００－３は、延在面ＥＰが鉛直方向に延在するように配置される。３枚のメッシュ状電極１００－１、１００－２、１００－３は、互いに離隔して略平行に配置される。３枚のメッシュ状電極１００－１、１００－２、１００－３は、上流から下流に沿って互いに離隔して配置される。本実施の形態では、メッシュ状電極１００－１とメッシュ状電極１００－２との間隔は、ＤＥ１である。メッシュ状電極１００－２とメッシュ状電極１００－３との間隔は、ＤＥ２である。
【0024】
本実施の形態では、間隔ＤＥ１と間隔ＤＥ２とを等しくしたが、異ならしめてもよい。メッシュ状電極１００－１に印加する電源電圧の値Ｖ１と、メッシュ状電極１００－１に印加する電源電圧の値Ｖ２と、メッシュ状電極１００－１に印加する電源電圧の値Ｖ３とに応じて、適宜に間隔ＤＥ１と間隔ＤＥ２とを定めることができる。電源電圧については後述する。
【0025】
３枚のメッシュ状電極１００－１、１００－２、１００－３は、互いに略平行に配置されてなくてもよい。所望されるＥＣＦポンプ１０の流量や出力などに応じて、適宜に変更することができる。
【0026】
＜＜導電性細線１１０＞＞
３枚のメッシュ状電極１００－１、１００－２、１００－３は、導電性細線１１０によって構成される。図２に示すように、本実施の形態では、縦方向の導電性細線１１０Ｐと横方向の導電性細線１１０Ｔとによって、３枚のメッシュ状電極１００－１、１００－２、１００－３が構成される。なお、縦方向の導電性細線１１０Ｐと横方向の導電性細線１１０Ｔとを、特に区別する必要がない場合や区別できない場合などには、単に導電性細線１１０と称する。図２に示す例では、頂部１２２において、横方向の導電性細線１１０Ｔが紙面の手前側に配置され、縦方向の導電性細線１１０Ｐが、横方向の導電性細線１１０Ｔよりも紙面の奥行側に向かって湾曲して上下方向に沿って配置された状態を示す。図２に示す例では、紙面の手前側は、上流側でも下流側のいずれでもよく、紙面の奥行側は、上流側又は下流側のうち、紙面の手前側の逆側であればよい。
３枚のメッシュ状電極１００－１、１００－２、１００－３は、導電性細線１１０によって構成される。図２に示すように、本実施の形態では、縦方向の導電性細線１１０Ｐと横方向の導電性細線１１０Ｔとによって、３枚のメッシュ状電極１００－１、１００－２、１００－３が構成される。なお、縦方向の導電性細線１１０Ｐと横方向の導電性細線１１０Ｔとを、特に区別する必要がない場合や区別できない場合などには、単に導電性細線１１０と称する。図２に示す例では、頂部１２２において、横方向の導電性細線１１０Ｔが紙面の手前側に配置され、縦方向の導電性細線１１０Ｐが、横方向の導電性細線１１０Ｔよりも紙面の奥行側に向かって湾曲して上下方向に沿って配置された状態を示す。図２に示す例では、紙面の手前側は、上流側でも下流側のいずれでもよく、紙面の奥行側は、上流側又は下流側のうち、紙面の手前側の逆側であればよい。
【0027】
縦方向の導電性細線１１０Ｐと横方向の導電性細線１１０Ｔとは、互いに接合されて電気的に接続されている。接合により、縦方向の導電性細線１１０Ｐと横方向の導電性細線１１０Ｔとは、重畳して交差する。縦方向の導電性細線１１０Ｐと横方向の導電性細線１１０Ｔとは、電気的な接続により、同電位となる。縦方向の導電性細線１１０Ｐと横方向の導電性細線１１０Ｔとは、固定的に接合されていなくても、互いに絡まり合たり（架橋し合う）、遊着（遊びがある状態で装着）されたりしても、電気的な接続が形成されればよい。
【0028】
＜＜単位メッシュ１２０＞＞
縦方向の導電性細線１１０Ｐと横方向の導電性細線１１０Ｔとは、互いに接合されることで、単位メッシュ１２０が形成される。図１に示すように、３枚のメッシュ状電極１００－１、１００－２、１００－３の各々は、複数の単位メッシュ１２０を有する。メッシュ状電極１００－１は、複数の単位メッシュ１２０－１を有する。メッシュ状電極１００－２は、複数の単位メッシュ１２０－２を有する。メッシュ状電極１００－３は、複数の単位メッシュ１２０－３を有する。単位メッシュ１２０－１、１２０－２及び１２０－３を、特に区別する必要がない場合や区別できない場合などには、単に単位メッシュ１２０と称する。
縦方向の導電性細線１１０Ｐと横方向の導電性細線１１０Ｔとは、互いに接合されることで、単位メッシュ１２０が形成される。図１に示すように、３枚のメッシュ状電極１００－１、１００－２、１００－３の各々は、複数の単位メッシュ１２０を有する。メッシュ状電極１００－１は、複数の単位メッシュ１２０－１を有する。メッシュ状電極１００－２は、複数の単位メッシュ１２０－２を有する。メッシュ状電極１００－３は、複数の単位メッシュ１２０－３を有する。単位メッシュ１２０－１、１２０－２及び１２０－３を、特に区別する必要がない場合や区別できない場合などには、単に単位メッシュ１２０と称する。
【0029】
本実施の形態では、単位メッシュ１２０は、正方形、長方形などの四角形状の形状を有する。単位メッシュ１２０は、四角形状のほか、三角形や、六角形などの多角形などの形状にすることができる。本実施の形態では、単位メッシュ１２０は、同一の大きさ及び同一の形状を有する。複数の単位メッシュ１２０のうち、異なる大きさや形状の単位メッシュ１２０が含まれていてもよい。複数の単位メッシュ１２０によって、全体として、メッシュ状電極１００を構成することができればよい。
【0030】
＜頂部１２２＞
単位メッシュ１２０の各々は、複数の頂部１２２を有する。縦方向の導電性細線１１０Ｐと横方向の導電性細線１１０Ｔとの接合点によって頂部１２２が形成される。頂部１２２は、多角形状を有する単位メッシュ１２０の多角形の頂点の部分を意味する。頂部１２２に後述する突出部１３０が形成される。主に、頂部１２２は、上下流方向に対して垂直な方向視で存在が明確になり（図２参照）、突出部１３０は、主に、上下流方向視で存在が明確になる（図３～図５参照）。
単位メッシュ１２０の各々は、複数の頂部１２２を有する。縦方向の導電性細線１１０Ｐと横方向の導電性細線１１０Ｔとの接合点によって頂部１２２が形成される。頂部１２２は、多角形状を有する単位メッシュ１２０の多角形の頂点の部分を意味する。頂部１２２に後述する突出部１３０が形成される。主に、頂部１２２は、上下流方向に対して垂直な方向視で存在が明確になり（図２参照）、突出部１３０は、主に、上下流方向視で存在が明確になる（図３～図５参照）。
【0031】
＜辺部１２４＞
単位メッシュ１２０の各々の互いに隣り合う頂部１２２の間に延在する導電性細線１１０によって、辺部１２４が形成される。メッシュ状電極１００－１の単位メッシュ１２０－１は、長さＭＬＰ－１の縦方向の辺部１２４と、長さＭＬＴ－１の横方向の辺部１２４とを有する。メッシュ状電極１００－２の単位メッシュ１２０－２は、長さＭＬＰ－２の縦方向の辺部１２４と、長さＭＬＴ－２の横方向の辺部１２４とを有する。メッシュ状電極１００－３の単位メッシュ１２０－３は、長さＭＬＰ－３の縦方向の辺部１２４と、長さＭＬＴ－３の横方向の辺部１２４とを有する。特に、縦方向の辺部１２４と横方向の辺部１２４とを、区別する必要がない場合や区別できない場合などには、単に辺部１２４と称する。互いに隣り合う２つの単位メッシュ１２０では、頂部１２２及び辺部１２４が、共通する。
単位メッシュ１２０の各々の互いに隣り合う頂部１２２の間に延在する導電性細線１１０によって、辺部１２４が形成される。メッシュ状電極１００－１の単位メッシュ１２０－１は、長さＭＬＰ－１の縦方向の辺部１２４と、長さＭＬＴ－１の横方向の辺部１２４とを有する。メッシュ状電極１００－２の単位メッシュ１２０－２は、長さＭＬＰ－２の縦方向の辺部１２４と、長さＭＬＴ－２の横方向の辺部１２４とを有する。メッシュ状電極１００－３の単位メッシュ１２０－３は、長さＭＬＰ－３の縦方向の辺部１２４と、長さＭＬＴ－３の横方向の辺部１２４とを有する。特に、縦方向の辺部１２４と横方向の辺部１２４とを、区別する必要がない場合や区別できない場合などには、単に辺部１２４と称する。互いに隣り合う２つの単位メッシュ１２０では、頂部１２２及び辺部１２４が、共通する。
【0032】
＜開口部１２６＞
図２に示すように、本実施の形態では、４つの頂部１２２と４つの辺部１２４とにより囲繞される領域によって、１つの開口部１２６が形成される。本実施の形態では、１つの単位メッシュ１２０は、１つの開口部１２６を有する。単位メッシュ１２０が四角形状以外の多角形状であっても、複数の頂部１２２と複数の辺部１２４とにより囲繞される領域によって、１つの開口部１２６が画定される。
図２に示すように、本実施の形態では、４つの頂部１２２と４つの辺部１２４とにより囲繞される領域によって、１つの開口部１２６が形成される。本実施の形態では、１つの単位メッシュ１２０は、１つの開口部１２６を有する。単位メッシュ１２０が四角形状以外の多角形状であっても、複数の頂部１２２と複数の辺部１２４とにより囲繞される領域によって、１つの開口部１２６が画定される。
【0033】
＜突出部１３０＞
単位メッシュ１２０は、延在面ＥＰに対して垂直な方向に突出する突出部１３０を有する。すなわち、突出部１３０は、主に、上下流方向視で存在が明確になる（図３～図５参照）。突出部１３０は、縦方向の導電性細線１１０Ｐと横方向の導電性細線１１０Ｔとが重畳して交差することで形成される。本実施の形態では、横方向の導電性細線１１０Ｔの外周の一部（約半周）に沿って縦方向の導電性細線１１０Ｐを這わせて係合させることで、突出部１３０を形成する。縦方向の導電性細線１１０Ｐの外周の一部（約半周）に沿って横方向の導電性細線１１０Ｔを這わせて係合させることで突出部１３０を形成してもよい。さらに、一方の導電性細線１１０を他方の導電性細線１１０の外周に、複数回に亘って巻回（周回）させて、突出部１３０を形成してもよい。
単位メッシュ１２０は、延在面ＥＰに対して垂直な方向に突出する突出部１３０を有する。すなわち、突出部１３０は、主に、上下流方向視で存在が明確になる（図３～図５参照）。突出部１３０は、縦方向の導電性細線１１０Ｐと横方向の導電性細線１１０Ｔとが重畳して交差することで形成される。本実施の形態では、横方向の導電性細線１１０Ｔの外周の一部（約半周）に沿って縦方向の導電性細線１１０Ｐを這わせて係合させることで、突出部１３０を形成する。縦方向の導電性細線１１０Ｐの外周の一部（約半周）に沿って横方向の導電性細線１１０Ｔを這わせて係合させることで突出部１３０を形成してもよい。さらに、一方の導電性細線１１０を他方の導電性細線１１０の外周に、複数回に亘って巻回（周回）させて、突出部１３０を形成してもよい。
【0034】
なお、メッシュ状電極１００をパンチングメタル、エキスパンドメタル等で形成する場合には、頂部１２２に対応する位置に複数の突起が生成された成形型（図示せず）に、パンチングメタル、エキスパンドメタル等を押圧し突起によって変形させることで、頂部１２２に突出部１３０を形成することができる。
【0035】
突出部１３０は、単位メッシュ１２０の頂部１２２の各々に形成される。突出部１３０は、上流側又は下流側のいずれか一方の側に向かって突出する（図３～図５参照）。すなわち、突出部１３０は、延在面ＥＰの上流方向の法線（法線ＮＵ－１、法線ＮＵ－２、法線ＮＵ－３）又は下流方向の法線（法線ＮＤ－１、法線ＮＤ－２、法線ＮＤ－３）のいずれか一方の法線に沿って突出する。
【0036】
突出部１３０を形成することにより、正電位の場合には、突出部１３０から徐々に広がる電気力線を生成し、負電位の場合には、突出部１３０に向かって徐々に狭まる電気力線を生成する。突出部１３０を形成することで、突出部１３０の近くで生ずる電場を、辺部１２４の周辺で生ずる電場よりも強くできる。突出部１３０の近くで、強い電場を生成することで、ＥＣＦを流動させ易くできる。
【0037】
＜突出部１３０の密度＞
単位メッシュ１２０の大きさによって、突出部１３０の密度が決定される。突出部１３０の密度によって、生成される電気力線の分布や電場の強さ及び向きなどを調節することができる。突出部１３０の密度は、ＥＣＦの種類や、所望するＥＣＦの流量やＥＣＦポンプ１０の出力などに応じて適宜に決定すればよい。単位メッシュ１２０の大きさは、辺部１２４の長さと単位メッシュ１２０の形状などで決まる。
単位メッシュ１２０の大きさによって、突出部１３０の密度が決定される。突出部１３０の密度によって、生成される電気力線の分布や電場の強さ及び向きなどを調節することができる。突出部１３０の密度は、ＥＣＦの種類や、所望するＥＣＦの流量やＥＣＦポンプ１０の出力などに応じて適宜に決定すればよい。単位メッシュ１２０の大きさは、辺部１２４の長さと単位メッシュ１２０の形状などで決まる。
【0038】
＜突出部１３０が突出する向き＞
本実施の形態では、メッシュ状電極１００－１の突出部１３０は、下流に向かって突出し、メッシュ状電極１００－２及び１００－３の突出部１３０は、上流に向かって突出する。すなわち、メッシュ状電極１００－１の突出部１３０と、メッシュ状電極１００－２及び１００－３の突出部１３０とが、上下流方向に沿って向かい合う。メッシュ状電極１００－１、１００－２及び１００－３の突出部１３０が突出する向きは、これに限られず、所望するＥＣＦの流量などに応じて、適宜に定めればよい。
本実施の形態では、メッシュ状電極１００－１の突出部１３０は、下流に向かって突出し、メッシュ状電極１００－２及び１００－３の突出部１３０は、上流に向かって突出する。すなわち、メッシュ状電極１００－１の突出部１３０と、メッシュ状電極１００－２及び１００－３の突出部１３０とが、上下流方向に沿って向かい合う。メッシュ状電極１００－１、１００－２及び１００－３の突出部１３０が突出する向きは、これに限られず、所望するＥＣＦの流量などに応じて、適宜に定めればよい。
【0039】
＜縦方向の導電性細線１１０Ｐの太さ及び横方向の導電性細線１１０Ｔの太さ＞
縦方向の導電性細線１１０Ｐの太さと横方向の導電性細線１１０Ｔの太さとは、同じでも異なっていてもよい。縦方向の導電性細線１１０Ｐの太さ及び横方向の導電性細線１１０Ｔの太さによって、突出部１３０が突出する高さや突出部１３０の曲率などを調節することができる。縦方向の導電性細線１１０Ｐの太さ及び横方向の導電性細線１１０Ｔの太さは、ＥＣＦの種類や、所望するＥＣＦの流量やＥＣＦポンプ１０の出力などに応じて適宜に決定すればよい。
縦方向の導電性細線１１０Ｐの太さと横方向の導電性細線１１０Ｔの太さとは、同じでも異なっていてもよい。縦方向の導電性細線１１０Ｐの太さ及び横方向の導電性細線１１０Ｔの太さによって、突出部１３０が突出する高さや突出部１３０の曲率などを調節することができる。縦方向の導電性細線１１０Ｐの太さ及び横方向の導電性細線１１０Ｔの太さは、ＥＣＦの種類や、所望するＥＣＦの流量やＥＣＦポンプ１０の出力などに応じて適宜に決定すればよい。
【0040】
＜第１の配置の態様＞
図３は、３枚のメッシュ状電極１００－１、１００－２、１００－３の突出部１３０の第１の配置の態様を、上下流方向に対して垂直な方向視で示す図である。
図３は、３枚のメッシュ状電極１００－１、１００－２、１００－３の突出部１３０の第１の配置の態様を、上下流方向に対して垂直な方向視で示す図である。
【0041】
第１の配置の態様では、メッシュ状電極１００－１の突出部１３０は、ＥＣＦの上下流方向視で、メッシュ状電極１００－２の開口部１２６の中心に位置する。メッシュ状電極１００－２の突出部１３０は、ＥＣＦの上下流方向視で、メッシュ状電極１００－３の突出部１３０と重なる。メッシュ状電極１００－１の突出部１３０は、ＥＣＦの上下流方向視で、メッシュ状電極１００－３の開口部１２６の中心に位置する。
【0042】
＜第２の配置の態様＞
図４は、３枚のメッシュ状電極１００－１、１００－２、１００－３の突出部１３０の第２の配置の態様を、上下流方向に対して垂直な方向視で示す図である。
図４は、３枚のメッシュ状電極１００－１、１００－２、１００－３の突出部１３０の第２の配置の態様を、上下流方向に対して垂直な方向視で示す図である。
【0043】
第２の配置の態様では、メッシュ状電極１００－１の突出部１３０は、ＥＣＦの上下流方向視で、メッシュ状電極１００－２の開口部１２６の中心に位置する。メッシュ状電極１００－２の突出部１３０は、ＥＣＦの上下流方向視で、メッシュ状電極１００－３の開口部１２６の中心に位置する。メッシュ状電極１００－１の突出部１３０は、ＥＣＦの上下流方向視で、メッシュ状電極１００－３の突出部１３０と重なる。
【0044】
＜第３の配置の態様＞
図５は、３枚のメッシュ状電極１００－１、１００－２、１００－３の突出部１３０の第３の配置の態様を、上下流方向に対して垂直な方向視で示す図である。
図５は、３枚のメッシュ状電極１００－１、１００－２、１００－３の突出部１３０の第３の配置の態様を、上下流方向に対して垂直な方向視で示す図である。
【0045】
第３の配置の態様では、メッシュ状電極１００－１の突出部１３０は、ＥＣＦの上下流方向視で、メッシュ状電極１００－２の突出部１３０と重なる。メッシュ状電極１００－２の突出部１３０は、ＥＣＦの上下流方向視で、メッシュ状電極１００－３の突出部１３０と重なる。メッシュ状電極１００－１の突出部１３０は、ＥＣＦの上下流方向視で、メッシュ状電極１００－３の突出部１３０と重なる。
【0046】
＜他の配置の態様１＞
次のような配置でもよい。メッシュ状電極１００－１の突出部１３０は、ＥＣＦの上下流方向視で、メッシュ状電極１００－２の突出部１３０と重なる。メッシュ状電極１００－２の突出部１３０は、ＥＣＦの上下流方向視で、メッシュ状電極１００－３の開口部１２６の中心に位置する。メッシュ状電極１００－３の突出部１３０は、ＥＣＦの上下流方向視で、メッシュ状電極１００－３の開口部１２６の中心に位置する。
次のような配置でもよい。メッシュ状電極１００－１の突出部１３０は、ＥＣＦの上下流方向視で、メッシュ状電極１００－２の突出部１３０と重なる。メッシュ状電極１００－２の突出部１３０は、ＥＣＦの上下流方向視で、メッシュ状電極１００－３の開口部１２６の中心に位置する。メッシュ状電極１００－３の突出部１３０は、ＥＣＦの上下流方向視で、メッシュ状電極１００－３の開口部１２６の中心に位置する。
【0047】
＜他の配置の態様２＞
第１の配置の態様及び第２の配置の態様では、一のメッシュ状電極１００－１の突出部１３０が、他のメッシュ状電極１００の開口部１２６の中心に位置するように配置した。開口部１２６の中心に位置させる構成に限られず、一のメッシュ状電極１００－１の突出部１３０が、他のメッシュ状電極１００の開口部１２６内に含まれていれば、任意の位置に配置してもよい。
第１の配置の態様及び第２の配置の態様では、一のメッシュ状電極１００－１の突出部１３０が、他のメッシュ状電極１００の開口部１２６の中心に位置するように配置した。開口部１２６の中心に位置させる構成に限られず、一のメッシュ状電極１００－１の突出部１３０が、他のメッシュ状電極１００の開口部１２６内に含まれていれば、任意の位置に配置してもよい。
【0048】
＜生成される電場＞
メッシュ状電極１００－１の突出部１３０とメッシュ状電極１００－２の突出部１３０との間に強めの電場を形成し、メッシュ状電極１００－１の突出部１３０とメッシュ状電極１００－３の突出部１３０との間に強めの電場を形成できればよい。
メッシュ状電極１００－１の突出部１３０とメッシュ状電極１００－２の突出部１３０との間に強めの電場を形成し、メッシュ状電極１００－１の突出部１３０とメッシュ状電極１００－３の突出部１３０との間に強めの電場を形成できればよい。
【0049】
＜＜３枚のメッシュ状電極１００－１、１００－２、１００－３の構成要素＞＞
３枚のメッシュ状電極１００－１、１００－２、１００－３の構成要素は、主に、
ＥＣＦの種類、
メッシュ状電極１００－１の材質、
メッシュ状電極１００－２の材質、
メッシュ状電極１００－３の材質、
メッシュ状電極１００－１とメッシュ状電極１００－２との間隔ＤＥ１、
メッシュ状電極１００－２とメッシュ状電極１００－３との間隔ＤＥ２、
メッシュ状電極１００－１とメッシュ状電極１００－２とを支持し、間隔ＤＥ１を形成するためのスペーサＳＰ１の長さ及び材質、
メッシュ状電極１００－２とメッシュ状電極１００－３とを支持し、間隔ＤＥ２を形成するためのスペーサＳＰ２の長さ及び材質、
縦方向の辺部１２４の長さＭＬＰ－１（番手）、
横方向の辺部１２４の長さＭＬＴ－１（番手）、
縦方向の導電性細線１１０Ｐの材質及び太さ（線径）、
横方向の導電性細線１１０Ｔの材質及び太さ（線径）、
開口部１２６の形状
メッシュ状電極１００－１に印加する電源電圧の値Ｖ１、
メッシュ状電極１００－１に印加する電源電圧の値Ｖ２、
メッシュ状電極１００－１に印加する電源電圧の値Ｖ３、
などに応じて、適宜に決定すればよい。
３枚のメッシュ状電極１００－１、１００－２、１００－３の構成要素は、主に、
ＥＣＦの種類、
メッシュ状電極１００－１の材質、
メッシュ状電極１００－２の材質、
メッシュ状電極１００－３の材質、
メッシュ状電極１００－１とメッシュ状電極１００－２との間隔ＤＥ１、
メッシュ状電極１００－２とメッシュ状電極１００－３との間隔ＤＥ２、
メッシュ状電極１００－１とメッシュ状電極１００－２とを支持し、間隔ＤＥ１を形成するためのスペーサＳＰ１の長さ及び材質、
メッシュ状電極１００－２とメッシュ状電極１００－３とを支持し、間隔ＤＥ２を形成するためのスペーサＳＰ２の長さ及び材質、
縦方向の辺部１２４の長さＭＬＰ－１（番手）、
横方向の辺部１２４の長さＭＬＴ－１（番手）、
縦方向の導電性細線１１０Ｐの材質及び太さ（線径）、
横方向の導電性細線１１０Ｔの材質及び太さ（線径）、
開口部１２６の形状
メッシュ状電極１００－１に印加する電源電圧の値Ｖ１、
メッシュ状電極１００－１に印加する電源電圧の値Ｖ２、
メッシュ状電極１００－１に印加する電源電圧の値Ｖ３、
などに応じて、適宜に決定すればよい。
【0050】
＜間隔ＤＥ１、ＤＥ＞
間隔ＤＥ１と間隔ＤＥ２とは、同じでも、異なっていてもよい。ＥＣＦの種類による帯電性特性等により、間隔ＤＥ１を間隔ＤＥ２よりも大きくしたり、間隔ＤＥ２を間隔ＤＥ１よりも大きくしたり、適宜に決めることができる。
間隔ＤＥ１と間隔ＤＥ２とは、同じでも、異なっていてもよい。ＥＣＦの種類による帯電性特性等により、間隔ＤＥ１を間隔ＤＥ２よりも大きくしたり、間隔ＤＥ２を間隔ＤＥ１よりも大きくしたり、適宜に決めることができる。
【0051】
＜縦方向の辺部１２４の長さＭＬＰ－１及び横方向の辺部１２４の長さＭＬＴ－１（番手）＞
３枚のメッシュ状電極１００－１、１００－２、１００－３の各々の長さＭＬＰ－１及びＭＬＴ－１（番手）について、３枚のメッシュ状電極１００－１～１００－３の全ての番手を同じにしても、少なくとも１つのメッシュ状電極１００の番手を異ならしめてもよい。３枚のメッシュ状電極１００－１～１００－３の各々の長さＭＬＰ－１及びＭＬＴ－１（番手）の組み合わせは、目的や用途（例えば、圧力重視や流量重視や流動温度などに対応）などに応じて、用いるＥＣＦの種類に合わせて、適宜に決定すればよい。
３枚のメッシュ状電極１００－１、１００－２、１００－３の各々の長さＭＬＰ－１及びＭＬＴ－１（番手）について、３枚のメッシュ状電極１００－１～１００－３の全ての番手を同じにしても、少なくとも１つのメッシュ状電極１００の番手を異ならしめてもよい。３枚のメッシュ状電極１００－１～１００－３の各々の長さＭＬＰ－１及びＭＬＴ－１（番手）の組み合わせは、目的や用途（例えば、圧力重視や流量重視や流動温度などに対応）などに応じて、用いるＥＣＦの種類に合わせて、適宜に決定すればよい。
【0052】
＜メッシュ状電極１００－１～１００－３の材質＞
メッシュ状電極１００－１～１００－３の材質は、例えば、ニッケルメッキ細線にすることができる。メッシュ状電極１００－１～１００－３の全ての材質を、同じ金属種にしても、少なくとも１つのメッシュ状電極１００の材質を異なる金属種にしてもよい。
メッシュ状電極１００－１～１００－３の材質は、例えば、ニッケルメッキ細線にすることができる。メッシュ状電極１００－１～１００－３の全ての材質を、同じ金属種にしても、少なくとも１つのメッシュ状電極１００の材質を異なる金属種にしてもよい。
【0053】
＜縦方向の導電性細線１１０Ｐ及び横方向の導電性細線１１０Ｔの材質及び太さ＞
縦方向の導電性細線１１０Ｐ及び横方向の導電性細線１１０Ｔの材質及び太さは、３枚のメッシュ状電極１００－１～１００－３の全てについて同じにしても、少なくとも１つのメッシュ状電極１００について異ならしめてもよい。さらに、縦方向の導電性細線１１０Ｐ及び横方向の導電性細線１１０Ｔのうち、一方を導電体（導体）にし、他方を非導電体（絶縁体）にしてもよい。
縦方向の導電性細線１１０Ｐ及び横方向の導電性細線１１０Ｔの材質及び太さは、３枚のメッシュ状電極１００－１～１００－３の全てについて同じにしても、少なくとも１つのメッシュ状電極１００について異ならしめてもよい。さらに、縦方向の導電性細線１１０Ｐ及び横方向の導電性細線１１０Ｔのうち、一方を導電体（導体）にし、他方を非導電体（絶縁体）にしてもよい。
【0054】
＜開口部１２６の形状＞
開口部１２６の形状は、縦方向の導電性細線１１０Ｐと横方向の導電性細線１１０Ｔとが直交する構成（四角形）だけでなく、菱型や六角形（多角形）などの直交以外の構成でもよい。縦方向の導電性細線１１０Ｐと横方向の導電性細線１１０Ｔとの２軸織だけでなく、３本以上の細線による３軸織や、４軸織などにすることができる。
開口部１２６の形状は、縦方向の導電性細線１１０Ｐと横方向の導電性細線１１０Ｔとが直交する構成（四角形）だけでなく、菱型や六角形（多角形）などの直交以外の構成でもよい。縦方向の導電性細線１１０Ｐと横方向の導電性細線１１０Ｔとの２軸織だけでなく、３本以上の細線による３軸織や、４軸織などにすることができる。
【0055】
３枚のメッシュ状電極１００－１、１００－２、１００－３の周囲からＥＣＦを取り込んで、メッシュ状電極１００－１、１００－２、１００－３を通過するたびに流量を増やすことができばよい。
【0056】
＜＜電源装置２００＞＞
図６は、３枚のメッシュ状電極１００－１、１００－２、１００－３に接続された電源装置を示す回路ブロック図である。
図６は、３枚のメッシュ状電極１００－１、１００－２、１００－３に接続された電源装置を示す回路ブロック図である。
【0057】
電源装置２００は、３枚のメッシュ状電極１００－１、１００－２、１００－３の各々に別個に直流電圧を供給する。電源装置２００は、時間によって変化しない一定の値の直流電圧を供給する。このようにすることで、３枚のメッシュ状電極１００－１、１００－２、１００－３の各々から、時間によって変化しない静電場や電気力線を発生させる。
【0058】
メッシュ状電極１００－１には、プラス又はマイナスのいずれか一方の極性の電源電圧が印加される。すなわち、メッシュ状電極１００－２及び１００－３には、メッシュ状電極１００－１の極性とは異なる極性の電源電圧が印加される。具体的には、メッシュ状電極１００－１にプラスの電源電圧が印加されるときには、メッシュ状電極１００－２及び１００－３には、マイナスの電源電圧が印加される。また、メッシュ状電極１００－１にマイナスの電源電圧が印加されるときには、メッシュ状電極１００－２及び１００－３には、プラスの電源電圧が印加される。メッシュ状電極１００－２及び１００－３には、同じ大きさの電源電圧が印加されるのが好ましい。
【0059】
２枚のメッシュ状電極１００－１及び１００－２のみを有する場合には、メッシュ状電極１００－１にマイナスの電源電圧を印加し、メッシュ状電極１００－２にプラスの電源電圧を印加する。一方、３枚のメッシュ状電極１００－１、１００－２、１００－３を有する構成で、間隔ＤＥ１と間隔ＤＥ２とを同じにした場合には、メッシュ状電極１００－１にプラスの電源電圧を印加し、メッシュ状電極１００－２及び１００－３にマイナスの電源電圧を印加する。このようにすることで、２枚のメッシュ状電極１００－１及び１００－２のみの構成よりも、ＥＣＦを流動させる流量を増やすことができる。
【0060】
３枚のメッシュ状電極１００－１、１００－２、１００－３を用いて電源電圧を印加することによって、メッシュ状電極１００－１、１００－２、１００－３を通過する毎に、ＥＣＦの流量を増やすことができる。
【0061】
メッシュ状電極１００－２及び１００－３に、互いに異なる大きさの電源電圧を印加したり、互いに異なる極性の電源電圧を印加したりしてもよい。
【0062】
例えば、間隔ＤＥ２を間隔ＤＥ１よりも大きくし、メッシュ状電極１００－１及び１００－３にマイナスの電源電圧を印加し、メッシュ状電極１００－２にプラスの電源電圧を印加した場合には、間隔ＤＥ１と間隔ＤＥ１とを同じにして、メッシュ状電極１００－１にマイナスの電源電圧を印加し、メッシュ状電極１００－２及び１００－３にプラスの電源電圧を印加した場合よりもＥＣＦを流動させる流量を増やすことができる。
【0063】
また、間隔ＤＥ１を間隔ＤＥ２よりも大きくし、メッシュ状電極１００－１及び１００－３にマイナスの電源電圧を印加し、メッシュ状電極１００－２にプラスの電源電圧を印加した場合には、間隔ＤＥ１と間隔ＤＥ１とを同じにして、メッシュ状電極１００－１にマイナスの電源電圧を印加し、メッシュ状電極１００－２及び１００－３にプラスの電源電圧を印加した場合よりもＥＣＦを流動させる流量を増やすことができる。
【0064】
さらに、メッシュ状電極１００－１、１００－２、１００－３の全てに印加する電源電圧が同じ極性であっても、メッシュ状電極１００－１に印加する電源電圧が、メッシュ状電極１００－２、１００－３に印加する電源電圧と異なればよい。
【0065】
直流の電源電圧でなく、パルス状の電源電圧など脈動する電源電圧を、メッシュ状電極１００－１、１００－２、１００－３の少なくとも１つに印加してもよい。メッシュ状電極１００－１、１００－２、１００－３の印加するタイミングやパルス周期や電圧値など、ＥＣＦの種類や、所望するＥＣＦの流量やＥＣＦポンプ１０の出力などに応じて適宜に決定すればよい。
【0066】
図６に示すように、白抜きの実線の矢印でＥＣＦの流量の変化を示した。破線の矢印は、２枚のメッシュ状電極１００－１及び１００－２のみのときの流量を示す。実線の矢印は、３枚のメッシュ状電極１００－１、１００－２、１００－３のときの流量を示す。メッシュ状電極１００の数を増やすことによって、ＥＣＦを排出しやすくでき、結果として、ＥＣＦを流動させる流量を増やすことができる。このように、２枚のメッシュ状電極１００－１、１００－２よりも、３枚のメッシュ状電極１００－１、１００－２、１００－３にすることで、ＥＣＦの流量を増やすことができる。
【0067】
２枚のメッシュ状電極１００－１及び１００－２に３枚目のメッシュ状電極１００－３を追加することで、メッシュ状電極１００が延在面ＥＰに沿って延在する大きさを変更することなく、３枚目のメッシュ状電極１００－３を配置する領域だけ、延在面ＥＰに対して垂直な方向（上下流方向）にわずかに伸長させるだけで、ＥＣＦの流量を増やすことができる。
【0068】
＜＜＜ＥＣＦポンプの直列構造＞＞＞
図７は、３つのＥＣＦポンプ１０（１）、１０（２）、１０（３）を上下流方向に直列に配置した例を上下流方向視で示す図である。
図７は、３つのＥＣＦポンプ１０（１）、１０（２）、１０（３）を上下流方向に直列に配置した例を上下流方向視で示す図である。
【0069】
本実施の形態では、ＥＣＦポンプ１０（１）とＥＣＦポンプ１０（２）との間隔は、ＤＰ１である。ＥＣＦポンプ１０（２）とＥＣＦポンプ１０（３）との間隔は、ＤＰ２である。
【0070】
本実施の形態では、ＥＣＦポンプ１０（１）、１０（２）、１０（３）は、同じ構造を有する。ＥＣＦポンプ１０を通過するごとに、ＥＣＦの流量を増やすことができる。
【0071】
ＥＣＦポンプ１０（１）、１０（２）、１０（３）の構造を異ならしめてもよい。
【0072】
図７に示すように、白抜きの実線の矢印でＥＣＦの流量の変化を示した。破線の矢印は、１つのみのＥＣＦポンプ１０のみのときの流量を示す。実線の矢印は、３つのＥＣＦポンプ１０（１）、１０（２）、１０（３）のときの流量を示す。ＥＣＦポンプ１０の数を増やすことによって、ＥＣＦを排出しやすくでき、結果として、ＥＣＦを流動させる流量を増やすことができる。このように、２つのＥＣＦポンプ１０（１）、１０（２）よりも、３つのＥＣＦポンプ１０（１）、１０（２）、１０（３）にすることで、ＥＣＦの流量を増やすことができる。
【0073】
本実施の形態では、３つのＥＣＦポンプ１０（１）、１０（２）、１０（３）直列に並べた例を示したが、２つのＥＣＦポンプ１０を直列に並べても、４つ以上のＥＣＦポンプ１０を直列に並べてもよい。
【0074】
ＥＣＦの種類や、所望される流量や出力に応じて、適宜に、ＥＣＦポンプ１０（１）、１０（２）、１０（３）の構造を決めればよい。
【0075】
＜ＥＣＦの流路＞
ＥＣＦポンプ１０は、往路と復路と有し、ＥＣＦを循環させる循環流路を有する。循環流路を設けることで、ＥＣＦポンプ１０を連続的に駆動することができる。循環流路は封止されている。封止することで、ＥＣＦの乾燥を防ぎ、ＥＣＦの密度を一定に保つことができる。さらにまた、ＥＣＦポンプ１０は、ＥＣＦを補充できる構成を有するのが好ましい。ＥＣＦの量が減ったときにＥＣＦを追加することで、ＥＣＦの全体の量を一定にすることができる。
ＥＣＦポンプ１０は、往路と復路と有し、ＥＣＦを循環させる循環流路を有する。循環流路を設けることで、ＥＣＦポンプ１０を連続的に駆動することができる。循環流路は封止されている。封止することで、ＥＣＦの乾燥を防ぎ、ＥＣＦの密度を一定に保つことができる。さらにまた、ＥＣＦポンプ１０は、ＥＣＦを補充できる構成を有するのが好ましい。ＥＣＦの量が減ったときにＥＣＦを追加することで、ＥＣＦの全体の量を一定にすることができる。
【0076】
＜＜ＥＣＦ＞＞
本実施の形態で用いる電界共役流体（Ｅｌｅｃｔｒｏ－Ｃｏｎｊｕｇａｔｅ Ｆｌｕｉｄ（ＥＣＦ））は、印加電圧に応じて電極間に移動流を形成可能な液体である。ここで使用される電界共役流体は、印加電圧に応じて電極間に移動流を形成することができる使用温度において液体の有機化合物であり、この有機化合物は実質的に絶縁性である。より具体的には、特許第３１７９０３５号に詳細に説明されている、ジブチルアジペート、トリアセチン等に代表される、導電率＝４×１０－１０Ｓ／ｍ，粘度＝１×１００Ｐａ・ｓで表される点Ｐ、導電率＝４×１０－１０Ｓ／ｍ，粘度＝１×１０－４Ｐａ・ｓで表される点Ｑ、導電率＝５×１０－６Ｓ／ｍ，粘度＝１×１０－４Ｐａ・ｓで表される点Ｒを頂点とする直角三角形の内部に位置する導電率および粘度を有する化合物、または、該三角形の内部に位置する導電率および粘度を有するように調製された二種類以上の化合物の混合物からなる流体や、特許第３１５７８０４号に詳細に説明されている、エチルパーフルオロブチルエーテル等に代表される、導電率が４×１０－１０～５×１０－６Ｓ／ｍの範囲内にあり、表面張力が２２ｄｙｎ／ｃｍ以下の含フッ素系流体が用いられる。
本実施の形態で用いる電界共役流体（Ｅｌｅｃｔｒｏ－Ｃｏｎｊｕｇａｔｅ Ｆｌｕｉｄ（ＥＣＦ））は、印加電圧に応じて電極間に移動流を形成可能な液体である。ここで使用される電界共役流体は、印加電圧に応じて電極間に移動流を形成することができる使用温度において液体の有機化合物であり、この有機化合物は実質的に絶縁性である。より具体的には、特許第３１７９０３５号に詳細に説明されている、ジブチルアジペート、トリアセチン等に代表される、導電率＝４×１０－１０Ｓ／ｍ，粘度＝１×１００Ｐａ・ｓで表される点Ｐ、導電率＝４×１０－１０Ｓ／ｍ，粘度＝１×１０－４Ｐａ・ｓで表される点Ｑ、導電率＝５×１０－６Ｓ／ｍ，粘度＝１×１０－４Ｐａ・ｓで表される点Ｒを頂点とする直角三角形の内部に位置する導電率および粘度を有する化合物、または、該三角形の内部に位置する導電率および粘度を有するように調製された二種類以上の化合物の混合物からなる流体や、特許第３１５７８０４号に詳細に説明されている、エチルパーフルオロブチルエーテル等に代表される、導電率が４×１０－１０～５×１０－６Ｓ／ｍの範囲内にあり、表面張力が２２ｄｙｎ／ｃｍ以下の含フッ素系流体が用いられる。
【0077】
具体的な代表的ＥＣＦ（電界共役流体）としては、有限会社新技術マネイジメント製のＦＦ-１ＥＨＡ２やＦＦ－３ＥＨＡ２、ＦＦ－８ＥＨＡ２、ＦＦ－１０１ＥＨＡ２、ＦＦ－９０９ＥＨＡ２、ＦＦ－５０５－１２、ＦＦ－５０５－１５等があり、夫々に好適であるが、これらに限定されるものではない。
【0078】
＜＜＜＜発明の実施態様＞＞＞＞
＜＜第１の特徴＞＞
第１の特徴によれば、
ＥＣＦ（Ｅｌｅｃｔｒｏ－Ｃｏｎｊｕｇａｔｅ Ｆｌｕｉｄ）に電圧を印加する（例えば、電源装置２００など）ことで、ＥＣＦを流動させる駆動部のない流体ポンプ（例えば、ＥＣＦポンプ１０、１０（１）、１０（２）、１０（３）など）であって、
正極又は負極のいずれか一方の極性の電源電圧が印加される第１のメッシュ状電極（例えば、メッシュ状電極１００－１など）と、
前記第１のメッシュ状電極から離隔して配置された第２のメッシュ状電極であって、前記第１のメッシュ状電極の極性とは異なる極性の電源電圧が印加される第２のメッシュ状電極（例えば、メッシュ状電極１００－２など）と、
前記第２のメッシュ状電極から離隔しかつ前記第１のメッシュ状電極との間に前記第２のメッシュ状電極を挟んで配置された第３のメッシュ状電極であって、前記第２のメッシュ状電極と同じ極性の電源電圧が印加される第３のメッシュ状電極（例えば、メッシュ状電極１００－３など）と、を備え、
前記第１のメッシュ状電極から前記第２のメッシュ状電極を介して前記第３のメッシュ状電極に向かってＥＣＦを流動させる駆動部のない流体ポンプが提供される。
＜＜第１の特徴＞＞
第１の特徴によれば、
ＥＣＦ（Ｅｌｅｃｔｒｏ－Ｃｏｎｊｕｇａｔｅ Ｆｌｕｉｄ）に電圧を印加する（例えば、電源装置２００など）ことで、ＥＣＦを流動させる駆動部のない流体ポンプ（例えば、ＥＣＦポンプ１０、１０（１）、１０（２）、１０（３）など）であって、
正極又は負極のいずれか一方の極性の電源電圧が印加される第１のメッシュ状電極（例えば、メッシュ状電極１００－１など）と、
前記第１のメッシュ状電極から離隔して配置された第２のメッシュ状電極であって、前記第１のメッシュ状電極の極性とは異なる極性の電源電圧が印加される第２のメッシュ状電極（例えば、メッシュ状電極１００－２など）と、
前記第２のメッシュ状電極から離隔しかつ前記第１のメッシュ状電極との間に前記第２のメッシュ状電極を挟んで配置された第３のメッシュ状電極であって、前記第２のメッシュ状電極と同じ極性の電源電圧が印加される第３のメッシュ状電極（例えば、メッシュ状電極１００－３など）と、を備え、
前記第１のメッシュ状電極から前記第２のメッシュ状電極を介して前記第３のメッシュ状電極に向かってＥＣＦを流動させる駆動部のない流体ポンプが提供される。
【0079】
第１のメッシュ状電極、第２のメッシュ状電極、第３のメッシュ状電極を備えるので、ＥＣＦを流量の多くして出力を高めることができる。
【0080】
＜＜第２の特徴＞＞
第２の特徴は、第１の特徴において、
前記第１のメッシュ状電極は、複数の第１の頂点を有する多角形状を有する複数の第１の単位メッシュ（例えば、単位メッシュ１２０－１など）を有し、
前記第２のメッシュ状電極は、複数の第２の頂点を有する多角形状を有する複数の第２の単位メッシュ（例えば、単位メッシュ１２０－２など）を有し、
ＥＣＦの上下流方向視で、前記複数の第１の頂点のうちの少なくとも一部（例えば、頂部１２２など）が、前記第２の単位メッシュ領域（例えば、開口部１２６など）内に含まれる。
第２の特徴は、第１の特徴において、
前記第１のメッシュ状電極は、複数の第１の頂点を有する多角形状を有する複数の第１の単位メッシュ（例えば、単位メッシュ１２０－１など）を有し、
前記第２のメッシュ状電極は、複数の第２の頂点を有する多角形状を有する複数の第２の単位メッシュ（例えば、単位メッシュ１２０－２など）を有し、
ＥＣＦの上下流方向視で、前記複数の第１の頂点のうちの少なくとも一部（例えば、頂部１２２など）が、前記第２の単位メッシュ領域（例えば、開口部１２６など）内に含まれる。
【0081】
＜＜第３の特徴＞＞
第３の特徴は、第２の特徴において、
前記第３のメッシュ状電極は、複数の第３の頂点を有する多角形状を有する複数の第３の単位メッシュ（例えば、単位メッシュ１２０－３など）を有し、
ＥＣＦの上下流方向視で、前記複数の第２の頂点のうちの少なくとも一部（例えば、頂部１２２など）が、前記第３の頂点（例えば、頂部１２２など）と重なる。
第３の特徴は、第２の特徴において、
前記第３のメッシュ状電極は、複数の第３の頂点を有する多角形状を有する複数の第３の単位メッシュ（例えば、単位メッシュ１２０－３など）を有し、
ＥＣＦの上下流方向視で、前記複数の第２の頂点のうちの少なくとも一部（例えば、頂部１２２など）が、前記第３の頂点（例えば、頂部１２２など）と重なる。
【0082】
＜＜第４の特徴＞＞
第４の特徴は、第２の特徴において、
前記第３のメッシュ状電極は、複数の第３の頂点を有する多角形状を有する複数の第３の単位メッシュ（例えば、単位メッシュ１２０－３など）を有し、
ＥＣＦの上下流方向視で、前記複数の第２の頂点のうちの少なくとも一部（例えば、頂部１２２など）が、前記第３の単位メッシュ領域（例えば、開口部１２６など）内に含まれる。
第４の特徴は、第２の特徴において、
前記第３のメッシュ状電極は、複数の第３の頂点を有する多角形状を有する複数の第３の単位メッシュ（例えば、単位メッシュ１２０－３など）を有し、
ＥＣＦの上下流方向視で、前記複数の第２の頂点のうちの少なくとも一部（例えば、頂部１２２など）が、前記第３の単位メッシュ領域（例えば、開口部１２６など）内に含まれる。
【0083】
＜＜第５の特徴＞＞
第５の特徴は、第１の特徴において、
第１のメッシュ状電極は、複数の第１の頂点を有する多角形状を有する複数の第１の単位メッシュ（例えば、単位メッシュ１２０－１など）を有し、
第２のメッシュ状電極は、複数の第２の頂点を有する多角形状を有する複数の第２の単位メッシュ（例えば、単位メッシュ１２０－２など）を有し、
ＥＣＦの上下流方向視で、前記複数の第１の頂点のうちの少なくとも一部（例えば、頂部１２２など）が、前記第２の頂点（例えば、頂部１２２など）と重なる。
第５の特徴は、第１の特徴において、
第１のメッシュ状電極は、複数の第１の頂点を有する多角形状を有する複数の第１の単位メッシュ（例えば、単位メッシュ１２０－１など）を有し、
第２のメッシュ状電極は、複数の第２の頂点を有する多角形状を有する複数の第２の単位メッシュ（例えば、単位メッシュ１２０－２など）を有し、
ＥＣＦの上下流方向視で、前記複数の第１の頂点のうちの少なくとも一部（例えば、頂部１２２など）が、前記第２の頂点（例えば、頂部１２２など）と重なる。
【0084】
＜＜第６の特徴＞＞
第６の特徴は、第５の特徴において、
前記第３のメッシュ状電極は、複数の第３の頂点を有する多角形状を有する複数の第３の単位メッシュ（例えば、単位メッシュ１２０－３など）を有し、
ＥＣＦの上下流方向視で、前記複数の第２の頂点のうちの少なくとも一部（例えば、頂部１２２など）が、前記第３の頂点（例えば、頂部１２２など）と重なる。
第６の特徴は、第５の特徴において、
前記第３のメッシュ状電極は、複数の第３の頂点を有する多角形状を有する複数の第３の単位メッシュ（例えば、単位メッシュ１２０－３など）を有し、
ＥＣＦの上下流方向視で、前記複数の第２の頂点のうちの少なくとも一部（例えば、頂部１２２など）が、前記第３の頂点（例えば、頂部１２２など）と重なる。
【0085】
＜＜第７の特徴＞＞
第７の特徴は、第１の特徴において、
前記第１のメッシュ状電極と、前記第２のメッシュ状電極と、前記第３のメッシュ状電極とは、第１の電線（例えば、縦方向の導電性細線１１０Ｐなど）と前記第１の電線とは異なる第２の電線（例えば、横方向の導電性細線１１０Ｔなど）とを有し、
前記第１のメッシュ状電極は、複数の第１の頂点（例えば、頂部１２２など）を有する多角形状を有する複数の第１の単位メッシュ（例えば、単位メッシュ１２０－１など）を有し、
前記第２のメッシュ状電極は、複数の第２の頂点（例えば、頂部１２２など）を有する多角形状を有する複数の第２の単位メッシュ（例えば、単位メッシュ１２０－２など）を有し、
前記第３のメッシュ状電極は、複数の第３の頂点（例えば、頂部１２２など）を有する多角形状を有する複数の第３の単位メッシュ（例えば、単位メッシュ１２０－３など）を有し、
前記第１の頂点と、前記第２の頂点と、前記第３の頂点とは、前記第１の電線と前記第２の電線とが、重畳して交差することによって形成された、請求項１に記載のＥＣＦポンプ。
第７の特徴は、第１の特徴において、
前記第１のメッシュ状電極と、前記第２のメッシュ状電極と、前記第３のメッシュ状電極とは、第１の電線（例えば、縦方向の導電性細線１１０Ｐなど）と前記第１の電線とは異なる第２の電線（例えば、横方向の導電性細線１１０Ｔなど）とを有し、
前記第１のメッシュ状電極は、複数の第１の頂点（例えば、頂部１２２など）を有する多角形状を有する複数の第１の単位メッシュ（例えば、単位メッシュ１２０－１など）を有し、
前記第２のメッシュ状電極は、複数の第２の頂点（例えば、頂部１２２など）を有する多角形状を有する複数の第２の単位メッシュ（例えば、単位メッシュ１２０－２など）を有し、
前記第３のメッシュ状電極は、複数の第３の頂点（例えば、頂部１２２など）を有する多角形状を有する複数の第３の単位メッシュ（例えば、単位メッシュ１２０－３など）を有し、
前記第１の頂点と、前記第２の頂点と、前記第３の頂点とは、前記第１の電線と前記第２の電線とが、重畳して交差することによって形成された、請求項１に記載のＥＣＦポンプ。
【0086】
＜＜＜＜実施の形態の範囲＞＞＞＞
上述したように、本実施の形態を記載した。しかし、この開示の一部をなす記載及び図面は、限定するものと理解すべきでない。ここで記載していない様々な実施の形態等が含まれる。
上述したように、本実施の形態を記載した。しかし、この開示の一部をなす記載及び図面は、限定するものと理解すべきでない。ここで記載していない様々な実施の形態等が含まれる。
【符号の説明】
【0087】
１０、１０（１）、１０（２）、１０（３） ＥＣＦポンプ
１００－１、１００－２、１００－３ メッシュ状電極
１２０、１２０－１、１２０－２、１２０－３ 単位メッシュ
１２６ 開口部
１３０ 突出部
２００ 電源装置
１００－１、１００－２、１００－３ メッシュ状電極
１２０、１２０－１、１２０－２、１２０－３ 単位メッシュ
１２６ 開口部
１３０ 突出部
２００ 電源装置
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
