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(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】公開特許公報(A)
(11)【公開番号】P2025008487
(43)【公開日】2025-01-20
(54)【発明の名称】スリットチャンバーおよび微粒化装置
(51)【国際特許分類】
B01F 25/441 20220101AFI20250109BHJP
B01F 23/41 20220101ALI20250109BHJP
B01F 23/57 20220101ALI20250109BHJP
B01F 23/45 20220101ALI20250109BHJP
B01F 35/71 20220101ALI20250109BHJP
【ＦＩ】
B01F25/441
B01F23/41
B01F23/57
B01F23/45
B01F35/71
【審査請求】未請求
【請求項の数】13
【出願形態】ＯＬ
(21)【出願番号】P 2023110703
(22)【出願日】2023-07-05
(71)【出願人】
【識別番号】000132161
【氏名又は名称】株式会社スギノマシン
(74)【代理人】
【識別番号】110001807
【氏名又は名称】弁理士法人磯野国際特許商標事務所
(72)【発明者】
【氏名】常本 真嗣
(72)【発明者】
【氏名】森岡 勇樹
【テーマコード（参考）】
4G035
4G037
【Ｆターム（参考）】
4G035AB37
4G035AB40
4G035AB44
4G035AC26
4G035AE13
4G035AE17
4G037AA02
4G037DA12
4G037EA01
(57)【要約】
【課題】。原料の投入量が増加した場合にも大流量の原料を処理することができ、コンパクトかつ原料漏れを抑制できるスリットチャンバーおよび微粒化装置を提供する。
【解決手段】本発明のスリットチャンＭを通過させる上流ノズル導水部６ｃ有する上流ノズル６と、上流ノズル６よりも下流側に配置され原料Ｍを処理する中流ノズル用微粒化流路７ｅを有する中流ノズル７と、中流ノズル７よりも下流側に配置され中流ノズル７で処理しきれない原料Ｍを処理する下流ノズル用微粒化流路８ｄを有する下流ノズル８とを備えている。
【選択図】図４
【解決手段】本発明のスリットチャンＭを通過させる上流ノズル導水部６ｃ有する上流ノズル６と、上流ノズル６よりも下流側に配置され原料Ｍを処理する中流ノズル用微粒化流路７ｅを有する中流ノズル７と、中流ノズル７よりも下流側に配置され中流ノズル７で処理しきれない原料Ｍを処理する下流ノズル用微粒化流路８ｄを有する下流ノズル８とを備えている。
【選択図】図４
【特許請求の範囲】
【請求項1】
原料が導入される導水ノズルと、
前記導水ノズルの下流側に配置されるとともに、前記原料を通過させる上流ノズル導水部を有する上流ノズルと、
前記上流ノズルよりも下流側に配置されるとともに、前記原料を微粒化する中流ノズル用微粒化流路を有する中流ノズルと、
前記中流ノズルよりも下流側に配置されるとともに、前記中流ノズルを流れた前記原料を微粒化する下流ノズル用微粒化流路を有する下流ノズルとを備えていることを特徴とするスリットチャンバー。
前記導水ノズルの下流側に配置されるとともに、前記原料を通過させる上流ノズル導水部を有する上流ノズルと、
前記上流ノズルよりも下流側に配置されるとともに、前記原料を微粒化する中流ノズル用微粒化流路を有する中流ノズルと、
前記中流ノズルよりも下流側に配置されるとともに、前記中流ノズルを流れた前記原料を微粒化する下流ノズル用微粒化流路を有する下流ノズルとを備えていることを特徴とするスリットチャンバー。
【請求項2】
請求項１に記載のスリットチャンバーにおいて、
前記中流ノズル用微粒化流路および前記下流ノズル用微粒化流路の少なくとも一方にテーパ部を有していることを特徴とするスリットチャンバー。
前記中流ノズル用微粒化流路および前記下流ノズル用微粒化流路の少なくとも一方にテーパ部を有していることを特徴とするスリットチャンバー。
【請求項3】
請求項１または２に記載のスリットチャンバーにおいて、
前記中流ノズル用微粒化流路で微粒化された前記原料を下流に流す中流ノズル用貫通孔と、
前記下流ノズル用微粒化流路で微粒化された前記原料を下流に流す下流ノズル用貫通孔とを有していることを特徴とするスリットチャンバー。
前記中流ノズル用微粒化流路で微粒化された前記原料を下流に流す中流ノズル用貫通孔と、
前記下流ノズル用微粒化流路で微粒化された前記原料を下流に流す下流ノズル用貫通孔とを有していることを特徴とするスリットチャンバー。
【請求項4】
請求項３に記載のスリットチャンバーにおいて、
前記中流ノズル用貫通孔の内面に貫通孔テーパ部を有していることを特徴とする請求項３記載のスリットチャンバー。
前記中流ノズル用貫通孔の内面に貫通孔テーパ部を有していることを特徴とする請求項３記載のスリットチャンバー。
【請求項5】
請求項１に記載のスリットチャンバーにおいて、
前記中流ノズルは、直列に複数配置されていることを特徴とするスリットチャンバー。
前記中流ノズルは、直列に複数配置されていることを特徴とするスリットチャンバー。
【請求項6】
請求項１に記載のスリットチャンバーにおいて、
前記中流ノズル用微粒化流路または前記下流ノズル用微粒化流路の少なくとも何れかは、複数形成されるとともに、放射状に配置されていることを特徴とするスリットチャンバー。
前記中流ノズル用微粒化流路または前記下流ノズル用微粒化流路の少なくとも何れかは、複数形成されるとともに、放射状に配置されていることを特徴とするスリットチャンバー。
【請求項7】
請求項１に記載のスリットチャンバーにおいて、
前記中流ノズル用微粒化流路または前記下流ノズル用微粒化流路の少なくとも何れかは、断面積が次第に小さくなることを特徴とするスリットチャンバー。
前記中流ノズル用微粒化流路または前記下流ノズル用微粒化流路の少なくとも何れかは、断面積が次第に小さくなることを特徴とするスリットチャンバー。
【請求項8】
請求項１記載のスリットチャンバーにおいて、
前記中流ノズル用微粒化流路または前記下流ノズル用微粒化流路の少なくとも何れかは、一方端部の入口部が凹状または凸状の曲率を有して形成されていることを特徴とするスリットチャンバー。
前記中流ノズル用微粒化流路または前記下流ノズル用微粒化流路の少なくとも何れかは、一方端部の入口部が凹状または凸状の曲率を有して形成されていることを特徴とするスリットチャンバー。
【請求項9】
請求項１に記載のスリットチャンバーにおいて、
前記中流ノズルは、前記原料が入る中流ノズル用溝部と、
漏れた前記原料が流入する排出孔とを有していることを特徴とするスリットチャンバー。
前記中流ノズルは、前記原料が入る中流ノズル用溝部と、
漏れた前記原料が流入する排出孔とを有していることを特徴とするスリットチャンバー。
【請求項10】
請求項１に記載のスリットチャンバーにおいて、
前記上流ノズル、前記中流ノズル、および前記下流ノズルを締結する締付具を有していることを特徴とするスリットチャンバー。
前記上流ノズル、前記中流ノズル、および前記下流ノズルを締結する締付具を有していることを特徴とするスリットチャンバー。
【請求項11】
請求項１に記載のスリットチャンバーにおいて、
前記上流ノズルと中流ノズルとの間、または、中流ノズルと下流ノズルとの間に配置されるシール部を有していることを特徴とするスリットチャンバー。
前記上流ノズルと中流ノズルとの間、または、中流ノズルと下流ノズルとの間に配置されるシール部を有していることを特徴とするスリットチャンバー。
【請求項12】
請求項１に記載のスリットチャンバーにおいて、
前記中流ノズルは、複数の中流ノズルで形成され、
前記複数の中流ノズルの間に、シール部を有していることを特徴とするスリットチャンバー。
前記中流ノズルは、複数の中流ノズルで形成され、
前記複数の中流ノズルの間に、シール部を有していることを特徴とするスリットチャンバー。
【請求項13】
前記原料を貯留する原料タンクと、
前記原料タンクの前記原料を圧送する給液ポンプと、
前記給液ポンプから圧送される前記原料を加圧する増圧機と、
請求項１または請求項２に記載のスリットチャンバーとを備えていることを特徴とする微粒化装置。
前記原料タンクの前記原料を圧送する給液ポンプと、
前記給液ポンプから圧送される前記原料を加圧する増圧機と、
請求項１または請求項２に記載のスリットチャンバーとを備えていることを特徴とする微粒化装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、スリットチャンバーおよび微粒化装置に関する。
【背景技術】
【0002】
従来、ボールミル、コロイドミル、分散機、ホモジナイザー、微粒化装置等が、微粒化装置として用いられている。
原料の特性や付与する性能を調整するために、微粒化装置は、ノズルを有するチャンバーを備えている。先行技術文献によれば、スリットチャンバーと呼ばれるノズルやライナーの構造が開示されている。
原料の特性や付与する性能を調整するために、微粒化装置は、ノズルを有するチャンバーを備えている。先行技術文献によれば、スリットチャンバーと呼ばれるノズルやライナーの構造が開示されている。
【0003】
例えば、特許文献１や特許文献２に開示される乳化装置では、硬質のプレート材からなる２枚のライナー部材によって、流路を閉塞している。流入側に配設された第１のライナー部材には、板面中心に対して対称位置に、２つの第１の透孔が貫通して形成されている。ノズルから噴出された各混合液は、２つの第１の透孔を通過可能である。第１のライナー部材の一方の板面には、透孔の端部を連通させる溝部が形成されている。第２のライナー部材は、第１のライナー部材に密着して、流出側に配設される。第１のライナー部材との密着対向面には、第１の溝部と直交する第２の溝部が形成される。第２の溝部の両外方端には、排出用の２つの第２の透孔が貫通形成される。混合液が第１、第２のライナー部材を通過する間に、乳化を行う。
【0004】
また、特許文献３には、スリットチャンバーが開示されている。スリットチャンバーを構成する複数のノズルに対して、特定の部位に応力を集中させないように、上流ノズルと下流ノズルに形成する孔や溝等を工夫している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0005】
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0006】
ところで、従来の乳化装置では、時間当たりの処理量を増加させようとすると、スリットチャンバーの数を増やす、各種ノズルを大型化する、流路の増加または流路径の拡大等を施すといったノズル構造の改良が必要になる。しかし、チャンバーを複数並列配置する場合は、スペースの確保が必要となる。また、過度なノズルの大型化を招いてしまう可能性もあった。
【0007】
また、ノズルの数を増やした場合は、各ノズルの隙間が増え、原料の漏れが発生してしまう可能性がある。さらに、処理量が多くなったとしても、処理性能が落ちれば、大型化の効果が半減する。そのため、単にノズルの数を増やすだけでなく、処理性能を維持または向上することが求められている。
【0008】
本発明は上記実状に鑑み創案されたものであり、原料の投入量が増加した場合にも大流量の原料を処理することができ、コンパクトかつ原料漏れを抑制できるスリットチャンバーおよび微粒化装置の提供を目的とする。
【課題を解決するための手段】
【0009】
前記課題を解決するため、本発明のスリットチャンバーは、原料が導入される導水ノズルと、前記導水ノズルの下流側に配置されるとともに、前記原料を通過させる上流ノズル導水部を有する上流ノズルと、前記上流ノズルよりも下流側に配置されるとともに、前記原料を微粒化する中流ノズル用微粒化流路を有する中流ノズルと、前記中流ノズルよりも下流側に配置されるとともに、前記中流ノズルを流れた前記原料を微粒化する下流ノズル用微粒化流路を有する下流ノズルとを備えている。
【発明の効果】
【0010】
本発明によれば、原料の投入量が増加した場合にも大流量の原料を処理することができ、コンパクトかつ原料漏れを抑制できるスリットチャンバーおよび微粒化装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【0011】
【図1】本発明に係る実施形態の微粒化装置の構成の模式的断面図。
【図2】本発明に係る実施形態のスリットチャンバーの断面図。
【図4】実施形態のスリットチャンバー１の主要部の拡大断面図。
【図5】他例のスリットチャンバーの主要部の拡大断面図。
【図6A】他例のスリットチャンバーの原料の流れの模式的断面図。
【図6B】実施形態のスリットチャンバー１の原料の流れの模式的断面図。
【図7】実施形態の変形例のスリットチャンバーの主要部の拡大断面図。
【図8】変形形態１のスリットチャンバーの断面図。
【図9A】変形形態２の中流ノズル用微粒化流路テーパ部を示す図。
【図9B】変形形態２の下流ノズル用微粒化流路テーパ部を示す図。
【発明を実施するための形態】
【0012】
以下、本発明の実施形態について、適宜図面を参照しながら詳細に説明する。
本発明は、原料スラリーを微粒化処理するためのスリットチャンバーおよび微粒化装置に関する発明である。
本発明は、原料スラリーを微粒化処理するためのスリットチャンバーおよび微粒化装置に関する発明である。
【0013】
＜＜実施形態＞＞
以下、実施形態の微粒化装置１００および微粒化装置１００に用いられるスリットチャンバー１について、適宜図面を参照しながら説明する。
以下、実施形態の微粒化装置１００および微粒化装置１００に用いられるスリットチャンバー１について、適宜図面を参照しながら説明する。
【0014】
＜微粒化装置１００＞
図１に、本発明に係る実施形態の微粒化装置１００の構成の模式的断面図を示す。
実施形態の微粒化装置１００は、原料タンク１０１と、給液ポンプ１０２と、増圧機１０３と、スリットチャンバー１とを具備している。スリットチャンバー１は、加圧されたスラリー状の原料Ｍを微粒化する装置である。スリットチャンバー１は、略円柱状等の柱形状を有している。なお、スリットチャンバー１の外形状は、略多角柱形状でもよく限定されない。
図１に、本発明に係る実施形態の微粒化装置１００の構成の模式的断面図を示す。
実施形態の微粒化装置１００は、原料タンク１０１と、給液ポンプ１０２と、増圧機１０３と、スリットチャンバー１とを具備している。スリットチャンバー１は、加圧されたスラリー状の原料Ｍを微粒化する装置である。スリットチャンバー１は、略円柱状等の柱形状を有している。なお、スリットチャンバー１の外形状は、略多角柱形状でもよく限定されない。
【0015】
原料タンク１０１には、スラリー状の原料Ｍが貯留されている。給液ポンプ１０２は、原料タンク１０１のスラリー状の原料Ｍを増圧機１０３に向けて圧送する。
増圧機１０３は、給液ポンプ１０２から圧送されるスラリー状の原料Ｍを加圧し、スリットチャンバー１に送る。
スリットチャンバー１は、加圧されたスラリー状の原料Ｍに対して、乳化処理を含む微粒化処理を行う。
増圧機１０３は、給液ポンプ１０２から圧送されるスラリー状の原料Ｍを加圧し、スリットチャンバー１に送る。
スリットチャンバー１は、加圧されたスラリー状の原料Ｍに対して、乳化処理を含む微粒化処理を行う。
【0016】
微粒化装置１００には、スラリー状の原料Ｍが送られる高圧配管や高圧ホース等が接続される。
【0017】
次に、本実施形態の微粒化装置１００における処理手順について説明する。
まず、原料タンク１０１内に微粒化対象となる原料Ｍを投入し、スラリー状に調整する。次に、原料タンク１０１内のスラリー状の原料Ｍが、給液ポンプ１０２によって、増圧機１０３の増圧室１０３ｚ内に圧送される。圧送されたスラリー状の原料Ｍは、増圧機１０３のピストン１０３ｐの往復動作(図１の矢印α１１)によって加圧される。
まず、原料タンク１０１内に微粒化対象となる原料Ｍを投入し、スラリー状に調整する。次に、原料タンク１０１内のスラリー状の原料Ｍが、給液ポンプ１０２によって、増圧機１０３の増圧室１０３ｚ内に圧送される。圧送されたスラリー状の原料Ｍは、増圧機１０３のピストン１０３ｐの往復動作(図１の矢印α１１)によって加圧される。
【0018】
図２に、本発明に係る実施形態のスリットチャンバー１の断面図を示す。
図３Ａに、図２のＩ－Ｉ断面である上流ノズル６の正面図を示す。
図３Ｂに、図２のII－II断面である中間ノズル７の正面図を示す。
図３Ｃに、図２のIII－III断面である下流ノズル８の正面図を示す。
図３Ａに、図２のＩ－Ｉ断面である上流ノズル６の正面図を示す。
図３Ｂに、図２のII－II断面である中間ノズル７の正面図を示す。
図３Ｃに、図２のIII－III断面である下流ノズル８の正面図を示す。
【0019】
スリットチャンバー１の先端部に第１の先端部２ａが配置され、高圧配管や高圧ホース等が接続される。増圧機１０３で加圧されたスラリー状の原料Ｍは、高圧配管や高圧ホース等を介してスリットチャンバー１に供給される。
【0020】
スリットチャンバー１の第1の先端部２ａに供給されたスラリー状の原料Ｍは、導水ノズル５内側の流路を通り、上流ノズル６の上流ノズル導水部６ｃに入る。その後、スラリー状の原料Ｍは、上流ノズル導水部６ｃを通過しながら中流ノズル７に入っていく。原料Ｍは、中流ノズル用微粒化流路７ｅで縮径される。これにより、原料Ｍは、せん断応力および衝突力が得られ、微粒化される。
また、中流ノズル７で処理しきれない原料Ｍは、中流ノズル導水部７ｃから下流ノズル８の端面に衝突し、直角状に軌道を変えて下流ノズル用微粒化流路８ｄで縮径される。これにより、原料Ｍは、せん断応力および衝突力が得られ、微粒化される。なお、衝突力には、原料Ｍ同士の衝突力という意味合いだけでなく、原料Ｍが流路（７ｅ、８ｄ）表面に衝突する衝突力という意味合いも含む。
また、中流ノズル７で処理しきれない原料Ｍは、中流ノズル導水部７ｃから下流ノズル８の端面に衝突し、直角状に軌道を変えて下流ノズル用微粒化流路８ｄで縮径される。これにより、原料Ｍは、せん断応力および衝突力が得られ、微粒化される。なお、衝突力には、原料Ｍ同士の衝突力という意味合いだけでなく、原料Ｍが流路（７ｅ、８ｄ）表面に衝突する衝突力という意味合いも含む。
【0021】
中流ノズル７および下流ノズル８で微粒化処理された原料Ｍは、中流ノズル用貫通孔７ｆと下流ノズル用貫通孔８ｅを介して、合流口９から噴射される。なお、微粒化処理は１回だけでなく、複数回繰り返してもよい。
【0022】
＜スリットチャンバー１の構成＞
図２に示すスリットチャンバー１では、スラリー状の原料Ｍが、入口側（ＩＮ）から出口側（ＯＵＴ）に向かって供給される。スリットチャンバー１は、第１のチャンバー内側部材２と、第２のチャンバー内側部材３と、チャンバー外側部材４とを具備している。
第１のチャンバー内側部材２は、一方の端部をなす筒形状の第１の先端部２ａと、他方の端部をなす筒形状の周縁部２ｂおよび窪み部２ｃと、柱形状の中央部２ｅとを有している。つまり、第１のチャンバー内側部材２は、後端部（下流側の端部）に、穴状の窪み部２ｃとフランジ状の周縁部２ｂとを有している。窪み部２ｃは、円筒形状であり、中央部２ｅの下流側に形成される。フランジ状の周縁部２ｂは、窪み部２ｃの外側に形成されている。中央部２ｅの中心には、原料Ｍが流れる貫通孔２ｅ１が形成されている。
図２に示すスリットチャンバー１では、スラリー状の原料Ｍが、入口側（ＩＮ）から出口側（ＯＵＴ）に向かって供給される。スリットチャンバー１は、第１のチャンバー内側部材２と、第２のチャンバー内側部材３と、チャンバー外側部材４とを具備している。
第１のチャンバー内側部材２は、一方の端部をなす筒形状の第１の先端部２ａと、他方の端部をなす筒形状の周縁部２ｂおよび窪み部２ｃと、柱形状の中央部２ｅとを有している。つまり、第１のチャンバー内側部材２は、後端部（下流側の端部）に、穴状の窪み部２ｃとフランジ状の周縁部２ｂとを有している。窪み部２ｃは、円筒形状であり、中央部２ｅの下流側に形成される。フランジ状の周縁部２ｂは、窪み部２ｃの外側に形成されている。中央部２ｅの中心には、原料Ｍが流れる貫通孔２ｅ１が形成されている。
【0023】
前記したように、増圧機１０３で加圧されたスラリー状の原料Ｍは、図２に示すスリットチャンバー１における第１のチャンバー内側部材２に導入される。
これにより、第１の先端部２ａからスラリー状の原料Ｍが中央部２ｅの貫通孔２ｅ１に取り込まれる。なお、第１の先端部２ａは、微粒化装置１００の一部に連結しやすい形状であればよい。第１の先端部２ａは、例えば、円筒形状、断面多角形の筒状である。また、第１の先端部２ａを微粒化装置１００の一部に、高圧配管や高圧ホース等が連結しやすいように、ワンタッチ式の固定具を配置してもよい。
これにより、第１の先端部２ａからスラリー状の原料Ｍが中央部２ｅの貫通孔２ｅ１に取り込まれる。なお、第１の先端部２ａは、微粒化装置１００の一部に連結しやすい形状であればよい。第１の先端部２ａは、例えば、円筒形状、断面多角形の筒状である。また、第１の先端部２ａを微粒化装置１００の一部に、高圧配管や高圧ホース等が連結しやすいように、ワンタッチ式の固定具を配置してもよい。
【0024】
第１のチャンバー内側部材２の後端部（下流側の端部）には、第２のチャンバー内側部材３が連結される。
第２のチャンバー内側部材３には、一方側の穴部３ａ１(図２参照)と他方側の穴部３ａ２(図２参照)とが形成されている。一方側の穴部３ａ１には、略柱形状のノズル(５、６、７、８)が入る。ノズル(５、６、７、８)は原料Ｍを微粒化する機能をもつ。
第１のチャンバー内側部材２と第２のチャンバー内側部材３とは、嵌入や圧入等で連結されている。第１のチャンバー内側部材２と第２のチャンバー内側部材３との外側には、チャンバー外側部材４が配置されている。
第２のチャンバー内側部材３には、一方側の穴部３ａ１(図２参照)と他方側の穴部３ａ２(図２参照)とが形成されている。一方側の穴部３ａ１には、略柱形状のノズル(５、６、７、８)が入る。ノズル(５、６、７、８)は原料Ｍを微粒化する機能をもつ。
第１のチャンバー内側部材２と第２のチャンバー内側部材３とは、嵌入や圧入等で連結されている。第１のチャンバー内側部材２と第２のチャンバー内側部材３との外側には、チャンバー外側部材４が配置されている。
【0025】
図２に示すように、第２のチャンバー内側部材３の穴部３ａ１には、導水ノズル５と、上流ノズル６と、中流ノズル７と、下流ノズル８とが設けられている。導水ノズル５の一方側の円錐台部５ｄは、第１のチャンバー内側部材２と密接されている。そして、導水ノズル５の下流側には、順に上流ノズル６、中流ノズル７および下流ノズル８が設けられている。
【0026】
図２に示すように、第２のチャンバー内側部材３のノズル(５、６、７、８)の後方には、中径の噴射液の合流口９と、小径の合流口９ｏと、合流口９より大径の穴部３ａ２とが配置されている。
【0027】
筒状のチャンバー外側部材４は、内側に円筒段状の係合部４ａを有している。第１のチャンバー内側部材２のフランジ状の周縁部２ｂは、係合部４ａと係合する。チャンバー外側部材４と第１のチャンバー内側部材２との係合によって、第１のチャンバー内側部材２と、各種ノズルの導水ノズル５、上流ノズル６、中流ノズル７、下流ノズル８と、第２のチャンバー内側部材３との位置決めの基準面が設定される。
【0028】
第１のチャンバー内側部材２の窪み部２ｃは、導水ノズル５を収容できるだけの深さを有する。第２のチャンバー内側部材３は、筒状の第２の先端部３ａを有する。窪み部２ｃは、第２の先端部３ａの外周面に接した状態で、強度や構造上の安定性を確保できればよい。
第１のチャンバー内側部材２の周縁部２ｂは、第１のチャンバー内側部材２とチャンバー外側部材４を安定して係合できればよい。
第１のチャンバー内側部材２の周縁部２ｂと、チャンバー外側部材４の係合部４ａとは、互いに当接することから、剛性や硬度の高い材質で形成してもよい。また、これらの周縁部２ｂや係合部４ａに、剛性や硬度の高い材質でのコーティングを施してもよい。周縁部２ｂや係合部４ａは、互いに係合可能な幅や大きさを有している。また、第１のチャンバー内側部材２とチャンバー外側部材４との係合は、樹脂製部品を介して、行ってもよい。
第１のチャンバー内側部材２の周縁部２ｂは、第１のチャンバー内側部材２とチャンバー外側部材４を安定して係合できればよい。
第１のチャンバー内側部材２の周縁部２ｂと、チャンバー外側部材４の係合部４ａとは、互いに当接することから、剛性や硬度の高い材質で形成してもよい。また、これらの周縁部２ｂや係合部４ａに、剛性や硬度の高い材質でのコーティングを施してもよい。周縁部２ｂや係合部４ａは、互いに係合可能な幅や大きさを有している。また、第１のチャンバー内側部材２とチャンバー外側部材４との係合は、樹脂製部品を介して、行ってもよい。
【0029】
図２に示す第２のチャンバー内側部材３は、筒状の第２の先端部３ａを有する。第２の先端部３ａは、筒形状であり、上流側に形成されている。第２のチャンバー内側部材３の第２の先端部３ａは、第１のチャンバー内側部材２の窪み部２ｃに接合される。
これによって、第１のチャンバー内側部材２内に形成される流路から、スラリー状の原料Ｍが各種ノズルの導水ノズル５、上流ノズル６、中流ノズル７、下流ノズル８に供給される。
これによって、第１のチャンバー内側部材２内に形成される流路から、スラリー状の原料Ｍが各種ノズルの導水ノズル５、上流ノズル６、中流ノズル７、下流ノズル８に供給される。
【0030】
図２に示すチャンバー外側部材４の内側には、前記したように、第１のチャンバー内側部材２および第２のチャンバー内側部材３が配置される。チャンバー外側部材４は、第１のチャンバー内側部材２および第２のチャンバー内側部材３の位置を固定する。スリットチャンバー１の全体に対して、チャンバー外側部材４が締付力を与えることによって、スラリー状の原料Ｍが通過するための流路の位置が安定化する。
【0031】
図４に、実施形態のスリットチャンバー１の主要部の拡大断面図を示す。
図４に示すように、導水ノズル５は、各種ノズルである上流ノズル６、中流ノズル７、下流ノズル８の位置を安定させた状態で、第１のチャンバー内側部材２と第２のチャンバー内側部材３との締付位置を調整する。
図４に示すように、導水ノズル５は、各種ノズルである上流ノズル６、中流ノズル７、下流ノズル８の位置を安定させた状態で、第１のチャンバー内側部材２と第２のチャンバー内側部材３との締付位置を調整する。
【0032】
＜導水ノズル５＞
図４に示す導水ノズル５は、上流側に円錐形状のテーパ凸部５ａを有している。第１のチャンバー内側部材２は、下流側に円錐穴形状のテーパ凹部２ｄを有している。テーパ凸部５ａとテーパ凹部２ｄとは、面接触して密封するように、配置される。
図４に示す導水ノズル５は、上流側に円錐形状のテーパ凸部５ａを有している。第１のチャンバー内側部材２は、下流側に円錐穴形状のテーパ凹部２ｄを有している。テーパ凸部５ａとテーパ凹部２ｄとは、面接触して密封するように、配置される。
【0033】
導水ノズル５は、下流側の外周に導水ノズル周縁部５ｂを有する。導水ノズル周縁部５ｂは、第２の先端部３ａの穴部３ａ１の内径と同等の外径を有している。これにより、導水ノズル５は、第２の先端部３ａに嵌合し、全周方向のブレが抑制される。なお、導水ノズル周縁部５ｂの表面に、コーティング等を施すことによって、第２の先端部３ａの穴部３ａ１との接触による損傷等を防止してもよい。
【0034】
導水ノズル５は、変形例として、例えば、内側部材と外側部材に分割した構造とすることもできる。一例として、導水ノズル５の内側部材（不図示）は、導水ノズル外側部材（不図示）の内側に配置されている。例えば、導水ノズル５の内側部材は、原料処理に耐えるために、導水ノズル外側部材よりも硬度が高い材質で形成される。
【0035】
導水ノズル５は、上流ノズル６の上流ノズル導水部６ｃ(図３Ａ参照)に連通する流路５ｒ(図４参照)を内側に有している。流路５ｒは、ストレート形状のほか、縮径形状等でもよい。流路５ｒの形状は、上流ノズル導水部６ｃの形状や通過させる原料Ｍの量に応じて、任意に設定できる。
【0036】
＜上流ノズル６＞
図２に示すように、上流ノズル６は、第２のチャンバー内側部材３の内側で、導水ノズル５の下流側に配置される。上流ノズル６は、円柱形状の上流ノズル内側部材６ａと、円環形状の上流ノズル外側部材６ｂとを有している。上流ノズル内側部材６ａは、上流ノズル外側部材６ｂの内側に配置される。上流ノズル内側部材６ａは、原料処理に耐えるために、上流ノズル外側部材６ｂよりも硬度が高い材質で形成されている。
図２に示すように、上流ノズル６は、第２のチャンバー内側部材３の内側で、導水ノズル５の下流側に配置される。上流ノズル６は、円柱形状の上流ノズル内側部材６ａと、円環形状の上流ノズル外側部材６ｂとを有している。上流ノズル内側部材６ａは、上流ノズル外側部材６ｂの内側に配置される。上流ノズル内側部材６ａは、原料処理に耐えるために、上流ノズル外側部材６ｂよりも硬度が高い材質で形成されている。
【0037】
図３Ａ、図４に示す上流ノズル内側部材６ａは、貫通孔からなる上流ノズル導水部６ｃ(図３Ａ)を複数有している。上流ノズル導水部６ｃは、原料Ｍを下流の中流ノズル７(図４参照)に供給するためのものであり、周方向に間隔をあけて複数配置されている。上流ノズル導水部６ｃが複数配置されることで、原料Ｍを多方向から下流の中流ノズル７（図４参照）に向けて均等に供給することができる。
【0038】
図３Ａに示す上流ノズル導水部６ｃは、断面円形の貫通孔または断面長穴状の貫通孔であることが好ましい。貫通孔の内径寸法、長さ寸法およびその個数は適宜設定できる。
【0039】
図４に示すように、中流ノズル７は、第２のチャンバー内側部材３の内側で、上流ノズル６の下流側に配置されている。
図３Ｂに示す中流ノズル７は、円柱形状の中流ノズル内側部材７ａと、円環形状の中流ノズル外側部材７ｂとを有している。中流ノズル内側部材７ａは、中流ノズル外側部材７ｂの内側に配置されている。中流ノズル内側部材７ａは、原料が直接当たる構成であるので原料処理に耐えるために、中流ノズル外側部材７ｂよりも硬度が高い材質で形成されている。
図３Ｂに示す中流ノズル７は、円柱形状の中流ノズル内側部材７ａと、円環形状の中流ノズル外側部材７ｂとを有している。中流ノズル内側部材７ａは、中流ノズル外側部材７ｂの内側に配置されている。中流ノズル内側部材７ａは、原料が直接当たる構成であるので原料処理に耐えるために、中流ノズル外側部材７ｂよりも硬度が高い材質で形成されている。
【0040】
中流ノズル内側部材７ａは、断面円形の貫通孔からなる中流ノズル導水部７ｃを複数有している。中流ノズル導水部７ｃは、周方向に間隔をあけて複数配置されることで、原料Ｍを多方向から中流ノズル内側部材７ａ内に供給することができる。例えば、図３Ｂに示すように、中流ノズル用微粒化流路７ｅは、放射状に形成されることで、多方向から均等に原料Ｍを中流ノズル内側部材７ａ内に供給することができる。
図２、図４に示す中流ノズル用微粒化流路７ｅと中流ノズル導水部７ｃの外側には中流環状溝７ｍが形成されている。
図２、図４に示す中流ノズル用微粒化流路７ｅと中流ノズル導水部７ｃの外側には中流環状溝７ｍが形成されている。
【0041】
図４に示すように、上流ノズル６と中流ノズル７が連結した状態とすることで、上流ノズル導水部６ｃと中流ノズル導水部７ｃとは連通した導水部となり、原料Ｍを上流ノズル６と中流ノズル７とに通過させる。
【0042】
図３Ｂに示す中流ノズル導水部７ｃは、正面視で円形状または長穴状（縦長の長穴形状）の貫通孔であることが好ましい。貫通孔の内径寸法や長さ寸法、その数は適宜設定できる。また、中流ノズル導水部７ｃは、図４に示すストレート形状の貫通孔のほか、テーパ形状をもつ貫通孔等を設定できる。
【0043】
図３Ｂ、図４に示すように、中流ノズル内側部材７ａは、中流ノズル用微粒化流路７ｅと、中流ノズル用貫通孔７ｆとを有している。中流ノズル用貫通孔７ｆは、微粒化処理後の原料Ｍを排出するための孔である。
放射状に延びる中流ノズル用微粒化流路７ｅは、原料Ｍを微粒化するための通路である。中流ノズル用微粒化流路７ｅは、横断面が矩形等の切り込み形状であり、単数または複数形成されている。
本実施形態では、周方向に間隔をあけて複数の中流ノズル用微粒化流路７ｅが形成されている。上流ノズル導水部６ｃから流出した原料Ｍは、中流ノズル用微粒化流路７ｅに流入する。中流ノズル用微粒化流路７ｅの数は、中流ノズル導水部７ｃの数よりも多い。
上流ノズル導水部６ｃからの原料Ｍの一部は、中流ノズル用微粒化流路７ｅ(図３Ｂ参照)を通過することで壁面に衝突等して、微粒化される。さらに、中流ノズル導水部７ｃを通過した原料Ｍの一部は、下流ノズル８に流れる。
図４に示すように、中流ノズル用微粒化流路７ｅで微粒化された原料Ｍは、中流ノズル用貫通孔７ｆから下流ノズル用貫通孔８ｅに供給され、出口側の合流口９に送り出される。
放射状に延びる中流ノズル用微粒化流路７ｅは、原料Ｍを微粒化するための通路である。中流ノズル用微粒化流路７ｅは、横断面が矩形等の切り込み形状であり、単数または複数形成されている。
本実施形態では、周方向に間隔をあけて複数の中流ノズル用微粒化流路７ｅが形成されている。上流ノズル導水部６ｃから流出した原料Ｍは、中流ノズル用微粒化流路７ｅに流入する。中流ノズル用微粒化流路７ｅの数は、中流ノズル導水部７ｃの数よりも多い。
上流ノズル導水部６ｃからの原料Ｍの一部は、中流ノズル用微粒化流路７ｅ(図３Ｂ参照)を通過することで壁面に衝突等して、微粒化される。さらに、中流ノズル導水部７ｃを通過した原料Ｍの一部は、下流ノズル８に流れる。
図４に示すように、中流ノズル用微粒化流路７ｅで微粒化された原料Ｍは、中流ノズル用貫通孔７ｆから下流ノズル用貫通孔８ｅに供給され、出口側の合流口９に送り出される。
【0044】
図４に示すように、下流ノズル８は、第２のチャンバー内側部材３の内側で、中流ノズル７の下流側に配置されている。
図３Ｃ、図４に示すように、下流ノズル８は、柱状の下流ノズル内側部材８ａと、円環形状の下流ノズル外側部材８ｂとを有している。下流ノズル内側部材８ａは、下流ノズル外側部材８ｂの内側に配置されている。下流ノズル内側部材８ａは、原料Ｍが直接当たる構成であるので原料処理に耐えるために、下流ノズル外側部材８ｂよりも硬度が高い材質で形成するのが好ましい。
図３Ｃ、図４に示すように、下流ノズル８は、柱状の下流ノズル内側部材８ａと、円環形状の下流ノズル外側部材８ｂとを有している。下流ノズル内側部材８ａは、下流ノズル外側部材８ｂの内側に配置されている。下流ノズル内側部材８ａは、原料Ｍが直接当たる構成であるので原料処理に耐えるために、下流ノズル外側部材８ｂよりも硬度が高い材質で形成するのが好ましい。
【0045】
図３Ｃに示す下流ノズル内側部材８ａには、放射状に延びる下流ノズル用微粒化流路８ｄと、下流ノズル用貫通孔８ｅとを有している。
下流ノズル用微粒化流路８ｄは、切り込み形状を有しており、原料Ｍを微粒化するための通路である。
下流ノズル用貫通孔８ｅは、下流ノズル用微粒化流路８ｄで微粒化した原料Ｍを合流口９に向けて流す流路である。
本実施形態では、周方向に間隔をあけて複数の下流ノズル用微粒化流路８ｄが形成されている。
また、下流ノズル用貫通孔８ｅの外側には下流環状溝８ｍが形成されている。
中流ノズル導水部７ｃから流出した原料Ｍは、下流ノズル用微粒化流路８ｄに流入する。
下流ノズル用微粒化流路８ｄは、切り込み形状を有しており、原料Ｍを微粒化するための通路である。
下流ノズル用貫通孔８ｅは、下流ノズル用微粒化流路８ｄで微粒化した原料Ｍを合流口９に向けて流す流路である。
本実施形態では、周方向に間隔をあけて複数の下流ノズル用微粒化流路８ｄが形成されている。
また、下流ノズル用貫通孔８ｅの外側には下流環状溝８ｍが形成されている。
中流ノズル導水部７ｃから流出した原料Ｍは、下流ノズル用微粒化流路８ｄに流入する。
【0046】
図４に示す導水ノズル５、上流ノズル６、中流ノズル７、下流ノズル８の材質は、各種金属、超硬合金、焼結ダイヤ、単結晶ダイヤ等の硬度が高いものが望ましい。また、上流ノズル６、中流ノズル７、下流ノズル８の一部に耐摩耗性やコンタミレス軸封構造等を考慮した部材を追加で配置することや、上流ノズル６、中流ノズル７、下流ノズル８の各表面にコーティングを施すこと等もできる。なお、原料Ｍが当たる箇所の表面または外力が加わる箇所の表面にのみコーティングを施してもよい。これにより、上流ノズル６、中流ノズル７、下流ノズル８の損耗が抑制される。
【0047】
＜他例の微粒化流路(１６ｅ、１７ｅ)と実施形態の中流ノズル用微粒化流路７ｅおよび下流ノズル用微粒化流路８ｄ＞
図５に、他例のスリットチャンバー２１の主要部の拡大断面図を示す。
他例のスリットチャンバー２１は、図４に示す実施形態の中流ノズル用微粒化流路７ｅを上流ノズル用微粒化流路１６ｅに変更し、実施形態の下流ノズル用微粒化流路８ｄを中流ノズル用微粒化流路１７ｅに変更したものである。
図５に、他例のスリットチャンバー２１の主要部の拡大断面図を示す。
他例のスリットチャンバー２１は、図４に示す実施形態の中流ノズル用微粒化流路７ｅを上流ノズル用微粒化流路１６ｅに変更し、実施形態の下流ノズル用微粒化流路８ｄを中流ノズル用微粒化流路１７ｅに変更したものである。
【0048】
つまり、図４に示す実施形態のスリットチャンバー１は、上流ノズル６と中流ノズル７との境界面に対して、下流側に中流ノズル用微粒化流路７ｅを設けている。また、実施形態のスリットチャンバー１は、中流ノズル７と下流ノズル８の境界面に対して、下流側に下流ノズル用微粒化流路８ｄを設けている。
これに対して、他例の図５に示すスリットチャンバー２１は、上流ノズル１６と中流ノズル１７との境界面に対して、上流側に上流ノズル用微粒化流路１６ｅを設け、また、中流ノズル１７と下流ノズル１８との境界面に対して、上流側に中流ノズル用微粒化流路１７ｅを設けている。
また、他例の図５に示すスリットチャンバー２１は、上流ノズル１６と中流ノズル１７との境界面に対して、上流側に上流環状溝７ｍ１を設け、また、中流ノズル１７と下流ノズル１８との境界面に対して、上流側に中流環状溝８ｍ１を設けている。
これに対して、他例の図５に示すスリットチャンバー２１は、上流ノズル１６と中流ノズル１７との境界面に対して、上流側に上流ノズル用微粒化流路１６ｅを設け、また、中流ノズル１７と下流ノズル１８との境界面に対して、上流側に中流ノズル用微粒化流路１７ｅを設けている。
また、他例の図５に示すスリットチャンバー２１は、上流ノズル１６と中流ノズル１７との境界面に対して、上流側に上流環状溝７ｍ１を設け、また、中流ノズル１７と下流ノズル１８との境界面に対して、上流側に中流環状溝８ｍ１を設けている。
【0049】
図５に示す他例のスリットチャンバー２１においても、原料Ｍの微粒化を行える
図６Ａに、図５に示す他例のスリットチャンバー２１の原料Ｍの流れを模式的に示す。
他例のスリットチャンバー２１では、中流ノズル導水部１７ｃに一旦入り込んだ原料Ｍが上流ノズル用微粒化流路１６ｅに下流側から流入する現象は確認されず、円滑に原料Ｍが上流ノズル用微粒化流路１６ｅおよび中流ノズル用微粒化流路１７ｅに流れる。
図６Ａに、図５に示す他例のスリットチャンバー２１の原料Ｍの流れを模式的に示す。
他例のスリットチャンバー２１では、中流ノズル導水部１７ｃに一旦入り込んだ原料Ｍが上流ノズル用微粒化流路１６ｅに下流側から流入する現象は確認されず、円滑に原料Ｍが上流ノズル用微粒化流路１６ｅおよび中流ノズル用微粒化流路１７ｅに流れる。
【0050】
図６Ｂに、実施形態のスリットチャンバー１の原料Ｍの流れを模式的に示す。
図４に示す実施形態のスリットチャンバー１では、中流ノズル導水部７ｃに一旦入り込んだ原料Ｍが中流ノズル用微粒化流路７ｅに下流側から流入する現象は確認されない。
よって、実施形態のスリットチャンバー１の方が、原料Ｍの流れにおいては、他例のスリットチャンバー２１より優位性があり、原料Ｍが中流ノズル用微粒化流路７ｅまたは下流ノズル用微粒化流路８ｄに詰まり難いことが確認された。
図４に示す実施形態のスリットチャンバー１では、中流ノズル導水部７ｃに一旦入り込んだ原料Ｍが中流ノズル用微粒化流路７ｅに下流側から流入する現象は確認されない。
よって、実施形態のスリットチャンバー１の方が、原料Ｍの流れにおいては、他例のスリットチャンバー２１より優位性があり、原料Ｍが中流ノズル用微粒化流路７ｅまたは下流ノズル用微粒化流路８ｄに詰まり難いことが確認された。
【0051】
図７に、変形例のスリットチャンバー１Ａの主要部の拡大断面図を示す。
スリットチャンバー１Ａは、上流ノズル６と下流ノズル８との間に、複数の中流ノズル（図７では、第１の中流ノズル７Ａと第２の中流ノズル７Ｂと第３の中流ノズル７Ｃ）を備えている。
変形例のスリットチャンバー１Ａの上流ノズル６は、柱形状の上流ノズル内側部材６ａと、環形状の上流ノズル外側部材６ｂとを有している。
柱形状の上流ノズル内側部材６ａの下流側縁部６ａ１の中央には、中流ノズル７Ａの中流ノズル用貫通孔７ｆ１に対向して、円柱状の空間である凹部６ｍが形成されている。凹部６ｍの存在により、原料Ｍが上流ノズル内側部材６ａの下流側縁部６ａ１に衝突することが緩和され、下流側縁部６ａ１の摩耗が抑制される。
スリットチャンバー１Ａは、上流ノズル６と下流ノズル８との間に、複数の中流ノズル（図７では、第１の中流ノズル７Ａと第２の中流ノズル７Ｂと第３の中流ノズル７Ｃ）を備えている。
変形例のスリットチャンバー１Ａの上流ノズル６は、柱形状の上流ノズル内側部材６ａと、環形状の上流ノズル外側部材６ｂとを有している。
柱形状の上流ノズル内側部材６ａの下流側縁部６ａ１の中央には、中流ノズル７Ａの中流ノズル用貫通孔７ｆ１に対向して、円柱状の空間である凹部６ｍが形成されている。凹部６ｍの存在により、原料Ｍが上流ノズル内側部材６ａの下流側縁部６ａ１に衝突することが緩和され、下流側縁部６ａ１の摩耗が抑制される。
【0052】
なお、図４に示す上流ノズル６の上流ノズル内側部材６ａの下流側縁部６ａ１の中央に、第１の中流ノズル７Ａの中流ノズル用貫通孔７ｆ１に対向して、凹部６ｍと同様な凹部を形成するとよい。これにより、原料Ｍによる上流ノズル内側部材６ａの下流側縁部６ａ１(図４参照)の摩耗が抑制される。
また、図７に示す中流ノズル用貫通孔７ｆ１，７ｆ２，７ｆ３に対して、始めは径ｓ１が小径で次第に径ｓ１が大きくなる貫通孔テーパ部３０を配置または形成することもできる。
また、図７に示す中流ノズル用貫通孔７ｆ１，７ｆ２，７ｆ３に対して、始めは径ｓ１が小径で次第に径ｓ１が大きくなる貫通孔テーパ部３０を配置または形成することもできる。
【0053】
特に、図７に示すように、複数の第１の中流ノズル７Ａと第２の中流ノズル７Ｂと第３の中流ノズル７Ｃを配置した場合、各中流ノズル(７Ａ、７Ｂ、７Ｃ)に形成される中流ノズル用貫通孔７ｆ１、７ｆ２、７ｆ３に処理後の原料Ｍが通過する。
ここで、中流ノズル用貫通孔７ｆ１の入口側と、中流ノズル用貫通孔７ｆ３の出口側の距離が長くなればなるだけ、中流ノズル用貫通孔７ｆ１，７ｆ２，７ｆ３の合計体積が大きくなるとともに、合流口９からの排出に伴うエネルギーの流れを考慮すると、できるだけ中流ノズル用貫通孔７ｆ１の入口側に処理後の原料Ｍが残らない工夫が必要になる。
ここで、中流ノズル用貫通孔７ｆ１の入口側と、中流ノズル用貫通孔７ｆ３の出口側の距離が長くなればなるだけ、中流ノズル用貫通孔７ｆ１，７ｆ２，７ｆ３の合計体積が大きくなるとともに、合流口９からの排出に伴うエネルギーの流れを考慮すると、できるだけ中流ノズル用貫通孔７ｆ１の入口側に処理後の原料Ｍが残らない工夫が必要になる。
【0054】
そこで、中流ノズル用貫通孔７ｆ１の入口側から、中流ノズル用貫通孔７ｆ３の出口側に向かうにしたがって、径ｓ１が漸次的にまたは段階的に縮径または拡径させてもよい。
また、貫通孔テーパ部３０は、第１の中流ノズル７Ａ、第２の中流ノズル７Ｂ、および第３の中流ノズル７Ｃに形成することもできる。或いは、複数の第１の中流ノズル７Ａと第２の中流ノズル７Ｂと第３の中流ノズル７Ｃが連結しやすい構造とするために、独立した貫通孔テーパ部材３０ｂを、第１の中流ノズル７Ａ、第２の中流ノズル７Ｂ、第３の中流ノズル７Ｃに形成した中流ノズル用貫通孔３０ｋにはめ込み、貫通孔テーパ部材３０ｂを、前後の少なくとも１か所で固定する構造とすることもできる。
また、貫通孔テーパ部３０は、第１の中流ノズル７Ａ、第２の中流ノズル７Ｂ、および第３の中流ノズル７Ｃに形成することもできる。或いは、複数の第１の中流ノズル７Ａと第２の中流ノズル７Ｂと第３の中流ノズル７Ｃが連結しやすい構造とするために、独立した貫通孔テーパ部材３０ｂを、第１の中流ノズル７Ａ、第２の中流ノズル７Ｂ、第３の中流ノズル７Ｃに形成した中流ノズル用貫通孔３０ｋにはめ込み、貫通孔テーパ部材３０ｂを、前後の少なくとも１か所で固定する構造とすることもできる。
【0055】
図３Ｂに示す中流ノズル内側部材７ａには、環状孔の中流ノズル用溝部７ｇと、貫通孔の排出孔７ｈを形成することもできる。
上流ノズル６と中流ノズル７とが連結させた場合であっても、原料Ｍは、各上流ノズル６、中流ノズル７の内部から圧力がかかった状態となっており、原料Ｍが、上流ノズル６と中流ノズル７との隙間から漏れてしまう可能性がある。そこで、環状孔の中流ノズル用溝部７ｇを形成することで、中流ノズル７内で余分な量の原料Ｍを収容できる構成となる。そのため、上流ノズル６と中流ノズル７との間から、原料Ｍが漏れることが緩和される。
上流ノズル６と中流ノズル７とが連結させた場合であっても、原料Ｍは、各上流ノズル６、中流ノズル７の内部から圧力がかかった状態となっており、原料Ｍが、上流ノズル６と中流ノズル７との隙間から漏れてしまう可能性がある。そこで、環状孔の中流ノズル用溝部７ｇを形成することで、中流ノズル７内で余分な量の原料Ｍを収容できる構成となる。そのため、上流ノズル６と中流ノズル７との間から、原料Ｍが漏れることが緩和される。
【0056】
さらに、中流ノズル内側部材７ａに、貫通孔の排出孔７ｈを形成している。これにより、上流ノズル６と中流ノズル７との隙間に原料Ｍが漏れそうになった場合に、排出孔７ｈから排出することで、スリットチャンバー１の外部に原料Ｍが漏れることを抑制または防止できる。排出孔７ｈは、中流ノズル導水部７ｃ(図４参照)に接続している。
【0057】
変形例の図７に示すように、上流ノズル６と中流ノズル７の間に環状の第１のシール部材４０を配置することで、原料Ｍの漏れを防止できる。具体的には、上流ノズル６または中流ノズル７の接合面の内側に、環状孔のポケット１７ｈを形成している。環状孔のポケット１７ｈの中に環状の第１のシール部材４０が配置されることで、原料Ｍの漏れを防止できる。第１のシール部材４０は、例えばブタジエンゴム、シリコーンゴム等が挙げられる。
【0058】
また、図４に示す中流ノズル７と下流ノズル８の間にも、第１のシール部材４０と同様な環状の第２のシール部材を配置することもできる。これにより、中流ノズル７と下流ノズル８の間からの原料Ｍの漏れを防止できる。例えば、中流ノズル７と下流ノズル８の接合面の内側に環状孔のポケット(図示せず)を形成し、その中に第１のシール部材４０と同様な環状の第２のシール部材が配置されることで、中流ノズル７と下流ノズル８との間の隙間から、原料Ｍの漏れを防止できる。
【0059】
図４に示すように、下流ノズル８は、中流ノズル７の下流側に配置される。図３Ｃに示すように、下流ノズル８は、下流ノズル内側部材８ａと下流ノズル外側部材８ｂとを有する。下流ノズル内側部材８ａは、下流ノズル外側部材８ｂの内側に配置されている。下流ノズル内側部材８ａは、原料Ｍの微粒化処理に耐えるために、下流ノズル外側部材８ｂよりも硬度が高い材質で形成されている。
【0060】
図３Ｃに示す下流ノズル８は、放射状に延びる下流ノズル用微粒化流路８ｄと、下流ノズル用貫通孔８ｅとを有する。
下流ノズル用微粒化流路８ｄは、原料Ｍを微粒化するための流路である。下流ノズル用微粒化流路８ｄは、断面略矩形の切り込み形状であり、単数または複数形成される。なお、下流ノズル用微粒化流路８ｄの断面形状は、任意に選択できる。
図２に示す下流ノズル用微粒化流路８ｄの外側には、下流ノズル環状溝８ｍが形成されている。
下流ノズル用微粒化流路８ｄは、原料Ｍを微粒化するための流路である。下流ノズル用微粒化流路８ｄは、断面略矩形の切り込み形状であり、単数または複数形成される。なお、下流ノズル用微粒化流路８ｄの断面形状は、任意に選択できる。
図２に示す下流ノズル用微粒化流路８ｄの外側には、下流ノズル環状溝８ｍが形成されている。
【0061】
【0062】
【0063】
つまり、原料Ｍは、図４に示す上流ノズル導水部６ｃを通過することで、中流ノズル用微粒化流路７ｅ(図４、図３Ｂ参照)で処理される。中流ノズル用微粒化流路７ｅの処理で処理しきれなかった原料Ｍは、中流ノズル導水部７ｃ(図３Ｂ、図４参照)を通過することで、下流ノズル用微粒化流路８ｄで処理される。このような構造とすることによって、原料Ｍの微粒化の処理量を増加させることができる。また、微粒化の処理後の原料Ｍは、中流ノズル用貫通孔７ｆと下流ノズル用貫通孔８ｅを介して合流口９(図４参照)から排出される。
【0064】
ところで、従来、原料Ｍの処理量を増加させるためには、スリットチャンバーを複数、利用する方法等が存在した。
これに対して、変形例の図７に示すように、中流ノズル７を複数配置するとよい。例えば、図７に示す第１の中流ノズル７Ａ、第２の中流ノズル７Ｂ、第３の中流ノズル７Ｃである。なお、中流ノズル７の数は限定されない。これにより、原料Ｍの微粒化の処理量をさらに増やすこともできる。
そして、中流ノズル用微粒化流路７ｅ(図４、図３Ｂ参照)と同様な各中流ノズル(７Ａ、７Ｂ、７Ｃ)に設ける第１中流ノズル用微粒化流路７ｅ１１、第２中流ノズル用微粒化流路７ｅ１２、第３中流ノズル用微粒化流路７ｅ１３で微粒化処理を行うことができる。これによって、図１に示すスリットチャンバー１を含む微粒化装置１００が大型化しない構成とすることができる。
これに対して、変形例の図７に示すように、中流ノズル７を複数配置するとよい。例えば、図７に示す第１の中流ノズル７Ａ、第２の中流ノズル７Ｂ、第３の中流ノズル７Ｃである。なお、中流ノズル７の数は限定されない。これにより、原料Ｍの微粒化の処理量をさらに増やすこともできる。
そして、中流ノズル用微粒化流路７ｅ(図４、図３Ｂ参照)と同様な各中流ノズル(７Ａ、７Ｂ、７Ｃ)に設ける第１中流ノズル用微粒化流路７ｅ１１、第２中流ノズル用微粒化流路７ｅ１２、第３中流ノズル用微粒化流路７ｅ１３で微粒化処理を行うことができる。これによって、図１に示すスリットチャンバー１を含む微粒化装置１００が大型化しない構成とすることができる。
【0065】
また、図７に示す各７Ａ、７Ｂ、７Ｃの内壁面には、ポケット１７ｈとシール部材４０を配置することもできる。
上流ノズル６、中流ノズル(７Ａ、７Ｂ、７Ｃ)、下流ノズル８の間に、シール部材４０(図７参照)を配置することによって、原料Ｍの漏れを防止できる。
上流ノズル６、中流ノズル(７Ａ、７Ｂ、７Ｃ)、下流ノズル８の間に、シール部材４０(図７参照)を配置することによって、原料Ｍの漏れを防止できる。
【0066】
上記構成によれば、原料Ｍのスリットチャンバー１への投入量が増加した場合であっても、原料Ｍに連続的にせん断応力および衝突力を与え、大流量の原料Ｍを微粒化処理することができる。また、原料Ｍの漏れを抑制できるスリットチャンバー１および微粒化装置１００を提供することができる。
【0067】
＜変形形態１＞
図８に、変形形態１のスリットチャンバー２１Ａの断面図を示す。
変形形態のスリットチャンバー２１Ａは、加圧されたスラリー状の原料Ｍを微粒化する装置である。スリットチャンバー２１Ａは、略柱形状を有している。
スリットチャンバー２１Ａでは、スラリー状の原料Ｍが、入口側（ＩＮ）の第1の先端部２２ａから出口側（ＯＵＴ）に向かって供給される。
図８に、変形形態１のスリットチャンバー２１Ａの断面図を示す。
変形形態のスリットチャンバー２１Ａは、加圧されたスラリー状の原料Ｍを微粒化する装置である。スリットチャンバー２１Ａは、略柱形状を有している。
スリットチャンバー２１Ａでは、スラリー状の原料Ｍが、入口側（ＩＮ）の第1の先端部２２ａから出口側（ＯＵＴ）に向かって供給される。
【0068】
スリットチャンバー２１Ａは、第１のチャンバー内側部材２２と、第２のチャンバー内側部材２３と、チャンバー外側部材２４とを有している。
第１のチャンバー内側部材２２は、環状の第1の先端部２２ａを有している。
第２のチャンバー内側部材２３は、第１のチャンバー内側部材２２と連結される。チャンバー外側部材２４は、第１のチャンバー内側部材２２および第２のチャンバー内側部材２３の一部の外側に配置される。
第１のチャンバー内側部材２２は、環状の第1の先端部２２ａを有している。
第２のチャンバー内側部材２３は、第１のチャンバー内側部材２２と連結される。チャンバー外側部材２４は、第１のチャンバー内側部材２２および第２のチャンバー内側部材２３の一部の外側に配置される。
【0069】
第２のチャンバー内側部材２３の内側には、導水ノズル２５と、上流ノズル２６と、下流ノズル２７と、荷重受けノズル２８と、合流口２９とが配置されている。導水ノズル２５は、第１のチャンバー内側部材２２と接合される。上流ノズル２６は、導水ノズル２５の下流側に配置される。下流ノズル２７は、上流ノズル２６の下流側に配置される。荷重受けノズル２８は、下流ノズル２７の下流側に配置される。
【0070】
チャンバー外側部材２４は、内側に円柱形状の空間である窪み部２４ｃを有している。窪み部２４ｃと第１のチャンバー内側部材２２の外側で画定される空間に、締付調整部１０が配置されている。
締付調整部１０は、例えば、単数または複数の圧縮バネ等の弾性部材を有している。これにより、第１のチャンバー内側部材２２、導水ノズル２５、上流ノズル２６、下流ノズル２７、荷重受けノズル２８等の過度な締付を回避するための弾性力を付加できる。
締付調整部１０は、例えば、単数または複数の圧縮バネ等の弾性部材を有している。これにより、第１のチャンバー内側部材２２、導水ノズル２５、上流ノズル２６、下流ノズル２７、荷重受けノズル２８等の過度な締付を回避するための弾性力を付加できる。
【0071】
また、図７に示す上流ノズル６、中流ノズル(７Ａ、７Ｂ、７Ｃ)、および下流ノズル８を締結する締結具２０を配置することもできる。特に、中流ノズル７として、第１の中流ノズル７Ａ、第２の中流ノズル７Ｂ、第３の中流ノズル７Ｃ等を複数配置する場合には、各ノズル(７Ａ、７Ｂ、７Ｃ)同士の接触面から原料Ｍの漏れが発生する可能性がある。そのため、締結具２０(図７参照)を配置して、各ノズル(７Ａ、７Ｂ、７Ｃ)間を締め付けて原料Ｍの漏れを防止または抑制することができる。締結具２０としては、締め付けピン、ネジ等を利用できる。
【0072】
また、締結具２０は、上流ノズル６と中流ノズル７、中流ノズル(７Ａ、７Ｂ、７Ｃ)同士、中流ノズル７と下流ノズル８、上流ノズル６と下流ノズル８等に分割して配置することもできる。流路内にかかる外力等に応じて、最適な組み合わせを設定できる。
なお、締結具２０は、一方向だけでなく、異なる複数方向に対して配置することもできる。
なお、締結具２０は、一方向だけでなく、異なる複数方向に対して配置することもできる。
【0073】
＜変形形態２＞
図９Ａに、変形形態２の中流ノズル用微粒化流路テーパ部７ｅ１を示す。
図９Ｂに、変形形態２の下流ノズル用微粒化流路テーパ部８ｄ１を示す。
変形形態２は、実施形態の図３Ｂに示す中流ノズル用微粒化流路７ｅと図３Ｃに示す下流ノズル用微粒化流路８ｄを、それぞれ中流ノズル用微粒化流路テーパ部７ｅ１(図９Ａ参照)と下流ノズル微粒化流路テーパ部８ｄ１(図９Ｂ参照)とに変更して形成したものである。
図９Ａに、変形形態２の中流ノズル用微粒化流路テーパ部７ｅ１を示す。
図９Ｂに、変形形態２の下流ノズル用微粒化流路テーパ部８ｄ１を示す。
変形形態２は、実施形態の図３Ｂに示す中流ノズル用微粒化流路７ｅと図３Ｃに示す下流ノズル用微粒化流路８ｄを、それぞれ中流ノズル用微粒化流路テーパ部７ｅ１(図９Ａ参照)と下流ノズル微粒化流路テーパ部８ｄ１(図９Ｂ参照)とに変更して形成したものである。
【0074】
つまり、図３Ｂに示す中流ノズル用微粒化流路７ｅは、変形形態２の中流ノズル用微粒化流路テーパ部７ｅ１(図９Ａ参照)に代替して形成できる。
また、図３Ｃに示す下流ノズル用微粒化流路８ｄは、変形形態２の下流ノズル微粒化流路テーパ部８ｄ１(図９Ｂ参照)に代替して形成できる。
中流ノズル用微粒化流路テーパ部７ｅ１や下流ノズル微粒化流路テーパ部８ｄ１を形成することで、原料Ｍに加わるせん断力を強化することができる。
また、図３Ｃに示す下流ノズル用微粒化流路８ｄは、変形形態２の下流ノズル微粒化流路テーパ部８ｄ１(図９Ｂ参照)に代替して形成できる。
中流ノズル用微粒化流路テーパ部７ｅ１や下流ノズル微粒化流路テーパ部８ｄ１を形成することで、原料Ｍに加わるせん断力を強化することができる。
【0075】
中流ノズル用微粒化流路テーパ部７ｅ１(図９Ａ参照)のテーパとしては、中流ノズル用微粒化流路テーパ部７ｅ１から中流ノズル用貫通孔７ｆに原料Ｍが滑らかに供給されるように、外側が広く（広がっており、または、膨らんでおり）、内側が狭くなっているような形状が望ましい。
同様に、下流ノズル微粒化流路テーパ部８ｄ１(図９Ｂ参照)のテーパとしては、下流ノズル微粒化流路テーパ部８ｄ１から下流ノズル用貫通孔８ｅ内に原料Ｍが滑らかに供給されるように、外側が広く（広がっており、または、膨らんでおり）、内側が狭くなっているような形状が望ましい。
同様に、下流ノズル微粒化流路テーパ部８ｄ１(図９Ｂ参照)のテーパとしては、下流ノズル微粒化流路テーパ部８ｄ１から下流ノズル用貫通孔８ｅ内に原料Ｍが滑らかに供給されるように、外側が広く（広がっており、または、膨らんでおり）、内側が狭くなっているような形状が望ましい。
【0076】
なお、本明細書においては、中流ノズル用微粒化流路テーパ部７ｅ１や下流ノズル微粒化流路テーパ部８ｄ１をテーパ部の場合を例示したが、段差形状等の流路を選択することもできる。
【0077】
＜変形形態３＞
図１０Ａに、図２のII－II断面である変形形態３の中間ノズル３７の拡大正面図を示す。
変形形態３の中間ノズル３７の円柱形状の中流ノズル内側部材３７ａには、貫通孔からなる中流ノズル導水部３７ｃが周方向に間隔をあけて複数形成されている。
また、円柱形状の中流ノズル内側部材３７ａには、切り込み形状の断面略矩形状の中流ノズル用微粒化流路３７ｅが多数または複数、放射状に延びて形成されている。
図１０Ａに、図２のII－II断面である変形形態３の中間ノズル３７の拡大正面図を示す。
変形形態３の中間ノズル３７の円柱形状の中流ノズル内側部材３７ａには、貫通孔からなる中流ノズル導水部３７ｃが周方向に間隔をあけて複数形成されている。
また、円柱形状の中流ノズル内側部材３７ａには、切り込み形状の断面略矩形状の中流ノズル用微粒化流路３７ｅが多数または複数、放射状に延びて形成されている。
【0078】
図１０Ｂに、図１０ＡのIV部拡大図を示す。
中流ノズル用微粒化流路３７ｅの入口部３７ｅ１は凸状の曲率を有した形状に形成されている。これにより、原料Ｍが中流ノズル用微粒化流路３７ｅの入口部３７ｅ１に詰まることが抑制される。入口部３７ｅ１から下流の下流路３７ｅ２は同じ流路幅ｓ１１をもって直線状に形成されている。
なお、図３Ｃに示す下流ノズル内側部材８ａの下流ノズル用微粒化流路８ｄの入口部８ｄ０も、図１０Ｂと同様な凸状の曲率を有した形状に形成することが好ましい。これにより、原料Ｍが下流ノズル用微粒化流路８ｄの入口部８ｄ０に詰まることが抑制される。
中流ノズル用微粒化流路３７ｅの入口部３７ｅ１は凸状の曲率を有した形状に形成されている。これにより、原料Ｍが中流ノズル用微粒化流路３７ｅの入口部３７ｅ１に詰まることが抑制される。入口部３７ｅ１から下流の下流路３７ｅ２は同じ流路幅ｓ１１をもって直線状に形成されている。
なお、図３Ｃに示す下流ノズル内側部材８ａの下流ノズル用微粒化流路８ｄの入口部８ｄ０も、図１０Ｂと同様な凸状の曲率を有した形状に形成することが好ましい。これにより、原料Ｍが下流ノズル用微粒化流路８ｄの入口部８ｄ０に詰まることが抑制される。
【0079】
図１１Ａに、変形形態３の変形例１の図２のII－II断面である中間ノズル３７の拡大正面図を示す。
変形形態３の変形例１の中流ノズル用微粒化流路３７ｇは、下流に向かうに従い流路幅ｓ１２が狭まる形状に直線状に形成されている。なお、流路幅ｓ１２が狭まる割合（中流ノズル用微粒化流路３７ｇの側壁の傾斜角）は適宜任意に決定できる。流路幅ｓ１２を上流側で大きくし、下流側に向かうに従って漸減させたほうが流路幅ｓ１２を一定とする場合よりも原料Ｍが詰まる現象が抑制される。
これにより、原料Ｍが中流ノズル用微粒化流路３７ｇに詰まることが抑制される。
変形形態３の変形例１の中流ノズル用微粒化流路３７ｇは、下流に向かうに従い流路幅ｓ１２が狭まる形状に直線状に形成されている。なお、流路幅ｓ１２が狭まる割合（中流ノズル用微粒化流路３７ｇの側壁の傾斜角）は適宜任意に決定できる。流路幅ｓ１２を上流側で大きくし、下流側に向かうに従って漸減させたほうが流路幅ｓ１２を一定とする場合よりも原料Ｍが詰まる現象が抑制される。
これにより、原料Ｍが中流ノズル用微粒化流路３７ｇに詰まることが抑制される。
【0080】
図１１Ｂに、変形形態３の変形例２の図２のII－II断面である中間ノズル３７の拡大正面図を示す。
変形形態３の変形例２の中流ノズル用微粒化流路３７ｈは、入口部３７ｈ１は凹状の曲率を有した形状に形成されている。入口部３７ｈ１から下流の下流部３７ｈ２は下流に向かうに従い流路幅ｓ１３が狭まる形状に形成されている。
これにより、原料Ｍが入口部３７ｈ１を含む中流ノズル用微粒化流路３７ｈに詰まることが抑制される。
変形形態３の変形例２の中流ノズル用微粒化流路３７ｈは、入口部３７ｈ１は凹状の曲率を有した形状に形成されている。入口部３７ｈ１から下流の下流部３７ｈ２は下流に向かうに従い流路幅ｓ１３が狭まる形状に形成されている。
これにより、原料Ｍが入口部３７ｈ１を含む中流ノズル用微粒化流路３７ｈに詰まることが抑制される。
【0081】
図１１Ｃに、変形形態３の変形例３の図２のII－II断面である中間ノズル３７の拡大正面図を示す。
変形形態３の変形例３の中流ノズル用微粒化流路３７ｉは、入口部３７ｉ１は凸状の曲率を有した形状に形成されている。入口部３７ｉ１から下流の下流部３７ｉ２は下流に向かうに従い流路幅ｓ４が狭まる形状に形成されている。
これにより、原料Ｍが入口部３７ｉ１を含む中流ノズル用微粒化流路３７ｉに詰まることが抑制される。
変形形態３の変形例３の中流ノズル用微粒化流路３７ｉは、入口部３７ｉ１は凸状の曲率を有した形状に形成されている。入口部３７ｉ１から下流の下流部３７ｉ２は下流に向かうに従い流路幅ｓ４が狭まる形状に形成されている。
これにより、原料Ｍが入口部３７ｉ１を含む中流ノズル用微粒化流路３７ｉに詰まることが抑制される。
【0082】
【0083】
上述の実施形態、変形形態等によれば、原料Ｍの投入量が増加した場合であっても連続的にせん断応力および衝突力を原料Ｍに与え、大流量の原料Ｍを処理することができる。また、原料Ｍの漏れを防止または抑制することができるスリットチャンバー１および微粒化装置１００を提供できる。
【0084】
＜＜その他の実施形態＞＞
１．本発明は上述した実施形態に限定されるものではなく、本発明はその趣旨を逸脱しない範囲で適宜変更が可能であることは言うまでもない。
本発明は、前記した実施形態、変形形態の構成に限られることなく、添付の特許請求の範囲内で様々な変形形態、具体的形態が可能である。
１．本発明は上述した実施形態に限定されるものではなく、本発明はその趣旨を逸脱しない範囲で適宜変更が可能であることは言うまでもない。
本発明は、前記した実施形態、変形形態の構成に限られることなく、添付の特許請求の範囲内で様々な変形形態、具体的形態が可能である。
【符号の説明】
【0085】
１ スリットチャンバー
２ 第１のチャンバー内側部材
３ 第２のチャンバー内側部材
４ チャンバー外側部材
５ 導水ノズル
６ 上流ノズル
６ｃ 上流ノズル導水部
７ 中流ノズル
７Ａ 第１中流ノズル
７Ｂ 第２中流ノズル
７Ｃ 第３中流ノズル
７ｅ 中流ノズル用微粒化流路
７ｅ１ 中流ノズル用微粒化流路テーパ部(テーパ部)
７ｅ１１ 第１中流ノズル用微粒化流路(中流ノズル用微粒化流路)
７ｅ１２ 第２中流ノズル用微粒化流路(中流ノズル用微粒化流路)
７ｅ１３ 第３中流ノズル用微粒化流路(中流ノズル用微粒化流路)
７ｆ 中流ノズル用貫通孔
７ｇ 中流ノズル用溝部
７ｈ 排出孔
８ 下流ノズル
８Ｄ 下流ノズル用微粒化流路
８ｄ０ 入口部
８ｄ１ 下流ノズル用微粒化流路テーパ部（テーパ部）
８ｅ 下流ノズル用貫通孔
９ 合流口
２０ 締付具
３０ 貫通孔テーパ部
３７ｈ１ 入口部(凹状の曲率を有した入口部)
３７ｉ１ 入口部(凸状の曲率を有した入口部)
４０ シール部
１００ 微粒化装置
１０１ 原料タンク
１０２ 給液ポンプ
１０３ 増圧機
Ｍ 原料
２ 第１のチャンバー内側部材
３ 第２のチャンバー内側部材
４ チャンバー外側部材
５ 導水ノズル
６ 上流ノズル
６ｃ 上流ノズル導水部
７ 中流ノズル
７Ａ 第１中流ノズル
７Ｂ 第２中流ノズル
７Ｃ 第３中流ノズル
７ｅ 中流ノズル用微粒化流路
７ｅ１ 中流ノズル用微粒化流路テーパ部(テーパ部)
７ｅ１１ 第１中流ノズル用微粒化流路(中流ノズル用微粒化流路)
７ｅ１２ 第２中流ノズル用微粒化流路(中流ノズル用微粒化流路)
７ｅ１３ 第３中流ノズル用微粒化流路(中流ノズル用微粒化流路)
７ｆ 中流ノズル用貫通孔
７ｇ 中流ノズル用溝部
７ｈ 排出孔
８ 下流ノズル
８Ｄ 下流ノズル用微粒化流路
８ｄ０ 入口部
８ｄ１ 下流ノズル用微粒化流路テーパ部（テーパ部）
８ｅ 下流ノズル用貫通孔
９ 合流口
２０ 締付具
３０ 貫通孔テーパ部
３７ｈ１ 入口部(凹状の曲率を有した入口部)
３７ｉ１ 入口部(凸状の曲率を有した入口部)
４０ シール部
１００ 微粒化装置
１０１ 原料タンク
１０２ 給液ポンプ
１０３ 増圧機
Ｍ 原料
【図1】
【図2】
【図3A】
【図3B】
【図3C】
【図4】
【図5】
【図6A】
【図6B】
【図7】
【図8】
【図9A】
【図9B】
【図10A】
【図10B】
【図11A】
【図11B】
【図11C】