特開 2025-8914 ガラス板の検査方法及び検査装置並びにガラス板の製造方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2025008914

(43)【公開日】2025-01-20

(54)【発明の名称】ガラス板の検査方法及び検査装置並びにガラス板の製造方法

(51)【国際特許分類】

   G01B 11/24 20060101AFI20250109BHJP

【ＦＩ】

G01B11/24 A

【審査請求】未請求

【請求項の数】7

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2023111536

(22)【出願日】2023-07-06

(71)【出願人】

【識別番号】000232243

【氏名又は名称】日本電気硝子株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100107423

【弁理士】

【氏名又は名称】城村 邦彦

(74)【代理人】

【識別番号】100120949

【弁理士】

【氏名又は名称】熊野 剛

(74)【代理人】

【識別番号】100129148

【弁理士】

【氏名又は名称】山本 淳也

(72)【発明者】

【氏名】大庭 直樹

(72)【発明者】

【氏名】荒川 敏裕

【テーマコード（参考）】

2F065

【Ｆターム（参考）】

2F065AA06

2F065AA20

2F065AA53

2F065FF41

2F065FF61

2F065GG04

2F065MM13

2F065MM23

2F065PP03

2F065PP22

2F065RR08

2F065UU04

(57)【要約】

【課題】ガラス板の形状を精度良く検査する。
【解決手段】 ガラス板の検査方法は、複数の凸部５により形成される載置面５ａに載置したガラス板Ｇの形状を検査する。ガラス板Ｇは、基準ガラス板Ｇ１と、サンプルガラス板Ｇ２とを含む。ガラス板Ｇの検査方法は、サンプルガラス板Ｇ２の形状を測定する測定工程Ｓ６３と、基準ガラス板Ｇ１により定められる基準形状とサンプルガラス板Ｇ２の形状の測定値との比較により、サンプルガラス板Ｇ２の形状を評価する評価工程Ｓ６４と、を備える。
【選択図】図８

【特許請求の範囲】

【請求項1】

載置面に載置したガラス板の形状を検査する方法であって、
前記載置面は、複数の凸部により形成され、
前記ガラス板は、基準ガラス板と、サンプルガラス板と、を含み、
前記サンプルガラス板の形状を測定する測定工程と、前記基準ガラス板により定められた基準形状と前記サンプルガラス板の形状の測定値との比較により、前記サンプルガラス板の形状を評価する評価工程と、を備えることを特徴とするガラス板の検査方法。

【請求項2】

複数枚の前記基準ガラス板の形状を測定する準備工程と、前記準備工程で得られた測定値から前記基準形状を演算する演算工程と、を備えることを特徴とする請求項１に記載のガラス板の検査方法。

【請求項3】

前記演算工程では、前記基準形状として、複数枚の前記基準ガラス板の形状の平均値を演算することを特徴とする請求項２に記載のガラス板の検査方法。

【請求項4】

前記準備工程では、前記載置面に前記基準ガラス板を載置した状態で前記基準ガラス板の上面の形状を測定し、
前記測定工程では、前記載置面に前記サンプルガラス板を載置した状態で前記サンプルガラス板の上面の形状を測定することを特徴とする請求項２又は３に記載のガラス板の検査方法。

【請求項5】

前記凸部は、長尺の部材により形成され、
前記載置面は、前記長尺の部材を所定間隔で並べて配置することによって構成され、
前記凸部の幅は、５０ｍｍ以上２００ｍｍ以下であり、
前記凸部の間隔は、５０ｍｍ以上２００ｍｍ以下であることを特徴とする請求項１から３のいずれか一項に記載のガラス板の検査方法。

【請求項6】

請求項１から３のいずれか一項に記載のガラス板の検査方法を用いて検査工程を行うことを特徴とするガラス板の製造方法。

【請求項7】

ガラス板を載置する載置面と、前記載置面に載置した前記ガラス板の形状を測定する測定部を備えるガラス板の検査装置であって、
前記載置面は、複数の凸部により構成され、
前記ガラス板は、基準ガラス板と、サンプルガラス板と、を含み、
前記基準ガラス板により定められる基準形状を記憶する記憶部と、前記サンプルガラス板の形状と前記基準形状との比較により、前記サンプルガラス板の形状を評価する評価部と、を備えることを特徴とするガラス板の検査装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、ガラス板の検査方法及び検査装置並びにガラス板の製造方法に関する。

【背景技術】

【0002】

近年、液晶ディスプレイや有機ＥＬディスプレイ等のディスプレイにおいては、軽量で可撓性を有する薄肉のガラス基板が使用されている。ディスプレイに使用されるガラス基板の表面には、各種の膜を均一に塗布した後に、フォトプロセスの手法（露光工程、現像工程等）を用いて薄膜トランジスタ（ＴＦＴ）が形成される。

【0003】

薄膜トランジスタを精度良く形成するために、ガラス基板に対して高い寸法精度が要求される。このため、ガラス板の製造工程では、製造されたガラス板の形状を検査する工程が実施される。

【0004】

このような検査工程で使用される装置として、例えば特許文献１には、ガラス板を載せる定盤と、光の照射及び反射を測定に利用した光学測定手段とを備える検査装置（ガラス板測定装置）が開示されている。この検査装置における定盤は、その表面に横方向に延びる複数の溝を有している（同文献の段落００３０参照）。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0005】

【特許文献1】特開２０２１－１４８４４６号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0006】

従来の検査装置では、定盤の表面が溝により凹凸状に構成されていることから、この表面に薄肉のガラス板が載置されると、溝の位置においてガラス板に撓みが生じ、ガラス板の反り等の形状について精度の高い検査を行うことができなかった。

【0007】

本発明は上記の事情に鑑みてなされたものであり、ガラス板の形状を精度良く検査することを技術的課題とする。

【課題を解決するための手段】

【0008】

（１） 本発明は上記の課題を解決するためのものであり、載置面に載置したガラス板の形状を検査する方法であって、前記載置面は、複数の凸部により形成され、前記ガラス板は、基準ガラス板と、サンプルガラス板と、を含み、前記サンプルガラス板の形状を測定する測定工程と、前記基準ガラス板により定められた基準形状と前記サンプルガラス板の形状の測定値との比較により、前記サンプルガラス板の形状を評価する評価工程と、を備えることを特徴とする。

【0009】

かかる構成によれば、測定工程によって測定されたサンプルガラス板の形状を、評価工程において、基準ガラス板により定められた基準形状と比較することにより、載置面に複数の溝等の凹部が存在する場合であっても、サンプルガラス板の形状を精度良く検査することが可能となる。

【0010】

（２） 上記（１）に記載のガラス板の検査方法において、複数枚の前記基準ガラス板の形状を測定する準備工程と、前記準備工程で得られた測定値から前記基準形状を演算する演算工程と、を備えてもよい。

【0011】

かかる構成によれば、準備工程において、複数枚の基準ガラス板に基づいて基準形状を演算することにより、サンプルガラス板の評価基準となる基準形状の精度を高めることができる。

【0012】

（３） 上記（２）に記載のガラス板の検査方法において、前記演算工程では、前記基準形状として、複数枚の前記基準ガラス板の形状の平均値を演算してもよい。

【0013】

かかる構成によれば、複数枚の基準ガラス板の形状の平均値を基準形状とすることで、サンプルガラス板の評価基準となる基準形状の精度をさらに高めることができる。

【0014】

（４） 上記（１）から（３）のいずれかに記載のガラス板の検査方法において、前記準備工程では、前記載置面に前記基準ガラス板を載置した状態で前記基準ガラス板の上面の形状を測定し、前記測定工程では、前記載置面に前記サンプルガラス板を載置した状態で前記サンプルガラス板の上面の形状を測定してもよい。

【0015】

（５） 上記（１）から（３）のいずれかに記載のガラス板の検査方法において、前記凸部は、長尺の部材により形成され、前記載置面は、前記長尺の部材を所定間隔で並べて配置することによって構成され、前記凸部の幅は、５０ｍｍ以上２００ｍｍ以下であり、前記凸部の間隔は、５０ｍｍ以上２００ｍｍ以下であってもよい。

【0016】

（６） 本発明に係るガラス板の製造方法は上記の課題を解決するためのものであり、上記（１）から（５）のいずれかに記載のガラス板の検査方法を用いて検査工程を行うことを特徴とする。

【0017】

（７） 本発明は上記の課題を解決するためのものであり、ガラス板を載置する載置面と、前記載置面に載置した前記ガラス板の形状を測定する測定部を備えるガラス板の検査装置であって、前記載置面は、複数の凸部により構成され、前記ガラス板は、基準ガラス板と、サンプルガラス板と、を含み、前記基準ガラス板により定められる基準形状を記憶する記憶部と、前記サンプルガラス板の形状と前記基準形状との比較により、前記サンプルガラス板の形状を評価する評価部と、を備えることを特徴とする。

【0018】

かかる構成によれば、測定部によって測定されたサンプルガラス板の形状を、評価部により、基準形状と比較することで、載置面に複数の溝等の凹部が存在する場合であっても、サンプルガラス板の形状を精度良く検査することが可能となる。

【発明の効果】

【0019】

本発明によれば、ガラス板の形状を精度良く検査することができる。

【図面の簡単な説明】

【0020】

【図1】検査装置の斜視図である。

【図2】検査装置の平面図である。

【図3】図２のＩＩＩ－ＩＩＩ矢視線に係る載置部の断面図である。

【図4】検査装置の位置決め部の動作を示す側面図である。

【図5】検査装置の位置決め部の動作を示す正面図である。

【図6】検査装置の制御部を示すブロック図である。

【図7】ガラス板の製造方法を示すフローチャートである。

【図8】検査工程を示すフローチャートである。

【図9】検査工程を示す正面図である。

【図10】検査工程を示す平面図である。

【図11】検査工程を示す正面図である。

【図12】検査工程を示す正面図である。

【図13】検査工程を示す平面図である。

【図14】検査工程を示す正面図である。

【図15】検査工程を示す正面図である。

【図16】検査工程を示す平面図である。

【発明を実施するための形態】

【0021】

以下、本発明を実施するための形態について、図面を参照しながら説明する。図１乃至図１６は、本発明に係るガラス板の検査装置及びこの検査装置を用いたガラス板の製造方法の一実施形態を示す。

【0022】

図１及び図２に示すように、検査装置１は、ガラス板Ｇを載置する載置部２と、載置部２に載置されたガラス板Ｇの形状を測定する測定部３と、載置部２及び測定部３の制御を行う制御部４と、を備える。

【0023】

検査対象となるガラス板Ｇは、例えば一枚又は複数枚の製品ガラス板が採取される矩形状のガラス原板（マザーガラス板）である。ガラス原板及び製品ガラス板の厚みは、例えば０．０５ｍｍ～１．２ｍｍである。ガラス原板のサイズは、例えば１０００ｍｍ×１０００ｍｍ～３５００ｍｍ×３５００ｍｍであり、製品ガラス板のサイズは、例えば７００ｍｍ×７００ｍｍ～３５００ｍｍ×３５００ｍｍである。製品ガラス板は、例えばディスプレイの基板やカバーガラスとして利用される。なお、ディスプレイの基板やカバーガラスは、フラットパネルに限定されず、曲面パネル、フォルダブルパネルに使用されてもよい。

【0024】

以下、ガラス板Ｇの一方の表面を第一主面Ｇａといい、他方の表面を第二主面Ｇｂという。また、ガラス板Ｇの各辺を、第一辺ＧＳ１、第二辺ＧＳ２、第三辺ＧＳ３及び第四辺ＧＳ４という。

【0025】

載置部２は、複数の定盤５と、定盤５の間に設けられる複数の支持部材６と、ガラス板Ｇの位置決めを行う位置決め部７ａ，７ｂと、ガラス板Ｇを定盤５に案内するガイド部材８と、を備える。

【0026】

定盤５は、長尺状の部材であり、その長手方向がガラス板Ｇの搬入方向Ａ１及び搬出方向Ａ２に沿うように配置されている。定盤５は、例えばアルミニウム合金等の金属により構成される。定盤５の上面５ａは、ガラス板Ｇが載置される載置面として機能する。定盤５の上面５ａは、気体を噴出させる複数の噴出孔５ｂを有する。

【0027】

複数の定盤５は、その長手方向Ｙに直交する幅方向Ｘにおいて、所定の間隔で並べて配置されている。この配置により、隣り合う二つの定盤５の間には、溝部９が形成されている。載置部２は、定盤５と溝部９とが交互に配置されることにより構成される。換言すると、載置部２は、定盤５による凸部と、溝部９による凹部とが交互に設けられることにより構成されている。

【0028】

凸部としての定盤５の幅Ｗ（上面５ａの幅）は、５０ｍｍ以上２００ｍｍ以下であることが好ましい。幅Ｗの下限値は、より好ましくは８０ｍｍ以上であり、さらに好ましくは１００ｍｍ以上である。幅Ｗの上限値は、より好ましくは１８０ｍｍ以下であり、さらに好ましくは１５０ｍｍ以下である。幅方向Ｘにおける定盤５の間隔Ｄ、すなわち溝部９の幅は、５０ｍｍ以上２００ｍｍ以下であることが好ましい。間隔Ｄの下限値は、より好ましくは７０ｍｍ以上であり、さらに好ましくは８０ｍｍ以上である。間隔Ｄの上限値は、より好ましくは１８０ｍｍ以下であり、さらに好ましくは１５０ｍｍ以下である。

【0029】

一定の間隔をおいて配置される複数の定盤５の上面５ａによって、ガラス板Ｇを載置するための矩形状の載置面が構成される。図１及び図２に示すように、載置面は、第一角部１０ａと、第二角部１０ｂと、第三角部１０ｃと、第四角部１０ｄとを有する。

【0030】

図３に示すように、載置面は、その対角線の方向、すなわち第三角部１０ｃから第一角部１０ａに向かうにつれて徐々に下方に傾斜する傾斜面として構成される。水平方向（水平線Ｈ）に対して載置面がなす角度θは、０．１°以上５°以下であることが好ましい。

【0031】

支持部材６は、幅方向Ｘにおいて隣り合う定盤５の間に配置されている。換言すると、支持部材６は、載置部２における溝部９の範囲内に設けられている。複数の支持部材６は、定盤５の長手方向Ｙにおいて、所定の間隔をおいて配置されている。

【0032】

支持部材６は、上下方向に沿って移動可能に構成される。具体的には、支持部材６は、定盤５の上面５ａよりも下方に位置する待機位置と、定盤５の上面５ａよりも上方においてガラス板Ｇを支持する支持位置と、に移動可能に構成される。

【0033】

位置決め部７ａ，７ｂは、第一位置決め部７ａと、第二位置決め部７ｂとを含む。第一位置決め部７ａは、載置部２に載置されたガラス板Ｇの第一辺ＧＳ１に接触することで、この第一辺ＧＳ１の位置決めを行う、第二位置決め部７ｂは、載置部２に載置されたガラス板Ｇの第二辺ＧＳ２に接触することで、この第二辺ＧＳ２の位置決めを行う。

【0034】

各位置決め部７ａ，７ｂは、上下方向及び水平方向に移動可能に構成される。図４に示すように、第一位置決め部７ａは、定盤５の上面５ａよりも下方に位置する待機位置（実線で示す位置）と、待機位置の上方であって、ガラス板Ｇの第一辺ＧＳ１から水平方向に離れた退避位置（一点鎖線で示す位置）とに上下移動可能に構成される。さらに第一位置決め部７ａは、この退避位置と、ガラス板Ｇの第一辺ＧＳ１に接触する位置決め位置（二点鎖線で示す位置）とに水平移動可能に構成される。

【0035】

図５に示すように、第二位置決め部７ｂは、定盤５の上面５ａよりも下方に位置する待機位置（実線で示す位置）と、待機位置の上方であって、ガラス板Ｇの第二辺ＧＳ２から水平方向に離れた退避位置（一点鎖線で示す位置）とに上下移動可能に構成される。さらに第二位置決め部７ｂは、この退避位置と、ガラス板Ｇの第二辺ＧＳ２に接触する位置決め位置（二点鎖線で示す位置）とに水平移動可能に構成される。

【0036】

ガイド部材８は、定盤５の長手方向Ｙの端部から離れた位置に設けられている。本実施形態において、ガイド部材８は、例えばガラス板Ｇの下面である第二主面Ｇｂに接触するガイドローラにより構成される。ガイド部材８の構成は、本実施形態に限定されない。

【0037】

図１及び図２に示すように、測定部３は、センサ部１１と、センサ部１１を移動させる駆動部１２ａ，１２ｂと、を備える。

【0038】

センサ部１１は、例えばレーザ変位計により構成されるが、センサ部１１の構成は本実施形態に限定されない。センサ部１１は、レーザ変位計や超音波型変位計等の非接触式の変位計により構成されることが好ましい。

【0039】

駆動部１２ａ，１２ｂは、センサ部１１を支持する第一駆動部１２ａと、第一駆動部１２ａを支持する第二駆動部１２ｂと、を備える。第一駆動部１２ａは、幅方向Ｘに沿って延びる長尺状の第一支持部１３と、第一支持部１３の端部を支持する第二支持部１４とを有する。第一支持部１３は、センサ部１１を幅方向Ｘに沿って往復移動させるように構成される。第二支持部１４は、上下方向に沿って延びる長尺状の部材（脚部）である。

【0040】

第二駆動部１２ｂは、第一駆動部１２ａの第二支持部１４を移動可能に支持する一対の支持台として構成される。第二駆動部１２ｂは、ガラス板Ｇの搬入・搬出方向Ａ１，Ａ２に沿って延びる長尺状の部材として構成される。第二駆動部１２は、定盤５と平行となるように、幅方向Ｘにおいて載置部２の外側に配置されている。

【0041】

第二駆動部１２ｂは、第一駆動部１２ａの第二支持部１４を案内するためのガイドレール１５を備える。この構成により、第二駆動部１２ｂは、定盤５の長手方向Ｙ又は搬入・搬出方向Ａ１，Ａ２に沿って、第一駆動部１２ａを往復移動させることができる。

【0042】

制御部４は、載置部２及び測定部３の制御及び各種の演算処理を行うコンピュータにより構成される。制御部４は、載置部２における定盤５の噴出孔５ｂによる気体の噴出動作、載置部２における支持部材６の動作、測定部３におけるセンサ部１１及び駆動部１２ａ，１２ｂの動作に係る制御、測定部３によって測定されたデータに関する演算処理などを行う。

【0043】

図６に示すように、制御部４は、演算処理部１６と、記憶部１７と、通信制御部１８と、を主に備える。

【0044】

演算処理部１６は、ガラス板Ｇの検査に必要とされる「基準形状」に関する数値を演算処理により求めることができる。演算処理部１６は、この基準形状に基づいて、検査対象となるガラス板Ｇの良否を判定する評価部１９を備える。

【0045】

記憶部１７は、ガラス板Ｇの検査に必要な各種データ及びプログラム、ガラス板Ｇの測定値、演算処理部１６の評価部１９による判定結果等の各種の情報を記憶することができる。通信制御部１８は、載置部２及び測定部３に対する信号の送受信などを行うことができる。

【0046】

以下、上記の構成を有する検査装置１を使用してガラス板Ｇを検査する方法及びガラス板Ｇを製造する方法について説明する。

【0047】

図７に示すように、ガラス板Ｇの製造方法は、成形工程Ｓ１と、徐冷工程Ｓ２と、冷却工程Ｓ３と、第一切断工程Ｓ４と、第二切断工程Ｓ５と、検査工程Ｓ６と、を備える。

【0048】

成形工程Ｓ１では、成形装置によって溶融ガラスからガラスリボンを連続成形する。成形装置は、オーバーフローダウンドロー法を実行可能な成形体を備える。成形体は、その上部に形成されたオーバーフロー溝から溶融ガラスを溢れ出させて、当該成形体の両側の側壁面に沿って流下させる。さらに成形体は、流下させた溶融ガラスを各側壁面の下端部で融合させる。これにより、所定の幅を有するガラスリボンが成形される。なお、成形体は、スロットダウンドロー法などの他のダウンドロー法を実行するものであってもよい。

【0049】

徐冷工程Ｓ２は、成形装置の下方に配置された徐冷炉内で行われる。徐冷工程Ｓ２において、ガラスリボンは、徐冷炉内に配置されたローラ対によって下方に搬送される。徐冷炉内では所定の温度勾配が設定されており、ガラスリボンは徐冷炉内を通過することで徐冷される。徐冷工程Ｓ２後の冷却工程Ｓ３では、ガラスリボンは、徐冷炉の下方に配された冷却ゾーンを通過しつつ、室温付近まで冷却される。

【0050】

第一切断工程Ｓ４では、冷却ゾーンの下方に配置された第一切断装置によってガラスリボンの中途部を幅方向に沿って切断することで、所定サイズのガラス板Ｇを切り出す。すなわち、第一切断工程Ｓ４では、下方に移動するガラスリボンの中途部にスクライブ装置によって幅方向に沿うスクライブ線を形成し（スクライブ工程）、このスクライブ線に沿ってガラスリボンの一部を折割ることで、枚葉状のガラス板Ｇを形成する（折割工程）。

【0051】

第二切断工程Ｓ５は、第一切断工程Ｓ４において切り出されたガラス板Ｇの幅方向における端部（不要部）を除去する工程である。第二切断工程Ｓ５は、第一切断工程Ｓ４と同様に、ガラス板Ｇの一部にスクライブ線を形成し（スクライブ工程）、その後、折割装置によってガラス板Ｇの端部を折割る（折割工程）。

【0052】

検査工程Ｓ６では、検査装置１によってガラス板Ｇの形状を測定し、測定値に基づいて、ガラス板Ｇの良否を判定する。

【0053】

図８に示すように、検査工程Ｓ６は、準備工程Ｓ６１と、演算工程Ｓ６２と、測定工程Ｓ６３と、評価工程Ｓ６４と、を備える。

【0054】

準備工程Ｓ６１では、まず第二切断工程Ｓ５を経て形成されたガラス板Ｇから検査の基準となる複数枚のガラス板（以下「基準ガラス板」という）Ｇ１を選別する。基準ガラス板は、例えば３枚～１０枚の良品のガラス板で構成できる。その後、検査装置１によって基準ガラス板Ｇ１の形状を測定することで、評価工程Ｓ６４に使用される「基準形状」に係るデータを取得する。以下、準備工程Ｓ６１の具体的な実施態様について説明する。

【0055】

図１及び図２に示すように、準備工程Ｓ６１では、載置部２に基準ガラス板Ｇ１が搬入される。この搬入工程では、基準ガラス板Ｇ１の第一主面Ｇａを上面とし、第二主面Ｇｂを下面とする。基準ガラス板Ｇ１は、第二主面Ｇｂをガイド部材８に接触させた状態で、搬入方向Ａ１に沿って定盤５へと送られる。このとき、ガイド部材８は、回転しながら基準ガラス板Ｇ１の第二主面Ｇｂを搬入方向Ａ１に沿って案内する。また、搬入工程では、制御部４の制御により、噴出孔５ｂから気体を噴出させる。これにより、基準ガラス板Ｇ１と定盤５との接触が回避され、搬入工程における基準ガラス板Ｇ１の破損を防止することができる。基準ガラス板Ｇ１が載置部２に搬入される間は、位置決め部７ａ，７ｂは、待機位置にあるため、基準ガラス板Ｇ１に接触することはない。

【0056】

図４及び図５に示すように、基準ガラス板Ｇ１が載置部２に搬入されると、位置決め部７ａ，７ｂは、待機位置から退避位置へと移動し、その後、退避位置から接触位置へと移動する。

【0057】

その後、定盤５は、気体の噴出を停止させる。これにより、基準ガラス板Ｇ１は、定盤５の上面５ａに接触する。このとき、定盤５の上面５ａは、その傾斜の方向に沿って、すなわち、載置面の第三角部１０ｃから第一角部１０ａに向かう方向に沿って基準ガラス板Ｇ１を案内する。これにより、基準ガラス板Ｇ１の第一辺ＧＳ１は、接触位置にある第一位置決め部７ａに接触する。また、基準ガラス板Ｇ１の第二辺ＧＳ２は、接触位置にある第二位置決め部７ｂに接触する。以上により、基準ガラス板Ｇ１は、測定部３によって測定することが可能な基準測定位置に位置決めされる。

【0058】

次に、測定部３は、制御部４の制御により、載置部２に載置された基準ガラス板Ｇ１の形状を測定する。具体的には、測定部３は、載置面（定盤５の上面５ａ）に載置された状態における基準ガラス板Ｇ１の反り量（以下「第一反り量」という）と、基準ガラス板Ｇ１を載置面から浮上させた状態における当該基準ガラス板Ｇ１の反り量（以下「第二反り量」という）と、を測定する。

【0059】

図９に示すように、センサ部１１は、幅方向Ｘに沿って移動しながら基準ガラス板Ｇ１の第一反り量を測定する。すなわち、センサ部１１は、溝部９の上方を幅方向Ｘに移動しながら、レーザ光Ｌを基準ガラス板Ｇ１の第一主面Ｇａに照射し、この第一主面Ｇａから反射したレーザ光Ｌを受光することにより、センサ部１１から基準ガラス板Ｇ１の第一主面Ｇａまでの距離（第一反り量）を測定する。

【0060】

準備工程Ｓ６１では、センサ部１１は、複数枚の基準ガラス板Ｇ１について、第一反り量を測定する。図１０に示すように、各基準ガラス板Ｇ１には、複数の測定点ＭＰ（測定領域）が設定されており、各測定点ＭＰに対して、センサ部１１と基準ガラス板Ｇ１の第一主面Ｇａとの距離が測定される。各測定点ＭＰ間のピッチは、例えば１０ｍｍ以上２００ｍｍ以下で設定される。なお、各測定点ＭＰは、等ピッチで設定されても良く、基準ガラス板Ｇ１上の位置又は方向に応じて、異なるピッチで設定されても良い。本実施形態では、幅方向Ｘ及び定盤５の長手方向Ｙについて、等ピッチで設定されており、測定点ＭＰは凸部（定盤５）に対応する位置と、凹部（溝部９）に対応する位置とを含む。

【0061】

センサ部１１は、図１０において矢印Ｂ１で示すように、載置部２に載置された基準ガラス板Ｇ１に対し、幅方向Ｘに沿って移動しながら、各測定点ＭＰに対して、第一反り量の測定を行う。幅方向Ｘに沿った一列分の測定点ＭＰに対して測定が完了した後、センサ部１１は定盤５の長手方向Ｙに沿って移動し、幅方向Ｘに沿った次の一列分の測定を行う。以上の手順を繰り返すことで、基準ガラス板Ｇ１の全ての測定点ＭＰに対して第一反り量の測定を行う。センサ部１１は、取得した第一反り量に係る測定データを制御部４の通信制御部１８に送信する。

【0062】

第二反り量を測定する場合において、載置部２は、制御部４の制御により、定盤５の噴出孔５ｂから気体を噴出させる。これにより、図１１に示すように、定盤５の上面５ａに支持されていた基準ガラス板Ｇ１は、この上面５ａから浮き上がる。センサ部１１は、基準ガラス板Ｇ１が定盤５から浮上した状態で、幅方向Ｘに沿って移動しながら、基準ガラス板Ｇ１の第一主面Ｇａの形状を測定する。すなわち、センサ部１１は、移動しながらレーザ光Ｌを基準ガラス板Ｇ１の第一主面Ｇａに照射し、この第一主面Ｇａから反射したレーザ光Ｌを受光することにより、センサ部１１から基準ガラス板Ｇ１の第一主面Ｇａまでの距離（第二反り量）を測定する。

【0063】

第二反り量の測定は、第一反り量の測定と同様に、複数枚の基準ガラス板Ｇ１に対して行われる。また、各基準ガラス板Ｇ１に対して設定された各測定点ＭＰに対して、第二反り量の測定が行われる。

【0064】

センサ部１１は、第一反り量の測定と同様に、載置部２に載置された基準ガラス板Ｇ１に対して幅方向Ｘに沿って往復移動を繰り返しながら、第二反り量の測定を行う（図１０参照）。センサ部１１は、第二反り量に係る測定データを制御部４の通信制御部１８に送信する。準備工程Ｓ６１の終了後、使用した基準ガラス板Ｇ１は廃棄される。

【0065】

演算工程Ｓ６２は、準備工程Ｓ６１で得られた基準ガラス板Ｇ１の測定値から基準形状を演算する工程である。

【0066】

制御部４の演算処理部１６は、測定部３から送信された測定データの平均値を算出する。すなわち、演算処理部１６は、複数枚の基準ガラス板Ｇ１の第一反り量（センサ部１１と基準ガラス板Ｇ１の第一主面Ｇａとの距離）について、測定点毎に平均値を算出する。また、演算処理部１６は、複数枚の基準ガラス板Ｇ１の第二反り量について、測定点ＭＰ毎に平均値を算出する。算出された平均値は、後の評価工程Ｓ６４において、サンプルガラス板Ｇ２の良否を判定するための基準値となる。

【0067】

演算処理部１６は、算出した各測定点の測定データの平均値に基づいて、「基準形状」を作成する。ここで、「基準形状」とは、基準ガラス板Ｇ１の各測定点において算出された基準値（平均値）の集合を意味する。例えば図１０に示すように、基準ガラス板Ｇ１に対して設定された複数の測定点ＭＰに対して、準備工程Ｓ６１で算出された基準値（平均値）が設定される。制御部４は、基準形状に係るデータを記憶部１７に記録させる。

【0068】

測定工程Ｓ６３では、第二切断工程Ｓ５を経て形成されたガラス板Ｇから、選択されたサンプルガラス板Ｇ２の形状を測定する。サンプルガラス板Ｇ２は、例えば所定時間毎、または所定枚数毎に選択されても良い。所定時間及び所定枚数は、ガラス板Ｇの製造条件や検査結果に応じて適宜選択される。測定工程Ｓ６３では、基準ガラス板Ｇ１を測定した場合と同様に、サンプルガラス板Ｇ２が載置部２の定盤５の上面５ａに載置される。

【0069】

その後、サンプルガラス板Ｇ２の第一主面Ｇａに対して設定された各測定点ＭＰに対して、検査装置１の測定部３による測定が行われる。なお、サンプルガラス板Ｇ２に設定される測定点ＭＰは、基準ガラス板Ｇ１に設定された測定点ＭＰと同じ位置に設定されている。

【0070】

測定工程Ｓ６３では、サンプルガラス板Ｇ２の形状、すなわちサンプルガラス板Ｇ２の各測定点ＭＰにおける第一反り量及び第二反り量が測定される他、サンプルガラス板Ｇ２の撓み差及び板厚についても測定される。

【0071】

測定工程Ｓ６３においてサンプルガラス板Ｇ２の撓み差を測定する場合には、支持部材６によってサンプルガラス板Ｇ２を支持した状態とする。図１２に示すように、支持部材６は、待機位置から支持位置へと移動することで、サンプルガラス板Ｇ２の一部を持ち上げる。支持部材６が支持位置にある場合、支持部材６の上端部は、定盤５の上面５ａよりも上方に位置する。支持部材６に支持されたサンプルガラス板Ｇ２は、定盤５の上面５ａから離れた状態となる。

【0072】

図１２に示すように、センサ部１１は、幅方向Ｘに沿って移動しながら、サンプルガラス板Ｇ２の上面である第一主面Ｇａにレーザ光Ｌを照射し、この第一主面Ｇａから反射したレーザ光Ｌを受光することにより、センサ部１１からサンプルガラス板Ｇ２の第一主面Ｇａまでの距離を測定する。

【0073】

図１３に示すように、センサ部１１は、矢印Ｂ２で示す経路に沿って支持部材６の直上を通過するように移動しながら、幅方向Ｘに沿って往復移動を繰り返す。これにより、幅方向Ｘで隣り合う二つの支持部材６の間における、センサ部１１とサンプルガラス板Ｇ２の第一主面Ｇａとの距離が測定される。

【0074】

その後、サンプルガラス板Ｇ２は、載置部２から搬出され、上下反転され、再び載置部２に搬入される。これにより、サンプルガラス板Ｇ２は、第二主面Ｇｂが上面となり、第一主面Ｇａが下面となって載置部２の載置面に載置される。

【0075】

その後、サンプルガラス板Ｇ２は、支持部材６によって再度支持され、センサ部１１によって、このセンサ部１１とサンプルガラス板Ｇ２の第二主面Ｇｂとの距離が測定される。センサ部１１は、測定したデータを制御部４の通信制御部１８に送信する。

【0076】

図１４及び図１５は、本実施形態に係る撓み差の算出方法を説明するための概念図である。本方法では、図１４に示すように、第一主面Ｇａを上方に向けた状態で、サンプルガラス板Ｇ２を支持部材６によって支持した場合の第一撓みｄ１を測定する。その後、サンプルガラス板Ｇ２を上下反転させ、図１５に示すように、第二主面Ｇｂを上方に向けた状態で、サンプルガラス板Ｇ２を支持部材６によって支持した場合の第二撓みｄ２を測定する。その後、第一撓みｄ１と第二撓みｄ２との差（｜ｄ１－ｄ２｜）を算出し、これを「撓み差」として評価の対象とする。

【0077】

制御部４の演算処理部１６は、センサ部１１から送信された測定データから、幅方向Ｘにおいて隣り合う二つの支持部材６の中間位置におけるサンプルガラス板Ｇ２の撓み（ｄ１，ｄ２）を検出し、撓み差を算出する。制御部４は、演算処理部１６によって算出された撓み差に係るデータを記憶部１７に記録させる。

【0078】

測定工程Ｓ６３においてサンプルガラス板Ｇ２の板厚を測定する場合、測定部３のセンサ部１１は、溝部９の範囲内において、支持部材６と重ならないように、レーザ光Ｌをサンプルガラス板Ｇ２に照射する。すなわち、図１６に示すように、センサ部１１は、定盤５の長手方向Ｙに沿って、かつ、矢印Ｂ３に示す経路に沿って往復移動しながら、サンプルガラス板Ｇ２の板厚を測定する。

【0079】

測定部３のセンサ部１１は、サンプルガラス板Ｇ２の上面である第一主面Ｇａと、下面である第二主面Ｇｂとにレーザ光Ｌを照射し、反射したレーザ光Ｌを受光し、その光路長の差から板厚を測定することができる。詳細には、サンプルガラス板Ｇ２の板厚をｄ［ｍｍ］、光路長差をＬ［ｍｍ］、サンプルガラス板Ｇ２の屈折率をｎとした場合、ｄ＝Ｌ／２ｎより板厚を測定することができる。センサ部１１は、板厚に係る測定データを制御部４の通信制御部１８に送信する。測定工程Ｓ６３の終了後、使用したサンプルガラス板Ｇ２は廃棄される。

【0080】

評価工程Ｓ６４において、演算処理部１６の評価部１９は、測定工程Ｓ６３によって測定されたサンプルガラス板Ｇ２の形状の良否を判定する。

【0081】

具体的には、評価部１９は、測定工程Ｓ６３においてサンプルガラス板Ｇ２の各測定点ＭＰにおける第一反り量の測定値と、準備工程Ｓ６１において各測定点ＭＰに設定された基準値（基準形状）とを比較する。

【0082】

すなわち、評価部１９は、サンプルガラス板Ｇ２の各測定点ＭＰにおける第一反り量の測定値と、基準形状の各測定点ＭＰに設定された第一反り量の基準値との差を演算する。次に、評価部１９は、この差が、記憶部１７に保存されている第一反り量の閾値の範囲内にあるか否かを判定する。

【0083】

評価部１９は、上記の第一反り量の差が、閾値の範囲内にあるときに、そのサンプルガラス板Ｇ２を「良」と判定する。評価部１９は、上記の第一反り量の差が、閾値の範囲を超えるときに、そのサンプルガラス板Ｇ２を「不良」と判定する。

【0084】

評価工程Ｓ６４において、演算処理部１６の評価部１９は、測定工程Ｓ６３で測定されたサンプルガラス板Ｇ２の第二反り量の測定値についても、第一反り量の判定と同様に、基準形状と比較して、その良否を判定する。

【0085】

評価工程Ｓ６４において、演算処理部１６の評価部１９は、測定工程Ｓ６３で測定されたサンプルガラス板Ｇ２の撓み差及び板厚の測定値についても、その良否を判定する。制御部４の記憶部１７には、撓み差及び板厚に関する閾値が保存されている。評価部１９は、測定されたサンプルガラス板Ｇ２の撓み差及び板厚の測定値が、この閾値の範囲内にあるか否かを判定する。評価部１９は、撓み差及び板厚の測定値が、閾値の範囲内にあるときに、そのサンプルガラス板Ｇ２を「良」と判定する。評価部１９は、撓み差及び板厚の測定値が閾値の範囲を超えるときに、そのサンプルガラス板Ｇ２を「不良」と判定する。

【0086】

評価工程Ｓ６４において、サンプルガラス板Ｇ２が不良であることが判明した場合には、成形工程Ｓ１や徐冷工程Ｓ２にその情報が伝達される。成形工程Ｓ１又は徐冷工程Ｓ２では、ガラスリボンの形状不良を解消するために、成形条件又は徐冷条件の修正が行われる。

【0087】

なお、サンプルガラス板Ｇ２が不良と判定された場合、サンプルガラス板Ｇ２が最後に良と判定されてから、再び良と判定されるまでの間に生産されたガラス板Ｇは廃棄される。

【0088】

以上説明した本実施形態に係る検査装置１及びガラス板Ｇの製造方法によれば、検査工程Ｓ６（検査方法）の測定工程Ｓ６３によってサンプルガラス板Ｇ２の形状を測定し、測定結果と、評価工程Ｓ６４において基準形状とを比較することにより、載置部２の載置面に複数の凹部（溝部９）が存在する場合であっても、サンプルガラス板Ｇ２の形状を精度良く検査することが可能となる。

【0089】

なお、本発明は、上記実施形態の構成に限定されるものではなく、上記した作用効果に限定されるものでもない。本発明は、本発明の要旨を逸脱しない範囲で種々の変更が可能である。

【0090】

上記の実施形態では、載置面が水平方向に対して角度θで傾斜していたが、これに限定されない。載置面が傾斜した状態と、載置面が水平面に一致した状態とを切り替え可能に構成されていても良い。また、載置面が水平面に一致するよう固定されており、基準ガラス板Ｇ１又はサンプルガラス板Ｇ２の第一辺ＧＳ１、第二辺ＧＳ２を、位置決め部７ａ，７ｂに接触するよう、サンプルガラス板Ｇ２を移動させることで位置決めを行っても良い。

【0091】

上記の実施形態では、基準形状を作成する際に、測定点毎に複数の測定データの平均値を算出していたが、これに限定されない。複数の測定データの中央値を算出したり、複数の測定データから最大値及び最小値を除外した後に平均値を算出したりしても良い。

【0092】

上記の実施形態では、複数の凸部が長尺状の定盤５により構成されているが、これに限定されない。凸部が格子状の定盤により構成され、格子間の穴によって凹部が形成されていても良い。また、凹部が格子状に形成され、格子間に定盤が配置されていても良い。

【符号の説明】

【0093】

１ 検査装置
３ 測定部
４ 制御部
５ 定盤（凸部）
５ａ 定盤の上面（載置面）
１７ 記憶部
１９ 評価部
Ｇ１ 基準ガラス板
Ｇ２ サンプルガラス板
Ｓ６ 検査工程
Ｓ６１ 準備工程
Ｓ６２ 演算工程
Ｓ６３ 測定工程
Ｓ６４ 評価工程
Ｗ 定盤の幅（凸部の幅）
Ｄ 定盤の間隔（凸部の間隔）

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】

【図14】

【図15】

【図16】