特開 2025-8915 ガラス板の検査方法及び検査装置並びにガラス板の製造方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2025008915

(43)【公開日】2025-01-20

(54)【発明の名称】ガラス板の検査方法及び検査装置並びにガラス板の製造方法

(51)【国際特許分類】

   G01B 11/16 20060101AFI20250109BHJP

   G01B 11/24 20060101ALI20250109BHJP

【ＦＩ】

G01B11/16 Z

G01B11/24 A

【審査請求】未請求

【請求項の数】8

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2023111537

(22)【出願日】2023-07-06

(71)【出願人】

【識別番号】000232243

【氏名又は名称】日本電気硝子株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100107423

【弁理士】

【氏名又は名称】城村 邦彦

(74)【代理人】

【識別番号】100120949

【弁理士】

【氏名又は名称】熊野 剛

(74)【代理人】

【識別番号】100129148

【弁理士】

【氏名又は名称】山本 淳也

(72)【発明者】

【氏名】大庭 直樹

【テーマコード（参考）】

2F065

【Ｆターム（参考）】

2F065AA20

2F065AA53

2F065AA65

2F065BB01

2F065BB22

2F065FF41

2F065GG04

2F065MM13

2F065MM23

2F065PP03

2F065PP11

2F065PP22

2F065UU04

(57)【要約】

【課題】大型のガラス板の形状を好適に検査する。
【解決手段】ガラス板の検査方法は、複数の支持部材６ａを備える支持装置６によりガラス板Ｇを支持する支持工程Ｓ６２と、支持装置６により支持されたガラス板Ｇの撓みを測定する測定工程Ｓ６３と、を備える。支持装置６は、ガラス板Ｇを支持するための複数の支持単位を有する。
【選択図】図１

【特許請求の範囲】

【請求項1】

複数の支持部材を備える支持装置によりガラス板を支持する支持工程と、前記支持装置により支持された前記ガラス板の撓みを測定する測定工程と、を備えるガラス板の検査方法であって、
前記支持装置は、複数の支持単位を備え、
前記支持単位は、複数の前記支持部材により構成され、
前記測定工程では、複数の前記支持単位により形成される前記ガラス板の複数の撓みを測定することを特徴とするガラス板の検査方法。

【請求項2】

前記支持部材は、縦方向に延びる棒状又はブロック状の部材であり、
前記支持単位は、前記ガラス板を支持する前記支持部材のうち、平面視で矩形状に配置される二つ以上の前記支持部材により構成されることを特徴とする請求項１に記載のガラス板の検査方法。

【請求項3】

前記支持部材は、横方向に延びる柱状部材であり、
前記支持単位は、前記ガラス板を支持する前記支持部材のうち、隣接する二つの前記支持部材により構成されることを特徴とする請求項１に記載のガラス板の検査方法。

【請求項4】

前記測定工程では、前記ガラス板の全面の形状を測定し、前記ガラス板の前記撓みを算出することを特徴とする請求項１から３のいずれか一項に記載のガラス板の検査方法。

【請求項5】

複数の前記支持部材の相互間に配置された載置面に前記ガラス板を載置する準備工程を備え、
前記支持部材は、前記支持部材の上端部が前記載置面より上方にある支持位置と、前記支持部材の前記上端部が前記載置面より下方にある待機位置との間を移動可能であり、
前記支持工程では、前記支持部材が前記待機位置から前記支持位置へと移動することで、前記載置面に載置された前記ガラス板を支持することを特徴とする請求項１から３のいずれか一項に記載のガラス板の検査方法。

【請求項6】

前記ガラス板は、一辺が１０００ｍｍ以上３５００ｍｍ以下であることを特徴とする請求項１から３のいずれか一項に記載のガラス板の検査方法。

【請求項7】

請求項１から３のいずれか一項に記載のガラス板の検査方法を用いて検査工程を行うことを特徴とするガラス板の製造方法。

【請求項8】

複数の支持部材を有する支持装置と、前記支持装置に支持されたガラス板の撓みを測定する測定部と、を備えるガラス板の検査装置であって、
前記支持装置は、前記ガラス板を支持するための複数の支持単位を有することを特徴とするガラス板の検査装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、ガラス板の検査方法及び検査装置並びにガラス板の製造方法に関する。

【背景技術】

【0002】

近年、液晶ディスプレイや有機ＥＬディスプレイ等のディスプレイにおいては、軽量で可撓性を有する薄肉のガラス基板が使用されている。ディスプレイに使用されるガラス基板の表面には、各種の膜を均一に塗布した後に、フォトプロセスの手法（露光工程、現像工程等）を用いて薄膜トランジスタ（ＴＦＴ）が形成される。

【0003】

薄膜トランジスタを精度良く形成するために、ガラス基板に対して高い寸法精度が要求される。このため、ガラス板の製造工程では、製造されたガラス板の形状を検査する工程が実施される。

【0004】

このような検査工程で使用される装置として、例えば特許文献１には、ガラス板の反りを測定するための反り測定装置が開示されている。この反り測定装置は、水平面内において線対称に設けられた四つの点状支持部材と、四つの点状支持部材に支持された測定対象である板状部材の表面までの距離を測定する変位計と、を備えている（同文献の請求項１参照）。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0005】

【特許文献1】特開２０１４－７７７４３号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0006】

近年、ディスプレイの大型化の傾向に対応するように、ディスプレイに使用されるガラス板についても大型化が推進されている。このような状況下において、検査装置としては、大型のガラス板を好適に測定することが求められる。

【0007】

しかしながら、従来の反り測定装置では、四つの点状支持部材のみでガラス板を支持する構成であったため、大型のガラス板を好適に支持することが困難であった。このため、検査の前に、支持部材が支持することができる大きさにガラス板を切断する必要があり、検査工程を効率良く行うことができなかった。

【0008】

本発明は上記の事情に鑑みてなされたものであり、大型のガラス板の形状を好適に検査することを技術的課題とする。

【課題を解決するための手段】

【0009】

（１） 本発明は上記の課題を解決するためのものであり、複数の支持部材を備える支持装置によりガラス板を支持する支持工程と、前記支持装置により支持された前記ガラス板の撓みを測定する測定工程と、を備えるガラス板の検査方法であって、前記支持装置は、複数の支持単位を備え、前記支持単位は、複数の前記支持部材により構成され、前記測定工程では、複数の前記支持単位により形成される前記ガラス板の複数の撓みを測定することを特徴とする。

【0010】

かかる構成によれば、支持装置は、複数の支持部材で構成される複数の支持単位を含む。この各支持単位は、支持部材の間に位置する部分に撓みが形成された状態でガラス板を好適に支持する。また、測定工程では、各支持単位により形成される複数の撓みを測定する。これにより、大型のガラス板を検査のために切断する必要がなくなり、ガラス板の検査を効率良く行うことが可能となる。

【0011】

（２） 上記（１）に記載のガラス板の検査方法において、前記支持部材は、縦方向に延びる棒状又はブロック状の部材であり、前記支持単位は、前記ガラス板を支持する前記支持部材のうち、平面視で矩形状に配置される二つ以上の前記支持部材により構成されてもよい。これにより、ガラス板に対する支持部材の接触面積を小さくすると共に、ガラス板を安定した姿勢で支持することができる。

【0012】

（３） 上記（２）に記載のガラス板の検査方法において、前記支持部材は、横方向に延びる柱状部材であり、前記支持単位は、前記ガラス板を支持する前記支持部材のうち、隣接する二つの前記支持部材により構成されてもよい。これにより、ガラス板に対する支持部材の接触面積を小さくすると共に、ガラス板を安定した姿勢で支持することができる。

【0013】

（４） 上記（１）から（３）のいずれかに記載のガラス板の検査方法において、前記測定工程では、前記ガラス板の全面の形状を測定し、前記ガラス板の前記撓みを算出してもよい。これにより、ガラス板において撓みが大きな点を特定することが可能となる。

【0014】

（５） 上記（１）から（４）のいずれかに記載のガラス板の検査方法において、複数の前記支持部材の相互間に配置された載置面に前記ガラス板を載置する準備工程を備え、前記支持部材は、前記支持部材の上端部が前記載置面より上方にある支持位置と、前記支持部材の前記上端部が前記載置面より下方にある待機位置との間を移動可能であり、前記支持工程では、前記支持部材が前記待機位置から前記支持位置へと移動することで、前記載置面に載置された前記ガラス板を支持してもよい。

【0015】

かかる構成によれば、支持部材を待機位置に配置しておくことで、準備工程においてガラス板を載置面に載置する際に、支持部材がガラス板に接触することを防止できる。

【0016】

（６） 上記（１）から（５）のいずれかに記載のガラス板の検査方法において、前記ガラス板は、一辺が１０００ｍｍ以上３５００ｍｍ以下であってもよい。

【0017】

（７） 本発明に係るガラス板の製造方法は、上記（１）から（６）のいずれかに記載の検査方法を用いて検査工程を行うことを特徴とする。かかる構成によれば、複数の支持単位によって大型のガラス板を好適に支持することで、検査効率を効率良く行うことができる。

【0018】

（８） 本発明は上記の課題を解決するためのものであり、複数の支持部材を有する支持装置と、前記支持装置に支持されたガラス板の撓みを測定する測定部と、を備えるガラス板の検査装置であって、前記支持装置は、前記ガラス板を支持するための複数の支持単位を有することを特徴とする。

【0019】

かかる構成によれば、支持装置は、複数の支持単位によって大型のガラス板を好適に支持することができる。これにより、大型のガラス板を検査のために切断する必要もなくなり、ガラス板の検査を効率良く行うことが可能となる。

【発明の効果】

【0020】

本発明によれば、大型のガラス板の形状を好適に検査することができる。

【図面の簡単な説明】

【0021】

【図1】検査装置の斜視図である。

【図2】検査装置の平面図である。

【図3】図２のＩＩＩ－ＩＩＩ矢視線に係る載置部の断面図である。

【図4】支持装置の正面図である。

【図5】検査装置の位置決め部の動作を示す側面図である。

【図6】検査装置の位置決め部の動作を示す正面図である。

【図7】ガラス板の製造方法を示すフローチャートである。

【図8】検査工程を示すフローチャートである。

【図9】検査工程を示す正面図である。

【図10】検査工程を示す平面図である。

【図11】検査工程を示す正面図である。

【図12】検査工程を示す正面図である。

【図13】検査工程を示す正面図である。

【図14】検査工程を示す平面図である。

【図15】検査工程を示す正面図である。

【図16】検査工程を示す平面図である。

【図17】検査装置の平面図である。

【図18】支持部材の斜視図である。

【発明を実施するための形態】

【0022】

以下、本発明を実施するための形態について、図面を参照しながら説明する。図１乃至図１６は、本発明に係るガラス板の検査装置及びこの検査装置を用いたガラス板の製造方法の第一実施形態を示す。

【0023】

図１及び図２に示すように、検査装置１は、ガラス板Ｇを載置する載置部２と、載置部２に載置されたガラス板Ｇの形状を測定する測定部３と、載置部２及び測定部３の制御を行う制御部４と、を備える。

【0024】

検査対象となるガラス板Ｇは、例えば一枚又は複数枚の製品ガラス板が採取される矩形状のガラス原板（マザーガラス板）又は製品ガラス板である。ガラス原板及び製品ガラス板の厚みは、例えば０．０５ｍｍ～１．２ｍｍである。ガラス原板のサイズは、例えば１０００ｍｍ×１０００ｍｍ～３５００ｍｍ×３５００ｍｍである。ガラス原板のサイズの下限値は、より好ましくは１２００ｍｍ×１２００ｍｍ以上、さらに好ましくは１３００ｍｍ×１３００ｍｍ以上である。ガラス原板のサイズの上限値は、より好ましくは３０００ｍｍ×３０００ｍｍ以下、さらに好ましくは２８００ｍｍ×２８００ｍｍ以下である。製品ガラス板のサイズは、例えば７００ｍｍ×７００ｍｍ～３５００ｍｍ×３５００ｍｍである。製品ガラス板は、例えばディスプレイの基板やカバーガラスとして利用される。なお、ディスプレイの基板やカバーガラスは、フラットパネルに限定されず、曲面パネル、フォルダブルパネルに使用されてもよい。

【0025】

以下、ガラス板Ｇの一方の表面を第一主面Ｇａといい、他方の表面を第二主面Ｇｂという。また、ガラス板Ｇの各辺を、第一辺ＧＳ１、第二辺ＧＳ２、第三辺ＧＳ３及び第四辺ＧＳ４という。

【0026】

載置部２は、複数の定盤５と、定盤５の間に設けられる複数の支持装置６と、ガラス板Ｇの位置決めを行う位置決め部７ａ，７ｂと、ガラス板Ｇを定盤５に案内するガイド部材８と、を備える。

【0027】

定盤５は、長尺状の部材であり、その長手方向Ｙがガラス板Ｇの搬入方向Ａ１及び搬出方向Ａ２に沿うように配置されている。定盤５は、例えばアルミニウム合金等の金属により構成される。定盤５の上面５ａは、ガラス板Ｇが載置される載置面として機能する。定盤５の上面５ａは、流体（例えば気体）を噴出（吐出）する複数の噴出孔５ｂを有する。

【0028】

複数の定盤５は、その長手方向Ｙに直交する幅方向Ｘにおいて、所定の間隔で並べて配置されている。この配置により、隣り合う二つの定盤５の間には、溝部９が形成されている。載置部２は、定盤５と溝部９とが交互に配置されることにより構成される。換言すると、載置部２は、定盤５による凸部と、溝部９による凹部とが交互に設けられることにより構成されている。

【0029】

定盤５の幅Ｗ（上面５ａの幅）は、５０ｍｍ以上２００ｍｍ以下であることが好ましい。幅方向Ｘにおける定盤５の間隔Ｄ、すなわち溝部９の幅は、５０ｍｍ以上２００ｍｍ以下であることが好ましい。

【0030】

一定の間隔をおいて配置される複数の定盤５の上面５ａによって、ガラス板Ｇを載置するための矩形状の載置面が構成される。図１及び図２に示すように、載置面は、第一角部１０ａと、第二角部１０ｂと、第三角部１０ｃと、第四角部１０ｄとを有する。

【0031】

図３に示すように、載置面は、その対角線の方向、すなわち第三角部１０ｃから第一角部１０ａに向かうにつれて徐々に下方に傾斜する傾斜面として構成される。水平方向（水平線Ｈ）に対して載置面がなす角度θは、０．１°以上５°以下であることが好ましい。

【0032】

支持装置６は、幅方向Ｘにおいて隣り合う定盤５の間に配置されている。換言すると、支持装置６は、載置部２における溝部９の範囲内に設けられている。複数の支持装置６は、定盤５の長手方向Ｙにおいて、所定の間隔をおいて配置されている。

【0033】

図４に示すように、支持装置６は、ガラス板Ｇを支持する支持部材６ａと、支持部材６ａを上下方向に移動させる昇降装置６ｂと、を備える。

【0034】

支持部材６ａは、上下方向（縦方向）に延びる棒状又はブロック状に構成されている。支持部材６ａの上端部６ａ１は、ガラス板Ｇの下面である第二主面Ｇｂを支持する支持部として機能する。本実施形態では、支持部材６ａの上端部６ａ１は、ガラス板Ｇの第二主面Ｇｂに点接触するように、曲面（例えば半球面）により構成されているが、平面や凹面であっても良い。

【0035】

支持部材６ａは、幅方向Ｘに間隔をおいて配置された定盤５の間に配置されている。換言すると、定盤５の上面５ａ（載置面）は、幅方向Ｘに間隔をおいて配置された支持部材６ａの相互間に配置されている。支持部材６ａのピッチは、好ましくは１００ｍｍ以上８００ｍｍ以下である。支持部材６ａのピッチの上限値は、より好ましくは７００ｍｍ以下、さらに好ましくは６００ｍｍ以下である。支持部材６ａのピッチの下限値は、より好ましくは２００ｍｍ以上、さらに好ましくは３００ｍｍ以上である。

【0036】

図４に示すように、昇降装置６ｂは、支持部材６ａを実線で示す待機位置と、二点鎖線で示す支持位置とに移動させることができる。待機位置において、支持部材６ａの上端部６ａ１は、定盤５の上面５ａよりも下方に位置する。支持位置において、支持部材６ａの上端部６ａ１は、定盤５の上面５ａよりも上方に位置する。

【0037】

本実施形態では、昇降装置６ｂは、支持部材６ａを個別に動作させるように、支持部材６ａ毎に設けられているが、全ての支持部材６ａを一括して動作させるようにしてもよい。

【0038】

位置決め部７ａ，７ｂは、第一位置決め部７ａと、第二位置決め部７ｂとを含む。第一位置決め部７ａは、載置部２に載置されたガラス板Ｇの第一辺ＧＳ１に接触することで、この第一辺ＧＳ１の位置決めを行う。第二位置決め部７ｂは、載置部２に載置されたガラス板Ｇの第二辺ＧＳ２に接触することで、この第二辺ＧＳ２の位置決めを行う。

【0039】

各位置決め部７ａ，７ｂは、上下方向及び水平方向に移動可能に構成される。図５に示すように、第一位置決め部７ａは、定盤５の上面５ａよりも下方に位置する待機位置（実線で示す位置）と、待機位置の上方であって、ガラス板Ｇの第一辺ＧＳ１から水平方向に離れた退避位置（一点鎖線で示す位置）とに上下移動可能に構成される。さらに第一位置決め部７ａは、この退避位置と、ガラス板Ｇの第一辺ＧＳ１に接触する位置決め位置（二点鎖線で示す位置）とに水平移動可能に構成される。

【0040】

図６に示すように、第二位置決め部７ｂは、定盤５の上面５ａよりも下方に位置する待機位置（実線で示す位置）と、待機位置の上方であって、ガラス板Ｇの第二辺ＧＳ２から水平方向に離れた退避位置（一点鎖線で示す位置）とに上下移動可能に構成される。さらに第二位置決め部７ｂは、この退避位置と、ガラス板Ｇの第二辺ＧＳ２に接触する位置決め位置（二点鎖線で示す位置）とに水平移動可能に構成される。

【0041】

ガイド部材８は、定盤５の長手方向Ｙの端部から離れた位置に設けられている。本実施形態において、ガイド部材８は、例えばガラス板Ｇの下面である第二主面Ｇｂに接触するガイドローラにより構成される。ガイド部材８の構成は、本実施形態に限定されない。

【0042】

図１及び図２に示すように、測定部３は、センサ部１１と、センサ部１１を移動させる駆動部１２ａ，１２ｂと、を備える。

【0043】

センサ部１１は、例えばレーザ変位計により構成されるが、センサ部１１の構成は本実施形態に限定されない。センサ部１１は、レーザ変位計や超音波型変位計等の非接触式の変位計により構成されることが好ましい。

【0044】

駆動部１２ａ，１２ｂは、センサ部１１を支持する第一駆動部１２ａと、第一駆動部１２ａを支持する第二駆動部１２ｂと、を備える。第一駆動部１２ａは、幅方向Ｘに沿って延びる長尺状の第一支持部１３と、第一支持部１３の端部を支持する第二支持部１４とを有する。第一支持部１３は、センサ部１１を幅方向Ｘに沿って往復移動させるように構成される。第二支持部１４は、上下方向に沿って延びる長尺状の部材（脚部）である。

【0045】

第二駆動部１２ｂは、第一駆動部１２ａの第二支持部１４を移動可能に支持する一対の支持台として構成される。第二駆動部１２ｂは、ガラス板Ｇの搬入・搬出方向Ａ１，Ａ２に沿って延びる長尺状の部材として構成される。第二駆動部１２ｂは、定盤５と平行となるように、幅方向Ｘにおいて載置部２の外側に配置されている。

【0046】

第二駆動部１２ｂは、第一駆動部１２ａの第二支持部１４を案内するためのガイドレール１５を備える。この構成により、第二駆動部１２ｂは、定盤５の長手方向Ｙ又は搬入・搬出方向Ａ１，Ａ２に沿って、第一駆動部１２ａを往復移動させることができる。

【0047】

制御部４は、載置部２、測定部３の制御及び各種の演算処理を行うコンピュータにより構成される。制御部４は、載置部２における定盤５の噴出孔５ｂによる流体の噴出動作、載置部２の支持装置６や位置決め部７ａ，７ｂの動作、測定部３のセンサ部１１や駆動部１２ａ，１２ｂの動作に係る制御、測定部３によって測定されたデータに関する演算処理などを行う。

【0048】

以下、上記の構成を有する検査装置１を使用してガラス板Ｇを検査する方法及びガラス板Ｇを製造する方法について説明する。

【0049】

図７に示すように、ガラス板Ｇの製造方法は、成形工程Ｓ１と、徐冷工程Ｓ２と、冷却工程Ｓ３と、第一切断工程Ｓ４と、第二切断工程Ｓ５と、検査工程Ｓ６と、を備える。

【0050】

成形工程Ｓ１では、成形装置によって溶融ガラスからガラスリボンを連続成形する。成形装置は、オーバーフローダウンドロー法を実行可能な成形体を備える。成形体は、その上部に形成されたオーバーフロー溝から溶融ガラスを溢れ出させて、当該成形体の両側の側壁面に沿って流下させる。さらに成形体は、流下させた溶融ガラスを各側壁面の下端部で融合させる。これにより、所定の幅を有するガラスリボンが成形される。なお、成形工程Ｓ１は、スロットダウンドロー法などの他のダウンドロー法を実行するものであってもよい。

【0051】

徐冷工程Ｓ２は、成形装置の下方に配置された徐冷炉内で行われる。徐冷工程Ｓ２において、ガラスリボンは、徐冷炉内に配置されたローラ対によって下方に搬送される。徐冷炉内では所定の温度勾配が設定されており、ガラスリボンは徐冷炉内を通過することで徐冷される。徐冷工程Ｓ２後の冷却工程Ｓ３では、ガラスリボンは、徐冷炉の下方に配された冷却ゾーンを通過しつつ、室温付近まで冷却される。

【0052】

第一切断工程Ｓ４では、冷却ゾーンの下方に配置された第一切断装置によってガラスリボンの中途部を幅方向に沿って切断することで、所定サイズのガラス板Ｇを切り出す。すなわち、第一切断工程Ｓ４では、下方に移動するガラスリボンの中途部にスクライブ装置によって幅方向に沿うスクライブ線を形成し（スクライブ工程）、このスクライブ線に沿ってガラスリボンの一部を折割ることで、枚葉状のガラス板Ｇを形成する（折割工程）。

【0053】

第二切断工程Ｓ５は、第一切断工程Ｓ４において切り出されたガラス板Ｇの幅方向における端部（不要部）を除去する工程である。第二切断工程Ｓ５は、第一切断工程Ｓ４と同様に、ガラス板Ｇの一部にスクライブ線を形成し（スクライブ工程）、その後、折割装置によってガラス板Ｇの端部を折割る（折割工程）。

【0054】

検査工程Ｓ６では、検査装置１によってガラス板Ｇの形状を測定し、測定値に基づいてガラス板Ｇの良否を制御部４によって判定する。

【0055】

図８に示すように、検査工程Ｓ６は、準備工程Ｓ６１と、支持工程Ｓ６２と、測定工程Ｓ６３と、評価工程Ｓ６４と、を備える。

【0056】

準備工程Ｓ６１では、第二切断工程Ｓ５を経て形成されたガラス板Ｇの中から、所定のタイミングで検査対象となるサンプルガラス板Ｇを選別する。サンプルガラス板Ｇは、例えば所定時間毎、または所定枚数毎に選択されても良い。所定時間及び所定枚数は、ガラス板Ｇの製造条件や検査結果に応じて適宜選択される。その後、サンプルガラス板Ｇを検査装置１の載置部２に搬入する（搬入工程）。

【0057】

図１及び図２に示すように、搬入工程では、サンプルガラス板Ｇの第一主面Ｇａを上面とし、第二主面Ｇｂを下面とする。サンプルガラス板Ｇは、第二主面Ｇｂをガイド部材８に接触させた状態で、搬入方向Ａ１に沿って定盤５へと送られる。このとき、ガイド部材８は、回転しながらサンプルガラス板Ｇの第二主面Ｇｂを搬入方向Ａ１に沿って案内する。また、搬入工程では、制御部４の制御により、噴出孔５ｂから気体を噴出させる。これにより、サンプルガラス板Ｇと定盤５との接触が回避され、搬入工程におけるサンプルガラス板Ｇの破損を防止することができる。サンプルガラス板Ｇが載置部２に搬入される間は、位置決め部７ａ，７ｂは、待機位置にあるため、サンプルガラス板Ｇに接触することはない。

【0058】

図５及び図６に示すように、サンプルガラス板Ｇが載置部２に搬入されると、位置決め部７ａ，７ｂは、待機位置から退避位置へと移動し、その後、退避位置から接触位置へと移動する（位置決め工程）。

【0059】

その後、定盤５は、気体の噴出を停止させる。これにより、サンプルガラス板Ｇは、定盤５の上面５ａに接触する。このとき、定盤５の上面５ａは、その傾斜の方向に沿って、すなわち、載置面の第三角部１０ｃから第一角部１０ａに向かう方向に沿ってサンプルガラス板Ｇを案内する。

【0060】

これにより、サンプルガラス板Ｇの第一辺ＧＳ１は、接触位置にある第一位置決め部７ａに接触する。また、サンプルガラス板Ｇの第二辺ＧＳ２は、接触位置にある第二位置決め部７ｂに接触する。以上により、サンプルガラス板Ｇは、測定部３によって測定することが可能な基準測定位置に位置決めされる。

【0061】

支持工程Ｓ６２は、載置部２の載置面（定盤５の上面５ａ）に載置されているサンプルガラス板Ｇを支持装置６により支持する工程である。図４及び図９に示すように、支持装置６の昇降装置６ｂは、支持部材６ａを待機位置から支持位置へと移動させる。支持部材６ａは、待機位置から支持位置に移動する途中で、定盤５に支持されているサンプルガラス板Ｇの第二主面Ｇｂに上端部６ａ１を接触させる。

【0062】

支持部材６ａは、待機位置から支持位置へと移動することで、サンプルガラス板Ｇの一部を持ち上げる。支持部材６ａが支持位置にある場合、支持部材６ａの上端部６ａ１は、定盤５の上面５ａよりも上方でサンプルガラス板Ｇを支持する。支持部材６ａに支持されたサンプルガラス板Ｇは、定盤５の上面５ａから離れた状態となる。

【0063】

図１０に示すように、支持装置６は、複数の支持単位６ｃにより、サンプルガラス板Ｇを支持する。支持単位６ｃは、複数の支持部材６ａにより構成される。本実施形態では、支持単位６ｃは、平面視で矩形状に配置された四つの支持部材６ａにより構成される。これに限らず、支持単位６ｃは、少なくとも二つの支持部材６ａにより構成してもよい。支持装置６が複数の支持単位６ｃを備えることで、サンプルガラス板Ｇを安定して支持することができる。

【0064】

制御部４は、支持装置６を制御することで、サンプルガラス板Ｇと重なる位置にある支持装置６のみを動作させ、その支持部材６ａによってサンプルガラス板Ｇを支持させることができる。

【0065】

測定工程Ｓ６３では、支持単位６ｃにより支持されたサンプルガラス板Ｇの撓み差を測定部３により測定する。支持装置６は、複数の支持単位６ｃを備えており、複数の支持単位６ｃにより形成される撓み差を、それぞれ測定する。

【0066】

測定工程Ｓ６３では、サンプルガラス板Ｇにおける第一主面Ｇａの全面の形状を測定し、又は第一主面Ｇａの一部の形状を測定することができる。ここで、第一主面Ｇａの全面の形状の測定とは、サンプルガラス板Ｇに接触することが可能な最大限の支持部材６ａによってそのサンプルガラス板Ｇを支持し、支持部材６ａで支持されているサンプルガラス板Ｇの範囲全体を測定部３によって測定することをいう。

【0067】

図９に示すように、センサ部１１は、幅方向Ｘに沿って移動しながら、サンプルガラス板Ｇの第一主面Ｇａにレーザ光Ｌを照射し、この第一主面Ｇａから反射したレーザ光Ｌを受光することにより、センサ部１１からサンプルガラス板Ｇの第一主面Ｇａまでの距離を測定する。

【0068】

センサ部１１は、幅方向Ｘにおいて隣り合う二つの支持部材６ａの間の領域において、移動しながら所定のピッチでサンプルガラス板Ｇとの距離を測定する。この場合の所定のピッチは、例えば１０ｍｍ以上２００ｍｍ以下である。これにより、二つの支持部材６ａの間において、センサ部１１は、複数の位置における測定データを取得する。これらの測定データのうち、最も大きな数値を有するデータを二つの支持部材６ａ間における撓みとして使用することができる。

【0069】

これに限らず、センサ部１１は、幅方向Ｘにおいて隣り合う二つの支持部材６ａの中間位置で、サンプルガラス板Ｇの第一主面Ｇａとの距離を測定し、この中間位置での測定データを撓みとして用いることができる。また、幅方向Ｘにおいて隣り合う二つの支持部材６ａの中間位置近傍の複数点で測定を行ってもよい。

【0070】

図１０に示すように、センサ部１１は、矢印Ｂ１で示す経路に沿って支持部材６ａの直上を通過するように幅方向Ｘに沿って移動しながら、各測定点に対して、撓みの測定を行う。幅方向Ｘに沿った一列分の測定点に対して測定が完了した後、センサ部１１は定盤５の長手方向Ｙに沿って移動し、幅方向Ｘに沿った次の一列分の測定を行う。以上の手順を繰り返すことで、サンプルガラス板Ｇの全ての測定点に対して撓みの測定を行う。これにより、幅方向Ｘで隣り合う二つの支持部材６ａ間の各領域に対して、撓みの測定が行われる。センサ部１１は、測定したデータを制御部４に送信する。

【0071】

その後、サンプルガラス板Ｇは、載置部２から搬出され、上下反転される。その後、準備工程Ｓ６１が再度実施され、サンプルガラス板Ｇは、第二主面Ｇｂが上面となり、第一主面Ｇａが下面となって載置部２の載置面に載置される。

【0072】

その後、このサンプルガラス板Ｇに対して、支持工程Ｓ６２及び測定工程Ｓ６３が実施される。センサ部１１は、測定したデータを制御部４に送信する。

【0073】

図１１及び図１２は、本実施形態に係る撓み差の算出方法を説明するための概念図である。本方法では、図１１に示すように、第一主面Ｇａを上方に向けた状態で、サンプルガラス板Ｇを支持部材６ａによって支持した場合の第一撓みｄ１を測定する。次に、サンプルガラス板Ｇを上下反転させ、図１２に示すように、第二主面Ｇｂを上方に向けた状態で、サンプルガラス板Ｇを支持部材６ａによって支持した場合の第二撓みｄ２を測定する。その後、第一撓みｄ１と第二撓みｄ２との差（｜ｄ１－ｄ２｜）を算出し、これを「撓み差」として評価の対象とする。

【0074】

制御部４は、センサ部１１から送信された測定データから、幅方向Ｘにおいて隣り合う二つの支持部材６ａの間の領域におけるサンプルガラス板Ｇの撓み（ｄ１，ｄ２）を検出する。すなわち、制御部４は、センサ部１１から送信された測定データのうち、幅方向Ｘにおいて隣り合う二つの支持部材６ａの間の領域における最大値を撓みとして検出する。これに限らず、制御部４は、幅方向Ｘにおいて隣り合う二つの支持部材６ａの中間位置における測定データを撓みとして検出し得る。制御部４は、検出した第一撓み及び第二撓みに基づいて、撓み差を算出する。

【0075】

測定工程Ｓ６３において、測定部３は、サンプルガラス板Ｇの撓み差の他、サンプルガラス板Ｇの反り量及び板厚についても測定することができる。

【0076】

以下、測定工程Ｓ６３において、サンプルガラス板Ｇの反り量を測定する場合について説明する。

【0077】

測定部３は、制御部４の制御により、載置面（定盤５の上面５ａ）に載置された状態におけるサンプルガラス板Ｇの反り量（以下「第一反り量」という）と、サンプルガラス板Ｇを載置面から浮上させた状態における当該サンプルガラス板Ｇの反り量（以下「第二反り量」という）と、を測定する。

【0078】

図１３に示すように、センサ部１１は、幅方向Ｘに沿って移動しながらサンプルガラス板Ｇの第一反り量を測定する。すなわち、センサ部１１は、溝部９の上方を幅方向Ｘに移動しながら、レーザ光Ｌをサンプルガラス板Ｇの第一主面Ｇａに照射し、この第一主面Ｇａから反射したレーザ光Ｌを受光することにより、センサ部１１からサンプルガラス板Ｇの第一主面Ｇａまでの距離（第一反り量）を測定する。

【0079】

図１４に示すように、各サンプルガラス板Ｇには、複数の測定点ＭＰ（測定領域）が設定されており、各測定点ＭＰに対して、センサ部１１とサンプルガラス板Ｇの第一主面Ｇａとの距離が測定される。

【0080】

センサ部１１は、図１４において矢印Ｂ２で示すように、載置部２に載置されたサンプルガラス板Ｇに対し、幅方向Ｘに沿って往復移動を繰り返しながら、第一反り量の測定を行う。センサ部１１は、取得した第一反り量に係る測定データを制御部４に送信する。

【0081】

サンプルガラス板Ｇの第一反り量を測定する前には、ガラス板の形状の基準となる基準ガラス板の第一反り量を測定しておき、基準ガラス板の第一反り量と、サンプルガラス板Ｇの第一反り量との比較により、サンプルガラス板Ｇの形状を評価することが好ましい。基準ガラス板の第一反り量の測定は、サンプルガラス板Ｇの第一反り量の測定と同様に行われる。なお、基準ガラス板は３～１０枚の良品のガラス板で構成され、これらの基準ガラス板の第一反り量の平均値を比較に用いても良い。

【0082】

第二反り量を測定する場合において、載置部２は、制御部４の制御により、定盤５の噴出孔５ｂから気体を噴出させる。これにより、図１５に示すように、定盤５の上面５ａに支持されていたサンプルガラス板Ｇは、この上面５ａから浮き上がる。センサ部１１は、サンプルガラス板Ｇが定盤５から浮上した状態で、幅方向Ｘに沿って移動しながら、サンプルガラス板Ｇの第一主面Ｇａの形状を測定する。すなわち、センサ部１１は、移動しながらレーザ光Ｌをサンプルガラス板Ｇの第一主面Ｇａに照射し、この第一主面Ｇａから反射したレーザ光Ｌを受光することにより、センサ部１１からサンプルガラス板Ｇの第一主面Ｇａまでの距離（第二反り量）を測定する。

【0083】

第二反り量の測定は、第一反り量の測定と同様に、各サンプルガラス板Ｇに対して設定された各測定点ＭＰに対して行われる。

【0084】

センサ部１１は、第一反り量の測定と同様に、載置部２に載置されたサンプルガラス板Ｇに対して幅方向Ｘに沿って往復移動を繰り返しながら、第二反り量の測定を行う（図１４参照）。センサ部１１は、第二反り量に係る測定データを制御部４に送信する。

【0085】

以下、測定工程Ｓ６３においてサンプルガラス板Ｇの板厚を測定する場合について説明する。板厚の測定は、サンプルガラス板Ｇを載置面（定盤５の上面５ａ）に載置した状態で行われる。

【0086】

測定部３のセンサ部１１は、溝部９の範囲内において、支持部材６ａと重ならないように、レーザ光Ｌをサンプルガラス板Ｇに照射する。すなわち、図１６に示すように、センサ部１１は、定盤５の長手方向Ｙに沿って、かつ、矢印Ｂ３に示す経路に沿って往復移動しながら、サンプルガラス板Ｇの板厚を測定する。

【0087】

測定部３のセンサ部１１は、サンプルガラス板Ｇの上面である第一主面Ｇａと、下面である第二主面Ｇｂとにレーザ光Ｌを照射し、反射したレーザ光Ｌを受光し、その光路長の差から板厚を測定することができる。詳細には、サンプルガラス板Ｇの板厚をｄ［ｍｍ］、光路長差をＬ［ｍｍ］、サンプルガラス板Ｇの屈折率をｎとした場合、ｄ＝Ｌ／２ｎより板厚を測定することができる。センサ部１１は、板厚に係る測定データを制御部４に送信する。測定工程Ｓ６３の終了後、使用したサンプルガラス板Ｇは廃棄される。

【0088】

評価工程Ｓ６４において、制御部４は、測定工程Ｓ６３によって測定されたサンプルガラス板Ｇの形状の良否を判定する。

【0089】

評価工程Ｓ６４において、制御部４は、測定工程Ｓ６３で測定されたサンプルガラス板Ｇの撓み差、第一反り量、第二反り量及び板厚の測定値について、その良否を判定する。制御部４には、撓み差、各反り量及び板厚に関する閾値（基準値）が保存されている。

【0090】

制御部４は、測定されたサンプルガラス板Ｇの撓み差、第一反り量、第二反り量及び板厚の測定値が、各閾値の範囲内にあるか否かを判定する。制御部４は、測定値が閾値の範囲内にあるときに、そのサンプルガラス板Ｇの形状を「良」と判定する。制御部４は、測定値が閾値の範囲を超えるときに、そのサンプルガラス板Ｇの形状を「不良」と判定する。

【0091】

評価工程Ｓ６４において、サンプルガラス板Ｇが不良であることが判明した場合には、成形工程Ｓ１や徐冷工程Ｓ２にその情報が伝達される。成形工程Ｓ１又は徐冷工程Ｓ２では、ガラスリボンの形状不良を解消するために、成形条件又は徐冷条件の修正が行われる。

【0092】

なお、サンプルガラス板Ｇが不良と判定された場合、サンプルガラス板Ｇが最後に良と判定されてから、再び良と判定されるまでの間に生産されたガラス板Ｇは廃棄される。

【0093】

以上説明した本実施形態に係る検査装置１及びガラス板Ｇの製造方法によれば、支持装置６の支持部材６ａが形成する複数の支持パターンによって、多様な大きさのサンプルガラス板Ｇを好適に支持することができる。これにより、大型のサンプルガラス板Ｇを支持装置６に合うように切断する必要もなく、サンプルガラス板Ｇの検査を効率良く行うことが可能となる。

【0094】

図１７及び図１８は、ガラス板の検査装置の第二実施形態を示す。本実施形態では、支持装置６の支持部材６ａの構成が第一実施形態と異なる。本実施形態に係る支持部材６ａの上端部６ａ１は、水平方向（横方向）に延びる長尺状の部材により構成される。具体的には、上端部６ａ１は、三角柱状に構成されている。

【0095】

支持部材６ａの上端部６ａ１は、その長手方向が定盤５の長手方向Ｙと平行となるように、隣り合う定盤５の間（溝部９の範囲内）に配置されている。支持部材６ａの上端部６ａ１は、その一の角部が上方に向くように配置されている。この構成により、支持部材６ａの上端部６ａ１は、支持位置にあるときに、ガラス板Ｇの第二主面Ｇｂを支持することができる。支持部材６ａの上端部６ａ１は、図１７に示すように定盤５の長手方向Ｙに沿って複数部材に分割されていても良く、単一の部材により構成されていても良い。

【0096】

本実施形態に係る検査装置１は、第一実施形態と同様に、複数の支持単位６ｃにより、サンプルガラス板Ｇを支持する。本実施形態では、支持単位６ｃは、隣り合う二つの支持部材６ａにより構成される。支持装置６が複数の支持単位６ｃを備えることで、サンプルガラス板Ｇを安定して支持することができる。

【0097】

なお、本発明は、上記実施形態の構成に限定されるものではなく、上記した作用効果に限定されるものでもない。本発明は、本発明の要旨を逸脱しない範囲で種々の変更が可能である。

【0098】

上記の第二実施形態では、支持装置６における支持部材６ａの上端部６ａ１を三角柱状に構成した例を示したが、本発明はこの構成に限定されない。支持部材６ａの上端部６ａ１は、三角柱以外の多角柱状に構成されてもよく、円柱状その他の形状により構成されてもよい。また、多角柱の稜線でサンプルガラス板Ｇを支持しても良く、多角柱の面でサンプルガラス板Ｇを支持しても良い。

【0099】

上記の実施形態では、載置面が水平方向に対して角度θで傾斜していたが、これに限定されない。載置面が傾斜した状態と、傾斜面が水平面に一致した状態とを切り替え可能に構成されていても良い。また、載置面が水平面に一致するよう固定されており、サンプルガラス板Ｇの第一辺ＧＳ１、第二辺ＧＳ２を、位置決め部７ａ，７ｂに接触するよう、サンプルガラス板Ｇを移動させることで位置決めを行っても良い。

【0100】

上記の第一実施形態では、センサ部１１が支持部材６ａの直上を通過するように幅方向Ｘに沿って移動しながら、撓みの測定を行っていたが、これに限定されない。センサ部１１が支持部材６ａの定盤５の長手方向Ｙにおける中間部を通過するように幅方向Ｘに沿って移動しながら、撓みの測定を行っても良い。

【0101】

上記の実施形態では、センサ部１１は、幅方向Ｘにおいて隣り合う二つの支持部材６ａの中間位置で、サンプルガラス板Ｇの第一主面Ｇａとの距離を測定し、この中間位置での測定データを撓みとして用いていたが、これに限定されない。定盤５の長手方向Ｙにおいて隣り合う二つの支持部材６ａの中間位置で、サンプルガラス板Ｇの第一主面Ｇａとの距離を測定し、この中間位置での測定データを撓みとして用いても良い。

【0102】

上記の実施形態では、複数の凸部が長尺状の定盤５により構成されているが、これに限定されない。凸部が格子状の定盤により構成され、格子間の穴によって凹部が形成されていても良い。また、凹部が格子状に形成され、格子間に定盤が配置されていても良い。

【0103】

上記の実施形態では、測定工程Ｓ６３において、サンプルガラス板Ｇの撓み差を測定していたが、これに限定されない。サンプルガラス板Ｇを上下反転せず、第一主面Ｇａを上方に向けた状態、または第二主面Ｇｂを上方に向けた状態の撓みを測定してもよい。

【符号の説明】

【0104】

１ 検査装置
３ 測定部
５ 定盤
５ａ 定盤の上面（載置面）
６ 支持装置
６ａ 支持部材
６ａ１ 支持部材の上端部
Ｇ ガラス板
Ｓ６ 検査工程
Ｓ６１ 準備工程
Ｓ６２ 支持工程
Ｓ６３ 測定工程

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】

【図14】

【図15】

【図16】

【図17】

【図18】