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(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】公開特許公報(A)
(11)【公開番号】P2025009826
(43)【公開日】2025-01-20
(54)【発明の名称】プリント回路基板
(51)【国際特許分類】
   H05K 3/46 20060101AFI20250109BHJP
【FI】
H05K3/46 B
H05K3/46 N
【審査請求】未請求
【請求項の数】15
【出願形態】OL
(21)【出願番号】P 2024067534
(22)【出願日】2024-04-18
(31)【優先権主張番号】10-2023-0085811
(32)【優先日】2023-07-03
(33)【優先権主張国・地域又は機関】KR
【公序良俗違反の表示】
(特許庁注:以下のものは登録商標)
1.BLUETOOTH
(71)【出願人】
【識別番号】594023722
【氏名又は名称】サムソン エレクトロ-メカニックス カンパニーリミテッド.
(74)【代理人】
【識別番号】100108453
【弁理士】
【氏名又は名称】村山 靖彦
(74)【代理人】
【識別番号】100110364
【弁理士】
【氏名又は名称】実広 信哉
(72)【発明者】
【氏名】李 珍旭
(72)【発明者】
【氏名】鄭 治鉉
(72)【発明者】
【氏名】韓 淵圭
【テーマコード(参考)】
5E316
【Fターム(参考)】
5E316AA15
5E316AA32
5E316AA43
5E316BB02
5E316BB04
5E316BB15
5E316CC04
5E316CC09
5E316CC10
5E316CC32
5E316CC34
5E316CC37
5E316CC38
5E316CC39
5E316CC40
5E316DD17
5E316DD25
5E316FF15
5E316HH24
(57)【要約】
【課題】実質的に全層の厚さを増加させることなく優れた信号特性を確保することができるプリント回路基板を提供する。
【解決手段】本発明は、絶縁層と、上記絶縁層内に配置された複数の配線層と、を含み、上記複数の配線層は、第1配線層、上記第1配線層上に配置された第2配線層、及び上記第2配線層上に配置された第3配線層を含み、上記第2配線層は、上記第1配線層及び第3配線層のそれぞれより厚さが厚く、上記第2配線層は、線幅に対する高さの比であるアスペクト比が2.4~3.6である微細回路パターンを一つ以上含む、プリント回路基板に関する。
【選択図】図3
【特許請求の範囲】
【請求項1】
絶縁層と、
前記絶縁層内に配置された複数の配線層と、を含み、
前記複数の配線層は、第1配線層、前記第1配線層上に配置された第2配線層、及び前記第2配線層上に配置された第3配線層を含み、
前記第2配線層は、前記第1配線層及び第3配線層のそれぞれより厚さが厚く、
前記第2配線層は、線幅に対する高さの比であるアスペクト比が2.4~3.6である微細回路パターンを一つ以上含む、プリント回路基板。
【請求項2】
前記第1配線層及び第3配線層はそれぞれグランドパターンを含み、
前記第2配線層の微細回路パターンは信号パターンである、請求項1に記載のプリント回路基板。
【請求項3】
前記第2配線層の微細回路パターンは、線幅が実質的に1μmであり、パターン間の間隔が実質的に1μmであり、高さが実質的に3μmである、請求項1に記載のプリント回路基板。
【請求項4】
前記第1配線層の厚さをt1、前記第2配線層の厚さをt2とするとき、前記t1、t2は(2.1×t1)≦t2≦(3.9×t1)を満たす、請求項1に記載のプリント回路基板。
【請求項5】
前記第1配線層の厚さをt1、前記第3配線層の厚さをt3とするとき、前記t1、t3は(2.1×t3)≦t2≦(3.9×t3)を満たす、請求項4に記載のプリント回路基板。
【請求項6】
前記第2配線層の厚さは、前記第1配線層及び第2配線層間の絶縁距離、並びに前記第2配線層及び第3配線層間の絶縁距離のそれぞれより大きい、請求項1に記載のプリント回路基板。
【請求項7】
前記第2配線層の厚さをt2、前記第1配線層及び第2配線層間の絶縁距離をd1とするとき、前記t2、d1は(1.4×d1)≦t2≦(2.6×d1)を満たす、請求項6に記載のプリント回路基板。
【請求項8】
前記第2配線層の厚さをt2、前記第2配線層及び第3配線層間の絶縁距離をd2とするとき、前記t2、d2は(1.4×d2)≦t2≦(2.6×d2)を満たす、請求項7に記載のプリント回路基板。
【請求項9】
前記複数の配線層は、前記第3配線層上に配置された第4配線層、及び前記第4配線層上に配置された第5配線層をさらに含み、
前記第4配線層は、前記第3配線層及び第5配線層のそれぞれより厚さが厚い、請求項1に記載のプリント回路基板。
【請求項10】
前記第4配線層の厚さは、前記第3配線層及び第4配線層間の絶縁距離、並びに前記第4配線層及び第5配線層間の絶縁距離のそれぞれより大きい、請求項9に記載のプリント回路基板。
【請求項11】
前記プリント回路基板は、複数のビルドアップ絶縁層と、複数のビルドアップ配線層と、複数のビルドアップビア層とを含み、
前記複数のビルドアップ絶縁層は前記絶縁層を含み、
前記複数のビルドアップ配線層は前記複数の配線層を含む、請求項1に記載のプリント回路基板。
【請求項12】
絶縁層と、
前記絶縁層内に配置された複数の配線層と、を含み、
前記複数の配線層は、第1配線層、前記第1配線層上に配置された第2配線層、及び前記第2配線層上に配置された第3配線層を含み、
前記第2配線層は前記第1配線層及び第3配線層のそれぞれより厚さが厚く、
前記第2配線層の厚さは、前記第1配線層及び第2配線層間の絶縁距離、並びに前記第2配線層及び第3配線層間の絶縁距離のそれぞれより大きく、
前記第2配線層の厚さをt2、前記第1配線層及び第2配線層間の絶縁距離をd1、前記第2配線層及び第3配線層間の絶縁距離をd2とするとき、前記t2、d1、d2は(1.4×d1)≦t2≦(2.6×d1)及び(1.4×d2)≦t2≦(2.6×d2)を満たす、プリント回路基板。
【請求項13】
前記第1配線層及び第3配線層の厚さをそれぞれt1、t3とするとき、前記t1、t2、t3は(2.1×t1)≦t2≦(3.9×t1)及び(2.1×t3)≦t2≦(3.9×t3)を満たす、請求項12に記載のプリント回路基板。
【請求項14】
前記第1配線層及び第3配線層は、それぞれグランドパターンを一つ以上含み、
前記第2配線層は信号パターンを一つ以上含む、請求項12に記載のプリント回路基板。
【請求項15】
前記信号パターンは、線幅が実質的に1μmであり、パターン間の間隔が実質的に1μmであり、高さが実質的に3μmである、請求項14に記載のプリント回路基板。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明はプリント回路基板に関する。
【背景技術】
【0002】
最近、従来の携帯機器を中心とする事業から大容量サーバを中心とする市場へと変化するにつれて、データ量が急増し、サーバ、ネットワーク、ストレージがより急速に増加している状況である。よって、微細回路を含む高多層の新構造基板が拡大している。例えば、FOMCM(Fan-out multi chip module)、FOEB(Fan-out Embedded Bridge)、EMIB(Embedded multi-die interconnect bridge)などが開発されている。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0003】
本発明のいくつかの目的の一つは、実質的に全層の厚さを増加させることなく優れた信号特性を確保することができるプリント回路基板を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【0004】
本発明を通じて提案するいくつかの解決手段のうち一つは、微細回路を含む配線層の厚さを増加させて、例えば、微細回路のアスペクト比を一定レベルに高めて信号損失を低減するとともに、全体の厚さを制御することである。
【0005】
例えば、一例によるプリント回路基板は、絶縁層と、上記絶縁層内に配置された複数の配線層と、を含み、上記複数の配線層は、第1配線層、上記第1配線層上に配置された第2配線層、及び上記第2配線層上に配置された第3配線層を含み、上記第2配線層は上記第1及び第3配線層のそれぞれより厚さが厚く、上記第2配線層は、線幅に対する高さの比であるアスペクト比が2.4~3.6である微細回路パターンを一つ以上含むものであってもよい。
【0006】
本発明を通じて提案するいくつかの解決手段のうち他の一つは、微細回路を含む配線層の厚さを微細回路ではない配線層との絶縁距離に対して一定レベルまで増加させ、信号損失を低減するとともに全体の厚さを制御することである。
【0007】
例えば、一例によるプリント回路基板は、絶縁層と、上記絶縁層内に配置された複数の配線層と、を含み、上記複数の配線層は、第1配線層、上記第1配線層上に配置された第2配線層、及び上記第2配線層上に配置された第3配線層を含み、上記第2配線層は上記第1及び第3配線層のそれぞれより厚さが厚く、上記第2配線層の厚さは、上記第1及び第2配線層間の絶縁距離、並びに上記第2及び第3配線層間の絶縁距離のそれぞれより大きく、上記第2配線層の厚さをt2、上記第1及び第2配線層間の絶縁距離をd1、上記第2及び第3配線層間の絶縁距離をd2とするとき、上記t2、d1、d2は(1.4×d1)≦t2≦(2.6×d1)及び(1.4×d2)≦t2≦(2.6×d2)を満たすものであってもよい。
【発明の効果】
【0008】
本発明の様々な効果のうち一効果として、実質的に全層の厚さを増加させることなく優れた信号特性を確保することができるプリント回路基板を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【0009】
図1】電子機器システムの例を概略的に示すブロック図である。
図2】電子機器の一例を概略的に示す斜視図である。
図3】プリント回路基板の一例を概略的に示す断面図である。
図4】プリント回路基板の他の一例を概略的に示す断面図である。
図5】プリント回路基板のさらに他の一例を概略的に示す断面図である。
図6】微細回路を含む配線層のイメージを概略的に示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【0010】
以下、添付の図面を参照して本発明について説明する。図面における要素の形状及びサイズなどは、より明確な説明のために誇張又は縮小することができる。
【0011】
電子機器
図1は、電子機器システムの例を概略的に示すブロック図である。
【0012】
図面を参照すると、電子機器1000はメインボード1010を収容する。メインボード1010には、チップ関連部品1020、ネットワーク関連部品1030、及びその他の部品1040などが物理的及び/又は電気的に連結されている。これらは後述する他の電子部品とも結合して様々な信号ライン1090を形成する。
【0013】
チップ関連部品1020としては、揮発性メモリ(例えば、DRAM)、不揮発性メモリ(例えば、ROM)、フラッシュメモリなどのメモリチップ;セントラルプロセッサ(例えば、CPU)、グラフィックプロセッサ(例えば、GPU)、デジタル信号プロセッサ、暗号化プロセッサ、マイクロプロセッサ、マイクロコントローラなどのアプリケーションプロセッサチップ;アナログ-デジタルコンバータ、ASIC(application-specific IC)などのロジックチップなどが含まれるが、これらに限定されるものではなく、これら以外にもその他の異なる形態のチップ関連電子部品が含まれてもよいことは言うまでもない。また、これらのチップ関連部品1020を互いに組み合わせてもよいことは勿論である。チップ関連部品1020は、上述したチップや電子部品を含むパッケージ形態であってもよい。
【0014】
ネットワーク関連部品1030としては、Wi-Fi(IEEE 802.11ファミリなど)、WiMAX(IEEE 802.16ファミリなど)、IEEE 802.20、LTE(long term evolution)、Ev-DO、HSPA+、HSDPA+、HSUPA+、EDGE、GSM、GPS、GPRS、CDMA、TDMA、DECT、Bluetooth、3G、4G、5G、及びそれ以降のものとして指定された任意の他の無線及び有線プロトコルが含まれるが、これらに限定されるものではなく、これら以外にも、その他の異なる多数の無線又は有線標準やプロトコルのうち任意のものが含まれてもよい。また、ネットワーク関連部品1030をチップ関連部品1020と併せて互いに組み合わせてもよいことは言うまでもない。
【0015】
その他の部品1040としては、高周波インダクタ、フェライトインダクタ、パワーインダクタ、フェライトビーズ、LTCC(low Temperature Co-Firing Ceramics)、EMI(Electro Magnetic Interference)フィルタ、MLCC(Multi-Layer Ceramic Condenser)などが含まれる。但し、これらに限定されるものではなく、これら以外にも、その他の異なる様々な用途のために使用されるチップ部品形態の受動素子などが含まれてもよい。また、その他の部品1040をチップ関連部品1020及び/又はネットワーク関連部品1030と互いに組み合わせてもよいことは言うまでもない。
【0016】
電子機器1000の種類に応じて、電子機器1000は、メインボード1010に物理的及び/又は電気的に連結されているか又はされていない他の電子部品を含むことができる。他の電子部品の例としては、カメラモジュール1050、アンテナモジュール1060、ディスプレイ1070、バッテリ1080などがある。但し、これらに限定されるものではなく、オーディオコーデック、ビデオコーデック、電力増幅器、羅針盤、加速度計、ジャイロスコープ、スピーカ、大容量記憶装置(例えば、ハードディスクドライブ)、CD(compact disk)、DVD(digital versatile disk)などであってもよい。これら以外にも、電子機器1000の種類に応じて様々な用途のために使用されるその他の電子部品などが含まれてもよいことは言うまでもない。
【0017】
電子機器1000は、スマートフォン(smart phone)、個人用情報端末機(personal digital assistant)、デジタルビデオカメラ(digital video camera)、デジタルスチルカメラ(digital still camera)、ネットワークシステム(network system)、コンピュータ(computer)、モニタ(monitor)、タブレット(tablet)、ラップトップ(laptop)、ネットブック(netbook)、テレビ(television)、ビデオゲーム(video game)、スマートウォッチ(smart watch)、オートモーティブ(Automotive)などであってもよい。但し、これらに限定されるものではなく、これら以外にも、データを処理する任意の他の電子機器であってもよいことは言うまでもない。
【0018】
図2は、電子機器の一例を概略的に示す斜視図である。
【0019】
図面を参照すると、電子機器は、例えば、スマートフォン1100であってもよい。スマートフォン1100の内部には、マザーボード1110が収容されており、このようなマザーボード1110には、様々な部品1120が物理的及び/又は電気的に連結されている。また、カメラモジュール1130及び/又はスピーカ1140のようにマザーボード1110に物理的及び/又は電気的に連結されているか又はされていない他の部品が内部に収容されている。部品1120の一部は、上述したチップ関連部品であってもよく、例えば、部品パッケージ1121であってもよいが、これに限定されるものではない。部品パッケージ1121は、能動部品及び/又は受動部品を含む電子部品が表面実装配置されるプリント回路基板の形態であってもよい。あるいは、部品パッケージ1121は、能動部品及び/又は受動部品が内蔵されたプリント回路基板の形態であってもよい。一方、電子機器は必ずしもスマートフォン1100に限定されるものではなく、上述したように他の電子機器であってもよいことは言うまでもない。
【0020】
プリント回路基板
図3は、プリント回路基板の一例を概略的に示す断面図である。
【0021】
図面を参照すると、一例によるプリント回路基板100Aは、絶縁層110及び絶縁層110内に配置された複数の配線層120、130、140を含む。複数の配線層120、130、140は、第1配線層120と、第1配線層120上に配置された第2配線層130と、第2配線層130上に配置された第3配線層140とを含む。第2配線層130は微細回路パターン131、例えば、信号パターン131を含むことができ、第1及び第3配線層120、140はそれぞれグランドパターン121、141を含むことができる。
【0022】
一方、第2配線層130は、線幅に対する高さの比であるアスペクト比が2.4~3.6である微細回路パターン131を一つ以上含むことができる。例えば、微細回路パターン131は、線幅wが実質的に1μmであり、パターン間の間隔sが実質的に1μmであり、高さhが実質的に3μmであることができるが、これに限定されるものではない。この場合、信号パターンを微細回路パターンに維持しながらも断面積を増加させて信号損失を低減することができ、信号特性を向上させることができる。微細回路パターン131のアスペクト比が2.4未満である場合は、信号損失を減少させるのに十分でない可能性があり、3.6を超える場合には、工程不良などで歩留まりが低下する可能性があり、さらに、微細回路層の厚さが過度に厚くなり、全体の厚さの制御に困難が生じる可能性がある。
【0023】
例えば、下記[表1]のように、微細回路パターン131のアスペクト比が2.4以上である実験例3~7は、信号損失が約-0.10db未満と低いが、アスペクト比が2.4未満である実験例1及び2は、信号損失が約-0.10db以上と相当なものであることが分かる。また、アスペクト比が3.6以下である実験例1~6の場合には、予想歩留まりが約0.70~0.90程度と優れていたが、アスペクト比が3.6を超える実験例7の場合は、予想歩留まりが0.30程度に悪くなった。一方、パターンの線幅、間隔、高さ等は、プリント回路基板の研磨又は切断断面を基準に走査顕微鏡、電子顕微鏡及び/又は光学顕微鏡を用いて測定し、パターンの線幅、間隔、高さ等が一定でない場合には、任意の5点で測定した値の平均値により当該値を測定した。なお、パターンの材料としては銅(Cu)を使用した。
【0024】
【表1】
【0025】
また、第2配線層130は、第1及び第3配線層120、140のそれぞれより厚さが厚くてもよい。例えば、第1配線層120の厚さをt1、第2配線層130の厚さをt2とするとき、±30%程度の工程分散を考慮して、t1、t2は(2.1×t1)≦t2≦(3.9×t1)を満たすことができる。また、第3配線層140の厚さをt3とするとき、±30%程度の工程分散を考慮して、t1、t3は(2.1×t3)≦t2≦(3.9×t3)を満たすことができる。この場合、微細回路を含む配線層の厚さを増加させて信号損失を低減するとともに、全体の厚さを容易に制御することができる。t2がt1及び/又はt3の2.1倍未満である場合には、微細回路を含む配線層の厚さが十分ではないため、信号特性を改善するのに十分でない可能性があり、t2がt1及び/又はt3の3.9倍を超える場合には、工程不良などで歩留まりに問題が生じることがあり、厚さの制御に困難が生じる可能性がある。
【0026】
例えば、下記[表2]のように、上述した条件を満たす実験例9は、これを満たさない実験例8に比べて信号損失の低減効果に優れることが分かる。また、実験例10の場合、予想歩留まりが低下することが分かる。一方、配線層の厚さは、プリント回路基板の研磨又は切断断面を基準に走査顕微鏡、電子顕微鏡及び/又は光学顕微鏡を用いて測定し、配線層の厚さが一定でない場合には、任意の5点で測定した値の平均値により当該配線層の厚さ値を測定した。なお、パターンの材料としては銅(Cu)を使用した。
【0027】
【表2】
【0028】
また、第2配線層130の厚さは、第1及び第2配線層120、130間の絶縁距離、並びに第2及び第3配線層130、140間の絶縁距離のそれぞれより大きくてもよい。例えば、第2配線層130の厚さをt2、第1及び第2配線層120、130間の絶縁距離をd1とするとき、±30%程度の工程分散を考慮して、t2、d1は(1.4×d1)≦t2≦(2.6×d1)を満たすことができる。また、第2及び第3配線層130、140間の絶縁距離をd2とするとき、±30%程度の工程分散を考慮して、t2、d2は(1.4×d2)≦t2≦(2.6×d2)を満たすことができる。この場合、微細回路を含む配線層の厚さを増加させて信号損失を低減するとともに、全体の厚さを容易に制御することができる。t2がd1及び/又はd2の1.4倍未満である場合には、信号特性を改善するのに十分でない可能性があり、t2がd1及び/又はd2の2.6倍を超える場合には、工程不良などにより歩留まりに問題が生じる可能性があり、厚さの制御に困難が生じる可能性がある。
【0029】
例えば、下記[表3]のように、上述した条件を満たす実験例12は、これを満たさない実験例11及び13に比べて信号損失の低減効果に優れることが分かる。また、実験例13の場合、予想歩留まりが低下することが分かる。一方、配線層の厚さと配線層間の絶縁距離は、プリント回路基板の研磨又は切断断面を基準に走査顕微鏡、電子顕微鏡及び/又は光学顕微鏡を用いて測定し、配線層の厚さが一定でない場合には、任意の5点で測定した値の平均値により当該配線層の厚さ及び配線層間の絶縁距離の値を測定した。なお、パターンの材料としては銅(Cu)を使用した。
【0030】
【表3】
【0031】
一方、一例によるプリント回路基板100Aは、独立して使用されてもよく、又は他の基板に付着又は埋め込まれて使用されることもできる。
【0032】
以下では、図面を参照して一例によるプリント回路基板100Aの構成要素についてより詳細に説明する。
【0033】
絶縁層110は絶縁物質を含むことができる。絶縁物質は、エポキシ樹脂のような熱硬化性樹脂、ポリイミドのような熱可塑性樹脂、又は樹脂と共に無機フィラー、有機フィラー、及び/又はガラス繊維(Glass Fiber、Glass Cloth、Glass Fabric)を含む材料を含むことができる。例えば、絶縁物質はABF(Ajinomoto Build-up Film)、PPG(Prepreg)などの非感光性絶縁材であってもよいが、これに限定されるものではなく、それ以外にも異なるその他の高分子素材が用いられてもよい。また、絶縁物質は、PID(Photo Imageable Dielectric)などの感光性絶縁材であってもよい。絶縁層110は多層構造であってもよく、層間の境界は存在しなくてもよい。
【0034】
第1~第3配線層120、130、140はそれぞれ金属物質を含むことができる。金属物質は、銅(Cu)、アルミニウム(Al)、銀(Ag)、錫(Sn)、金(Au)、ニッケル(Ni)、鉛(Pb)、チタン(Ti)、及び/又はこれらの合金などを含むことができる。好ましくは、銅(Cu)を含むことができるが、これに限定されるものではない。第1~第3配線層120、130、140は、それぞれ設計デザインに応じて様々な機能を行うことができる。例えば、信号パターン、パワーパターン、グランドパターンなどを含むことができる。これらのパターンはそれぞれライン、プレーン、パッドなど様々な形態を有することができる。第1~第3配線層120、130、140は、それぞれ無電解めっき層(又は化学銅)及び電解めっき層(又は電気銅)を含むことができる。あるいは、金属箔(又は銅箔)及び電解めっき層(又は電気銅)を含むことができる。あるいは、金属箔(又は銅箔)、無電解めっき層(又は化学銅)及び電解めっき層(又は電気銅)を含むことができる。無電解めっき層(又は化学銅)の代わりにスパッタリング層を含んでもよく、必要に応じて両方を含んでもよい。必要に応じて、第1~第3配線層120、130、140は、絶縁層110の少なくとも一部をそれぞれ貫通する一つ以上の接続ビアを介して互いに電気的に連結されることができる。
【0035】
図4は、プリント回路基板の他の一例を概略的に示す断面図である。
【0036】
図面を参照すると、他の一例によるプリント回路基板100Bは、上述した一例によるプリント回路基板100Aにおいて、複数の配線層120、130、140、150、160が第3配線層140上に配置された第4配線層150と、第4配線層150上に配置された第5配線層160とをさらに含む。第4配線層150は微細回路パターン151、例えば、信号パターン151を含むことができ、第3及び第5配線層140、160はそれぞれグランドパターン141、161を含むことができる。
【0037】
一方、第2及び第4配線層130、150は、それぞれ線幅に対する高さの比であるアスペクト比が2.4~3.6である微細回路パターン131、151を一つ以上含むことができる。例えば、微細回路パターン131、151は、それぞれ線幅w1、w2が実質的に1μmであり、パターン間の間隔s1、s2が実質的に1μmであり、高さh1、h2が実質的に3μmであることができるが、これに限定されるものではない。この場合、信号パターンを微細回路パターンに維持しながらも断面積を増加させて信号損失を低減することができるため、信号特性を向上させることができるが、具体的な内容は上述した通りである。
【0038】
また、第4配線層150は、第3及び第5配線層140、160のそれぞれより厚さが厚くてもよい。例えば、第3配線層140の厚さをt3、第4配線層150の厚さをt4とするとき、±30%程度の工程分散を考慮して、t3、t4は(2.1×t3)≦t4≦(3.9×t3)を満たすことができる。また、第5配線層160の厚さをt5とするとき、±30%程度の工程分散を考慮して、t4、t5は(2.1×t5)≦t4≦(3.9×t5)を満たすことができる。この場合、微細回路を含む配線層の厚さを増加させて信号損失を低減するとともに、全体の厚さを容易に制御することができるが、具体的な内容は上述した通りである。
【0039】
また、第4配線層150の厚さは、第3及び第4配線層140、150間の絶縁距離、並びに第4及び第5配線層150、160間の絶縁距離のそれぞれより大きくてもよい。例えば、第4配線層150の厚さをt4、第3及び第4配線層140、150間の絶縁距離をd3とするとき、±30%程度の工程分散を考慮して、t4、d3は(1.4×d3)≦t4≦(2.6×d3)を満たすことができる。また、第4及び第5配線層150、160間の絶縁距離をd4とするとき、±30%程度の工程分散を考慮して、t4、d4は(1.4×d4)≦t4≦(2.6×d4)を満たすことができる。この場合、微細回路を含む配線層の厚さを増加させて信号損失を低減するとともに、全体の厚さを容易に制御することができるが、具体的な内容は上述した通りである。
【0040】
以下では、図面を参照して、他の一例によるプリント回路基板100Bの構成要素についてより詳細に説明する。
【0041】
第4及び第5配線層150、160はそれぞれ金属物質を含むことができる。金属物質は、銅(Cu)、アルミニウム(Al)、銀(Ag)、錫(Sn)、金(Au)、ニッケル(Ni)、鉛(Pb)、チタン(Ti)、及び/又はこれらの合金などを含むことができる。好ましくは、銅(Cu)を含むことができるが、これに限定されるものではない。第4及び第5配線層150、160は、それぞれ設計デザインに応じて様々な機能を行うことができる。例えば、信号パターン、パワーパターン、グランドパターンなどを含むことができる。これらのパターンはそれぞれライン、プレーン、パッドなど様々な形態を有することができる。第4及び第5配線層150、160は、それぞれ無電解めっき層(又は化学銅)及び電解めっき層(又は電気銅)を含むことができる。あるいは、金属箔(又は銅箔)及び電解めっき層(又は電気銅)を含むことができる。あるいは、金属箔(又は銅箔)、無電解めっき層(又は化学銅)及び電解めっき層(又は電気銅)を含むことができる。無電解めっき層(又は化学銅)の代わりにスパッタリング層を含んでもよく、必要に応じて両方を含んでもよい。必要に応じて、第1~第5配線層120、130、140、150、160は、絶縁層110の少なくとも一部をそれぞれ貫通する一つ以上の接続ビアを介して互いに電気的に連結されることができる。
【0042】
その他の内容は、上述した一例によるプリント回路基板100Aで説明したものと実質的に同一であるため、重複説明は省略する。
【0043】
図5は、プリント回路基板のさらに他の一例を概略的に示す断面図である。
【0044】
図面を参照すると、さらに他の一例によるプリント回路基板200は、コア層211、コア層211の上面及び下面上にそれぞれ配置された第1及び第2コア配線層221a、221b、コア層211を貫通し、第1及び第2コア配線層221a、221bを互いに連結する貫通ビア231、コア層211の上面上に配置された複数の第1ビルドアップ絶縁層212、複数の第1ビルドアップ絶縁層212上又は内にそれぞれ配置された複数の第1ビルドアップ配線層222a、222b、222c、222d、複数の第1ビルドアップ絶縁層212のうち少なくとも一つをそれぞれ貫通し、複数の第1ビルドアップ配線層222a、222b、222c、222dのうち少なくとも一つとそれぞれ連結された複数の第1ビルドアップビア層232、コア層211の下面上に配置された複数の第2ビルドアップ絶縁層213、複数の第2ビルドアップ絶縁層213上又は内にそれぞれ配置された複数の第2ビルドアップ配線層223、及び複数の第2ビルドアップ絶縁層213のうち少なくとも一つをそれぞれ貫通し、複数の第2ビルドアップ配線層223のうち少なくとも一つとそれぞれ連結された複数の第2ビルドアップビア層233を含む。必要に応じて、複数の第1ビルドアップ絶縁層212上に配置された第1レジスト層241及び/又は複数の第2ビルドアップ絶縁層213上に配置された第2レジスト層242をさらに含むことができる。
【0045】
一方、複数の第1ビルドアップ絶縁層212は、上述した一例によるプリント回路基板100Aの絶縁層110、又は上述した他の一例によるプリント回路基板100Bの絶縁層110を含むことができる。また、複数の第1ビルドアップ配線層222a、222b、222c、222dは、上述した一例によるプリント回路基板100Aの複数の配線層120、130、140又は上述した他の一例によるプリント回路基板100Bの複数の配線層120、130、140、150、160を含むことができる。例えば、さらに他の一例によるプリント回路基板200は、上述した一例によるプリント回路基板100A又は他の一例によるプリント回路基板100Bが適用され得る第1領域R1及び/又は第2領域R2を有することができる。例えば、さらに他の一例によるプリント回路基板200はパッケージ基板であってもよく、第1領域R1及び/又は第2領域R2において上述の微細回路層を有してもよい。
【0046】
一方、必要に応じて、上述した一例によるプリント回路基板100A又は上述した他の一例によるプリント回路基板100Bは、第1領域R1及び/又は第2領域R2に別途の微細回路基板の形態でさらに他の一例によるプリント回路基板200に埋め込まれることができる。例えば、さらに他の一例によるプリント回路基板200の複数の第1ビルドアップ絶縁層212にキャビティを形成した後、上述した一例によるプリント回路基板100A又は上述した他の一例によるプリント回路基板100Bを挿入し、これを埋め込むことができる。例えば、上述した一例によるプリント回路基板100A又は上述した他の一例によるプリント回路基板100Bは、インターコネクト用有機ブリッジとして機能することができる。
【0047】
以下では、図面を参照して、さらに他の一例によるプリント回路基板200の構成要素についてより詳細に説明する。
【0048】
コア層211は絶縁材を含むことができる。絶縁材としては、エポキシ樹脂のような熱硬化性樹脂、ポリイミドのような熱可塑性樹脂、又はこれらの絶縁樹脂がシリカなどの無機フィラーと混合された材料、又は無機フィラーとともにガラス繊維(Glass Fiber、Glass Cloth、Glass Fabric)などの芯材に含浸された樹脂、例えば、CCL(Copper Clad Laminate)の絶縁材等が用いられてもよいが、これらに限定されるものではない。コア層211は、複数の第1及び第2ビルドアップ絶縁層212、213のそれぞれより厚さが厚くてもよいが、これに限定されるものではない。
【0049】
複数の第1及び第2ビルドアップ絶縁層212、213はそれぞれ絶縁材を含むことができる。絶縁材としては、エポキシ樹脂のような熱硬化性樹脂、ポリイミドのような熱可塑性樹脂、又はこれらの絶縁樹脂がシリカなどの無機フィラーと混合された材料、又は無機フィラーとともにガラス繊維などの芯材に含浸された樹脂、例えば、ABF(Ajinomoto Build-up Film)、プリプレグ(Prepreg)、RCC(Resin Coated Copper)、PID(Photo Imageable Dielectric)の絶縁材などが用いられてもよいが、これらに限定されるものではない。複数の第1及び第2ビルドアップ絶縁層212、213の層数は互いに同一であってもよいが、これに限定されるものではない。
【0050】
第1及び第2コア配線層221a、221bはそれぞれ金属を含むことができる。金属としては、銅(Cu)、アルミニウム(Al)、銀(Ag)、錫(Sn)、金(Au)、ニッケル(Ni)、鉛(Pb)、チタン(Ti)、又はこれらの合金などを使用することができ、好ましくは銅(Cu)を含むことができるが、これに限定されるものではない。第1及び第2コア配線層221a、221bは、それぞれ無電解めっき層(又は化学銅)及び電解めっき層(又は電気銅)を含むことができるが、これに限定されるものではない。無電解めっき層の代わりにスパッタリング層が形成されてもよく、両方を含んでもよい。また、銅箔をさらに含むことができる。第1及び第2コア配線層221a、221bは、それぞれ当該層の設計デザインに応じて様々な機能を行うことができる。例えば、グランドパターン、パワーパターン、信号パターンなどを含むことができる。これらのパターンはそれぞれラインパターン、プレーンパターン及び/又はパッドパターンを含むことができる。
【0051】
複数の第1及び第2ビルドアップ配線層222a、222b、222c、222d、223はそれぞれ金属を含むことができる。金属としては、銅(Cu)、アルミニウム(Al)、銀(Ag)、錫(Sn)、金(Au)、ニッケル(Ni)、鉛(Pb)、チタン(Ti)、又はこれらの合金などを使用することができ、好ましくは銅(Cu)を含むことができるが、これに限定されるものではない。複数の第1及び第2ビルドアップ配線層222a、222b、222c、222d、223は、それぞれ無電解めっき層(又は化学銅)及び電解めっき層(又は電気銅)を含むことができるが、これに限定されるものではない。無電解めっき層の代わりにスパッタリング層が形成されてもよく、両方を含んでもよい。また、銅箔をさらに含むことができる。複数の第1及び第2ビルドアップ配線層222a、222b、222c、222d、223は、それぞれ該当層の設計デザインに応じて様々な機能を行うことができる。例えば、グランドパターン、パワーパターン、信号パターンなどを含むことができる。これらのパターンはそれぞれラインパターン、プレーンパターン及び/又はパッドパターンを含むことができる。
【0052】
貫通ビア231は、貫通孔の壁面に形成された金属層と金属層を充填するプラグとを含むことができる。金属層は、銅(Cu)、アルミニウム(Al)、銀(Ag)、錫(Sn)、金(Au)、ニッケル(Ni)、鉛(Pb)、チタン(Ti)、又はこれらの合金などを含むことができ、好ましくは銅(Cu)を含むことができるが、これに限定されるものではない。プラグは絶縁材質のインクを含むことができる。金属層は、無電解めっき層(又は化学銅)及び電解めっき層(又は電気銅)を含むことができるが、これに限定されるものではない。無電解めっき層の代わりにスパッタリング層が形成されてもよく、両方を含んでもよい。貫通ビア231は、設計デザインに応じて様々な機能を行うことができる。例えば、グランドビア、パワービア、信号ビアなどを含むことができる。
【0053】
複数の第1及び第2ビルドアップビア層232、233はマイクロビアを含むことができる。マイクロビアは、ビアホールを充填するフィルドビア(filled VIA)であってもよく、又はビアホールの壁面に沿って配置されるコンフォーマルビア(conformal VIA)であってもよい。マイクロビアはスタック型(stacked type)及び/又はスタガ型(staggered type)に配置されることができる。複数の第1及び第2ビルドアップビア層232、233はそれぞれ金属を含むことができ、金属としては銅(Cu)、アルミニウム(Al)、銀(Ag)、錫(Sn)、金(Au)、ニッケル(Ni)、鉛(Pb)、チタン(Ti)、又はこれらの合金などを含むことができ、好ましくは銅(Cu)を含むことができるが、これに限定されるものではない。複数の第1及び第2ビルドアップビア層232、233は、それぞれ無電解めっき層(又は化学銅)及び電解めっき層(又は電気銅)を含むことができるが、これに限定されるものではない。無電解めっき層の代わりにスパッタリング層が形成されてもよく、両方を含んでもよい。複数の第1及び第2ビルドアップビア層232、233は、当該層の設計デザインに応じて様々な機能を行うことができる。例えば、グランドビア、パワービア、信号ビアなどを含むことができる。
【0054】
第1及び第2レジスト層241、242は、液状又はフィルム型の半田レジストを含むことができるが、これに限定されるものではなく、他の種類の絶縁材が使用されてもよい。第1レジスト層241は、最上側の第1ビルドアップ配線層222dの少なくとも一部を露出させる開口を有することができる。第2レジスト層242は、最下側の第2ビルドアップ配線層223の少なくとも一部を露出させる開口を有することができる。
【0055】
その他の内容は、上述した一例及び他の一例によるプリント回路基板100A、100Bで説明したものと実質的に同一であるため、重複説明は省略する。
【0056】
図6は、微細回路を含む配線層のイメージを概略的に示す断面図である。
【0057】
図面を参照すると、本発明による微細回路は、ライン(Line)/スペース(Space)が約1μm/1μm程度であってよく、厚さ又は高さが約3μm程度であってもよい。例えば、アスペクト比は約3程度であってもよい。この場合、微細回路でありながらも断面積を増加させることができるため、信号損失を低減し、優れた信号特性を有することができる。一方、配線層の断面イメージは、公知の走査顕微鏡、電子顕微鏡及び/又は光学顕微鏡を用いて得ることができる。
【0058】
本発明において、実質的には、製造工程上で発生する工程誤差や位置偏差、測定時の誤差などを含めて判断することができる。例えば、線幅、間隔、厚さ、高さなどが実質的に特定の数値を有するとは、当該数値を有する場合だけでなく、それと類似の数値を有することを含むことができる。
【0059】
本発明において、同じ絶縁材は、完全に同一の絶縁材である場合だけでなく、同じタイプの絶縁材を含む意味であり得る。したがって、絶縁材の組成は実質的に同一であるものの、これらの具体的な組成比は少しずつ異なる場合がある。
【0060】
本発明において、断面との意味は、対象物を垂直に切断したときの断面形状、又は対象物をサイドビューで見たときの断面形状を意味することができる。また、平面との意味は、対象物を水平に切断したときの平面形状、又は対象物をトップビュー又はボトムビューで見たときの平面形状を意味することができる。
【0061】
本発明において、「下側、下部、下面」などは、便宜上、図面の断面を基準にして下方の方向を意味するものとして使用し、「上側、上部、上面」などは、その反対方向を意味するものとして使用している。但し、これは説明の便宜上、方向を定義したものであり、特許請求の範囲の権利範囲がこのような方向に対する記載によって特に限定されるものではないことは勿論であり、上/下の概念はいつでも変更することができる。
【0062】
本発明において、「連結される」とは、直接連結されることだけでなく、接着剤層などを介して間接的に連結されることを含む概念である。また、「電気的に連結される」とは、物理的に連結された場合及び連結されていない場合の両方を含む概念である。さらに、「第1、第2」などの表現は、ある構成要素と他の構成要素とを区分するために使用されるものであって、当該構成要素の順序及び/又は重要度などを限定しない。場合によっては、権利範囲を逸脱しない範囲内で、第1構成要素は第2構成要素と命名されてもよく、同様に、第2構成要素は第1構成要素と命名されてもよい。
【0063】
本発明で使用される「一例」という表現は、互いに同じ実施形態を意味するものではなく、それぞれ互いに異なる固有の特徴を強調して説明するために提供されたものである。しかし、上記提示された一例は、他の一例の特徴と結合して実現されることを排除しない。例えば、特定の一例で説明された事項が、他の一例に説明されていなくても、他の一例において、その事項と反対又は矛盾する説明がない限り、他の一例に関連する説明として理解することができる。
【0064】
本発明で使用される用語は、単に一例を説明するために使用されたものであり、本発明を限定しようとする意図ではない。このとき、単数の表現は、文脈上明らかに異なる意味ではない限り、複数の表現を含む。
【符号の説明】
【0065】
1000:電子機器
1010:メインボード
1020:チップ関連部品
1030:ネットワーク関連部品
1040:その他の部品
1050:カメラ
1060:アンテナ
1070:ディスプレイ
1080:バッテリ
1090:信号ライン
1100:スマートフォン
1110:マザーボード
1120:部品
1121:部品パッケージ
1130:カメラモジュール
1140:スピーカ
100A、100B、200:プリント回路基板
110:絶縁層
120、130、140、150、160:配線層
121、141、161:グランドパターン
131、151:信号パターン(微細回路パターン)
211:コア層
212、213:ビルドアップ絶縁層
221a、221b:コア配線層
222a、222b、222c、222d、223:ビルドアップ配線層
231:貫通ビア
232、233:ビルドアップビア層
241、242:レジスト層
図1
図2
図3
図4
図5
図6