特開 2025-99574 配線構造及び超音波流量計

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2025099574

(43)【公開日】2025-07-03

(54)【発明の名称】配線構造及び超音波流量計

(51)【国際特許分類】

   G01F 1/667 20220101AFI20250626BHJP

   H04R 1/06 20060101ALI20250626BHJP

【ＦＩ】

G01F1/667 B

H04R1/06 330

【審査請求】未請求

【請求項の数】8

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2023216347

(22)【出願日】2023-12-22

(71)【出願人】

【識別番号】000006666

【氏名又は名称】アズビル株式会社

(71)【出願人】

【識別番号】000142425

【氏名又は名称】アズビル金門株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】110003166

【氏名又は名称】弁理士法人山王内外特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】林 智仁

(72)【発明者】

【氏名】布村 崇裕

【テーマコード（参考）】

2F035

5D019

【Ｆターム（参考）】

2F035DA08

2F035DA14

5D019AA16

5D019EE06

(57)【要約】

【課題】配線を適切に引き回して固定し、振動ノイズの配線への伝播を抑制することができる配線構造を提供する。
【解決手段】圧電素子４２が取り付けられる金属板４１と、ケース部材２０に設けられ、金属板４１及び圧電素子４２に接続される配線４４を保持する配線保持部５４を有するパッキン４５と、配線４４を保持した配線保持部５４を押さえるキャップ３０とを備える。配線４４の周囲は、配線保持部５４を形成するパッキン材料によって覆われる。
【選択図】図５

【特許請求の範囲】

【請求項1】

圧電素子が取り付けられる金属板と、
筐体に設けられ、前記圧電素子及び前記金属板に接続される配線を保持する配線保持部を有するパッキンと、
前記配線を保持した前記配線保持部を押さえる押さえ部材とを備え、
前記配線の周囲は、
前記配線保持部を形成するパッキン材料、又は、前記配線保持部を形成するパッキン材料及び前記押さえ部材によって覆われる
ことを特徴とする配線構造。

【請求項2】

前記配線保持部は、
前記配線が挿入された状態で、前記押さえ部材によって押さえ付けられることで、前記配線の周囲を前記パッキン材料で覆う配線保持溝を有する
ことを特徴とする請求項１記載の配線構造。

【請求項3】

前記配線保持溝の溝幅は、前記配線の直径以上の長さである
ことを特徴とする請求項２記載の配線構造。

【請求項4】

前記配線保持溝の溝幅は、前記配線の直径よりも短い長さである
ことを特徴とする請求項２記載の配線構造。

【請求項5】

前記押さえ部材は、前記配線が嵌め込まれる配線用凹部を有し、
前記配線保持部は、前記配線における前記配線用凹部に嵌め込まれていない部分を、沈ませるように変形する
ことを特徴とする請求項１記載の配線構造。

【請求項6】

前記配線保持部は、前記配線が挿入される配線保持溝を有し、
前記筐体は、前記配線保持部が嵌合される嵌合凹部を有し、
前記配線保持溝は、
前記配線保持部が前記嵌合凹部に嵌合されると、前記配線の周囲を前記パッキン材料で覆う
ことを特徴とする請求項１記載の配線構造。

【請求項7】

圧電素子が取り付けられる金属板と、
筐体に設けられ、前記圧電素子及び前記金属板に接続される配線を保持する配線保持部を有するパッキンとを備え、
前記配線保持部は、
前記配線が内部に押し込まれることで、前記配線の周囲を、前記配線保持部を形成するパッキン材料で覆うスリットを有する
ことを特徴とする配線構造。

【請求項8】

請求項１から請求項７のうちのいずれか１項記載の配線構造を備える
ことを特徴とする超音波流量計。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本開示は、配線構造及び超音波流量計に関する。

【背景技術】

【0002】

特許文献１には、圧電デバイスが開示されている。この特許文献１に開示された圧電デバイスは、圧電素子及び当該圧電素子が取り付けられる金属板に接続される配線を、樹脂材料で形成した制振部材の内部に埋め込むようにした、配線構造を備えている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】国際公開第２０２１／１６４８９０号

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

特許文献１に開示された配線構造は、制振部材を成形する際に、その成形に使用する金型内に、配線を、予め、圧電素子及び金属板に接続させた状態で配置することで、制振部材の成形と共に、当該制振部材の内部に配線を埋め込むようにしている。このため、特許文献１に開示された配線構造においては、配線を金型内で所定の位置に引き回すことが困難となる。配線を適切に引き回すことができない場合、当該配線には、圧電素子の振動ノイズが伝播するおそれがある。

【0005】

本開示は、上記のような課題を解決するためになされたもので、配線を適切に引き回して固定し、振動ノイズの配線への伝播を抑制することができる配線構造を提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0006】

本開示に係る配線構造は、圧電素子が取り付けられる金属板と、筐体に設けられ、圧電素子及び金属板に接続される配線を保持する配線保持部を有するパッキンと、配線を保持した配線保持部を押さえる押さえ部材とを備え、配線の周囲は、配線保持部を形成するパッキン材料、又は、配線保持部を形成するパッキン材料及び押さえ部材によって覆われるものである。

【発明の効果】

【0007】

本開示によれば、配線を適切に引き回して固定し、振動ノイズの配線への伝播を抑制することができる。

【図面の簡単な説明】

【0008】

【図1】実施の形態１に係る配線構造が適用される超音波流量計の外観斜視図である。

【図2】実施の形態１に係る圧電デバイスがケース部材に取り付けられた状態を示す図である。図２Ａは、キャップがケース部材から取り外された状態を示す図である。図２Ｂは、キャップがケース部材に取り付けられた状態を示す図である。

【図3】ケース部材の平面図である。図３Ａは、圧電デバイスが取り外された状態を示す図である。図３Ｂは、圧電デバイスが取り付けられた状態を示す図である。

【図4】実施の形態１に係る圧電デバイスの外観斜視図である。図４Ａは、圧電デバイスを上方側から見た図である。図４Ｂは、圧電デバイスを下方側から見た図である。

【図5】実施の形態１に係る配線構造の正面図である。図５Ａは、配線が配線保持溝に配置された状態を示す図である。図５Ｂは、配線の周囲がパッキン材料によって覆われた状態を示す図である。

【図6】実施の形態２に係る配線構造の正面図である。図６Ａは、配線が配線保持溝に配置された状態を示す図である。図６Ｂは、配線の周囲がパッキン材料によって覆われた状態を示す図である。

【図7】実施の形態３に係る配線構造の正面図である。図７Ａは、配線が配線保持部とキャップの嵌合凹部との間に配置された状態を示す図である。図７Ｂは、配線の周囲がパッキン材料と嵌合凹部とによって覆われた状態を示す図である。

【図8】実施の形態４に係る配線構造の正面図である。図８Ａは、配線が配線保持溝に挿入される前の状態を示す図である。図８Ｂは、配線を保持した配線保持部がケース部材の嵌合凹部に嵌め込まれる前の状態を示す図である。図８Ｃは、配線の周囲がパッキン材料によって覆われた状態を示す図である。

【図9】実施の形態５に係る配線構造の正面図である。図９Ａは、配線が配線保持部のスリットに挿入される前の状態を示す図である。図９Ｂは、配線の周囲がパッキン材料によって覆われた状態を示す図である。

【発明を実施するための形態】

【0009】

以下、本開示の実施の形態について図面を参照しながら詳細に説明する。

【0010】

実施の形態１．
実施の形態１に係る配線構造について、図１から図５を用いて説明する。

【0011】

先ず、実施の形態１に係る超音波流量計１００の構成について、図１から図３を用いて説明する。図１は実施の形態１に係る圧電デバイス４０ａ，４０ｂが適用される超音波流量計１００の外観斜視図である、図２は、実施の形態１に係る圧電デバイス４０ａ，４０ｂがケース部材２０ａ，２０ｂに取り付けられた状態を示す図である。図３は、ケース部材２０ａ，２０ｂの平面図である。なお、図１においては、上流側の配線４４及び下流側のキャップ３０ｂが取り外されている。

【0012】

図１に示す超音波流量計１００は、超音波を用いて、流体の流量又は流速を測定するものである。測定対象となる流体は、空気又はガス等の気体、或いは、水等の液体である。超音波流量計１００は、例えば、ガスメータ又は水道メータ等に搭載される。図１に記載した矢印は、超音波流量計１００の内部を通過する流体の流れ方向を示している。

【0013】

図１に示すように、超音波流量計１００は、１つの測定管１０、一対のケース部材２０ａ，２０ｂ、一対のキャップ３０ａ，３０ｂ、及び、一対の圧電デバイス４０ａ，４０ｂを備えている。測定管１０及びケース部材２０ａ，２０ｂは、超音波流量計１００の筐体を構成するものである。

【0014】

測定管１０は、筒状をなしている。測定管１０は、測定流路１１、流入口１２、及び、流出口１３を有している。測定管１０は、例えば、樹脂材料で形成されている。測定流路１１、流入口１２、及び、流出口１３は、一体的に形成されている。

【0015】

測定流路１１は、測定管１０の内周面によって構成されるものであり、当該測定管１０の軸方向に沿って形成されている。流体は、測定流路１１の軸方向に沿って流れる。測定流路１１の上流側開口端は、流体が流入する流入口１２を構成している。一方、測定流路１１の下流側開口端は、流体が流出する流出口１３を構成している。即ち、測定管１０は、流入口１２から測定流路１１内に供給された流体を、その測定流路１１を通過させた後、流出口１３から排出する。詳細については後述するが、超音波流量計１００は、流体が測定流路１１を通過するときに、その流量又は流速を測定する。

【0016】

図１から図３に示すように、ケース部材２０ａ，２０ｂは、圧電デバイス４０ａ，４０ｂを測定管１０に取り付けるための部材である。ケース部材２０ａ，２０ｂは、測定管１０における同一面となる上面において、測定流路１１の軸方向（流体の流れ方向）に沿って設けられている。一方のケース部材２０ａは、測定流路１１の上流側に配置されている。他方のケース部材２０ｂは、測定流路１１の下流側に配置されている。

【0017】

ケース部材２０ａ，２０ｂは、例えば、樹脂材料で形成されている。ケース部材２０ａ，２０ｂは、測定管１０と一体に形成されるものでも良いし、測定管１０とは別体となるものでも良い。

【0018】

ケース部材２０ａ，２０ｂは、環状をなす底板２１と、この底板２１の外周部に設けられる縦壁２２とを、有している。このように、ケース部材２０ａ，２０ｂは、上方側が開口した、箱型をなしている。このため、ケース部材２０ａ，２０ｂは、その内部に圧電デバイス４０ａ，４０ｂを収容し、取り付け可能としている。ケース部材２０ａ，２０ｂは、その中心軸が測定流路１１の軸方向に対して傾斜するように配置されている。なお、縦壁２２は、切り欠き状をなす、配線用の通過口２２ａを有している。

【0019】

図１及び図２に示すように、キャップ３０ａ，３０ｂは、圧電デバイス４０ａ，４０ｂを保護するためのカバーとして、ケース部材２０ａ，２０ｂの各縦壁２２に対して、それぞれ取り付け可能となっている。キャップ３０ａ，３０ｂは、例えば、樹脂材料で形成されている。なお、キャップ３０ａ，３０ｂは、押さえ部材を構成するものである。

【0020】

図１から図３に示すように、圧電デバイス４０ａ，４０ｂは、例えば、超音波センサ又は超音波振動素子であり、超音波を発生させるものである。圧電デバイス４０ａ，４０ｂは、お互いの間で、超音波の送受信を可能としている。一方の圧電デバイス４０ａは、超音波の発振器及び受信器として機能する。他方の圧電デバイス４０ｂは、超音波の受信器及び送信機として機能する。

【0021】

圧電デバイス４０ａ，４０ｂは、測定流路１１の軸方向に沿って設けられている。圧電デバイス４０ａ，４０ｂは、ケース部材２０ａ，２０ｂの内部に取り付けられている。即ち、測定流路１１の上流側に配置される一方の圧電デバイス４０ａは、ケース部材２０ａの内部に取り付けられている。また、測定流路１１の下流側に配置される他方の圧電デバイス４０ｂは、ケース部材２０ｂの内部に取り付けられている。

【0022】

このように、圧電デバイス４０ａ，４０ｂは、ケース部材２０ａ，２０ｂの内部に取り付けられることで、その中心軸が測定流路１１の軸方向に対して傾斜し、且つ、測定流路１１を臨むように配置される。具体的には、圧電デバイス４０ａは、その送受信面が下流側を向くように、傾斜して配置されている。また、圧電デバイス４０ｂは、その送受信面が上流側を向くように、傾斜して配置されている。更に、圧電デバイス４０ａ，４０ｂは、ケース部材２０ａ，２０ｂの内部に取り付けられると、その周囲が縦壁２２によって囲まれることになるが、当該縦壁２２の上端よりも上方側に突出することはない。

【0023】

ここで、超音波流量計１００は、圧電デバイス４０ａ，４０ｂから送信された超音波を、測定流路１１を流れる流体中に伝播させる。そして、超音波流量計１００は、圧電デバイス４０ａ，４０ｂ間における超音波の伝播時間差に基づいて、測定流路１１を流れる流体の流量又は流速を測定する。

【0024】

具体的には、圧電デバイス４０ａから送信された超音波は、測定流路１１を流れる流体中を、上流側から下流側に向けて斜めに伝播して、当該測定流路１１の底面に反射した後、圧電デバイス４０ｂによって受信される。一方、圧電デバイス４０ｂから送信された超音波は、測定流路１１を流れる流体中を、下流側から上流側に向けて斜めに伝播して、当該測定流路１１の底面に反射した後、圧電デバイス４０ａによって受信される。即ち、双方の超音波の伝播経路は、Ｖ字状にそれぞれ形成される。そして、超音波流量計１００は、圧電デバイス４０ａ，４０ｂが超音波を送受信することで、２方向の超音波の伝播時間をそれぞれ求めた後、それらの伝播時間差に基づいて、測定流路１１を流れる流体の流量又は流速を測定する。

【0025】

次に、圧電デバイス４０ａ，４０ｂの構成について、図４を用いて説明する。図４は、実施の形態１に係る圧電デバイス４０の外観斜視図である。なお、圧電デバイス４０ａ，４０ｂは、同じ構成で、且つ、同じ機能を有しているため、以下の説明においては、圧電デバイス４０ａ，４０ｂを圧電デバイス４０として記載している。

【0026】

図４に示すように、圧電デバイス４０は、全体として、円形をなしている。圧電デバイス４０は、金属板４１、圧電素子４２、音響整合層４３、配線４４、及び、パッキン４５を有している。

【0027】

金属板４１は、平板状で、且つ、円形に形成されている。この金属板４１は、振動板の役割を果たすものである。金属板４１は、上面４１ａ及び下面４１ｂを有している。上面４１ａと下面４１ｂとは、金属板４１の厚さ方向において、互いに反対側に配置されている。金属板４１は、例えば、ステンレス、アルミニウム、又は、銅等の金属材料で形成されている。

【0028】

上面４１ａは、圧電デバイス４０がケース部材２０ａ，２０ｂに取り付けられると、ケース部材２０ａ，２０ｂの開口部側に配置される。この上面４１ａは、圧電素子４２を取り付けるための面である。下面４１ｂは、圧電デバイス４０がケース部材２０ａ，２０ｂに取り付けられると、ケース部材２０ａ，２０ｂの底板２１と対向する。この下面４１ｂは、音響整合層４３を取り付けるための面である。

【0029】

なお、金属板４１は、取付板を構成するものである。上面４１ａは、第１表面を構成するものである。下面４１ｂは、第２表面を構成するものである。

【0030】

圧電素子４２は、電気信号である超音波信号と超音波とを相互に変換可能とする。また、圧電素子４２は、超音波を送受信可能となっている。具体的には、圧電素子４２は、電圧が印加されると、金属板４１の厚さ方向に伸縮（振動）することで、超音波を発生する。また、圧電素子４２は、外部から超音波（振動）が加わると、電圧を発生する。圧電素子４２は、例えば、接着剤を介して、金属板４１の上面４１ａに取り付けられている。

【0031】

音響整合層４３は、圧電素子４２における超音波の送受信の効率を向上させるものである。この音響整合層４３は、圧電素子４２の音響インピーダンスと流体の音響インピーダンスとを整合して、それらの間における超音波の反射を抑制する。このため、音響整合層４３は、測定流路１１と対向する下面４１ｂに取り付けられている。

【0032】

よって、圧電素子４２によって発生された超音波は、金属板４１を介して、音響整合層４３から測定流路１１に出射される。一方、測定流路１１から音響整合層４３に入射された超音波は、金属板４１を介して、圧電素子４２に伝播される。

【0033】

２本の配線４４は、金属板４１の上面４１ａ及び圧電素子４２の表面に、それぞれ接続されている。これらの配線４４は、ケース部材２０ａ，２０ｂの内部に取り付けられた圧電デバイス４０から、その縦壁２２の通過口２２ａを介して、超音波流量計１００が備える制御装置（図示省略）まで引き出されている。

【0034】

具体的には、一方の配線４４の一端は、金属板４１の上面４１ａに接続され、当該配線４４の他端は、超音波流量計１００が備える制御装置（図示省略）に接続されている。また、他方の配線４４の一端は、圧電素子４２の表面に接続されており、当該配線４４の他端は、上記制御装置に接続されている。

【0035】

パッキン４５は、圧電デバイス４０のケース部材２０ａ，２０ｂへの固定と、圧電素子４２によって発生された超音波振動の減衰の抑制との、両立を図るものである。このように、超音波流量計１００は、圧電デバイス４０を、パッキン４５を介して、ケース部材２０ａ，２０ｂに固定することで、圧電デバイス４０からケース部材２０ａ，２０ｂを介して測定管１０に伝わる振動を抑えることができる。このため、超音波流量計１００は、測定精度の低下を抑えることができる。

【0036】

パッキン４５は、本体５１、外周壁部５２、切り欠き部５３、配線保持部５４、及び、差し込み溝５５を有している。パッキン４５は、例えば、パッキン材料である弾性樹脂材料で形成されている。本体５１、外周壁部５２、切り欠き部５３、配線保持部５４、及び、差し込み溝５５は、一体的に形成されている。

【0037】

本体５１は、環状をなしている。外周壁部５２は、本体５１の上面外周部において、その周方向に沿って設けられている。切り欠き部５３は、外周壁部５２の複数箇所において、当該外周壁部５２を切り欠くようにそれぞれ形成されている。図６及び図７は、１つの外周壁部５２に対して、３つの切り欠き部５３を形成した例である。切り欠き部５３は、１つ以上形成されていれば良い。

【0038】

配線保持部５４は、２本の配線４４を保持するものである。配線保持部５４は、外周壁部５２の外周面からその径方向外側に向けて突出するように形成されている。また、配線保持部５４は、径方向両側の外周壁部５２と連続するように形成されている。この配線保持部５４の詳細については後述するが、当該配線保持部５４の上面には、ケース部材２０ａ，２０ｂに取り付けられたキャップ３０ａ，３０ｂの下端が、押圧可能となっている。

【0039】

差し込み溝５５は、金属板４１の外周部が差し込まれる溝である。差し込み溝５５は、外周壁部５２の径方向内側において、複数設けられている。差し込み溝５５は、径方向において、所定の間隔で配置されている。図４は、４つの差し込み溝５５を形成した例である。

【0040】

次に、実施の形態１に係る配線構造について、図５を用いて説明する。図５は、実施の形態１に係る配線構造の正面図である。なお、ケース部材２０ａ，２０ｂ及びキャップ３０ａ，３０ｂは、同じ構成で、且つ、同じ機能を有しているため、以下の説明においては、ケース部材２０ａ，２０ｂをケース部材２０とし、キャップ３０ａ，３０ｂをキャップ３０として記載している。

【0041】

図５Ａに示すように、パッキン４５の配線保持部５４は、有底溝となる配線保持溝５４ａを有している。配線保持溝５４ａには、金属板４１及び圧電素子４２から引き回された配線４４が、挿入可能となっている。このとき、配線保持溝５４ａの溝幅は、配線４４の直径以上の長さになっている。このため、配線保持部５４においては、配線４４を配線保持溝５４ａに容易に挿入することができる。

【0042】

そして、図５Ｂに示すように、キャップ３０がケース部材２０の縦壁２２に取り付けられると、当該キャップ３０は、配線保持部５４を押圧して潰す。このため、配線保持溝５４ａは、パッキン材料によって埋められる。この結果、配線保持溝５４ａは、配線４４が挿入された状態で、キャップ３０によって押さえ付けられることで、配線４４の周囲をパッキン材料によって覆うことができる。このように、配線４４は、その周囲がパッキン材料で覆われることによって固定されるため、圧電素子４２からの振動ノイズが抑制される。

【0043】

以上、実施の形態１に係る配線構造は、配線４４を適切に引き回して固定し、圧電素子４２による振動ノイズの配線４４への伝播を抑制することができる。

【0044】

実施の形態２．
実施の形態２に係る配線構造について、図６を用いて説明する。図６は、実施の形態２に係る配線構造の正面図である。なお、上述した実施の形態１で説明した構成と同様の機能を有する構成については、同一の符号を付し、その説明を省略する。

【0045】

図６Ａに示すように、パッキン４５の配線保持部５４は、有底溝となる配線保持溝５４ｂを有している。配線保持溝５４ｂには、金属板４１及び圧電素子４２から引き回された配線４４が、挿入可能となっている。このとき、配線保持溝５４ａの溝幅は、配線４４の直径よりも短い長さとなるものの、パッキン材料を弾性樹脂材料とした配線保持部５４においては、配線４４を配線保持溝５４ｂに容易に挿入することができる。

【0046】

そして、図６Ｂに示すように、キャップ３０がケース部材２０の縦壁２２に取り付けられると、当該キャップ３０は、配線保持部５４を押圧して潰す。このため、配線保持溝５４ｂは、パッキン材料によって埋められる。この結果、配線保持溝５４ｂは、配線４４が挿入された状態で、キャップ３０によって押さえ付けられることで、配線４４の周囲をパッキン材料によって覆うことができる。

【0047】

このとき、配線保持溝５４ｂの溝幅は、配線４４の直径よりも短い長さとなるため、当該配線保持溝５４ｂは、容易にパッキン材料によって埋められる。このため、配線４４の周囲は、パッキン材料によって隙間無く覆われる。このように、配線４４は、その周囲がパッキン材料で覆われることによって固定されるため、圧電素子４２からの振動ノイズが抑制される。

【0048】

以上、実施の形態２に係る配線構造は、配線４４を適切に引き回して固定し、圧電素子４２による振動ノイズの配線４４への伝播を抑制することができる。

【0049】

実施の形態３．
実施の形態３に係る配線構造について、図７を用いて説明する。図７は、実施の形態３に係る配線構造の正面図である。なお、上述した実施の形態１で説明した構成と同様の機能を有する構成については、同一の符号を付し、その説明を省略する。

【0050】

図７Ａに示すように、キャップ３０は、配線用凹部３１を有している。配線用凹部３１は、キャップ３０の下端に設けられている。配線用凹部３１は、配線４４の外周面を嵌め込み可能としている。例えば、配線用凹部３１は、配線４４のおける外周面の周方向半分を嵌め込み可能となっている。この場合、配線用凹部３１は、半円状をなす。

【0051】

そして、図７Ｂに示すように、キャップ３０がケース部材２０の縦壁２２に取り付けられると、配線４４における外周面の周方向半分部分は、配線用凹部３１に嵌め込まれた後、配線４４における外周面の他の周方向半分部分は、配線保持部５４に埋め込まれる。即ち、配線保持部５４は、配線４４における配線用凹部３１に嵌め込まれていない部分を、沈ませるように変形する。この結果、配線４４は、パッキン材料及びキャップ３０によって覆われる。このように、配線４４は、その周囲がパッキン材料及びキャップ３０の配線用凹部３１で覆われることによって固定されるため、圧電素子４２からの振動ノイズが抑制される。

【0052】

以上、実施の形態３に係る配線構造は、配線４４を適切に引き回して固定し、圧電素子４２による振動ノイズの配線４４への伝播を抑制することができる。

【0053】

実施の形態４．
実施の形態４に係る配線構造について、図８を用いて説明する。図８は、実施の形態４に係る配線構造の正面図である。なお、上述した実施の形態１で説明した構成と同様の機能を有する構成については、同一の符号を付し、その説明を省略する。

【0054】

図８Ａに示すように、パッキン４５の配線保持部５４は、貫通溝となる配線保持溝５４ｃを有している。配線保持溝５４ｃには、金属板４１及び圧電素子４２から引き回された配線４４が、挿入可能となっている。図８Ｂに示ように、ケース部材２０は、嵌合凹部２３を有している。嵌合凹部２３には、配線保持溝５４ｃに配線４４が挿入された状態の配線保持部５４が、嵌合可能となっている。

【0055】

そして、図８Ｃに示すように、嵌合凹部２３に対して、配線保持溝５４ｃに配線４４が挿入された状態の配線保持部５４が嵌合されると、当該配線保持部５４は、配線保持溝５４ｃがその溝幅方向に潰れるように、変形する。このため、配線保持溝５４ｃは、パッキン材料によって埋められる。この結果、配線保持溝５４ｃは、配線４４が挿入された状態で、嵌合凹部２３によって潰されることで、配線４４の周囲をパッキン材料によって覆うことができる。このように、配線４４は、その周囲がパッキン材料で覆われることによって固定されるため、圧電素子４２からの振動ノイズが抑制される。

【0056】

以上、実施の形態４に係る配線構造は、配線４４を適切に引き回して固定し、圧電素子４２による振動ノイズの配線４４への伝播を抑制することができる。

【0057】

実施の形態５．
実施の形態５に係る配線構造について、図９を用いて説明する。図９は、実施の形態５に係る配線構造の正面図である。なお、上述した実施の形態１で説明した構成と同様の機能を有する構成については、同一の符号を付し、その説明を省略する。

【0058】

図９Ａに示すように、パッキン４５の配線保持部５４は、スリット５４ｄを有している。配線保持溝５４ａには、金属板４１及び圧電素子４２から引き回された配線４４が、挿入可能となっている。このとき、図９Ｂに示すように、配線４４がスリット５４ｄの内部に押し込まれると、配線４４の周囲は、パッキン材料で覆われる。このように、配線４４は、その周囲がパッキン材料で覆われることによって固定されるため、圧電素子４２からの振動ノイズが抑制される。

【0059】

以上、実施の形態５に係る配線構造は、配線４４を適切に引き回して固定し、圧電素子４２による振動ノイズの配線４４への伝播を抑制することができる。

【0060】

なお、本開示は、その開示の範囲内において、実施の形態の任意の構成要素の変形、若しくは、実施の形態の任意の構成要素の省略が可能である。

【符号の説明】

【0061】

１０ 測定管、１１ 測定流路、１２ 流入口、１３ 流出口、２０，２０ａ，２０ｂ ケース部材、２１ 底板、２２ 縦壁、２２ａ 通過口、２３ 嵌合凹部、３０，３０ａ，３０ｂ キャップ、３１ 配線用凹部、４０，４０ａ，４０ｂ 圧電デバイス、４１ 金属板、４１ａ 上面、４１ｂ 下面、４２ 圧電素子、４３ 音響整合層、４４ 配線、４５ パッキン、５１ 本体、５２ 外周壁部、５４ 配線保持部、５４ａ～５４ｃ 配線保持溝、５４ｄ 配線用スリット、５５ 差し込み溝、１００ 超音波流量計。

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】