特開2026-112232IP Force 特許公報全文掲載

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積層体の解体装置及び積層体の解体方法

要約特許出願時に添付された[要約書]

【課題】歩留まり率が高い積層体の解体装置及び積層体の解体方法を提供する。
【解決手段】積層体の解体装置１００は、薄膜２と薄膜２の表面に結着した結着層３とを含む積層体１の解体装置であって、積層体１に接触可能な正電極１０及び負電極１１と、積層体１、正電極１０及び負電極１１の周囲の空間を真空環境とする排気部２２と、真空環境にある正電極１０及び負電極１１間に電気パルスを印加する電気パルス印加部１２と、少なくとも排気部２２及び電気パルス印加部１２の一方を制御するコントローラ４０と、を備える。
【選択図】図１

発明が解決しようとする課題[発明の詳細な説明]から抜粋

しかしながら、従来の解体方法では、積層体の解体の歩留まり率が低いことが課題である。

課題を解決するための手段[発明の詳細な説明]から抜粋

本発明の一態様に係る積層体の解体装置は、薄膜と薄膜の表面に結着した結着層とを含む積層体の解体装置であって、積層体に接触可能な正電極及び負電極と、積層体、正電極及び負電極の周囲の空間を真空環境とする排気部と、真空環境にある正電極及び負電極間に電気パルスを印加する電気パルス印加部と、少なくとも排気部及び電気パルス印加部の一方を制御するコントローラと、を備える。

発明の効果[発明の詳細な説明]から抜粋

本発明によれば、歩留まり率が高い積層体の解体装置及び積層体の解体方法を提供することができる。

この発明についての権利主張の範囲[特許請求の範囲]

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この特許公報に記載されている図面[図面の簡単な説明]から抜粋

【図1】 図１は、第１積層体の解体装置の構成を示すブロック図である。
【図2】 図２は、図１の積層体、正電極、負電極及び真空槽を抜粋した上面図である。
【図3】 図３は、図１のコントローラの詳細な構成を示すブロック図である。
【図4】 図４は、第１積層体の解体方法の一例を示すフローチャートである。
【図5】 図５は、薄膜に発生したジュール熱が、結着層へ伝熱する様子を示す断面模式図である。
【図6A】 図６Ａは、熱応力に起因して、薄膜から結着層が剥離する過程を示す断面模式図である。
【図6B】 図６Ｂは、図６Ａから一定時間経過した状態を示す断面模式図である。
【図6C】 図６Ｃは、図６Ｂから一定時間経過した状態を示す断面模式図である。
【図7A】 図７Ａは、薄膜にジュール熱が発生してから一定時間経過した後の熱分布を示す断面模式図である。
【図7B】 図７Ｂは、図７Ａより結着層が厚い場合に、薄膜にジュール熱が発生してから一定時間経過した後の熱分布を示す断面模式図である。
【図8】 図８は、第２積層体の解体装置の構成を示すブロック図である。
【図9】 図９は、図８のコントローラの詳細な構成を示すブロック図である。
【図10】 図１０は、第２積層体の解体方法の一例を示すフローチャートである。

選択図 図1出願人が指定した本件の代表的な図

１００ 解体装置 １ 積層体 ２ 薄膜 ３ 結着層 １０ 正電極 １１ 負電極 １２ 電気パルス印加部 ２０ 真空槽 ２１ 閉空間 ２２ 排気部 ３０ 寸法測定部 ４０ コントローラ ９０ 不活性ガス導入部 ９１ 分圧計

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