ホーム > 特許ランキング > 電気化学工業株式会社 > 特開2026-153179
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公報発行日 2026年10月2
公報URL https://ipforce.jp/patent-jp-P_A1-2026-153179 ログイン済みの方はこのURLへ
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【課題】粘着テープの粘着剤を硬化させて粘着力を低下させない製造方法においても、ピックアップ性及びテープ貼り付け面の汚染抑制に優れる、半導体製造用の粘着テープを提供する。
【解決手段】本発明によれば、半導体製造用の粘着テープであって、基材と、粘着剤層と、を備え、前記粘着剤層は、粘着剤によって構成され、前記粘着剤は、アクリル系重合体とポリビニルアルコール系重合体が互いに架橋された構造を有する架橋体を含み、前記粘着剤は、前記アクリル系重合体に由来する構造と前記ポリビニルアルコール系重合体に由来する構造との含有量の合計を100質量%とした場合に、前記ポリビニルアルコール系重合体に由来する構造を0.5~10質量%含み、前記粘着テープは、JISZ0237:2022に記載の「粘着テープ・粘着シート試験法」に準拠して、洗浄したSUS板を被着体として180°に引きはがして測定した粘着力が0.50N/10mm以下である、粘着テープが提供される。
【選択図】なし
本発明の半導体製造用の粘着テープは、ピックアップ性及びテープ貼り付け面の汚染抑制が優れ、半導体製造に用いることができ、特に半導体ウエハ又は基板の製造におけるダイシング用粘着テープとして好適に用いることができる。
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