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特開 2026-155143出願番号 特願 2025-44393
スパッタリング装置
出願人 東京エレクトロン株式会社（識別番号 219967）
2026年 特許公開件数ランキング 36位 490件（※）
2026年 特許取得件数ランキング 25位 521件（※）
公報発行日 2026年10月6
公報URL https://ipforce.jp/patent-jp-P_A1-2026-155143 ログイン済みの方はこのURLへ
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※ 共同出願を含む
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技術分野
要約特許出願時に添付された[要約書]
【課題】ＲＦスパッタリング装置において、安定してマグネットを揺動させる技術を提供する。
【解決手段】処理容器と、前記処理容器内に基板を載置する基板載置部と、前記基板の上方に配置されたターゲットを有するカソードユニットと、前記ターゲットに高周波電力を供給する高周波電源と、前記ターゲットの背面側に設けられ、マグネットが固定されたマグネット固定部と、前記マグネット固定部を移動させる揺動駆動部と、を備えるマグネットユニットと、前記カソードユニット及び前記マグネット固定部のそれぞれの背面側を覆う被覆部材と、を備え、前記揺動駆動部は、前記被覆部材の外側に配置され、前記マグネット固定部を揺動させるモータを備えるスパッタリング装置。
【選択図】図１
発明が解決しようとする課題[発明の詳細な説明]から抜粋
課題を解決するための手段[発明の詳細な説明]から抜粋
発明の効果[発明の詳細な説明]から抜粋
ＲＦスパッタリング装置において、安定してマグネットを揺動させる技術を提供する。
この発明についての権利主張の範囲[特許請求の範囲]
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この特許公報に記載されている図面[図面の簡単な説明]から抜粋
選択図 図1出願人が指定した本件の代表的な図
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