特開2026-158816IP Force 特許公報全文掲載

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技術分野

この発明は、例えば基板処理に用いられる処理液を冷却して出力する技術に関するものである。

要約特許出願時に添付された[要約書]

【課題】処理液を凝固させることなく目標温度まで冷却する。
【解決手段】本発明の冷却装置は、冷却対象の処理液を受け入れる入力部と、冷却された処理液を出力する出力部と、入力部と出力部とを結んで処理液の流路を形成する流路形成部と、流路を流通する処理液の温度を検出する温度検出部と、温度検出部の検出結果に基づき出力部から出力される処理液の温度を制御する制御部とを備える。流路形成部は、冷媒との熱交換によって処理液を冷却する複数の冷却部と、複数の冷却部の少なくとも１つを有効化状態と無効化状態との間で切り替え可能に構成された無効化部とを有し、制御部は、検出結果に基づき、無効化部による有効化状態と無効化状態との切り替えを制御する。
【選択図】図４

発明が解決しようとする課題[発明の詳細な説明]から抜粋

このように処理液をその凝固点に近い温度まで冷却しようとするとき、最も留意すべきは処理液を凍結させないことである。例えば常温の水を凝固点近くまで冷却するとき、水の温度を２０℃程度低下させる必要がある。その冷却機構として、冷却器から出力される冷水の温度検出結果を冷却器の冷却能力にフィードバックする制御方式のものを採用すると、出力される冷水の温度は目標温度の近傍で数℃程度の幅を持って変動するのが一般的である。流動する液体を冷却するという原理上、検出結果を処理液の温度に反映させるまでに時間遅れが生じ、過渡的に温度が振動することを避けられないからである。

課題を解決するための手段[発明の詳細な説明]から抜粋

本発明の一の態様は、冷却対象の処理液を受け入れる入力部と、冷却された前記処理液を出力する出力部と、前記入力部と前記出力部とを結んで前記処理液の流路を形成する流路形成部と、前記流路を流通する前記処理液の温度を検出する温度検出部と、前記温度検出部の検出結果に基づき前記出力部から出力される前記処理液の温度を制御する制御部とを備える冷却装置である。

発明の効果[発明の詳細な説明]から抜粋

以上のように、本発明によれば、処理液の温度を低下させる作用を有する流路のうち、処理液の温度検出結果に応じて一部を無効化状態とすることにより、出力される処理液の温度を変更する。これにより、温度検出結果を優れた応答性で出力温度に反映させることが可能であり、目標温度が凝固点に近い場合であっても、処理液を凝固させることなく目標温度まで冷却することができる。

この発明についての権利主張の範囲[特許請求の範囲]

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この特許公報に記載されている図面[図面の簡単な説明]から抜粋

【図1】 本発明の一実施形態を備えた基板処理システムの概略構成を示す図である。
【図2】 冷却装置の構成例を示す図である。
【図3】 熱交換器の構成例を示す図である。
【図4】 本実施形態の温度調整処理を実現するための構成例を示す図である。
【図5】 この実施形態における温度調整処理の内容を示すフローチャートである。
【図6】 冷却装置を無効化する方法を例示する図である。
【図7】 この温度調整処理における各部の状態変化の例を示す図である。
【図8】 図８は低温のＤＩＷが入力される場合の各部の状態を例示する図である。
【図9】 入力温度に基づく切り替えの事例を示すフローチャートである。

選択図 図4出願人が指定した本件の代表的な図

１ 処理液供給部（冷却装置） ２ 配管系 ３ 冷却装置（流路形成部） ８ 制御部 ９ 基板処理部 ２２ 配管（流路形成部、入力部、出力部） ２５，２６ 配管（供給配管） ３５ 熱交換器（冷却部） ４１～４５ 温度センサ（温度検出部） ３３５，３３６ 制御弁（無効化部、切り替え機構） ３７１，３７６ 制御弁（無効化部） ３７５ 配管（バイパス配管） Ｓ 基板処理システム

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