１ Ｘ軸テーブル、２ Ｙ軸テーブル、３ Ｚ軸テーブル、４ 塗布機構、５ 基板、６ 観察光学系、７ ＣＣＤカメラ、８ 操作パネル、９ モニタ、１０ 制御用コンピュータ、２０ 塗布針ホルダ、２１ 液体材料容器、２１Ａ 円筒状部、２１Ｂ 円錐状部、２１ＢＭ 最下部、２１Ｃ 側面、２１ＴＰ 最上部、２４ 塗布針、２５ 貫通孔、３３ 機構ベース板、３３ａ 背面、３３ｂ 正面、３３ｃ 側面、３４ 第１駆動部、３４Ｂ 円板部材、３４Ｃ リンク部材、３５ 塗布針固定部、３５ａ 鉛直部、３５ｂ 水平部、３６ 第２駆動部、４１ モータ、４３ カム、４４ 軸受、４５ カム連結板、４６ 可動部、４７ 塗布針ホルダ固定部、４８ 塗布針ホルダ収納部、４９Ａ，４９Ｂ 固定ピン、４９Ｃ リニアガイド、５０ バネ、５１ 冷却ユニット、５２ 固定具、５２Ａ 第１部分、５２Ｂ 第２部分、５２ｂ１，５２ｂ２ 主表面、５２Ｃ，５２Ｄ，５２Ｐ 保持部、５２Ｃ１ 凹部、５２Ｃ２ 小貫通孔、５２Ｅ，５２Ｆ 筒状保持部、５２Ｈ 孔部、５２Ｍ，５２Ｎ マグネット、５２Ｓ 屈曲部、５２ＳＬ スライド機構、５２ＳＷ１ ボルト、５２ＳＷ２ 雌ネジ、５２Ｔ 端部、５３，５４ 断熱材、５３ｂ，５４ｂ 断熱正面、５３ｃ，５３ｄ，５４ｃ，５４ｄ 断熱側面、６１ カム面、６２ 上端フラット領域、６３ 下端フラット領域、１００ 塗布装置。