特開2026-160371IP Force 特許公報全文掲載

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技術分野

真空ポンプ

要約特許出願時に添付された[要約書]

【課題】サイレンサの機能を向上することができる真空ポンプが提供される。
【解決手段】真空ポンプは、気体の排気流路を有するサイレンサ構造を備える。サイレンサ構造は、排気流路の底部を形成する平板状の底板を備えている。排気流路は、底板上に形成された平面状の流路である。
【選択図】図１

発明が解決しようとする課題[発明の詳細な説明]から抜粋

真空ポンプは、自身から排出される気体によって発生する騒音（排気騒音）を低減するために、サイレンサを備えている場合がある。一般的なサイレンサであっても、消音効果を発揮することができるが、真空ポンプの性能を向上する観点から、サイレンサの機能を向上することは重要である。

課題を解決するための手段[発明の詳細な説明]から抜粋

一態様では、真空ポンプが提供される。真空ポンプは、気体を圧縮する一対のポンプロータと、前記一対のポンプロータを収容するポンプケーシングと、前記気体の排気流路を有するサイレンサ構造と、を備え、前記サイレンサ構造は、前記排気流路の底部を形成する平板状の底板を備えており、前記排気流路は、前記底板上に形成された平面状の流路である。

発明の効果[発明の詳細な説明]から抜粋

手段によれば、真空ポンプは、サイレンサの機能を向上することができる。

この発明についての権利主張の範囲[特許請求の範囲]

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この特許公報に記載されている図面[図面の簡単な説明]から抜粋

【図1】 図１は、真空ポンプの一実施形態を示す図である。
【図2】 図２は、ポンプロータの一例を示す図である。
【図3】 図３は、導入流路と、導入流路に配置された逆止弁と、を示す図である。
【図4】 図４は、サイレンサ構造に形成された排気流路を示す図である。
【図5】 図５は、膨張室と共鳴室との間に形成された細管部を示す図である。
【図6】 図６は、細管部に隣接するように配置された水溜部を示す図である。
【図7】 図７は、細管部に隣接するように配置された水溜部を示す図である。
【図8】 図８は、サイレンサ構造の他の実施形態を示す図である。
【図9】 図９は、図８に示すサイレンサ構造を備える真空ポンプを示す図である。

選択図 図1出願人が指定した本件の代表的な図

１ 真空ポンプ ２ ポンプロータ ２Ａ，２Ｂ ロータ ３ ポンプケーシング ３Ａ ロータ収容部 ３Ｂ サイレンサ収容部 ５ 駆動機 １０ 吸気口 １５ 排気管 １５ａ 流体入口 １５ｂ 流体出口 ２０ 導入流路 ２０ａ 小径流路 ２０ｂ 大径流路 ２０ｃ 絞り部 ３０ 逆止弁 ３１ ボール ３２ ばね ４０ 底板 ４０ａ 上面 ４０ｂ 水溜部 ５０ サイレンサ構造 ５５，５６ 細管部 ６０ 排気口 １００ 排気流路 ＥＣ１，ＥＣ２ 膨張室 ＲＣ１，ＲＣ２ 共鳴室 Ｌ１，Ｌ２ 横幅

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