発明が解決しようとする課題[発明の詳細な説明]から抜粋

課題を解決するための手段[発明の詳細な説明]から抜粋

発明の効果[発明の詳細な説明]から抜粋

請求項１記載の発明によれば、制御部に備えられた外形認識部のリング撮像画生成部は、ワークの外縁を縁取るようにカメラの撮像領域を重ねながら複数の撮像画を連結してリング状のリング撮像画を生成するため、ワークの全体をカメラで撮像する従来に比して各撮像領域が狭く、各撮像領域におけるカメラによる撮像精度が高くなる。このため、ワークのストリートを高精度に検出して加工機構のアライメント（加工位置の芯出し）を高精度且つ短時間に行うことができる。

また、加工機構は、外形認識部のＸ軸方向最大距離設定部によってＸ軸方向に沿うストリートごとに設定されたＸ軸方向最大距離と、Ｙ軸方向最大距離設定部によってＹ軸方向に沿うストリートごとに設定されたＹ軸方向最大距離を切削ストロークとして設定し、Ｙ軸方向最大距離設定部は、リング撮像画生成部によって生成されたリング撮像画の画素に基づいてＹ軸方向に沿うストリートごとにＹ軸方向最大距離を切削ストロークとしてワークを加工してストリートに沿う溝を形成するため、切削ストリートを必要最小限に抑えて短時間で効率よくワークにストリートに沿う溝を形成することができる。

請求項２記載の発明によれば、発光機構によってチャックテーブルの保持面を発光させることによって、保持面を明、ワークを暗としたリング撮像画によってワークの外形を正確に認識することができる。

請求項３記載の発明によれば、カメラの被写界深度をワークの厚み以下に設定して該カメラのピントをワークの上面に合わせたため、ワークの外縁を高精度に撮像することができ、ウェーハが個片化された不定形のワークに対するアライメントを高精度且つ短時間で行うことができるとともに、ワークをストリートに沿って高精度且つ短時間で分割することができる。

以上の効果を奏する分割装置を用いて実施される請求項４記載のチップの製造方法によれば、ウェーハが個片化された不定形のワークに対するアライメントとワークのストリートに沿う分割とを高精度且つ短時間で行うことができるため、複数のチップを効率よく製造することができる。