特開2026-164153IP Force 特許公報全文掲載

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技術分野

被処理物の処理方法および処理装置

要約特許出願時に添付された[要約書]

【課題】処理装置で被処理物を処理する前に、処理装置内の異常状態を判定可能な処理方法および処理装置を提供する。
【解決手段】研削装置１００を用いて被処理物１０を処理する処理方法であって、研削装置１００の異常を検出するためのダミーワーク１０ａを準備する準備ステップＳ１と、研削装置１００で被処理物１０の処理を行う前に、ダミーワーク１０ａを保持テーブル８２に載置する載置ステップＳ４と、載置されたダミーワーク１０ａの情報を取得する取得ステップＳ５と、取得ステップＳ５の後、ダミーワーク１０ａの情報と、登録された基準情報と、を比較する比較ステップＳ６と、比較ステップＳ６の結果に基づいて、研削装置１００の異常を判定する異常判定ステップＳ７と、を備える。
【選択図】図１０

発明が解決しようとする課題[発明の詳細な説明]から抜粋

一般的に、メンテナンス作業では、処理装置を一時停止させ、作業者が処理装置内にアクセスして各種のメンテナンスを行うことになるが、作業者が扉を開閉することによって異物が処理装置内に持ち込まれたり、処理装置内の意図しない場所に異物が付着したりする場合がある。それにより、例えば、処理装置の保持テーブル上に異物が付着していた場合には、その状態で被処理物に処理が行われると、被処理物に不具合が生じるおそれがある。そのため、処理装置で被処理物を処理する前に、処理装置内が異常な状態ではない正常の状態であることが望まれる。

課題を解決するための手段[発明の詳細な説明]から抜粋

本発明の一態様は、 処理装置を用いて被処理物を処理する処理方法であって、 前記処理装置の異常を検出するためのダミーワークを準備する準備ステップと、 前記処理装置で前記被処理物の処理を行う前に、前記ダミーワークを保持テーブルに載置する載置ステップと、 載置された前記ダミーワークの情報を取得する取得ステップと、 前記取得ステップの後、前記ダミーワークの情報と、登録された基準情・・・　続きを知財ポータルサイト IP Force にログインして見る

発明の効果[発明の詳細な説明]から抜粋

本発明によれば、処理装置で被処理物を処理する前に、処理装置内の異常状態を判定することが可能となる。

この発明についての権利主張の範囲[特許請求の範囲]

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この特許公報に記載されている図面[図面の簡単な説明]から抜粋

【図1】 図１は、研削装置１００の一例を示す斜視図である。
【図2】 図２は、筐体２の一部である扉２３を開いた状態の研削装置１００の一例を示す斜視図である。
【図3】 図３は、筐体２を透過して内部空間２０を示した研削装置１００の斜視図である。
【図4】 図４は、筐体２を取り外した研削装置１００の一例を示す斜視図である。
【図5】 図５は、被処理物１０の一例を示す斜視図である。
【図6】 図６は、ダミーワーク１０ａの一例を示す図である。
【図7】 図７は、制御装置２００の構成の一例を示すブロック図である。
【図8】 図８は、ダミーワーク１０ａの基準情報に基づく画像の一例を示す図である。
【図9】 図９は、ダミーワーク１０ａの情報に基づく画像の一例を示す図である。
【図10】 図１０は、処理方法の処理の一例を示すフローチャートである。

選択図 図10出願人が指定した本件の代表的な図

１０ 被処理物 １０ａ ダミーワーク ７０ 研削ユニット（処理ユニット） ８２ 保持テーブル １００ 研削装置（処理装置） １１０ カメラ（取得ユニット） ２００ 制御装置 ２１０ 異常判定部 ２２０ 処理実行部 ２４０ 第１記憶部 ２５０ 第２記憶部 Ｓ１ 準備ステップ Ｓ２ 一時停止ステップ Ｓ４ 載置ステップ Ｓ５ 取得ステップ Ｓ６ 比較ステップ Ｓ７ 異常判定ステップ Ｓ８ 報知ステップ Ｓ９ 処理ステップ

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