特開2026-55365基板搬送装置および位置教示方法

発明の名称　基板搬送装置および位置教示方法

出願人　株式会社ＳＣＲＥＥＮホールディングス　（識別番号 207551）

　　　　特許公開件数ランキング 55 位（157件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 59 位（135件）（共同出願を含む）

公報番号　特開-2026-55365

公報発行日　2026年3月31

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_A1-2026-55365

知財ポータルサイト IP Force にログインすれば、特開-2026-55365「基板搬送装置および位置教示方法」の公報全文を閲覧することができます。

ログインはこちら　ログイン・ユーザー登録