特開2026-62676蒸発源用の温度制御されたシールド、材料堆積装置、及び基材の上に材料を堆積させるための方法

発明の名称　蒸発源用の温度制御されたシールド、材料堆積装置、及び基材の上に材料を堆積させるための方法

出願人　エレベイテッド マテリアルズ ジャーマニー ゲーエムベーハー　（識別番号 525197430）

　　　　特許公開件数ランキング 940 位（8件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 3945 位（1件）（共同出願を含む）

公報番号　特開-2026-62676

公報発行日　2026年4月10

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_A1-2026-62676

知財ポータルサイト IP Force にログインすれば、特開-2026-62676「蒸発源用の温度制御されたシールド、材料堆積装置、及び基材の上に材料を堆積させるための方法」の公報全文を閲覧することができます。

ログインはこちら　ログイン・ユーザー登録