特開 2026-98056出願番号 特願 2026-41687
成膜装置
公報発行日 2026年6月16
公報URL https://ipforce.jp/patent-jp-P_A1-2026-98056 ログイン済みの方はこのURLへ
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技術分野
微細なナノ粒子（材料粒子）を含むミストをキャリア気体に乗せて被処理基板に噴霧し、被処理基板の表面にナノ粒子による材料物質の膜を堆積させる成膜装置、ミスト成膜装置、および導電膜の製造方法
要約特許出願時に添付された[要約書]
【課題】基板に噴霧されるミストの濃度分布をスリット長手方向に良好に均一化する成膜装置を提供する。
【解決手段】ミストを物体の表面に供給して前記物体の表面に前記ミストが含む材料物質の膜を成膜する成膜装置は、前記ミストを発生させるミスト発生部と、前記ミスト発生部で発生した前記ミストを空間に導入する導入口と、前記空間から前記物体の表面に前記ミストを供給する供給口とを有するミスト供給部とを有する。前記供給口は、第１方向と第２方向とが交差する前記供給口を含み、前記ミストが通過する第１所定平面内の前記第１方向において前記導入口と異なる位置に設けられる。
【選択図】図３
この発明についての権利主張の範囲[特許請求の範囲]
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この特許公報に記載されている図面[図面の簡単な説明]から抜粋
【図1】
第１の実施形態によるミスト成膜装置の全体的な構成を概略的に示した図である。
【図2】
図１に示したミスト成膜装置のノズルユニット部の外観構成を示す斜視図である。
【図3】
図２に示したノズルユニット部のＹｕ（Ｙ）方向の一部をＸｕＺｕ（ＸＺ）面と平行な面で破断した断面図である。
【図4】
図４Ａ～図４Ｃは、ノズルユニット部内の空間ＳＯの構造の違いによる流速分布の違いをシミュレーションしたときのいくつかのモデル例を示す。
【図5】
図４Ａ～図４Ｃに示したノズルユニット部ＭＮの各々のスリット開口部ＡＰのＹｕ方向の端部付近から噴出されるミスト気体ＭｓｆのＺｕ方向の流速の違いをシミュレーションした結果を表すグラフである。
【図6】
図４Ａ（図３）に示したノズルユニット部ＭＮの空間ＳＯ内でのミスト気体ＭｓｆのＹｕＺｕ面内での流速分布のシミュレーション結果を表した図である。
【図7】
図７Ａ～図７Ｃは、ノズルユニット部ＭＮ内の空間ＳＯの形状として、特に傾斜内壁面１０Ａの角度θａを３０°以外にした３つのモデル例を示す。
【図8】
図７Ａ～図７Ｃに示したノズルユニット部ＭＮの各々のスリット開口部ＡＰのＹｕ方向の端部付近から噴出されるミスト気体ＭｓｆのＺｕ方向の流速の違いをシミュレーションした結果を表すグラフである。
【図9】
図８に示したシミュレーション結果のグラフ中の一部分を拡大して表したグラフである。
【図10】
図１０Ａ～図１０Ｄは、シミュレーションの為に、ノズルユニット部ＭＮ内の傾斜内壁面１０Ａの角度θａを変えずに、他の部分の寸法を異ならせたノズルユニット部ＭＮの変形例（変形例１）の部分断面図である。
【図11】
図１０Ａ～図１０Ｄに示したノズルユニット部ＭＮの各々のミスト気体ＭｓｆのＺｕ方向の流速の違いをシミュレーションした結果を表すグラフである。
【図12】
シミュレーション結果を参酌したノズルユニット部ＭＮの変形例（変形例２）を示す部分断面図である。
【図13】
シミュレーション結果を参酌したノズルユニット部ＭＮの変形例（変形例３）を示す部分断面図である。
【図14】
シミュレーション結果を参酌したノズルユニット部ＭＮの変形例（変形例４）の一部を破断した斜視図である。
【図15】
図１４に示したノズルユニット部ＭＮのＸｕＺｕ面と平行な面で見た部分断面図である。
【図16】
図１４、図１５のノズルユニット部ＭＮを基板Ｐの傾斜に合わせて傾けて配置する様子を示す図である。
【図17】
第２の実施の形態によるミスト成膜部のノズルユニット部ＭＮ、回収ユニット部ＤＮ１、ＤＮ２の具体的な構成を表す図である。
【図18】
図１７のミスト成膜部の変形例（変形例５）を部分断面で表した斜視図である。
【図19】
図１８のミスト成膜部の構成の更なる変形例（変形例６）を示す部分断面図である。
【図20】
図１９のミスト成膜部の底面を基板Ｐ側から見た平面図である。
【図21】
先の図２、図１２、図１７～図２０の各々で示した電極保持ブロック部材１６の構造の変形例（変形例７）を示す斜視図である。
【図22】
図１９、図２１に示した電極保持ブロック部材１６を、－Ｚｕ側から＋Ｚｕ側に見た変形例を示す。
【図23】
図２３Ａ～図２３Ｃは、ノズルユニット部ＭＮのブロック部材１３に形成される複数の導入口の形状と配置に関する幾つかの変形例（変形例８）を示す平面図である。
【図24】
第３の実施の形態によるミスト成膜装置の概略的な構成を示す図である。
【図25】
ノズルユニット部ＭＮ、回収ユニット部ＤＮ１、ＤＮ２、及び電極保持ブロック部材１６が組付けられて、図２４のミスト成膜装置に適用されるカバー部ＣＢの変形構造（変形例９）を示す斜視図である。
【図26】
図２５のカバー部ＣＢをＸｕＺｕ面と平行な面で破断した断面図である。
選択図 図3出願人が指定した本件の代表的な図
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