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  2020年 特許取得件数ランキング    第57位 395件 下降2019年:第46位 507件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 6788812 露光装置及び露光方法、並びにデバイス製造方法 2020年11月25日
特許 6790734 装置、方法、およびプログラム 2020年11月25日
特許 6791132 物体保持装置、露光装置、フラットパネルディスプレイの製造方法、及びデバイス製造方法 2020年11月25日
特許 6791154 露光装置、フラットパネルディスプレイの製造方法、及びデバイス製造方法 2020年11月25日
特許 6791243 撮像素子、及び、撮像装置 2020年11月25日
特許 6791255 搬送装置、露光装置、露光方法、フラットパネルディスプレイの製造方法、デバイス製造方法、及び搬送方法 2020年11月25日
特許 6791316 デバイス製造方法 2020年11月25日
特許 6791336 撮像装置 2020年11月25日
特許 6784950 光学系及び光学機器 2020年11月18日
特許 6784951 光学系及び光学機器 2020年11月18日
特許 6784952 光学系及び光学機器 2020年11月18日
特許 6785836 駆動装置 2020年11月18日
特許 6786873 エンコーダ装置、駆動装置、ステージ装置、及びロボット装置 2020年11月18日
特許 6787345 エンコーダ装置、駆動装置、ステージ装置、及びロボット装置 2020年11月18日
特許 6787389 検出装置、検出システム、検出方法、情報処理装置、及び処理プログラム 2020年11月18日

408 件中 1-15 件を表示

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