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特許6989764インプリント装置、インプリント装置の運転方法及びデバイスの製造方法
発明の名称 インプリント装置、インプリント装置の運転方法及びデバイスの製造方法
出願人 旭化成エンジニアリング株式会社 （識別番号 116736）
特許公開件数ランキング 11770 位（1件）（共同出願を含む）
特許取得件数ランキング 9051 位（1件）（共同出願を含む）
出願人 国立大学法人東北大学 （識別番号 504157024）
特許公開件数ランキング 395 位（183件）（共同出願を含む）
特許取得件数ランキング 238 位（179件）（共同出願を含む）
出願人 興研株式会社 （識別番号 162940）
特許公開件数ランキング 11770 位（1件）（共同出願を含む）
特許取得件数ランキング 24615 位（1件）（共同出願を含む）
公報番号 特許-6989764
公報発行日 2022年1月12
公報URL https://ipforce.jp/patent-jp-P_B1-6989764
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