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特許6989980半導体工程のための部品整列装置及びこれによる部品整列方法
発明の名称 半導体工程のための部品整列装置及びこれによる部品整列方法
出願人 アダプティブ プラズマ テクノロジー コーポレーション （識別番号 519433126）
特許公開件数ランキング 16409 位（0件）（共同出願を含む）
特許取得件数ランキング 2778 位（2件）（共同出願を含む）
公報番号 特許-6989980
公報発行日 2022年1月12
公報URL https://ipforce.jp/patent-jp-P_B1-6989980
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