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特許6990751真空チャンバ・アセンブリ
発明の名称 真空チャンバ・アセンブリ
出願人 クリオヴァック、インコーポレイティッド （識別番号 518095323）
特許公開件数ランキング 14682 位（0件）（共同出願を含む）
特許取得件数ランキング 12559 位（0件）（共同出願を含む）
出願人 株式会社古川製作所 （識別番号 142850）
特許公開件数ランキング 5080 位（1件）（共同出願を含む）
特許取得件数ランキング 4182 位（1件）（共同出願を含む）
公報番号 特許-6990751
公報発行日 2022年1月12
公報URL https://ipforce.jp/patent-jp-P_B1-6990751
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