特許 6994566 ＴＦＴ基板の製造方法及びＴＦＴ基板

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2021-12-15

(45)【発行日】2022-01-14

(54)【発明の名称】ＴＦＴ基板の製造方法及びＴＦＴ基板

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/336 20060101AFI20220106BHJP

   H01L 29/786 20060101ALI20220106BHJP

   H01L 21/02 20060101ALI20220106BHJP

   H01L 27/12 20060101ALI20220106BHJP

【ＦＩ】

H01L29/78 627D

H01L29/78 618A

H01L29/78 626C

H01L29/78 627Z

H01L27/12 B

【請求項の数】 14

(21)【出願番号】P 2020518621

(86)(22)【出願日】2017-11-23

(65)【公表番号】

(43)【公表日】2020-12-10

(86)【国際出願番号】 CN2017112507

(87)【国際公開番号】W WO2019075841

(87)【国際公開日】2019-04-25

【審査請求日】2020-03-31

(31)【優先権主張番号】201710976235.8

(32)【優先日】2017-10-17

(33)【優先権主張国・地域又は機関】CN

(73)【特許権者】

【識別番号】517333336

【氏名又は名称】武漢華星光電半導体顕示技術有限公司

【氏名又は名称原語表記】ＷＵＨＡＮ ＣＨＩＮＡ ＳＴＡＲ ＯＰＴＯＥＬＥＣＴＲＯＮＩＣＳ ＳＥＭＩＣＯＮＤＵＣＴＯＲ ＤＩＳＯＬＡＹ ＴＥＣＨＮＯＬＯＧＹ ＣＯ．，ＬＴＤ

【住所又は居所原語表記】３０５ Ｒｏｏｍ，Ｂｕｉｌｄｉｎｇ Ｃ５ Ｂｉｏｌａｋｅ ｏｆ Ｏｐｔｉｃｓ Ｖａｌｌｅｙ，Ｎｏ．６６６ Ｇａｏｘｉｎ Ａｖｅｎｕｅ，．Ｗｕｈａｎ Ｅａｓｔ Ｌａｋｅ Ｈｉｇｈ－ｔｅｃｈ Ｄｅｖｅｌｏｐｍｅｎｔ Ｚｏｎｅ Ｗｕｈａｎ，Ｈｕｂｅｉ ４３００７９ Ｃｈｉｎａ

(74)【代理人】

【識別番号】110002181

【氏名又は名称】特許業務法人ＩＰ－ＦＯＣＵＳ

(72)【発明者】

【氏名】梁 博

【審査官】綿引 隆

(56)【参考文献】

【文献】特開２００９－０７６７２９（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｈ０１Ｌ ２１／０２

Ｈ０１Ｌ ２１／３３６

Ｈ０１Ｌ ２７／１２

Ｈ０１Ｌ ２９／７８６

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

ＴＦＴ基板の製造方法であって、
シリコンウェハプレートを提供するステップと、
前記シリコンウェハプレート上にフォトレジスト材料をコーティングし、第１マスク構造に対応する位置の前記フォトレジスト材料が除去されるようにパターニング処理するステップと、
前記フォトレジスト材料がコーティングされる前記シリコンウェハプレートの一方側に前記フォトレジスト材料を被覆する第１マスク層を形成し、前記フォトレジスト材料に対応するエッチング溶液を用いることにより、前記第１マスク構造が形成されるように前記フォトレジスト材料を被覆する前記第１マスク層を除去するとともに、島状構造が形成されるように前記シリコンウェハプレートをプラズマエッチングするステップと、
前記シリコンウェハプレート上に第２マスク層を積層し、前記島状構造が形成されていない前記シリコンウェハプレートの領域における前記第２マスク層上のみに第１保護層を形成し、前記第１保護層を硬化処理するステップと、
前記第２マスク層に対応するエッチング溶液を用いることにより、前記第１保護層から離間する前記島状構造の表面における前記第２マスク層を除去するステップと、
前記シリコンウェハプレート上に前記島状構造を覆う第２保護層を形成し、前記第２保護層を硬化処理するステップと、
前記島状構造をカットして層状のシリコンウェハサブプレートを形成するステップと、
前記ＴＦＴ基板が形成されるように前記シリコンウェハサブプレートをフレキシブル基板上に接着するステップと、を含む、
ＴＦＴ基板の製造方法。

【請求項2】

前記第１保護層を硬化処理するステップは、前記第１保護層を第１温度環境に置き、前記第１保護層が硬化されるように第１所定時間を維持することを含み、
前記第２保護層を硬化処理するステップは、前記第２保護層を第２温度環境に置き、前記第２保護層が硬化されるに第２所定時間を維持することを含む、
請求項１に記載の方法。

【請求項3】

前記島状構造をカットするステップは、前記島状構造及び前記第２保護層をカットして、前記シリコンウェハサブプレートを覆う第２保護層サブ層を得ることを含む、
請求項１に記載の方法。

【請求項4】

前記島状構造を覆う前記第２保護層をカットするカット方向は、前記シリコンウェハプレートの延在平面に平行する、
請求項３に記載の方法。

【請求項5】

前記第２保護層サブ層を前記フレキシブル基板上に転移させ、前記シリコンウェハサブプレートが露出されるように前記第２保護層サブ層をプラズマエッチングすることにより、前記ＴＦＴ基板を形成する、
請求項３に記載の方法。

【請求項6】

前記ＴＦＴ基板を第３温度環境に置き、第３所定時間を維持するステップをさらに含む、
請求項３に記載の方法。

【請求項7】

ＴＦＴ基板の製造方法であって、
シリコンウェハプレートを提供するステップと、
前記シリコンウェハプレート上に第１マスク構造を形成し、島状構造が形成されるようにエッチング処理するステップと、
前記シリコンウェハプレート上に第２マスク層を積層し、前記島状構造が形成されていない前記シリコンウェハプレートの領域における前記第２マスク層上のみに第１保護層を形成し、前記第１保護層を硬化処理するステップと、
前記第２マスク層に対応するエッチング溶液を用いることにより、前記第１保護層から離間する前記島状構造の表面における前記第２マスク層を除去するステップと、
前記シリコンウェハプレート上に前記島状構造を覆う第２保護層を形成し、前記第２保護層を硬化処理するステップと、
前記島状構造をカットして層状のシリコンウェハサブプレートを形成するステップと、
前記ＴＦＴ基板が形成されるように前記シリコンウェハサブプレートをフレキシブル基板上に接着するステップと、を含む、
ＴＦＴ基板の製造方法。

【請求項8】

前記シリコンウェハプレート上に第１マスク構造を形成するステップは、
前記シリコンウェハプレート上にフォトレジスト材料をコーティングし、第１マスク構造に対応する位置の前記フォトレジスト材料が除去されるようにパターニング処理するステップと、
前記フォトレジスト材料がコーティングされる前記シリコンウェハプレートの一方側に前記フォトレジスト材料を被覆する第１マスク層を形成し、前記フォトレジスト材料に対応するエッチング溶液を用いることにより、前記第１マスク構造が形成されるように前記フォトレジスト材料を被覆する前記第１マスク層を除去するステップと、を含む、
請求項７に記載の方法。

【請求項9】

前記シリコンウェハプレート上に第１マスク構造を形成し、エッチング処理するステップは、
前記島状構造が形成されるように前記シリコンウェハプレートをプラズマエッチングするステップを含む、
請求項７に記載の方法。

【請求項10】

前記第１保護層を硬化処理するステップは、前記第１保護層を第１温度環境に置き、前記第１保護層が硬化されるように第１所定時間を維持することを含み、
前記第２保護層を硬化処理するステップは、前記第２保護層を第２温度環境に置き、前記第２保護層が硬化されるに第２所定時間を維持することを含む、
請求項７に記載の方法。

【請求項11】

前記島状構造をカットするステップは、前記島状構造及び前記第２保護層をカットして前記シリコンウェハサブプレートを覆う第２保護層サブ層を得ることを含む、
請求項７に記載の方法。

【請求項12】

前記島状構造を覆う前記第２保護層をカットするカット方向は、前記シリコンウェハプレートの延在平面に平行する、
請求項１１に記載の方法。

【請求項13】

前記第２保護層サブ層を前記フレキシブル基板上に転移させ、前記シリコンウェハサブプレートが露出されるように前記第２保護層サブ層をプラズマエッチングすることにより、前記ＴＦＴ基板を形成する、
請求項１１に記載の方法。

【請求項14】

前記ＴＦＴ基板を第３温度環境に置き、第３所定時間を維持するステップをさらに含む、
請求項１１に記載の方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、表示パネル製造の技術分野に関し、特にＴＦＴ基板の製造方法及びＴＦＴ基板に関するものである。

【背景技術】

【0002】

フレキシブル表示パネルは、変形及び曲げ可能な表示装置である。フレキシブル表示パネルは、電子ペーパ、ＬＣＤ、ＯＬＥＤなどを含むことができる。ここでは、ＯＬＥＤフレキシブル表示パネルは、低消費電力、薄型、巻き戻し可能などの特徴を有し、広く注目されている。

【0003】

ＯＬＥＤフレキシブル表示パネルは、フレキシブル基板、ＯＬＥＤ表示デバイス及びＯＬＥＤ表示デバイスに接続されるリードを含む。ＯＬＥＤ表示デバイスは、対向するように設けられる陽極及び陰極と、陽極及び陰極間に設けられる機能層とを含む。ＯＬＥＤ表示パネルの発光原理は、半導体材料及び有機発光材料が陰極及び陽極間の電界によって駆動され、キャリアの注入及び再結合によって発光することである。

【0004】

ポリイミド（ＰＩ）フレキシブル基板は、優れた曲げ性能及び耐熱性能を備えるフレキシブル基板であるため、ＯＬＥＤフレキシブル表示パネルの基板として用いることができ
る。フレキシブル基板及びＴＦＴデバイス膜層間の応力の不一致を低減し、複数回の曲げプロセスにおける安定性を向上させるために、フレキシブル基板を島状構造に設計することが考えられる。しかしながら、ポリイミドフレキシブル基板の島状構造を如何に実現するかは大きな難点である。

【発明の概要】

【0005】

これに鑑みて、本発明が主に解決する技術的問題は、基板上に島状構造を形成し、曲げプロセスにおける基板の安定性を向上させることができるＴＦＴ基板の製造方法及びＴＦＴ基板を提供することである。

【0006】

上記技術的問題を解決するために、本発明に用いられる技術手段は、ＴＦＴ基板の製造方法であって、シリコンウェハプレートを提供するステップと、シリコンウェハプレート上にフォトレジスト材料をコーティングし、第１マスク構造に対応する位置のフォトレジスト材料が除去されるようにパターニング処理するステップと、フォトレジスト材料がコーティングされるシリコンウェハプレートの一方側にフォトレジスト材料を被覆する第１マスク層を形成し、フォトレジスト材料に対応するエッチング溶液を用いることにより、第１マスク構造が形成されるようにフォトレジスト材料を被覆する第１マスク層を除去するとともに、島状構造が形成されるようにシリコンウェハプレートをプラズマエッチングするステップと、前記シリコンウェハプレート上に第２マスク層を積層し、前記島状構造が形成されていない前記シリコンウェハプレートの領域における前記第２マスク層上のみに第１保護層を形成し、前記第１保護層を硬化処理するステップと、前記第２マスク層に対応するエッチング溶液を用いることにより、前記第１保護層から離間する前記島状構造の表面における前記第２マスク層を除去するステップと、前記シリコンウェハプレート上に前記島状構造を覆う第２保護層を形成し、前記第２保護層を硬化処理するステップと、前記島状構造をカットして層状のシリコンウェハサブプレートを形成するステップと、前記ＴＦＴ基板が形成されるように前記シリコンウェハサブプレートをフレキシブル基板上に接着するステップと、を含む。

【0007】

上記技術的問題を解決するために、本発明に用いられる別の技術手段は、ＴＦＴ基板の製造方法であって、シリコンウェハプレートを提供するステップと、シリコンウェハプレート上に第１マスク構造を形成し、島状構造が形成されるようにエッチング処理するステップと、前記シリコンウェハプレート上に第２マスク層を積層し、前記島状構造が形成されていない前記シリコンウェハプレートの領域における前記第２マスク層上のみに第１保護層を形成し、前記第１保護層を硬化処理するステップと、前記第２マスク層に対応するエッチング溶液を用いることにより、前記第１保護層から離間する前記島状構造の表面における前記第２マスク層を除去するステップと、前記シリコンウェハプレート上に前記島状構造を覆う第２保護層を形成し、前記第２保護層を硬化処理するステップと、前記島状構造をカットして層状のシリコンウェハサブプレートを形成するステップと、前記ＴＦＴ基板が形成されるように前記シリコンウェハサブプレートをフレキシブル基板上に接着するステップと、を含む。

【発明の効果】

【0009】

本発明によれば、シリコンウェハプレート上に第1マスク構造を形成し、それをマスキングとして、島状構造が形成されるようにエッチングした後、ＴＦＴ基板が形成されるように島状構造を層ごとにカットして基板上に接着することにより、曲げプロセスにおける基板の安定性を向上させ、基板及びＴＦＴデバイス膜層間の応力の不一致を低減することができる。

【図面の簡単な説明】

【0010】

【図1】本発明に係るＴＦＴ基板の製造方法の一実施例のフローチャートを示す概略図である。

【図2】本発明に係るＴＦＴ基板の製造方法の他の実施例のフローチャートを示す概略図である。

【図3】本発明に係る第１マスク構造の一実施例の構造を示す概略図である。

【図4】本発明に係る島状構造の一実施例の構造を示す概略図である。

【図5】本発明に係る第２マスク層及び第１保護層の一実施例の構造を示す概略図である。

【図6】本発明に係る第２保護層の一実施例の構造を示す概略図である。

【図7】本発明に係る第２保護層サブ層の一実施例の構造を示す概略図である。

【図8】本発明に係るシリコンウェハサブプレートが接着された基板の一実施例の構造を示す概略図である。

【図9】本発明に係るＴＦＴ基板の一実施例の構造を示す概略図である。

【発明を実施するための形態】

【0011】

以下では、本発明の実施例における図面を参照しながら本発明の実施例における技術手段を明確かつ完全に説明する。

【0012】

基板上に島状構造を形成することが困難であるという従来技術の技術的問題を解決するために、本実施例によれば、ＴＦＴ基板の製造方法であって、シリコンウェハプレートを提供するステップと、シリコンウェハプレート上に第１マスク構造を形成し、島状構造が形成されるようにエッチング処理するステップと、シリコンウェハサブプレートが形成されるように島状構造を層ごとにカットするステップと、ＴＦＴ基板が形成されるようにシリコンウェハサブプレートを基板上に接着するステップと、を含むＴＦＴ基板の製造方法が提供される。以下では詳細に説明する。

【0013】

図１は本発明に係るＴＦＴ基板の製造方法の一実施例のフローチャートを示す概略図である。

【0014】

Ｓ１０１では、シリコンウェハプレートを提供する。

【0015】

本実施例では、フレキシブル基板上に島状物を製造することを実現するために、シリコンウェハプレートを材料として、フレキシブル基板上に接着される島状物を製造する。もちろん、当業者に理解されるように、フレキシブル基板との良好なマッチング性能を備え、例えば、シリコンの同族元素など、シリコンウェハと同じ分子構造を有する材質は、いずれも本実施例における島状物を製造するための材料とすることができ、ここでは限定しない。

【0016】

Ｓ１０２では、シリコンウェハプレート上に第１マスク構造を形成し、島状構造が形成されるようにエッチング処理する。

【0017】

本実施例では、金属層を第１マスク構造としてシリコンウェハプレート上に積層し、その後、シリコンウェハプレートをエッチングすることにより、島状構造を形成する。金属層はニッケルなどの金属であってもよい。

【0018】

Ｓ１０３では、シリコンウェハサブプレートが形成されるように島状構造を層ごとにカットする。

【0019】

本実施例では、シリコンウェハプレートをエッチング処理することにより島状構造を形成した後、ＴＦＴ基板に必要な島状構造の大きさに応じて、基板における島状構造としてシリコンウェハサブプレートが得られるようにシリコンウェハプレートにおける島状構造を層ごとにカットする。

【0020】

Ｓ１０４では、ＴＦＴ基板が形成されるようにシリコンウェハサブプレートを基板上に接着する。

【0021】

本実施例では、基板はポリイミド（ＰＩ）フレキシブル基板であってもよい。ＰＩフレキシブル基板自体は一定の接着力を有し、シリコンウェハサブプレートをその上に接着することができる。ＰＩフレキシブル基板自体の接着力によって、シリコンウェハサブプレートをＰＩフレキシブル基板に接着すた後続製造プロセスにおけるＴＦＴデバイスは、シリコンウェハサブプレートを島状構造として、対応する製造プロセスを完了することにより、ＴＦＴ基板を形成する。

【0022】

上記のとおりに、本発明によれば、シリコンウェハプレート上に第１マスク構造を形成し、島状構造が形成されるようにそれをマスキングとしてエッチングした後、ＴＦＴ基板が形成されるように島状構造を層ごとにカットして基板上に接着することにより、曲げプロセスにおける基板の安定性を向上させ、基板及びＴＦＴデバイス膜層間の応力の不一致を低減することができる。

【0023】

図２は本発明に係るＴＦＴ基板の製造方法の他の実施例のフローチャートを示す概略図である。

【0024】

Ｓ２０１では、シリコンウェハプレートを提供する。

【0025】

本実施例では、フレキシブル基板上に島状物を製造することを実現するために、シリコンウェハプレートを材料として、フレキシブル基板上に接着される島状物を製造する。もちろん、当業者に理解されるように、フレキシブル基板との良好なマッチング性能を備え、例えば、シリコンの同族元素など、シリコンウェハと同じ分子構造を有する材質は、いずれも本実施例における島状物を製造するための材料とすることができ、ここでは限定しない。

【0026】

Ｓ２０２では、シリコンウェハプレート上に第１マスク構造を形成し、島状構造が形成されるようにエッチング処理する。

【0027】

図３及び図４を参照して、本実施例では、シリコンウェハプレート３００上にフォトレジスト材料をコーティングし、シリコンウェハプレート上に第１マスク構造３０１を形成する必要がある位置のフォトレジスト材料が除去されるようにパターニング処理し、他の位置のフォトレジスト材料は留保される。その後、フォトレジスト材料がコーティングされるシリコンウェハプレート３００の一方側にシリコンウェハプレートの表面及びその上のフォトレジスト材料を被覆する第１マスク層を形成し、シリコンウェハプレートの表面にコーティングされるフォトレジスト材料をエッチングすることができるエッチング溶液を用いることにより、フォトレジスト材料を被覆する第１マスク層を除去するとともに、フォトレジスト材料を被覆していない第１マスク層を残し、第１マスク構造３０１を形成する。シリコンウェハプレート３００は、島状構造４０１が形成されるように第１マスク構造３０１をマスキングとしてプラズマエッチングされる。

【0028】

オプションとして、シリコンウェハプレート３００上にコーティングされるフォトレジスト材料は、ポジ型フォトレジスト材料であってもよい。シリコンウェハプレート３００に第１マスク構造を形成する必要がある位置は、シリコンウェハプレート３００における他の位置よりも光透過率が大きく、一定時間露光した後、現像する。ポジ型フォトレジスト材料は、光による照射を受けて流動化され、エッチング溶液によって洗い流されるため、シリコンウェハプレート３００に第１マスク構造３０１を形成する必要がある位置のフォトレジスト材料を除去する。もちろん、シリコンウェハプレート３００上にコーティングされるフォトレジスト材料は、ネガ型フォトレジスト材料であってもよい。シリコンウェハプレート３００に第１マスク構造３０１を形成する必要がある位置は、シリコンウェハプレート３００における他の位置よりも光透過率が小さく、一定時間露光した後、現像する。ネガ型フォトレジスト材料は、光による照射を受けて硬化されるため、シリコンウェハプレート３００に第１マスク構造３０１を形成する必要がある位置のフォトレジスト材料を除去する。また、本実施例では、フォトレジスト材料がネガ型フォトレジスト材料である場合、シリコンウェハプレート３００に第１マスク構造３０１を形成する必要がある位置の光透過率が０％であり、シリコンウェハプレート３００における他の位置のネガ型フォトレジスト材料が光による照射を受けて硬化された後、エッチング溶液によってシリコンウェハプレート３００に第１マスク構造３０１を形成する必要がある位置のフォトレジスト材料を洗い流す。

【0029】

オプションとして、シリコンウェハプレート３００の表面におけるフォトレジスト材料の露光時間は、形成される必要があるパターンの高さに応じて決定され、シリコンウェハプレート３００の表面における、第１マスク構造３０１を形成する必要がある位置以外の他の位置の第１マスク層を除去することができることを満たす必要があり、いずれも本実施例に係るシリコンウェハプレートの表面におけるフォトレジスト材料の露光時間とすることができ、ここでは限定しない。

【0030】

オプションとして、シリコンウェハプレート３００は、その表面に形成される第１マスク構造３０１をマスキングとして、シリコンウェハプレート３００の表面に対してプラズマビームを放出することにより、必要な島状構造４０１が形成されるようにプラズマによってシリコンウェハプレート３００に衝撃を与えることができる。

【0031】

オプションとして、第１マスク構造３０１はニッケルなどの金属元素であってもよい。もちろん、当業者に理解されるように、例えば、ニッケルの同族元素など、ニッケルの化学的及び物理的性質に類似する元素も、本実施例に係る第１マスク構造３０１とすることができ、ここでは限定しない。

【0032】

オプションとして、第１マスク構造３０１の厚さは１００ｎｍであってもよい。もちろん、当業者に理解されるように、第１マスク構造３０１の厚さは、シリコンウェハプレート３００をプラズマエッチングするためのマスキング構造として足りることを満たすだけでよく、いずれも本実施例に係る第１マスク構造３０１の厚さとすることができ、ここでは限定しない。

【0033】

Ｓ２０３では、シリコンウェハプレート上に第２マスク層を積層し、第１保護層を形成する。

【0034】

図５を参照して、本実施例では、島状構造４０１が形成されているシリコンウェハプレート３００の表面に第２マスク層５０１を積層し、島状構造４０１が形成されていないシリコンウェハプレート３００の領域における第２マスク層５０１上に第１保護層５０２を形成し、第１保護層５０２を硬化処理する。

【0035】

オプションとして、第１保護層５０２を硬化処理することは、第１保護層５０２を第１温度環境に置き、第１保護層５０２が硬化されるように第１所定時間を維持することであってもよい。第１保護層５０２を定温で硬化させることにより、第２マスク層５０１における第１保護層５０２の付着力を強めることができる。第１温度は１８０℃であってもよく、第１所定時間は１ｍｉｎであってもよい。当業者に理解されるように、第１温度及び第１所定時間は、第１保護層５０２の厚さ及び面積に応じて決定され、第１保護層５０２を必要な硬度に到達させて、第２マスク層５０１との十分な付着力を提供することが意図される。したがって、上記第１温度及び第１所定時間は、論述のみを目的とし、これにより本実施例で説明された第１温度及び第１所定時間を限定するものではない。

【0036】

オプションとして、第１保護層５０２は、ポリメチルメタクリレート（ＰＭＭＡ）などであってもよい。島状構造４０１が形成されていないシリコンウェハプレート３００の領域における第２マスク層５０１上に厚さ１００ｎｍのＰＭＭＡをコーティングすることにより、当該箇所の第２マスク層５０１をシリコンウェハプレート３００に接着する。ＰＭＭＡの厚さは、第２マスク層５０１とシリコンウェハプレート３００との間に十分な接着力を提供するために用いられ、第２マスク層５０１の大きさ及び厚さに応じて決定される。また、当業者に理解されるように、第１保護層５０２は、接着力を有する他の化学コロイドであってもよく、その厚さは、シリコンウェハプレート３００及び第２マスク層５０１との接着状況及び第２マスク層５０１の大きさ及び厚さに応じて決定される。

【0037】

オプションとして、島状構造４０１が形成されているシリコンウェハプレート３００の表面には、ＰＶＤによって第２マスク層５０１を積層することができる。真空メッキ法、スパッタリング及びイオンメッキ法などのＰＶＤ積層方法によってシリコンウェハプレート３００の表面に第２マスク層５０１を積層することができる。

【0038】

オプションとして、第２マスク層５０１は金属層であり、島状構造４０１が形成されていないシリコンウェハプレート３００の領域に第２マスク層５０１を積層することにより、島状構造４０１の底部を第１保護層５０２から容易に離脱させることができる。もちろん、当業者に理解されるように、第２マスク層５０１は他の金属層であってもよく、島状構造４０１の底部を第１保護層５０２から容易に離脱させることができる限り、いずれも本実施例で説明された第２マスク層５０１とすることができ、ここでは限定しない。

【0039】

オプションとして、第２マスク層５０１の厚さは３０ｎｍであってもよい。もちろん、当業者に理解されるように、第２マスク層５０１の厚さは、島状構造４０１の底部を第１保護層５０２から容易に離脱させることができる限り、いずれも本実施例で説明された第２マスク層５０１の厚さとすることができ、ここでは限定しない。

【0040】

Ｓ２０４では、島状構造の表面における第２マスク層を除去し、島状構造を覆う第２保護層を形成する。

【0041】

図６を参照して、本実施例では、第２マスク層５０１に対応するエッチング溶液を用いて島状構造４０１の表面における第２マスク層５０１をエッチングする。島状構造４０１が形成されていないシリコンウェハプレート３００の領域における第２マスク層５０１の表面に第１保護層５０２が被覆されているため、エッチング溶液によってエッチングされないので、第１保護層５０２の表面から離間する島状構造４０１の第２マスク層５０１のみがエッチング溶液によってエッチングされる。その後、シリコンウェハプレート３００上に島状構造４０１を覆うように設けられる第２保護層６０１を形成し、第２保護層６０１を硬化処理する。

【0042】

オプションとして、第２保護層６０１を硬化処理することは、第２保護層６０１を第２温度環境に置き、第２保護層６０１が硬化されるように第２所定時間を維持することであってもよい。第２保護層６０１を定温で硬化させることにより、第２保護層６０１と島状構造４０１との付着力を強める。第２温度は８０℃であってもよく、第２所定時間は４ｈであってもよい。当業者に理解されるように、第２温度及び第２所定時間は、第２保護層６０１の厚さ及び面積に応じて決定され、第２保護層６０１を必要な硬度に到達させて、島状構造４０１との十分な付着力を提供することが意図される。したがって、上記第２温度及び第２所定時間は、論述のみを目的とし、これにより本実施例で説明された第２温度及び第２所定時間を限定するものではない。

【0043】

Ｓ２０５では、シリコンウェハサブプレートを覆う第２保護層サブ層が得られるように島状構造及び第２保護層を層ごとにカットする。

【0044】

図７を参照して、本実施例では、第２保護層サブ層７００が得られるように第２保護層６０１及びそれに被られる島状構造４０１を層ごとにカットする。第２保護層サブ層７００は、島状構造４０１の数に対応するシリコンウェハサブプレート７０１を被り、後続ＴＦＴ基板の表面における島状物の製造に用いられる。

【0045】

オプションとして、第２保護層６０１はエポキシ樹脂層などであってもよく、シリコンウェハサブプレート７０１を第２保護層６０１に被り、シリコンウェハサブプレート７０１間の距離Ｄが不変に保持されるように第２保護層６０１を硬化処理する。当業者に理解されるように、第２保護層６０１によって維持されるシリコンウェハサブプレート７０１間の距離Ｄは、ＴＦＴ基板における島状物間の距離に対する要求に応じて決定され、ここでは限定しない。

【0046】

オプションとして、第２保護層６０１及びそれに被られる島状構造４０１に対するカット方向は、シリコンウェハプレート３００の延在平面に平行する方向であってもよい。もちろん、当業者に理解されるように、第２保護層６０１及びそれに被られる島状構造４０１を一つずつカットすることができ、後続ＴＦＴ基板の表面における島状物を製造するためのシリコンウェハサブプレート７０１を得ることが意図される。カット方法はここでは限定しない。また、第２保護層サブ層７００の厚さは、後続ＴＦＴ基板の表面における島状物の厚さに応じて決定され、製造プロセスの要求を満たす厚さの島状物を得ることが意図されるが、ここでは限定しない。

【0047】

オプションとして、第２保護層サブ層７００が得られるように、ナノダイヤモンドカッタを用いて第２保護層６０１及びそれに被られる島状構造４０１を層ごとにカットすることができる。もちろん、当業者に理解されるように、第２保護層６０１及びそれに被られる島状構造４０１に対するカット方法は、レーザカットなどのナノスケールのカットツールであってもよい。したがって、上記カット方法は、論述のみを目的とし、これにより本実施例で説明されたカット方法を限定するものではない。

【0048】

Ｓ２０６では、第２保護層サブ層を基板上に接着し、シリコンウェハサブプレートが露出されるように第２保護層サブ層をプラズマエッチングすることにより、ＴＦＴ基板を形成する。

【0049】

図８を参照して、本実施例では、ＴＦＴ基板の製造に用いられる基板８０１は、それ自体が一定の粘度係数を有するポリイミド（ＰＩ）フレキシブル基板であってもよい。本実施例では、ＰＩフレキシブル基板を例として説明するが、粘性係数を有するすべてのフレキシブル基板材質は、いずれも本実施例に係るＴＦＴ基板を製造するための基板８０１とすることができ、これにより本実施例に係るＴＦＴ基板を製造するための基板８０１の材料を限定するものではない。

【0050】

上記実施例から得られた第２保護層サブ層７００を基板８０１上に接着し、シリコンウェハサブプレート７０１が露出されるように第２保護層サブ層７００をプラズマエッチングする。プラズマエッチングにより基板８０１における第２保護層６０１を除去する。シリコンウェハサブプレート７０１を島状物として、ＴＦＴ基板の表面における島状物の製造を完了する。また、基板８０１を第３温度環境に置き、第３所定時間を維持することにより基板８０１を定温処理し、基板８０１におけるシリコンウェハサブプレート７０１の接着力を強める。後続ＴＦＴデバイスは、シリコンウェハサブプレート７０１を島状物として、後続製造プロセスを完了することができる。

【0051】

オプションとして、第３温度は１５０℃であってもよく、第３所定時間は３ｍｉｎであってもよい。当業者に理解されるように、第３温度及び第３所定時間は、シリコンウェハサブプレート７０１の厚さ及び面積並びにシリコンウェハサブプレート７０１及び基板８０１間の接着能力に応じて決定され、シリコンウェハサブプレート７０１及び基板８０１間の接着力を必要な強度に到達させることが意図される。したがって、上記第３温度及び第３所定時間は、論述のみを目的とし、これにより本実施例で説明された第３温度及び第３所定時間を限定するものではない。

【0052】

以上により、本発明によれば、シリコンウェハプレートの表面における第１マスク構造により、島状構造が得られるようにエッチングするとともに、第２マスク層により、ＴＦＴ基板の表面における島状物を製造するためのシリコンウェハサブプレートが得られるように島状構造に対する層ごとのカットを実現する。ＴＦＴ基板が形成されるようにシリコンウェハサブプレートを基板上に接着する。島状物及びＴＦＴデバイス膜層間のマッチングにより、曲げプロセスにおける基板の安定性を向上させ、基板及びＴＦＴデバイス膜層間の応力の不一致を低減することができる。

【0053】

図９は本発明に係るＴＦＴ基板の一実施例の構造を示す概略図である。

【0054】

本実施例では、ＴＦＴ基板９００は、ＴＦＴデバイス膜層９０１及びＴＦＴ基板ベース９０２を含む。ＴＦＴ基板９００は、上記実施例で説明されたＴＦＴ基板の製造方法によって製造され、曲げプロセスにおけるＴＦＴ基板９００のＴＦＴデバイス膜層９０１及びＴＦＴ基板ベース９０２間の応力の不一致を低減し、曲げプロセスにおけるＴＦＴ基板９００の安定性を向上させることができ、ここではこれ以上詳述しない。

【0055】

上記の説明は、本発明の実施形態に過ぎず、これにより本発明の特許範囲を制限するものではない。本発明の明細書及び図面の内容によってなされる同等の構造若しくは同等のプロセス変換、又は他の関連技術分野における直接的若しくは間接的な適用は、いずれも同様に本発明の特許保護範囲に含まれる。

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】