特許 6995093 試料プレートホルダ

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2021-12-16

(45)【発行日】2022-01-14

(54)【発明の名称】試料プレートホルダ

(51)【国際特許分類】

   H01J 37/20 20060101AFI20220106BHJP

   H01J 37/28 20060101ALI20220106BHJP

【ＦＩ】

H01J37/20 A

H01J37/28 B

【請求項の数】 11

(21)【出願番号】P 2019162089

(22)【出願日】2019-09-05

(65)【公開番号】P2021039916

(43)【公開日】2021-03-11

【審査請求日】2020-08-19

(73)【特許権者】

【識別番号】000004271

【氏名又は名称】日本電子株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】110001210

【氏名又は名称】特許業務法人ＹＫＩ国際特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】阿部 聖

(72)【発明者】

【氏名】村上 雄大

(72)【発明者】

【氏名】阿部 修平

【審査官】後藤 大思

(56)【参考文献】

【文献】特開２００１－１８３３１７（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開平０８－２５４５１１（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１９－１２８５４７（ＪＰ，Ａ）

【文献】中国実用新案第２０６９２１７８３（ＣＮ，Ｕ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｈ０１Ｊ ３７／２０

Ｈ０１Ｊ ３７／２８

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

ｘ方向に並ぶｍ（但しｍは２以上の整数）個の試料プレートを収容することが可能な収容空間を有するホルダ本体と、
前記収容空間内において前記ｘ方向に直交するｙ方向の一方側に設けられ、前記ｘ方向に並ぶｍ×ｎ（但しｎは２以上の整数）個の押上要素からなる第１の押上要素列と、
前記収容空間内において前記ｙ方向の他方側に設けられ、前記ｘ方向に並ぶｍ×ｎ個の押上要素からなる第２の押上要素列と、
前記収容空間における試料領域を露出させつつ前記収容空間を覆うカバーと、
を含み、
前記第１の押上要素列及び前記第２の押上要素列は、それぞれ、前記カバーによって覆われる位置に設けられ、
前記収容空間に前記ｍ個以下の試料プレートが収容されている状態において、前記各試料プレートのｙ方向一方側端部に対して前記第１の押上要素列中のｎ個の押上要素から押上げ力が与えられ、且つ、前記各試料プレートのｙ方向他方側端部に対して前記第２の押上要素列中のｎ個の押上要素から押上げ力が与えられ、これにより前記各試料プレートの上面が前記カバーの内面に押し付けられる、
ことを特徴とする試料プレートホルダ。

【請求項2】

請求項１記載の試料プレートホルダにおいて、
前記各試料プレートはスライドガラスである、
ことを特徴とする試料プレートホルダ。

【請求項3】

請求項１記載の試料プレートホルダにおいて、
前記ｍは３であり、
前記ｎは２である、
ことを特徴とする試料プレートホルダ。

【請求項4】

請求項１記載の試料プレートホルダにおいて、
前記ホルダ本体に対して前記カバーを開閉運動させるヒンジ部と、
前記カバーが閉状態にある場合に前記カバーを前記ホルダ本体に対してロックするロック機構と、
を含む、ことを特徴とする試料プレートホルダ。

【請求項5】

請求項１記載の試料プレートホルダにおいて、
前記ホルダ本体は、
前記ｙ方向の一方端に設けられた第１の側壁と、
前記ｙ方向の他方端に設けられた第２の側壁と、
を有し、
前記第１の側壁の上面及び前記第２の側壁の上面が基準レベルを規定し、
前記カバーの閉状態において前記カバーの内面が前記第１の側壁の上面及び前記第２の側壁の上面に当たり、これにより前記各プレートの上面レベルが基準レベルに揃う、
ことを特徴とする試料プレートホルダ。

【請求項6】

請求項５記載の試料プレートホルダにおいて、
前記第１の側壁には第１のスケールが設けられ、
前記第２の側壁には第２のスケールが設けられている、
ことを特徴とする試料プレートホルダ。

【請求項7】

請求項１記載の試料プレートホルダにおいて、
前記各試料プレートは透明性を有し、
前記収容空間の底面に光反射を抑制する作用をもった背景面が設けられている、
ことを特徴とする試料プレートホルダ。

【請求項8】

請求項１記載の試料プレートホルダにおいて、
前記ホルダ本体及び前記カバーの内の少なくとも一方に、前記収容空間に収容された前記ｍ個以下の試料プレートの上面へガスを吹き付ける流路構造が設けられた、
ことを特徴とする試料プレートホルダ。

【請求項9】

請求項１記載の試料プレートホルダにおいて、
前記カバーは観察窓を有し、
前記観察窓には導電性メッシュが設けられた、
ことを特徴とする試料プレートホルダ。

【請求項10】

請求項１記載の試料プレートホルダにおいて、
前記ホルダ本体及び前記カバーは導電性材料により構成され、
前記ホルダ本体及び前記カバーの内の一方に電圧印加用の端子が設けられ、
前記ホルダ本体には可動ステージに対して結合される絶縁性材料で構成された係合ブロックが設けられた、
ことを特徴とする試料プレートホルダ。

【請求項11】

請求項１記載の試料プレートホルダにおいて、
前記カバーには１又は複数の位置決め用マークが設けられた、
ことを特徴とする試料プレートホルダ。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は試料プレートホルダに関し、特に、走査型電子顕微鏡で用いられる試料プレートホルダに関する。

【背景技術】

【0002】

走査型電子顕微鏡における試料室の内部には可動ステージが設けられており、その可動ステージ上に、観察対象となった試料を載せたホルダが搭載される。スライドガラス等の試料プレート上に試料が設けられている場合、その試料プレートそれ全体を試料室の内部に設置して、試料の観察を行えれば好都合である。特に、複数の試料プレートを試料室の内部に設置して、複数の試料を連続的に観察できるようにすることが望まれる。そのための専用ホルダの実現が求められている。なお、厚みの異なる複数種類の試料プレートが提供されている。

【0003】

特許文献１には、荷電粒子線描画装置に設置されるホルダが開示されている。そのホルダは、１枚のガラス基板を保持するものであり、ガラス基板に対してはその下方から押上げ力が与えられている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【文献】特開２０１５－１５９２３６号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

本発明の目的は、複数の試料プレートを保持することが可能な試料プレートホルダを実現することにある。あるいは、本発明の目的は、試料プレートの厚みによらずにその上面レベルを基準レベルに揃えながら試料プレートを保持する試料プレートホルダを実現することにある。

【課題を解決するための手段】

【0006】

本開示に係る試料プレートホルダは、ｘ方向に並ぶｍ（但しｍは２以上の整数）個の試料プレートを収容することが可能な収容空間を有するホルダ本体と、前記収容空間内において前記ｘ方向に直交するｙ方向の一方側に設けられ、前記ｘ方向に並ぶ複数の押上要素からなる第１の押上要素列と、前記収容空間内において前記ｙ方向の他方側に設けられ、前記ｘ方向に並ぶ複数の押上要素からなる第２の押上要素列と、前記収容空間における試料領域を露出させつつ前記収容空間を覆うカバーと、を含み、前記収容空間に前記ｍ個以下の試料プレートが収容されている状態において、前記第１の押上要素列及び前記第２の押上要素列によって前記各試料プレートに押上げ力が与えられ、これにより前記各試料プレートの上面が前記カバーの内面に押し付けられる、ことを特徴とするものである。

【0007】

上記構成によれば、１又は複数の試料プレートがホルダ本体の収容空間に収容され、１又は複数の試料プレートがカバーによって覆われる。実施形態において、カバーは閉状態において水平姿勢を有し、その内面が水平面を構成する。カバーの閉状態において、各試料プレートに対して第１の押上要素列及び第２の押上要素列からの押上げ力が及ぶが、各試料プレートの上方への運動はカバーによって規制される。その際、各試料プレートの上面のレベルがカバーの内面のレベル、つまり基準レベルに揃うことになる。保持される各試料プレートの厚みによらずに、各試料プレートの上面のレベルが基準レベルに自然に揃う。これにより、顕微鏡観察時において、フォーカス深さを変えずに又はそれを大きく変えずに、複数の試料を順次観察することが可能となる。

【0008】

実施形態において、前記第１の押上要素列及び前記第２の押上要素列は、それぞれ、独立して動作するｍ個以上の押上要素により構成される。個々の押上要素は、スプリング、弾性部材、等により構成され得る。個々の試料プレートの一方側端部及び他方側端部の両方に押上げ力が加わるので、個々の試料プレートの姿勢が安定化される。上方から見て、試料が存在し得る試料領域を避けた位置に、具体的にはその両側に（つまりカバーによって覆われる位置に）、第１の押上要素列及び第２の押上要素列が設けられる。

【0009】

実施形態において、前記ｍは３であり、前記第１の押上要素列及び前記第２の押上要素列は、それぞれ、ｍ×ｎ（但しｎは１以上の整数）個の押上要素により構成される。例えば、ｎは２である。その場合、各押上要素列は６個の押上要素で構成され、それらは望ましくは均等間隔をもって配置される。

【0010】

実施形態において、試料プレートホルダは、前記ホルダ本体に対して前記カバーを開閉運動させるヒンジ部と、前記カバーが閉状態にある場合に前記カバーを前記ホルダ本体に対してロックするロック機構と、を含む。この構成によれば、カバーが閉姿勢にある場合においてその浮上を防止できる。

【0011】

実施形態において、前記ホルダ本体は、前記ｙ方向の一方端に設けられた第１の側壁と、前記ｙ方向の他方端に設けられた第２の側壁と、を有し、前記第１の側壁の上面及び前記第２の側壁の上面が基準レベルを規定し、前記カバーの閉状態において前記カバーの内面が前記第１の側壁の上面及び前記第２の側壁の上面に当たり、これにより前記各プレートの上面レベルが基準レベルに揃う。

【0012】

実施形態において、前記第１の側壁には第１のスケールが設けられ、前記第２の側壁には第２のスケールが設けられている。各スケールは位置決め用の目盛又はマーカー列に相当するものである。例えば、１枚の試料プレートが配置される場合、２枚の試料プレートが配置される場合、及び、３枚の試料プレートが配置される場合においてプレート位置を規定する第１及び第２のスケールを設けるのが望ましい。

【0013】

実施形態において、前記各試料プレートは透明性を有し、前記収容空間の底面に光反射を抑制する作用をもった背景面が設けられている。この構成によれば、各試料プレート上の試料の目視観察が容易となる。

【0014】

実施形態において、前記ホルダ本体及び前記カバーの内の少なくとも一方に、前記収容空間に収容された前記ｍ個以下の試料プレートの上面へガスを吹き付ける流路構造が設けられる。例えば、試料領域を低真空領域としたい場合に、試料領域にガスが吹き付けられる。実施形態において、前記カバーは観察窓を有し、前記観察窓には導電性メッシュが設けられる。この構成によれば、試料付近の電場を安定化でき、また電荷の蓄積を防止できる。

【0015】

実施形態において、前記ホルダ本体及び前記カバーは導電性材料により構成され、前記ホルダ本体及び前記カバーの内の一方に電圧印加用の端子が設けられ、前記ホルダ本体には可動ステージに対して結合される絶縁性材料で構成された係合ブロックが設けられる。この構成によれば、ホルダ全体の電位を制御することが可能となる。実施形態において、前記カバーには１又は複数の位置決め用マークが設けられる。それらは試料プレートホルダの位置決めに際して利用され得る。

【発明の効果】

【0016】

本発明によれば、複数の試料プレートを保持することが可能な試料プレートホルダを提供できる。あるいは、本発明によれば、試料プレートの厚みによらずにその上面レベルを基準レベルに揃えながら試料プレートを保持し得る試料プレートホルダを提供できる。

【図面の簡単な説明】

【0017】

【図1】第１実施形態に係る試料プレートホルダの開状態を示す斜視図である。

【図2】ステージに対して試料プレートホルダを設置した状態を示す模式図である。

【図3】第１実施形態に係る試料プレートホルダの閉状態を示す斜視図である。

【図4】第１実施形態に係る試料プレートホルダの初期状態を示す斜視図である。

【図5】第１実施形態に係る試料プレートホルダを示す断面図である。

【図6】第２実施形態に係る試料プレートホルダの開状態を示す斜視図である。

【図7】第２実施形態に係る試料プレートホルダの閉状態を示す斜視図である。

【図8】第３実施形態に係る試料プレートホルダを示す分解斜視図である。

【図9】第３実施形態に係る試料プレートホルダを示す斜視図である。

【図10】第４実施形態に係る試料プレートホルダを示す斜視図である。

【図11】第５実施形態に係る試料プレートホルダを示す斜視図である。

【発明を実施するための形態】

【0018】

以下、実施形態を図面に基づいて説明する。

【0019】

図１～図５には、第１実施形態に係る試料プレートホルダが示されている。この試料プレートホルダは、具体的には、試料観察用のスライドガラスホルダであり、走査型電子顕微鏡の試料室内に設置されるものである。観察対象となる試料は、例えば、前処理された粉塵である。アスベストを含む粉塵や切片状の生物組織が観察対象とされてもよい。他の試料が観察対象とされてもよい。

【0020】

図１において、試料プレートホルダ１０はホルダ本体１２及びカバー１４により構成される。それらは例えばステンレスやアルミニウム等の金属により構成される。それらが他の材料で構成されてもよい。図１において、ｘ方向は第１水平方向であり、ｙ方向は第２水平方向であり、ｚ方向が垂直方向である。３つの方向は直交関係にある。なお、試料室内の可動ステージ上に試料プレートホルダ１０が設置された場合、その可動ステージの姿勢に応じて試料プレートホルダ１０の姿勢が変わり得る。上記の第１水平方向、第２水平方向及び垂直方向は、試料プレートホルダ１０が水平面上に設置されてそれが基本姿勢を有している場合を前提とするものである。

【0021】

ホルダ本体１２は、水平板としてのベース２０を有している。ベース２０の上面には薄い背景板２２が設けられている。背景板２２は、光の反射を低減又は抑制する材料で構成され、あるいは、背景板２２の表面に対して光の反射を低減又は抑制する処理が施されている。その処理として、メッキ（例えばクロムメッキ）、粗面加工、着色等が挙げられる。

【0022】

ホルダ本体１２は、ｙ方向の一方端及び他方端に設けられたサイドプレート２４，２６を有する。それらは起立した板状の形態を有している。また、ホルダ本体１２は、ｘ方向の一方端（前端）及び他方端（後端）に設けられたフロントプレート２８及びバックプレート３０を有している。それらも起立した板状の形態を有している。

【0023】

ホルダ本体１２の内部、具体的には、背景板２２の上側且つ４つのプレート２４，２６，２８，３０で囲まれた空間は、収容空間であり、その収容空間に、１又は複数の試料プレートが収容及び配置される。図１においては、収容空間に２つの試料プレート１６，１８が配置されている。それらはいずれも透明性を有するスライドガラスであり、それらの上面には試料が載せられている。但し、図１においては試料の図示が省略されている。

【0024】

個々の試料プレート１６，１８の上面において、ｙ方向の両端部やｙ方向に平行な側辺の近傍を除いた部分が個別試料領域である。複数の試料プレート１６，１８における複数の個別試料領域の全体を包含する領域として、全体試料領域が観念される。ｙ方向が各試料プレート１６，１８の長手方向に相当しており、ｘ方向が各試料プレート１６，１８の短手方向に相当している。

【0025】

ホルダ本体１２において、ｙ方向の一方側、具体的には、サイドプレート２４の近傍には、第１押上要素列として機能するスプリング列３４が設けられている。スプリング列３４は、図示の構成例において、直線状に均等間隔で並んだ６つのスプリング３５により構成されている。ホルダ本体１２において、ｙ方向の他方側、具体的には、サイドプレート２６の近傍には、第２押上要素列としてのスプリング列３６が設けられている。スプリング列３６は、スプリング列３４と同様、直線状に均等間隔で並んだ６つのスプリング３５により構成されている。各スプリング３５は、それが接する試料プレートに対して弾性力又は付勢力としての押上げ力を及ぼすものである。複数のスプリング３５に代えて複数の弾性体を用いてもよい。

【0026】

ｘ方向に並ぶ試料プレートの最大数をｍとし、ｍ個の試料プレートが並んだ状態において個々の試料プレートごとに左右にそれぞれｎ個のスプリングを設ける場合、各スプリング列３４，３６は、ｍ×ｎ個のスプリング３５により構成される。ｍは２以上の整数であり、ｎは１以上の整数である。図示の例においてｍは３であり、ｎは２である。

【0027】

図１に例示された態様では、収容空間に２個の試料プレート１６，１８が配置されている。それらはｘ方向の中間位置で接している。その場合、各試料プレート１６，１８の各端部が２個のスプリングによって支持される。収容空間に３個の試料プレートが設けられる場合も、各試料プレートの各端部が２個のスプリングによって支持される。収容空間に１個の試料プレートが設けられる場合、具体的には、ｘ方向の中間位置に試料プレートが設けられる場合、その試料プレートの各端部が２個のスプリングによって支持される。

【0028】

いずれの場合においても、個々の試料プレートが安定的に支持される。逆に言えば、保持する試料プレート数によらずに個々の試料プレートが安定的に支持されるように、２つのスプリング列３４，３６が構成されている。

【0029】

サイドプレート２４とサイドプレート２６は互いに同一又は対称の形態を有し、ここではサイドプレート２４を代表させてその形態について説明する。サイドプレート２４は基準レベルを規定する上面２４Ａを有する。サイドプレートも同様の上面２６Ａを有する。サイドプレート２４は、ｘ方向に並ぶ複数の凸部３８，４０，４２，４４を有する。隣接する２つの凸部３８，４０，４２，４４の間に凹部５２，５４，５６が設けられている。凸部４０，４２の上面には、マーカー４８，５０が設けられている。３枚の試料プレートが配置される場合、マーカー４８，５０が試料プレート間位置を示す。２枚の試料プレートが配置される場合、マーカー４８，５０が各試料プレートのセンター位置を示す。１枚の試料プレートが配置される場合、マーカー４８，５０が試料プレートのｘ方向両端を示す。凹部５４にはｘ方向の中間位置を示すマーカー５７が設けられている。

【0030】

個々のマーカー４８，５０，５７は、ｙ方向に平行なライン又は溝である。複数の凹部５２，５４，５６は指先やピンセット等の工具を差し込む溝としても機能する。サイドプレート２６は、上記のように、サイドプレート２４と同様の形態を有している。サイドプレート２４，２６に設けられた複数の凸部３８，４０，４２，４４、複数の凹部５２，５４，５６、及び、複数のマーカー４８，５０，５７のそれぞれはスケール要素として機能し、換言すれば、それら全体がスケールとして機能する。

【0031】

ホルダ本体１２の前側には下側係合部３２が設けられている。下側係合部３２は図示の構成例では２つの突起７６，７８及びロック用金具８０により構成されている。

【0032】

カバー１４は、ホルダ本体１２に設けられたヒンジ部５８によって回転可能に保持されている。図１においては、カバー１４は開姿勢を有しており、つまり試料プレートホルダ１０が開状態にある。カバー１４は、矩形の開口としての観察窓６０を有する。カバー１４は、観察窓６０を取り囲む形態を有し、具体的には、ｙ方向一方側に設けられた縁部６２、及び、観察窓６０のｙ方向他方側に設けられた縁部６４を有する。

【0033】

２つの縁部６２，６４は平板であり、それぞれがプレート端部押さえ片として機能する。縁部６２に連なる部分として折り曲げ片６６が設けられており、縁部６４に連なる部分として折り曲げ片６８が設けられている。カバー１４は上側係合部７０を有し、それは２つの突起７２，７４により構成されている。

【0034】

カバー１４が開姿勢となり、試料プレートホルダ１０が開状態にある場合、収容空間にある各試料プレート１６，１８は、その直下にある複数のスプリング３５に支えられ、下方から最上レベルへ押し上げられた状態にある。カバー１４が閉姿勢となり、試料プレートホルダ１０が閉状態になった場合、カバー１４の内面（裏面）１４Ａが複数の試料プレート１６，１８の両端部を下方に押し下げる。カバー１４の内面１４Ａが２つのサイドプレート２４，２５の上面２４Ａ，２６Ａに当たった時点で、カバー１４の下方への運動が規制される。その状態では、複数の試料プレート１６，１８の上面の両端部がカバー１４の内面１４Ａに密着し、複数のスプリング３５とカバー１４との間に複数の試料プレート１６，１８が挟まれた状態となる。

【0035】

その際、各試料プレート１６，１８の上面レベルはカバー１４の内面レベル、つまり２つのサイドプレート２４，２６の上面のレベル（基準レベル）に揃うことになる。仮に複数の試料プレート１６，１８の厚みが異なっていても、それらの上面レベルは常に基準レベルに揃う。

【0036】

カバー１４の閉姿勢では、下側係合部３２と上側係合部７０とによりロック状態が形成される。具体的には、２つの突起７６，７８に取り付けられた金具８０が、２つの突起７２，７４に引っ掛けられる。その操作はユーザーによって行われるが、閉動作過程で自動的にロック状態が形成されるようにしてもよい。

【0037】

図２には、走査型電子顕微鏡の一部分が模式的に示されている。走査型電子顕微鏡は、試料室８２及び鏡筒８４を有する。符号９０は電子線を示している。試料室８２内には可動ステージ（試料ステージ）８６が設けられている。図示されていない制御部により、可動ステージ８６の位置及び姿勢が制御される。可動ステージ８６上に試料プレートホルダ１０が搭載される。

【0038】

図３には、閉状態にある試料プレートホルダ１０が示されている。すなわち、ホルダ本体１２がカバー１４によって覆われている。図３においては、３つの試料プレート９２，９４，９６が保持されている。試料プレート９２，９４，９６の両端部９２ａ，９２ｂ，９４ａ，９４ｂ，９６ａ，９６ｂが、カバー１４の２つの縁部６２，６４によって押さえ付けられている。３つの個別試料領域９２Ａ，９４Ａ，９６Ａの全体を包含する全体試料領域９７が観察窓６０を通じて露出している。下側係合部３２と上側係合部７０によりロック機構９８が構成される。

【0039】

図４には、開状態にある試料プレートホルダ１０が示されている。図４は、いずれの試料プレートも設置されていない初期状態を示すものである。ホルダ本体１２に設けられた各スプリング列３４，３６は６個のスプリング３５により構成されている。

【0040】

図５には、試料プレートホルダ１０のｙｚ断面が示されている。試料プレートホルダ１０は、既に説明したように、ホルダ本体１２とそれを覆うカバー１４により構成される。カバー１４の内面が２つのサイドプレート２４，２６の上面２４Ａ，２６Ａに当接している。試料プレート１６に対しては複数のスプリング３５からの押上げ力が及んでいるが、試料プレート１６の端部１６ａ，１６ｂが２つの縁部６２，６４の内面６２Ａ，６４Ａに接しており、試料プレート１６の更なる浮上が規制されている。

【0041】

ホルダ本体１２には複数の孔１００が形成されており、複数の孔１００には複数のねじ部材１０２が差し込まれている。複数のねじ部材１０２の上端部に複数のスプリング３５が取り付けられている。図５において、ｚ０は基準レベルを示しており、それはカバー内面レベル及びサイドプレート上面レベルに一致している。

【0042】

以上のように、実施形態に係る試料プレートホルダによれば、試料プレートの厚みによらずに、試料プレートの上面レベルを基準レベルに自然に揃えることができる。よって、試料プレートの厚みに応じてフォーカス深さを変える必要がない又はそれを大きく変える必要がないという利点を得られる。また、複数の試料プレートを同時に保持して、それらを試料室の内部に同時にセットし、複数の試料を連続的に観察できるという利点を得られる。その際においても、試料プレートの厚みに応じてフォーカス深さを変える必要はなく又はそれを大きく変える必要はない。実施形態に係る試料プレートホルダにおいては、配置される試料プレート数にかかわらず、個々の試料プレートの各端部が２つスプリングによって安定的に支持される。各サイドプレートにはスケールとして機能する構造が設けられており、それらを目安とすることにより各試料プレートを正しく配置することが可能である。また、背面板の表面に光反射を抑える処理が施されているので、試料プレート及び試料の視認性を高められる。

【0043】

図６及び図７には、第２実施形態に係る試料プレートホルダ１０Ａが示されている。図６において、試料プレートホルダ１０Ａは、ホルダ本体１２とカバー１４Ｂにより構成されている。カバー１４Ｂは観察窓６０を有し、そこには金属製メッシュ１０４が設けられている。試料プレートホルダ１０Ａそれ全体が導電性材料で構成されている。図７には、閉状態にある試料プレートホルダ１０Ａが示されている。本体１２がカバー１４Ｂで覆われている。この第２実施形態によれば、電子顕微鏡観察時において、試料周辺の電場を安定化できるという利点、及び、チャージを防止できるという利点を得られる。

【0044】

図８及び図９には、第３実施形態に係る試料プレートホルダ１０Ｂが示されている。図８において、試料プレートホルダ１０Ｂは、ホルダ本体１２とカバー１０６により構成され、カバー１０６は下カバー１０８及び上カバー１１０により構成されている。図８においては、説明のため、下カバー１０８と上カバー１１０とが分離されている。

【0045】

下カバー１０８には流路構造１１２が形成されている。流路構造１１２は、ガス流路１１４，１１６を有し、またガス導入口１１８、及び、複数のガス噴出口１２０，１２２，１２４，１２６，１２８，１３０を有する。それらは２つのガス噴出口列を構成する。

【0046】

図９においては、下カバー１０８と上カバー１１０とが合体されている。カバー１０６に形成された２つのガス噴出口列１１９，１２５から試料領域１３２に対してガスが送り込まれる（符号１３４を参照）。これにより試料を低真空環境下におくことが可能となる。すなわち、試料室の内部は一般に高真空におかれるが、局所的にガスを流してその部分を低真空にするものである。ガスとして、エア、窒素等を用いることが可能である。この構成は、様々な試料プレートホルダに適用することが可能である。

【0047】

図１０には、第４実施形態に係る試料プレートホルダ１０Ｃが示されている。ホルダ本体１２の下面には絶縁性材料で構成された結合ブロック１３８が設けられている。結合ブロック１３８は可動ステージに連結される部分である。本体１２の下面には端子１３６が設けられている。試料プレートホルダ１０Ｃそれ全体が導電性材料で構成されている。端子１３６に信号線を接続し、そこに電圧を印加することにより、試料プレートホルダつまり試料を所望の電位にすることが可能である。

【0048】

図１１には、第５実施形態に係る試料プレートホルダ１０Ｄが示されている。カバー１４の上面には、複数のアライメントマーク１４０ａ，１４０ｂ、１４０ｃが形成されている。光学顕微鏡の観察時及び電子顕微鏡の観察時において、それらのアライメントマーク１４０ａ，１４０ｂ、１４０ｃを利用して、試料プレートホルダ１０Ｄの位置決めを行える。

【符号の説明】

【0049】

１０ 試料プレートホルダ、１２ ホルダ本体、１４ カバー、１６，１８ 試料プレート（スライドガラス）、２０ ベース、２２ 背景板、２４，２６ サイドプレート、３４ 第１スプリング列、３６ 第２スプリング列、６０ 観察窓、６２ 第１縁部、６４ 第２縁部。

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】