特許 6997229 コールドプレート

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2021-12-20

(45)【発行日】2022-01-17

(54)【発明の名称】コールドプレート

(51)【国際特許分類】

   H01L 23/473 20060101AFI20220107BHJP

   H05K 7/20 20060101ALI20220107BHJP

【ＦＩ】

H01L23/46 Z

H05K7/20 N

【請求項の数】 5

(21)【出願番号】P 2020002355

(22)【出願日】2020-01-09

(65)【公開番号】P2021111684

(43)【公開日】2021-08-02

【審査請求日】2020-09-29

(73)【特許権者】

【識別番号】000005186

【氏名又は名称】株式会社フジクラ

(74)【代理人】

【識別番号】100106909

【弁理士】

【氏名又は名称】棚井 澄雄

(74)【代理人】

【識別番号】100126882

【弁理士】

【氏名又は名称】五十嵐 光永

(74)【代理人】

【識別番号】100160093

【弁理士】

【氏名又は名称】小室 敏雄

(74)【代理人】

【識別番号】100169764

【弁理士】

【氏名又は名称】清水 雄一郎

(72)【発明者】

【氏名】松田 将宗

(72)【発明者】

【氏名】高橋 真

(72)【発明者】

【氏名】益子 耕一

(72)【発明者】

【氏名】堀内 康洋

(72)【発明者】

【氏名】田原 裕一朗

【審査官】多賀 和宏

(56)【参考文献】

【文献】特開２０１３－２２５５５３（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１５－１２６２０７（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１９－０７１３３０（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１９－１１４６８２（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１６－２２５５３０（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１０－２７８２８６（ＪＰ，Ａ）

【文献】国際公開第２０１５／０３３７２４（ＷＯ，Ａ１）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｈ０１Ｌ ２３／４７３

Ｈ０５Ｋ ７／２０

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

並列された複数のフィンおよびピラーを有する第１プレートと、
前記複数のフィンおよび前記ピラーを覆い、前記第１プレートとの間に内部空間を形成する第２プレートと、を備え、
前記ピラーは前記第２プレートにロウ付けされ、
前記複数のフィンには、前記ピラーに隣接し、前記第２プレートとの間にスペースが設けられた第１フィンと、前記第１フィンよりも前記第２プレートに近接した第２フィンと、が含まれている、コールドプレート。

【請求項2】

前記第１プレートと前記第２プレートとが対向する上下方向における前記スペースの寸法Ｌ１と、前記ピラーと前記第１フィンとの間の寸法Ｌ２とが、Ｌ１≧Ｌ２を満足する、請求項１に記載のコールドプレート。

【請求項3】

前記第１プレートと前記第２プレートとが対向する上下方向および前記複数のフィンが並列された並列方向の双方に沿う断面において、前記第２フィン同士の間の流路断面積Ａ１と、前記スペースの流路断面積Ａ２とが、Ａ１≧Ａ２を満足する、請求項１または２に記載のコールドプレート。

【請求項4】

前記第１プレートには２つの前記ピラーが形成され、
前記内部空間は、前記複数のフィンが並列された並列方向において、２つの前記ピラー同士の間に位置する中央領域と、２つの前記ピラーの外側にそれぞれ位置する２つの外側領域と、に区画され、
前記第１フィンは少なくとも前記中央領域に位置している、請求項１から３のいずれか１項に記載のコールドプレート。

【請求項5】

前記第１フィンは前記２つの外側領域に位置していない、請求項４に記載のコールドプレート。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、コールドプレートに関する。

【背景技術】

【0002】

特許文献１には、複数のフィンを有する第１プレート（ベースプレート）と、複数のフィンを覆い、第１プレートとの間に内部空間を形成する第２プレート（蓋）と、を備えたコールドプレートが開示されている。第１プレートと第２プレートとは、ロウ付けによって固定されている。コールドプレートは、フィン同士の間に冷媒を流動させることで、発熱体から受け取った熱をフィンから冷媒に受け渡し、発熱体を冷却するように構成されている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【文献】特開２０１０－１２３８８１号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

冷媒の圧力によって、第２プレートの頂壁が上方に向けて撓むように変形してしまう場合がある。そこで、第１プレートと第２プレートとをロウ付けする際、フィンの上面と第２プレートとをロウ付けにより固定し、カバーの強度を向上させるために、ロウ材を第２プレートとフィンとの間に設ける場合がある。このとき、溶融したロウ材が毛細管力等の影響でフィン同士の間に入り込むことで、フィンと冷媒との接触面積が低下したり、冷媒の流動が阻害されたりして、冷却性能が低下する場合があった。

【0005】

本発明はこのような事情を考慮してなされ、ロウ材が冷媒の流路に入り込むことによる冷却性能の低下を抑制できるコールドプレートを提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0006】

上記課題を解決するために、本発明の一態様に係るコールドプレートは、並列された複数のフィンおよびピラーを有する第１プレートと、前記複数のフィンおよび前記ピラーを覆い、前記第１プレートとの間に内部空間を形成する第２プレートと、を備え、前記ピラーは前記第２プレートにロウ付けされ、前記複数のフィンには、前記ピラーに隣接し、前記第２プレートとの間にスペースが設けられた第１フィンと、前記第１フィンよりも前記第２プレートに近接した第２フィンと、が含まれている。

【0007】

上記態様によれば、ピラーに隣接する第１フィンと第２プレートとの間にスペースが設けられていることで、ピラーと第２プレートとの間からはみ出したロウ材が、ピラーと第１フィンとの間や、その他のフィン同士の間に、毛細管力等の影響によって入り込むことを抑制できる。したがって、ロウ材が冷媒の流路に入り込むことによる冷却性能の低下を抑制することができる。

【0008】

ここで、前記第１プレートと前記第２プレートとが対向する上下方向における前記スペースの寸法Ｌ１と、前記ピラーと前記第１フィンとの間の寸法Ｌ２とが、Ｌ１≧Ｌ２を満足してもよい。

【0009】

また、前記第１プレートと前記第２プレートとが対向する上下方向および前記複数のフィンが並列された並列方向の双方に沿う断面において、前記第２フィン同士の間の流路断面積Ａ１と、前記スペースの流路断面積Ａ２とが、Ａ１≧Ａ２を満足してもよい。

【0010】

また、前記第１プレートには２つの前記ピラーが形成され、前記内部空間は、前記複数のフィンが並列された並列方向において、２つの前記ピラー同士の間に位置する中央領域と、２つの前記ピラーの外側にそれぞれ位置する２つの外側領域と、に区画され、前記第１フィンは少なくとも前記中央領域に位置してもよい。

【0011】

また、前記第１フィンは前記２つの外側領域に位置していなくてもよい。

【発明の効果】

【0012】

本発明の上記態様によれば、ロウ材が冷媒の流路に入り込むことによる冷却性能の低下を抑制できる。

【図面の簡単な説明】

【0013】

【図1】本実施形態に係るコールドプレートの分解斜視図である。

【図2】図１のコールドプレートを組み立てた状態におけるＩＩ－ＩＩ断面矢視図である。

【図3】図２の拡大図である。

【図4】本実施形態の変形例に係るコールドプレートの断面図である。

【発明を実施するための形態】

【0014】

以下、本実施形態のコールドプレートについて図面に基づいて説明する。
図１に示すように、コールドプレート１は、第１プレート１０と、第２プレート２０と、を備える。第１プレート１０は、複数（２つ）のピラー１３と、並列された複数のフィン１４と、を有する。なお、ピラー１３の数は１つであってもよいし、３つ以上であってもよい。第２プレート２０は、フィン１４およびピラー１３を覆い、第１プレート１０との間に内部空間Ｓを形成する。この内部空間Ｓに、ピラー１３およびフィン１４が配置されている。

【0015】

第２プレート２０には、１つの流入口２３および２つの流出口２４が形成されている。このコールドプレート１では、冷媒が流入口２３から流入し、内部空間Ｓを矢印Ｆ１、Ｆ２、Ｆ３に示す方向に流動して、各流出口２４から流出する。第１プレート１０に、例えばＣＰＵ等の発熱体を接触させると、この発熱体の熱を第１プレート１０が奪い、フィン１４を介して冷媒に伝えることで、発熱体を冷却することができる。冷媒としては、例えば水やアルコールの他、公知の化合物などを適宜用いることができる。

【0016】

（方向定義）
本実施形態では、ＸＹＺ直交座標系を設定して各構成の位置関係を説明する。Ｙ方向は、複数のフィン１４が延びる方向である。Ｘ方向は、複数のフィン１４が並列されている方向である。Ｚ方向は、第１プレート１０および第２プレート２０が対向する方向である。以下、Ｚ方向を上下方向Ｚといい、Ｙ方向を長手方向Ｙといい、Ｘ方向を並列方向Ｘという。上下方向Ｚにおける第１プレート１０側（－Ｚ側）を下方といい、第２プレート２０側（＋Ｚ側）を上方という。長手方向Ｙにおける一方側（＋Ｙ側）を後方といい、他方側（－Ｙ側）を前方という。並列方向Ｘにおける一方側（＋Ｘ側）を右方といい、他方側（－Ｘ側）を左方という。

【0017】

第２プレート２０の材質としては、銅などの金属を用いることができる。第２プレート２０は下方に向けて開口する箱状に形成されており、頂壁２１および周壁２２を有している。頂壁２１はＸＹ平面内に延びる矩形の板状に形成されている。流入口２３および２つの流出口２４は、頂壁２１を上下方向Ｚに貫通している。流入口２３および２つの流出口２４は、頂壁２１の前端部に形成されている。２つの流出口２４は、並列方向Ｘにおいて、流入口２３を間に挟むように配置されている。周壁２２は、頂壁２１の外縁から下方に向けて延びている。

【0018】

第１プレート１０の材質としては、銅などの金属を用いることができる。第１プレート１０は、ＸＹ平面内に延びる矩形の板状の本体部１１と、ピラー１３と、フィン１４と、を有している。本体部１１には、上面から下方に向けて窪む矩形の溝１２が形成されている。ピラー１３およびフィン１４は、本体部１１から上方に向けて突出しており、上方から見て、矩形の溝１２の内側に配置されている。ピラー１３の並列方向Ｘにおける幅はフィン１４よりも大きい。このように、ピラー１３の幅を大きくすることで、ピラー１３を第２プレート２０にロウ付けする際の接合強度を高めることができる。

【0019】

２つのピラー１３は、長手方向Ｙに延びており、並列方向Ｘにおいて間隔を空けて配置されている。本実施形態では、ピラー１３同士の間の領域を中央領域Ｐ１といい、並列方向Ｘにおいて各ピラー１３の外側に位置する領域を外側領域Ｐ２という。つまり、第１プレート１０および第２プレート２０が形成する内部空間Ｓは、２つのピラー１３によって、中央領域Ｐ１と、２つの外側領域Ｐ２と、に区画されている。中央領域Ｐ１は、２つのピラー１３と、頂壁２１と、第１プレート１０の本体部１１と、によって囲まれている。各外側領域Ｐ２は、１つのピラー１３と、周壁２２と、頂壁２１と、本体部１１と、によって囲まれている。中央領域Ｐ１および２つの外側領域Ｐ２には、それぞれ、複数のフィン１４が配置されている。

【0020】

各ピラー１３の前端部は溝１２まで延びている。一方、各ピラー１３の後端部は溝１２まで延びておらず、内部空間Ｓの後端部はピラー１３によって区切られていない。このため、流入口２３から流入し、矢印Ｆ１に沿って中央領域Ｐ１を後方に流動した冷媒は、矢印Ｆ２に示すように、内部空間Ｓの後端部において左方および右方に分岐して流動する。分岐した冷媒は、各外側領域Ｐ２内を前方に向けて流動し、矢印Ｆ３に示すように、各流出口２４から流出する。このように、中央領域Ｐ１は冷媒の往路となり、各外側領域Ｐ２は冷媒の復路となる。

【0021】

各フィン１４の前端部および後端部は、溝１２まで延びていない。流入口２３および流出口２４は、長手方向Ｙにおける頂壁２１の前端部であって、フィン１４が配置されていない部分に形成されている。

【0022】

周壁２２の下端部は、溝１２内に、ロウ付けなどによって固定されている。これにより、流入口２３および流出口２４が形成された部分を除き、内部空間Ｓは密閉されている。また、ピラー１３は頂壁２１にロウ付けされている。これにより、第２プレート２０の頂壁２１が上方に向けて撓むように変形してしまうことが抑制され、ピラー１３の上面と頂壁２１の下面との間の隙間を通して、冷媒が中央領域Ｐ１から外側領域Ｐ２へ、あるいは外側領域Ｐ２から中央領域Ｐ１へと流動してしまうことが抑制される。したがって、フィン１４同士の間を冷媒がより確実に流動するようになり、発熱体の冷却効率が高められる。

【0023】

次に、ピラー１３と頂壁２１とのロウ付け部の詳細について、図２、図３を用いて説明する。

【0024】

本実施形態では、図２に示すように、複数のフィン１４のうち、ピラー１３に隣接した一部のフィン１４と、第２プレート２０の頂壁２１と、の間にスペースＧが設けられている。以下の説明では、ピラー１３に隣接し、かつ頂壁２１との間にスペースＧが設けられたフィン１４を、特に「第１フィン１４ａ」という。また、第１フィン１４ａ以外のフィン１４を、「第２フィン１４ｂ」という。

【0025】

本実施形態では、２つのピラー１３から見て並列方向Ｘにおける内側（すなわち中央領域Ｐ１）に、それぞれ３つずつ第１フィン１４ａが配置されている。また、各外側領域Ｐ２には第１フィン１４ａが設けられていない。なお、第１フィン１４ａの数は適宜変更可能である。

【0026】

第１フィン１４ａは、第２フィン１４ｂおよびピラー１３よりも上下方向Ｚにおける寸法が小さくなっている。すなわち、第１フィン１４ａの上端は、第２フィン１４ｂおよびピラー１３の各上端よりも下方に位置している。これにより、第１フィン１４ａと第２プレート２０との間にはスペースＧが設けられており、第２フィン１４ｂは第１フィン１４ａよりも第２プレート２０に近接している。図２では、第２フィン１４ｂが第２プレート２０に接しているが、必ずしも第２フィン１４ｂが第２プレート２０に接していなくてもよい。

【0027】

設計上は、図２に示す通り、ピラー１３の上面１３ａと、第２プレート２０の頂壁２１における下面２１ａと、が隙間なく当接する。しかしながら、実際には、頂壁２１の下面２１ａとピラー１３の上面１３ａとの間には、製造上の寸法誤差や表面粗さ等によって微細な隙間があり、この微細な隙間にロウ材３０が充填されている。これにより、ピラー１３と頂壁２１とがロウ付けされている。また、ロウ材３０は、ピラー１３から見て、並列方向Ｘにおける外側（すなわち外側領域Ｐ２。図１参照）に位置する第２フィン１４ｂとピラー１３との間および第２フィン１４ｂ同士の間にも位置している。さらに、ロウ材３０の一部はスペースＧ内においてフィレット３１を形成している。フィレット３１は、ピラー１３の上面１３ａの並列方向Ｘにおける内側の端部から、スペースＧ内にはみ出すように形成されている。

【0028】

ロウ材３０としては、銀または銀ロウなどの金属を用いることができる。銀ロウとは、銀に銅、亜鉛などを添加した合金である。ロウ材３０としては、第１プレート１０および第２プレート２０の構成材料の融点よりも低い融点を有する金属が好適である。例えば、第１プレート１０および第２プレート２０の材質が銅（融点：約１０８５℃）であり、ロウ材３０の材質が銀ロウ（融点：６００～９００℃）であってもよい。

【0029】

ロウ付けの方法としては、例えばピラー１３と頂壁２１との間に、ロウ材３０によって形成されたシートを挟み、第２プレート２０を加熱してもよい。あるいは、ロウ材３０を含むペーストをピラー１３の上面１３ａに塗布したり、メッキによってロウ材３０の層を頂壁２１の下面２１ａに形成したりした後、第２プレート２０を加熱してもよい。第２プレート２０の加熱方法として、コールドプレート１の全体を炉に入れてもよい。この場合、ピラー１３と頂壁２１とをロウ付けしつつ、周壁２２と第１プレート１０とをロウ付けすることも可能である。

【0030】

ここで、ピラー１３と頂壁２１との間に挟まれたロウ材３０が加熱されて溶融すると、毛細管力や重力の影響によって、ピラー１３とフィン１４との間や、フィン１４同士の間に、ロウ材３０が入り込んでしまう場合がある。このように、本来は冷媒の流路となる部分にロウ材３０が入り込むと、当該部分における冷媒の流動が阻害されたり、冷媒とフィン１４との接触面積が低下したりすることで、コールドプレート１の冷却性能が低下することが考えられる。特に、本実施形態のコールドプレート１では、中央領域Ｐ１のほうが外側領域Ｐ２よりも狭いため、中央領域Ｐ１における冷媒の圧力や流速が外側領域Ｐ２よりも大きくなる。このため、中央領域Ｐ１における冷媒の流動の阻害や、中央領域Ｐ１における冷媒とフィン１４との接触面積の低下が、冷却性能に大きな影響を与えやすい。そこで本実施形態では、中央領域Ｐ１に第１フィン１４ａおよびスペースＧを設けて、中央領域Ｐ１における冷媒の流路にロウ材３０が入り込みにくい構造を採用している。

【0031】

なお、図２に示すように、コールドプレート１は、並列方向Ｘにおいて対称な形状となっている。以下、２つのピラー１３を代表させて、左方（－Ｘ側）のピラー１３の周辺の構造を、図２の拡大図である図３を用いて説明する。すなわち、以下の説明は、右方（＋Ｘ側）のピラー１３の周辺の構造にも該当する。

【0032】

加熱によりロウ付けする際に、ピラー１３と第２プレート２０とによって挟まれたロウ材３０が、スペースＧに向けてはみ出すことで、スペースＧにはロウ材３０のフィレット３１が形成される。このフィレット３１が、第１フィン１４ａの上面に接触すると、第１フィン１４ａの表面を伝って、ピラー１３と第１フィン１４ａとの間や第１フィン１４ａ同士の間にロウ材３０が進入する場合がある。したがって、フィレット３１が第１フィン１４ａの上面に接触しにくいように、第１フィン１４ａと第２プレート２０の頂壁２１との間隔（スペースＧの上下方向Ｚにおける寸法）Ｌ１はなるべく大きくすることが好ましい。

【0033】

一方、寸法Ｌ１が大きいほど、スペースＧの流路断面積Ａ２も大きくなる。スペースＧの流路断面積Ａ２が、第２フィン１４ｂ同士の間の流路断面積Ａ１よりも大きいと、冷媒がスペースＧ内を流動しやすくなる。その結果、冷媒のうち第２フィン１４ｂ同士の間を流動する割合が低下し、コールドプレート１の冷却効率が低下する。

【0034】

上記事情を考慮すると、上記寸法Ｌ１を、ピラー１３に隣接する流路（第１フィン１４ａとピラー１３との間の隙間）の幅Ｌ２以上とすることで、ピラー１３と第１フィン１４ａとの間や第１フィン１４ａ同士の間の毛細管力よりも、第２プレート２０の頂壁２１と第１フィン１４ａとの間の毛細管力が小さくなるため、フィレット３１が第１フィン１４ａに接触することを抑制できる。すなわち、Ｌ１≧Ｌ２であることが好ましい。
また、スペースＧの流路断面積Ａ２を第２フィン１４ｂ同士の間の流路断面積Ａ１以下とすることで、第２フィン１４ｂ同士の間にも冷媒をより確実に流動させることができる。すなわち、Ａ２≦Ａ１であることが好ましい。

【0035】

Ｌ１≧Ｌ２かつＡ２≦Ａ１を満足する好適な寸法例を以下に示す。
寸法Ｌ１：０．２ｍｍ
寸法Ｌ２：０．２ｍｍ
第２フィン１４ｂおよびピラー１３の上下方向Ｚにおける寸法：２．０ｍｍ
第２フィン１４ｂ同士の間の流路断面積Ａ１：０．４ｍｍ^２
フィン１４の並列方向Ｘにおける幅：０．２ｍｍ
スペースＧの流路断面積Ａ２：０．２８ｍｍ^２
なお、上記寸法例は一例に過ぎず、適宜変更可能である。

【0036】

以上説明したように、本実施形態のコールドプレート１は、並列された複数のフィン１４およびピラー１３を有する第１プレートと、複数のフィン１４およびピラー１３を覆い、第１プレート１０との間に内部空間Ｓを形成する第２プレート２０と、を備え、ピラー１３は第２プレート２０にロウ付けされている。そして、複数のフィン１４には、ピラー１３に隣接し、第２プレート２０との間にスペースＧが設けられた第１フィン１４ａと、第１フィン１４ａよりも第２プレート２０に近接した第２フィン１４ｂと、が含まれている。

【0037】

このように、ピラー１３に隣接する第１フィン１４ａと第２プレート２０との間にスペースＧが設けられていることで、ピラー１３と第２プレート２０との間からはみ出したロウ材３０が、ピラー１３と第１フィン１４ａとの間や、その他のフィン１４同士の間に、毛細管力等の影響によって入り込むことを抑制できる。したがって、ロウ材３０が冷媒の流路に入り込むことによる冷却性能の低下を抑制することができる。

【0038】

また、上下方向ＺにおけるスペースＧの寸法Ｌ１と、ピラー１３と第１フィン１４ａとの間の寸法Ｌ２とが、Ｌ１≧Ｌ２を満足することで、溶融したロウ材３０のフィレット３１が第１フィン１４ａに接触することを抑制できる。したがって、ロウ材３０が第１フィン１４ａを伝って、ピラー１３と第１フィン１４ａとの間や第１フィン１４ａ同士の間に進入することを、より確実に抑制できる。

【0039】

また、上下方向Ｚおよび並列方向Ｘの双方に沿う断面において、第２フィン１４ｂ同士の間の流路断面積Ａ１と、スペースＧの流路断面積Ａ２とが、Ａ１≧Ａ２を満足することで、冷媒のうちスペースＧを流動する割合を小さくすることができる。これにより、第２フィン１４ｂ同士の間を流動する冷媒の割合を確保し、コールドプレート１の冷却性能を維持することができる。

【0040】

また、本実施形態では、第１プレート１０には２つのピラー１３が形成されており、内部空間Ｓは、並列方向Ｘにおいて、２つのピラー１３同士の間に位置する中央領域Ｐ１と、２つのピラー１３の外側にそれぞれ位置する２つの外側領域Ｐ２と、に区画されている。この構成では、中央領域Ｐ１における冷媒の圧力および流速が、外側領域Ｐ２よりも大きくなり、流路（ピラー１３とフィン１４との間、およびフィン１４同士の間）にロウ材３０が進入したときにコールドプレート１の冷却性能に影響をおよぼしやすい。そこで、少なくとも中央領域Ｐ１に第１フィン１４ａおよびスペースＧを配置することで、中央領域Ｐ１の流路にロウ材３０が進入することを抑制し、冷却性能の低下をより確実に抑制できる。

【0041】

さらに、第１フィン１４ａを中央領域Ｐ１に配置し、外側領域Ｐ２に配置しないことで、ピラー１３と第２プレート２０との間からはみ出したロウ材３０を、外側領域Ｐ２側に敢えて誘導することができる。これにより、中央領域Ｐ１の流路にロウ材３０が進入することをより確実に抑制することが可能となる。

【0042】

なお、図３に示す通り、本実施形態では設計上は第２フィン１４ｂが頂壁２１に接するが、実際には、第２フィン１４ｂの上面と頂壁２１の下面２１ａとの間にも微細な隙間が生じる。このため、当該微細な隙間を通って、外側領域Ｐ２（図３ではピラー１３の－Ｘ側）のピラー１３から離れた第２フィン１４ｂ同士の間にもロウ材３０が進入する場合がある。この結果、図３に示すように、外側領域Ｐ２における流路がロウ材３０で埋まることがある。しかしながら、先述の通り外側領域Ｐ２における冷媒の圧力および流速は小さいため、外側領域Ｐ２における流路がロウ材３０で埋まっても、中央領域Ｐ１における流路がロウ材３０で埋まることと比較して、冷却性能に与える影響は小さい。

【0043】

なお、本発明の技術的範囲は前記実施形態に限定されず、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において種々の変更を加えることが可能である。

【0044】

例えば、前記実施形態では、第１フィン１４ａの上下方向Ｚにおける寸法を第２フィン１４ｂより小さくすることで、スペースＧを形成した。しかしながら、例えば図４に示すように、第２プレート２０に溝２１ｂを形成することでスペースＧを形成してもよい。図４では、溝２１ｂは、第２プレート２０の頂壁２１における下面２１ａから、上方に向けて窪んでいる。そして、溝２１ｂは並列方向Ｘにおいてピラー１３と隣接する位置に形成されている。第１フィン１４ａおよび第２フィン１４ｂの上下方向Ｚにおける長さは同等である。この場合、フィン１４のうち、溝２１ｂと並列方向Ｘにおける位置が一致した第１フィン１４ａと、第２プレート２０と、の間にスペースＧが設けられる。すなわち、溝２１ｂによりスペースＧが形成されるため、スペースＧの流路断面積Ａ２は溝２１ｂの流路断面積であり、スペースＧの上下方向Ｚにおける寸法Ｌ１は溝２１ｂの深さである。このような構成でも、前記実施形態と同様の作用効果が得られる。また、第２プレート２０に溝２１ｂを形成する場合も、前記実施形態と同様に、第１フィン１４ａは、第２フィン１４ｂおよびピラー１３よりも上下方向Ｚにおける寸法が小さくなっているほうが好ましい。すなわち、第１フィン１４ａの上端は、第２フィン１４ｂおよびピラー１３の各上端よりも下方に位置しているほうが好ましい。

【0045】

また、前記実施形態では、第１フィン１４ａおよびスペースＧを中央領域Ｐ１に設け、外側領域Ｐ２に設けなかった。しかしながら、例えば流路がロウ材で埋まることによる冷却性能の低下の度合いが、中央領域Ｐ１と外側領域Ｐ２とで同等である場合に、外側領域Ｐ２に第１フィン１４ａおよびスペースＧを設けることも可能である。

【0046】

その他、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で、上記した実施形態における構成要素を周知の構成要素に置き換えることは適宜可能であり、また、上記した実施形態や変形例を適宜組み合わせてもよい。

【符号の説明】

【0047】

１…コールドプレート １０…第１プレート １３…ピラー １４…フィン １４ａ…第１フィン １４ｂ…第２フィン Ｇ…スペース Ｐ１…中央領域 Ｐ２…外側領域 Ｘ…並列方向 Ｙ…長手方向 Ｚ…上下方向

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】