特許 6999614 支持部材

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2021-12-24

(45)【発行日】2022-01-18

(54)【発明の名称】支持部材

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/683 20060101AFI20220111BHJP

   F16J 15/10 20060101ALI20220111BHJP

【ＦＩ】

H01L21/68 N

F16J15/10 A

F16J15/10 D

F16J15/10 T

【請求項の数】 11

(21)【出願番号】P 2019137858

(22)【出願日】2019-07-26

(65)【公開番号】P2021022646

(43)【公開日】2021-02-18

【審査請求日】2020-06-03

(73)【特許権者】

【識別番号】000229564

【氏名又は名称】株式会社バルカー

(74)【代理人】

【識別番号】110001195

【氏名又は名称】特許業務法人深見特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】辻 和明

(72)【発明者】

【氏名】櫻井 貴史

【審査官】鈴木 孝章

(56)【参考文献】

【文献】実開平０３－１２７８６６（ＪＰ，Ｕ）

【文献】特開２００６－２２０２２９（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００８－０４７８４１（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｈ０１Ｌ ２１／６８３

Ｆ１６Ｊ １５／１０

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

環状に形成された溝部が設けられた搬送台の前記溝部に取り付けられることが可能であり、かつ、前記溝部に取り付けられた状態で搬送物を支持する支持部材であって、
前記溝部内に保持される被保持部と、
環状に形成されており、前記被保持部が前記溝部内に保持された状態において前記搬送台から離間した位置において前記搬送物を支持する支持部と、を備え、
前記被保持部及び前記支持部は、前記支持部の中心軸と平行な方向に並んでおり、
前記支持部は、前記搬送物を支持する支持面を有し、
前記支持面は、平坦に形成されており、
前記被保持部は、前記搬送台に対して前記支持部が傾斜するように前記溝部内において回転可能に構成されている、支持部材。

【請求項2】

前記支持面には、ガス抜き流路が形成されており、
前記ガス抜き流路は、前記支持面のうち前記支持部の径方向における内側の端部から外側の端部に至るように延びる形状を有し、
前記支持部のうち前記ガス抜き流路が形成された部位の厚さは、前記支持部のうち前記ガス抜き流路が形成されていない部位の厚さよりも小さい、請求項１に記載の支持部材。

【請求項3】

前記支持部は、前記搬送台に対向する対向部を有し、
前記対向部は、前記支持面と平行に形成されている、請求項１又は２に記載の支持部材。

【請求項4】

前記支持面は、
前記支持部の径方向の内側に形成された内側支持面と、
前記支持部の径方向の外側でかつ前記内側支持面と面一に形成された外側支持面と、を有し、
前記支持部は、前記内側支持面と前記外側支持面との間に形成されており、前記内側支持面及び前記外側支持面のいずれか一方の支持面が他方の支持面に対して傾斜するのを許容する脆弱部を有する、請求項１から３のいずれかに記載の支持部材。

【請求項5】

前記径方向における前記内側支持面の長さは、前記径方向における前記外側支持面の長さと同じである、請求項４に記載の支持部材。

【請求項6】

前記脆弱部は、少なくとも１つの凹溝を有し、
前記少なくとも１つの凹溝は、前記内側支持面及び前記外側支持面から前記被保持部に向かって窪むとともに、前記内側支持面及び前記外側支持面間において前記支持部の周方向に沿って延びる形状を有する、請求項４又は５に記載の支持部材。

【請求項7】

前記被保持部は、前記溝部の開口よりも大きな外形を有する、請求項１から６のいずれかに記載の支持部材。

【請求項8】

前記支持部の中心を通りかつ前記支持部と直交する断面における前記被保持部の外形は、円形に形成されている、請求項１から７のいずれかに記載の支持部材。

【請求項9】

前記被保持部と前記支持部とを連結する連結部をさらに備え、
前記連結部は、前記被保持部に対して前記支持部が傾斜するのを許容するように弾性変形する、請求項１から８のいずれかに記載の支持部材。

【請求項10】

前記被保持部は、当該被保持部の径方向の寸法が前記溝部の開口よりも大きな膨出部を有し、
前記径方向における前記連結部の寸法は、前記径方向における前記膨出部の寸法よりも小さく、かつ、前記径方向における前記支持部の寸法よりも小さい、請求項９に記載の支持部材。

【請求項11】

前記被保持部は、当該被保持部の径方向の寸法が前記溝部の開口よりも大きな膨出部を有し、
前記径方向における前記支持部の寸法は、前記径方向における前記膨出部の寸法よりも小さい、請求項１から８のいずれかに記載の支持部材。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

この発明は、支持部材に関する。

【背景技術】

【0002】

例えば、特開２０１９－３９４４６号公報（以下、「特許文献１」という。）には、ウエハ等の精密部材を筐体上に支持するシール部材が開示されている。筐体には、環状に形成された溝部が設けられている。シール部材は、環状に形成されている。シール部材は、溝部に収容される装着部と、装着部の径方向において装着部の内側に設けられたシール部と、装着部とシール部とを連結する連結部と、を有している。シール部は、円弧状に形成された上面部と、円弧状に形成された下面部と、を有している。上面部は、精密部材を支持する。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【文献】特開２０１９－３９４４６号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

特許文献１に記載されるシール部材では、ウエハ等の搬送物が搬送台に対して傾いたときにシール部材と搬送物との接触箇所が少なくなるため、シール部材による搬送物の支持状態が不安定になる場合がある。

【0005】

本発明の目的は、搬送台に対して搬送物が傾いたときにおける搬送物の支持状態の安定化を達成可能な支持部材を提供することである。

【課題を解決するための手段】

【0006】

本発明の一局面に従った支持部材は、環状に形成された溝部が設けられた搬送台の前記溝部に取り付けられることが可能であり、かつ、前記溝部に取り付けられた状態で搬送物を支持する支持部材であって、前記溝部内に保持される被保持部と、環状に形成されており、前記被保持部が前記溝部内に保持された状態において前記搬送台から離間した位置において前記搬送物を支持する支持部と、を備え、前記被保持部は、前記搬送台に対して前記支持部が傾斜するように前記溝部内において回転可能に構成されている。

【0007】

この支持部材では、被保持部は、搬送台に対して前記支持部が傾斜するように前記溝部内において回転可能に構成されているため、搬送台に対して搬送物が傾いた場合、支持部がその傾きに追従することにより、支持部材と搬送物との接触箇所、すなわち、搬送物の安定的な支持状態が確保される。

【0008】

前記被保持部は、前記溝部の開口よりも大きな外形を有することが好ましい。

【0009】

このようにすれば、被保持部が溝部内に装着されることにより、搬送台に対して搬送物が傾いた場合における支持部材の搬送台からの離脱が抑制される。

【0010】

また、前記支持部の中心を通りかつ前記支持部と直交する断面における前記被保持部の外形は、円形に形成されていることが好ましい。

【0011】

このようにすれば、溝部内における被保持部の回転が円滑になる。

【0012】

また、前記支持部材は、前記被保持部と前記支持部とを連結する連結部をさらに備えてもよい。この場合において、前記連結部は、前記被保持部に対して前記支持部が傾斜するのを許容するように弾性変形することが好ましい。

【0013】

この態様では、連結部が被保持部に対して支持部が傾斜するのを許容するように弾性変形するため、搬送台に対して搬送物が傾いた場合における支持部の追従性が高まる。

【0014】

また、前記被保持部は、当該被保持部の径方向の寸法が前記溝部の開口よりも大きな膨出部を有していてもよい。この場合において、前記径方向における前記連結部の寸法は、前記径方向における前記膨出部の寸法よりも小さく、かつ、前記径方向における前記支持部の寸法よりも小さいことが好ましい。

【0015】

このようにすれば、上記の効果が有効に得られる。

【0016】

あるいは、前記径方向における前記支持部の寸法は、前記径方向における前記膨出部の寸法よりも小さくてもよい。

【0017】

この態様では、径方向における支持部材の寸法の小型化が可能となる。

【0018】

また、前記支持部は、前記搬送物を支持する支持面を有し、前記支持面は、前記支持部の径方向の内側に形成された内側支持面と、前記支持部の径方向の外側でかつ前記内側支持面と面一に形成された外側支持面と、を有し、前記支持部は、前記内側支持面と前記外側支持面との間に形成されており、前記内側支持面及び前記外側支持面のいずれか一方の支持面が他方の支持面に対して傾斜するのを許容する脆弱部を有することが好ましい。

【0019】

このようにすれば、搬送台に対して搬送物が傾斜した場合に、内側支持面及び外側支持面のいずれか一方の支持面が搬送物の傾斜に追従するため、搬送物の安定的な支持状態がより確実に確保される。

【0020】

また、前記脆弱部は、少なくとも１つの凹溝を有し、前記少なくとも１つの凹溝は、前記内側支持面及び前記外側支持面から前記被保持部に向かって窪むとともに、前記内側支持面及び前記外側支持面間において前記支持部の周方向に沿って延びる形状を有することが好ましい。

【0021】

このようにすれば、上記の効果が有効に得られる。

【発明の効果】

【0022】

以上に説明したように、この発明によれば、搬送台に対して搬送物が傾いたときにおける搬送物の支持状態の安定化を達成可能な支持部材を提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【0023】

【図1】本発明の第１実施形態の支持部材を概略的に示す平面図である。

【図2】図１におけるＩＩ－ＩＩ線での断面図である。

【図3】図１におけるＩＩＩ－ＩＩＩ線での断面図である。

【図4】図１に示される支持部材及び搬送台の断面図である。

【図5】搬送台に対して搬送物が少し傾いた状態を概略的に示す断面図である。

【図6】図５に示される状態から搬送台に対して搬送物がさらに傾いた状態を概略的に示す断面図である。

【図7】本発明の第２実施形態の支持部材を概略的に示す平面図である。

【図8】図７におけるＶＩＩＩ－ＶＩＩＩ線での断面図である。

【図9】図７におけるＩＸ－ＩＸ線での断面図である。

【図10】図７に示される支持部材及び搬送台の断面図である。

【発明を実施するための形態】

【0024】

この発明の実施形態について、図面を参照して説明する。なお、以下で参照する図面では、同一またはそれに相当する部材には、同じ番号が付されている。

【0025】

（第１実施形態）
図１は、本発明の第１実施形態の支持部材を概略的に示す平面図である。図２は、図１におけるＩＩ－ＩＩ線での断面図である。図３は、図１におけるＩＩＩ－ＩＩＩ線での断面図である。図４は、図１に示される支持部材及び搬送台の断面図である。

【0026】

図１～図４に示されるように、本実施形態の支持部材１は、搬送台２に取り付けられた状態でウエハ等の搬送物３を支持する部材である。搬送台２には、環状に形成された溝部２ａが設けられている。溝部２ａは、いわゆるあり溝形に形成されている。具体的に、溝部２ａは、底部２ｂと、一対の側壁２ｃと、を有している。底部２ｂは、環状でかつ平坦に形成されている。一対の側壁２ｃは、底部２ｂから起立する形状を有している。各側壁２ｃは、底部２ｂから開口に向かうにしたがって次第に互いに近づくように傾斜する形状を有している。

【0027】

支持部材１は、溝部２ａに取り付けられた状態で搬送物３を支持する。図１～図３に示されるように、支持部材１は、環状に形成されている。支持部材１は、フッ素ゴム等の弾性部材からなる。支持部材１は、被保持部１０と、支持部２０と、連結部３０と、を有している。

【0028】

被保持部１０は、溝部２ａに保持される部位である。被保持部１０は、溝部２ａの開口よりも大きな外形を有している。図４に示されるように、被保持部１０は、膨出部１２を有しており、被保持部１０の径方向における膨出部１２の寸法ｄ１は、同方向における溝部２ａの開口の寸法ｄ２よりも大きい。本実施形態では、支持部材１の中心Ａ（図１～図３を参照）を通りかつ支持部材１と直交する直交断面（図４に示される断面）における被保持部１０の外形は、円形に形成されている。ただし、直交断面における被保持部１０の外形は、円形に限られない。被保持部１０は、溝部２ａ内において、回転可能である。

【0029】

支持部２０は、搬送物３を支持する部位である。支持部２０は、環状に形成されている。支持部２０は、搬送物３を支持する支持面２０ｓを有している。支持面２０ｓは、支持部２０の上端面で構成されている。支持面２０ｓは、平坦に形成されている。支持面２０ｓは、被保持部１０が溝部２ａ内で回転することにより、搬送台２に対して傾斜する。換言すれば、被保持部１０は、搬送台２に対して支持部２０の支持面２０ｓが傾斜するように溝部２ａ内において回転可能に構成されている。支持面２０ｓは、内側支持面２０ｓ１と、外側支持面２０ｓ２と、を有している。

【0030】

内側支持面２０ｓ１は、径方向の内側に形成された支持面である。外側支持面２０ｓ２は、径方向の外側でかつ内側支持面２０ｓ１と面一に形成された支持面である。本実施形態では、直交断面において、径方向における内側支持面２０ｓ１の長さと径方向における外側支持面２０ｓ２の長さとは、同じに設定されている。

【0031】

支持部２０は、脆弱部２２を有している。脆弱部２２は、内側支持面２０ｓ１と外側支持面２０ｓ２との間に形成されている。図５及び図６に示されるように、脆弱部２２は、内側支持面２０ｓ１及び外側支持面２０ｓ２のいずれか一方の支持面が他方の支持面に対して傾斜するのを許容する。脆弱部２２は、少なくとも１つの凹溝を有している。本実施形態では、脆弱部２２は、単一の凹溝を有している。凹溝は、内側支持面２０ｓ１及び外側支持面２０ｓ２から被保持部１０に向かって窪むとともに、内側支持面２０ｓ１及び外側支持面２０ｓ２間において支持部２０の周方向に沿って延びる形状を有している。

【0032】

図４に示されるように、支持部２０は、搬送台２に対向する対向部２４を有している。対向部２４は、支持面２０ｓと平行に形成されている。

【0033】

図１及び図３に示されるように、支持面２０ｓには、ガス抜き流路２０ｄが形成されている。ガス抜き流路２０ｄは、支持面２０ｓのうち径方向における内側の端部から外側の端部に至るように延びる形状を有している。支持部２０のうちガス抜き流路２０ｄが形成された部位の厚さｔ２（図３を参照）は、支持部２０のうちガス抜き流路２０ｄが形成されていない部位の厚さｔ１（図２を参照）よりも小さい。すなわち、支持面２０ｓは、ガス抜き流路２０ｄが形成された部分を除き、周方向に沿って円環状となるように形成されている。

【0034】

連結部３０は、被保持部１０が溝部２ａ内に保持された状態において支持部２０が搬送台２から離間した位置に位置するように被保持部１０と支持部２０とを連結する部位である。換言すれば、連結部３０は、搬送台２と対向部２４との間に隙間ｇを形成する部位である。

【0035】

連結部３０は、被保持部１０に対して支持部２０の支持面２０ｓが傾斜するのを許容するように弾性変形する。本実施形態では、径方向における連結部３０の寸法ｄ３は、径方向における膨出部１２の寸法ｄ１よりも小さく、かつ、径方向における支持部２０の寸法ｄ４よりも小さく設定されている。径方向における支持部２０の寸法ｄ４は、径方向における膨出部１２の寸法ｄ１よりも大きい。

【0036】

対向部２４と搬送台２との隙間ｇは、搬送物３が内側支持面２０ｓ１及び外側支持面２０ｓ２のいずれか一方の支持面にのみ接触するように搬送台２に対して傾斜した状態（図６に示される状態）において、対向部２４が搬送台２に接触しない程度に設定される。

【0037】

以上に説明したように、本実施形態の支持部材１は、溝部２ａの開口よりも大きな外形を有する被保持部１０を備えているため、この被保持部１０が溝部２ａ内に装着されることにより、搬送台２に対して搬送物３が傾いた場合における支持部材１の搬送台２からの離脱が抑制され、さらに、被保持部１０は、搬送台２に対して支持部２０が傾斜するように溝部２ａ内において回転可能に構成されているため、搬送台２に対して搬送物３が傾いた場合、支持部２０がその傾きに追従することにより、支持部材１と搬送物３との接触箇所、すなわち、搬送物３の安定的な支持状態が確保される。

【0038】

加えて、連結部３０は、被保持部１０に対して支持部２０が傾斜するのを許容するように弾性変形するため、搬送台２に対して搬送物３が傾いた場合における支持部２０の追従性が高まる。

【0039】

また、支持部２０は、脆弱部２２を有しているため、搬送台２に対して搬送物３が傾斜した場合に、内側支持面２０ｓ１及び外側支持面２０ｓ２のいずれか一方の支持面が搬送物３の傾斜に追従しながら当該搬送物３を支持する。このため、搬送物３の安定的な支持状態がより確実に確保される。

【0040】

（第２実施形態）
次に、図７から図１０を参照しながら、本発明の第２実施形態の支持部材１について説明する。なお、第２実施形態では、第１実施形態と異なる部分についてのみ説明を行い、第１実施形態と同じ構造、作用及び効果の説明は繰り返さない。

【0041】

本実施形態では、支持部材１は、被保持部１０及び支持部２０のみを備えている。被保持部１０の形状は、第１実施形態のそれと同じである。支持部２０は、被保持部１０の上端部に接続されている。図１０に示されるように、径方向における支持部２０の寸法ｄ４は、径方向における膨出部１２の寸法ｄ１よりも小さい。この態様では、径方向における支持部材１の寸法が第１実施形態のそれに比べて小さくなる。

【0042】

なお、今回開示された実施形態はすべての点で例示であって、制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は、上記した実施形態の説明ではなく特許請求の範囲によって示され、さらに特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれる。

【0043】

例えば、第１実施形態において、連結部３０は、被保持部１０の硬度及び支持部２０の硬度よりも小さな硬度を有する材料からなってもよい。

【0044】

また、脆弱部２２の構成は、上記実施形態の例に限られない。脆弱部２２は、内側支持面２０ｓ１及び外側支持面２０ｓ２のいずれか一方の支持面が他方の支持面に対して傾斜するのを許容する範囲で適宜変更されることが可能である。例えば、脆弱部２２は、同心円状に並ぶ複数の凹溝で構成されてもよい。

【0045】

また、ガス抜き流路２０ｄは、省略されてもよい。この場合、支持面２０ｓ及び凹溝が円環状に連続的につながる形状に形成される。

【符号の説明】

【0046】

１ 支持部材、２ 搬送台、２ａ 溝部、３ 搬送物、１０ 被保持部、１２ 膨出部、２０ 支持部、２０ｄ ガス抜き流路、２０ｓ 支持面、２０ｓ１ 内側支持面、２０ｓ２ 外側支持面、２２ 脆弱部、２４ 対向部、３０ 連結部、ｇ 隙間。

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】