特許6999899IP Force 特許公報全文掲載

技術分野

透明導電膜付きガラスシート、透明導電膜付きガラスロール、及びその製造方法

発明が解決しようとする課題[発明の詳細な説明]から抜粋

しかしながら、特許文献1のように、ITOなどのターゲット物質をスパッタリングによりフレキシブル基板上に成膜する場合、フレキシブル基板に曲げ応力が生じた際などに、容易に導電膜やフレキシブル基板が容易に破損するという問題がある。そのため、このような導電膜が形成されたフレキシブル基板の保管やハンドリングの際には、高い破損のリスクを伴うこととなる。特に、特許文献1のように、巻回体(ロール)の形態で製造や使用をする場合には、その傾向が顕著であった。

課題を解決するための手段[発明の詳細な説明]から抜粋

本発明の透明導電膜付きガラスシートは、ガラスシートと、前記ガラスシートの主面上に設けられた非晶質の透明導電膜と、を備えることを特徴としている。

発明の効果[発明の詳細な説明]から抜粋

本発明によれば、巻回体の形態で製造や使用をした場合においても、破損が生じ難い、透明導電膜付きガラスシートを提供することができる。

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この特許公報に記載されている図面[図面の簡単な説明]から抜粋

【図1】 本発明の一透明導電膜付きガラスシートを示す模式的断面図である。
【図2】 本発明の一透明導電膜付きガラスロールを示す模式図である。
【図3】 本発明の一透明導電膜付きガラスロールの製造方法を説明するための模式図である。
【図4】 本発明の一透明導電膜付きガラスシートの製造方法を説明するための模式図である。
【図5】 反りの評価方法を説明するための模式図である。
【図6】 実施例7の分光透過率曲線を示す図である。
【図7】 リング・オン・クランプドリング試験の方法を説明するための模式的断面図である。
【図8】 リング・オン・クランプドリング試験の結果を示すグラフである。

代表図 図1本件の代表的な図

1…透明導電膜付きガラスシート 1a…透明導電膜付きガラスシートサンプル 2…ガラスシート 2a…第1の主面 2a1…成膜部 2b…第2の主面 3…透明導電膜 10…透明導電膜付きガラスロール 10a,21a…巻芯 10b,21b…保護フィルム 20…成膜装置 21…ガラスロール 22…スパッタ源 23…冷却ローラ 23a…ローラ本体 23a1…軸部 23b…配管 24…真空チャンバ 30…搬送装置 40…切断装置 50…平板 61…上側リング 62…上円板 63…下円板

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