特許7000721プラズマ光源

発明の名称　プラズマ光源

出願人　株式会社ＩＨＩ　（識別番号 99）

　　　　特許公開件数ランキング 334 位（97件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 171 位（168件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-7000721

公報発行日　2022年1月19

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_B1-7000721

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