特許7002747スパッタ付着防止具

発明の名称　スパッタ付着防止具

出願人　株式会社ワイテック　（識別番号 500213915）

　　　　特許公開件数ランキング 1219 位（0件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 1250 位（0件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-7002747

公報発行日　2022年1月20

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_B1-7002747

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