特許 7002781 バブル水生成装置およびバブル水生成方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B1)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2022-01-05

(45)【発行日】2022-01-20

(54)【発明の名称】バブル水生成装置およびバブル水生成方法

(51)【国際特許分類】

   B01F 25/21 20220101AFI20220113BHJP

   B01F 23/20 20220101ALI20220113BHJP

   C01B 13/10 20060101ALI20220113BHJP

【ＦＩ】

B01F5/02 A

B01F3/04 Z

C01B13/10 D

【請求項の数】 7

(21)【出願番号】P 2020145835

(22)【出願日】2020-08-31

【審査請求日】2020-08-31

(73)【特許権者】

【識別番号】000114891

【氏名又は名称】ヤマト科学株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100083806

【弁理士】

【氏名又は名称】三好 秀和

(74)【代理人】

【識別番号】100101247

【弁理士】

【氏名又は名称】高橋 俊一

(74)【代理人】

【識別番号】100095500

【弁理士】

【氏名又は名称】伊藤 正和

(74)【代理人】

【識別番号】100098327

【弁理士】

【氏名又は名称】高松 俊雄

(72)【発明者】

【氏名】山口 義二

(72)【発明者】

【氏名】百瀬 八州

【審査官】塩谷 領大

(56)【参考文献】

【文献】特開２０１０－０４２３３８（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１６－１０４４７４（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１８－１９９１２２（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｂ０１Ｆ ５／０２

Ｂ０１Ｆ ３／０４

Ｃ０１Ｂ １３／１０

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

配管路を介して互いに接続された、液体を一時的に貯留する複数のタンクと、
少なくとも、前記配管路を介して繋がる一方のタンクと他方のタンクとの間に所定の圧力差を設定する圧力設定部と、
を備え、
前記圧力設定部により、前記他方のタンク内の圧力が真空状態とされ、前記一方のタンク内の圧力が常圧状態とされると共に、前記配管路を介して、前記一方のタンクから前記他方のタンクへの前記液体の移動を繰り返すことによって、所定数のウルトラファインバブルを含むバブル水を生成することを特徴とするバブル水生成装置。

【請求項2】

配管路を介して互いに接続された、液体を一時的に貯留する複数のタンクと、
少なくとも、前記配管路を介して繋がる一方のタンクと他方のタンクとの間に所定の圧力差を設定する圧力設定部と、
を備え、
前記圧力設定部によって、前記一方のタンク内の圧力と前記他方のタンク内の圧力とを交互に切り換えながら、前記配管路を介して、前記一方のタンクと前記他方のタンクとの間で前記液体の移動を繰り返すことにより、所定数のウルトラファインバブルを含むバブル水を生成することを特徴とするバブル水生成装置。

【請求項3】

配管路を介して互いに接続された、液体を一時的に貯留する複数のタンクと、
少なくとも、前記配管路を介して繋がる一方のタンクと他方のタンクとの間に所定の圧力差を設定する圧力設定部と、
を備え、
前記圧力設定部によって、前記一方のタンク内の圧力と前記他方のタンク内の圧力とを交互に切り換えながら、前記一方のタンクから前記他方のタンクへの前記液体の移動と前記他方のタンクから前記一方のタンクへの前記液体の移動とを、異なる配管路を介して、繰り返し行うことにより、所定数のウルトラファインバブルを含むバブル水を生成することを特徴とするバブル水生成装置。

【請求項4】

前記圧力設定部により、前記他方のタンク内の圧力が真空状態とされ、前記一方のタンク内の圧力が常圧状態とされることを特徴とする請求項２または３に記載のバブル水生成装置。

【請求項5】

前記一方のタンクおよび前記他方のタンクには、所望のガスをそれぞれ供給するガス供給装置が共通に接続されていることを特徴とする請求項１から３のいずれか１項に記載のバブル水生成装置。

【請求項6】

前記ガス供給装置は、所望のガスとしてオゾンガスを供給することを特徴とする請求項５に記載のバブル水生成装置。

【請求項7】

前記請求項１から６のいずれかに記載のバブル水生成装置によって、ウルトラファインバブルを含むバブル水を生成することを特徴とするバブル水生成方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、ナノバブルとも称されるウルトラファインバブル（ＵＦＢ）を含有するＵＦＢ水を生成するバブル水生成装置およびバブル水生成方法に関する。

【背景技術】

【0002】

従来、気泡の粒径が極めて小さな微細気泡を含有するバブル水を生成する装置として、微細気泡発生システムが知られている（例えば、特許文献１参照）。

【0003】

この微細気泡発生システムは、液体を吸引する液体吸引部と液体を吐出する液体吐出部とを有するポンプを備えている。そして、ポンプの液体吸引部側には、循環用配管を介して気泡混入部が取り付けられ、液体吐出部側には、循環用配管を介して気泡分裂部が取り付けられている。

【0004】

上記の微細気泡発生システムによれば、小さな出力のポンプであっても、気泡の粒径が極めて小さな微細気泡を発生させることが可能であった。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0005】

【文献】特開２００７－２０９９５３号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0006】

しかしながら、上記した微細気泡発生システムの場合、せん断力を得るために、ポンプを液体の循環ライン内に配置する必要があった。このため、液体の循環中は陽極と陰極の環境（発生と破壊）が発生しやすく、微細気泡の発生数が飽和してしまうという課題があった。

【0007】

本発明は、上記に鑑みてなされたもので、その目的とするところは、陰圧環境下でのみせん断力を連続して得ることができ、バブル発生数が飽和するのを抑えて、より多くのバブルを発生させることができるバブル水生成装置およびバブル水生成方法を提供することにある。

【課題を解決するための手段】

【0008】

上記課題を達成するため、本発明の一態様のバブル水生成装置は、配管路を介して互いに接続された、液体を一時的に貯留する複数のタンクと、少なくとも、前記配管路を介して繋がる一方のタンクと他方のタンクとの間に所定の圧力差を設定する圧力設定部と、を備え、前記圧力設定部により、前記他方のタンク内の圧力が真空状態とされ、前記一方のタンク内の圧力が常圧状態とされると共に、前記配管路を介して、前記一方のタンクから前記他方のタンクへの前記液体の移動を繰り返すことによって、所定数のウルトラファインバブルを含むバブル水を生成することを特徴とする。
本発明の他の態様のバブル水生成装置は、配管路を介して互いに接続された、液体を一時的に貯留する複数のタンクと、少なくとも、前記配管路を介して繋がる一方のタンクと他方のタンクとの間に所定の圧力差を設定する圧力設定部と、を備え、前記圧力設定部によって、前記一方のタンク内の圧力と前記他方のタンク内の圧力とを交互に切り換えながら、前記配管路を介して、前記一方のタンクと前記他方のタンクとの間で前記液体の移動を繰り返すことにより、所定数のウルトラファインバブルを含むバブル水を生成することを特徴とする。
本発明の他の態様のバブル水生成装置は、配管路を介して互いに接続された、液体を一時的に貯留する複数のタンクと、少なくとも、前記配管路を介して繋がる一方のタンクと他方のタンクとの間に所定の圧力差を設定する圧力設定部と、を備え、前記圧力設定部によって、前記一方のタンク内の圧力と前記他方のタンク内の圧力とを交互に切り換えながら、前記一方のタンクから前記他方のタンクへの前記液体の移動と前記他方のタンクから前記一方のタンクへの前記液体の移動とを、異なる配管路を介して、繰り返し行うことにより、所定数のウルトラファインバブルを含むバブル水を生成することを特徴とする。

【0009】

本発明の他の態様のバブル水生成方法は、一態様のバブル水生成装置によって、ナノバブル水を生成することを特徴とする。

【発明の効果】

【0010】

本発明によれば、陰圧環境下でのみせん断力を連続して得ることができ、バブル発生数が飽和するのを抑えて、より多くのバブルを発生させることが可能なバブル水生成装置およびバブル水生成方法を提供できる。

【図面の簡単な説明】

【0011】

【図1】本発明の一実施形態に係るバブル水生成装置が適用されるオゾンＵＦＢ（ウルトラファインバブル）水生成システムの構成例を示す概略図である。

【図2】一実施形態に係るオゾンＵＦＢ水生成システムの制御回路を例示するブロック図である。

【図3A】一実施形態に係るオゾンＵＦＢ水生成システムの動作例を示すフローチャート（その１）である。

【図3B】一実施形態に係るオゾンＵＦＢ水生成システムの動作例を示すフローチャート（その２）である。

【図3C】一実施形態に係るオゾンＵＦＢ水生成システムの動作例を示すフローチャート（その３）である。

【図4】（ａ）～（ｄ）は、一実施形態に係るオゾンＵＦＢ水生成システムの動作例を示す概略図である。

【図5】本発明の他の実施形態に係るバブル水生成装置が適用されるオゾンＵＦＢ水生成システムの構成例を、一部を断面にして示す概略図である。

【発明を実施するための形態】

【0012】

以下、図面を参照して、本発明に係る実施の形態について説明する。なお、本実施形態において、図面は、発明の概要を模式的に示すものであって、実際のものとは異なるものであることに留意すべきである。

【0013】

＜一実施形態＞
図１は、本発明の一実施形態に係るバブル水生成装置が適用されるオゾンＵＦＢ水生成システム１の概略構成を、一部を断面にして模式的に示すものである。

【0014】

本実施形態に係るオゾンＵＦＢ水生成システム１は、例えば、バブル（微細気泡）の粒径がナノレベルとされ、所望のガスとしてオゾンガスを供給するオゾンガス供給装置により、オゾンＵＦＢ水（オゾンナノバブル水）を生成するものとして説明する。

【0015】

図１に示すように、本実施形態のオゾンＵＦＢ水生成システム１は、真空ポンプ（圧力設定部）１６と、該真空ポンプ１６によって内部の圧力状態が制御される複数（一方または他方）のタンク１０Ａ，１０Ｂと、を備えている。また、一方または他方のタンク１０Ａ，１０Ｂ間に配設された専用のＵＦＢノズル（配管路）２０Ａ，２０Ｂと、一方または他方のタンク１０Ａ，１０Ｂと真空ポンプ１６との間に配設された減圧路３０Ａ，３０Ｂと、を備えている。

【0016】

本実施形態においては、例えば、チャンバーである一方または他方のタンク１０Ａ，１０Ｂ、真空ポンプ１６、ＵＦＢノズル２０Ａ，２０Ｂ、および、減圧路３０Ａ，３０Ｂなどによって、減圧開放式のバブル水生成装置が構成されている。

【0017】

そして、一方または他方のタンク１０Ａ，１０Ｂには、それぞれ、ガス供給装置としての、後述する共通のガスタンク１８からオゾンガス（Ｏ_３）が供給されるガス供給路４０Ａ，４０Ｂが接続されている。

【0018】

なお、一方または他方のタンク１０Ａ，１０Ｂには、圧力計１４Ａ，１４Ｂや、ガス供給路４０Ａ，４０Ｂにそれぞれ繋がる気液混合器１２Ａ，１２Ｂなどが設けられている。気液混合器１２Ａ，１２Ｂとしては、一方または他方のタンク１０Ａ，１０Ｂ内にそれぞれ設けられる場合に限らず、例えば、ＵＦＢノズル２０Ａ，２０Ｂ上にそれぞれ設けることも可能である（図４、図５参照）。

【0019】

真空ポンプ１６は、一方または他方のタンク１０Ａ，１０Ｂの内部圧力を減圧制御するものである。例えば、一方または他方のタンク１０Ａ，１０Ｂのいずれか一方を減圧状態（－０．１ｍｐａ程度）に設定するとともに、一方または他方のタンク１０Ａ，１０Ｂのいずれか他方を真空状態に設定するようになっている。

【0020】

なお、真空ポンプに限らず、例えば、一方または他方のタンク１０Ａ，１０Ｂのいずれか一方を加圧状態に設定するとともに、一方または他方のタンク１０Ａ，１０Ｂのいずれか他方を常圧状態に設定するものであっても良い。

【0021】

一方または他方のタンク１０Ａ，１０Ｂは、例えば、所定の容量（１００ｍｌ～２Ｌ程度）を有し、所定量（１０ｃｃ～１０００ｃｃ程度）の純水などの液体ＢＷが一時的に貯留される。

【0022】

ここで、一方または他方のタンク１０Ａ，１０Ｂは、真空ポンプ１６の作用により、陰圧環境下でのみ、液体ＢＷに対するせん断力を連続して得ることが可能とされている。即ち、タンク１０Ａ，１０Ｂ間をＵＦＢノズル２０Ａ，２０Ｂを介して交互に液体ＢＷが移動されることに伴って、逐次、１００ｎｍ～２００ｎｍ程度の粒径とされた多数のバブルを、その発生数を飽和させることなしに連続的に発生させることが可能とされている。したがって、本実施形態に係るオゾンＵＦＢ水生成システム１によれば、より多くのバブルを発生させることができ、より多くのオゾンＵＦＢを含有するバブル水の生成が容易に可能となる。

【0023】

しかも、液体ＢＷの移動がポンプを介さずに可能とされることにより、ポンプ内の塵などの異物が液体ＢＷに混入したりするのを防止できる。また、ポンプの余熱による液体ＢＷの温度上昇も防止できる。

【0024】

ＵＦＢノズル２０Ａ，２０Ｂにおいて、例えば、タンク１０Ａ内の液体ＢＷをタンク１０Ｂに移動させるための専用ノズル部２１Ａには、開閉（オン／オフ）用の弁２２Ａが設けられている。同様に、例えば、タンク１０Ｂ内の液体ＢＷをタンク１０Ａに移動させるための専用ノズル部２１Ｂには、開閉用の弁２２Ｂが設けられている。

【0025】

なお、図１においては、便宜上、ＵＦＢノズル２０Ａ，２０Ｂを上下方向（垂直方向）に配置した構成として図示しているが、実際は、同一の高さレベル（水平方向）に配置することが望ましい。

【0026】

特に、ＵＦＢノズル２０Ａ，２０Ｂを共通化し、１本のＵＦＢノズルを介して、タンク１０Ａ，１０Ｂ間における液体ＢＷの移動を行うように構成することも可能である。

【0027】

また、切換え用の弁３２を介して、真空ポンプ１６に繋がる、減圧路３０Ａには開閉（オン／オフ）用の弁３１Ａが、減圧路３０Ｂには開閉用の弁３１Ｂが、それぞれ設けられている。

【0028】

さらに、流量計１７および切換え用の弁４２を介して、ガスタンク１８に繋がる、ガス供給路４０Ａには開閉用（オン／オフ）の弁４１Ａが、ガス供給路４０Ｂには開閉用の弁４１Ｂが、それぞれ設けられている。

【0029】

図２は、オゾンＵＦＢ水生成システム１の制御回路を例示するブロック図である。

【0030】

即ち、本実施形態に係るオゾンＵＦＢ水生成システム１は、例えば図２に示すように、制御部１１、該制御部１１に繋がる操作入力部１３、圧力計１４Ａ，１４Ｂ、真空ポンプ１６、弁切替器１５、記憶部１９、および、ガス供給装置（図示省略）などを備える。

【0031】

操作入力部１３は、例えば、操作者がバブル水生成時に操作するもので、液体ＢＷの移動回数や、発生させるバブルの粒径、または、生成するバブル水のオゾン濃度などを設定したり、システムの稼働および停止などを指示（入力）したりするためのものである。

【0032】

記憶部１９は、操作入力部１３から入力された各種の設定値などを記憶するためのもので、液体ＢＷの移動回数とバブルの含有量または粒径との関係などを予め記憶するようにしても良い。

【0033】

制御部１１は、操作入力部１３の指示に応じて、ガス供給装置や真空ポンプ１６のスタート／ストップを制御したり、圧力計１４Ａ，１４Ｂや流量計１７の出力に基づいて、弁切替器１５を制御したりするようになっている。

【0034】

弁切替器１５は、制御部１１の指示にしたがって、弁２２Ａ，２２Ｂ、弁３１Ａ，３１Ｂ、弁３２、弁４１Ａ，４１Ｂ、および、弁４２の、オン（開）／オフ（閉）の切り替えや開度の調整などを行う。

【0035】

ガス供給装置は、ガスタンク１８より濃度が１ｐｐｍ～１０ｐｐｍ程度のオゾンガスを供給することが可能とされている。オゾンガスの供給時、一方または他方のタンク１０Ａ，１０Ｂの内部圧力は、真空ポンプ１６によって所定の減圧状態とされる。

【0036】

次に、本実施形態に係るオゾンＵＦＢ水生成システム１の動作について説明する。

【0037】

図３Ａ～図３Ｃは、オゾンＵＦＢ水生成システム１の動作例を示すフローチャートであり、図４（ａ）～図４（ｄ）は、オゾンＵＦＢ水生成システム１の動作例を示す概略図である。なお、図４（ａ）～図４（ｄ）においては、それぞれの気液混合器１２Ａ，１２Ｂを、ＵＦＢノズル２０Ａ，２０Ｂ上に設けるようにした場合について例示している。

【0038】

即ち、オゾンＵＦＢ水生成システム１によって、所定数のオゾンＵＦＢを含有するバブル水を生成する場合、まずは、操作者により操作入力部１３から液体ＢＷの移動回数の設定（例えば、１～２０回程度）などが行わる。そして、設定値が記憶部１９へと格納などされた後、バブル水生成開始の指示が入力される（図３ＡのステップＳ０１）。

【0039】

すると、制御部１１は、弁切替器１５を制御して、ＵＦＢノズル２０Ａ，２０Ｂの弁２２Ａ，２２Ｂを共にオフにする（ステップＳ０２）。

【0040】

この状態で、制御部１１は、真空ポンプ１６をスタートさせ（ステップＳ０３）、さらに、弁切替器１５を制御して、弁３２および減圧路３０Ａの弁３１Ａをオンさせる（ステップＳ０４）。

【0041】

これにより、例えば図４（ａ）に示すように、液体ＢＷが貯留されているタンク１０Ａ内の圧力が減圧状態とされる（ステップＳ０５）。

【0042】

該タンク１０Ａ内が所定の減圧状態となったことが圧力計１４Ａの出力から判断されると、制御部１１は、弁切替器１５を制御して、弁３２およびガス供給路３０Ａの弁３１Ａ（図示省略）をオフさせる。また、制御部１１は、弁切替器１５を制御して、弁４２およびガス供給路４０Ａの弁４１Ａ（図示省略）をオンさせる（ステップＳ０６）。その際、流量計１７の出力が所定値となるように、弁４２，４１Ａの開度が制御される。

【0043】

すると、タンク１０Ａにガスタンク１８からのオゾンガスが供給されて、タンク１０Ａ内がオゾンガスにより満たされることによって、タンク１０Ａ内の圧力が常圧状態とされる（ステップＳ０７）。

【0044】

次いで、制御部１１は、弁切替器１５を制御して、弁３２および減圧路３０Ｂの弁３１Ｂ（図示省略）をオンさせる（図３ＢのステップＳ０８）。

【0045】

すると、液体ＢＷが貯留されていないタンク１０Ｂ内の圧力が徐々に減圧状態とされる（ステップＳ０９）。

【0046】

そして、該タンク１０Ｂ内が真空状態となったことが圧力計１４Ｂの出力から判断されると（ステップＳ１０のＹＥＳ）、制御部１１は、弁切替器１５を制御して、一方のＵＦＢノズル２０Ａの弁２２Ａをオンにする（ステップＳ１１）。

【0047】

これにより、例えば図４（ｂ）に示すように、タンク１０Ａ内の液体ＢＷが、気液混合器１２Ａなどを介して、タンク１０Ｂへと移動される（ステップＳ１２）。この移動により、液体ＢＷに対して、陰圧環境下でのせん断力が付与される。

【0048】

こうして、全ての液体ＢＷのタンク１０Ｂへの移動が完了したことが確認されると（ステップＳ１３のＹＥＳ）、制御部１１により、上記ステップＳ０１において設定された移動回数をクリアしたか否かが判断される（ステップＳ１４）。

【0049】

制御部１１が設定された移動回数をクリアしていないと判断した場合（ステップＳ１４のＮＯ）、処理が図３ＣのステップＳ１５に移行され、クリアしていると判断した場合（ステップＳ１４のＹＥＳ）、処理は終了される。

【0050】

即ち、設定された移動回数に応じて液体ＢＷがタンク１０Ａ，１０Ｂ間を移動することにより、バブルの粒径が１００ｎｍ～２００ｎｍレベルとされた所定数のオゾンＵＦＢを含有するオゾンＵＦＢ水の生成が行われて、一連の処理が終了される。

【0051】

これに対し、設定された移動回数をクリアしていないと判断した場合、制御部１１は、弁切替器１５を制御して、弁２２Ａ，４１Ａ，３１Ｂをオフさせるとともに、弁４１Ｂ，３１Ａをオンさせる（ステップＳ１５）。

【0052】

これにより、例えば図４（ｃ）に示すように、液体ＢＷが貯留されているタンク１０Ｂ内の圧力が常圧状態とされる。

【0053】

また、液体ＢＷが貯留されていないタンク１０Ａ内の圧力が減圧状態とされる（ステップＳ１６）。

【0054】

そして、該タンク１０Ａ内が真空状態となったことが圧力計１４Ａの出力から判断されると（ステップＳ１７のＹＥＳ）、制御部１１は、弁切替器１５を制御して、他方のＵＦＢノズル２０Ｂの弁２２Ｂをオンにする（ステップＳ１８）。

【0055】

これにより、例えば図４（ｄ）に示すように、タンク１０Ｂ内の液体ＢＷが、気液混合器１２Ｂなどを介して、タンク１０Ａへと移動される（ステップＳ１９）。この移動により、液体ＢＷに対して、陰圧環境下でのせん断力が付与される。

【0056】

こうして、全ての液体ＢＷのタンク１０Ａへの移動が完了したことが確認されると（ステップＳ２０のＹＥＳ）、制御部１１により、上記ステップＳ０１において設定された移動回数をクリアしたか否かが判断される（ステップＳ２１）。

【0057】

制御部１１が設定された移動回数をクリアしていると判断した場合（ステップＳ２１のＹＥＳ）、処理は終了される。

【0058】

クリアしていないと判断した場合には（ステップＳ２１のＮＯ）、処理が図３ＣのステップＳ０２に移行される。そして、設定された移動回数をクリアし、所定数のバブルを含有するオゾンＵＦＢが得られるまで、該ステップＳ０２以降の処理が繰り返される。

【0059】

このようにして、図４（ａ）～図４（ｄ）に示すように、設定された回数に応じて液体ＢＷがタンク１０Ａ，１０Ｂ間の移動を繰り返すことによって、より多くのオゾンＵＦＢを含有するオゾンＵＦＢ水の生成が容易に可能となる。

【0060】

上記したように、本実施形態によれば、陰圧環境下でのみせん断力を連続して得ることができ、バブル発生数が飽和するのを抑えて、より多くのバブルを発生させることが可能となる。

【0061】

即ち、タンク１０Ａ，１０Ｂ内の圧力を交互に切り換えながら、タンク１０Ａ，１０Ｂ間での液体ＢＷの移動を繰り返すことによって、バブル発生数が飽和することなしに、より多くのバブルを発生させることが可能となる。これにより、最終的にオゾンＵＦＢ水が含有するオゾンＵＦＢの量（数）を増加させることが可能となる。したがって、液体ＢＷがタンク１０Ａ，１０Ｂ間を移動するごとに、１００ｎｍ～２００ｎｍ程度の粒径を有するオゾンＵＦＢを、より多く含有するオゾンＵＦＢ水を容易に生成することが可能となる。

【0062】

なお、本実施形態においては、便宜上、液体ＢＷのタンク１０Ｂからタンク１０Ａへの移動の際に、タンク１０Ｂへのオゾンガスの供給を省略したが、実際は供給する構成とするのが望ましい。

【0063】

＜他の実施形態＞
以上、実施の形態を例示して本発明の一態様について説明したが、一例であり、特許請求の範囲に記載される発明の範囲は、発明の要旨を逸脱しない範囲内で種々変更できるものである。

【0064】

例えば図５に示すように、３つのタンク１０Ａ，１０Ｂ，１０Ｃを環状に配置し、各タンク１０Ａ，１０Ｂ，１０Ｃ内の圧力を弁３２，３３のオン／オフにより制御するとともに、ガスの供給を弁４２，４３のオン／オフにより制御する構成としても良い。

【0065】

即ち、本実施形態の場合においては、まず、一方のタンク１０Ａと他方のタンク１０Ｂとの間に所定の圧力差を確保した状態において、タンク１０Ａ，１０Ｂ間のＵＦＢノズルを介して、一方のタンク１０Ａから他方のタンク１０Ｂへと液体ＢＷの移動を行う。次に、一方のタンク１０Ｂと他方のタンク１０Ｃとの間に所定の圧力差を確保した状態において、タンク１０Ｂ，１０Ｃ間のＵＦＢノズルを介して、一方のタンク１０Ｂから他方のタンク１０Ｃへと液体ＢＷの移動を行う。次いで、一方のタンク１０Ｃと他方のタンク１０Ａとの間に所定の圧力差を確保した状態において、タンク１０Ｃ，１０Ａ間のＵＦＢノズルを介して、一方のタンク１０Ｃから他方のタンク１０Ａへと液体ＢＷの移動を行う。こうして、各タンク１０Ａ，１０Ｂ，１０Ｃ間において、液体ＢＷの移動を繰り返すことによって、所定数のＵＦＢを含むオゾンＵＦＢ水（オゾンナノバブル水）を生成することも可能である。

【0066】

なお、タンクは３つに限らず、多くのタンクを用いることによって、バブル水の生成に係るスループットをより向上させることが可能である。

【0067】

また、いずれの実施形態においても、ガスとしては、オゾンガスに限らず、例えば、水素、酸素、または、医療用ガスなど、バブル水の用途に応じて適宜適用可能である。

【符号の説明】

【0068】

１ オゾンＵＦＢ水生成システム
１０Ａ，１０Ｂ，１０Ｃ タンク
１１ 制御部
１２Ａ，１２Ｂ，１２Ｃ 気液混合器
１４Ａ，１４Ｂ 圧力計
１５ 弁切替器
１６ 真空ポンプ
１８ ガスタンク
２０Ａ，２０Ｂ ＵＦＢノズル（配管路）
２２Ａ，２２Ｂ．２２Ｃ 弁
３０Ａ，３０Ｂ 減圧路
４０Ａ，４０Ｂ ガス供給路
ＢＷ 液体

【要約】

【課題】陰圧環境下でのみせん断力を連続して得ることができ、バブル発生数が飽和するのを抑えて、より多くのバブルを発生できるようにする。
【解決手段】オゾンＵＦＢ水生成システム１は、真空ポンプ１６と、液体ＢＷが貯留されるとともに、減圧状態から常圧状態に制御される一方のタンク１０Ａ（１０Ｂ）と、真空ポンプ１６によって真空状態に制御されるとともに、一方のタンク１０Ａ（１０Ｂ）に貯留された液体ＢＷが移動される他方のタンク１０Ｂ（１０Ａ）と、を備え、一方のタンク１０Ａ（１０Ｂ）と他方のタンク１０Ｂ（１０Ａ）との間において液体ＢＷの移動を繰り返すことにより、所定数のオゾンＵＦＢを含むオゾンＵＦＢ水を生成する。
【選択図】図１

【図1】

【図2】

【図3A】

【図3B】

【図3C】

【図4】

【図5】