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特許7004336撮影アセンブリおよびそのパッケージング方法、レンズモジュール、電子機器
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(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】特許公報(B2)
(11)【特許番号】
(24)【登録日】2022-01-06
(45)【発行日】2022-01-21
(54)【発明の名称】撮影アセンブリおよびそのパッケージング方法、レンズモジュール、電子機器
(51)【国際特許分類】
   H01L 25/18 20060101AFI20220114BHJP
   H01L 25/04 20140101ALI20220114BHJP
   G02B 7/02 20210101ALI20220114BHJP
   H01L 23/02 20060101ALI20220114BHJP
   H04N 5/225 20060101ALI20220114BHJP
   H04N 5/335 20110101ALI20220114BHJP
   H01L 27/146 20060101ALI20220114BHJP
【FI】
H01L25/04 Z
G02B7/02 Z
H01L23/02 F
H04N5/225 700
H04N5/335
H01L27/146 D
【請求項の数】 23
(21)【出願番号】P 2019568346
(86)(22)【出願日】2018-12-10
(65)【公表番号】
(43)【公表日】2021-04-30
(86)【国際出願番号】 CN2018119984
(87)【国際公開番号】W WO2020103211
(87)【国際公開日】2020-05-28
【審査請求日】2019-12-06
(31)【優先権主張番号】201811386733.8
(32)【優先日】2018-11-20
(33)【優先権主張国・地域又は機関】CN
(73)【特許権者】
【識別番号】519437928
【氏名又は名称】中芯集成電路(寧波)有限公司上海分公司
【氏名又は名称原語表記】NINGBO SEMICONDUCTOR INTERNATIONAL CORPORATION(SHANGHAI BRANCH)
【住所又は居所原語表記】Room 309, Area C, F3, Building 1,No.95, Lane 85, Cailun Road, China(Shanghai) Pilot Free Trade Zone, Shanghai 201210 China
(74)【代理人】
【識別番号】110002468
【氏名又は名称】特許業務法人後藤特許事務所
(72)【発明者】
【氏名】陳 達
(72)【発明者】
【氏名】劉 孟彬
【審査官】正山 旭
(56)【参考文献】
【文献】中国特許出願公開第103456754(CN,A)
【文献】特開2007-123351(JP,A)
【文献】特開2006-005612(JP,A)
【文献】特開2016-100573(JP,A)
【文献】中国特許出願公開第106206485(CN,A)
【文献】中国特許出願公開第103700634(CN,A)
【文献】中国特許出願公開第107958881(CN,A)
【文献】中国実用新案第203895459(CN,U)
【文献】中国特許出願公開第105244359(CN,A)
【文献】米国特許出願公開第2012/0038813(US,A1)
(58)【調査した分野】(Int.Cl.,DB名)
H01L 27/146
G02B 7/02
H01L 23/02
H01L 25/18
H04N 5/225
H04N 5/335
(57)【特許請求の範囲】
【請求項1】
撮像アセンブリのパッケージング方法であって、
感光性チップを提供する工程と
前記感光性チップにフィルタを貼り付ける工程と
キャリア基板を提供し、前記キャリア基板に前記感光性チップと機能素子とを仮ボンディングする工程と
前記感光性チップと前記機能素子との間に充填される封止層を前記キャリア基板に形成し、前記封止層の厚みが前記感光性チップ及び前記機能素子のうち厚みの大きい方以下である工程と
前記キャリア基板を除去する工程と、を有し、
各工程を有する前記撮像アセンブリのパッケージング方法によって製造された前記撮像アセンブリの前記封止層の底面において、前記感光性チップと前記機能素子を外部へ露出することを特徴とする、パッケージング方法。
【請求項2】
請求項1に記載のパッケージング方法であって、
前記感光性チップと前記機能素子とはいずれもボンディングパッドを有し、
前記仮ボンディング工程では、前記ボンディングパッドがいずれも前記キャリア基板の反対側向き
または、前記感光性チップのボンディングパッドが前記キャリア基板の反対側向き、前記機能素子のボンディングパッドが前記キャリア基板を向き、
または、前記ボンディングパッドがいずれも前記キャリア基板に向かう
ことを特徴とする、パッケージング方法。
【請求項3】
請求項1に記載のパッケージング方法であって、
前記封止層を形成する工程では、前記封止層が前記感光性チップと前記機能素子の間に充填され、
または、前記封止層が前記キャリア基板、前記機能素子及び前記感光性チップを覆うとともに、前記フィルタを露出させる
ことを特徴とする、パッケージング方法。
【請求項4】
請求項1に記載のパッケージング方法であって、
前記感光性チップと前記機能素子とはいずれもボンディングパッドを有し、
前記封止層を形成する工程では、前記封止層が前記ボンディングパッドを露出させ、
前記封止層を形成した後、さらに、リードワイヤボンディングプロセスにより、前記ボンディングパッドに電気的に接続されたリードワイヤを形成することを含む
ことを特徴とする、パッケージング方法。
【請求項5】
請求項4に記載のパッケージング方法であって、
前記仮ボンディング工程では、前記ボンディングパッドがいずれも前記キャリア基板の反対側向き
前記封止層を形成する工程では、前記封止層が前記感光性チップと前記機能素子の間に充填され、
前記封止層の前記フィルタに近い方の側に、前記リードワイヤボンディングプロセスを実施する
ことを特徴とする、パッケージング方法。
【請求項6】
請求項1に記載のパッケージング方法であって、
射出成形プロセスにより前記封止層を形成することを特徴とする、パッケージング方法。
【請求項7】
請求項6に記載のパッケージング方法であって、前記封止層を形成する工程が、
前記仮ボンディング工程の後、前記キャリア基板を上型と下型とを有する金型内に置き、前記上型と前記下型のいずれか一方に凹溝が形成され、
前記キャリア基板を前記上型と前記下型との間に置き、
型締め後、前記金型を前記感光性チップ、前記機能素子及び前記キャリア基板にプレスするとともに、前記フィルタを前記凹溝内に置き、前記上型と前記下型の間においてキャビティを形成させ、
前記キャビティ内に封止材を注入して前記封止層を形成し、
前記金型を取り除くことを含む
ことを特徴とする、パッケージング方法。
【請求項8】
請求項1に記載のパッケージング方法であって、
前記パッケージング方法は、さらに、前記封止層を形成した後、剥離処理を行い、前記キャリア基板を取り除く工程を有することを特徴とする、パッケージング方法。
【請求項9】
請求項4に記載のパッケージング方法であって、
前記リードワイヤボンディングプロセスの後、さらに、剥離処理を行い、前記キャリア基板を取り除く、
または、
前記封止層を形成した後、前記リードワイヤボンディングプロセスの前に、さらに、剥離処理を行い、前記キャリア基板を取り除くことを含む
ことを特徴とする、パッケージング方法。
【請求項10】
請求項4に記載のパッケージング方法であって、
前記パッケージング方法は、さらに、
前記リードワイヤボンディングプロセスの前に、前記封止層にFPC基板を貼り付け、
前記リードワイヤボンディングプロセスの工程では、前記リードワイヤが前記感光性チップとFPC基板とを電気的に接続することを含む、
ことを特徴とする、パッケージング方法。
【請求項11】
請求項1に記載のパッケージング方法であって、
前記機能素子と前記感光性チップの間の厚さの差が-2μmから2μmであることを特徴とする、パッケージング方法。
【請求項12】
請求項1に記載のパッケージング方法であって、
前記感光性チップと機能素子は、仮ボンディング層により前記キャリア基板に仮ボンディングされることを特徴とする、パッケージング方法。
【請求項13】
請求項8に記載のパッケージング方法であって、
熱剥離プロセスにより前記剥離処理を行うことを特徴とする、パッケージング方法。
【請求項14】
撮像アセンブリであって、
封止層、及び前記封止層に嵌め込まれる感光ユニットと機能素子を備え、
前記感光ユニットが感光性チップと前記感光性チップに貼り付けられたフィルタを有し
前記感光性チップと前記機能素子とが同一平面上に位置し、前記封止層の厚みが前記感光性チップ及び前記機能素子のうち厚みの大きい方以下であり、前記封止層の底面において前記感光性チップと前記機能素子を外部へ露出させることを特徴とする撮像アセンブリ。
【請求項15】
請求項14に記載の撮像アセンブリであって、
前記感光性チップと前記機能素子とはいずれもボンディングパッドを有し、
前記ボンディングパッドがいずれも前記封止層の底面の反対側向き
または、前記感光性チップのボンディングパッドが前記封止層の底面の反対側向き、前記機能素子のボンディングパッドが前記封止層の底面を向き、
または、前記ボンディングパッドがいずれも前記封止層の底面を向く
ことを特徴とする撮像アセンブリ。
【請求項16】
請求項14に記載の撮像アセンブリであって、
前記封止層の上面と底面がいずれも前記感光性チップと前記機能素子を露出させ、
または、前記封止層の底面が前記感光性チップと前記機能素子を露出させ、前記封止層の上面が前記感光性チップと前記機能素子より高く且つ前記フィルタを露出させる
ことを特徴とする撮像アセンブリ。
【請求項17】
請求項14に記載の撮像アセンブリであって、
前記感光性チップと前記機能素子とはいずれもボンディングパッドを有し、
前記封止層が前記ボンディングパッドを露出させ、
前記撮像アセンブリがさらに、前記ボンディングパッドに電気的に接続するリードワイヤを有することを特徴とする撮像アセンブリ。
【請求項18】
請求項17に記載の撮像アセンブリであって、
前記ボンディングパッドがいずれも前記封止層の底面の反対側向き
前記封止層の上面と底面がいずれも前記感光性チップと前記機能素子を露出させ、
前記リードワイヤが前記封止層の上面の一方側に位置する
ことを特徴とする撮像アセンブリ。
【請求項19】
請求項14に記載の撮像アセンブリであって、
前記機能素子と感光性チップの間の厚さの差が-2μmから2μmであることを特徴とする撮像アセンブリ。
【請求項20】
請求項14に記載の撮像アセンブリであって、
前記機能素子が周辺チップと受動部品のうちの少なくとも一方を含み、前記周辺チップがデジタルシグナルプロセッサチップとメモリチップのうちの一方または両方を含むことを特徴とする撮像アセンブリ。
【請求項21】
請求項17に記載の撮像アセンブリであって、
前記撮像アセンブリは、さらに、前記封止層に貼り付けられたFPC基板を有し、
前記リードワイヤが前記感光性チップとFPC基板とを電気的に接続する
ことを特徴とする撮像アセンブリ。
【請求項22】
請求項14から21のいずれか一項に記載の撮像アセンブリと、
前記封止層の上面に貼り付けられ且つ前記感光ユニットと前記機能素子を取り囲むホルダーを有し、前記感光性チップ及び前記機能素子に電気的に接続するレンズアセンブリとを、
有することを特徴とするレンズモジュール。
【請求項23】
請求項22に記載のレンズモジュールを有する、ことを特徴とする電子機器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明の実施形態がレンズモジュール分野に関し、特に、撮影アセンブリおよびそのパッケージング方法、レンズモジュール、電子機器に関する。
【背景技術】
【0002】
人々の生活水準が向上し続け、アマチュアの生活がより豊富になるにつれて、写真は旅行や様々な日常生活を記録するための一般的な手段となり、撮影機能を有する電子機器(例えば、携帯電話、タブレットPC、カメラなど)が人々の日常生活や仕事に多く適用され、撮影機能を備えた電子機器は今日の人々にとって不可欠なツールとなっている。
【0003】
撮影機能を有する電子機器は、一般に、レンズモジュールを有するものであり、レンズモジュールの設計レベルは、撮影品質を決定する重要な要素の一つである。レンズモジュールは、通常、感光性チップを有する撮影アセンブリと、前記撮影アセンブリの上方に固定され被写体の映像を形成するためのレンズアセンブリとを含む。
【0004】
そして、レンズモジュールの結像能力を高めるために、相応的に、より大きな結像面積を有する感光性チップが必要とされており、また、通常、前記レンズモジュールには抵抗、コンデンサなどの受動要素および周辺チップが配置されている。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0005】
本発明の実施形態は、撮影アセンブリおよびそのパッケージング方法、レンズモジュール、電子機器を提供し、レンズモジュールの使用機能を向上させ、レンズモジュールの全体厚さを減少させることを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【0006】
上記課題を解決するために、本発明の実施形態は、撮影アセンブリのパッケージング方法を提供し、下記のような工程、即ち、感光性チップを提供し、前記感光性チップにフィルタを貼り付け、キャリア基板を提供し、前記キャリア基板に感光性チップと機能素子とを仮ボンディングし、前記キャリア基板にパッケージング層を形成し、前記パッケージング層は少なくとも前記感光性チップと前記機能素子の間に充填されることを有する。
【0007】
それに応じ、本発明の実施形態は、撮影アセンブリを提供し、パッケージング層及び前記パッケージング層に嵌め込まれた感光装置と機能素子とを有し、前記感光装置が感光性チップと前記感光性チップに貼り付けられたフィルタを有し、少なくとも、前記パッケージング層の底面が前記感光性チップと機能素子を露出させる。
【0008】
相応的に、本発明の実施形態は、一種のレンズモジュールを提供し、本発明の実施形態に記載の撮影アセンブリと、前記パッケージング層の上面に貼り付けられ且つ前記感光装置と機能素子を取り囲むホルダーを有し、前記感光性チップと機能素子とを電気的に接続するレンズアセンブリとを、有する。
【0009】
相応的に、本発明の実施形態は、本発明の実施形態に記載のレンズモジュールを有する電子機器を提供する。
【発明の効果】
【0010】
従来技術と比べ、本発明の実施形態の技術方案は下記のメリットがある:
本発明の実施形態は感光性チップと機能素子とをパッケージング層に集積し、機能素子を周辺メインボードに貼り付ける方案と比べ、本発明の実施形態は感光性チップと機能素子の間の距離を短縮させたので、感光性チップと機能素子の間の電気的接続する距離の短縮に寄与でき、信号伝送速度を向上させ、レンズモジュールの使用機能(例えば、撮影速度と記憶速度の向上)を向上させるとともに、前記パッケージング層により、回路基板(例えば、PCB)を省略できる分、レンズモジュールの全体の厚さを減少させ、レンズモジュールの小型化、薄型化への要求を満たすことができる。
【0011】
選択可能な方案として、リードワイヤボンディング(wire bond)プロセスにより感光性チップと機能素子のボンディングパッドとを電気的に接続して、電気的接続プロセスと現在パッケージングプロセスとの適合性を向上させるとともに、パッケージングコストを引き下げることができる。
【図面の簡単な説明】
【0012】
図1図1は、本発明の撮影アセンブリのパッケージング方法の一実施形態における各工程に対応する構成見取図である。
図2図2は、本発明の撮影アセンブリのパッケージング方法の一実施形態における各工程に対応する構成見取図である。
図3図3は、本発明の撮影アセンブリのパッケージング方法の一実施形態における各工程に対応する構成見取図である。
図4図4は、本発明の撮影アセンブリのパッケージング方法の一実施形態における各工程に対応する構成見取図である。
図5図5は、本発明の撮影アセンブリのパッケージング方法の一実施形態における各工程に対応する構成見取図である。
図6図6は、本発明の撮影アセンブリのパッケージング方法の一実施形態における各工程に対応する構成見取図である。
図7図7は、本発明の撮影アセンブリのパッケージング方法の一実施形態における各工程に対応する構成見取図である。
図8図8は、本発明の撮影アセンブリのパッケージング方法の一実施形態における各工程に対応する構成見取図である。
図9図9は、本発明の撮影アセンブリのパッケージング方法の一実施形態における各工程に対応する構成見取図である。
図10図10は、本発明の撮影アセンブリのパッケージング方法の一実施形態における各工程に対応する構成見取図である。
図11図11は、本発明の撮影アセンブリのパッケージング方法の一実施形態における各工程に対応する構成見取図である。
図12図12は、本発明の撮影アセンブリのパッケージング方法のもう一実施形態における各工程に対応する構成見取図である。
図13図13は、本発明の撮影アセンブリのパッケージング方法のもう一実施形態における各工程に対応する構成見取図である。
図14図14は、本発明の撮影アセンブリのパッケージング方法のさらなる一実施形態における各工程に対応する構成見取図である。
図15図15は、本発明の撮影アセンブリのパッケージング方法のさらなる一実施形態における各工程に対応する構成見取図である。
図16図16は、本発明の撮影アセンブリのパッケージング方法のさらなる一実施形態における各工程に対応する構成見取図である。
図17図17は、本発明のレンズモジュールの一実施形態の構成見取図である。
図18図18は、本発明の電子機器の一実施形態の構成見取図である。
【発明を実施するための形態】
【0013】
現在、レンズモジュールの使用性能の向上が望まれる一方、レンズモジュールがレンズモジュールの小型化、薄型化への要求を満たすことは困難である。その原因は下記のように挙げられる。
【0014】
従来のレンズモジュールは、主に、回路基板、感光性チップ、機能素子(例えば、周辺チップ)及びレンズアセンブリとにより組み立てられ構成されて、通常、周辺チップが周辺メインボードに貼り付けられ、感光性チップと機能素子とは離れている。また、前記回路基板が前記感光性チップ、機能素子およびレンズアセンブリを支持するとともに、前記回路基板により前記感光性チップと機能素子とレンズモジュールとの電気的接続を実現する。
【0015】
しかしながら、高画素および超薄型レンズモジュールへの要求に伴って、レンズモジュールの結像要求がますます高くなり、感光性チップの面積が増大し、機能素子もそれに応じて増加し、レンズモジュールのサイズがますます大きくしまうので、レンズモジュールの小型化および薄型化への要求を満たすことは困難である。
【0016】
また、感光性チップは通常レンズモジュール内のホルダーの内部に配置され、周辺チップは通常ホルダーの外部に配置されるので、前記周辺チップと感光性チップとの間にはある程度の距離があり、それによって信号伝送速度が低下する。前記周辺チップは、通常、デジタルシグナルプロセッサ(digital signal processor,DSP)チップとメモリチップとを含むので、撮影速度および記憶速度に悪影響を及ぼしやすく、それによってレンズモジュールの使用性能を低下させる。
【0017】
上記課題を解決するために、本発明の実施形態は感光性チップと機能素子とをパッケージング層に集積し、機能素子を周辺メインボードに貼り付ける方案と比べ、本発明の実施形態は感光性チップと機能素子の間の距離を短縮させたので、感光性チップと機能素子の間の電気的接続する距離の短縮に寄与でき、信号伝送速度を向上させ、レンズモジュールの使用機能(例えば、撮影速度と記憶速度の向上)を向上させるとともに、前記パッケージング層により、回路基板を省略できる分、レンズモジュールの全体の厚さを減少させ、レンズモジュールの小型化、薄型化への要求を満たすことができる。
【0018】
本発明の上記の目的、特徴、および利点をわかりやすくするために、図面を参照して本発明の実施の形態を説明する。
【0019】
図1図9は、本発明の撮影アセンブリのパッケージング方法の一実施形態における各工程に対応する構成見取図である。
【0020】
図1を参照し、感光性チップ200を提供する。
【0021】
前記感光性チップ200がイメージセンサチップである。この実施形態では、感光性チップ200はCMOSイメージセンサ(CMOS image sensor,CIS)チップである。他の実施形態では、前記感光性チップはCCD(charge coupled device,電荷結合素子)イメージセンサチップでもよい。
【0022】
具体的には、前記感光性チップ200は、感光領域200Cと、前記感光領域200Cを囲む周辺領域200Eとを含む。前記感光性チップ200の光信号受信面201は前記感光領域200Cに位置し、前記感光性チップ200は前記光信号受信面201を介して感知光放射信号を受信する。
【0023】
前記感光性チップ200は複数の画素部を含むので、感光性チップ200は複数の半導体感光素子(図示せず)と、前記半導体感光素子に位置した複数のフィルタリングフィルム(図示せず)とを含み、フィルタリングフィルムが光信号受信面201で受信された光信号を選択的に吸収し通過させることに使用される。
【0024】
前記感光性チップ200は前記フィルタリングフィルムに位置したマイクロレンズ210をさらに含み、前記マイクロレンズ210は前記半導体感光素子と一対一に対応し、受信された光放射信号光は半導体感光素子に集束される。前記光信号受信面201が、相応的にマイクロレンズ210の上面に当たる。
【0025】
説明する必要があるが、前記感光性チップ200は一般的にシリコンベースのチップであり、集積回路製造技術によって製造され、他のチップまたは部品と電気的に接続するためのボンディングパッドを有する。本実施形態では、前記感光性チップ200は周辺領域200Eに形成された第1チップボンディングパッド220を有する。
【0026】
本実施形態では、前記光信号受信面201と同じ側の感光性チップ200の面が前記第1のチップボンディングパッド220を露出させる。他の実施形態では、前記感光性チップの前記光信号受信面とは反対側の面が、前記第1チップボンディングパッドを露出させる。
【0027】
図2ないし図4を参照し、図3図2に示される一つのフィルタの拡大図であり、前記感光性チップ200(図4に示す)にフィルタ400が貼り付けれ(図4に示す)、感光装置250が形成される(図4に示す)。
【0028】
前記感光性チップ200がフィルタ400を向いた光信号受信面201(図4に示す)を有し、フィルタ400と感光性チップ200との貼り付けが先に実現されることにより、後のパッケージングプロセスによる光信号受信面201への汚染が避けられ、それに応じ、後のパッケージングプロセスによる感光性チップ200の性能への悪影響も避けられる。また、貼り付け方式により、後続のレンズモジュールの全体厚さを顕著に減らし、レンズモジュールの小型化、薄型化への要求を満たすことができる。
【0029】
レンズモジュールの正常な機能を実現するために、前記フィルタ400は、赤外フィルタリングガラスまたは完全透明ガラスであってよい。本実施形態では、前記フィルタ400は赤外フィルタリングガラスであり、入射光のうちの赤外線が前記感光チップ200の性能に与える影響を排除するためにも用いられており、結像効果の向上に有利である。
【0030】
具体的には、前記フィルタ400は赤外線カットフィルタ(infrared cut filter,IRCF)であり、前記赤外線カットフィルタは青色ガラス赤外線カットフィルタであってもよく、あるいは、前記赤外線カットフィルタはガラス及び前記ガラスの表面上に配置されたIRカットコーティング(IR cut coating)を含んでもよい。
【0031】
本実施形態では、前記フィルタ400は、ボンディング用面401を有する。前記ボンディング用面401が感光性チップ200との貼り付けの面であり、即ち、前記感光性チップ200を向くための面である。
【0032】
具体的には、前記フィルタ400が青色ガラス赤外線カットフィルタである場合に、青色ガラス赤外線カットフィルタの一表面にARフィルム又は反射防止フィルムがメッキされ、前記ARフィルム又は反射防止フィルムの表面に背向する面が前記ボンディング用面401である。前記フィルタ400がガラス及び前記ガラスの表面上に配置されたIRカットコーティングを含む場合に、前記IRカットコーティングに背向するガラスの表面が前記ボンディング用面401である。他の実施形態では、前記フィルタが完全透明ガラスである場合、前記完全透明ガラスの任意の表面が前記ボンディング用面である。
【0033】
図3に示すように、前記フィルタ400は、光透過領域400Cと、前記光透過領域400Cを囲むエッジ領域400Eとを含む。レンズモジュールが形成された後、前記フィルタ400の光透過領域400Cは外部入射光を透過させるように構成され、感光性チップ200の光信号受信面201が光信号を受信する。前記エッジ領域400Eはフィルタ400と感光性チップ200の貼り付けを実現するために空間的位置を確保する。
【0034】
図4に示めされるように、本実施形態では、前記フィルタ400は、接着構造410を介して感光性チップ200に貼り付けられ、前記接着構造410は前記感光性チップ200の光信号受信面201を囲んでいる。
【0035】
前記接着構造410はフィルタ400と感光性チップ200との物理的接続を実現するために用いられる。フィルタ400、接着構造410および感光性チップ200によりキャビティ(図示せず)が形成され、フィルタ400と感光性チップ200との直接接触を避けることにより、感光性チップ200の性能に悪影響を及ぼすことを防止する。
【0036】
本実施形態では、前記接着構造410が前記光信号受信面201を取り囲むので、前記光信号受信面201の上方のフィルタ400が前記感光性チップ200の感光経路に位置したので、前記感光性チップ200の光学的性能は保証されている。
【0037】
本実施形態では、前記接着構造410の材料はフォトリソグラフィ可能な材料であるので、フォトリソグラフィ加工により接着構造410が形成することができる。これは前記接着構造410の形態品質(morphology quality)および寸法精度を改善し、パッケージング効率と生産性を改善するのに役立つだけでなく、フォトリソグラフィ加工により前記接着構造410の接合強度への影響を低減することもできる。
【0038】
本実施形態では、前記接着構造410の材料はフォトリソグラフィ可能なドライフィルム(dry film)である。他の実施形態では、前記接着構造の材料はフォトリソグラフィ可能なポリイミド(polyimide)、フォトリソグラフィ可能なポリベンゾオキサゾール(PBO)またはフォトリソグラフィ可能なベンゾシクロブテン(BCB)でもよい。
【0039】
前記接着構造410は感光性チップ200に形成されてもよいし、フィルタ400に形成されてもよいことに留意されたい。本実施形態では、前記接着構造410を形成する際の加工上の困難さを軽減し、工程を簡略化し、前記接着構造410の形成工程が光信号受信面201に与える影響を低減するために、前記フィルタ400に前記接合構造410が形成される。
【0040】
よって、前記感光装置250を形成する工程は、下記のとおりである。
【0041】
引き続き図2を参照し、第1キャリア基板340を提供し、前記感光性チップ400の前記ボンディング用面401とは反対側の面を、前記第1キャリア基板340に仮ボンディングする。
【0042】
前記第1のキャリア基板340は、前記フィルタ400と感光性チップ200との貼り付け工程のためにプロセスプラットフォームとして提供され、それによってプロセスの操作性を改善する。この実施形態では、前記第1のキャリア基板340はキャリアウェハ(carrier wafer)である。他の実施形態では、前記第1のキャリア基板は他のタイプの基板でもよい。
【0043】
具体的には、第1の仮ボンディング層345を介してフィルタ400を第1のキャリア基板340に仮ボンディングする。前記第1の仮ボンディング層345は後の剥離(de-bonding)を容易にするための剥離層として使用される。
【0044】
本実施形態では、第1の仮ボンディング層345は発泡フィルムである。発泡フィルムは、対向した微粘着面および発泡面を含み、発泡フィルムは常温では粘着性を有し且つ発泡面が第1のキャリア基板340に貼り付けられ、発泡フィルムを加熱して発泡面に粘着性を失わせ、それにより剥離が達成される。
【0045】
他の実施形態では、前記第1の仮ボンディング層はダイアタッチフィルム(die attach film,DAF)としてもよい。
【0046】
引き続き図2を参照し、前記フィルタ400を第1キャリア基板340に仮ボンディングしてから、前記フィルタ400のエッジ領域400E(図3に示す)に環状の接着構造410を形成する。
【0047】
具体的には、前記接着構造410を形成する工程は、前記フィルタ400と第1の仮ボンディング層345を覆う接着材料層(図示せず)を形成し、フォトリソグラフィにより前記接着材料層をパターン化し、前記エッジ領域400Eの残った接着材料層を保留し前記接着構造410とする。
【0048】
引き続き図4を参照し、前記感光性チップ200の光信号受信面201を環状の接着構造410に向かせ、前記感光性チップの周辺区域200E(図1に示す)を環状の接着構造410に貼り付け、前記感光装置250を形成する。
【0049】
本実施形態では、前記感光装置250を形成した後、前記第1チップボンディングパッド220が前記フィルタ400を向く。
【0050】
図5を参照して説明すると、感光装置250(図4に示す)が形成された後、さらに、前記感光性チップ200の光信号受信面201とは反対側の面をUVフィルム310に貼り付けることと、貼り付け工程の後、第1キャリア基板340を除去する第1剥離(debonding)処理を行う(図4に示す)。
【0051】
前記貼り付け工程を経て、後続の仮ボンディング工程のプロセスに準備され、また、前記UVフィルム310は第1のキャリア基板340が取り除かれた後に前記感光装置250を支持および固定するためにも使用される。また、UVフィルム310は、紫外線の照射下で付着力が弱まり、その後、前記感光装置250を前記UVフィルム310から容易に取り外すことができる。
【0052】
具体的には、前記UVフィルム310は、フィルムアプリケータによって感光性チップ200の光信号受信面201とは反対側の面に密着されるとともに、大径のフレーム315の底部に貼り付けられている。前記フレーム315によってストレッチフィルムの作用が果たされ、前記感光装置250が別々にUVフィルム310に固定される。前記UVフィルム310およびフレーム315についての詳細説明、本実施形態では省略する。
【0053】
本実施形態では、第1仮ボンディング層345(図4に示す)は発泡フィルムであり、熱剥離プロセス(Pyrolysis bonding)を使用し第1剥離処理を行う。具体的には、第1の仮ボンディング層345を加熱処理して前記発泡フィルムの発泡面に粘着性を失わせ、第1のキャリア基板340を除去して;第1のキャリア基板340を除去した後、前記第1仮ボンディング層345を外して取り除く。
【0054】
図6を参照し、第2キャリア基板320を提供し、前記第2キャリア基板320に感光性チップ200と機能素子(図示せず)を仮ボンディングする。
【0055】
前記仮ボンディング工程により、後で行われる各チップと部品のパッケージング集積と電気学集積のプロセスに準備される。さらに、仮ボンディング(temporary bonding,TB)によって、後で感光性チップ200、機能素子および第2のキャリア基板320を別々に分離させることも便利になる。
【0056】
そのうち、前記第2のキャリア基板320はさらに、後続のパッケージ層を形成するためにプロセスプラットフォームとして提供される。
【0057】
この実施形態では、前記第2のキャリア基板320はキャリアウェハである。他の実施形態では、前記第2のキャリア基板は他のタイプの基板でもよい。
【0058】
具体的には、前記感光性チップ200と機能素子は第2仮ボンディング層325を介して前記第2キャリア基板320に仮ボンディングされる。本実施形態では、前記第2仮ボンディング層325は発泡フィルムである。前記第2仮ボンディング層325についての詳細説明は、前記第1仮ボンディング層345(図4に示す)についての説明を参照できるので、ここで省略する。
【0059】
以下、、図面を参照し、前記仮ボンディング工程につき詳細に説明する。
【0060】
図6を参照し、前記感光性チップ200のフィルタ400とは反対側の面を、第2キャリア基板320に仮ボンディングする。
【0061】
具体的には、個個の感光装置250の位置にあるUVフィルム310(図5に示すように)を紫外線照射し、紫外線照射を受けたUVフィルム310に粘着性を失わせるようにする。イジェクタピンにより一つの感光装置250をジャックアップし、続いて吸着装置により前記感光装置250を引き上げ、逐次に前記感光装置250をUVフィルム310から剥離させ前記第2のキャリア基板320上に放置する。また、逐次に前記感光装置250を前記第2のキャリア基板320上に放置する方式は、感光装置250の前記第2キャリア基板320における位置精度の向上に有利であり、後続プロセスの通常に実施されることにも有利である。
【0062】
本実施形態では、感光性チップ200が第2のキャリア基板320に仮ボンディングされた後、前記感光性チップ200の第1のチップボンディングパッド220は前記第2のキャリア基板320に背向する。
【0063】
本実施形態では、前記感光装置250(図4に示す)が形成されてから、感光性チップ200が第2キャリア基板320に仮ボンディングされることに留意されたい。他の実施形態では、感光性チップが第2キャリア基板に仮ボンディングされた後、フィルタを感光性チップに貼り付けてもよい。
【0064】
この実施形態は、1つの感光装置250のみを示している。他の実施形態では、形成されたレンズモジュールがデュアルカメラまたはアレイモジュール製品に適用されるとき、前記感光装置の数は複数でもよい。
【0065】
引き続き、図6を参照し、前記第2キャリア基板320に機能素子を仮ボンディングする。
【0066】
前記機能素子は、撮像アセンブリにおける前記感光性チップ200以外の特定の機能を有する部品であり、前記機能素子は周辺チップ230および受動部品240の少なくとも一方を含む。
【0067】
この実施形態では、前記機能素子は、周辺チップ230および受動部品240を含む。
前記周辺チップ230は能動部品であり、後に感光性チップ200との電気的接続が実現されたら、前記感光性チップ200に、アナログ電源回路およびデジタル電源回路、電圧バッファ回路、シャッタ回路、シャッタ駆動回路などのような周辺回路を提供するために使用される。
【0068】
この実施形態では、前記周辺チップ230は、デジタルシグナルプロセッサチップおよびメモリチップの一方または両方を含む。他の実施形態では、前記周辺チップは他の機能タイプのチップも含み得る。図示の便宜上、図6には1つの周辺チップ230しか示されていないが、前記周辺チップ230の数は1つに限定されない。
【0069】
前記周辺チップ230は一般的にシリコンベースのチップであり、集積回路製造技術によって製造され、他のチップまたは部品と電気的に接続するためのボンディングパッドを有する。この実施形態では、前記周辺チップ230は第2のチップボンディングパッド235を含む。
【0070】
この実施形態では、前記第1チップボンディングパッド220が第2キャリア基板330に背向し、後続の電気接続プロセスの困難さを減らすために、前記周辺チップ230が第2のキャリア基板320に仮ボンディングされた後、前記第2のチップボンディングパッド235も第2キャリア基板320に背向し、前記第1チップボンディングパッド220と第2チップボンディングパッド235とを同じ側に位置させるようにする。
【0071】
前記周辺チップ230と感光性チップ200はいずれも後で形成されたパッケージング層に集積されるので、前記パッケージング層の表面平坦度を上げ、パッケージング層を形成するプロセスの難易度を下げるように、前記周辺チップ230と感光性チップ200は厚さが同じか、前記周辺チップ230と感光性チップ200との間に厚さの差が小さい。また、前記感光性チップ200の厚さにより、厚さの適合した周辺チップ230を形成してもよい。本実施形態では、前記周辺チップ230と感光性チップ200との厚さの差はー2μmから2μmである。
【0072】
前記受動部品240は、感光性チップ200の感光動作において特定の役割を果たすために使用される。前記受動部品240は、抵抗器、コンデンサ、インダクタ、ダイオード、トランジスタ、ポテンショメータ、リレー、またはドライバなどの小型の電子部品を含むことができる。図示の便宜上、図6には1つの受動部品240しか示されていないが、前記受動部品240の数は1つに限定されない。
【0073】
前記受動部品240も他のチップまたは部品と電気的に接続するためのボンディングパッドを有する。この実施形態では、前記受動部品240のボンディングパッドは電極245である。
【0074】
前記分析でわかるように、第1チップボンディングパッド220が第2キャリア基板320に背向する場合に、後続の電気接続プロセスの困難さを減らすために、前記受動部品240が第2のキャリア基板320に仮ボンディングされた後、前記電極245も第2のキャリア基板320に背向する。
【0075】
前記分析でわかるように、後続のパッケージング層の表面平坦度を上げ、パッケージング層を形成するプロセスの難易度を下げるように、感光性チップ200の厚さにより、厚さの適合した受動部品240を形成する。本実施形態では、前記受動部品240と感光性チップ200との厚さの差はー2μmから2μmである。
【0076】
他の実施形態では、感光性チップと機能素子を第2キャリア基板に仮ボンディングしてから、感光性チップのボンディングパッドが第2キャリア基板に背向し、機能素子のボンディングパッドが第2キャリア基板を向く。または、感光性チップと機能素子のボンディングパッドはいずれも第2キャリア基板を向く。
【0077】
図7を参照し、前記第2キャリア基板320にパッケージング層350を形成し、前記パッケージング層350は少なくとも前記感光性チップ200と機能素子(図示せず)の間に充填される。
【0078】
パッケージ層350は、感光性チップ200と機能素子(例えば、周辺チップ230、受動素子240)に対して固定的な役割を果たし、感光性チップ200と機能素子との集積パッケージを実現する。
【0079】
そのうち、前記パッケージ層350は、レンズアセンブリ内のホルダーによって占められる空間を減らすことができ、また回路基板(例えばPCB)を節約することができ、それによって後に形成されるレンズモジュールの全体厚さを著しく減らすことができ、レンズモジュールの小型化と薄型化への要求を満たすことができる。また、機能素子を周辺メインボードに貼り付ける方案と比較して、パッケージ層350に感光性チップと機能素子とを集積化することにより、感光性チップ200と各機能素子との距離を短くすることができ、それ相応に、感光性チップと各機能素子との間の電気的接続距離を短くし、それによって信号伝送速度を上げ、レンズモジュールの使用性能を向上させる(例えば、撮影速度および記憶速度を向上させる)ことに有益である。
【0080】
本実施形態では、前記パッケージ層350は、絶縁、密封および防湿としても機能することができ、レンズモジュールの信頼性を向上させるためにも有益である。
【0081】
この実施形態では、前記パッケージング層350の材料はエポキシ樹脂である。エポキシ樹脂は、低収縮性、優れた接着性、優れた耐食性、優れた電気的性質および低コストという利点を有しているので、電子デバイスおよび集積回路用のパッケージング材料として広く使用されている。
【0082】
本実施形態では、後続の電気的接続プロセスのために、前記パッケージング層350が感光性チップ200と機能素子のボンディングパッドを露出させる。具体的には、前記パッケージング層350は、前記第1のチップボンディングパッド220、第2のチップボンディングパッド235、および電極245を露出させる。
【0083】
本実施形態では、後でリードワイヤボンディングプロセスにより電気的接続を実現するが、前記第1チップボンディングパッド220、第2チップボンディングパッド235及び電極245がいずれも第2キャリア基板330に背向するので、後続のリードワイヤボンディングプロセスの難易度を下げるために、前記パッケージング層350を形成する工程では、前記パッケージング層350が前記感光性チップ200と機能素子の間に充填される。
【0084】
他の実施形態では、実際の電気的接続プロセスの方式に応じ、前記パッケージング層が前記第2キャリア基板、前記機能素子及び前記感光性チップを覆うとともに、前記フィルタを露出させてもよい。
【0085】
本実施形態では、前記パッケージング層350は射出成形(injection molding)プロセスを使用して形成される。射出成形プロセスは、生産速度が速く、効率が高く、操作が自動化されるという特徴を持ち、射出成形プロセスを採用することにより、生産量を増加させ、プロセスコストを削減することに有益である。また、射出成形プロセスを使用し、適合した金型を作成することにより、前記パッケージング層350の厚さと形成区域がプロセスの要求を満たすことができるので、プロセスが簡単になる。
【0086】
感光性チップ200と機能素子の間に厚さの差があっても、適合した金型を制作することにより、前記パッケージング層350の表面に階段を具備させ、パッケージング層350が感光性チップ200と機能素子のボンディングパッドを露出させるようにする。
【0087】
本実施形態では、感光性チップ200と機能素子の間の厚さの差が小さいので、前記パッケージング層350を形成するプロセスの難易度を下げることとなる。
【0088】
具体的には、前記パッケージング層350を形成する工程は、感光性チップ200と機能素子を前記第2のキャリア基板320に仮ボンディングし、感光性チップ200とフィルタ400との貼り付けが完了したら、前記第2キャリア基板320を金型内に配置し、前記金型は上型と下型とを含み、前記上型と下型とのいずれか一つに凹溝が形成され、前記第2キャリア基板320を前記上型と下型との間に配置し、型締め後、前記金型を前記感光性チップ200、周辺チップ230、受動部品240及び第2キャリア基板320の上に押し付けるとともに、前記フィルタ400を前記凹溝に配置し、前記上型と下型の間にキャビティを形成し、前記キャビティ内にパッケージング材料を注入してパッケージング層350を形成し、前記パッケージング層350を形成してから、離型処理して、前記パッケージング層350と金型とを分離させる。
【0089】
射出成形の過程で、前記フィルタ400が前記凹溝に配置されるので、前記パッケージング層350が前記フィルタ400を覆うことないが、型締め後、金型が前記感光性チップ200、周辺チップ230、受動部品240の上に押し付けられ、前記パッケージング層350が前記感光性チップ200、周辺チップ230及び受動部品240の間にのみ充填され、プロセスが簡単である。
【0090】
他の実施形態では、実際に応じ、前記パッケージング層は他の成形プロセスを使用し形成してもよい。例えば、ある程度の厚さを有するパッケージ層を形成した後、前記パッケージ層をエッチング処理または研削(grinding)処理して、一部の厚さのパッケージ層を除去することにより、残ったパッケージング層が感光性チップと機能素子のボンディングパッドを露出させるようにする。
【0091】
電気回路を省略することにより、レンズモジュールの厚さを減らす効果が実現できたことに留意されたい。本実施形態では、感光性チップ200および周辺チップ230を薄くする必要がなく、前記感光性チップ200および周辺チップ230の機械的強度および信頼性が向上し、レンズモジュールの信頼性が向上する。他の実施形態では、前記感光性チップおよび周辺チップの厚さは、プロセス要件に従って適切に薄くすることができるが、機械的強度および信頼性が影響を受けない程度に薄くする量が少ない。
【0092】
なお、本実施形態では、感光性チップ200を第2キャリア基板320にボンディングした後、前記パッケージ層350を形成するが、パッケージに開口部を形成し感光性チップを対応した開口部に配置する技術方案と比較すると、アライメント誤差の問題を回避することができ、システム集積プロセスの複雑さを軽減することができる。
【0093】
図8を参照し、前記パッケージング方法は、さらに、前記パッケージング層350が形成された後、第2剥離処理を行い、前記第2キャリア基板320を取り除く(図7に示す)ことを含む。
【0094】
前記第2キャリア基板330が前記パッケージング層350の形成のためにプロセスプラットフォームとして提供されたので、前記パッケージング層350が形成された後、前記第2キャリア基板330を取り除けばよい。
【0095】
この実施形態では、熱剥離プロセスにより前記第2剥離処理を行い、前記第2キャリア基板320および第2仮ボンディング層325を順次除去する(図7に示す)。前記第2剥離処理についての詳細説明は、前記第1剥離処理についての説明を参照できるので、ここで省略する。
【0096】
引き続き図8を参照すると、前記第2剥離処理の後、さらに、前記パッケージング層350に対してダイシング(dicing)処理を行うことを含む。
【0097】
ダイシング処理により、プロセス要件を満たすサイズの単一のカメラアセンブリ260が形成されて、後続のレンズアセンブリの組み立てのためのプロセスに準備される。本実施形態では、ダイシング処理はレーザー切断工程を用いて行われる。
【0098】
なお、本実施形態では、第2剥離工程が先に行われ、その後にダイシング処理が行われることに留意されたい。他の実施形態では、第2剥離処理がダイシング処理の後に実行されてもよく、それに応じて、前記第2キャリア基板はさらに前記ダイシング処理のためにプロセスプラットフォームとして提供されてもよい。
【0099】
図9を参照し、前記ダイシング処理の後、さらに、リードワイヤボンディングプロセスにより、感光性チップ200と機能素子(図示せず)のボンディングパッドを電気的に接続するリードワイヤ500を形成することを含む。
【0100】
前記リードワイヤ500は、撮影アセンブリ260の電気的集積を実施するために使用される。
【0101】
本実施形態では、リードワイヤボンディングプロセスにより感光性チップ200と機能素子の間の電気的接続を実現する。リードワイヤボンディングプロセスは集積回路のパッケージングプロセスでは最もよく使用される回路接続方式で、細い金属ワイヤまたは金属ストリップを、チップとリードフレームまたはパッケージ基板との接合点に順次配置し、回路接続を形成する。リードワイヤボンディングプロセスは現在のパッケージングプロセスとの適合性がよく、コストが低く、リードワイヤボンディングプロセスを採用することにより、パッケージングプロセスへの変更が少ない。
【0102】
本実施形態では、前記リードワイヤ500は、金線またはアルミ線のような金属ワイヤである。具体的には、前記リードワイヤ500は、前記第1のチップボンディングパッド220、第2のチップボンディングパッド235、および電極245を電気的に接続する。
【0103】
他の実施形態では、前記第2剥離処理の前に、前記リードワイヤボンディングプロセスを実施し、前記第2キャリア基板が前記リードワイヤボンディングプロセスためにプロセスプラットフォームとして提供されてもよい。
【0104】
前記第1チップボンディングパッド220、第2チップボンディングパッド235及び電極245は前記パッケージング層350の同じ側に位置するとともに、前記フィルタ400を向くので、前記パッケージング層350の前記フィルタ400に近い側に前記リードワイヤボンディングプロセスを実施する。
【0105】
それに応じ、レンズアセンブリを前記パッケージング層350に取り付けてレンズモジュールができると、前記リードワイヤ500がレンズアセンブリのホルダーに配置され保護されることができるので、レンズモジュールの信頼性が向上し、前記レンズモジュールは電子機器に取り付けやすくなる。
【0106】
引き続き図9を参照し、前記パッケージング層350をダイシング処理してから前記リードワイヤボンディングプロセスを実施する前に、さらに、前記パッケージング層350にFPC基板(flexible printed circuit board、フレキスブル回路基板)510を貼り付けることを含む。
【0107】
前記FPC基板510は、回路基板が省略される場合に前記撮影アセンブリ260と後続のレンズアセンブリとの電気的接続、および後で形成されたレンズモジュールと他の構成要素との間の電気的接続を実現するように構成される。後にレンズモジュールが形成されてから、前記レンズモジュールはまた、前記FPC基板510を介して電子機器内の他の構成要素に電気的に接続することができ、それによって電子機器の通常の撮影機能を実現する。
【0108】
本実施形態では、前記FPC基板510が前記フィルタ400の一側のパッケージング層350に貼り付けられ、前記リードワイヤボンディングプロセスでは、前記リードワイヤ500が前記感光性チップ200とFPC基板510とを電気的に接続するように構成され、前記リードワイヤ500により、前記感光性チップ200と機能素子(図示せず)とFPC基板510との間の電気的接続を実現する。具体的には、前記リードワイヤ500は、前記感光性チップ200の第1チップボンディングパッド220とFPC基板510とを電気的に接続する。
【0109】
なお、前記FPC基板510には、前記FPC基板510が他の回路部品と電気的に接続するためのコネクタ(connector)520が形成されている。レンズモジュールが電子機器に適用されると、前記コネクタ520が前記電子機器のメインボードに電気的に接続され、それによってレンズモジュールと前記電子機器内の他の構成要素との間の情報伝達が実現される。前記レンズモジュールの画像情報が前記電子機器に送信される。具体的には、前記コネクタ520は金指コネクタ(Goldfinger connector)とすることができる。
【0110】
本実施形態では、前記パッケージング層350に前記FPC基板510を貼り付けてから前記リードワイヤボンディングプロセスを実施し、同じ電気的接続工程で前記感光性チップ200、機能素子及びFPC基板510の電気的接続を実現できる。他の実施形態では、前記感光性チップと機能素子との電気的接続をしてから前記FPC基板を貼り付けると、それに応じ、前記FPC基板と感光性チップを電気的に接続するための、更なるリードワイヤボンディングプロセスが必要となる。
【0111】
図10図11は、本発明の撮影アセンブリのパッケージング方法のもう一つの実施形態における各工程に対応する構成見取図である。
【0112】
本実施形態と第1実施形態との同じ点につき、ここでは省略する。本実施形態と第1実施形態との相違点は、パッケージング層350aを形成してから、前記パッケージング層350aがキャリア基板320a、感光性チップ200a及び機能素子(図示せず)を覆うとともに、フィルタ400aを露出させる。
【0113】
本実施形態では、前記パッケージング層350aが前記感光性チップ200a及び機能素子を覆うので、感光性チップ200aと機能素子との間の厚さの差によるパッケージング層350aの形成プロセスへの影響を軽減することができる。
【0114】
具体的には、図10を参照し、キャリア基板320aに感光性チップ200aと機能素子(図示せず)を仮ボンディングし、前記感光性チップ200aと機能素子のボンディングパッドがいずれも前記キャリア基板320aに背向する。
【0115】
引き続き図10を参照し、キャリア基板320a、感光性チップ200a及び機能素子(図示せず)を覆うとともに、前記フィルタ400aの側壁も覆うパッケージング層350aを形成する。
【0116】
前記感光性チップ200aとフィルタ400aとの貼り付けが完了し感光装置が形成され、前記パッケージ層350aが前記フィルタ400aの側壁を覆うようにすると、感光装置のキャビティのシール性を改善し、前記キャビティ内への水蒸気、酸化性ガスなどの侵入の確率を引き下げ、それによって前記感光性チップ200aの性能が保証される。
【0117】
それに応じ、パッケージング層350aによるフィルタ400aへの応力を減らすために、前記パッケージング層350を形成する前に、さらに、前記フィルタ400aの側壁に応力緩衝層420aを形成することを含む。
【0118】
この実施形態では、前記応力緩衝層420aの材料はエポキシ系接着剤である。エポキシ系接着剤はエポキシ樹脂系接着剤(epoxy resin adhesive)であり、エポキシ系接着剤は多種多様で、組成を変えることで弾性率の異なる材料を得ることができ、実際の状況に応じて、前記フィルタ400aの受けた応力を調整・制御できる。
【0119】
引き続き図10を参照すると、前記パッケージング層350aの前記フィルタ400aに近い側に再配線(redistribution layer,RDL)構造360aが形成され、前記感光性チップ200aのボンディングパッドと前記機能素子(図示せず)のボンディングパッドとを電気的に接続する。
【0120】
本実施形態では、前記パッケージング層350aが前記感光性チップ200aと機能素子とを覆い、前記再配線構造360aは、前記パッケージング層350aに配置されるとともに前記感光性チップ200aのボンディングパッドと前記機能素子(図示せず)のボンディングパッドとを電気的に接続する導電ピラー360aと、前記パッケージング層350aに配置されるとともに前記導電ピラー362aと接続する相互接続配線361aとを有する。
【0121】
図11を参照すると、前記再配線構造360aが形成された後、剥離処理を行い、前記キャリア基板320aを除去する(図10に示す)。
【0122】
本実施形態のパッケージング方法の詳細な説明については、前述の実施形態の対応する説明を参照することができ、ここでは省略する。
【0123】
図12図13は、本発明の撮影アセンブリのパッケージング方法のもう一実施形態における各工程に対応する構成見取図である。
【0124】
本実施形態と第1実施形態との同じ点につき、ここでは省略する。本実施形態と第1実施形態との相違点は、再配線構造360bにより感光性チップ200bと機能素子(図示せず)とを電気的に接続する点にある。
【0125】
図12を参照し、前記キャリア基板320bに感光性チップ200bと機能素子とを仮ボンディングしてから、前記感光性チップ200bのボンディングパッドと機能素子のボンディングパッドはいずれも前記キャリア基板320bとに背向し、キャリア基板320bにパッケージング層350bが形成されてから、前記パッケージング層350bが前記感光性チップ200bと機能素子の間に充填される。
【0126】
そのため、引き続き図12を参照し、前記パッケージング層350bの前記フィルタ400bに近い側に、前記再配線構造360bを形成する。
【0127】
本実施形態では、前記再配線構造360bを形成する工程は、感光性チップ200bのボンディングパッドと機能素子のボンディングパッドにそれぞれ導電性バンプ365bを形成することと、相互接続配線361を前記導電性バンプ365bにボンディングし、前記相互接続配線361bと導電性バンプ365bとにより前記再配線構造360bが構成されることとを有する。
【0128】
前記導電性バンプ365bが前記感光性チップ200bと機能素子の表面より突出することは、各ボンディングパッドと相互接続配線361bとの電気的接続の信頼性を向上させることに有利である。
【0129】
本実施形態では、バンプ加工(bumping process)により前記導電性バンプ365bが形成されてもよい。
【0130】
図13を参照すると、前記再配線構造360bが形成された後、剥離処理を行い、前記キャリア基板320bを除去する(図12に示す)。
【0131】
本実施形態のパッケージング方法の詳細な説明については、前述の実施形態の対応する説明を参照することができ、ここでは省略する。
【0132】
図14図16は、本発明の撮影アセンブリのパッケージング方法のさらなる一実施形態における各工程に対応する構成見取図である。
【0133】
本実施形態と第2実施形態との同じ点につき、ここでは省略する。本実施形態と第2実施形態との相違点は、パッケージング層350cのフィルタ400cとは反対側の一側に再配線構造360cを形成することにある。
【0134】
具体的には、図14を参照し、第1キャリア基板320cに感光性チップ200cと機能素子(図示せず)を仮ボンディングし、前記感光性チップ200cのボンディングパッドが前記第1キャリア基板320cに背向し、前記機能素子のボンディングパッドが第1キャリア基板320cを向く。
【0135】
引き続き図14を参照し、前記キャリア基板320cに、感光性チップ200cと機能素子(図示せず)を覆うとともに、前記フィルタ400cの側壁も覆うパッケージング層350cを形成する。
【0136】
図15を参照し、前記パッケージング層350cが形成されてから、剥離処理を行い、前記第1キャリア基板320cを除去して、前記第1キャリア基板320cを除去した後、前記パッケージング層350cの前記感光性チップ200cとは反対側の面を、第2キャリア基板330cに仮ボンディングする。
【0137】
引き続き図15を参照し、前記パッケージング層350cの前記感光性チップ200cとは反対側の面を、第2キャリア基板330cに仮ボンディングしてから、前記感光性チップ200cに導電ピラー280cを形成し、前記導電ピラー280cが前記感光性チップ200cのボンディングパッドに電気的に接続して、前記パッケージング層350の前記第2キャリア基板330cとは反対側の面に前記機能素子(図示せず)のボンディングパッドと前記導電ピラー280cとを電気的に接続する相互接続配線361cを形成して、前記相互接続配線361cと導電ピラー280cとにより再配線構造360cを構成する。
【0138】
他の実施形態では、第1キャリア基板に感光性チップ200を仮ボンディングしてから、前記感光性チップのボンディングパッドも第1キャリア基板を向くと、それに応じ、上記導電ピラーを省くこともできる。
【0139】
図16を参照すると、前記再配線構造360cが形成された後、剥離処理を行い、前記第2キャリア基板320cを除去する(図15に示す)。
【0140】
本実施形態のパッケージング方法の詳細な説明については、前述の実施形態の対応する説明を参照することができ、ここでは省略する。
【0141】
それに対応して、本発明の実施形態はさらに一種の撮影アセンブリを提供する。引き続き図9を参照すると、本発明の撮影アセンブリの一実施形態の構成模式図が示されている。
【0142】
前記撮影アセンブリ260は、パッケージング層350及び前記パッケージング層350に嵌め込まれた感光装置250(図4に示す)と機能素子(図示せず)とを有し、前記感光装置250が感光性チップ200と前記感光性チップ200に貼り付けられたフィルタ400を有し、少なくとも、前記パッケージング層350の底面が前記感光性チップ200と機能素子を露出させる。
【0143】
前記パッケージング層350は、感光性チップ200と機能素子に対して固定的な役割を果たし、感光性チップ200と機能素子との集積パッケージを実現する。そのうち、パッケージ層350は、レンズアセンブリ内のホルダーによって占められる空間を減らし、また回路基板を節約することができ、それによってレンズモジュールの厚さを著しく減らすことができ、レンズモジュールの小型化と薄型化への要求を満たすことができる。
【0144】
前記パッケージング層350の材料はパッケージング材料であり、前記パッケージ層350は、絶縁、密封および防湿としても機能することができ、レンズモジュールの信頼性を向上させるためにも有益である。この実施形態では、前記パッケージング層350の材料はエポキシ樹脂である。
【0145】
この実施形態では、前記パッケージング層350は対向する上面および底面を含む。また、前記パッケージング層350の上面はレンズアセンブリを貼り付けるための面であり、対応的に、前記パッケージング層350の底面は前記フィルタ400から離れた面である。
【0146】
この実施形態では、撮影アセンブリ260のパッケージング過程において、通常、感光性チップ200および機能素子が一つのキャリア基板に仮ボンディングされた後、前記キャリア基板上に前記パッケージ層350が形成される。よって、少なくとも、前記パッケージ層350の底面は、前記感光性チップ200および機能素子を露出させる。
【0147】
本実施形態では、前記パッケージング層350の上部と底面がいずれも前記感光性チップ200と機能素子を露出させる。他の実施形態では、実際の電気的接続の方式により、前記パッケージング層の底面が前記感光性チップと機能素子を露出させ、前記パッケージング層の上面が前記感光性チップと機能素子より高く前記フィルタを露出させる。
【0148】
本実施形態では、前記感光性チップ200と機能素子はいずれもボンディングパッドを有し、前記ボンディングパッドは感光性チップ200と機能素子との電気的接続を実現するためでありながら、感光性チップ200と、機能素子とその他の素子との電気的接続を実現するためでもある。そのうち、電気的接続プロセスのために、前記パッケージング層350が感光性チップ200と機能素子のボンディングパッドを露出させる。
【0149】
この実施形態では、前記感光性チップ200はCMOSイメージセンサチップである。他の実施形態では、前記感光性チップはCCDイメージセンサチップでもよい。
【0150】
図1に示されるように、本実施形態では、前記感光性チップ200は、感光領域200Cと、前記感光領域200Cを囲む周辺領域200Eとを含み、前記感光性チップ200はさらに前記感光領域200Cに位置する光信号受信面201を有する。
【0151】
前記感光性チップ200は一般的にシリコンベースのチップであり、集積回路製造技術によって製造され、前記感光性チップ200のボンディングパッドが前記感光性チップ200と他のチップまたは部品と電気的に接続するために使用される。本実施形態では、前記感光性チップ200は周辺領域200Eに位置した第1チップボンディングパッド220を有する。
【0152】
本実施形態では、前記第1チップボンディングパッド220は前記フィルタ400を向いて、即ち、前記第1チップボンディングパッド220は前記パッケージング層350の底面に背向する。他の実施形態では、前記第1ボンディングパッドが前記フィルタに背向してもよい。
【0153】
この実施形態では1つの感光装置250のみを示していることに留意されたい。他の実施形態では、前記レンズモジュールがデュアルカメラまたはアレイモジュール製品に適用されるとき、感光装置の数は複数でもよい。
【0154】
前記フィルタ400が感光性チップ200に貼り付けられ、前記フィルタ400が前記光信号受信面201を向き、前記フィルタ400がパッケージングプロセスによる前記光信号受信面201への汚染を防止できる分、前記感光性チップ200性能への悪影響も避けられ、レンズモジュールの結像品質が向上される。また、貼り付け方式により、レンズモジュールの全体厚さを顕著に減らし、レンズモジュールの小型化、薄型化への要求を満たすことができる。
【0155】
前記フィルタ400は、赤外フィルタリングガラスまたは完全透明ガラスでもよい。本実施形態では、前記フィルタ400は赤外フィルタリングガラスであり、入射光のうちの赤外線が前記感光性チップ200の性能に与える影響を排除するためにも用いられており、結像効果の向上に有利である。
【0156】
本実施形態では、前記フィルタ400は、接着構造410を介して感光性チップ200に貼り付けられ、前記接着構造410は前記感光性チップ200の光信号受信面201を囲んでいる。前記接着構造410は、フィルタ400と感光性チップ200との物理的な接続を実現するために使用され、フィルタ400と感光性チップ200との直接接触を避けることにより、前記感光性チップ200の光学的性能に悪影響を及ぼすことを防止する。
【0157】
本実施形態では、前記接着構造410が前記光信号受信面201を取り囲むので、前記光信号受信面201の上方のフィルタ400が前記感光性チップ200の感光経路に位置したので、前記感光性チップ200の光学的性能は保証されている。
【0158】
前記機能素子は、撮像アセンブリにおける前記感光性チップ200以外の特定の機能を有する部品であり、前記機能素子は周辺チップ230および受動部品240の少なくとも一方を含む。
【0159】
この実施形態では、前記機能素子は、周辺チップ230および受動部品240を含む。
【0160】
前記周辺チップ230は能動部品であり、感光性チップ200に、アナログ電源回路およびデジタル電源回路、電圧バッファ回路、シャッタ回路、シャッタ駆動回路などのような周辺回路を提供するために使用される。
【0161】
この実施形態では、前記周辺チップ230は、デジタルシグナルプロセッサチップおよびメモリチップの一方または両方を含む。他の実施形態では、周辺チップは他の機能タイプのチップも含み得る。
【0162】
図示の便宜上、図9には1つの周辺チップ230しか示されていないが、前記周辺チップ230の数は1つに限定されない。
【0163】
前記感光性チップ230は一般的にシリコンベースのチップであり、集積回路製造技術によって製造され、前記周辺チップ230のボンディングパッドが前記周辺チップ230と他のチップまたは部品と電気的に接続するために使用される。この実施形態では、前記周辺チップ230は第2のチップボンディングパッド235を含む。
【0164】
本実施形態では、前記第2チップボンディングパッド235がフィルタ400を向き、第2チップボンディングパッド235と第1チップボンディングパッド220とを同じ側に位置させることにより、前記周辺チップ230と感光性チップ200との電気的接続を容易にさせる。それに応じ、前記第2チップボンディングパッド235は前記パッケージング層350の底面に背向する。
【0165】
前記受動部品240は、感光性チップ200の感光動作において特定の役割を果たすために使用される。前記受動部品240は、抵抗器、コンデンサ、インダクタ、ダイオード、トランジスタ、ポテンショメータ、リレー、またはドライバなどの小型の電子部品を含むことができる。図示の便宜上、図9には1つの受動部品240しか示されていないが、受動部品240の数は1つに限定されない。
【0166】
前記受動部品240のボンディングパッドは、前記受動部品240が他のチップまたは部品と電気的に接続するために使用される。この実施形態では、前記受動部品240のボンディングパッドは電極245である。
【0167】
前記分析を踏まえ、前記第1チップボンディングパッド220が前記フィルタ400を向く場合に、前記電極245が前記フィルタ400を向くので、前記受動部品240と感光性チップ200との間の電気的接続が容易に実現される。それに応じ、前記電極245も前記パッケージング層350の底面に背向する。
【0168】
そのために、本実施形態では、前記パッケージング層350の上面はいずれも、前記第1のチップボンディングパッド220、第2のチップボンディングパッド235、および電極245を露出させる。
【0169】
本実施形態では、前記感光性チップ200と機能素子のボンディングパッドがいずれもパッケージング層350に背向することに留意されたい。他の実施形態では、実際の電気的接続方式により、前記感光性チップのボンディングパッドが前記パッケージング層の底面に背向し、前記機能素子のボンディングパッドが前記パッケージング層の底面を向いたり、または、前記感光性チップと機能素子のボンディングパッドはいずれもパッケージング層を向いたりする。
【0170】
前記パッケージング層350の上部と底面はいずれも前記感光性チップ200と機能素子を露出させるので、前記パッケージング層350の表面平坦度を上げ、パッケージング層350の形成プロセス難易度を下げるために、前記機能素子と感光性チップ200の厚さは同じか、その厚さの差が小さいことに留意されたい。また、前記感光性チップ200の厚さにより、前記機能素子の厚さを調整してもよい。本実施形態では、前記機能素子と感光性チップ200との厚さの差はー2μmから2μmである。
【0171】
具体的には、前記周辺チップ230と感光性チップ200との厚さの差はー2μmから2μmで、前記受動部品240と感光性チップ200との厚さの差はー2μmから2μmである。
【0172】
なお、電気回路基板が除去される分、撮影アセンブリ260の厚さが薄くなり、前記撮影アセンブリ260のパッケージング過程では、前記感光性チップ200および周辺チップ230を薄くする必要がなくなり、従来のレンズモジュールの感光性チップと周辺チップと比べ、本実施形態では、前記感光性チップ200と周辺チップ230の厚さが大きく、感光性チップ200および周辺チップ230の機械的強度および信頼性が向上し、レンズモジュールの信頼性が向上する。他の実施形態では、プロセスの要求に応じ、前記感光性チップおよび周辺チップはリジュース処理を経てもよいが、機械的強度および信頼性が影響を受けない程度にリジュース量が少ない。
【0173】
本実施形態では、前記撮影アセンブリ260がさらに、前記感光性チップ200と機能素子のボンディングパッドを電気的に接続するリードワイヤ500を有する。
【0174】
前記リードワイヤ500は、レンズモジュール600の電気的集積を実施するために使用される。本実施形態では、前記リードワイヤ500がリードワイヤボンディングプロセスにより形成され、前記リードワイヤ500は、金線またはアルミ線のような金属ワイヤである。具体的には、前記リードワイヤ500は、前記第1のチップボンディングパッド220、第2のチップボンディングパッド235、および電極245を電気的に接続する。
【0175】
前記第1チップボンディングパッド220、第2チップボンディングパッド235及び電極245は前記パッケージング層350の同じ側に位置するとともに、いずれもパッケージング層350の底面に背向するので、前記リードワイヤ500が前記パッケージング層350の上面の一側に位置することに留意されたい。
【0176】
前記撮影アセンブリ260とレンズアセンブリとの取り付けが完了し、レンズモジュールができてから、前記リードワイヤ500がレンズアセンブリのホルダーに配置され保護されることができるので、レンズモジュールの信頼性が向上し、前記レンズモジュールは電子機器に取り付けやすくなる。
【0177】
なお、前記撮影アセンブリ260がさらに前記パッケージング層350に貼り付けられたFPC基板510を含むことに留意されたい。前記FPC基板510は、回路基板が省略される場合に前記撮影アセンブリ260とレンズアセンブリとの間の電気的接続、およびレンズモジュールと他の構成要素との間の電気的接続を実現するように構成される。また、レンズモジュールも前記FPC基板510を介して電子機器内の他の構成要素に電気的に接続することができ、それによって電子機器の通常の撮影機能を実現する。
【0178】
そのため、前記リードワイヤ500がさらに前記感光性チップ200とFPC基板510とを電気的に接続するように構成され、前記リードワイヤ500により、前記感光性チップ200と機能素子とFPC基板510との間の電気的接続を実現する。具体的には、前記リードワイヤ500は、前記第1チップボンディングパッド220とFPC基板510とを電気的に接続する。
【0179】
本実施形態では、、FPC基板510にはコネクタ520が設けられている。レンズモジュールが電子機器に適用されると、前記コネクタ520が前記電子機器のメインボードに電気的に接続され、それによってレンズモジュールと電子機器内の他の構成要素との間の情報伝達が実現される。前記レンズモジュールの画像情報が前記電子機器に送信される。具体的には、前記コネクタ520は金指コネクタ(Goldfinger connector)とすることができる。
【0180】
図11は本発明の撮影アセンブリのもう一つの実施形態の構成見取図である。
【0181】
本実施形態と第1実施形態との同じ点につき、ここでは省略する。本実施形態と第1実施形態との相違点は、前記パッケージング層350aの底面が前記感光性チップ200aと機能素子(図示せず)を露出させ、前記パッケージング層350aの上面が前記感光性チップ200aと機能素子より高く、前記フィルタ400aを露出させる。
【0182】
前記感光性チップ200aとフィルタ400aとの貼り付けが完了し感光装置が形成されて、本実施形態では、前記パッケージ層350aが前記フィルタ400aの側壁を覆うようにすると、感光装置のキャビティのシール性を改善し、前記キャビティ内への水蒸気、酸化性ガスなどの侵入の確率を引き下げ、それによって感光性チップ200aの性能が保証される。
【0183】
それに応じ、パッケージング層350aによるフィルタ400aへの応力を減らすために、前記撮影アセンブリは、さらに、前記フィルタ400aの側壁に配置された応力緩衝層420aとパッケージング層350aを含む。
【0184】
この実施形態では、前記応力緩衝層420aの材料はエポキシ系接着剤である。
【0185】
本実施形態では、前記パッケージング層350aが感光性チップ200aと機能素子とを覆うので、前記再配線構造360aにより、感光性チップ200aのボンディングパッドと機能素子(図示せず)のボンディングパッドとを電気的に接続し、前記再配線構造360が前記パッケージング層350aの前記フィルタ400aに近い側に配置される。
【0186】
具体的には、前記再配線構造360aは、前記パッケージング層350aに配置されるとともに前記感光性チップ200aのボンディングパッドと前記機能素子(図示せず)のボンディングパッドとを電気的に接続する導電ピラー362aと、前記パッケージング層350aに配置されるとともに前記導電ピラー362aと接続する相互接続配線361aとを有する。
【0187】
本実施形態の前記撮影アセンブリの詳細な説明については、前述の実施形態の対応する説明を参照することができ、ここでは省略する。
【0188】
図13は本発明の撮影アセンブリの更なる一つの実施形態の構成見取図である。
【0189】
本実施形態と前記実施形態との同じ点につき、ここでは省略する。本実施形態と第1実施形態との相違点は、前記撮影アセンブリが感光性チップ200bと機能素子(図示せず)とを電気的に接続するための再配線構造360bを有する点にある。
【0190】
本実施形態では、前記パッケージング層350bの上部と底面がいずれも前記感光性チップ200bと機能素子を露出させ、前記感光性チップ200bのボンディングパッドと機能素子のボンディングパッドはいずれも前記パッケージング層350bの底面に背向する。そのために、前記再配線構造360bが前記パッケージング層350bの上面の一側に位置する。
【0191】
具体的には、前記再配線構造360bは、前記感光性チップ200bのボンディングパッドと機能素子のボンディングパッドにそれぞれ配置された導電性バンプ365bと、前記導電性バンプ365bに配置された相互接続配線361bとを有し、前記相互接続配線361bと導電性バンプ365bとにより前記再配線構造360bが構成される。
【0192】
導電性バンプ365bが感光性チップ200bと機能素子の表面より突出することは、各ボンディングパッドと相互接続配線361bとの電気的接続の信頼性を向上させることに有利である。本実施形態では、前記導電性バンプ365はボールバンプである。
【0193】
本実施形態の前記撮影アセンブリの詳細な説明については、前述の実施形態の対応する説明を参照することができ、ここでは省略する。
【0194】
図16は本発明の撮影アセンブリの更なる一つの実施形態の構成見取図である。
【0195】
本実施形態と第2実施形態との同じ点につき、ここでは省略する。本実施形態と第2実施形態との相違点は、再配線構造360cがパッケージング層350cの底面の一側に位置することにある。
【0196】
本実施形態では、前記パッケージング層350cの底面が前記感光性チップ200cと機能素子(図示せず)を露出させ、前記パッケージング層350cの上面が前記感光性チップ200cと機能素子より高く、フィルタ400cの側壁を覆い、前記感光性チップ200cのボンディングパッドが前記パッケージング層350cの底面に背向し、前記機能素子のボンディングパッドが前記パッケージング層350cの底面を向く。
【0197】
それに応じ、前記再配線構造360cが、前記感光性チップ200cに配置され、前記感光性チップ200cのボンディングパッドに電気的に接続する導電ピラー280cと、前記パッケージング層350c底面に配置され、前記機能素子のボンディングパッドと前記導電ピラー280cとを電気的に接続する相互接続配線361cとを有し、前記相互接続配線361cと導電ピラー280cとにより再配線構造360cを構成する。
【0198】
他の実施形態では、前記感光性チップのボンディングパッドも前記パッケージング層の底面を向くと、前記再配線構造が前記導電ピラーを有しなくともよい。
【0199】
本実施形態の撮影アセンブリの詳細な説明については、前述の実施形態の対応する説明を参照することができ、ここでは省略する。
【0200】
それに対応して、本発明の実施形態はさらに一種のレンズモジュールを提供する。図17を参照すると、本発明のレンズモジュールの一実施形態の構成見取図が示される。
【0201】
前記レンズモジュール600が、本発明の実施形態に記載の撮影アセンブリ(図17の点線に囲まれる)と、前記パッケージング層(図示せず)の正面に貼り付けられ且つ前記感光装置(図示せず)と機能素子(図示せず)を取り囲むホルダー535を有し、前記感光性チップ(図示せず)と機能素子とを電気的に接続するレンズアセンブリ530とを、有する。
【0202】
前記レンズアセンブリ530は一般に、ホルダー535と、前記ホルダー535に取り付けられたモータ(図示せず)と、前記モーターに取り付けられたレンズ群(図示せず)とを有し、前記ホルダー535により前記レンズアセンブリ530と前記撮影アセンブリの取り付けを容易に実現できるとともに、レンズ群が感光装置の感光経路上に位置するようにする。
【0203】
この実施形態では、前記撮影アセンブリの厚さが薄いことに加え、前記パッケージング層によって前記レンズアセンブリ530の厚さも減少し、それによって前記レンズモジュール600の全体の厚さが減少することとなる。
【0204】
また、周辺チップを周辺メインボードに貼り付ける方案と比べ、前記感光装置と機能素子とはいずれも前記ホルダー535の内部に配置され、感光性チップと各機能素子の間の距離を短縮させる分、レンズモジュール600の寸法を縮小させ、感光性チップと各機能素子の間の電気的接続する距離を短縮させ、信号伝送速度を向上させ、レンズモジュール600の使用機能(例えば、撮影速度と記憶速度の向上)を向上させる。
【0205】
本実施形態では、前記撮影アセンブリがさらにFPC基板を有し、前記撮影アセンブリ530のモーターが前記FPC基板と電気的に接続することにより、前記撮影アセンブリと前記レンズモジュール530との電気的接続を実現する。
【0206】
本実施形態の前記撮影アセンブリの詳細な説明については、前述の実施形態の対応する説明を参照することができ、ここでは省略することに留意されたい。
【0207】
それに対応して、本発明の実施形態はさらに一種の電子機器を提供する。図18を参照すると、本発明の電子機器の一実施形態の構成見取図が示される。
【0208】
本実施形態では、前記電子機器700が本発明の実施形態に記載の前記レンズモジュール600を含む。
【0209】
前記レンズモジュール600の信頼性と性能が高いことに応じ、前記電子機器700の撮影品質、撮影速度及び記憶速度が向上される。
【0210】
さらに、レンズモジュール600の全体厚さは薄いので、ユーザの使い心地をよくさせることに有利である。
【0211】
具体的には、前記電子機器700は、携帯電話、タブレットPC、カメラ又はビデオカメラなどの撮影機能を有する各種装置でもよい。
【0212】
以上、本発明を開示したが、本発明はこれらに限定されるものではない。当業者であれば、本発明の主旨および範囲から逸脱することない限り、あらゆる変更および修正を加えることができ、本発明に保護される範囲は、特許請求の範囲によって規定される範囲によって確定される。
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