特許 7004998 プラグおよびコネクタ

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2022-01-07

(45)【発行日】2022-02-10

(54)【発明の名称】プラグおよびコネクタ

(51)【国際特許分類】

   B65D 47/12 20060101AFI20220203BHJP

   B65D 47/06 20060101ALI20220203BHJP

【ＦＩ】

B65D47/12 200

B65D47/06 400

【請求項の数】 5

(21)【出願番号】P 2017141830

(22)【出願日】2017-07-21

(65)【公開番号】P2019018908

(43)【公開日】2019-02-07

【審査請求日】2020-06-23

(73)【特許権者】

【識別番号】591257111

【氏名又は名称】サーパス工業株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100112737

【弁理士】

【氏名又は名称】藤田 考晴

(74)【代理人】

【識別番号】100140914

【弁理士】

【氏名又は名称】三苫 貴織

(74)【代理人】

【識別番号】100136168

【弁理士】

【氏名又は名称】川上 美紀

(74)【代理人】

【識別番号】100172524

【弁理士】

【氏名又は名称】長田 大輔

(72)【発明者】

【氏名】蓮沼 正裕

【審査官】植前 津子

(56)【参考文献】

【文献】特開２００９－１７３２９２（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１０－０５２８０７（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００７－２０４１０２（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１０－０３６９２１（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｂ６５Ｄ ３９／００－５５／１６

Ｂ６５Ｄ ３５／４４－３５／５４

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

外周面に第１雄ねじが形成された円筒状の開口部が上端に形成されるとともに該開口部から側方へ突出するハンドルを有する液体収納容器に取り付けられるプラグであって、
前記開口部の内周面に沿って取り付けられる本体部と、
前記本体部の下端に接続されるとともに前記液体収納容器の底面に向けて挿入されるサイフォン管と、
前記第１雄ねじに締結される第１雌ねじと他の部材に形成された第２雄ねじに締結される第２雌ねじとが内周面に形成されるとともに軸線に沿って円筒状に形成されるナットと、
前記ナットが前記他の部材とともに前記第１雄ねじとの締結が解除される解除方向に回転することを防止する回転防止部と、を備え、
前記回転防止部は、前記ナットに取り付けられた状態で前記ハンドルよりも前記解除方向の上流側に配置される回転防止部材を有し、
前記ナットに前記回転防止部を取り付けた状態で、前記他の部材から前記ナットに前記解除方向に回転させる力が伝達される場合に、前記ナットが前記回転防止部に対して前記軸線回りに回転することが規制されるプラグ。

【請求項2】

前記ナットの下端における外周面には、前記軸線に対して外側へ突出する突起部が形成されており、
前記回転防止部の内周面には、前記軸線回りの周方向に延びる溝部が形成されており、
前記回転防止部は、前記突起部を前記溝部に圧入した状態で前記ナットに固定される請求項１に記載のプラグ。

【請求項3】

前記回転防止部材は、前記突起部を前記溝部に圧入する前に前記ハンドルよりも前記解除方向の上流側に配置された状態となるように形成されている請求項２に記載のプラグ。

【請求項4】

前記第２雌ねじに締結される前記第２雄ねじを有するとともに前記液体収納容器に収納された液体が外部へ流出することを防止する封止部を備える請求項１から請求項３のいずれか一項に記載のプラグ。

【請求項5】

請求項１から請求項４のいずれか一項に記載のプラグと、
前記第２雌ねじに締結される前記第２雄ねじを有するとともに前記プラグを介して前記液体収納容器から取り出される液体を外部へ供給するソケットと、を備えるコネクタ。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、プラグおよびコネクタに関する。

【背景技術】

【0002】

一般に、半導体製造装置に用いられる薬品や一般化学薬品等の液体は、生産工場にてガラス瓶やタンクなどの貯蔵容器に充填され、この貯蔵容器に形成された開口部に蓋を取り付けた状態で出荷される。このような貯蔵容器中に貯蔵された液体を取り出すため、貯蔵容器の内部に空気等の気体を導入し、その圧力により液体を貯蔵容器外へ送り出すサイフォン管方式のコネクタが知られている（例えば、特許文献１参照。）。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【文献】特許第５０４８９６８号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

特許文献１に開示される装置は、容器の開口部にボトルキャップを取り付け、ボトルキャップにソケット部を挿入し、ソケット部にプラグ部を挿入したものである。特許文献１では、ソケット部とプラグ部からなるコネクタ構造とは別にボトルキャップが必要である。そのため、装置を構成する部品が多くなり、構造が複雑になってしまう。

【0005】

一方、ボトルキャップを用いずにプラグ部を容器の開口部に取り付け、プラグ部にソケット部を取り付ける構造とした場合、ソケット部をプラグ部から取り外すために回転させると、それと同時にプラグ部も回転してしまう可能性がある。この場合、プラグ部が回転して開口部から外れてしまい、開口部から容器内部の液体が外部へ漏出してしまう可能性がある。

【0006】

本発明は、このような事情を鑑みてなされたものであり、液体収納容器から液体を取り出す構造を簡易な構造で実現しつつ液体収納容器の開口部からプラグが外れて液体が漏出する不具合を防止したプラグおよびそれを備えたコネクタを提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0007】

本発明は、上記の課題を解決するため、下記の手段を採用した。
本発明の一態様に係るプラグは、外周面に第１雄ねじが形成された円筒状の開口部が上端に形成されるとともに該開口部から側方へ突出するハンドルを有する液体収納容器に取り付けられ、前記開口部の内周面に沿って取り付けられる本体部と、前記本体部の下端に接続されるとともに前記液体収納容器の底面に向けて挿入されるサイフォン管と、前記第１雄ねじに締結される第１雌ねじと他の部材に形成された第２雄ねじに締結される第２雌ねじとが内周面に形成されるとともに軸線に沿って円筒状に形成されるナットと、前記ナットが前記他の部材とともに前記第１雄ねじとの締結が解除される解除方向に回転することを防止する回転防止部と、を備え、前記回転防止部は、前記ナットに取り付けられた状態で前記ハンドルよりも前記解除方向の上流側に配置される回転防止部材を有し、前記ナットに前記回転防止部を取り付けた状態で、前記他の部材から前記ナットに前記解除方向に回転させる力が伝達される場合に、前記ナットが前記回転防止部に対して前記軸線回りに回転することが規制される。

【0008】

本発明の一態様に係るプラグによれば、液体収納容器の開口部の内周面に本体部を取り付けた状態でナットの第１雌ねじを開口部の第１雄ねじに締結することにより、ナットが開口部に取り付けられる。また、他の部材の第２雄ねじをナットの第２雌ねじに締結することにより、他の部材がナットに取り付けられる。他の部材をナットから取り外すために解除方向に回転させる場合、他の部材からナットに解除方向に回転させる力が伝達される。

【0009】

ここで、ナットに回転防止部を挿入した状態で、ナットが回転防止部に対して軸線回りに回転することが規制されている。そのため、ナットが解除方向に回転する場合には、ナットと一体となって回転防止部も解除方向に回転する。そして、ナットに取り付けられた状態で、ハンドルよりも解除方向の上流側には、回転防止部材が配置されている。そのため、ナットが解除方向に回転したとしても、回転防止部材がハンドルと接触し、回転防止部が解除方向に回転することが防止される。また、回転防止部と一体となって回転するナットも、解除方向に回転することが防止される。よって、ナットが解除方向に回転したとしても、回転防止部材がハンドルと接触した後は更にナットが解除方向に回転することはない。
このように、本発明の一態様に係るプラグによれば、液体収納容器から液体を取り出す構造を簡易な構造で実現しつつ液体収納容器の開口部からプラグが外れて液体が漏出する不具合を防止することができる。

【0010】

本発明の一態様に係るプラグにおいて、前記ナットの下端における外周面には、前記軸線に対して外側へ突出する突起部が形成されており、前記回転防止部の内周面には、前記軸線回りの周方向に延びる溝部が形成されており、前記回転防止部は、前記突起部を前記溝部に圧入した状態で前記ナットに固定される構成であってもよい。
本構成のプラグによれば、突起部を溝部に圧入した状態で回転防止部がナットに固定される。そのため、回転防止部をナットに取り付けた後に回転防止部がナットから不用意に取り外されることが防止される。

【0011】

本発明の一態様に係るプラグにおいて、前記回転防止部材は、前記突起部を前記溝部に圧入する前に前記ハンドルよりも前記解除方向の上流側に配置された状態となるように形成されている。
このようにすることで、突起部を溝部に圧入する際に作業者が回転防止部に強い力を加えたとしても、その力によって回転防止部材が解除方向に回転し、ハンドルよりも解除方向の下流側に過って配置されてしまうような不具合を防止することができる。

【0012】

本発明の一態様に係るプラグにおいては、前記第２雌ねじに締結される前記第２雄ねじを有するとともに前記液体収納容器に収納された液体が外部へ流出することを防止する封止部を備えていてもよい。
このようにすることで、封止部によりサイフォン管から本体部を介して液体が流出する不具合を防止しつつ、封止部をナットから取り外す際に封止部とともにナットが回転して開口部から外れてしまう不具合を防止することができる。

【0013】

本発明の一態様に係るコネクタは、上記のいずれかに記載のプラグと、前記第２雌ねじに締結される前記第２雄ねじを有するとともに前記プラグを介して前記液体収納容器から取り出される液体を外部へ供給するソケットと、を備える。
本発明の一態様に係るコネクタによれば、ソケットにより液体収納容器から液体を取り出して外部へ供給することを可能としつつ、ソケットをナットから取り外す際にソケットとともにナットが回転して開口部から外れてしまう不具合を防止することができる。

【発明の効果】

【0014】

本発明によれば、液体収納容器から液体を取り出す構造を簡易な構造で実現しつつ液体収納容器の開口部からプラグが外れて液体が漏出する不具合を防止したプラグおよびそれを備えたコネクタを提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【0015】

【図1】液体取出システムの一実施形態を示す部分縦断面図である。

【図2】図１に示す液体取出システムのコネクタ部分の部分拡大図である。

【図3】図２に示す液体取出システムのプラグに封止キャップを取り付けた状態を示す図である。

【図4】図３に示すプラグの分解組立て図である。

【図5】ロックリングを固定ナットに取り付ける前の状態を示す図である。

【図6】ロックリングの一部を固定ナットへ挿入した状態を示す図である。

【図7】固定ナットの突起部をロックリングの溝部に圧入する前の状態を示す図である。

【図8】図７に示す液体取出システムの右側面図である。

【図9】図８に示す液体取出システムを上方からみた平面図である。

【図10】図３に示すプラグに遮光キャップを取り付けた変形例を示す図である。

【発明を実施するための形態】

【0016】

以下、本発明の一実施形態の液体取出システム１００について図面を参照して説明する。
図１に示すように、本実施形態の液体取出システム１００は、プラグ１０と、ソケット２０と、液体収納容器３０と、を備える。
液体取出システム１００は、ソケット２０を介して液体収納容器３０の内部空間Ｓ１に加圧用気体を導いて内部空間Ｓ１を加圧し、プラグ１０およびソケット２０からなるコネクタを介して液体（半導体製造装置で用いる薬液等）を外部へ取り出すシステムである。

【0017】

ここで、液体取出システム１００が備えるソケット２０について説明する。
ソケット２０は、外部の加圧用気体の供給源（図示略）から供給される加圧用気体を液体収納容器３０の内部空間Ｓ１へ導くとともに、内部空間Ｓ１の加圧によって液体収納容器３０から取り出される液体を外部へ供給する装置である。ソケット２０は、ソケット本体２１と、取付リング２２と、バルブ２３と、Ｏリング２４と、Ｏリング２５とを有する。

【0018】

ソケット本体２１は、軸線Ｘ方向に沿って略円筒状に形成される部材である。ソケット本体２１の内部には、軸線Ｘ方向に延びる液体流路２１ａが形成されている。液体流路２１ａの上端には内周面に雌ねじが形成された配管取付部２１ｂが設けられている。配管取付部２１ｂには外部へ液体を導く配管（図示略）が取り付けられる。

【0019】

ソケット本体２１の内部には、ソケット本体２１を上端から下端まで貫通する気体流路２１ｃが形成されている。気体流路２１ｃの上端には内周面に雌ねじが形成された配管取付部２１ｄが設けられている。配管取付部２１ｄには、外部の供給源（図示略）から供給される加圧用気体をプラグ１０へ導く配管（図示略）が取り付けられる。

【0020】

ソケット本体２１の液体流路２１ａの下方には、弁座２１ｅが設けられている。プラグ１０に取り付けられていない状態のソケット２０の弁座２１ｅにはバルブ２３のスプリング２３ｃの付勢力により弁体２３ａが接触した状態となる。この状態では、弁座２１ｅと弁体２３ａとが接触する位置がシール領域となり、シール領域で液体の流通が遮断される。

【0021】

取付リング２２は、ソケット本体２１をプラグ１０に固定するための部材である。取付リング２２は、軸線Ｘに沿って円筒状に形成される部材である。取付リング２２の内周面には、軸線Ｘ回りに延びる無端状の環状突起部２２ａが形成されている。一方、ソケット本体２１の外周面には、軸線Ｘ回りに延びる無端状の環状溝部２１ｆが形成されている。

【0022】

図２に示すように、環状突起部２２ａは、ソケット本体２１に形成された環状溝部２１ｆと係合している。そのため、取付リング２２はソケット本体２１に対して軸線Ｘ回りに相対的に回転可能な状態となっている。また、取付リング２２の下方の外周面には、雄ねじ２２ｂが形成されている。取付リング２２の雄ねじ２２ｂをプラグ１０の固定ナット１３の上方の内周面に形成された雌ねじ１３ｂに締結することにより、ソケット２０がプラグ１０に固定される。

【0023】

バルブ２３は、プラグ１０の液体流路１１ａとソケット２０の液体流路２１ａとを連通させるか遮断するかを切り換える機構である。バルブ２３は、弁体２３ａと、端部２３ｂと、スプリング２３ｃとを有する。
端部２３ｂは外周面に雄ねじが形成された円筒状部材であり、ソケット本体２１の液体流路２１ａの下方の内周面に形成された雌ねじに締結されている。端部２３ｂはスプリング２３ｃの一端を支持している。スプリング２３ｃの他端は弁体２３ａに保持されている。そのため、弁体２３ａには、スプリング２３ｃによって軸線Ｘに沿って弁座２１ｅに接触する方向の付勢力が与えられる。

【0024】

図２に示すように、ソケット２０が液体収納容器３０の開口部３１に取り付けられた場合、プラグ１０のバルブ操作部１１ｄが弁体２３ａの先端部２３ｄに接触して弁体２３ａを軸線Ｘに沿った上方に押し上げる。弁体２３ａが上方に押し上げられることにより、ソケット２０の液体流路２１ａとプラグ１０の液体流路１１ａとが貫通孔１１ｃを介して連通した状態となる。

【0025】

Ｏリング２４は、ソケット本体２１にプラグ１０のプラグ本体１１が挿入された場合に、プラグ本体１１との間にシール領域を形成する弾性部材である。Ｏリング２５は、ソケット２０が液体収納容器３０の開口部３１に取り付けられた場合に、プラグ本体１１０のフランジ部１１ｆの上端との間にシール領域を形成する弾性部材である。

【0026】

次に、液体取出システム１００が備えるプラグ１０について説明する。
図２および図３に示すように、プラグ１０は、図２に示すように、プラグ本体（本体部）１１と、サイフォン管１２と、固定ナット１３と、ロックリング（回転防止部）１４と、パッキン１５と、封止キャップ１６と、を有する。パッキン１５を除くプラグ１０の各部材は、樹脂材料（例えば、ＨＤＰＥ（高密度ポリエチレン））により形成されている。図２に示すように、プラグ１０は液体収納容器３０の開口部３１に取り付けられる。

【0027】

プラグ本体１１は、液体収納容器３０の開口部３１の内周面３１ｂに沿って取り付けられる円筒状の部材である。プラグ本体１１は、図４に示すように、液体流路１１ａと気体流路１１ｂと貫通孔１１ｃと、バルブ操作部１１ｄと、フランジ部１１ｆと、を有する。

【0028】

液体流路１１ａは、液体収納容器３０に収容された液体をサイフォン管１２から貫通孔１１ｃへ導く流路である。
気体流路１１ｂは、ソケット２０に接続される加圧用気体の供給源（図示略）から供給される加圧用気体を液体収納容器３０の内部空間Ｓ１に導く流路である。加圧用気体が内部空間Ｓ１に導かれることにより、サイフォン管１２から液体流路１１ａに向けて液体が押し出される。気体流路１１ｂは、軸線Ｘ回りの複数箇所（例えば、９０°ずつの４箇所）に設けられている。

【0029】

貫通孔１１ｃは、液体流路１１ａから導かれる液体をソケット２０の液体流路２１ａに導く孔である。貫通孔１１ｃは、軸線Ｘ回りの複数箇所（例えば、９０°ずつの４箇所）に設けられている。
バルブ操作部１１ｄはプラグ１０にソケット２０が取り付けられる際に、ソケット２０が有するバルブ２３を軸線Ｘに沿って押し上げる部材である。ソケット２０が有するバルブ２３を押し上げることにより、貫通孔１１ｃからソケット２０の液体流路２１ａへ向けて液体が導かれる。

【0030】

フランジ部１１ｆは、プラグ本体１１の上端に接続されるとともに液体収納容器３０の開口部３１の内周面３１ｂの径よりも大径の環状部材である。
フランジ部１１ｆの下面には、パッキン１５が取り付けられている。パッキン１５は、軸線Ｘ回りに延在する環状の弾性部材であり、例えば、発泡ポリエチレンや、耐薬品性のあるフッ素ゴム等の弾性体により形成されている。

【0031】

フランジ部１１ｆの下面は、プラグ１０が液体収納容器３０の開口部３１に取り付けられた状態で、パッキン１５を介して開口部３１の上端３１ｃに係止される。これにより、プラグ１０は、開口部３１から内部空間Ｓ１まで引き込まれないようになっている。

【0032】

サイフォン管１２は、図１に示すように、軸線Ｘ方向に延在するとともに液体収納容器３０の底面３０ａに向けて挿入される管状の部材である。
図３に示すように、サイフォン管１２は、プラグ本体１１の下端に接続されており、プラグ本体１１の液体流路１１ａを形成する部分を取り囲むように挿入されている。サイフォン管１２とプラグ本体１１に形成されたエッジ部１１ｅとは、これらが接触する接触位置に軸線Ｘ回りの無端状のシール領域を形成する。このシール領域により、サイフォン管１２の内部と液体収納容器３０の内部空間Ｓ１とが連通しないようになっている。

【0033】

固定ナット１３は、内周面の下方に雌ねじ（第１雌ねじ）１３ａが形成され、内周面の上方に雌ねじ（第２雌ねじ）１３ｂが形成される部材である。図３および図４に示すように、固定ナット１３は、軸線Ｘに沿って延びるように円筒状に形成される部材である。雌ねじ１３ａは、液体収納容器３０の開口部３１の外周面３１ａに形成された雄ねじ３２に締結される。雌ねじ１３ｂは、封止キャップ１６に形成された雄ねじ１６ｃまたはソケット２０の取付リング２２に形成された雄ねじに締結される。

【0034】

なお、固定ナット１３は、樹脂材料（例えば、ＨＤＰＥ（高密度ポリエチレン））により形成されているが、紫外線等に対する遮光性を有する着色剤を混入した樹脂材料を用いるのが望ましい。遮光性を有する樹脂材料を用いることにより、薬液が紫外線等により硬化する不具合を抑制することができる。

【0035】

固定ナット１３は、雌ねじ１３ｂの下端が開口部３１の雄ねじ３２の上端に接触した状態で、軸線Ｘを中心として時計周りの締結方向に回転することにより開口部３１に締結される。一方、固定ナット１３は、軸線Ｘを中心として反時計周りの解除方向に回転することにより、開口部３１との締結が解除される。固定ナット１３の外周面には、軸線Ｘに沿って延びる複数の溝部１３ｃが形成されている。また、固定ナット１３の下端における外周面には、軸線Ｘに対して外側突出するとともに軸線Ｘ回りの周方向に延びる突起部１３ｄが形成されている。

【0036】

ロックリング１４は、固定ナット１３が他の部材（封止キャップ１６または取付リング２２）とともに雄ねじ３２との締結が解除される解除方向に回転することを防止する部材である。図３および図４に示すように、ロックリング１４の内周面には、軸線Ｘに沿って延びるとともに内側に突出する突起部１４ａが形成されている。また、図８および図９に示すように、ロックリング１４は、固定ナット１３に取り付けられた状態で解除方向におけるハンドル３３の上流側および下流側の双方を挟むように配置される回転防止部材１４ｂを有する。また、図４に示すように、ロックリング１４の内周面には、軸線Ｘ回りの周方向に延びる溝部１４ｃが形成されている。

【0037】

ここで、図５から図７を参照して、液体収納容器３０の開口部３１に取り付けられた固定ナット１３に対してロックリング１４を取り付ける工程について説明する。
図５に示すように、作業者は、ロックリング１４を固定ナット１３に取り付ける前に、液体収納容器３０の開口部３１へプラグ本体１１を挿入した状態で、固定ナット１３の雌ねじ１３ａを開口部３１の雄ねじ３２に締結する。また、作業者は、封止キャップ１６の雄ねじ１６ｃを固定ナット１３の雌ねじ１３ｂに締結する。そして、作業者は、回転防止部材１４ｂの軸線Ｘ回りの周方向の位置をハンドル３３と一致させた状態にして、ロックリング１４を固定ナット１３の上方へ配置する。

【0038】

次に、図６に示すように、作業者は、固定ナット１３の外周面とロックリング１４の内周面とを一致させた状態でロックリング１４を軸線Ｘに沿った下方へ移動させる。図６に示すように、ロックリング１４は、ロックリング１４の突起部１４ａが固定ナット１３の溝部１３ｃに係合した状態で軸線Ｘに沿った下方へ移動し、図７に示す状態となる。ロックリング１４の突起部１４ａが固定ナット１３の溝部１３ｃに係合しているため、固定ナット１３はロックリング１４に対して軸線Ｘ回りに回転することが規制される。

【0039】

図７は、ロックリング１４の一部を固定ナット１３へ挿入した状態を示す図である。図７に示す状態において、固定ナット１３の突起部１３ｄは、ロックリング１４の溝部１４ｃに係合していない。これは、固定ナット１３の突起部１３ｄの軸線Ｘを中心とした外径が、ロックリング１４の溝部１４ｃの軸線Ｘを中心とした内径よりも大きいためである。作業者は、図７に示す状態からロックリング１４を軸線Ｘに沿った下方へ押し付けることにより、溝部１４ｃの内径が拡大するようにロックリング１４を弾性変形させる。ロックリング１４が弾性変形すると溝部１４ｃに突起部１３ｄが挿入される。これにより、ロックリング１４は、突起部１３ｄを溝部１４ｃに圧入した状態（図３に示す状態）で固定ナット１３に固定される。

【0040】

図７に示すように、ロックリング１４の回転防止部材１４ｂは、突起部１３ｄを溝部１４ｃに圧入する前にハンドル３３の上流側および下流側の双方を挟むように配置される。このようにしているのは、突起部１３ｄを溝部１４ｃに圧入する際に作業者がロックリング１４に強い力を加えたとしても、その力によって回転防止部材１４ｂが解除方向に回転し、ハンドル３３よりも解除方向の下流側に過って配置されてしまうような不具合を防止するためである。

【0041】

図８および図９に示すように、突起部１３ｄを溝部１４ｃに圧入した取付状態になると、回転防止部材１４ｂの切欠部１４ｄにハンドル３３が挿入され、ハンドル３３の解除方向の上流側および下流側が回転防止部材１４ｂに挟まれた状態となる。この状態においては、固定ナット１３を解除方向に回転させることができなくなる。それは、固定ナット１３がロックリング１４に対して軸線Ｘ回りに回転することが規制され、ロックリング１４が軸線Ｘ回りに回転することが回転防止部材１４ｂにより規制されるからである。

【0042】

図９に示すように、ロックリング１４の突起部１４ａは、軸線Ｘ回りに９０°ずつの等間隔で４箇所設けられている。４つの突起部１４ａを固定ナット１３の溝部１３ｃに係合させることにより、固定ナット１３がロックリング１４に対して軸線Ｘ回りに回転することが規制される。なお、ここでは、突起部１４ａを９０°ずつの等間隔で４箇所に配置するものとしたが、２箇所以上の任意の箇所としてもよい。

【0043】

パッキン１５は、プラグ１０が液体収納容器３０の開口部３１に取り付けられた状態で、開口部３１の上端３１ｃと軸線Ｘ回りの全周に渡って接触した状態となる部材である。開口部３１の上端３１ｃとパッキン１５とが接触することにより、軸線Ｘ回りに延びる無端状のシール領域が形成される。そのため、液体収納容器３０の内部空間Ｓ１を加圧用気体によって加圧する場合であっても、液体収納容器３０の開口部３１とプラグ１０の隙間から加圧用気体が外部へ漏れ出す不具合を抑制することができる。

【0044】

封止キャップ（封止部）１６は、液体収納容器３０に収納された液体がプラグ１０を介して外部へ流出することを防止するものである。図３および図４に示すように、封止キャップ１６は、封止部材１６ａと封止部材１６ａに連結されたキャップ部材１６ｂとを有する。また、封止キャップ１６の外周面には雄ねじ１６ｃが形成されている。雄ねじ１６ｃは、固定ナット１３の内周面の上方に形成された雌ねじ１３ｂに締結される。

【0045】

封止キャップ１６は、雄ねじ１６ｃの下端が固定ナット１３の雌ねじ１３ｂの上端に接触した状態で、軸線Ｘを中心として時計周りの締結方向に回転することにより固定ナット１３に締結される。一方、封止キャップ１６は、軸線Ｘを中心として反時計周りの解除方向に回転することにより、固定ナット１３との締結が解除される。

【0046】

なお、封止キャップ１６のキャップ部材１６ｂは、樹脂材料（例えば、ＨＤＰＥ（高密度ポリエチレン））により形成されているが、紫外線等に対する遮光性を有する着色剤を混入した樹脂材料を用いるのが望ましい。遮光性を有する樹脂材料を用いることにより、薬液が紫外線等により硬化する不具合を抑制することができる。

【0047】

次に、液体取出システム１００が備える液体収納容器３０について説明する。
図４に示すように、液体収納容器３０は、図１に示すように、鉛直方向に延びる軸線Ｘに沿って円筒状に形成される容器であり、液体を内部に収容可能となっている。液体収納容器３０は、耐薬品性のある樹脂材（例えば、ＨＤＰＥ（高密度ポリエチレン））により形成されている。

【0048】

液体収納容器３０は、外周面３１ａに雄ねじ（第１雄ねじ）３２が形成された円筒状の開口部３１が上端に形成された容器である。液体収納容器３０は、開口部３１を介して注入された液体（半導体製造装置で用いる薬液等）を内部に収納する。図４に示すように、液体収納容器３０は、開口部３１から側方へ突出するハンドル３３を有する。作業者は、ハンドル３３を手で把持することにより、内部に液体が収納された液体収納容器３０を容易に運搬することができる。

【0049】

以上説明した本実施形態が奏する作用および効果について説明する。
本実施形態のプラグ１０によれば、液体収納容器３０の開口部３１の内周面３１ｂにプラグ本体１１を取り付けた状態で固定ナット１３の雌ねじ１３ａを開口部３１の雄ねじ３２に締結することにより、固定ナット１３が開口部３１に取り付けられる。また、封止キャップ１６の雄ねじ１６ｃあるいは取付リング２２の雄ねじ２２ｂを固定ナット１３の雌ねじ１３ｂに締結することにより、他の部材（封止キャップ１６あるいは取付リング２２）が固定ナット１３に取り付けられる。他の部材を固定ナット１３から取り外すために解除方向に回転させる場合、他の部材から固定ナット１３に解除方向に回転させる力が伝達される。

【0050】

ここで、固定ナット１３にロックリング１４を挿入した状態で、固定ナット１３がロックリング１４に対して軸線Ｘ回りに回転することが規制されている。そのため、固定ナット１３が解除方向に回転する場合には、固定ナット１３と一体となってロックリング１４も解除方向に回転する。そして、固定ナット１３に取り付けられた状態で、ハンドル３３よりも解除方向の上流側には、回転防止部材１４ｂが配置されている。そのため、固定ナット１３が解除方向に回転したとしても、回転防止部材１４ｂがハンドル３３と接触し、ロックリング１４が解除方向に回転することが防止される。また、ロックリング１４と一体となって回転する固定ナット１３も、解除方向に回転することが防止される。よって、固定ナット１３が解除方向に回転したとしても、回転防止部材１４ｂがハンドル３３と接触した後は更に固定ナット１３が解除方向に回転することはない。
このように、本実施形態のプラグ１０によれば、液体収納容器３０から液体を取り出す構造を簡易な構造で実現しつつ液体収納容器３０の開口部３１３からプラグ１０が外れて液体が漏出する不具合を防止することができる。

【0051】

本実施形態のプラグ１０において、固定ナット１３の下端における外周面には、軸線Ｘに対して外側へ突出する突起部１３ｄが形成されており、ロックリング１４の内周面には、軸線Ｘ回りの周方向に延びる溝部１４ｃが形成されている。また、ロックリング１４は、突起部１３ｄを溝部１４ｃに圧入した状態で固定ナット１３に固定される。
本実施形態のプラグ１０によれば、突起部１３ｄを溝部１４ｃに圧入した状態でロックリング１４が固定ナット１３に固定される。そのため、ロックリング１４を固定ナット１３に取り付けた後にロックリング１４が固定ナット１３から不用意に取り外されることが防止される。

【0052】

本実施形態のプラグ１０において、回転防止部材１４ｂは、突起部１３ｄを溝部１４ｃに圧入する前にハンドル３３よりも解除方向の上流側に配置された状態となる。
このようにすることで、突起部１３ｄを溝部１４ｃに圧入する際に作業者がロックリング１４に強い力を加えたとしても、その力によって回転防止部材１４ｂが解除方向に回転し、ハンドル３３よりも解除方向の下流側に過って配置されてしまうような不具合を防止することができる。

【0053】

〔他の実施形態〕
以上の説明において、ロックリング１４の回転防止部材１４ｂは、固定ナット１３に取り付けられた状態で解除方向におけるハンドル３３の上流側および下流側の双方を挟むように配置されるものであったが、他の態様であってもよい。例えば、ロックリング１４の回転防止部材１４ｂは、固定ナット１３に取り付けられた状態で解除方向におけるハンドル３３の上流側のみに配置されるものであってもよい。解除方向におけるハンドル３３の上流側のみに回転防止部材１４ｂを配置しても、固定ナット１３を解除方向に回転させると回転防止部材１４ｂがハンドル３３に接触するため、固定ナット１３が外れる不具合が防止される。

【0054】

また、以上の説明において、封止キャップ１６は封止部材１６ａとキャップ部材１６ｂとを連結したものとした。また、キャップ部材１６ｂは、紫外線等に対する遮光性を有する着色剤を混入した樹脂材料を用いるのが望ましいものとしたが、他の態様であってもよい。例えば、図１０に示す変形例にかかる液体取出システム１００Ａにおいては、プラグ１０Ａの封止キャップ１６Ａを単一の部材で形成し、封止キャップ１６Ａを覆うように遮光性を有する遮光キャップ１７を配置する構成としてもよい。本構成においては、封止キャップ１６Ａを着色剤が混入されていない樹脂材料により形成することができる。そのため、液体収納容器３０に収容される液体が着色剤により汚染されることがない点で有利である。

【符号の説明】

【0055】

１０ プラグ
１１ プラグ本体（本体部）
１２ サイフォン管
１３ 固定ナット
１３ａ 雌ねじ（第１雌ねじ）
１３ｂ 雌ねじ（第２雌ねじ）
１３ｃ 溝部
１３ｄ 突起部
１４ ロックリング（回転防止部）
１４ａ 突起部
１４ｂ 回転防止部材
１４ｃ 溝部
１４ｄ 切欠部
１５ パッキン
１６ 封止キャップ（封止部）
１６ａ 封止部材
１６ｂ キャップ部材
１６ｃ 雄ねじ（第２雄ねじ）
１７ 遮光キャップ
２０ ソケット
２１ ソケット本体
２２ 取付リング
２２ａ 環状突起部
２２ｂ 雄ねじ
２３ バルブ
２４，２５ Ｏリング
３０ 液体収納容器
３０ａ 底面
３１ 開口部
３１ａ 外周面
３１ｂ 内周面
３１ｃ 上端
３２ 雄ねじ（第１雄ねじ）
３３ ハンドル
１００ 液体取出システム
Ｓ１ 内部空間
Ｘ 軸線

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】