特許 7012100 ダイアフラムシール付きダブルシートバルブおよび駆動装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2022-01-19

(45)【発行日】2022-01-27

(54)【発明の名称】ダイアフラムシール付きダブルシートバルブおよび駆動装置

(51)【国際特許分類】

   F16K 1/44 20060101AFI20220120BHJP

   F16K 31/122 20060101ALI20220120BHJP

【ＦＩ】

F16K1/44 B

F16K31/122

【請求項の数】 13

(21)【出願番号】P 2019563055

(86)(22)【出願日】2018-05-14

(65)【公表番号】

(43)【公表日】2020-09-24

(86)【国際出願番号】 EP2018062377

(87)【国際公開番号】W WO2018215229

(87)【国際公開日】2018-11-29

【審査請求日】2020-04-21

(31)【優先権主張番号】102017005062.7

(32)【優先日】2017-05-26

(33)【優先権主張国・地域又は機関】DE

(73)【特許権者】

【識別番号】513050121

【氏名又は名称】ゲーエーアー トゥーヘンハーゲン ゲーエムベーハー

(74)【代理人】

【識別番号】100080182

【弁理士】

【氏名又は名称】渡辺 三彦

(74)【代理人】

【識別番号】100142572

【弁理士】

【氏名又は名称】水内 龍介

(72)【発明者】

【氏名】ブルメスター イェンス

(72)【発明者】

【氏名】ピープロウ ヨルク

(72)【発明者】

【氏名】テグトマイヤー ステファニー

【審査官】西井 香織

(56)【参考文献】

【文献】独国特許出願公開第１０２００６０２５６５３（ＤＥ，Ａ１）

【文献】特表２０１５－５３０５３３（ＪＰ，Ａ）

【文献】特表２０１６－５０３１５５（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｆ１６Ｋ １／００ － １／５４

Ｆ１６Ｋ ３１／１２２

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

ダブルシートバルブであって、
第１のバルブシート（３４）に関連付けられた第１の閉鎖要素（１４）と、
第２のバルブシート（４０）に関連付けられた第２の閉鎖要素（１６；１６’）と、
前記第２の閉鎖要素（１６；１６’）に接続された中空ロッド（２０）と、
前記第１の閉鎖要素（１４）に接続され、前記中空ロッド（２０）を通じて延伸するように配置されたバルブロッド（１８）と、
前記中空ロッド（２０）および前記ダブルシートバルブのハウジング（２）に固定された第１のダイアフラム（４４）と、
前記バルブロッド（１８）と前記中空ロッド（２０）との間のチャネル（５８）をシールするように配置された第２のダイアフラム（５６）とを備え、
前記第２の閉鎖要素（１６；１６’）は、接続領域（１２０）内で支持区画（６８）に接続された環状体（７２；７２’）を備え、
前記環状体（７２；７２’）および前記支持区画（６８）は、前記第２のダイアフラム（５６）をクランプするように設計され、
前記接続領域（１２０）は、内部（５４）に対して、前記第２のダイアフラム（５６）およびギャップシール（７８）にシールされており、
前記支持区画（６８）が、前記接続領域（１２０）と前記チャネル（５８）との間の流体接続の区画を形成する漏出チャネル（１２２）を含み、
前記第２のダイアフラム（５６）の内縁部（６０）を、前記バルブロッド（１８）の肩部（６２）との間に固定する第２のクランプ要素（６４）と、
前記第２のクランプ要素（６４）を支持および案内するように配置される第２のベアリング（７０）と、を含む、
ことを特徴とする、ダブルシートバルブ。

【請求項5】

主駆動装置（２４；２４’）が、シリンダ（９２、９４）内で可動なピストン（９８）ならびに駆動ロッド（１０６）およびばね（１０２）を備えることを特徴とし、前記バルブロッド（１８）および／または前記中空ロッド（２０）の回転に対する持ち上げ運動を安定させる第１の回転安定化手段が設けられることを特徴とする、請求項１、請求項３、 及び請求項４のいずれか一項に記載のダブルシートバルブ。

【請求項10】

主駆動装置（２４；２４’）が、シリンダ（９２、９４）内で可動なピストン（９８）ならびに駆動ロッド（１０６）およびばね（１０２）を備えることを特徴とし、前記バルブロッド（１８）および／または前記中空ロッド（２０）の回転に対する持ち上げ運動を安定させる第１の回転安定化手段が設けられることを特徴とする、請求項２、請求項８、 及び請求項９のいずれか一項に記載のダブルシートバルブ。

【請求項13】

第２の回転安定化手段を備える補助駆動装置（２６）が設けられていることを特徴とする、請求項１０～１２のいずれか一項に記載のダブルシートバルブ。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、請求項１のプリアンブルに記載のダイアフラムシール付きダブルシートバルブに関する。

【背景技術】

【0002】

実質的に環状のダイアフラムを備える単座弁であって、ダイアフラムは内縁および外縁を備え、その内縁が閉鎖要素に直接的または間接的に固定され、外縁が単座弁のハウジングに固定されている、単座弁が、従来技術において、例えば特許文献１から知られている。

【0003】

閉鎖要素を互いに独立して通気位置に運ぶことが可能である、各々が関連するバルブシートと協働する第１の閉鎖要素および第２の閉鎖要素を備えたダブルシートバルブも、適用分野である。この種のバルブの目的は、閉鎖要素間に第２のダイアフラムを配置することである。このようにして、望遠鏡のように互いに係合するバルブロッド間の間隙が密閉される。

【0004】

従来技術、特に特許文献２および特許文献３では、さまざまな解決策が提案されている。そこで提案されている２つのバルブは、多くの個別の部品から構成されるバルブロッドおよび閉鎖体を備える。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0005】

【文献】国際公開第２０１３／１７０９３１号

【文献】独国特許出願公開第１０２００６０２５６５３号明細書

【文献】欧州特許第２７３４７５７号明細書

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0006】

本発明の目的は、単純な設計を有し、信頼性の高い機能が保証された、２つのダイアフラムを備えるダブルシートバルブを導入することである。

【0007】

この目的は、請求項１の特徴を有するダブルシートバルブによって達成される。有利な発展が、上記請求項１に従属する請求項に記載されている。

【課題を解決するための手段】

【0008】

ダブルシートバルブにおいては、第１のバルブシートに関連付けられた第１の閉鎖要素と、第２のバルブシートに関連付けられた第２の閉鎖要素と、第２の閉鎖要素に接続された中空ロッドと、第１の閉鎖要素に接続され、中空ロッドを通じて延伸するように配置されたバルブロッドと、中空ロッドおよびダブルシートバルブのハウジングに固定された第１のダイアフラムと、バルブロッドと中空ロッドとの間のチャネルをシールするように配置された第２のダイアフラムとを備え、第２の閉鎖要素は、支持区画に接続された環状体を備え、環状体および支持区画は、第２のダイアフラムをクランプするように設計され、互いに対して、第２のダイアフラムおよびギャップシールにシールされている、ことを提案されている。支持区画は、接続領域とチャネルとの間の流体接続の区画を形成する漏出チャネルを含む。第２のダイアフラムまたはギャップシールが、接続領域に入る漏れ及び流体になる場合、これは、提案された設計により検出されることができる。これは、２つのダイアフラムの使用の組み合わせにより、例えば第２のダイアフラムの失敗、という機能的な障害に確かな検出をしながら操作する間、衛生的な設計のために設けている。設計は、先行技術と比較し、僅かな個別部品であり、それ故により費用対効果が高く、より素早く確実に組み立て、操作部内に取り付けることができる。

【0009】

中空ロッドが、リフト軸の方向において第１のダイアフラムおよび第１のクランプ要素を通じて一体に延伸する場合、ダブルシートバルブの設計は、さらに簡潔化される。これはまた、潜在的な損傷の点においても排除する。

【0010】

他の有益な発展によると、第２のベアリングが、第２のクランプ要素を支持および案内するように配置されている。その結果、バルブロッドと中空ロッドとの間で大きなギャップが可能になる。この大きなギャップは代わりに、第２のダイアフラムまたはギャップシールの失敗が生じた場合、より確実で改善された漏れの検出を提供する。

【0011】

ダブルシートバルブの発展において、ギャップシールが、第２のバルブシートと協働するように設計および配置されている。その結果、バルブをより簡単に洗浄することができ、残りの流体が蓄積することができる数々の場所が減少する。

【0012】

ダブルシートバルブの発展において、第１および第２の部品が互いに対して回転するのを防止する固定手段が、第２の閉鎖要素上に配置されている。これにより、ダブルシートバルブの信頼できる機能が保証され、特に操作中に、第１および第２の部品の接続の解除が防止される。

【0013】

ダイアフラムの固定点およびダイアフラム自体の機械的な歪みを引き起こす、ねじり力の導入が、防止される場合、ダイアフラムのシール機能および有効寿命が延長される。これを達成するために、本発明によると、主駆動装置が、シリンダ内で可動なピストンならびに駆動ロッドおよびばねを備え、バルブロッドまたは中空ロッドの回転に対する持ち上げ運動を安定させる第１の回転安定化手段が設けられている。

【0014】

第１の回転安定化手段によると、前記手段は、駆動ロッド上でピストンを回転可能に維持するスライドベアリングを含む。これは、費用対効果が高く、信頼できる実施形態である。

【0015】

回転安定化手段のさらなる費用対効果実施形態は、第１の回転安定化手段が、バーを受け入れる凹部を有するピストン区画を含み、バーはリフト軸の方向においてのみ、凹部内で可動であることからなる。

【0016】

補助駆動装置が設けられる場合、第２の回転安定化手段は、補助駆動装置内に設けられる。これにより、装置においてバルブロッドおよび/または中空ロッドにねじり力が作用することを可能な限り早く防止することが可能になる。これは、バルブロッドおよび中空ロッドの領域においてバルブの設計を簡潔化する。

【0017】

公開された設計バリアントは、流体内の大粒子がダブルシートバルブを通って流れるようにし、詰まりを防止することを可能にするため、有益である。

【0018】

後続において、本発明が、述べられており、有益な点が、代表的な実施形態に基づいて説明されている。

【図面の簡単な説明】

【0019】

【図1】２つのダイアフラムを含むダブルシートバルブを通じる断面

【図2】第２のダイアフラムの領域の詳細な断面図

【図3】第２のディスクにおいて分割シール溝を含むダブルシートバルブの詳細な断面図

【図4】空気圧駆動装置を通じる断面

【発明を実施するための形態】

【0020】

図１は、長手方向リフト軸Ｈに沿った断面において、ダブルシートバルブを示す。ダブルシートバルブは、第１のポート４および第２のポート６を有するハウジング２を備える。第１のポート４と第２のポート６との間の流体経路が、ハウジング２内に形成され、中間チャンバ８内に部分的に延伸する。

【0021】

第１のサイドバルブ１０および好ましくは第２のサイドバルブ１２が、中間チャンバ８に流体接続することができるように、ハウジング２に接続されている。上記サイドバルブ１０および１２により、中間チャンバ８からの漏れをダブルシートバルブから外方に案内することができ、例えば、中間チャンバ８を洗浄することができる。中間チャンバ８に、例えばバッフルなどの無菌バリアを形成することも可能である。有利には、サイドバルブ１０および１２の少なくとも一方は中間チャンバ８に接続されており、結果、リフト軸Ｈが重力と平行に向けられている場合、流体が残留物を一切残さずにチャンバから流出することができる。

【0022】

第１の閉鎖要素１４および第２の閉鎖要素１６は、リフト軸Ｈに沿って移動することができるようにハウジング２内に配置される。第１の閉鎖要素１４は、バルブロッド１８に接続される。第２の閉鎖要素１６は、中空ロッド２０に接続され、バルブロッド１８は、少なくとも、中空ロッド２０の内側でその延伸範囲の一部にわたって配置され、バルブロッド１８および中空ロッド２０は、リフト軸Ｈに沿って延伸し、１つまたは複数の部品から形成されている。ロッド１８および２０は、ハウジング２の外に案内され、ハウジング部分２２を通って延伸する。バルブロッド１８および中空ロッド２０は、ハウジング２の外側の主駆動装置２４に動作可能に接続されている。

【0023】

主駆動装置２４は、好ましくは空気圧駆動装置であり、ダブルシートバルブの開位置および閉位置をもたらすように設計されている。開位置では、第１のポートと第２のポートの間に流体接続が確立される。閉位置では、上記流体接続が阻止される。バルブロッド１８、中空ロッド２０および主駆動装置２４から成るアセンブリは、主駆動装置２４の効果を通じて、バルブロッド１８が動き、中空ロッド２０がこの動きに追随するように設計することができる。

【0024】

空気圧駆動装置としても設計され得る補助駆動装置２６が提供されてもよい。上記補助駆動装置２６は、好ましくは、バルブロッド１８および中空ロッド２０を、リフト軸Ｈに沿って互いに独立して動かすように設計される。それにより、ロッド１８および２０は、部分リフト位置に運ばれ、この位置において、いずれの場合も閉鎖要素１４および１６のうちの一方は閉位置のままであり、一方で、他方の閉要素１４および１６は開位置に運ばれる。

【0025】

駆動装置２４および２６は、ハウジング部分２２に直接的または間接的に、機械的に接続されている。ハウジング部分２２は、漏出口２８を備え、それにより、ハウジング部分内の収集空間３０をハウジング部分の周囲Ｕに接続することができる。

【0026】

本発明をより良好に図解するために、ハウジング２の領域が図２の詳細な断面図に示されている。

【0027】

第１のシール３２が、第１の閉鎖要素１４の溝に受け入れられる。上記第１のシール３２は、第１の閉鎖要素１４の閉位置において第１のバルブシート３４と密封方式で協働する。第１のシール３２は、軸方向にシールまたは半軸方向にシールする。第１の閉鎖要素１４は、第１の突起３６を備えることができ、第１の突起３６は、第１の閉鎖要素１４の部分リフト位置においてチョークギャップが第１の突起３６とハウジング２との間に形成されるように配置および成形される。チョークギャップは特に、そこを流れる流体を加速させ、したがって、部分リフト位置において実行される洗浄を改善する。

【0028】

第２のシール３８が、第２の閉鎖要素１６の溝に受け入れられる。上記第２のシール３８は、第２の閉鎖要素１６の閉位置において第２のバルブシート４０と密封方式で協働する。第２のシール３８は、軸方向にシールまたは半軸方向にシールする。第２の閉鎖要素１６は、第２の突起４２を備えることができ、第２の突起４２は、第２の閉鎖要素１６の部分リフト位置においてチョークギャップが第２の突起４２とハウジング２との間に形成されるように配置および成形される。

【0029】

実質的に環状の第１のダイアフラム４４は、ハウジング部分２２とハウジング２との間に固定された外縁４６を備える。持ち上がることを可能にするために、第１のダイアフラム４４は、波状の断面を有し、結果、第１のダイアフラム４４の内縁４８がドームのように裏返される。上記内縁４８は、中空ロッド２０に固定される。この目的のために、中空ロッド２０に固定することができる第１のクランプ要素５０を設けることができる。有利には、クランプ要素５０は、第１のダイアフラム４４がクランプ要素５０に部分的に寄りかかるように設計されており、結果、第１のダイアフラム４４がダブルシートバルブ内の流体の圧力から解放される。クランプ要素５０の外壁には、好ましくはほぼリフト軸Ｈの方向に延伸する漏出溝１２４を設けることができる。上記溝は、ダイアフラム４４から離れた外壁の一部のみにわたって延伸し、流体誘導方式でハウジング部分２２の横方向チャネル１２６と協働するように設計することができる。漏れやすい第１のダイアフラム４４によって引き起こされる漏れは、漏出溝１２４および任意の横方向チャネル１２６によってダブルシートバルブから外方に誘導することができ、したがってより確実に検出することができる。

【0030】

クランプ要素５０を受け入れる凹部がハウジング部分２２に設けられている。第１のベアリング５２が上記凹部内に配置され、上記クランプ要素がリフト軸Ｈに沿って凹部内で動くことができるように、クランプ要素５０をスライド可能に維持する。

【0031】

このように配置された第１のダイアフラム４４は、周囲Ｕに対してダブルシートバルブの内部５４をシールする。

【0032】

バルブロッド１８と中空ロッド２０との間に形成されたチャネル５８を中間空間８に対してシールするために、第２のダイアフラム５６が第２の閉鎖要素１６に設けられている。

【0033】

第２のダイアフラム５６は、クランプされ、したがって、バルブロッド１８の肩部６２と第２のクランプ要素６４との間に固定された内縁部６０を備える。第２のクランプ要素６４は、チャネル５８の延長部６６に受け入れられ、延長部６６は、中空ロッド２０の支持区画６８に配置される。第２のベアリング７０が、支持区画６８内に受け入れられる。第２のベアリング７０の位置および材料は、延長部６６内の第２のクランプ要素６４の軸方向の動きを案内および維持するために選択される。このように、第２のクランプ要素６４は直接的に、バルブロッド１８は間接的に、リフト軸Ｈに沿ったリフト運動中に支えられ、案内される。上記案内は、大きい直径で行われるため、非常に正確である。加えて、この設計は、既知の従来技術と比較して大きい、大きい断面積の流れを有するチャネル５８を可能にする。したがって、例えば第２のダイアフラム５６を変更する必要があることを示す漏れのシグナリングが大幅に改善される。

【0034】

支持区画６８は、第２の閉鎖要素１６の一部を形成し、第２シール３８を支持する環状体７２を支持する。ねじ山７４は、支持区画６８と環状体７２との間の解放可能な接続を確立する。第２のダイアフラム６０の外縁７６は、特に適切な案内およびクランプならびに適切な噛み合い係合により、支持区画６８と環状体７２との間に保持される。第２のダイアフラム６０は、ねじ山７４を中間チャンバ８に対して同時にシールする。支持区画６８と環状体７２との間で内部５４に面する接続部、したがってねじ山７４は、ギャップシール７８によってシールされる。上記ギャップシール７８は、有利には、支持区画６８の溝に受け入れられ、環状体７２がねじ山７４にねじ込まれる前にそこに設置される。この設計により、内部５４に面する支持区画６８および環状体７２の表面を傾斜面として設計し、それらの流体排出が特に良好になるようにそれらを成形することが可能になり、結果、残留物を一切残さず、かつ、ギャップシール７８によって妨げられることなく、流体が第２の閉鎖要素１６から排出される。

【0035】

バルブロッド１８の細長い穴８２を通って延伸する中空ピン８０が、中空ロッド２０内に保持されている。細長い穴８２は、中空ピン８０と協働して、リフト軸Ｈの方向においてバルブロッド１８が中空ロッド２０に対して動くことを可能にするように、ただし、ロッド１８とロッド２０との互いに対する回転運動が防止されるように配置および成形される。これにより、第２のダイアフラム５６のねじれ歪みが防止される。中空ピン８０はまた、中実の材料から作成される円筒ピンとして設計されてもよい。

【0036】

図３は、特にギャップシール７８および第２のシール３８に関連するダブルシートバルブの発展を示している。

【0037】

第１の閉鎖要素１４は、バルブロッド１８および中空ロッド２０と同様に、前の例から変更されずに持ち越されている。実質的な変化は、第２の閉鎖要素１６’に関連する。

【0038】

第２の閉鎖要素１６’は、例えばねじ山７４’によって支持区画６８’に接続される環状体７２’を備える。シール構成を単純化し、シールを省くことができるように、接続領域１２０内で、支持区画６８’と環状体７２’との間に接合部８４が、ギャップシール７８を受け入れるように成形されているシール溝８６において終端するように形成される。シール溝８６の輪郭は、部分的に支持区画６８’および環状体７２’内に延伸してもよい。この設計により、ギャップシール７８は、接続領域１２０をシールすることに加えて、第２のシール３８の機能を果たし、第２のバルブシート４０と協働する。部品数の削減に加えて、追加の利点は、とりわけ、上記構成をより簡単に洗浄することができるため、より衛生的な設計が達成されることである。

【0039】

支持区画６８’と環状体７２’との間のねじ接続が解除されるのを防ぐために、例えば止めねじなどの固定手段８８を設けることが有利である。固定手段８８は、環状体７２’および支持区画６８’との回転防止の噛み合い係合を形成する。シール溝８６の基部に固定手段を配置することが有利であり、その結果、上記手段は、ダブルシートバルブの組み立てられた状態において第２のシール３８によって覆われ、したがってダブルシートバルブ内の流体にアクセスすることができない。

【0040】

環状体７２’は、有利には、支持区画６８’から遠隔した側に少なくとも１つのネック面９０を備える。上記ネック面は、支持区画６８’と環状体７２’との間のねじ接続を確立するために使用されるツールと協働するように設計されている。

【0041】

図４は、圧力媒体によって作動する主駆動装置２４の有利な実施形態の詳細を示している。

【0042】

主駆動装置２４は、第１のシリンダ部分９２と第２のシリンダ部９４とを備えている。シリンダ部分９２および９４はともに、駆動装置ハウジングおよび主駆動装置２４の走行面を形成する。ピストン９８の周溝内に受け入れられるピストンシール９６は、上記走行面上をスライドする。ピストン９８は、主駆動装置２４の内部を２つのチャンバに分割する。１つは、圧力媒体チャンバ１００であり、当該チャンバ内には、リフト軸Ｈに沿ったピストン９８の変位を引き起こす力をピストン９８に対して生成するために、一般には気体である圧力媒体を入れることができる。それによる力が、第２のチャンバであるばねチャンバ１０４内に配置されたばね１０２によって生成された復元力に対抗して作用する。

【0043】

ピストン９８は、持ち上げ運動が伝達される駆動ロッド１０６上に固定されている。上記駆動ロッド１０６は、第１のバルブディスク１４の動きをトリガするために、バルブロッド１８に直接的または間接的に接続することができる。

【0044】

駆動ロッド１０６は、圧力媒体チャネル１０８を備えることができる。駆動ロッド１０６内の少なくとも１つの入口１１０は、圧力媒体チャネル１０８と圧力媒体チャンバ１００との間に流体接続を確立する。

【0045】

ばね１０２の圧縮およびその後の膨張中に、ねじれのためにトルクが生成され、上記トルクはピストン９８に作用する。トルクが駆動ロッド１０６に、したがって最終的に第２のダイアフラム５６に伝達されるのを防ぐために、第１の回転安定化手段が設けられる。回転安定化手段の費用対効果の高い実施形態は、それによってピストン９８が駆動ロッド１０６上に回転可能に支持されるスライドベアリングの実施形態である。第１の回転安定化手段、またはスライドベアリングはそれぞれ、フランジ１１４を有するベアリングブッシュ１１２を備える。上記ベアリングブッシュは、ベアリングワッシャ１１６とともにピストン９８のためのスライドベアリングを形成する。固定ナット１１８が、スライドベアリングおよびピストン９８を駆動ロッド１０６に固定し、スライドベアリングにおける規定の力条件を保証する。ベアリングブッシュ１１２およびベアリングワッシャ１１６は、ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）などの費用効果が高く適切な材料から構成されてもよい。

【0046】

図５は、主駆動装置２４’内の第１の回転安定化手段の代替的な実施形態を示す。ピストン９８は、駆動ロッド１０６を取り囲むようにリフト軸Ｈに沿って延伸し、ばね１０２によって取り囲まれたピストン区画１３０を備える。ピストン区画１３０は、第１のシリンダ部分９２の端板に接続されたバー１３４を受け入れる凹部１３２を備えている。凹部１３０は、リフト軸Ｈの方向に延伸しており、円周方向において円周の一部のみを覆っている。凹部１３０およびバー１３４は、バー１３４がリフト軸Ｈの方向に運動することができるが、円周方向の運動が阻止されるように寸法決めされている。これは、例えば、その長手方向軸が長手方向スロット内に延伸し、その幅が丸棒の直径にほぼ対応する丸棒によって達成することができる。このようにして、ばね１０２によってピストン９８に導入されるねじり力は、ピストン９８の回転、およびその後の回転の駆動ロッド１０６への伝達を防止する。

【0047】

バルブロッド１８と中空ロッド２０とが互いに対して回転するのを防ぐ中空ピン８０の代替として、またはそれに加えて、主駆動装置２４、２４’内の第１の回転安定化手段に加えて第２の回転安定化手段を補助駆動装置２６内に設けることもできる。上記第２の回転安定化手段は、例えば、図４および図５に関して説明された原理に従って設計されてもよい。また、第２の回転安定化手段は、補助駆動装置２６のピストンの回転方向における機械的停止手段として設計することもできる。回転安定化手段により、損傷を与えるねじれがダイアフラム４４および５６に作用することが防止され、ダイアフラムの有効寿命が延長される。

【符号の説明】

【0048】

２ ハウジング
４ 第１のポート
６ 第２のポート
８ 中間チャンバ
１０ 第１のサイドバルブ
１２ 第２のサイドバルブ
１４ 第１の閉鎖要素
１６、１６‘ 第２の閉鎖要素
１８ バルブロッド
２０ 中空ロッド
２２ ハウジング部分
２４、２４‘ 主駆動装置
２６ 補助駆動装置
２８ 漏出口
３０ 収集空間
３２ 第１のシール
３４ 第１のバルブシート
３６ 第１の突起
３８ 第２のシール
４０ 第２のバルブシート
４２ 第２の突起
４４ 第１のダイアフラム
４６ 第１のダイアフラムの外縁
４８ 第１のダイアフラムの内縁
５０ 第１のクランプ要素
５２ 第１のベアリング
５４ 内部
５６ 第２のダイアフラム
５８ チャネル
６０ 第２のダイアフラムの内縁
６２ 肩部
６４ 第２のクランプ要素
６６ 延長部
６８、６８‘ 支持区画
７０ 第２のベアリング
７２、７２‘ 環状体
７４、７４‘ ねじ山
７６ 第２のダイアフラムの外縁
７８ ギャップシール
８０ 中空ピン
８２ 細長い穴
８４ 接合部
８６ シール溝
８８ 固定手段
９０ ネック面
９２ 第１のシリンダ部分
９４ 第２のシリンダ部分
９６ ピストンシール
９８ ピストン
１００ 圧力媒体チャンバ
１０２ ばね
１０４ ばねチャンバ
１０６ 駆動ロッド
１０８ 圧力媒体チャネル
１１０ 入口
１１２ ベアリングブッシュ
１１４ フランジ
１１６ ベアリングワッシャ
１１８ 固定ナット
１２０ 接続領域
１２２ 漏出チャネル
１２４ 漏出溝
１２６ 横方向チャネル
１３０ ピストン区画
１３２ 凹部
１３４ バー
１３６ コネクタ

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】