特許 7012143 レチクルの搬送システム及び搬送方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2022-01-19

(45)【発行日】2022-01-27

(54)【発明の名称】レチクルの搬送システム及び搬送方法

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/677 20060101AFI20220120BHJP

   G03F 9/00 20060101ALI20220120BHJP

【ＦＩ】

H01L21/68 A

G03F9/00 Z

【請求項の数】 18

(21)【出願番号】P 2020510090

(86)(22)【出願日】2018-08-17

(65)【公表番号】

(43)【公表日】2020-11-05

(86)【国際出願番号】 CN2018101173

(87)【国際公開番号】W WO2019037672

(87)【国際公開日】2019-02-28

【審査請求日】2020-04-02

(31)【優先権主張番号】201710719532.4

(32)【優先日】2017-08-21

(33)【優先権主張国・地域又は機関】CN

(73)【特許権者】

【識別番号】309012351

【氏名又は名称】シャンハイ マイクロ エレクトロニクス イクイプメント（グループ）カンパニー リミティド

(74)【代理人】

【識別番号】100142804

【弁理士】

【氏名又は名称】大上 寛

(72)【発明者】

【氏名】王剛

(72)【発明者】

【氏名】黄棟梁

(72)【発明者】

【氏名】張栄軍

【審査官】中田 剛史

(56)【参考文献】

【文献】特開２００６－３５１８６３（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０００－３４９０２２（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００４－３４３０７７（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開平１０－０５５９４４（ＪＰ，Ａ）

【文献】中国特許出願公開第１０３９７２１３５（ＣＮ，Ａ）

【文献】特開２００９－０９９８５４（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００１－１６８００８（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１４－１０３１５６（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｈ０１Ｌ ２１／６７７

Ｇ０３Ｆ ９／００

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

レチクルを格納するための内部レチクル保管庫と、
レチクルを移送するための回転マニピュレーターと、
前記回転マニピュレーターに連結されて、レチクルをピックアップするためのフォークと、
微調整部材と、
を含み、
前記微調整部材は前記回転マニピュレーターと協働して前記フォークによってピックアップされた前記レチクルの位置偏差を補償して、レチクルのプリアライメントを実現し、
前記回転マニピュレーターはマニピュレーター本体及び前記マニピュレーター本体に回転可能に連結された昇降可能な昇降アームを含み、
前記昇降アームは伸縮構造により水平移動可能であり、
前記微調整部材は前記伸縮構造の末端に設けられた精密回転軸であり、前記フォークをＸ方向、Ｙ方向、及びＲｚ方向へ高精度に移動させるように構成されている、
ことを特徴とするレチクルの搬送システム。

【請求項2】

前記伸縮構造は順次連結された複数のサブマニピュレーターを含み、
前記微調整部材は、互いに連結されたいずれの２つの前記サブマニピュレーターの間または前記回転マニピュレーターと前記フォークとの間に位置される、
ことを特徴とする請求項１に記載のレチクルの搬送システム。

【請求項3】

前記回転マニピュレーターの一側に外部からレチクルを移送するための搬送構造が設けられており、
前記回転マニピュレーターは前記搬送構造上の前記レチクルを前記内部レチクル保管庫に移送するために用いられる、
ことを特徴とする請求項１又は請求項２に記載のレチクルの搬送システム。

【請求項4】

前記レチクルはレチクルケースに載置され、
前記搬送構造は前記レチクルケースの移送に用いられる、
ことを特徴とする請求項３に記載のレチクルの搬送システム。

【請求項5】

前記搬送構造は水平面に対して傾斜に設置されたガイドレール、及び前記ガイドレールに可動に連結されたキャリアステージを含み、
前記キャリアステージは前記レチクルの移送に用いられる、
ことを特徴とする請求項３に記載のレチクルの搬送システム。

【請求項6】

前記内部レチクル保管庫が複数設けられている、
ことを特徴とする請求項１に記載のレチクルの搬送システム。

【請求項7】

複数の前記内部レチクル保管庫と前記マニピュレーター本体との距離が異なる、
ことを特徴とする請求項６に記載のレチクルの搬送システム。

【請求項8】

前記回転マニピュレーターの一側にコードスキャンアセンブリが設けられて前記レチクルのコード情報をスキャンする、
ことを特徴とする請求項１に記載のレチクルの搬送システム。

【請求項9】

前記コードスキャンアセンブリは前記内部レチクル保管庫の一側に同時に位置されて、前記内部レチクル保管庫に位置する前記レチクルのコード情報をスキャンする、
ことを特徴とする請求項８に記載のレチクルの搬送システム。

【請求項10】

プリアライメントユニットをさらに含み、前記プリアライメントユニットは前記フォークによってピックアップされた前記レチクルのＸ方向、Ｙ方向、及びＲｚ方向の情報を検出し、また、検出した情報を直接または間接に前記微調整部材に伝達する、
ことを特徴とする請求項１に記載のレチクルの搬送システム。

【請求項11】

前記回転マニピュレーターによる大範囲回転移動と比較して、
前記微調整部材は前記フォークによってピックアップされた前記レチクルを小範囲回転移動させる、
ことを特徴とする請求項１に記載のレチクルの搬送システム。

【請求項12】

レチクルの搬送方法において、
前記レチクルの搬送方法は内部レチクル保管庫、回転マニピュレーター、微調整部材及びフォークを用い、
前記回転マニピュレーターは、マニピュレーター本体及び前記マニピュレーター本体に回転可能に連結された昇降可能な昇降アームを含み、
前記昇降アームは伸縮構造により水平移動可能であり、前記フォークは前記微調整部材によって前記回転マニピュレーターに連結され、
前記微調整部材は前記伸縮構造の末端に設けられた精密回転軸であり、前記フォークをＸ方向、Ｙ方向、及びＲｚ方向へ高精度に移動させるように構成されており、
以下のステップ：
前記回転マニピュレーターを移動させ、前記フォークが内部レチクル保管庫のレチクルをピックアップするようにするステップＳ１、
前記回転マニピュレーターが前記フォークをプリアライメントユニットに移動させるステップＳ２、
前記プリアライメントユニットは前記フォークによってピックアップされた前記レチクルの位置情報を検出し、前記回転マニピュレーターは前記微調整部材と協働して前記フォークによってピックアップされた前記レチクルに対してＸ方向、Ｙ方向、Ｒｚ方向の位置偏差を補償して、前記フォークによってピックアップされた前記レチクルのプリアライメント工程を完成するステップＳ３、
前記フォークによってピックアップされた前記レチクルのＸ方向、Ｙ方向、Ｒｚ方向を調整した後、前記回転マニピュレーターは前記フォークが前記レチクルをマスクステージに移送するようにするステップＳ４、
を通じてレチクルを搬送するレチクルの搬送方法。

【請求項13】

前記回転マニピュレーターによる大範囲回転移動と比較して、
前記微調整部材は前記フォークによってピックアップされた前記レチクルを小範囲回転移動させる、
ことを特徴とする請求項１２に記載のレチクルの搬送方法。

【請求項14】

レチクルの搬送方法において、前記レチクルの搬送方法は、レチクルを搬送するための搬送構造、回転マニピュレーター、前記回転マニピュレーターと連結されたフォーク、内部レチクル保管庫、及び、微調整部材を用い、
前記搬送構造はガイドレール及び前記ガイドレールに可動に連結されたキャリアステージを含み、前記キャリアステージはレチクルを外部からレチクルを搬送するための供給口を通じて前記回転マニピュレーターの所まで移動させ、
前記回転マニピュレーターは、
マニピュレーター本体及び前記マニピュレーター本体に回転可能に連結された昇降可能な昇降アームを含み、
前記昇降アームは伸縮構造により水平移動可能であり、
前記微調整部材は前記伸縮構造の末端に設けられた精密回転軸であり、前記フォークをＸ方向、Ｙ方向、及びＲｚ方向へ高精度に移動させるように構成されており、
以下のステップ：
前記レチクルを前記キャリアステージに置き、前記キャリアステージは前記ガイドレールによってレチクルの引き渡し位置に移動するステップ１、
前記回転マニピュレーターと前記微調整部材によってフォークの位置を調整し、また、フォークが前記キャリアステージ上のレチクルをピックアップするようにするステップ２、
前記回転マニピュレーターは前記フォークが前記フォークによってピックアップされた前記レチクルを前記内部レチクル保管庫に移動させるようにするステップ３、
を通じて搬送するレチクルの搬送方法。

【請求項15】

前記回転マニピュレーターは前記フォークが前記キャリアステージ上の前記レチクルをピックアップするようにした後、前記キャリアステージを前記供給口に移動させるステップ４をさらに含む、
ことを特徴とする請求項１４に記載のレチクルの搬送方法。

【請求項16】

前記回転マニピュレーターはマニピュレーター本体をさらに含み、前記マニピュレーター本体の一側にコードスキャンアセンブリが設けられている、
ことを特徴とする請求項１４に記載のレチクルの搬送方法。

【請求項17】

前記ステップ３は、
前記回転マニピュレーターは前記フォークが前記レチクルをピックアップするようにして前記レチクルを前記キャリアステージから移出するステップ３１と、
前記回転マニピュレーターは前記フォークによってピックアップされた前記レチクルをコードスキャン位置に移動させて前記コードスキャンアセンブリによってスキャンした後、
前記レチクルの情報をアップロードまたはスキャンして記録するステップ３２と、
前記回転マニピュレーターが前記フォークによってピックアップされた前記レチクルを前記内部レチクル保管庫に移送するステップ３３と、
を含むことを特徴とする請求項１６に記載のレチクルの搬送方法。

【請求項18】

前記コードスキャンアセンブリが前記内部レチクル保管庫の中のレチクルに対してコードをスキャンした後アップロードまたは記録するステップをさらに含む、
ことを特徴とする請求項１６に記載のレチクルの搬送方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明はリソグラフィ技術分野に属し、レチクルの搬送システム及び搬送方法に関する。

【背景技術】

【0002】

リソグラフィマシンにおいて、レチクルはケースからマスクステージまでレチクルの搬送システムを通じて実現される。

【0003】

レチクルローディング精度に対する要求は高く、レチクルの搬送システムが直接作業者に向けられているので、マン・マシン工程に対する要求は比較的高い。レチクルのロード及びアンロード工程において、レチクルの搬送システムは移動ステーションが比較的多いため、搬送信頼性に対する要求が高く、特に、レチクルをリソグラフィマシンの内部レチクル保管庫からマスクステージに搬送する時には、まず、移送構造を利用してレチクルを調整ステージに置いた後、調整ステージはレチクルの位置によって調整ステージの移動を制御して、レチクルのＸ方向、Ｙ方向、及びＲｚ方向（つまり、Ｚ方向の周りを回転）を調整して、レチクルが所望の位置と角度でマスクステージに到達することができるようにする。以上のこのような理由は、いずれもレチクルの搬送システムの費用を増加させるものである。

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

本発明の目的は、レチクルの搬送システムの費用が高い問題を解決するために、レチクルの搬送システム及び搬送方法を提供することにある。

【0005】

上記技術問題を解決するために、本発明は、レチクルを格納するための内部レチクル保管庫と、レチクルを移送するための回転マニピュレーターと、前記回転マニピュレーターに連結されて、レチクルをピックアップするためのフォークと、微調整部材と、を含み、前記微調整部材は前記回転マニピュレーターと協働して前記フォークによってピックアップされた前記レチクルの位置偏差を補償して、レチクルのプリアライメントを実現するレチクルの搬送システムを提供する。

【0006】

本発明は、さらに、前記回転マニピュレーターは順次連結された複数のサブマニピュレーターを含み、前記微調整部材は、互いに連結されたいずれの２つの前記サブマニピュレーターの間または前記回転マニピュレーターと前記フォークとの間に位置されるように設置される。

【0007】

本発明は、さらに、前記回転マニピュレーターはマニピュレーター本体及び前記マニピュレーター本体に回転可能に連結された昇降可能な昇降アームを含み、前記昇降アーム上に伸縮構造が設けられるように設置される。

【0008】

本発明は、さらに、前記伸縮構造は複数のサブマニピュレーターを含み、複数の前記サブマニピュレーターは順次連結されるように設置される。

【0009】

本発明は、さらに、前記回転マニピュレーターの一側に外部からレチクルを移送するための搬送構造が設けられており、前記回転マニピュレーターは前記搬送構造上の前記レチクルを前記内部レチクル保管庫に移送するために用いられるように設置される。

【0010】

本発明は、さらに、前記レチクルはレチクルケースに載置され、前記搬送構造は前記レチクルケースの移送に用いられるように設置される。

【0011】

本発明は、さらに、前記搬送構造は水平面に対して傾斜に設置されたガイドレール、及び前記ガイドレールに可動に連結されたキャリアステージを含み、前記キャリアステージは前記レチクルの移送に用いられるように設置される。

【0012】

本発明は、さらに、前記内部レチクル保管庫が複数設けられるように設置される。

【0013】

本発明は、さらに、複数の前記内部レチクル保管庫と前記マニピュレーター本体との距離が同じになるように設置される。

【0014】

本発明は、さらに、前記回転マニピュレーターの一側にコードスキャンアセンブリが設けられて前記レチクルのコード情報をスキャンするように設置される。

【0015】

本発明は、さらに、前記コードスキャンアセンブリは前記内部レチクル保管庫の一側に同時に位置されて、前記内部レチクル保管庫に位置する前記レチクルのコード情報をスキャンするように設置される。

【0016】

本発明は、さらに、前記レチクルの搬送システムはプリアライメントユニットをさらに含み、前記プリアライメントユニットは前記フォークによってピックアップされた前記レチクルのＸ方向、Ｙ方向、及びＲｚ方向の情報を検出し、また、検出した情報を直接または間接に前記微調整部材に伝達するように設置される。

【0017】

本発明は、さらに、前記微調整部材は前記フォークを回転させるための精密回転軸であるように設置される。

【0018】

本発明は、さらに、前記微調整部材が前記フォークによってピックアップされた前記レチクルを小範囲回転移動をさせるように設置される。

【0019】

レチクルの搬送方法において、前記レチクルの搬送方法は内部レチクル保管庫、回転マニピュレーター、微調整部材及びフォークを用い、前記回転マニピュレーターは順次連結された複数のサブマニピュレーターを含み、前記フォークは前記微調整部材によって前記回転マニピュレーターに連結され、以下のステップ：
前記回転マニピュレーターを移動させ、前記フォークが内部レチクル保管庫のレチクルをピックアップするようにするステップＳ１、
前記回転マニピュレーターが前記フォークをプリアライメントユニットに移動させるステップＳ２、
前記プリアライメントユニットは前記フォークによってピックアップされた前記レチクルの位置情報を検出し、前記回転マニピュレーターは前記微調整部材と協働して前記フォークによってピックアップされた前記レチクルに対してＸ方向、Ｙ方向、Ｒｚ方向の位置偏差を補償して、前記フォークによってピックアップされた前記レチクルのプリアライメント工程を完成するステップＳ３、
前記フォークによってピックアップされた前記レチクルのＸ方向、Ｙ方向、Ｒｚ方向を調整した後、前記回転マニピュレーターは前記フォークが前記レチクルをマスクステージに移送するようにするステップＳ４、
を通じてレチクルを搬送する。

【0020】

本発明は、さらに、前記微調整部材は前記フォークを回転させるための精密回転軸であるように設置される。

【0021】

本発明は、さらに、前記微調整部材は前記フォークによってピックアップされた前記レチクルを小範囲回転移動をさせるように設置される。

【0022】

本発明は、さらに、前記回転マニピュレーターはマニピュレーター本体及び前記マニピュレーター本体に回転可能に連結された昇降可能な昇降アームを含み、前記昇降アーム上に伸縮構造が設けられるように設置される。

【0023】

レチクルの搬送方法において、前記レチクルの搬送方法は、レチクルを搬送するための搬送構造、回転マニピュレーター、前記回転マニピュレーターと連結されたフォーク及び内部レチクル保管庫を用い、前記搬送構造はガイドレール及び前記ガイドレールに可動に連結されたキャリアステージを含み、前記キャリアステージはレチクルを外部からレチクルを搬送するための供給口を通じて前記回転マニピュレーターの所まで移動させ、前記回転マニピュレーターはサブマニピュレーター及び微調整部材を含み、以下のステップ；
前記レチクルを前記キャリアステージに置き、前記キャリアステージは前記ガイドレールによってレチクルの引き渡し位置に移動するステップ１、
前記回転マニピュレーターと前記微調整部材によってフォークの位置を調整し、また、フォークが前記キャリアステージ上のレチクルをピックアップするようにするステップ２、
前記回転マニピュレーターは前記フォークが前記フォークによってピックアップされた前記レチクルを前記内部レチクル保管庫に移動させるようにするステップ３、
を通じてレチクルを搬送する。

【0024】

本発明は、さらに、前記回転マニピュレーターは前記フォークが前記キャリアステージ上の前記レチクルをピックアップするようにした後、前記キャリアステージを前記供給口に移動させるステップ４をさらに含むように設置される。

【0025】

本発明は、さらに、前記回転マニピュレーターはマニピュレーター本体をさらに含み、前記マニピュレーター本体の一側にコードスキャンアセンブリが設けられるように設置される。

【0026】

本発明は、さらに、ステップ３は、
前記回転マニピュレーターは前記フォークが前記レチクルをピックアップするようにして前記レチクルを前記キャリアステージから移出するステップ３１と、
前記回転マニピュレーターは前記フォークによってピックアップされた前記レチクルをコードスキャン位置に移動させて前記コードスキャンアセンブリによってスキャンした後、前記レチクルの情報をアップロードまたはスキャンして記録するステップ３２と、
前記回転マニピュレーターが前記フォークによってピックアップされた前記レチクルを前記内部レチクル保管庫に移送するステップ３３と、
を含むように設置される。

【0027】

本発明は、さらに、前記コードスキャンアセンブリが前記内部レチクル保管庫の中のレチクルに対してコードをスキャンした後アップロードまたはスキャンして記録するステップをさらに含むように設置される。

【0028】

従来技術に比べて、本発明はレチクルの搬送システム及び搬送方法を提供し、レチクルを搬送する際に、回転マニピュレーターはフォークによってレチクルをプリアライメントユニットに移送し、この時に、回転マニピュレーター及び微調整部材はレチクルの位置情報を受信し、また、この位置情報に基づいてレチクルのＸ方向、Ｙ方向、Ｒｚ方向を調整することにより、レチクルの位置及び角度が全部放置条件に符合することができるようにし、その後、回転マニピュレーターはレチクルをマスクステージに押してレチクルの放置を完成する。この過程で、レチクルのＸ方向、Ｙ方向、Ｒｚ方向に対する調整は調整テーブルを設置して行う必要がないので、個別にレチクルを下ろして調整する必要がなく、調整した後調整テーブルから移動する必要がないので、レチクルの移送効率を向上させるだけでなく、レチクルを移送するための回転マニピュレーター及び微調整部材によって十分レチクルを調整することができるので、コストの投資も減少されるとともに、また、レチクルに対して移送及び調整する装置全体の体積も減少されて、内部レチクル保管庫などの構造をより多く設置することができ、側面からリソグラフィ装置の作業効率を向上することができるとともに、実用性により強い。

【図面の簡単な説明】

【0029】

【図1】本発明の実施例におけるレチクルの搬送システムの上面図である。

【図2】本発明の実施例におけるレチクルの搬送システムの正面図である。

【発明を実施するための形態】

【0030】

以下、添付図面及び具体的な実施例を結合して本発明によるレチクルの搬送システム及び搬送方法についてさらに詳しく説明する。以下の説明及び特許請求の範囲に基づいて本発明の長所及び特徴はより明確になり得る。図面は、非常に簡易化した形式を採用し、且つ正確ではない比率を使用しており、本発明の実施例を容易かつ明確に説明することを補助するために用いられることに留意すべきである。図面において、同じまたは類似する図面符号は同じまたは類似する部材を示す。

【0031】

図１及び図２に示すように、レチクルの搬送システムにおいて、レチクルを格納するための内部レチクル保管庫１と、レチクルを移送するための回転マニピュレーターと、前記回転マニピュレーターに連結されて、レチクルをピックアップするためのフォーク３と、微調整部材４と、を含み、前記微調整部材４は前記回転マニピュレーターと協働して前記フォーク３によってピックアップされた前記レチクルの位置偏差を補償して、レチクルのプリアライメントを実現する。

【0032】

本発明の一実施例において、前記回転マニピュレーターは、順次連結された複数のサブマニピュレーター５を含み、前記微調整部材４は、互いに連結されたいずれの２つの前記サブマニピュレーター５の間または前記回転マニピュレーターと前記フォーク３との間に位置し、前記微調整部材４は前記回転マニピュレーターと前記フォーク３との間に位置されることが好ましい。

【0033】

本発明の他の実施例において、前記回転マニピュレーターは、マニピュレーター本体６と、前記マニピュレーター本体６に回転可能に連結された昇降可能な昇降アーム７と、を含み、前記昇降アーム７上に伸縮構造が設けられており、前記マニピュレーター本体６の内部には昇降アーム７及びフォーク３を昇降させることができる昇降軸が備えられる。昇降軸の上方には回転軸が設けられて、前記伸縮構造及びフォーク３を回転させる。前記回転軸上の前記伸縮構造は前記フォーク３の伸縮に用いられる。前記伸縮構造の末端には前記微調整部材４が設けられ、前記微調整部材４はフォーク３の小範囲精密回転に用いられる。ここで、小範囲精密回転は前記回転マニピュレーター（ここで、具体的には、回転軸）が前記フォーク３を回転させる大範囲回転に対する回転である。具体的には、前記伸縮構造は複数のサブマニピュレーター５を含み、複数の前記サブマニピュレーター５は互いに順次連結されており、本実施例で、前記サブマニピュレーター５は２つを用い、前記サブマニピュレーター５は垂直方向及び水平方向に全部移動することができるだけでなく、水平方向のみに移動することもでき、本実施例で、前記昇降アーム７は垂直方向に移動し、前記サブマニピュレーター５は水平方向に移動する。それにより、移動精密度がより高くなるようにすることができる。

【0034】

さらに、前記回転マニピュレーターの一側には外部からレチクルを移送するための搬送構造が設けられており、前記回転マニピュレーターはレチクルを搬送構造から前記内部レチクル保管庫１に移送するために用いられ、前記レチクルはレチクルケースに積載され、前記搬送構造は前記レチクルケースを移送するために用いられる。前記搬送構造は、基準面、例えば水平面、地面または内部レチクル保管庫１の中のレチクル載置面に対して傾斜に設けられたガイドレール８と、前記ガイドレール８に可動に連結されたキャリアステージ９と、を含み、前記キャリアステージ９はレチクルの移送に用いられ、ここで、ガイドレール８は通常のシリンダスライドステージであってもよい。

【0035】

さらに、前記内部レチクル保管庫１は複数設けられており、複数の前記内部レチクル保管庫１と前記マニピュレーター本体６との間の距離は同一でもよく、同一でなくてもよい。同一でない場合には、前記サブマニピュレーター５の移動によっても異なる距離を補償することができるので、レチクルを正常に移送することができる。

【0036】

さらに、前記回転マニピュレーターの一側には、前記フォーク３によってピックアップされた前記レチクルのコード情報をスキャンするためのコードスキャンアセンブリ１０が設けられており、同時に、前記コードスキャンアセンブリ１０は前記内部レチクル保管庫１の中に位置する前記レチクルのコード情報をスキャンするためにも用いられる。フォーク３がレチクルを移送する時、前記フォーク３は前記レチクル３を前記コードスキャンアセンブリ１０のスキャン位置にピックアップして、前記レチクルのコード情報をスキャンして記録する。

【0037】

さらに、プリアライメントユニットをさらに含み、前記プリアライメントユニットはレチクルのＸ方向、Ｙ方向、及びＲｚ方向の情報を検出し、また、検出した情報を直接または間接に前記微調整部材４に伝達する。前記微調整部材４は、前記フォーク３をＸ方向、Ｙ方向、及びＲｚ方向へ高精度に移動させるために、精密回転軸であってもよく、その他の精密操作部材であってもよい。

【0038】

上記の構造に基づいて、以下のステップを通じてレチクルを内部レチクル保管庫１からマスクステージ２に搬送するレチクルの搬送方法において、
前記回転マニピュレーターを移動させ、前記フォーク３が内部レチクル保管庫１のレチクルをピックアップするようにするステップＳ１と、
前記回転マニピュレーターが前記フォーク３をプリアライメントユニット１１に移動させるステップＳ２と、
前記プリアライメントユニットは前記フォーク３によってピックアップされた前記レチクルの位置情報を検出し、前記回転マニピュレーターは前記微調整部材４と協働して前記フォーク３によってピックアップされた前記レチクルに対してＸ方向、Ｙ方向、Ｒｚ方向の位置偏差を補償して、レチクルのプリアライメント工程を完了するステップＳ３と、
前記フォーク３によってピックアップされた前記レチクルのＸ方向、Ｙ方向、Ｒｚ方向を調整した後、前記回転マニピュレーターは前記フォーク３が前記レチクルを前記マスクステージ２に移送するようにするステップＳ４と、を含む。

【0039】

以下のステップ、
前記レチクルを前記キャリアステージ９に置き、前記キャリアステージ９は前記ガイドレール８によってレチクルの引き渡し位置に移動するステップ１と、
前記回転マニピュレーターと前記微調整部材４によってフォーク３の位置を調整し、また、フォーク３が前記キャリアステージ９上のレチクルをピックアップするようにするステップ２と、
前記回転マニピュレーターは前記フォーク３が前記フォーク３によってピックアップされた前記レチクルを前記内部レチクル保管庫１に移動させるようにするステップ３と、
前記回転マニピュレーターは前記フォーク３が前記キャリアステージ上の前記レチクルをピックアップするようにした後、前記キャリアステージ９を前記供給口に移動させるステップ４と、
を通じてレチクルを外部から内部レチクル保管庫１に搬送する。

【0040】

さらに、前記マニピュレーター本体６側にはコードスキャンアセンブリ１０が設けられている。

【0041】

さらに、ステップ３は、
前記回転マニピュレーターは前記フォーク３が前記レチクルをピックアップするようにして前記レチクルを前記キャリアステージ９から移出するステップ３１と、
前記回転マニピュレーターは前記フォーク３によってピックアップされた前記レチクルをコードスキャン位置に移動させて前記コードスキャンアセンブリ１０によってスキャンした後、前記レチクルの情報をアップロードまたはスキャンして記録するステップ３２と、
前記回転マニピュレーターは前記フォーク３によってピックアップされた前記レチクルを前記内部レチクル保管庫１に移送するステップ３３と、を含む。

【0042】

さらに、前記コードスキャンアセンブリ１０は前記内部レチクル保管庫１の中のレチクルに対してコードをスキャンした後アップロードまたは記録するステップ５をさらに含む。

【0043】

上述したように、本発明によるレチクルの搬送システム及び搬送方法において、レチクルを搬送する時には、傾斜されたガイドレール８及びキャリアステージ９を通じてレチクルを直接回転マニピュレーターに搬送することができ、それにより、実際の操作過程においてＳＥＭＩ半導体生産設備のマン・マシン工学の規定を充足することができる。レチクルが回転マニピュレーターの所まで移動されると、回転マニピュレーターはフォーク３を駆動してレチクルをピックアップし、その後、レチクルを内部レチクル保管庫１の中に放置するとともに、キャリアステージ９はレチクルが内部レチクル保管庫１に全部放置されるまで次のレチクルのピックアップ操作を行うために下方へスライドする。このレチクルの移送過程で、後続の使用過程でレチクルを簡便に管理するために、コードスキャンアセンブリ１０はレチクルのバーコードをスキャンして記録する。または、全てのレチクルが内部レチクル保管庫１に放置された後、統一にスキャンして記録することもでき、このようにすると、露光プロセスと同時に実行することができ、スキャン時間を節約することができる。

【0044】

レチクルに対してリソグラフィを行う時には、レチクルはフォーク３によって内部レチクル保管庫１から移出されて、マスクステージ２のプリアライメントユニット１１に送られる。プリアライメントユニットがレチクルの位置を感知して回転マニピュレーターにその情報を送信すると、レチクルのＸ方向、Ｙ方向及びＲｚ方向がマスクステージ２に放置される要件を充足するように、回転マニピュレーター及び微調整部材４はレチクルの具体的な位置情報に応じて調整し、調整が完了されると、レチクルはマスクステージ２に送られてレチクルの搬送を完了する。ここで、マスクステージ２及び複数の内部レチクル保管庫１からマニピュレーター本体６までの間の距離は等しいことが好ましい。それにより、レチクルをピック及びリリースする時に、より簡単で且つ正確に行うことができる。さらに、内部レチクル保管庫１に複数のレチクルが保管されているので、ピックアップする時には、より速やかに行うことができ、実用性に優れる。ここで、回転マニピュレーターとガイドレール８のみでレチクルのピックアップ、保管、及び搬送操作を行うことができるので、投資費用が比較的低くなるとともに、レチクルの搬送過程において異なる構造間での搬送操作が少ないため、レチクルの搬送安定性がより高くなるだけでなく、占める空間も比較的小さく、安定性が高い。

【0045】

レチクルに対してピック／リリースする時、フォーク３がレチクルに到達するまで、昇降アーム７が回転しながら昇降し、サブマニピュレーター５は互いに回転し、サブマニピュレーター５の端部のフォーク３の位置を調整する。この時に、微調整部材４は具体的な状況に応じてフォーク３の角度を調整し、且つフォーク３とレチクルとがよりよく適合及び結合するようにし、回転マニピュレーターはフォーク３を移動し続けてレチクルをピックアップし、その後、回転マニピュレーターを移動して同じ方式でレチクルを内部レチクル保管庫１に放置して、一つのレチクルの移送を完了する。ここで、昇降アーム７、サブマニピュレーター５及び微調整部材４は全部フォーク３の位置を調節することができるので、各方向でフォーク３の位置角度等に対して補償して、レチクルのＸ方向、Ｙ方向、Ｒｚ方向が全部条件を充足するようにすることができる。このように、フォーク３とレチクルとの間をより良好に結合することができて、レチクルの搬送過程で、レチクルの位置の安定性もさらに向上した。

【0046】

本明細書において各実施例は段階的方式で説明し、各実施例では他の実施例との相違点について主に説明し、各実施例の間で同一または類似する部分は互いに参照することができることに留意されたい。実施例に開示されたテスト方法については、採用するテスト装置と実施例で開示する装置部分が互いに対応するため、関連するテスト装置に対する説明は比較的簡単であり、関連する部分については、装置部分の説明を参照されたい。

【0047】

以上の説明は本発明の好ましい実施例に対する説明であるだけで、本発明の範囲を制限するのではない。本発明が属する技術分野において通常の知識を有する者は以上の開示内容に基づいて施す如何なる変更、修飾はいずれも特許請求の範囲の保護範囲に属するとすべきである。

【符号の説明】

【0048】

１．内部レチクル保管庫
２．マスクステージ
３．フォーク
４．微調整部材
５．サブマニピュレーター
６．マニピュレーター本体
７．昇降アーム
８．ガイドレール
９．キャリアステージ
１０．コードスキャンアセンブリ
１１．プリアライメントユニット

【図1】

【図2】