特許 7014480 光造形装置および３次元造形物の製造方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B1)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2022-01-24

(45)【発行日】2022-02-01

(54)【発明の名称】光造形装置および３次元造形物の製造方法

(51)【国際特許分類】

   B29C 64/393 20170101AFI20220125BHJP

   B29C 64/165 20170101ALI20220125BHJP

   B29C 64/282 20170101ALI20220125BHJP

   B33Y 50/02 20150101ALI20220125BHJP

【ＦＩ】

B29C64/393

B29C64/165

B29C64/282

B33Y50/02

【請求項の数】 6

(21)【出願番号】P 2021164071

(22)【出願日】2021-10-05

【審査請求日】2021-10-07

【早期審査対象出願】

(73)【特許権者】

【識別番号】000145286

【氏名又は名称】株式会社写真化学

(74)【代理人】

【識別番号】100088672

【弁理士】

【氏名又は名称】吉竹 英俊

(74)【代理人】

【識別番号】100088845

【弁理士】

【氏名又は名称】有田 貴弘

(72)【発明者】

【氏名】法貴 哲夫

(72)【発明者】

【氏名】桑原 章

(72)【発明者】

【氏名】塚原 栄一

【審査官】神田 和輝

(56)【参考文献】

【文献】特開２０１０－０８９４３８（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００３－３４０９２３（ＪＰ，Ａ）

【文献】中国特許出願公開第１０９２２８３４８（ＣＮ，Ａ）

【文献】特開２０２０－０２３０６４（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００４－２４９５０８（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｂ２９Ｃ ６４／００－６４／４０

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

３次元造形物を得るための光造形装置であって、
３次元形状データに基づいてあらかじめ作成された露光パターンに従って光硬化性材料を露光する露光手段と、
前記光造形装置の動作を制御する制御手段と、
を備え、
前記露光手段が、
２次元状に配置された複数の画素を備え、前記複数の画素のそれぞれにおける露光用光のＯＮ－ＯＦＦ状態を個別に切り替え可能なプロジェクタ、
を備え、
前記プロジェクタは、
前記複数の画素のうち隣り合う２つの画素の中心位置同士が第１の方向に所定の描画ピッチだけずれるように前記第１の方向に直交する第２の方向に対し傾斜した姿勢にて、前記第２の方向に移動自在とされてなり、かつ、
前記第２の方向において前記描画ピッチに相当する距離を移動するごとに前記露光用光のＯＮ－ＯＦＦ状態が切り替え可能とされてなり、
前記制御手段は、
前記プロジェクタに、前記第２の方向における往復移動を前記第１の方向へのステップ移動を挟みつつ交互に繰り返しながら前記露光パターンに基づきそれぞれの前記画素における前記露光用光の前記ＯＮ－ＯＦＦ状態を個別に切り替えることにより、前記光硬化性材料の所定の描画エリアに対する露光を、それぞれが前記第２の方向に延在し第１の方向において所定の描画幅を有する複数のストリップ領域ごとに順次に行わせ、
前記光硬化性材料の複数の層を積層させつつ、前記露光手段によって前記複数の層のそれぞれを露光させることにより、前記３次元造形物を得る場合に、前記複数のストリップ領域のうちの隣り合う２つのストリップ領域の繋ぎ部分を形成し、かつ、前記繋ぎ部分の面内位置を、前記複数の層のうちの少なくとも２つの層において互いに異ならせる、
ことを特徴とする、光造形装置。

【請求項2】

請求項１に記載の光造形装置であって、
前記制御手段は、前記光硬化性材料の前記複数の層を積層させつつ、前記露光手段によって前記複数の層のそれぞれを露光させることにより、前記３次元造形物を得る場合に、前記繋ぎ部分の面内位置を、前記複数の層のそれぞれにおいて他の層と異ならせる、
ことを特徴とする、光造形装置。

【請求項3】

請求項２に記載の光造形装置であって、
前記描画幅がＬであり、前記複数の層の積層数がＮである場合に、
前記プロジェクタが前記複数の層のそれぞれを露光するときの前記繋ぎ部分の面内位置を、前記複数の層のうちの最初に露光した層における前記繋ぎ部分の面内位置からＬ／Ｎの整数倍だけ前記第１の方向にシフトさせる、
ことを特徴とする、光造形装置。

【請求項4】

請求項１ないし請求項３のいずれかに記載の光造形装置であって、
造形テーブルと、
前記造形テーブルの上に、前記光硬化性材料としてスラリーを吐出可能な吐出手段と、
前記造形テーブルの上に吐出された前記スラリーを掃引し、所定の厚みのスラリー膜を形成する掃引手段と、
をさらに備え、
前記制御手段は、前記吐出手段からの前記スラリーの吐出と前記掃引手段による吐出された前記スラリーの掃引とを繰り返すことによって、前記複数の層として複数のスラリー膜を積層する、
ことを特徴とする、光造形装置。

【請求項5】

３次元造形物を得るための光造形装置であって、
造形テーブルと、
３次元形状データに基づいてあらかじめ作成された露光パターンに従って光硬化性材料を露光する露光手段と、
前記造形テーブルの上に、前記光硬化性材料としてスラリーを吐出可能な吐出手段と、
前記造形テーブルの上に吐出された前記スラリーを掃引し、所定の厚みのスラリー膜を形成する掃引手段と、
前記光造形装置の動作を制御する制御手段と、
を備え、
前記露光手段が、
２次元状に配置された複数の画素を備え、前記複数の画素のそれぞれにおける露光用光のＯＮ－ＯＦＦ状態を個別に切り替え可能なプロジェクタ、
を備え、
前記プロジェクタは、
前記複数の画素のうち隣り合う２つの画素の中心位置同士が第１の方向に所定の描画ピッチだけずれるように前記第１の方向に直交する第２の方向に対し傾斜した姿勢にて、前記第２の方向に移動自在とされてなり、かつ、
前記第２の方向において前記描画ピッチに相当する距離を移動するごとに前記露光用光のＯＮ－ＯＦＦ状態が切り替え可能とされてなり、
前記制御手段は、
前記プロジェクタに、前記第２の方向における往復移動を前記第１の方向へのステップ移動を挟みつつ交互に繰り返しながら前記露光パターンに基づきそれぞれの前記画素における前記露光用光の前記ＯＮ－ＯＦＦ状態を個別に切り替えることにより、前記光硬化性材料の所定の描画エリアに対する露光を、それぞれが前記第２の方向に延在し第１の方向において所定の描画幅を有する複数のストリップ領域ごとに順次に行わせ、
前記光硬化性材料の複数の層を積層させつつ、前記露光手段によって前記複数の層のそれぞれを露光させることにより、前記３次元造形物を得る場合には、前記吐出手段からの前記スラリーの吐出と前記掃引手段による吐出された前記スラリーの掃引とを繰り返すことによって、前記複数の層として複数のスラリー膜を積層させるとともに、前記複数のストリップ領域のうちの隣り合う２つのストリップ領域の繋ぎ部分を形成させるようにし、
前記複数のスラリー膜のそれぞれを形成する際には、当該スラリー膜が、前記３次元造形物の造形のために本来的に前記スラリーの塗布が必要な第１の領域に加え、前記第１の領域よりも前記掃引手段の掃引開始位置寄りの所定範囲に設定された第２の領域と、前記第１の領域と前記第２の領域との間の第３の領域とを含むように、少なくとも前記吐出手段と前記掃引手段とを制御し、
かつ、
前記スラリー膜の水平面内における重心位置が、前記造形テーブルの水平面内における重心位置と、略一致あるいは近接するようにし、
前記露光手段には、前記第１の領域を前記露光パターンに応じて露光する際に、前記第２の領域も併せて露光させ、
前記複数のスラリー膜の第ｍ層（ｍは２以上の整数）を形成する際は、前記吐出手段に、第（ｍ－１）層の前記スラリー膜の前記第２の領域の上に前記スラリーを吐出させる、
ことを特徴とする、光造形装置。

【請求項6】

３次元造形物の製造方法であって、
２次元状に配置された複数の画素を備え、前記複数の画素のそれぞれにおける露光用光のＯＮ－ＯＦＦ状態を個別に切り替え可能なプロジェクタにより３次元形状データに基づいてあらかじめ作成された露光パターンに従って光硬化性材料を露光する露光工程、
を備え、
前記露光工程においては、前記複数の画素のうち隣り合う２つの画素の中心位置同士が第１の方向に所定の描画ピッチだけずれるように前記第１の方向に直交する第２の方向に対し傾斜した姿勢の前記プロジェクタに、前記第２の方向における往復移動を前記第１の方向へのステップ移動を挟みつつ交互に繰り返させるようにしながら、前記プロジェクタが前記描画ピッチに相当する距離を移動するごとにそれぞれの前記画素における前記露光用光の前記ＯＮ－ＯＦＦ状態を前記露光パターンに基づき個別に切り替えさせることにより、前記光硬化性材料の所定の描画エリアに対する露光を、それぞれが前記第２の方向に延在し第１の方向において所定の描画幅を有する複数のストリップ領域ごとに順次に行い、
前記光硬化性材料の複数の層を積層しつつ、前記露光工程によって前記複数の層のそれぞれを露光することにより、前記３次元造形物を得る場合に、前記複数のストリップ領域のうちの隣り合う２つのストリップ領域の繋ぎ部分を形成し、かつ、前記繋ぎ部分の面内位置を、前記複数の層のうちの少なくとも２つの層において互いに異ならせる、
ことを特徴とする、３次元造形物の製造方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、光造形装置および３次元造形物の製造方法に関する。

【背景技術】

【0002】

３次元造形法は、複雑な３次元形状を直接造形加工できる点に大きな優位性を有する加工方法であり、従来の切削加工法による３次元立体加工物を得る方法に比べて自由度が非常に高く、その優位性は近年大きな注目を浴びている。

【0003】

３次元造形法の一つである３次元光造形法の先行事例としては、自由液面法と呼ばれる方法が広く知られており、レーザビームとガルバノミラーの走査露光系で実現されている。また、光硬化性材料の入った容器の底面側からガラス越しに、ＤＭＤによる一括露光により１層分造形し、次に必要厚み分、造形物を吊り上げて造形物の下に材料を充填する、という態様にて露光と吊り上げとを繰り返すことにより造形を行う、規制液面法と呼ばれる裏面露光方式なども公知である（例えば、特許文献１参照）。

【0004】

しかしながら、近時、３次元光造形法としては、光硬化性樹脂を平面に塗布し、その上からレーザ走査により露光する方法が普及してきている。例えば、光硬化性モノマー樹脂（液体）にセラミックス粉体などを混錬したスラリーと呼ばれるペースト状の材料を造形テーブル上に薄く塗布し、その上からレーザ走査により必要な領域を露光して樹脂を硬化させることを繰り返して、３次元造形物を得る方法が、すでに公知である（例えば、特許文献２参照）。

【0005】

また、ＤＭＤプロジェクタをミラー配列方向（行列方向）の例えば列方向に移動させながらパターンを流し露光する方式により、高速に露光（描画）を行う方法も知られている。ただし、この方式では行方向の投影画素サイズが描画最小単位となり、必ずしも高精細な描画には向いていない。この点を鑑み、この露光方式を改良した方式として、ＤＭＤミラーを移動方向に対し傾斜させて描画最小単位を微細にして露光する方式も、すでに公知である（例えば、特許文献３参照）。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0006】

【文献】特開２０１７－１２４６３１号公報

【文献】特許第６４３８９１９号公報

【文献】特許第３９３８７１４号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0007】

３次元光造形法の優位性が広く認識されるにつれて、造形物の大型化、大面積化のニーズが高まっている。造形物のサイズが大きくなるほど、造形処理に要する時間が増大することになるため、生産性向上の観点からは当然に、造形処理の効率化のための方策が求められる。

【0008】

加えて、大型のまたは大面積の造形物を造形する場合においては、造形中の露光精度を安定させる必要がある。

【0009】

本発明は上記課題に鑑みてなされたものであり、造形物が大型化した場合であっても露光精度が好適に確保される光造形装置を提供することを、目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0010】

上記課題を解決するため、請求項１の発明は、３次元造形物を得るための光造形装置であって、３次元形状データに基づいてあらかじめ作成された露光パターンに従って光硬化性材料を露光する露光手段と、前記光造形装置の動作を制御する制御手段と、を備え、前記露光手段が、２次元状に配置された複数の画素を備え、前記複数の画素のそれぞれにおける露光用光のＯＮ－ＯＦＦ状態を個別に切り替え可能なプロジェクタ、を備え、前記プロジェクタは、前記複数の画素のうち隣り合う２つの画素の中心位置同士が第１の方向に所定の描画ピッチだけずれるように前記第１の方向に直交する第２の方向に対し傾斜した姿勢にて、前記第２の方向に移動自在とされてなり、かつ、前記第２の方向において前記描画ピッチに相当する距離を移動するごとに前記露光用光のＯＮ－ＯＦＦ状態が切り替え可能とされてなり、前記制御手段は、前記プロジェクタに、前記第２の方向における往復移動を前記第１の方向へのステップ移動を挟みつつ交互に繰り返しながら前記露光パターンに基づきそれぞれの前記画素における前記露光用光の前記ＯＮ－ＯＦＦ状態を個別に切り替えることにより、前記光硬化性材料の所定の描画エリアに対する露光を、それぞれが前記第２の方向に延在し第１の方向において所定の描画幅を有する複数のストリップ領域ごとに順次に行わせ、前記光硬化性材料の複数の層を積層させつつ、前記露光手段によって前記複数の層のそれぞれを露光させることにより、前記３次元造形物を得る場合に、前記複数のストリップ領域のうちの隣り合う２つのストリップ領域の繋ぎ部分を形成し、かつ、前記繋ぎ部分の面内位置を、前記複数の層のうちの少なくとも２つの層において互いに異ならせる、ことを特徴とする。

【0012】

請求項２の発明は、請求項１に記載の光造形装置であって、前記制御手段は、前記光硬化性材料の前記複数の層を積層させつつ、前記露光手段によって前記複数の層のそれぞれを露光させることにより、前記３次元造形物を得る場合に、前記繋ぎ部分の面内位置を、前記複数の層のそれぞれにおいて他の層と異ならせる、ことを特徴とする。

【0013】

請求項３の発明は、請求項２に記載の光造形装置であって、前記描画幅がＬであり、前記複数の層の積層数がＮである場合に、前記プロジェクタが前記複数の層のそれぞれを露光するときの前記繋ぎ部分の面内位置を、前記複数の層のうちの最初に露光した層における前記繋ぎ部分の面内位置からＬ／Ｎの整数倍だけ前記第１の方向にシフトさせる、ことを特徴とする。

【0014】

請求項４の発明は、請求項１ないし請求項３のいずれかに記載の光造形装置であって、造形テーブルと、前記造形テーブルの上に、前記光硬化性材料としてスラリーを吐出可能な吐出手段と、前記造形テーブルの上に吐出された前記スラリーを掃引し、所定の厚みのスラリー膜を形成する掃引手段と、をさらに備え、前記制御手段は、前記吐出手段からの前記スラリーの吐出と前記掃引手段による吐出された前記スラリーの掃引とを繰り返すことによって、前記複数の層として複数のスラリー膜を積層する、ことを特徴とする。

【0015】

請求項５の発明は、３次元造形物を得るための光造形装置であって、造形テーブルと、３次元形状データに基づいてあらかじめ作成された露光パターンに従って光硬化性材料を露光する露光手段と、前記造形テーブルの上に、前記光硬化性材料としてスラリーを吐出可能な吐出手段と、前記造形テーブルの上に吐出された前記スラリーを掃引し、所定の厚みのスラリー膜を形成する掃引手段と、前記光造形装置の動作を制御する制御手段と、を備え、前記露光手段が、２次元状に配置された複数の画素を備え、前記複数の画素のそれぞれにおける露光用光のＯＮ－ＯＦＦ状態を個別に切り替え可能なプロジェクタ、を備え、前記プロジェクタは、前記複数の画素のうち隣り合う２つの画素の中心位置同士が第１の方向に所定の描画ピッチだけずれるように前記第１の方向に直交する第２の方向に対し傾斜した姿勢にて、前記第２の方向に移動自在とされてなり、かつ、前記第２の方向において前記描画ピッチに相当する距離を移動するごとに前記露光用光のＯＮ－ＯＦＦ状態が切り替え可能とされてなり、前記制御手段は、前記プロジェクタに、前記第２の方向における往復移動を前記第１の方向へのステップ移動を挟みつつ交互に繰り返しながら前記露光パターンに基づきそれぞれの前記画素における前記露光用光の前記ＯＮ－ＯＦＦ状態を個別に切り替えることにより、前記光硬化性材料の所定の描画エリアに対する露光を、それぞれが前記第２の方向に延在し第１の方向において所定の描画幅を有する複数のストリップ領域ごとに順次に行わせ、前記光硬化性材料の複数の層を積層させつつ、前記露光手段によって前記複数の層のそれぞれを露光させることにより、前記３次元造形物を得る場合には、前記吐出手段からの前記スラリーの吐出と前記掃引手段による吐出された前記スラリーの掃引とを繰り返すことによって、前記複数の層として複数のスラリー膜を積層させるとともに、前記複数のストリップ領域のうちの隣り合う２つのストリップ領域の繋ぎ部分を形成させ、前記複数のスラリー膜のそれぞれを形成する際には、当該スラリー膜が、前記３次元造形物の造形のために本来的に前記スラリーの塗布が必要な第１の領域に加え、前記第１の領域よりも前記掃引手段の掃引開始位置寄りの所定範囲に設定された第２の領域と、前記第１の領域と前記第２の領域との間の第３の領域とを含むように、少なくとも前記吐出手段と前記掃引手段とを制御し、かつ、前記スラリー膜の水平面内における重心位置が、前記造形テーブルの水平面内における重心位置と、略一致あるいは近接するようにし、前記露光手段には、前記第１の領域を前記露光パターンに応じて露光する際に、前記第２の領域も併せて露光させ、前記複数のスラリー膜の第ｍ層（ｍは２以上の整数）を形成する際は、前記吐出手段に、第（ｍ－１）層の前記スラリー膜の前記第２の領域の上に前記スラリーを吐出させる、ことを特徴とする。

【0016】

請求項６の発明は、３次元造形物の製造方法であって、２次元状に配置された複数の画素を備え、前記複数の画素のそれぞれにおける露光用光のＯＮ－ＯＦＦ状態を個別に切り替え可能なプロジェクタにより、３次元形状データに基づいてあらかじめ作成された露光パターンに従って光硬化性材料を露光する露光工程、を備え、前記露光工程においては、前記複数の画素のうち隣り合う２つの中心位置同士が第１の方向に所定の描画ピッチだけずれるように前記第１の方向に直交する第２の方向に対し傾斜した姿勢の前記プロジェクタに、前記第２の方向における往復移動を前記第１の方向へのステップ移動を挟みつつ交互に繰り返させるようにしながら、前記プロジェクタが前記描画ピッチに相当する距離を移動するごとにそれぞれの前記画素における前記露光用光の前記ＯＮ－ＯＦＦ状態を前記露光パターンに基づき個別に切り替えさせることにより、前記光硬化性材料の所定の描画エリアに対する露光を、それぞれが前記第２の方向に延在し第１の方向において所定の描画幅を有する複数のストリップ領域ごとに順次に行い、前記光硬化性材料の複数の層を積層しつつ、前記露光工程によって前記複数の層のそれぞれを露光することにより、前記３次元造形物を得る場合に、前記複数のストリップ領域のうちの隣り合う２つのストリップ領域の繋ぎ部分を形成し、かつ、前記繋ぎ部分の面内位置を、前記複数の層のうちの少なくとも２つの層において互いに異ならせる、ことを特徴とする。

【発明の効果】

【0017】

請求項１ないし請求項６の発明によれば、繋ぎ部分の存在が造形精度に与える影響を好適に抑制することができ、寸法精度に優れた造形物を得ることができる。

【0018】

また、請求項５の発明によれば、造形物の重量が大きい場合であっても、造形テーブルに偏荷重が加わることが好適に抑制され、係る偏荷重に起因した造形精度（露光精度）の低下が、好適に抑制される。加えて、造形物の平面サイズが小さい場合には、造形テーブルに偏荷重が加わることを好適に抑制しつつ、必要最小限の吐出量にて吐出されたスラリーにて必要なサイズのスラリー膜を形成することが出来る。

【図面の簡単な説明】

【0019】

【図1】光造形装置１の概略的な構成を示す斜視図である。

【図2】光造形装置１の要部についての機能ブロック図である。

【図3】光造形装置１における主たる構成要素の配置関係を示す側面図である。

【図4】光造形装置１の一連の動作を示すフローチャートである。

【図5】光造形装置１の一連の動作を示すフローチャートである。

【図6】光造形装置１の一連の動作を示すフローチャートである。

【図7】光造形装置１における造形途中の様子を模式的に示す側面図である。

【図8】光造形装置１における造形途中の様子を模式的に示す側面図である。

【図9】光造形装置１における造形途中の様子を模式的に示す側面図である。

【図10】光造形装置１における造形途中の様子を模式的に示す側面図である。

【図11】光造形装置１における造形途中の様子を模式的に示す側面図である。

【図12】光造形装置１における造形途中の様子を模式的に示す側面図である。

【図13】光造形装置１における造形途中の様子を模式的に示す側面図である。

【図14】光造形装置１における造形途中の様子を模式的に示す側面図である。

【図15】光造形装置１における造形途中の様子を模式的に示す側面図である。

【図16】光造形装置１における造形途中の様子を模式的に示す側面図である。

【図17】光造形装置１における造形途中の様子を模式的に示す側面図である。

【図18】光造形装置１における造形途中の様子を模式的に示す側面図である。

【図19】光造形装置１における造形途中の様子を模式的に示す側面図である。

【図20】光造形装置１における造形途中の様子を模式的に示す側面図である。

【図21】光造形装置１における造形途中の様子を模式的に示す側面図である。

【図22】光造形装置１においてプロジェクタ２１により行われる傾斜露光の概略図である。

【図23】プロジェクタ２１の画素配置と傾きについて説明するための図である。

【図24】プロジェクタ２１の画素配置と傾きについて説明するための図である。

【図25】プロジェクタ２１が移動しつつ描画エリアＤＡを所定の描画パターンに従って描画幅Ｌにて露光する際の、露光パターンの変化について例示する図である。

【図26】繋ぎ部分の影響を解消する露光態様について説明するための図である。

【図27】繋ぎ部分の影響を解消する露光態様について説明するための図である。

【図28】光造形装置１においてスラリー被吐出領域を同時形成する場合の造形途中の様子を模式的に示す側面図である。

【図29】光造形装置１においてスラリー被吐出領域を同時形成する場合の造形途中の様子を模式的に示す側面図である。

【図30】光造形装置１においてスラリー被吐出領域を同時形成する場合の造形途中の様子を模式的に示す側面図である。

【図31】光造形装置１においてスラリー被吐出領域を同時形成する場合の造形途中の様子を模式的に示す側面図である。

【図32】造形物の平面サイズが造形テーブル１１の平面サイズに比して小さい場合の、造形途中の様子を示す側面図である。

【図33】自由液面法により３次元造形物を形成する装置の概観図である。

【発明を実施するための形態】

【0020】

自由液面法で用いられているレーザ走査方式は、露光スポット径を微細に絞り込めること、および、ポインティングの位置制御を描画面において１ミクロンレベルで制御が可能であることから、高精細描画には優位な露光方式である。しかしながら、レーザ走査型の露光方式の場合、基本的にはレーザ光による、いわゆる一筆書きのように、輪郭や塗りつぶし領域を順次に行う、レーザ光の１点での走査露光となる。そのため、描画面積当たりの露光時間は描画面積に対しほぼ比例する。例えば、２０ｃｍ角エリアの描画を３０μｍビーム径のレーザ光で描画する場合、１面（１層）当たりの露光に数十分を要する、という事例がある。

【0021】

一方、規制液面法で用いられているＤＭＤプロジェクタ投影による一括露光の場合、エネルギーレベルにもよるが、原理的には面積当たりの露光時間は非常に短い。係るＤＭＤ一括露光方式の場合、光学系で縮小投影すれば１μｍレベルの微細画素による露光も可能ではあるが、一度の露光での描画エリアが非常に狭くなるため、Step&Repeatによる露光が必要となり、造形生産性が一気に落ちる。そのため通常では５０μｍ画素サイズなどで投影露光し、生産性とのバランスを取るのが一般的である。従って、この画素サイズが描画の最小単位とならざるを得ない。当然ながら大面積を露光する場合も同様にStep&Repeatで順次に露光することとなるので、微細描画を行おうとすればこの方式においても露光時間が増大することとなる。

【0022】

また、特許文献３に開示されているような露光方式は従前、プリント基板の露光など、単一の面のみを露光する装置に用いられている。プリント基板への露光では通常、５００ｍｍ角などの大面積をミクロンレベルで高精細に描画する必要があるため、この露光方式では往復描画を行うのが一般的である。すなわち、ＤＭＤプロジェクタによる所定幅での往路と復路の露光（単位露光）を、一の移動が完了するたびに所定ピッチにてＤＭＤプロジェクタを露光方向に垂直な方向にシフトさせつつ繰り返すことにより、対象領域全体が露光される。

【0023】

係る場合、厳密にみれば、隣り合う単位露光領域の繋ぎ部分の露光状態は、他の部分とは異なっている。ただし、プリント基板のような単一面への露光の場合、この点は実質的な問題とはなりがたい。しかしながら、上記露光方式を３次元造形に適用するとなれば、１面の露光のみでなく数十層、あるいは百層以上のスラリー膜が順次に積層される都度、露光を行うことが普通である。

【0024】

また、特許文献２には、高さ方向に大きい造形物を得るための方策として、造形テーブルの側方に昇降自在な塗布台（補助テーブル）を設け、該塗布台に光硬化性材料を吐出し、その後、ブレードによる掃引にて造形テーブル上に材料を引き延ばす手法が、開示されている。係る場合、塗布台の位置は原理的に造形テーブルの側方に限られるため、造形物は通常、塗布台に近接する造形テーブルの端部に造形されることとなる。

【0025】

＜装置の概要＞
図１は、本実施の形態に係る光造形装置１の概略的な構成を示す斜視図である。図２は、光造形装置１の要部についての機能ブロック図である。図３は、光造形装置１における主たる構成要素の配置関係を示す側面図である。

【0026】

本実施の形態に係る光造形装置１は、概略、光硬化性モノマー樹脂（液体）にセラミックス粉体（例えばアルミナ）などを混錬したスラリーと呼ばれるペースト状の材料を造形テーブル上に薄く塗布し、得られたスラリー膜（層）に対しその上からレーザ、ＬＥＤ等の光を照射して必要な領域を露光して樹脂を硬化させることを、順次に積層されるスラリー膜に対し繰り返して、３次元造形物（積層体）を得る装置である。なお、以降においては、光造形装置１において行われる、露光用のパターンデータに基づく露光のことを、描画とも称する。

【0027】

光造形装置１は、造形テーブル１１と、補助テーブル１２と、露光ユニット２０と、リコートユニット３０と、スラリー吐出ポンプ４０と、コントローラＣ（図２）とを、主として備える。なお、図１においては、補助テーブル１２から造形テーブル１１へと向かう向きをｙ軸正方向とし、鉛直方向上向きをｚ軸正方向とする右手系のｘｙｚ座標を付している（以降においても同様の座標系を用いる）。

【0028】

造形テーブル１１は、その上面において造形が行われる平面視矩形状のテーブルである。造形テーブル１１は、矢印ＡＲ１にて示すようにｚ軸方向に昇降自在とされてなる。係る昇降動作は、ｚ軸昇降機構１１Ｍ（図２）により実現される。具体的には、図３に示すように、初期位置１１ａ（高さｈ１）と、吐出・露光位置１１ｂ（高さｈ２）と、リコート位置１１ｃ（高さｈ３）との間で主に移動させられる。

【0029】

概略的にいえば、造形テーブル１１は、スラリーの塗布とこれに続く露光の際には初期位置１１ａから上昇させられ、造形物の形成が進行する都度（各層の形成が完了する都度）、必要量下降させられる。

【0030】

造形テーブル１１は、大型の造形物を造形可能とするべく、少なくとも６００ｍｍ×６００ｍｍ以上の造形エリアを有するのが好ましく、６５０ｍｍ×６５０ｍｍ以上の造形エリアを有するのがより好ましい。

【0031】

また、造形テーブル１１は、その上面に複数の吸着溝（溝部）１１ｇを備える。複数の吸着溝１１ｇは、造形に際して造形テーブル１１の上面に敷設されるフィルム（例えば保護フィルム）を固定する際に使用される。複数の吸着溝１１ｇは、造形エリア全般に渡って設けられる。より具体的には、複数の吸着溝１１ｇはエア吸着吹出機構１１ＡＲ（図２）と連通しており、コントローラＣ（本開示の制御手段の一例）の制御により、フィルムが敷設された状態でエア吸着吹出機構１１ＡＲが複数の吸着溝１１ｇに対し負圧を与えることで、フィルムが真空吸着される。

【0032】

なお、造形物が完成した後の搬送時には、コントローラＣの制御により、係る真空吸着は解除され、代わって、エア吸着吹出機構１１ＡＲから吸着溝１１ｇへとエアが供給される。これにより、造形物はフィルムともども造形テーブル１１からわずかに浮き上がるので、後述するフィルムグリッパ５２によりフィルムを把持してその上の造形物ごと搬送することが、容易となる。

【0033】

補助テーブル１２は、フィルムの準備や完成した造形物の搬送に用いられる平面視矩形状のテーブルである。補助テーブル１２は、造形テーブル１１と略同一の平面サイズを有する。補助テーブル１２は、固定部（サポート）１２Ｆに載置支持され、かつ、図３に示すように、造形テーブル１１の初期位置１１ａと同じ高さｈ１に備わっている。補助テーブル１２は、固定部１２Ｆともども、矢印ＡＲ２にて示すようにｙ軸方向に進退自在とされてなる。具体的には、通常位置１２ａと、初期位置１１ａにある造形テーブル１１とｙ軸方向正側において面一に隣接する隣接位置１２ｂとの間で進退移動するようになっている。係る進退動作は、固定部１２Ｆに備わるｙ軸移動機構１２Ｍ（図２）により実現される。ｙ軸移動機構１２Ｍは、アクチュエータを備えている。

【0034】

また、補助テーブル１２も、その上面に複数の吸着溝（溝部）１２ｇを備える。複数の吸着溝１２ｇは、造形に際して造形テーブル１１の上面に敷設されるフィルムを、係る敷設に先立っていったん固定する際に使用される。より具体的には、複数の吸着溝１２ｇは固定部１２Ｆを通じてエア吸着吹出機構１１ＡＲ（図２）と連通しており、フィルムが敷設された状態でエア吸着吹出機構１１ＡＲが複数の吸着溝１２ｇに対し負圧を与えることで、フィルムが真空吸着される。補助テーブル１２にいったん敷設されたフィルムは、後述する吸着パッドユニット５１によって造形テーブル１１へと搬送される。

【0035】

さらに、補助テーブル１２は、通常位置１２ａにおいて固定部１２Ｆから着脱自在とされてなる。すなわち、ｙ軸移動機構１２Ｍやエア吸着吹出機構１１ＡＲから分離して運搬することが可能な可搬性を有してなる。本実施の形態に係る光造形装置１においては、係る補助テーブル１２の可搬性を利用して、完成後、補助テーブル１２に移載された造形物を、補助テーブル１２ごと搬送できるようになっている。

【0036】

エア吸着吹出機構１１ＡＲは、例えば、図３に示すように、真空ポンプ（本開示の吸着手段の一例）ＰＰ１と圧縮空気ポンプ（本開示のエア供給手段の一例）ＰＰ２と切替弁ＶＬＶ１およびＶＬＶ２とを備える。切替弁ＶＬＶ１およびＶＬＶ２はそれぞれ、造形テーブル１１および補助テーブル１２において真空ポンプＰＰ１による吸着と圧縮空気ポンプＰＰ２によるエアの吹出しとを切り替える切替装置として動作する。コントローラＣは、真空ポンプＰＰ１、圧縮空気ポンプＰＰ２、および切替弁ＶＬＶ１、ＶＬＶ２を制御し、フィルムの真空吸着／エア浮上を切り替える。

【0037】

複数の吸着溝１１ｇは互いに独立な複数のゾーンｚｎに分散して設けられ、切替弁ＶＬＶ１およびＶＬＶ２も、それぞれのゾーンｚｎごとに真空ポンプＰＰ１による吸着と圧縮空気ポンプＰＰ２によるエアの吹出しとを切り替えるようになっている。搬送時には造形物のサイズおよび位置に応じて適宜のゾーンｚｎの吸着溝１１ｇが選択的に使用される。なお、図１においては、矩形状の吸着溝１１ｇおよび１２ｇが２次元的に配置されているが、これはあくまで例示であって、ストライプ状など他の配置態様にて複数の吸着溝１１ｇおよび１２ｇが備わる態様であってもよい。

【0038】

露光ユニット（露光手段の一例）２０は、光を照射する一つないし複数のプロジェクタ２１を備えた光源である。プロジェクタ２１は、レーザ、ＬＥＤなどの発光素子を備える。露光ユニット２０は、矢印ＡＲ３にて示すようにｙ軸方向に進退自在とされてなる。係る進退動作は、図１においては図示を省略する、左右１対に設けられたリニアモータ２０Ｍ（図２）により、実現される。

【0039】

プロジェクタ２１は、造形テーブル１１上に形成されたスラリー塗布膜に対しパターン露光（投影）を行う要素である。プロジェクタ２１による露光は、例えばＤＭＤ投影方式にて行われる。すなわち、プロジェクタ２１をステップ状にあるいは連続的にｙ軸方向に移動させつつ投影（露光）パターン（データ）を流し込み、パターンの投影を行うようにする。そして一の方向への移動が完了したプロジェクタ２１は、ｘ軸方向に所定距離だけ移動させられ、再びｙ軸方向を反対向きへと移動しつつ露光を行う。すなわち、本実施の形態においては、所定幅の領域毎に、ストリップ状に露光が実行される。各層において、全ての造形対象エリアについて露光が完了するまで、これらの動作が繰り返される。

【0040】

より詳細には、プロジェクタ２１はｙ軸方向に対しわずかに傾斜させて配置されており、係る傾斜姿勢のまま移動させられる。それゆえ、本実施の形態に係る光造形装置１において行う方式を特に、傾斜露光方式とも称する。傾斜露光方式についての詳細は後述する。

【0041】

プロジェクタ２１は、造形テーブル１１の吐出・露光位置１１ｂから所定のプロジェクタ作動距離（Proj_WD）だけｚ軸上方に離隔した高さに下端が位置するように、配置されてなる。

【0042】

なお、図１に示す光造形装置１には、４つのプロジェクタ２１（２１ａ～２１ｄ）がｘ軸方向に等間隔に備わっており、これらが同期して露光を行うようになっている。

【0043】

プロジェクタ２１のｙ軸方向の移動は、露光ユニット２０全体が移動することによって実現される。一方、矢印ＡＲ４にて示すｘ軸方向の移動は、ｘ軸移動機構２１Ｍ（図２）により実現される。ｘ軸移動機構２１Ｍはアクチュエータを備えている。

【0044】

リコートユニット３０は、リコータ（本開示の掃引手段の一例）３１と、スラリー吐出ポンプ（本開示の吐出手段の一例）４０と、スクリュー４２とが一体となったユニットである。リコートユニット３０は、矢印ＡＲ６にて示すようにｙ軸方向に進退自在とされてなる。係る進退動作は、図１においては図示を省略する、左右１対に設けられたリニアモータ３０Ｍ（図２）により、実現される。好ましくは、リニアモータ３０Ｍのガイドレールは、露光ユニット２０を移動させるためのリニアモータ２０Ｍと共用される。

【0045】

リコータ３１は、造形テーブル１１上に吐出されたスラリーを掃引塗布するブレード状の部材である。リコータ３１は、その長手方向をｘ軸方向に延在させる態様にてリコートユニット３０に付設されており、ｘ軸方向のサイズは、造形テーブル１１のｘ軸方向のサイズと略同一となっている。リコータ３１は、造形テーブル１１と所定の距離を保ちつつリコートユニット３０の移動によりｙ軸方向に移動し、造形テーブル１１上に吐出されたスラリーをｙ軸方向に拡げてスラリー膜を形成する。

【0046】

使用後のリコータ３１は、清掃ユニット（クリーナー）３２により清掃される。清掃ユニット３２は、リコータ３１の一方端側の下方位置に、矢印ＡＲ７にて示すように、使用高さ３２ａ、造形時待機高さ３２ｂ、待機高さ３２ｃの間を昇降するように配置されている。加えて、清掃ユニット３２は、使用高さ３２ａにおいて、矢印ＡＲ８にて示すようにｘ軸方向に移動自在とされてなる。清掃ユニット３２は、ヘラ、ブラシ等を備えたものであってもよいし、他の構成を有するものであってもよい。

【0047】

リコータ３１の使用後、使用高さ３２ａに配置された清掃ユニット３２がリコータ３１と接触しつつｘ軸方向に移動することで、リコータ３１に付着（残存）しているスラリーが除去される。これにより、リコータ３１は清掃される。

【0048】

その後、スラリーの塗布が繰り返される場合、清掃ユニット３２は造形時待機高さ３２ｂにて待機する。塗布が全て終了した後は、次回の使用時まで、待機高さ３２ｃにて待機する。

【0049】

矢印ＡＲ７にて示す清掃ユニット３２のｚ軸方向の移動は、ｚ軸昇降機構３１Ｍ１（図２）により実現される。矢印ＡＲ８にて示す清掃ユニット３２のｘ軸方向の移動は、ｘ軸移動機構３１Ｍ２（図２）により実現される。ｘ軸移動機構３１Ｍ２はアクチュエータを備えている。

【0050】

スラリー吐出ポンプ４０は、内部に造形用のスラリーを貯留し、造形に際して該スラリーを造形テーブル１１上に吐出する機能を有するポンプである。スラリー吐出ポンプ４０はリコートユニット３０の移動によりｙ軸方句を移動するほか、ｘ軸移動機構４０Ｍ（図２）により矢印ＡＲ９にて示すようにｘ軸方向に移動可能とされてなる。ｘ軸移動機構４０Ｍはアクチュエータを備えている。

【0051】

スラリー吐出ポンプ４０には、スラリーの吐出動作を担うスクリュー４２が付設されてなる。スクリュー４２は、スクリュー駆動モータ４２Ｍにて回転させられる。スラリー吐出ポンプ４０の内部でスクリュー４２が回転することにより、スラリー吐出ポンプ４０の下端部からスラリーが吐出される。スクリュー４２の回転数に応じてスラリー吐出ポンプ４０からのスラリーの吐出量が変化する。なお、スラリー吐出ポンプ４０の下端と、造形テーブル１１の吐出・露光位置１１ｂとの距離である吐出高さｈ４は、スラリーの材質等を勘案して適宜に設定される。

【0052】

さらに、光造形装置１は、フィルムの移動を担う構成要素として、本開示の吸着搬送手段の一例である吸着パッドユニット（吸着キャリア）５１と、本開示の把持搬送手段の一例であるフィルムグリッパ５２とを備える。

【0053】

吸着パッドユニット５１は、補助テーブル１２上にセットされたフィルムを吸着し、造形テーブル１１上へ移設するためのフィルム吸着機構である。吸着パッドユニット５１は、コントローラＣの制御により、常時は露光ユニット２０の待機位置の下方に設定された待機位置５１ａ（図３）にて待機し、使用時には、図示しないピン嵌合にて露光ユニット２０の下部に合体させられる。そして、露光ユニット２０の移動に伴いｙ軸負方向に移動し、隣接位置１２ｂに移動してきた補助テーブル１２のｙ軸正方向端部の上方位置である吸着位置５１ｂにて、補助テーブル１２上のフィルムのｙ軸正方向端部を吸着させる。係る吸着状態を保ちつつ、露光ユニット２０がｙ軸正方向に移動することにより、吸着パッドユニット５１は終端位置５１ｃまで移動し、これによりフィルムは造形テーブル１１へと搬送される。

【0054】

フィルムの吸着および解除は、矢印ＡＲ５にて示すように吸着パッドユニット５１が上下動することにより行われる。係る上下動は、エアシリンダ５１ＡＳにより実現される。なお、駆動のエアは、露光ユニット２０に儲けられた図示しないジョイント口から供給される。

【0055】

フィルムグリッパ５２は、完成した造形物を造形テーブル１１から補助テーブル１２へと搬送する際に使用される、一対のフィルム把持機構である。フィルムグリッパ５２は、コントローラＣの制御により、常時は、補助テーブル１２のｘ軸方向両側端部であってリコートユニット３０の待機位置の下方に設定された待機位置５２ａ（図３）にて待機し、使用時には、図示しないピン嵌合にてリコートユニット３０の下部に合体させられる。そして、リコートユニット３０の移動に伴いｙ軸正方向に移動し、造形テーブル１１のｙ軸方向負側の両側端部に設定された把持位置５２ｂにおいて、造形物ともどもエア浮上された状態のフィルムの両端を把持する。係る把持状態を保ちつつ、リコートユニット３０がｙ軸負方向に移動することにより、フィルムおよびその上面に載置されてなる造形物が、補助テーブル１２へと搬送される。その際には、圧縮空気ポンプＰＰ２からのエアの供給を受ける吸着溝１１ｇおよび１２ｇが属するゾーンｚｎが、造形物の移動に応じて順次に切り替えられる。すなわち、移動する造形物をエア浮上させるのに必要な吸着溝１１ｇおよび１２ｇのみが、順次にかつ選択的に使用される。

【0056】

造形物の搬送の際、フィルムの直下に位置しない吸着溝１１ｇおよび１２ｇまたは造形物の直下に位置しない吸着溝１１ｇおよび１２ｇからのエア供給は停止してもよい。これにより、上方にフィルムまたは造形物が存在しない負荷の少ない吸着溝１１ｇおよび１２ｇから多量のエアが吹き出されることを防ぎ、造形物を浮上させるために必要な造形物の直下に位置する吸着溝１１ｇおよび１２ｇから十分なエアの吹き出しを行うことができる。コントローラＣは、フィルムの搬送距離に応じてエアを供給するゾーンを決定してもよいし、センサによりフィルムおよび／または造形物の位置を検出し、検出結果に応じてエアを供給するゾーンを決定してもよい。

【0057】

その他、光造形装置１は、ファンフィルタユニット（ＦＦＵ）１５などをさらに備える。ＦＦＵ１５は、光造形装置１内の清浄度を維持ための機構である。

【0058】

以上のような構成を有する光造形装置１の各部の動作は全て、コントローラＣ（図２）により制御される。コントローラＣは、汎用のもしくは専用のコンピュータによって実現可能である。

【0059】

好ましくは、コントローラＣは、造形対象の３次元形状データ（ＣＡＤデータ）をプロジェクタ２１による１層ごとのストリップ状の露光に使用可能な投影（露光）パターンデータに変換する造形データ処理部Ｃ１を備える。係る造形データ処理部Ｃ１にて生成されるスライスデータが順次に、プロジェクタ２１によるパターン露光に使用される。

【0060】

なお、造形データ処理部Ｃ１がコントローラＣとは別体のコンピュータとして備わる態様であってもよい。

【0061】

＜光造形装置の動作＞
図４ないし図６は、光造形装置１において造形物が造形される際の、光造形装置１の一連の動作を示すフローチャートである。図７ないし図２１は、光造形装置１における造形途中の様子を模式的に示す側面図である。

【0062】

まず、各部・ユニットが初期位置（待機位置）へと移動させられる（ステップＳ１）。具体的には、造形テーブル１１、補助テーブル１２、露光ユニット２０、リコートユニット３０が初期位置に配置される。

【0063】

続いて、図７に示すように、補助テーブル１２の上に、作業者がフィルムＦ（保護シート、あるいは単にシートとも称する）を手作業で載置（積載）する（ステップＳ２）。フィルムＦは、補助テーブル１２の全面を覆うように載置される。載置されたフィルムＦは、エア吸着吹出機構１１ＡＲが複数の吸着溝１２ｇに対し負圧を与えることで、フィルムＦは補助テーブル１２に真空吸着される。また、フィルムＦが載置された補助テーブル１２は、図８に示すように、通常位置１２ａから隣接位置１２ｂへと移動させられる。

【0064】

フィルムＦがセットされると、吸着パッドユニット５１がピン嵌合にて露光ユニット２０に合体される（ステップＳ３）。その際、ジョイント接続により露光ユニット２０側からエアシリンダ５１ＡＳに対しエアが供給される。

【0065】

続いて、露光ユニット２０がｙ軸負方向へと移動することにより吸着パッドユニット５１が吸着位置５１ｂへと移動する（ステップＳ４）。吸着パッドユニット５１はエアシリンダＡＳにて駆動されて下降し、図９に示すように、フィルムＦを吸着する（ステップＳ５）。係る吸着に伴い、補助テーブル１２に対するフィルムＦの真空吸着は解除される。

【0066】

吸着パッドユニット５１がフィルムＦを吸着した状態のまま、露光ユニット２０がｙ軸正方向へと移動する（ステップＳ６）。これにより、図１０に示すように、フィルムＦが造形テーブル１１上に搬送される。吸着パッドユニット５１が終端位置５１ｃまで移動し、フィルムＦが造形テーブル１１の全体を覆った時点で露光ユニット２０は停止する。

【0067】

係る停止と同時に、エア吸着吹出機構１１ＡＲが複数の吸着溝１１ｇに対し負圧を与えることで、フィルムＦは造形テーブル１１に真空吸着される（ステップＳ７）。一方、吸着パッドユニット５１による吸着は解除される（ステップＳ８）。

【0068】

続いて、露光ユニット２０は待機位置へと移動させられ、ピン嵌合が解除されることにより吸着パッドユニット５１が露光ユニット２０から分離される（ステップＳ９）。併せて、図１１に示すように、隣接位置１２ｂにあった補助テーブル１２は通常位置１２ａへと移動させられる（ステップＳ１０）。なお、作業者がフィルムＦを直接に造形テーブル１１上に載置してもよい。

【0069】

次に、造形データ処理部Ｃ１において造形対象の３次元形状データ（ＣＡＤデータ）からストリップデータが生成され（ステップＳ１１）、さらには該ストリップデータに基づいて投影（露光）パターンデータが生成される（ステップＳ１２）。ここで、ストリップデータとは、プロジェクタ２１がｙ軸方向への一度の移動で露光を行う領域に対応した、３次元形状データの部分データである。

【0070】

生成された投影（露光）パターンデータはプロジェクタ２１へと転送される（ステップＳ１３）。転送が行われている間（ステップＳ１４でＮＯ）に、スラリーの塗布処理が平行して行われる。

【0071】

具体的には、補助テーブル１２の通常位置１２ａへの移動（ステップＳ１０）に続いて、フィルムＦが吸着固定された造形テーブル１１が高さｈ２の吐出・露光位置１１ｂへと上昇させられる（ステップＳ１５）。

【0072】

続いて、リコートユニット３０がｙ軸正方向へと移動することで、スラリー吐出ポンプ４０が所定のスラリー吐出位置へと移動させられる。スラリー吐出位置は、造形対象物のサイズや面積などに応じて適宜に設定されてよいが、通常は、図１２に示すように、造形テーブル１１のｙ軸方向奥側に設定される。係るスラリー吐出位置にて、下端の吐出口４４が開状態とされたスラリー吐出ポンプ４０がｘ軸方向に移動しつつ、スクリュー４２を必要な回転数にて回転させられることで、所定量のスラリーが造形テーブル１１上にライン状に吐出される（ステップＳ１６）。

【0073】

なお、吐出開始点と吐出終了点の組は一組だけではなく、ｙ軸方向に適宜の間隔Δｐを開けて複数組設定されてもよい。そのようなスラリーの吐出態様を、マルチライン吐出と称する。必要な量のスラリーが全て吐出されるまで、吐出動作は行われる（ステップＳ１７）。なお、マルチライン吐出が行われる場合、リコータ３１の先端が吐出されたスラリーに触れないように、スラリー吐出ポンプ４０の下端とリコータ３１の下端との距離が好適に設定されている。

【0074】

スラリーの吐出が完了すると（ステップＳ１７でＹＥＳ）、吐出口４４はシャッター等により閉状態とされ、次いで、リコートユニット３０はリコート開始位置へと移動する（ステップＳ１８）。リコートユニット３０の移動に続き、造形テーブル１１が、吐出・露光位置１１ｂからリコート位置１１ｃへと上昇させられる（ステップＳ１９）。その際、リコート位置１１ｃとリコータ３１の下端との距離は、形成しようとするスラリー膜ＳＬＦの厚みに応じた塗布高さｈ５とされる。なお、リコート開始位置は、通常、リコータ３１がスラリーの吐出範囲よりもさらにｙ軸方向正側に位置するように設定される。

【0075】

造形テーブル１１がリコート位置１１ｃに到達すると、リコートユニット３０はｙ軸負方向へと移動する。これにより、図１３に示すように、造形テーブル１１上に吐出されていたスラリーがリコータ３１にて掃引されて、所定厚みのスラリー膜ＳＬＦが形成される（ステップＳ２０）。

【0076】

リコータ３１がｙ軸方向において所定距離移動することにより、造形テーブル１１の所定範囲にスラリー膜ＳＬＦが形成されると、リコートユニット３０はｙ軸負方向にさらに移動して、待機位置（リコータ清掃位置）に戻る（ステップＳ２１、ステップＳ２２でＮＯ）。

【0077】

リコートユニット３０が待機位置（リコータ清掃位置）に到達すると（ステップＳ２２でＹＥＳ）、それまで待機高さ３２ｃにて待機していた清掃ユニット３２が、図１４に示すように清掃位置（使用高さ３２ａ）まで上昇する（ステップＳ２３）。清掃ユニット３２はｘ軸方向を往復移動し、これによってリコータ３１に付着（残存）しているスラリーは掻き落とされる（ステップＳ２４）。すなわち、リコータ３１が清掃される。

【0078】

清掃完了後、清掃ユニット３２はｘ軸方向初期位置へと待避し（ステップＳ２５）、さらには造形時待機高さ３２ｂに待避する（ステップＳ２６）。

【0079】

一方、リコータ３１によるスラリー膜ＳＬＦの形成が完了し、リコートユニット３０が清掃位置へと移動した後（ステップＳ２２でＹＥＳ）には、リコータ３１の清掃と平行して、プロジェクタ２１によるパターン露光が進行する。

【0080】

具体的にはまず、スラリー膜ＳＬＦが形成されてなる造形テーブル１１がリコート位置１１ｃから吐出・露光位置１１ｂまで移動させられる（ステップＳ２８）。続いて、露光ユニット２０が露光開始位置に配置される（ステップＳ２９）。より詳細には、露光ユニット２０はｙ軸負方向を移動させられ、プロジェクタ２１のｘ軸方向における位置が調整される。

【0081】

プロジェクタ２１が所定の露光開始位置に配置されると、あらかじめ転送済みの露光パターンデータに基づき、露光ユニット２０のｙ軸方向における連続往復移動と、プロジェクタ２１のｘ軸方向におけるステップ移動との組み合わせによって、図１５に示すように、スラリー膜ＳＬＦが、プロジェクタ２１から照射される露光用光ＥＬにて、ストリップ単位に露光される（ステップＳ３０）。

【0082】

より詳細には、露光ユニット２０のｙ軸方向への一度の移動により１つのストリップについて露光が完了した地点で、露光（描画）対象たるストリップがまだ残っている場合（ステップＳ３１でＮＯ）、次のストリップを対象としたストリップデータの作成（ステップＳ１１）、露光パターンデータの生成（ステップＳ１２）、および露光パターンデータの転送（ステップＳ１３、ステップＳ１４）が行われる。その上で、プロジェクタ２１がｘ軸方向にステップ移動し、露光ユニット２０がｙ軸方向を直近の描画時とは反対向きに移動することによって、新たに生成された露光パターンデータに基づく露光が行われる。

【0083】

全ストリップについて描画が完了すると（ステップＳ３１でＹＥＳ）、露光ユニット２０は待機位置へと待避する（ステップＳ３２）。その際には、プロジェクタ２１も初期位置に移動する。なお、通常は、全ストリップについて描画が完了するまでの時点で、リコータ３１の清掃（ステップＳ２４）は完了しており、清掃ユニット３２は造形時待機高さ３２ｂへと移動している（ステップＳ２７でＹＥＳ）。

【0084】

以降、さらに別の層（スラリー膜ＳＬＦ）について描画の必要がある場合（ステップＳ３３でＮＯ）、ステップＳ１１以降の処理が繰り返される。つまりは、スラリー膜ＳＬＦの形成とパターン露光とが繰り返される。なお、係る場合においてスラリー膜ＳＬＦが形成されるのは、直近に露光が行われたスラリー膜ＳＬＦである。図１６は、全ての層の露光が完了することで、未露光部分に埋もれた形で造形物（スラリー膜ＳＬＦの積層体ＬＢ）が完成した状態を示している。

【0085】

造形物が完成すると（ステップＳ３３でＹＥＳ）、未露光部分を除去して造形物を取り出すために、図１７に示すように、造形テーブル１１が初期位置１１ａまで下降させられる（ステップＳ３４）。また、併せて、それまで造形時待機高さ３２ｂに位置していた清掃ユニット３２が待機高さ３２ｃまで下降する（ステップＳ３５）。

【0086】

さらに、待機位置５２ａに位置しているフィルムグリッパ５２がピン嵌合にてリコートユニット３０に合体される（ステップＳ３６）。続いて、リコートユニット３０がｙ軸正方向へと移動し、フィルムグリッパ５２を造形テーブル１１のｙ軸方向負側の両側端部の把持位置５２ｂに配置させる（ステップＳ３７）。フィルムグリッパ５２は、係る位置にて、造形テーブル１１において造形物の下に敷かれているフィルムＦの端部を把持する（ステップＳ３８）。

【0087】

一方、係る把持と並行して、通常位置１２ａにて待機していた補助テーブル１２が隣接位置１２ｂにまで移動させられる（ステップＳ３９）。これにより、造形物およびフィルムＦが載置されてなる造形テーブル１１と補助テーブル１２とが面一となる。この状態で、エア吸着吹出機構１１ＡＲが負圧を与えることによるフィルムＦの造形テーブル１１に対する真空吸着は解除され、代わって、エア吸着吹出機構１１ＡＲは、造形物を浮上させるために必要なゾーンの吸着溝１１ｇさらには吸着溝１２ｇに対し順次にかつ選択的にエアを供給する（ステップＳ４０）。

【0088】

図１８は、係るエア供給が行われている様子を示している。エア吸着吹出機構１１ＡＲはまず、コントローラＣの制御により、造形物の位置に対応するゾーンの吸着溝１１ｇに対しエアを供給する。エア供給が開始されると、それまで造形テーブル１１に接していたフィルムＦの裏面がエアにより上向きの力を受け、フィルムＦの全部または一部が造形物ともどもわずかに浮き上がる。これにより、フィルムＦの全部または一部および造形物は、造形テーブル１１と非接触の状態となるので、水平方向に力を加えての搬送が容易となる。なお、図１８の例では、まだ造形物が到達していない補助テーブル１２の吸着溝１２ｇからのエアの吹き出しは停止されている。

【0089】

係る非接触状態が実現されたタイミングで、リコートユニット３０が移動することによってフィルムグリッパ５２がｙ軸負方向を待機位置５２ａに向けて移動する。フィルムグリッパ５２はエアによって浮き上がっているフィルムＦを把持しているので、フィルムグリッパ５２の移動に伴い、フィルムＦおよびその上の造形物が、造形テーブル１１の上から補助テーブル１２の上へと移動する（ステップＳ４１）。

【0090】

図１９および図２０は、係る移動の様子を示している。図１９に示すように、フィルムＦ上に載置された造形物を搬送する際、コントローラＣは、エア吸着吹出機構１１ＡＲに、造形物の位置に対応するゾーンの吸着溝１１ｇおよび１２ｇからエアを供給させ、当該ゾーンから外れた吸着溝１１ｇおよび１２ｇからのエアの供給を停止させる。これにより、図２０に示すように、造形物をフィルムＦの一部または全部とともに造形テーブル１１および補助テーブル１２から浮上させた状態で搬送が行われる。

【0091】

フィルムＦおよび造形物の補助テーブル１２への移動が完了すると、フィルムグリッパ５２によるフィルムＦの把持が解除される（ステップＳ４２）。続いて、フィルムグリッパ５２が合体してなるリコートユニット３０はｙ軸方向を移動させられて待機位置へと戻され（ステップＳ４３）、フィルムグリッパ５２のリコートユニット３０に対する合体が解除される（ステップＳ４４）。

【0092】

さらに、造形物がフィルムＦともども載置された補助テーブル１２は、隣接位置１２ｂから通常位置１２ａへと戻される。補助テーブル１２は、係る通常位置１２ａにおいて固定部１２Ｆから着脱自在となっており、作業者は、図２１に示すように、補助テーブル１２を固定部から取り外し、造形物を前記補助テーブル１２ごとあらかじめ用意した搬送台ＣＶに移載し、光造形装置１の外部へと搬送する（ステップＳ４５）。これにより、造形物に直接に触れることなく搬送が行えるので、破損等のおそれが低減され、安定的な搬送が可能となる。

【0093】

以上が、本実施の形態に係る光造形装置１において実現される、造形物の作成とその後の取り出しとの手順である。本実施の形態に係る光造形装置１は特に、大型の造形物を作成する場合であっても、その取り出しが容易かつ確実に行えるようになっている点で特徴的である。

【0094】

具体的には、造形を行うための造形テーブル１１の表面に設けた、真空吸着用の複数の吸着溝に対し、エアを供給可能としてなる。また、造形テーブル１１とは別に、造形物の取り出し口として補助テーブル１２を設け、係る補助テーブル１２においても、造形テーブル１１と同様にエアを供給可能としてなる。これにより、大型化、大面積化した造形物であっても、エアにて浮上させ、造形テーブル１１および補助テーブル１２と非接触とすることができるので、その下に敷いたフィルムを把持しての造形物の水平搬送（移載）が容易となる。

【0095】

加えて、補助テーブル１２は、固定部１２Ｆから着脱自在に設けられてなる。換言すれば、補助テーブル１２は、それ自体に可搬性を有する。それゆえ、造形テーブル１１から移載された造形物を、補助テーブル１２ごと外部へと搬送することができる。これにより、造形物に接触することなく搬送が行えるので、破損等のおそれが低減された安定的な搬送が可能となる。

【0096】

＜傾斜露光の詳細＞
図２２は、本実施の形態に係る光造形装置１においてプロジェクタ２１により行われる傾斜露光の概略図である。

【0097】

まず、図２２は、コントローラＣの制御により、プロジェクタ２１がある位置において描画パターンＰＴに対応する露光を行うときの様子を示している。

【0098】

上述のように、本実施の形態に係る光造形装置１においては、ｙ軸方向に対しわずかに傾斜させて配置されたプロジェクタ２１を、ステップ状にあるいは連続的にｙ軸方向に移動させつつ投影（露光）パターン（データ）を流し込み、パターンの投影を行う。実際には、露光ユニット２０には４つのプロジェクタ２１（２１ａ～２１ｄ）がｘ軸方向に等間隔に備わっており、それら４つのプロジェクタ２１ａ～２１ｄが同時に露光を行うようになっている。図２２にはその一部であるプロジェクタ２１ａおよび２１ｂの動きを示している。すなわち、４つのプロジェクタ２１は、描画エリアＤＡのｙ軸方向正側の端部とｙ軸方向負側との間におけるステップ状のあるいは連続的なｙ軸負方向への移動Ｍｙ１とｙ軸正方向への移動Ｍｙ２とを、ｘ軸正方向へのステップ移動Ｍｘを挟みつつ交互に行い、移動Ｍｙ１と移動Ｍｙ２の際に、投影（露光）パターンに従った投影（描画）を行う。

【0099】

図２３および図２４は、プロジェクタ２１の画素配置と傾きについて説明するための図である。プロジェクタ２１は、複数の画素ＰＸＬが二次元的に（例えば、矩形状に）配置された構成を有しており、それぞれの画素ＰＸＬにおける露光用光のＯＮ－ＯＦＦ状態を、コントローラＣによる露光パターンデータに応じた制御のもと、個別に切り替え可能となっている。なお、図２３においては、ＯＮ状態にある画素ＰＸＬ１と、ＯＦＦ状態にある画素ＰＸＬ２とを区別して示している。

【0100】

係るプロジェクタ２１は、移動方向であるｙ軸方向に対し傾けて配置される。具体的には、必要な描画ピッチをＲｅ（μｍ）とすると、ｙ軸方向（図面視上下方向）における（実際にはわずかに傾斜している）画素ＰＸＬの配列において、隣り合う画素ＰＸＬの中心位置ＰＸＬｃ同士が、ｘ軸方向に描画ピッチＲｅだけずれるように、露光ユニット２０にプロジェクタ２１を傾けて配置する。このような傾きを与えることにより、ｘ軸方向においても描画ピッチＲｅを得ることができる。

【0101】

また、プロジェクタ２１の移動Ｍｙ１、Ｍｙ２が行われるｙ軸方向（走査方向）においては、プロジェクタ２１を距離Ｒｅずつ送り移動するごとに、露光パターンを切り替えて露光する。すなわち距離Ｒｅ移動するごとに、描画切替（点灯制御）を行うことで、ｙ軸方向において描画ピッチＲｅが得られる。

【0102】

より詳細には、図２４に示すように、画素ＰＸＬのサイズ（画素ピッチ）をＰ（μｍ）、当該サイズのｘ軸方向への投影サイズをＰｘ（μｍ）、ｙ軸方向への投影サイズをｈ（μｍ）とすると、Ｐｘ：ｈ＝ｎ：１（ｎは整数）であることが好ましい。例えば、プロジェクタ２１における画素配列が１９２０画素×１０８０列である場合、露光条件の設定の自由度の高さなどを考慮すると、ｎ＝２４であることが好ましい。

【0103】

なお、描画ピッチＲｅは、画素サイズＰよりも小さいものとする。またある位置におけるプロジェクタ２１の各画素ＰＸＬの露光のＯＮ－ＯＦＦは、その中心位置ＰＸＬｃが描画パターンＰＴ内に入っているか否かで決定する。例えば、図２３においては、プロジェクタ２１が描画パターンＰＴに対応する露光を行う場合に、ＯＮ状態にされる画素ＰＸＬ１とＯＦＦ状態にされる画素ＰＸＬ２とを示している。

【0104】

また、本実施の形態においては、図２３に示すように、画素ＰＸＬが矩形状に配置されたプロジェクタ２１において、ｘ軸方向負側端部でかつｙ軸方向正側端部の位置Ｐ１と、ｘ軸方向正側端部でかつｙ軸方向正側端部の位置Ｐ２とのｘ軸方向距離を、描画幅Ｌと称する。係る描画幅Ｌは、プロジェクタ２１がｙ軸方向において一の移動を行う際の露光領域である、ｙ軸方向に延在するストリップ領域のｘ軸方向における幅である。なお、厳密には、プロジェクタ２１は傾いているために、プロジェクタ２１がｙ軸方向を移動する際には、上記位置Ｐ２と、プロジェクタ２１のｘ軸方向正側端部でかつｙ軸方向負側端部の位置Ｐ３とがｘ軸方向においてなす幅ΔＬの矩形領域にも露光は行われるが、当該領域は、次のｙ軸方向における露光の際のストリップ領域との重なり領域（「繋ぎ部分」とも称する）であり、通常はせいぜいｘ軸方向において２画素から３画素分程度である。

【0105】

図２５は、プロジェクタ２１が移動しつつ描画エリアＤＡを所定の描画パターンに従って描画幅Ｌにて露光する際の、露光パターンの変化について例示する図である。プロジェクタ２１は、ｙ軸方向へと少しずつ移動しながらストリップ露光を行う。それゆえ、図２５に示すように、任意の時刻ｔ＝ｔ（ｎ）、ｔ（ｎ＋１）、ｔ（ｎ＋２）、ｔ（ｎ＋３）における露光パターンは相異なるものとなる。しかしながら、局所的にみれば、プロジェクタ２１の移動に伴い、該プロジェクタ２１のｙ軸方向に沿って配列してなる相異なる画素ＰＸＬが、描画エリアＤＡの同一位置を次々と露光しているので、結果として、描画エリアＤＡの任意の位置において、略同一の露光光量（積算光量）での露光が行われるようになっている。本実施の形態に係る光造形装置１においては、係る態様にて露光が行われることにより、露光ユニット２０を高速で移動させつつ、描画エリアＤＡを高精細に露光することができるようになっている。

【0106】

＜ストリップ領域の繋ぎ部分のシフト＞
図２３および図２５に示したように、描画幅Ｌにて描画エリアＤＡを対象とする露光を行う際には、隣り合うストリップ領域に幅ΔＬの繋ぎ部分が形成される。スラリー膜の形成（積層）と露光とを繰り返すことで三次元造形物を得る、本実施の形態に係る光造形装置１においては、それぞれの層において係る繋ぎ部分が形成される。

【0107】

図２６および図２７は、係る繋ぎ部分の影響を解消する露光態様について説明するための図である。具体的には、図２６はＮ層のスラリー膜にて造形物を作成する際の隣接する上下２層における露光態様を示している。なお、図２６においては図示の簡単のため、描画パターンＰＴは１つのみ示しているが、各層において描画パターンＰＴは異なっていてもよい。

【0108】

本実施の形態においては、概略、各層に対する露光を行う際の繋ぎ部分の面内位置を、意図的に、別の層における繋ぎ部分の面内位置（水平位置）からシフトさせるようにする。一例としては、図２６に示すように、下側のスラリー膜につき、描画エリアＤＡ（ＤＡ１）を、矢印ＡＲ３１ａおよびＡＲ３１ｂにて示すようにプロジェクタ２１を往復移動させることによって描画幅Ｌにて露光した場合、その上に形成するスラリー膜については、その繋ぎ部分ＪＴ（ＪＴｂ）が直下の層における繋ぎ部分ＪＴ（ＪＴａ）からＬ／Ｎだけｘ軸正方向へとシフトするように描画エリアＤＡ（ＤＡ２）設定し、係る描画エリアＤＡ２を、矢印ＡＲ３２ａおよびＡＲ３２ｂにて示すようにプロジェクタ２１を往復移動させることによって同じく描画幅Ｌにて露光する態様が挙げられる。なお、本開示において、「面内位置」とは、スラリー膜ＳＬＦに垂直な方向から見た場合のスラリー膜ＳＬＦの表面における位置をいう。

【0109】

係るシフトを全ての層において行った場合、図２７（ａ）に示す断面図のように、スラリー膜の積層体ＬＢとしての造形物においては、各層での隣り合うストリップ領域同士の繋ぎ部分ＪＴ（ＪＴ１、ＪＴ２、ＪＴ３・・・）が、１層ごとに水平方向へとずれていくことになる。係る場合、下から数えた場合に第ｋ層（１≦ｋ≦Ｎ）となるスラリー膜ＳＬＦにおける繋ぎ目部分の、第１層のスラリー膜における繋ぎ目部分からのシフト量は、（ｋ－１）・（Ｌ／Ｎ）と表される。

【0110】

なお、図２６においては一見、積層が進むにつれて描画エリアＤＡが描画パターンＰＴを覆わなくなるようにもみられるが、これはあくまで図示の都合によるものである。実際には、描画エリアのサイズは各層における描画パターンＰＴに応じて定まるものであり、各層における露光は、繋ぎ部分ＪＴの位置シフトを行いつつ、描画パターンＰＴを覆うように設定された描画エリアＤＡを対象とするストリップ露光として行われる。

【0111】

なお、繋ぎ部分ＪＴ（ＪＴ１、ＪＴ２、ＪＴ３・・・）をシフトさせる態様は、図２７（ａ）に示すような一方向へのシフトに限定されるものではなく、例えば、図２７（ｂ）に示す断面図のように、水平方向において略均等に位置するように行われてもよい。係る場合の、第ｋ層となるスラリー膜ＳＬＦにおける繋ぎ目部分のシフト量は、シフトの向きも考慮すると（－１）^ｋ－１・（ｋ－１）・（Ｌ／Ｎ）と表される。

【0112】

より一般化すると、Ｎ層のスラリー膜のそれぞれにおける繋ぎ部分ＪＴの、第１層における繋ぎ部分ＪＴの位置を基準とした第１の方向へのシフト量は、Ｌ／Ｎの整数倍であり、かつ、互いに相異なっている。

【0113】

繋ぎ部分の露光状態は、厳密にみれば他の部分とは異なっている。本実施の形態においては、例えば図２７（ａ）または図２７（ｂ）のように、スラリー膜の積層体ＬＢたる造形物において、各層における繋ぎ部分ＪＴの面内位置を異ならせ（分散させ）、平均化されるようにする。あるいは、積層体ＬＢにおいて、少なくとも２つの層の繋ぎ部分ＪＴの面内位置を互いに異ならせてもよい。これにより、繋ぎ部分の存在が造形精度に与える影響が、好適に抑制され、寸法精度に優れた造形物を得ることが可能となる。例えば、数十、数百層のスラリー膜について積層と露光を繰り返す場合も、造形精度に対する繋ぎ部分の影響（より具体的には重ね露光によるエネルギーの変化に起因した体積変化）が累積して造形精度への影響が出ることを抑制することができる。

【0114】

以上、説明したように、本実施の形態によれば、スラリー膜の形成（積層）と露光との繰り返しにより三次元造形物を得る場合において、各層の露光にプロジェクタによる傾斜方式を採用し、該プロジェクタの描画幅に応じた複数のストリップ領域について順次に露光を行うようにする。そのうえで、少なくとも１つの層での隣り合うストリップ領域の繋ぎ部分の面内位置を、別の少なくとも１つ層における繋ぎ部分の面内位置からシフトさせるようにする。これにより、繋ぎ部分の存在が造形精度に与える影響を好適に抑制することができ、寸法精度に優れた造形物を得ることができる。

【0115】

なお、図２７（ｃ）に示す断面図のように、各層の繋ぎ部分ＪＴ（ＪＴ１、ＪＴ２、ＪＴ３・・・）の位置を水平方向において同じとしてもよい。

【0116】

＜スラリー被吐出領域の同時形成＞
次に、本実施の形態に係る光造形装置１における造形物の作製の一態様としての、スラリー被吐出領域を同時形成する造形態様について説明する。図２８ないし図３２は、光造形装置１においてスラリー被吐出領域を同時形成する場合の造形途中の様子を模式的に示す側面図である。

【0117】

ここで、スラリー被吐出領域とは、スラリー膜の積層体ＬＢとして造形物を造形する場合に、それぞれの層の形成に際してスラリーＳＬが吐出される領域である。そして、係るスラリー被吐出領域の同時形成とは、第１層（最下層）以外の層の形成に先立って、その直下の層の形成と同時に、次に形成する層のためのスラリー被吐出領域を、スラリーの露光硬化にて形成する手法のことをいう。なお、第１層の形成の際には、フィルムＦが吸着固定された造形テーブル１１の上面における、スラリーの吐出対象領域が、スラリー被吐出領域となる。

【0118】

まず、図２８に、第１層（最下層）の形成後の様子を示す。第１層の形成は、上述の手順に従って、造形テーブル１１に吸着固定されたフィルムＦの上にスラリー吐出ポンプ４０からスラリーＳＬを吐出し、該スラリーＳＬをリコータ３１にて掃引することによりスラリー膜ＳＬＦ１を形成し、係るスラリー膜ＳＬＦ１を所定の露光パターンにて露光することにより、行われる。

【0119】

ただし、係る第１層の形成に際しては、造形物の造形のために本来的にスラリーの塗布が必要な造形物形成領域ＲＥ１だけでなく、係る造形物形成領域ＲＥ１よりもｙ軸方向正側（リコータ３１の掃引開始位置寄り）の所定範囲に設定されたスラリー被吐出領域ＲＥ２と、これら造形物形成領域ＲＥ１とスラリー被吐出領域ＲＥ２との間の境界領域ＲＥ３とにおいて連続する態様にて、スラリー膜ＳＬＦ１を形成する。加えて、スラリー膜ＳＬＦ１の水平面内における重心位置が、造形テーブル１１の水平面内に重心位置と略一致あるいは近接するように、スラリー膜ＳＬＦ１の形成範囲を設定する。

【0120】

造形物の造形のために本来的にスラリーの塗布が必要な造形物形成領域ＲＥ１とは、露光により光硬化させた部分が造形物となる領域である。一方、スラリー被吐出領域ＲＥ２では、第ｍ層（ｍは２以上の整数）で光硬化させた部分が第（ｍ＋１）層のスラリー吐出用テーブルの役割を果たす。

【0121】

そして、これに続く露光に際しては、造形物形成領域ＲＥ１を描画パターンＰＴに応じて露光するとともに、スラリー被吐出領域ＲＥ２についても併せて露光を行うようにする。

【0122】

次に、図２９に、第２層を形成する際のスラリーＳＬの吐出の様子を示す。また、図３０には、第２層の形成後の様子を示す。

【0123】

第２層の形成は、先に形成したスラリー膜ＳＬＦ１（第１層）の上にスラリー膜ＳＬＦ２を形成することによりなされる。その際には、第１層のスラリー被吐出領域ＲＥ２の上にスラリーＳＬが吐出される。スラリー被吐出領域ＲＥ２は、露光により硬化し安定しているので、スラリー吐出ポンプ４０からのスラリーＳＬの吐出と、これに続くリコータ３１による掃引とは、好適に行われる。また、係る第２層の形成に際しても、第１層と同様に、造形物形成領域ＲＥ１とスラリー被吐出領域ＲＥ２と境界領域ＲＥ３とが連続する態様にて、スラリー膜ＳＬＦ２を形成する。スラリー膜ＳＬＦ１の上にスラリー膜ＳＬＦ２を形成しているので、スラリー膜全体としての水平面内における重心位置は依然として、造形テーブル１１の水平面内に重心位置と略一致あるいは近接している。

【0124】

そして、続く露光に際しても、第１層の形成時と同様に、造形物形成領域ＲＥ１を描画パターンＰＴに応じて露光するとともに、スラリー被吐出領域ＲＥ２についても露光を行うようにする。

【0125】

以降の各層の形成についても同様に、直前に形成したスラリー膜ＳＬＦのスラリー被吐出領域ＲＥ２の上にスラリーＳＬを吐出し、該スラリーＳＬをリコータ３１にて掃引することにより造形物形成領域ＲＥ１とスラリー被吐出領域ＲＥ２と境界領域ＲＥ３とが連続してなるスラリー膜ＳＬＦを形成し、かつ、描画パターンＰＴに応じた造形物形成領域ＲＥ１の露光と、スラリー被吐出領域ＲＥ２の露光とを行うようにする。

【0126】

係る場合、スラリー膜全体としての水平面内における重心位置は常に、造形テーブル１１の水平面内における重心位置と略一致あるいは近接した状態にある。それゆえ、積層数が大きくそれゆえ造形物の重量が大きい場合であっても、造形テーブル１１に偏荷重が加わることが好適に抑制される。結果として、係る偏荷重に起因した造形精度（特に露光精度）の低下が、好適に抑制される。

【0127】

また、各層の形成のためのスラリーの吐出は、直前にスラリー膜の一部として形成され露光により硬化されたスラリー被吐出領域ＲＥ２の上に行うので、安定した掃引が可能となる。

【0128】

図３１は、上述のようなスラリー膜ＳＬＦの形成と露光を繰り返すことによって、スラリー膜の積層体ＬＢとしての造形物が形成されたときの様子を示している。図３１に示すように、積層体ＬＢは、本来の造形物としての積層部分ＬＢ１と、各層に設けたスラリー被吐出領域ＲＥ２の積層部分ＬＢ２と、同じく各層に設けた未硬化の境界領域ＲＥ３の積層部分ＬＢ３とから構成される。

【0129】

係る積層体ＬＢは、上述した手順にて最終的に補助テーブル１２ともども装置外へ搬送されるが、積層部分ＬＢ１と積層部分ＬＢ２との間に存在するのは未硬化の積層部分ＬＢ３であるので、搬送後、積層部分ＬＢ１を積層部分ＬＢ２から分離し、さらに積層部分ＬＢ３を除することは、容易に行い得る。

【0130】

図３２は、造形物の平面サイズが造形テーブル１１の平面サイズに比して小さい場合の、造形途中の様子（スラリーＳＬの吐出の様子）を示す図である。係る場合も、直前に形成したスラリー膜ＳＬＦのスラリー被吐出領域ＲＥ２の上にスラリーＳＬを吐出し、該スラリーＳＬをリコータ３１にて掃引することにより造形物形成領域ＲＥ１とスラリー被吐出領域ＲＥ２と境界領域ＲＥ３とが連続してなるスラリー膜ＳＬＦを形成し、かつ、描画パターンＰＴに応じた造形物形成領域ＲＥ１の露光と、スラリー被吐出領域ＲＥ２の露光とを行うことについて、上述の場合と全く同じように行える。

【0131】

しかも、第１層の形成時のスラリー膜全体としての水平面内における重心位置を、造形テーブル１１の水平面内における重心位置と略一致あるいは近接した状態としておくことで、その後に形成する積層体の水平面内における重心位置を、造形テーブル１１の水平面内における重心位置と略一致あるいは近接した状態に維持することができ、造形テーブル１１に偏荷重が加わることが抑制できる点も、上述の場合と同様である。

【0132】

また、その際には、スラリー被吐出領域ＲＥ２が、造形物の平面サイズに応じた位置（具体的には、造形物形成領域ＲＥ１の近傍でかつ造形物の平面サイズが大きい場合よりも中央寄りの位置）およびサイズにて形成されるので、必要最小限の吐出量にて吐出されたスラリーＳＬにて必要なサイズの造形物形成領域ＲＥ１を含むスラリー膜ＳＬＦを、形成することが出来る。

【0133】

これらの作用効果は、特許文献１に開示されているような、造形テーブルの側部に設けた昇降自在な塗布台（補助テーブル）に対してスラリーを吐出し、該スラリーの掃引によってスラリー膜を積層するという態様では、決して得ることができない。仮に、そのような塗布台を用いて図３２に示すような小サイズの造形を行う場合、造形位置を造形テーブルの中央部とすると、塗布台から該中央部までスラリーを掃引することになり、係る掃引のために造形に必要な量よりも多くのスラリーを用いる必要があり、コスト面で不利である。これを避けるべく、塗布台の近傍を造形位置とすると、造形テーブルの端部にて造形を行うことになり、偏加重の問題が生じてしまう。上述のようにスラリー被吐出領域ＲＥ２を形成しつつ造形を行うことは、いずれの不都合についても、解消することができる。

【0134】

以上、説明したように、本実施の形態によれば、スラリーをリコータにて掃引することによりスラリー膜を形成するに際して、該スラリー膜が、造形物の造形のために本来的にスラリーの塗布が必要な造形物形成領域に加え、該造形物形成領域よりもリコータの掃引開始位置寄りの所定範囲に設定されたスラリー被吐出領域と、これら造形物形成領域とスラリー被吐出領域との間の境界領域とを含むようにし、かつ、スラリー膜の水平面内における重心位置が、造形テーブルの水平面内における重心位置と、略一致あるいは近接するようにする。さらには、描画パターンに応じた造形物形成領域の露光の際には、スラリー被吐出領域についても露光を行うようにする。これにより、造形物の重量が大きい場合であっても、造形テーブルに偏荷重が加わることが好適に抑制され、係る偏荷重に起因した造形精度（露光精度）の低下が、好適に抑制される。一方、造形物の平面サイズが小さい場合には、スラリー被吐出領域が、造形物の平面サイズに応じた位置およびサイズにて形成できるので、造形テーブルに偏荷重が加わることを好適に抑制しつつ、必要最小限の吐出量にて吐出されたスラリーにて必要なサイズの造形物形成領域を含むスラリー膜を形成することが出来る。

【0135】

＜他の実施の形態＞
上述した実施の形態では、光硬化性材料として、光硬化性樹脂にセラミック粉体を混錬したスラリーを用いた。これに代えて、セラミック粉体を含まない光硬化性樹脂のみのスラリーを用いてもよいし、セラミック粉体に代えて金属粉体などの他の材料を含むスラリーを用いてもよい。

【0136】

上述した実施の形態では、造形テーブル１１および補助テーブル１２の複数のエア供給口として複数の吸着溝１１ｇ、１２ｇを用いた。これに代えて、複数の吸着溝１１ｇ、１２ｇとは別に造形テーブル１１および／または補助テーブル１２に設けられた溝部または複数の孔を複数のエア供給口として用いてもよい。この場合、複数のエア供給口にエア吸着吹出機構１１ＡＲの圧縮空気ポンプが接続される。また、造形テーブル１１および／または補助テーブル１２において、真空吸着（およびエア供給）のための複数の吸着溝１１ｇ、１２ｇに代えて複数の吸着孔を用いてもよい。また、補助テーブル１２に別途複数のエア供給口があれば、複数の吸着溝１１ｇは無くてもよい。

【0137】

上述した実施の形態では、フィルムを造形テーブル１１に吸着固定した。これに代えて、フィルムの両端をグリッパで把持して下方に引っ張ることにより造形テーブル１１に固定してもよい。

【0138】

上述した実施の形態では、搬送手段として、吸着パッドユニット５１およびフィルムグリッパ５２を含む搬送装置（キャリア）を用いた。これに代えて、他の構成の保持装置（ホルダー）を備えた搬送装置を用いてもよい。また、搬送装置がフィルム搬送用のアクチュエータを備えていてもよい。また、上述した実施の形態において、補助テーブル１２に載置されたフィルムをグリッパで把持した状態で造形テーブル１１に搬送してもよい。また、造形テーブル１１に載置されたフィルムを吸着パッドで吸着した状態で補助テーブル１２に搬送してもよい。

【0139】

上述した実施の形態では、露光手段として、プロジェクタ２１を備えた光源である露光ユニット２０を用いた。これに代えて、ガルバノミラーを用いたレーザスキャニング、液晶シャッター等の他の光源を用いてもよい。

【0140】

上述した実施の形態では、３次元造形物を得るための光造形装置として、スラリーを塗布して露光することにより３次元造形物を形成する装置を用いた。これに代えて、上述した実施の形態の露光ユニット２０と同様の露光ユニットを用いて自由液面法により３次元造形物を形成する装置を用いてもよい。図３３は、自由液面法により３次元造形物を形成する装置の概観図である。図３３に示す装置は、光硬化性材料である液状の光硬化性樹脂を保持するタンク１０１と、３次元造形物ＬＢを載せる造形ステージ１０２と、上述した実施の形態と同様のプロジェクタ１０３とを備える。さらに、３次元造形物を得るための光造形装置として、規制液面法または他の方法により３次元造形物を形成する装置を用いてもよい。

【符号の説明】

【0141】

１ 光造形装置
１１ 造形テーブル
１１ｇ、１２ｇ 吸着溝
１２ 補助テーブル
１２Ｆ （補助テーブルの）固定部
２０ 露光ユニット
２１ プロジェクタ
３０ リコートユニット
３１ リコータ
３２ 清掃ユニット
４０ スラリー吐出ポンプ
４２ スクリュー
４２Ｍ スクリュー駆動モータ
５１ 吸着パッドユニット
５２ フィルムグリッパ
ＤＡ（ＤＡ１、ＤＡ２） 描画エリア
Ｆ フィルム
ＪＴ（ＪＴ１、ＪＴ２、ＪＴ３） 繋ぎ部分
Ｌ 描画幅
ＬＢ 積層体
Ｐ 画素サイズ
ＰＴ 描画パターン
ＲＥ１ 造形物形成領域
ＲＥ２ スラリー被吐出領域
ＲＥ３ 境界領域
Ｒｅ 描画ピッチ
ＳＬＦ スラリー膜

【要約】

【課題】造形物が大型化した場合であっても露光精度が好適に確保される光造形装置を提供する。
【解決手段】露光手段に備わるプロジェクタは、隣り合う２つの画素の中心位置同士が第１の方向に所定の描画ピッチだけずれるように第１の方向に直交する第２の方向に対し傾斜した姿勢にて、第２の方向に移動自在とされてなり、かつ、第２の方向において描画ピッチに相当する距離を移動するごとに露光用光のＯＮ－ＯＦＦ状態が切り替え可能とされてなり、光硬化性材料の所定の描画エリアに対する露光を、それぞれが第２の方向に延在し第１の方向において所定の描画幅を有する複数のストリップ領域ごとに順次に行い、光硬化性材料の複数の層を積層させつつ、露光手段によって複数の層のそれぞれを露光させることにより、３次元造形物を得る場合に、複数のストリップ領域のうちの隣り合う２つのストリップ領域の繋ぎ部分を形成する、ようにした。
【選択図】図２６

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】

【図14】

【図15】

【図16】

【図17】

【図18】

【図19】

【図20】

【図21】

【図22】

【図23】

【図24】

【図25】

【図26】

【図27】

【図28】

【図29】

【図30】

【図31】

【図32】

【図33】