特許7019276活性ガス生成装置及び成膜処理装置

発明の名称　活性ガス生成装置及び成膜処理装置

出願人　東芝三菱電機産業システム株式会社　（識別番号 501137636）

　　　　特許公開件数ランキング 384 位（78件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 187 位（155件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-7019276

公報発行日　2022年2月15

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_B1-7019276

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