ホーム > 特許ランキング > コニカミノルタ株式会社
知財求人 - 知財ポータルサイト「IP Force」
(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】特許公報(B2)
(11)【特許番号】
(24)【登録日】2022-02-07
(45)【発行日】2022-02-16
(54)【発明の名称】ノズルプレートの製造方法及びインクジェットヘッド
(51)【国際特許分類】
B41J 2/16 20060101AFI20220208BHJP
B41J 2/14 20060101ALI20220208BHJP
【ＦＩ】
B41J2/16 401
B41J2/14 501
B41J2/16 507
B41J2/16 511
B41J2/16 517
【請求項の数】
22
(21)【出願番号】P 2020514881
(86)(22)【出願日】2018-04-20
(86)【国際出願番号】 JP2018016243
(87)【国際公開番号】W WO2019202723
(87)【国際公開日】2019-10-24
【審査請求日】2020-12-23
(73)【特許権者】
【識別番号】000001270
【氏名又は名称】コニカミノルタ株式会社
(74)【代理人】
【識別番号】110001254
【氏名又は名称】特許業務法人光陽国際特許事務所
(72)【発明者】
【氏名】丸林 純
(72)【発明者】
【氏名】下村 明久
(72)【発明者】
【氏名】林 勇輔
(72)【発明者】
【氏名】平野 肇志
(72)【発明者】
【氏名】浦木 信吾
(72)【発明者】
【氏名】佐藤 洋平
【審査官】上田 正樹
(56)【参考文献】
【文献】特開２００５－０２２１８０（ＪＰ，Ａ）
【文献】国際公開第２０１５／０８０２６５（ＷＯ，Ａ１）
【文献】国際公開第２０１５／０８７１５５（ＷＯ，Ａ１）
【文献】特開２００４－００９６６０（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２００４－２５５６９６（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開昭６３－０８１０５０（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２０１５－２０２６７１（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２０１５－２３１７２６（ＪＰ，Ａ）
【文献】米国特許出願公開第２００３／０１５６１６１（ＵＳ，Ａ１）
(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)
Ｂ４１Ｊ ２／１６
Ｂ４１Ｊ ２／１４
(57)【特許請求の範囲】
【請求項1】
液体を吐出するためのアクチュエータを備えるヘッドチップに対して接着剤によって接着され、液体を吐出するノズルが形成された金属製のノズルプレートの製造方法であって、金属製の板状部材に前記ノズルを形成するノズル形成工程と、
前記金属製の板状部材に溝を形成する溝形成工程と、
前記ノズルプレートの外形加工を行う外形加工工程と、
を備え、
前記外形加工工程では、前記金属製の板状部材に対して、前記溝形成工程で前記溝が形成される面側から、前記ノズルプレートの外形に沿ってウェットエッチングを行うことを特徴とするノズルプレートの製造方法。
【請求項2】
前記ノズル形成工程では、複数の前記ノズルを直線状に一定の方向に一定の間隔で並べてノズル列を単数列又は複数列形成し、前記溝形成工程では、前記溝を前記一定の方向に平行に形成することを特徴とする請求項１に記載のノズルプレートの製造方法。
【請求項3】
前記溝形成工程では、前記溝を、前記一定の方向に平行な同一直線上に並んだ複数の小溝によって形成し、隣り合う前記小溝同士の隙間領域の間隔を隣り合う前記ノズル同士の隙間領域の間隔よりも狭くすることを特徴とする請求項２に記載のノズルプレートの製造方法。
【請求項4】
前記溝形成工程では、前記一定の方向について、隣り合う前記小溝同士の隙間領域が前記溝の隣りの前記ノズル列のいずれのノズルにも重ならないように、それぞれの前記小溝を形成することを特徴とする請求項３に記載のノズルプレートの製造方法。
【請求項5】
前記溝形成工程では、前記ノズル列よりも長く、前記一定の方向について当該ノズル列が内側となるように、前記溝を形成することを特徴とする請求項２から４のいずれか一項に記載のノズルプレートの製造方法。
【請求項6】
前記溝形成工程では、前記ノズル列を挟んでその両側となる位置に前記溝を形成することを特徴とする請求項２から５のいずれか一項に記載のノズルプレートの製造方法。
【請求項7】
前記ノズル形成工程では、前記ノズル列を複数列形成し、
前記溝形成工程では、隣り合う２つの前記ノズル列の間の部分のみに前記溝を形成することを特徴とする請求項２から４のいずれか一項に記載のノズルプレートの製造方法。
【請求項8】
前記溝をウェットエッチングにより形成することを特徴とする請求項１から７のいずれか一項に記載のノズルプレートの製造方法。
【請求項9】
前記外形加工工程では、前記金属製の板状部材に対して、前記ノズルプレートの外形に沿って、一部のブリッジ部を残して分断部を形成し、前記外形加工工程後に、前記金属製の板状部材に撥水膜を形成する膜形成工程と、
前記膜形成工程後に前記ブリッジ部を切断してノズルプレートを分離する分離工程と、
を備えることを特徴とする請求項１から８のいずれか一項に記載のノズルプレートの製造方法。
【請求項10】
前記外形加工工程では、前記金属製の板状部材に対して、前記ノズルプレートの外形に沿って分断して分離し、前記溝形成工程後であって前記外形加工工程前に、前記金属製の板状部材に撥水膜を形成する膜形成工程を備えることを特徴とする請求項１から８のいずれか一項に記載のノズルプレートの製造方法。
【請求項11】
前記溝形成工程前に、前記溝を形成する面を研磨する研磨工程を備えることを特徴とする請求項１から１０のいずれか一項に記載のノズルプレートの製造方法。
【請求項12】
前記ノズル形成工程では、前記ノズルをプレス加工と研磨、又はレーザー加工によって形成することを特徴とする請求項１から１１のいずれか一項に記載のノズルプレートの製造方法。
【請求項13】
前記外形加工工程は、前記ノズル形成工程よりも後に行う工程であることを特徴とする請求項１から１２のいずれか一項に記載のノズルプレートの製造方法。
【請求項14】
前記外形加工工程は、前記ノズル形成工程よりも後に行う工程であり、
１つの前記金属製の板状部材から複数の前記ノズルプレートを製造することを特徴とする請求項１から１２のいずれか一項に記載のノズルプレートの製造方法。
【請求項15】
液体を吐出するためのアクチュエータを備えるヘッドチップと、前記ヘッドチップに対して接着剤によって接着され、液体を吐出するノズルが形成された金属製のノズルプレートと、
を有するインクジェットヘッドであって、
前記ノズルプレートに複数の前記ノズルを直線状に一定の方向に一定の間隔で並べたノズル列が単数列又は複数列形成され、
前記ノズルプレートの前記ヘッドチップ側となる第一面には前記一定の方向に平行に溝が形成され、
前記ノズルプレートの前記ヘッドチップとは逆側となる第二面は撥水膜で被覆され、
前記ノズルプレートの外周に形成された外周端面の一部又は全部は、その前記第一面側の端部が、当該第一面に対して鈍角となっていることを特徴とするインクジェットヘッド。
【請求項16】
前記溝は、前記一定の方向に平行な同一直線上に並んだ複数の小溝からなり、隣り合う前記小溝同士の隙間領域の間隔が隣り合う前記ノズル同士の隙間領域の間隔よりも狭くなるように形成されていることを特徴とする請求項１５に記載のインクジェットヘッド。
【請求項17】
前記一定の方向について、隣り合う前記小溝同士の隙間領域が前記溝の隣りの前記ノズル列のいずれのノズルにも重ならないように、それぞれの前記小溝が形成されていることを特徴とする請求項１６に記載のインクジェットヘッド。
【請求項18】
前記溝は、前記ノズル列よりも長く、前記一定の方向について当該ノズル列が内側となるように形成されていることを特徴とする請求項１５から１７のいずれか一項に記載のインクジェットヘッド。
【請求項19】
前記溝は、前記ノズル列を挟んでその両側に形成されていることを特徴とする請求項１５から１８のいずれか一項に記載のインクジェットヘッド。
【請求項20】
前記ノズル列は、複数列形成されており、
前記溝は、隣り合う２つの前記ノズル列の間の部分のみに形成されていることを特徴とする請求項１５から１７のいずれか一項に記載のインクジェットヘッド。
【請求項21】
前記ノズルプレートは、ステンレス製であり、厚さが30～50[μm]であることを特徴とする請求項１５から２０のいずれか一項に記載のインクジェットヘッド。
【請求項22】
前記溝は、深さ5～20[μm]であることを特徴とする請求項２１に記載のインクジェットヘッド。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、ノズルプレートの製造方法及びインクジェットヘッドに関する。
【背景技術】
【0002】
液体の吐出を行うインクジェットヘッドは、複数の圧力室が形成されたヘッドチップと、液体が吐出されるノズルが形成されたノズルプレートとを有し、ヘッドチップの端面にノズルプレートが接着剤を用いて接着されている。
このノズルプレートについては、形成材料を金属プレートとし、ノズルをプレス加工と研磨で形成することが特許文献１に記載されている。
また、特許文献２には、ノズルプレートの形成材料をシリコンとし、フォトリソ加工によってノズルを形成することが記載されている。
また、特許文献３には、ノズルプレートの形成材料をポリイミド樹脂とし、レーザー加工やエッチング加工によってノズルを形成することが記載されている。また、このノズルプレートには、ヘッドチップとの接着の際に接着剤がノズルを塞ぐことを防ぐための溝が形成されている。
このノズルプレートについては、形成材料を金属プレートとし、ノズルをプレス加工と研磨で形成することが特許文献１に記載されている。
また、特許文献２には、ノズルプレートの形成材料をシリコンとし、フォトリソ加工によってノズルを形成することが記載されている。
また、特許文献３には、ノズルプレートの形成材料をポリイミド樹脂とし、レーザー加工やエッチング加工によってノズルを形成することが記載されている。また、このノズルプレートには、ヘッドチップとの接着の際に接着剤がノズルを塞ぐことを防ぐための溝が形成されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0003】
【文献】特開２００７－１３７０３９号公報
【文献】特開２００３－１５４６５２号公報
【文献】特開２０１５－１１２８４８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0004】
しかしながら、上記特許文献１及び２のノズルプレートは、ヘッドチップへの接着の際に接着剤の対策が設けられておらず、接着剤による吐出不良が生じるおそれがあった。
また、特許文献２のノズルプレートは、シリコンから形成されているため、耐薬品性、特にアルカリ性に弱く、インクジェットヘッドとしては不適であった。
また、特許文献３のノズルプレートは、ポリイミド樹脂からなり、強度や耐久性に劣るという問題があった。
また、特許文献２のノズルプレートは、シリコンから形成されているため、耐薬品性、特にアルカリ性に弱く、インクジェットヘッドとしては不適であった。
また、特許文献３のノズルプレートは、ポリイミド樹脂からなり、強度や耐久性に劣るという問題があった。
【0005】
この発明の目的は、耐久性に優れ、吐出性の良好なノズルプレートの製造方法及びインクジェットヘッドを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【0006】
請求項１記載の発明は、
液体を吐出するためのアクチュエータを備えるヘッドチップに対して接着剤によって接着され、液体を吐出するノズルが形成された金属製のノズルプレートの製造方法であって、
金属製の板状部材に前記ノズルを形成するノズル形成工程と、
前記金属製の板状部材に溝を形成する溝形成工程と、
前記ノズルプレートの外形加工を行う外形加工工程と、
を備え、
前記外形加工工程では、前記金属製の板状部材に対して、前記溝形成工程で前記溝が形成される面側から、前記ノズルプレートの外形に沿ってウェットエッチングを行うことを特徴とする。
液体を吐出するためのアクチュエータを備えるヘッドチップに対して接着剤によって接着され、液体を吐出するノズルが形成された金属製のノズルプレートの製造方法であって、
金属製の板状部材に前記ノズルを形成するノズル形成工程と、
前記金属製の板状部材に溝を形成する溝形成工程と、
前記ノズルプレートの外形加工を行う外形加工工程と、
を備え、
前記外形加工工程では、前記金属製の板状部材に対して、前記溝形成工程で前記溝が形成される面側から、前記ノズルプレートの外形に沿ってウェットエッチングを行うことを特徴とする。
【0007】
請求項２記載の発明は、請求項１に記載のノズルプレートの製造方法において、
前記ノズル形成工程では、複数の前記ノズルを直線状に一定の方向に一定の間隔で並べてノズル列を単数列又は複数列形成し、
前記溝形成工程では、前記溝を前記一定の方向に平行に形成することを特徴とする。
前記ノズル形成工程では、複数の前記ノズルを直線状に一定の方向に一定の間隔で並べてノズル列を単数列又は複数列形成し、
前記溝形成工程では、前記溝を前記一定の方向に平行に形成することを特徴とする。
【0008】
請求項３記載の発明は、請求項２に記載のノズルプレートの製造方法において、
前記溝形成工程では、前記溝を、前記一定の方向に平行な同一直線上に並んだ複数の小溝によって形成し、
隣り合う前記小溝同士の隙間領域の間隔を隣り合う前記ノズル同士の隙間領域の間隔よりも狭くすることを特徴とする。
前記溝形成工程では、前記溝を、前記一定の方向に平行な同一直線上に並んだ複数の小溝によって形成し、
隣り合う前記小溝同士の隙間領域の間隔を隣り合う前記ノズル同士の隙間領域の間隔よりも狭くすることを特徴とする。
【0009】
請求項４記載の発明は、請求項３に記載のノズルプレートの製造方法において、
前記溝形成工程では、前記一定の方向について、隣り合う前記小溝同士の隙間領域が前記溝の隣りの前記ノズル列のいずれのノズルにも重ならないように、それぞれの前記小溝を形成することを特徴とする。
前記溝形成工程では、前記一定の方向について、隣り合う前記小溝同士の隙間領域が前記溝の隣りの前記ノズル列のいずれのノズルにも重ならないように、それぞれの前記小溝を形成することを特徴とする。
【0010】
請求項５記載の発明は、請求項２から４のいずれか一項に記載のノズルプレートの製造方法において、
前記溝形成工程では、前記ノズル列よりも長く、前記一定の方向について当該ノズル列が内側となるように、前記溝を形成することを特徴とする。
前記溝形成工程では、前記ノズル列よりも長く、前記一定の方向について当該ノズル列が内側となるように、前記溝を形成することを特徴とする。
【0011】
請求項６記載の発明は、請求項２から５のいずれか一項に記載のノズルプレートの製造方法において、
前記溝形成工程では、前記ノズル列を挟んでその両側となる位置に前記溝を形成することを特徴とする。
前記溝形成工程では、前記ノズル列を挟んでその両側となる位置に前記溝を形成することを特徴とする。
【0012】
請求項７記載の発明は、請求項２から４のいずれか一項に記載のノズルプレートの製造方法において、
前記ノズル形成工程では、前記ノズル列を複数列形成し、
前記溝形成工程では、隣り合う２つの前記ノズル列の間の部分のみに前記溝を形成することを特徴とする。
請求項８記載の発明は、請求項１から７のいずれか一項に記載のノズルプレートの製造方法において、
前記溝をウェットエッチングにより形成することを特徴とする。
前記ノズル形成工程では、前記ノズル列を複数列形成し、
前記溝形成工程では、隣り合う２つの前記ノズル列の間の部分のみに前記溝を形成することを特徴とする。
請求項８記載の発明は、請求項１から７のいずれか一項に記載のノズルプレートの製造方法において、
前記溝をウェットエッチングにより形成することを特徴とする。
【0013】
請求項９記載の発明は、請求項１から８のいずれか一項に記載のノズルプレートの製造方法において、
前記外形加工工程では、前記金属製の板状部材に対して、前記ノズルプレートの外形に沿って、一部のブリッジ部を残して分断部を形成し、
前記外形加工工程後に、前記金属製の板状部材に撥水膜を形成する膜形成工程と、
前記膜形成工程後に前記ブリッジ部を切断してノズルプレートを分離する分離工程と、
を備えることを特徴とする。
前記外形加工工程では、前記金属製の板状部材に対して、前記ノズルプレートの外形に沿って、一部のブリッジ部を残して分断部を形成し、
前記外形加工工程後に、前記金属製の板状部材に撥水膜を形成する膜形成工程と、
前記膜形成工程後に前記ブリッジ部を切断してノズルプレートを分離する分離工程と、
を備えることを特徴とする。
【0014】
請求項１０記載の発明は、請求項１から８のいずれか一項に記載のノズルプレートの製造方法において、
前記外形加工工程では、前記金属製の板状部材に対して、前記ノズルプレートの外形に沿って分断して分離し、
前記溝形成工程後であって前記外形加工工程前に、前記金属製の板状部材に撥水膜を形成する膜形成工程を備えることを特徴とする。
前記外形加工工程では、前記金属製の板状部材に対して、前記ノズルプレートの外形に沿って分断して分離し、
前記溝形成工程後であって前記外形加工工程前に、前記金属製の板状部材に撥水膜を形成する膜形成工程を備えることを特徴とする。
【0016】
請求項１１記載の発明は、請求項１から１０のいずれか一項に記載のノズルプレートの製造方法において、
前記溝形成工程前に、前記溝を形成する面を研磨する研磨工程を備えることを特徴とする。
前記溝形成工程前に、前記溝を形成する面を研磨する研磨工程を備えることを特徴とする。
【0017】
請求項１２記載の発明は、請求項１から１１のいずれか一項に記載のノズルプレートの製造方法において、
前記ノズル形成工程では、前記ノズルをプレス加工と研磨、又はレーザー加工によって形成することを特徴とする。
前記ノズル形成工程では、前記ノズルをプレス加工と研磨、又はレーザー加工によって形成することを特徴とする。
【0018】
請求項１３記載の発明は、請求項１から１２のいずれか一項に記載のノズルプレートの製造方法において、
前記外形加工工程は、前記ノズル形成工程よりも後に行う工程であることを特徴とする。
請求項１４記載の発明は、請求項１から１２のいずれか一項に記載のノズルプレートの製造方法において、
前記外形加工工程は、前記ノズル形成工程よりも後に行う工程であり、
１つの前記金属製の板状部材から複数の前記ノズルプレートを製造することを特徴とする。
請求項１５記載の発明は、インクジェットヘッドにおいて、
液体を吐出するためのアクチュエータを備えるヘッドチップと、
前記ヘッドチップに対して接着剤によって接着され、液体を吐出するノズルが形成された金属製のノズルプレートと、
を有するインクジェットヘッドであって、
前記ノズルプレートに複数の前記ノズルを直線状に一定の方向に一定の間隔で並べたノズル列が単数列又は複数列形成され、
前記ノズルプレートの前記ヘッドチップ側となる第一面には前記一定の方向に平行に溝が形成され、
前記ノズルプレートの前記ヘッドチップとは逆側となる第二面は撥水膜で被覆され、
前記ノズルプレートの外周に形成された外周端面の一部又は全部は、その前記第一面側の端部が、当該第一面に対して鈍角となっている。
前記外形加工工程は、前記ノズル形成工程よりも後に行う工程であることを特徴とする。
請求項１４記載の発明は、請求項１から１２のいずれか一項に記載のノズルプレートの製造方法において、
前記外形加工工程は、前記ノズル形成工程よりも後に行う工程であり、
１つの前記金属製の板状部材から複数の前記ノズルプレートを製造することを特徴とする。
請求項１５記載の発明は、インクジェットヘッドにおいて、
液体を吐出するためのアクチュエータを備えるヘッドチップと、
前記ヘッドチップに対して接着剤によって接着され、液体を吐出するノズルが形成された金属製のノズルプレートと、
を有するインクジェットヘッドであって、
前記ノズルプレートに複数の前記ノズルを直線状に一定の方向に一定の間隔で並べたノズル列が単数列又は複数列形成され、
前記ノズルプレートの前記ヘッドチップ側となる第一面には前記一定の方向に平行に溝が形成され、
前記ノズルプレートの前記ヘッドチップとは逆側となる第二面は撥水膜で被覆され、
前記ノズルプレートの外周に形成された外周端面の一部又は全部は、その前記第一面側の端部が、当該第一面に対して鈍角となっている。
【0019】
請求項１６記載の発明は、請求項１５記載のインクジェットヘッドにおいて、
前記溝は、前記一定の方向に平行な同一直線上に並んだ複数の小溝からなり、
隣り合う前記小溝同士の隙間領域の間隔が隣り合う前記ノズル同士の隙間領域の間隔よりも狭くなるように形成されていることを特徴とする。
前記溝は、前記一定の方向に平行な同一直線上に並んだ複数の小溝からなり、
隣り合う前記小溝同士の隙間領域の間隔が隣り合う前記ノズル同士の隙間領域の間隔よりも狭くなるように形成されていることを特徴とする。
【0020】
請求項１７記載の発明は、請求項１６記載のインクジェットヘッドにおいて、
前記一定の方向について、隣り合う前記小溝同士の隙間領域が前記溝の隣りの前記ノズル列のいずれのノズルにも重ならないように、それぞれの前記小溝が形成されていることを特徴とする。
前記一定の方向について、隣り合う前記小溝同士の隙間領域が前記溝の隣りの前記ノズル列のいずれのノズルにも重ならないように、それぞれの前記小溝が形成されていることを特徴とする。
【0021】
請求項１８記載の発明は、請求項１５から１７のいずれか一項に記載のインクジェットヘッドにおいて、
前記溝は、前記ノズル列よりも長く、前記一定の方向について当該ノズル列が内側となるように形成されていることを特徴とする。
前記溝は、前記ノズル列よりも長く、前記一定の方向について当該ノズル列が内側となるように形成されていることを特徴とする。
【0022】
請求項１９記載の発明は、請求項１５から１８のいずれか一項に記載のインクジェットヘッドにおいて、
前記溝は、前記ノズル列を挟んでその両側に形成されていることを特徴とする。
前記溝は、前記ノズル列を挟んでその両側に形成されていることを特徴とする。
【0023】
請求項２０記載の発明は、請求項１５から１７のいずれか一項に記載のインクジェットヘッドにおいて、
前記ノズル列は、複数列形成されており、
前記溝は、隣り合う２つの前記ノズル列の間の部分のみに形成されていることを特徴とする。
前記ノズル列は、複数列形成されており、
前記溝は、隣り合う２つの前記ノズル列の間の部分のみに形成されていることを特徴とする。
【0024】
請求項２１記載の発明は、請求項１５から２０記載のインクジェットヘッドにおいて、
前記ノズルプレートは、ステンレス製であり、厚さが30～50[μm]であることを特徴とする。
前記ノズルプレートは、ステンレス製であり、厚さが30～50[μm]であることを特徴とする。
【0025】
請求項２２記載の発明は、請求項２１記載のインクジェットヘッドにおいて、
前記溝は、深さ5～20[μm]であることを特徴とする。
前記溝は、深さ5～20[μm]であることを特徴とする。
【発明の効果】
【0026】
以上の構成により、本発明は、耐久性に優れ、吐出性の良好なノズルプレートの製造方法及びインクジェットヘッドを提供することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【0027】
【図1】発明の実施形態であるインクジェットヘッドのヘッドチップとノズルプレートを分解した斜視図である。
【図2】ヘッドチップとノズルプレートの接着部分の前後上下方向に沿った断面図である。
【図3】ノズルプレートの背面図である。
【図4A】ノズルプレートの製造におけるノズル形成工程を示す金属板の平面図である。
【図5A】ノズルプレートの製造における溝形成工程を示す金属板の平面図である。
【図6A】ノズルプレートの製造におけるノズル外形加工工程を示す金属板の平面図である。
【図7A】ノズルプレートの製造における膜形成工程を示す金属板の平面図である。
【図8】ノズルプレートの製造における分離工程を示す金属板の平面図である。
【図9A】ウェットエッチングによるノズルプレートの外周の形成(1)の方法を示す工程図である。
【図10】ノズルプレートの外周端面が第一面に対して鋭角の傾斜面で形成された例を示す断面図である。
【図11A】ウェットエッチングによるノズルプレートの外周の形成(2)の方法を示す工程図である。
【図12A】ノズルプレートの他の製造方法の例(1)における溝形成工程を示す金属板の平面図である。
【図13A】ノズルプレートの他の製造方法の例(1)におけるノズル形成工程を示す金属板の平面図である。
【図14A】ノズルプレートの他の製造方法の例(1)における膜形成工程を示す金属板の平面図である。
【図15A】ノズルプレートの他の製造方法の例(1)における外形加工工程を示す金属板の平面図である。
【図16】ノズルプレートの他の製造方法の例(1)における分離工程を示す金属板の平面図である。
【図17A】ノズルプレートの他の製造方法の例(2)における膜形成工程を示す金属板の平面図である。
【図18A】ノズルプレートの他の製造方法の例(2)におけるノズル形成工程を示す金属板の平面図である。
【図19A】ノズルプレートの他の製造方法の例(2)における溝形成工程を示す金属板の平面図である。
【図20A】ノズルプレートの他の製造方法の例(2)における外形加工工程を示す金属板の平面図である。
【図21】ノズルプレートの他の製造方法の例(2)における分離工程を示す金属板の平面図である。
【図22A】ノズルプレートの他の製造方法の例(3)におけるノズル形成工程を示す金属板の平面図である。
【図23A】ノズルプレートの他の製造方法の例(3)における膜形成工程を示す金属板の平面図である。
【図24A】ノズルプレートの他の製造方法の例(3)における溝形成工程を示す金属板の平面図である。
【図25A】ノズルプレートの他の製造方法の例(3)における外形加工工程を示す金属板の平面図である。
【図26】ノズルプレートの他の製造方法の例(3)における分離工程を示す金属板の平面図である。
【図27A】ノズルプレートの溝の他の形成例(1)としてのノズルプレートの平面図である。
【図28】ノズルプレートの溝の他の形成例(2)としてのノズルプレートの平面図である。
【図29】ノズルプレートの溝の他の形成例(3)としてのノズルプレートの平面図である。
【図30】ノズルプレートの厚さと吐出性能に影響を与えるメニスカスの形成との関係を求めたシミュレーション結果を示す図である。
【図31】ノズルプレートの吐出側の面からメニスカスの後退部分まで長さを示す図である。
【発明を実施するための形態】
【0028】
［発明の実施形態の概要］
以下、本発明のインクジェットヘッド１０を図面に基づいて説明する。
インクジェットヘッド１０は、ヘッドチップ２０とノズルプレート３０とを備えており、図１はヘッドチップ２０とノズルプレート３０を分解した斜視図を示しており、図２はヘッドチップ２０とノズルプレート３０の接着部分の前後上下方向に沿った断面図を示している。
なお、本実施形態の全図において、一列に並んだノズルやチャネルの個数は、実際よりも少なく図示している。
以下、本発明のインクジェットヘッド１０を図面に基づいて説明する。
インクジェットヘッド１０は、ヘッドチップ２０とノズルプレート３０とを備えており、図１はヘッドチップ２０とノズルプレート３０を分解した斜視図を示しており、図２はヘッドチップ２０とノズルプレート３０の接着部分の前後上下方向に沿った断面図を示している。
なお、本実施形態の全図において、一列に並んだノズルやチャネルの個数は、実際よりも少なく図示している。
【0029】
［ヘッドチップ］
ヘッドチップ２０は直方体形状の圧電材料からなるブロックである。ヘッドチップ２０の吐出側の端面にはノズルプレート３０が接着される。このヘッドチップ２０の吐出側の端面を接着面２１とする。この接着面２１は長方形状であり、以下の説明では、その長辺に沿った方向を左右方向、その短辺に沿った方向を上下方向、接着面２１に垂直な方向を前後方向とする。図１におけるＵは「上」、Ｄは「下」、Ｌは「左」、Ｒは「右」、Ｆは「前」、Ｂは「後」を示す。
ヘッドチップ２０は直方体形状の圧電材料からなるブロックである。ヘッドチップ２０の吐出側の端面にはノズルプレート３０が接着される。このヘッドチップ２０の吐出側の端面を接着面２１とする。この接着面２１は長方形状であり、以下の説明では、その長辺に沿った方向を左右方向、その短辺に沿った方向を上下方向、接着面２１に垂直な方向を前後方向とする。図１におけるＵは「上」、Ｄは「下」、Ｌは「左」、Ｒは「右」、Ｆは「前」、Ｂは「後」を示す。
【0030】
ヘッドチップ２０には、圧力室であるチャネル２２が前後方向に沿って複数形成されており、これら複数のチャネル２２は、前方から見て、左右方向に平行な上下二列の直線上にそれぞれ一定の間隔で並んで形成されている。左右方向に並んだチャネル２２の穴の中心の間隔は、後述するノズルプレート３０の複数のノズル３３のピッチ（穴の中心の間隔）と一致している。また、上の列のチャネル２２と下の列のチャネル２２は、左右方向にノズルピッチの1/2の距離でオフセットされている（図１では簡略化のために左右方向の配置が一致した状態で図示されている）。
【0031】
また、各チャネル２２は、前方から見た断面形状が上下に長い長方形状である。そして、チャネル２２の上下の開口幅は、150～450[μm]であり、下の列のチャネル２２の上端部から上の列のチャネル２２の下端部までの距離は、400～1500[μm]である。
【0032】
図１に示すように、各チャネル２２は、ヘッドチップ２０の接着面２１側において開口し、ノズルプレート３０の各ノズル３３に個別に連通する。また、各チャネル２２は、ヘッドチップ２０の後端面側で図示しないインクマニホールドに連通し、インクが供給されるようになっている。
【0033】
左右方向に隣り合うチャネル２２の間の隔壁２３には、チャネル２２の内面側に電極が設けられており、当該隔壁２３の電極に駆動電圧を印加することにより、圧電材料からなる隔壁２３に圧電効果が生じ、隣接するチャネル２２内のインクを吐出させることができる。つまり、電極と隔壁２３を構成する圧電材料とが、液体を吐出するためのアクチュエータとして機能する。
また、ヘッドチップ２０には、隔壁２３に設けられた電極をインクから保護するための樹脂被膜２３１が形成されている。
また、ヘッドチップ２０には、隔壁２３に設けられた電極をインクから保護するための樹脂被膜２３１が形成されている。
【0034】
［ノズルプレート］
図３はノズルプレートの背面図である。図１～図３に示すように、ノズルプレート３０は、長方形状の金属平板からなり、耐アルカリ性、耐薬品性に優れる金属、例えば、シリコンを除く金属、望ましくは、ニッケル（合金を含む）、より望ましくは、ステンレスから形成されている。
ノズルプレート３０は、その平板面の一方をヘッドチップ２０との接着面としており、他方をインク吐出面とする。そして、以下の説明では、ノズルプレート３０の接着面を第一面３１、吐出面を第二面３２とする。
図３はノズルプレートの背面図である。図１～図３に示すように、ノズルプレート３０は、長方形状の金属平板からなり、耐アルカリ性、耐薬品性に優れる金属、例えば、シリコンを除く金属、望ましくは、ニッケル（合金を含む）、より望ましくは、ステンレスから形成されている。
ノズルプレート３０は、その平板面の一方をヘッドチップ２０との接着面としており、他方をインク吐出面とする。そして、以下の説明では、ノズルプレート３０の接着面を第一面３１、吐出面を第二面３２とする。
【0035】
また、このノズルプレート３０についても、第一面３１の長辺に沿った方向を左右方向、その短辺に沿った方向を上下方向、第一面３１に垂直な方向を前後方向とする。但し、図１ついては、ノズルプレート３０は向きを傾けた状態でヘッドチップ２０から離隔させて図示されているので、符号Ｌ、Ｒ、Ｆ、Ｂはノズルプレート３０の前後左右と一致していない。
【0036】
ノズルプレート３０には、前後方向に貫通した複数のノズル３３が、左右方向に平行な上下二列の直線上に一定のノズルピッチで並んで形成されている。この左右方向に平行な複数のノズル３３からなる上下二本の列をそれぞれノズル列３４とする。
各ノズル３３のノズルピッチは、ヘッドチップ２０の各チャネル２２の左右方向のピッチと一致し、二本のノズル列３４の上下の間隔（一方のノズル列３４のノズル３３の中心から他方のノズル列３４のノズル３３の中心までの上下方向の距離）は、上の列のチャネル２２と下の列のチャネル２２の間隔（チャネル２２の中心とチャネル２２の中心の上下方向の間隔）と一致している。
また、上のノズル列３４と下のノズル列３４は、左右方向にノズルピッチの1/2の距離でオフセットされている。
従って、ヘッドチップ２０の接着面２１に対して、ノズルプレート３０の第一面３１を接着した場合に、前後方向から見て、個々のノズル３３を個々のチャネル２２の開口の内側に重ねた状態で配置することができ、各ノズル３３に対して、各チャネル２２を個別に連通させることができる。
各ノズル３３のノズルピッチは、ヘッドチップ２０の各チャネル２２の左右方向のピッチと一致し、二本のノズル列３４の上下の間隔（一方のノズル列３４のノズル３３の中心から他方のノズル列３４のノズル３３の中心までの上下方向の距離）は、上の列のチャネル２２と下の列のチャネル２２の間隔（チャネル２２の中心とチャネル２２の中心の上下方向の間隔）と一致している。
また、上のノズル列３４と下のノズル列３４は、左右方向にノズルピッチの1/2の距離でオフセットされている。
従って、ヘッドチップ２０の接着面２１に対して、ノズルプレート３０の第一面３１を接着した場合に、前後方向から見て、個々のノズル３３を個々のチャネル２２の開口の内側に重ねた状態で配置することができ、各ノズル３３に対して、各チャネル２２を個別に連通させることができる。
【0037】
ノズルプレート３０の第一面３１には、各ノズル列３４ごとに、当該ノズル列３４を挟んで上下の両側に溝３５が形成されている。
この溝３５は、ノズルプレート３０をヘッドチップ２０に接着する際に、第一面３１と接着面２１とに挟まれた接着剤がこれらの面２１，３１に沿って広がる場合に、各ノズル３３に入り込まないように余剰の接着剤を受け入れる退避スペースとして機能する。
この溝３５は、ノズルプレート３０をヘッドチップ２０に接着する際に、第一面３１と接着面２１とに挟まれた接着剤がこれらの面２１，３１に沿って広がる場合に、各ノズル３３に入り込まないように余剰の接着剤を受け入れる退避スペースとして機能する。
【0038】
各ノズル列３４の上下それぞれに溝３５を設けることにより、ノズル列３４の上側の領域と下側の領域からの接着剤を受け入れることができ、各ノズル３３への接着剤の流入を抑制する。
また、各溝３５は、その左右方向の長さＬ０がノズル列３４の左右方向の長さＬ１よりも長く、且つ、左右方向についてノズル列３４が溝３５の内側となるように形成されている。つまり、ノズル列３４の左端部は溝３５の左端部より右側に位置し、ノズル列３４の右端部は溝３５の右端部より左側側に位置している。
これにより、ノズル列３４の上側又は下側からの接着剤を左右方向の全範囲に渡って受け入れることができ、効果的に各ノズル３３への流入を抑制する。
また、各溝３５は、その左右方向の長さＬ０がノズル列３４の左右方向の長さＬ１よりも長く、且つ、左右方向についてノズル列３４が溝３５の内側となるように形成されている。つまり、ノズル列３４の左端部は溝３５の左端部より右側に位置し、ノズル列３４の右端部は溝３５の右端部より左側側に位置している。
これにより、ノズル列３４の上側又は下側からの接着剤を左右方向の全範囲に渡って受け入れることができ、効果的に各ノズル３３への流入を抑制する。
【0039】
なお、図３では各溝３５は、ノズルプレート３０の左右の端部に到ってはいないが、図１のように溝３５の両端部或いは一方の端部がノズルプレート３０の左端部又は右端部に到るまで形成されていても良い。
その場合、ヘッドチップ２０に対してノズルプレート３０を接着する場合に、溝３５の端部が外部に開通した状態となるので、溝３５内部の空気を排気することができ、接着剤が流れ込みやすくなる。
その場合、ヘッドチップ２０に対してノズルプレート３０を接着する場合に、溝３５の端部が外部に開通した状態となるので、溝３５内部の空気を排気することができ、接着剤が流れ込みやすくなる。
【0040】
また、各溝３５の断面形状は、深さ方向に向かって幅が狭くなる形状、例えば、図２に示すように、略半円状である。溝３５の内側面は第一面３１に対して鈍角で傾斜した形状とすると、第一面３１上の接着剤を内側面に沿って溝３５内に引き込みやすくなり、より望ましい。
【0041】
また、ノズルプレート３０は、インクの吐出性能との関係から、その厚さが30～50[μm]が望ましい。この点については後述する。
これに対して、溝３５は、前後方向の深さが5～20[μm]の範囲が望ましい。溝３５は、この範囲よりも浅くなると接着剤の受入量が足りなくなるおそれがあり、この範囲より深くなると溝３５の底部の肉厚が薄くなりすぎてノズルプレート３０の強度が足りなくなるおそれがある。
これに対して、溝３５は、前後方向の深さが5～20[μm]の範囲が望ましい。溝３５は、この範囲よりも浅くなると接着剤の受入量が足りなくなるおそれがあり、この範囲より深くなると溝３５の底部の肉厚が薄くなりすぎてノズルプレート３０の強度が足りなくなるおそれがある。
【0042】
また、図２に示すように、溝３５からノズル列３４のノズル３３に連通するチャネル２２までの距離（溝３５のノズル列３４側の端部からチャネル２２の溝３５側の端部までの距離）ｗｃは50[μm]以上とすることが望ましい。これより狭くなると、毛管力による接着剤の流動が生じにくくなり、ノズルプレート３０とヘッドチップ２０との間に隙間を生じるおそれがある。
また、各溝３５は、ノズルプレート３０をヘッドチップ２０に接着した時に、いずれのチャネル２２にも連通しないように配置されている。
また、各溝３５は、ノズルプレート３０をヘッドチップ２０に接着した時に、いずれのチャネル２２にも連通しないように配置されている。
【0043】
［ノズルプレートの製造方法］
上記構成のノズルプレート３０の製造方法を図４Ａから図８に基づいて説明する。
ここでは、一枚のステンレス製の板状部材Ｐから三枚のノズルプレート３０を製造する場合を例示する。一枚の板状部材Ｐから製造するノズルプレート３０の枚数は一例に過ぎず、増減させてもよい。
上記構成のノズルプレート３０の製造方法を図４Ａから図８に基づいて説明する。
ここでは、一枚のステンレス製の板状部材Ｐから三枚のノズルプレート３０を製造する場合を例示する。一枚の板状部材Ｐから製造するノズルプレート３０の枚数は一例に過ぎず、増減させてもよい。
【0044】
まず、図４Ａ及び図４Ｂに示すように、左右方向に沿ってノズル列３４が形成されるように所定のノズルピッチで複数のノズル３３が形成される（ノズル形成工程）。
各ノズル３３は、レーザー加工、又はプレス加工と研磨によって、前述した各位置に形成される。
そして、板状部材Ｐにおけるノズルプレート３０の第一面３１となる面に対して研磨が行われる（研磨工程）。この研磨は、次工程である溝形成工程において、溝３５をウェットエッチングで形成するためのフォトレジスト膜を第一面３１となる面に良好に形成するための処理である。
各ノズル３３は、レーザー加工、又はプレス加工と研磨によって、前述した各位置に形成される。
そして、板状部材Ｐにおけるノズルプレート３０の第一面３１となる面に対して研磨が行われる（研磨工程）。この研磨は、次工程である溝形成工程において、溝３５をウェットエッチングで形成するためのフォトレジスト膜を第一面３１となる面に良好に形成するための処理である。
【0045】
次に、図５Ａ及び図５Ｂに示すように、板状部材Ｐにおけるノズルプレート３０の第一面３１となる面に対して、各ノズル列３４を挟んで二本の溝３５が左右方向に沿って前述した配置で形成される（溝形成工程）。
各溝３５は、ウェットエッチングにより形成される。即ち、板状部材Ｐにおけるノズルプレート３０の第一面３１となる面にドライフィルムレジストが貼着され、フォトマスクにより、各ノズル列３４に対する各溝３５の形成予定位置が露光され、各溝３５の形成予定位置のドライフィルムレジストを除き、板状部材Ｐがエッチング液に浸される。エッチング液に浸す時間が調整され、溝３５が目標の深さとなるように形成される。その後、ドライフィルムレジストは除去される。
このとき、溝３５と共に、後述するブリッジ部３７の形成予定位置にもブリッジ部３７の前身となる溝３７ａを形成する。ブリッジ部３７については後述する。
各溝３５は、ウェットエッチングにより形成される。即ち、板状部材Ｐにおけるノズルプレート３０の第一面３１となる面にドライフィルムレジストが貼着され、フォトマスクにより、各ノズル列３４に対する各溝３５の形成予定位置が露光され、各溝３５の形成予定位置のドライフィルムレジストを除き、板状部材Ｐがエッチング液に浸される。エッチング液に浸す時間が調整され、溝３５が目標の深さとなるように形成される。その後、ドライフィルムレジストは除去される。
このとき、溝３５と共に、後述するブリッジ部３７の形成予定位置にもブリッジ部３７の前身となる溝３７ａを形成する。ブリッジ部３７については後述する。
【0046】
次に、図６Ａ及び図６Ｂに示すように、板状部材Ｐに対して、ノズルプレート３０の外形に沿って、ウェットエッチングによって、一部のブリッジ部３７を残して分断部３６が形成される（外形加工工程）。分断部３６は、レーザー加工、又はプレス加工によって形成することも可能であるが、ウェットエッチングによって形成することが望ましい。これについては、別途、後述する。
【0047】
分断部３６は、ノズルプレート３０の外形に沿って前後に貫通形成された長穴であり、外形の一部分であるブリッジ部３７が残存するので、ノズルプレート３０となる部分は、板状部材Ｐから分離せずに保持された状態を維持する。このように、ブリッジ部３７を残して分断部３６を形成することで、最終的な板状部材Ｐからのノズルプレート３０の分離作業を、ブリッジ部３７のみの切断により簡単に行うことができる。
【0048】
次に、図７Ａ及び図７Ｂに示すように、板状部材Ｐにおけるノズルプレート３０の第二面３２となる面に対して、撥水膜３８が形成される（膜形成工程）。
撥水膜３８は、フッ素樹脂を含有する塗布液の塗布、乾燥、熱処理により形成される。塗布液の塗布は、蒸着、スプレーコーティング、スピンコーティング、はけコーティング等、周知のコーティング方法を用いることができる。
また、撥水膜の形成前に下地層を形成してもよい。下地層としては、タンタル、ジルコニウム、ハフニウム、ニオビウム、チタン、タングステン、コバルト、モリブテン、バナジウム、ランタン、マンガン、クロム、イットリウム、プラセオジウム、ルテニウム、ロジウム、レニウム、イリジウム、セリウム及びアルミニウムから選ばれる単数もしくは複数の種類の金属元素を含有し、かつ、酸素、窒素、炭素から選ばれる単数もしくは複数の種類の元素を含有する膜を形成すれば良い。あるいは、酸化シリコン、酸化炭化シリコン、タンタルシリケート及び炭化酸化シリコンから選ばれる膜を形成しても良い。
このような下地層を形成することで、撥水膜の結合を強固にし、化学耐性や擦過耐性を向上することが出来る。
撥水膜３８は、フッ素樹脂を含有する塗布液の塗布、乾燥、熱処理により形成される。塗布液の塗布は、蒸着、スプレーコーティング、スピンコーティング、はけコーティング等、周知のコーティング方法を用いることができる。
また、撥水膜の形成前に下地層を形成してもよい。下地層としては、タンタル、ジルコニウム、ハフニウム、ニオビウム、チタン、タングステン、コバルト、モリブテン、バナジウム、ランタン、マンガン、クロム、イットリウム、プラセオジウム、ルテニウム、ロジウム、レニウム、イリジウム、セリウム及びアルミニウムから選ばれる単数もしくは複数の種類の金属元素を含有し、かつ、酸素、窒素、炭素から選ばれる単数もしくは複数の種類の元素を含有する膜を形成すれば良い。あるいは、酸化シリコン、酸化炭化シリコン、タンタルシリケート及び炭化酸化シリコンから選ばれる膜を形成しても良い。
このような下地層を形成することで、撥水膜の結合を強固にし、化学耐性や擦過耐性を向上することが出来る。
【0049】
次に、図８に示すように、板状部材Ｐに対して、ブリッジ部３７が切断され、ノズルプレート３０が分離される（分離工程）。
ブリッジ部３７は、レーザー加工又はプレス加工によって切断しても良いが、手で切断しても良い。特に、ブリッジ部３７には、前述した溝形成工程において、溝３７ａが形成されて薄肉化しているので、より容易に切断することが可能である。
これにより、個々のノズルプレート３０が形成される。
ブリッジ部３７は、レーザー加工又はプレス加工によって切断しても良いが、手で切断しても良い。特に、ブリッジ部３７には、前述した溝形成工程において、溝３７ａが形成されて薄肉化しているので、より容易に切断することが可能である。
これにより、個々のノズルプレート３０が形成される。
【0050】
［ウェットエッチングによるノズルプレートの外周の形成(1)］
前述した分断部３６をウェットエッチングにより形成してノズルプレート３０の外周を形成する複数の方法について詳細に説明する。
図９Ａ～図９Ｅは、ノズルプレート３０の第一面３１側から分断部３６を形成する方法を順番に示している。
即ち、分断部３６の形成は、板状部材Ｐの両面にドライフィルムレジストが貼着され（図９Ａ）、フォトマスクにより、第一面３１側の各分断部３６の形成予定位置が露光され、各分断部３６の形成予定位置のドライフィルムレジストが除去され（図９Ｂ）、エッチング液に浸されて分断部３６が形成され（図９Ｃ）、ドライフィルムレジストが除去される（図９Ｄ）。
前述した分断部３６をウェットエッチングにより形成してノズルプレート３０の外周を形成する複数の方法について詳細に説明する。
図９Ａ～図９Ｅは、ノズルプレート３０の第一面３１側から分断部３６を形成する方法を順番に示している。
即ち、分断部３６の形成は、板状部材Ｐの両面にドライフィルムレジストが貼着され（図９Ａ）、フォトマスクにより、第一面３１側の各分断部３６の形成予定位置が露光され、各分断部３６の形成予定位置のドライフィルムレジストが除去され（図９Ｂ）、エッチング液に浸されて分断部３６が形成され（図９Ｃ）、ドライフィルムレジストが除去される（図９Ｄ）。
【0051】
上述のように、ノズルプレート３０の第一面３１側からウェットエッチングにより分断部３６を形成した場合、図９Ｅに示すように、ノズルプレート３０は、外周端面３９がヘッドチップ２０に対して順テーパとなり、外周端面３９は第一面３１に対して鈍角の傾斜面で形成される。その結果、ヘッドチップ２０の接着面２１にノズルプレート３０を接着すると、接着剤層３１１の接着剤が外周端面３９側にはみ出してきた場合に、接着面２１と外周端面３９の間に蓄えられ、撥水膜３８が形成される第二面３２側への接着剤の回り込みを効果的に抑制することが可能となる。
【0052】
仮に、ノズルプレート３０の第二面３２側からウェットエッチングにより分断部３６を形成した場合、図１０に示すように、ノズルプレート３０の外周端面３９は第一面３１に対して鋭角の傾斜面で形成され、はみ出した接着剤は外周端面３９に沿って第二面３２側へ回り込みが生じ易くなる。
【0053】
［ウェットエッチングによるノズルプレートの外周の形成(2)］
また、図１１Ａ～図１１Ｅは、ノズルプレート３０の分断部３６を形成する方法の他の例を順番に示している。
この場合、即ち、分断部３６の形成は、板状部材Ｐの両面にドライフィルムレジストが貼着され（図１１Ａ）、フォトマスクにより、第一面３１と第二面３２の両側の各分断部３６の形成予定位置が露光され、各分断部３６の形成予定位置のドライフィルムレジストが除去され（図１１Ｂ）、エッチング液に浸されて分断部３６が形成され（図１１Ｃ）、ドライフィルムレジストが除去される（図１１Ｄ）。
また、図１１Ａ～図１１Ｅは、ノズルプレート３０の分断部３６を形成する方法の他の例を順番に示している。
この場合、即ち、分断部３６の形成は、板状部材Ｐの両面にドライフィルムレジストが貼着され（図１１Ａ）、フォトマスクにより、第一面３１と第二面３２の両側の各分断部３６の形成予定位置が露光され、各分断部３６の形成予定位置のドライフィルムレジストが除去され（図１１Ｂ）、エッチング液に浸されて分断部３６が形成され（図１１Ｃ）、ドライフィルムレジストが除去される（図１１Ｄ）。
【0054】
この場合も、図１１Ｅに示すように、ノズルプレート３０は、外周端面３９における第一面３１側端部が第一面３１に対して鈍角に傾斜して形成されるので、図９Ｅの例と同様に、撥水膜３８が形成される第二面３２側への接着剤の回り込みを効果的に抑制することが可能となる。
【0055】
［ノズルプレートの他の製造方法の例(1)］
ノズルプレートの他の製造方法の例(1)を図１２Ａ～図１６に従って説明する。この製造方法の他の例については、前述した図４Ａ～図８に示した製造方法と異なる点のみについて説明する。
ノズルプレートの他の製造方法の例(1)を図１２Ａ～図１６に従って説明する。この製造方法の他の例については、前述した図４Ａ～図８に示した製造方法と異なる点のみについて説明する。
【0056】
この例は、主に、ノズル形成工程より先に溝形成工程を行う点が、図４Ａ～図８の製造方法と異なっている。
即ち、図１２Ａ及び図１２Ｂに示すように、板状部材Ｐの第一面３１となる面に対して溝３５をウェットエッチングにより形成する（溝形成工程）。なお、この溝形成工程の前に第一面３１側の研磨を行う研磨工程を実施してもよい。
そして、図１３Ａ及び図１３Ｂに示すように、レーザー加工、又はプレス加工と研磨によって、複数のノズル３３が形成される（ノズル形成工程）。
次に、図１４Ａ及び図１４Ｂに示すように、板状部材Ｐの第二面３２となる面に対して撥水膜３８が形成される（膜形成工程）。
次に、図１５Ａ及び図１５Ｂに示すように、板状部材Ｐに対して、ノズルプレート３０の外形に沿って、ウェットエッチング又はレーザー加工によって、ブリッジ部３７を残すことなく分断部３６が形成される（外形加工工程）。これにより、図１６に示すように、板状部材Ｐに対して、各ノズルプレート３０が分離される（分離工程）。
即ち、図１２Ａ及び図１２Ｂに示すように、板状部材Ｐの第一面３１となる面に対して溝３５をウェットエッチングにより形成する（溝形成工程）。なお、この溝形成工程の前に第一面３１側の研磨を行う研磨工程を実施してもよい。
そして、図１３Ａ及び図１３Ｂに示すように、レーザー加工、又はプレス加工と研磨によって、複数のノズル３３が形成される（ノズル形成工程）。
次に、図１４Ａ及び図１４Ｂに示すように、板状部材Ｐの第二面３２となる面に対して撥水膜３８が形成される（膜形成工程）。
次に、図１５Ａ及び図１５Ｂに示すように、板状部材Ｐに対して、ノズルプレート３０の外形に沿って、ウェットエッチング又はレーザー加工によって、ブリッジ部３７を残すことなく分断部３６が形成される（外形加工工程）。これにより、図１６に示すように、板状部材Ｐに対して、各ノズルプレート３０が分離される（分離工程）。
【0057】
なお、図１３Ａ及び図１３Ｂのノズル形成工程から後は、前述した図６Ａ～図８に示す外形加工工程、膜形成工程、分離工程を行っても良い。
また逆に、前述した図４Ａ～図８に示した製造方法において、図５Ａ及び図５Ｂの溝形成工程から後は、図１４Ａ～図１６に示す膜形成工程、外形加工工程、分離工程を行っても良い。
また逆に、前述した図４Ａ～図８に示した製造方法において、図５Ａ及び図５Ｂの溝形成工程から後は、図１４Ａ～図１６に示す膜形成工程、外形加工工程、分離工程を行っても良い。
【0058】
［ノズルプレートの他の製造方法の例(2)］
ノズルプレートの他の製造方法の例(2)を図１７Ａ～図２１に従って説明する。この製造方法の他の例については、前述した図４Ａ～図８に示した製造方法と異なる点のみについて説明する。
ノズルプレートの他の製造方法の例(2)を図１７Ａ～図２１に従って説明する。この製造方法の他の例については、前述した図４Ａ～図８に示した製造方法と異なる点のみについて説明する。
【0059】
この例は、主に、最初に膜形成工程を行う点が、図４Ａ～図８の製造方法と異なっている。
即ち、図１７Ａ及び図１７Ｂに示すように、板状部材Ｐの第二面３２となる面に対して撥水膜３８が形成される（膜形成工程）。
そして、図１８Ａ及び図１８Ｂに示すように、レーザー加工によって、複数のノズル３３が形成される（ノズル形成工程）。
次に、図１９Ａ及び図１９Ｂに示すように、板状部材Ｐの第一面３１となる面に対して溝３５をウェットエッチングにより形成する（溝形成工程）。なお、この溝形成工程の前に第一面３１側の研磨を行う研磨工程を実施してもよい。
次に、図２０Ａ及び図２０Ｂに示すように、板状部材Ｐに対して、ノズルプレート３０の外形に沿って、ウェットエッチング又はレーザー加工によって、ブリッジ部３７を残すことなく分断部３６が形成される（外形加工工程）。これにより、図２１に示すように、板状部材Ｐに対して、各ノズルプレート３０が分離される（分離工程）。
即ち、図１７Ａ及び図１７Ｂに示すように、板状部材Ｐの第二面３２となる面に対して撥水膜３８が形成される（膜形成工程）。
そして、図１８Ａ及び図１８Ｂに示すように、レーザー加工によって、複数のノズル３３が形成される（ノズル形成工程）。
次に、図１９Ａ及び図１９Ｂに示すように、板状部材Ｐの第一面３１となる面に対して溝３５をウェットエッチングにより形成する（溝形成工程）。なお、この溝形成工程の前に第一面３１側の研磨を行う研磨工程を実施してもよい。
次に、図２０Ａ及び図２０Ｂに示すように、板状部材Ｐに対して、ノズルプレート３０の外形に沿って、ウェットエッチング又はレーザー加工によって、ブリッジ部３７を残すことなく分断部３６が形成される（外形加工工程）。これにより、図２１に示すように、板状部材Ｐに対して、各ノズルプレート３０が分離される（分離工程）。
【0060】
【0061】
［ノズルプレートの他の製造方法の例(3)］
ノズルプレートの他の製造方法の例(3)を図２２Ａ～図２６に従って説明する。この製造方法の他の例については、前述した図４Ａ～図８に示した製造方法と異なる点のみについて説明する。
ノズルプレートの他の製造方法の例(3)を図２２Ａ～図２６に従って説明する。この製造方法の他の例については、前述した図４Ａ～図８に示した製造方法と異なる点のみについて説明する。
【0062】
この例は、主に、溝形成工程より先に膜形成工程を行う点が、図４Ａ～図８の製造方法と異なっている。
即ち、図２２Ａ及び図２２Ｂに示すように、レーザー加工、又はプレス加工と研磨によって、複数のノズル３３が形成される（ノズル形成工程）。
そして、図２３Ａ及び図２３Ｂに示すように、板状部材Ｐの第二面３２となる面に対して撥水膜３８が形成される（膜形成工程）。
次に、図２４Ａ及び図２４Ｂに示すように、板状部材Ｐの第一面３１となる面に対して溝３５をウェットエッチングにより形成する（溝形成工程）。なお、この溝形成工程の前に第一面３１側の研磨を行う研磨工程を実施してもよい。
次に、図２５Ａ及び図２５Ｂに示すように、板状部材Ｐに対して、ノズルプレート３０の外形に沿って、ウェットエッチング又はレーザー加工によって、ブリッジ部３７を残すことなく分断部３６が形成される（外形加工工程）。これにより、図２６に示すように、板状部材Ｐに対して、各ノズルプレート３０が分離される（分離工程）。
即ち、図２２Ａ及び図２２Ｂに示すように、レーザー加工、又はプレス加工と研磨によって、複数のノズル３３が形成される（ノズル形成工程）。
そして、図２３Ａ及び図２３Ｂに示すように、板状部材Ｐの第二面３２となる面に対して撥水膜３８が形成される（膜形成工程）。
次に、図２４Ａ及び図２４Ｂに示すように、板状部材Ｐの第一面３１となる面に対して溝３５をウェットエッチングにより形成する（溝形成工程）。なお、この溝形成工程の前に第一面３１側の研磨を行う研磨工程を実施してもよい。
次に、図２５Ａ及び図２５Ｂに示すように、板状部材Ｐに対して、ノズルプレート３０の外形に沿って、ウェットエッチング又はレーザー加工によって、ブリッジ部３７を残すことなく分断部３６が形成される（外形加工工程）。これにより、図２６に示すように、板状部材Ｐに対して、各ノズルプレート３０が分離される（分離工程）。
【0063】
なお、図２３Ａ及び図２３Ｂに示すノズル形成工程と図２４Ａ及び図２４Ｂに示す溝形成工程は、先後の順番を入れ替えてもよい。
また、上記他の製造方法の例(1)～(3)については、ノズルプレートの用途に応じては、膜形成工程を省略することが可能である。
また、上記他の製造方法の例(1)～(3)については、ノズルプレートの用途に応じては、膜形成工程を省略することが可能である。
【0064】
［発明の実施形態の技術的効果］
上記のように、ノズル形成工程、溝形成工程、外形加工工程を経て金属製の板状部材Ｐから製造されたノズルプレート３０は、耐久性及び耐薬品性に優れ、接着剤によるノズル３３の詰まりを溝３５によって抑制することができるので、吐出性にも優れている。このため、ノズルプレート３０を搭載することにより、耐久性、耐薬品性及び吐出性に優れるインクジェットヘッド１０を提供することが可能となる。
上記のように、ノズル形成工程、溝形成工程、外形加工工程を経て金属製の板状部材Ｐから製造されたノズルプレート３０は、耐久性及び耐薬品性に優れ、接着剤によるノズル３３の詰まりを溝３５によって抑制することができるので、吐出性にも優れている。このため、ノズルプレート３０を搭載することにより、耐久性、耐薬品性及び吐出性に優れるインクジェットヘッド１０を提供することが可能となる。
【0065】
また、ノズルプレート３０には、ノズル列３４が形成され、溝３５がノズル列３４に平行に形成されているので、各ノズル３３に対して、均等に接着剤の流入を抑制することが可能である。
また、各溝３５は、ノズル列３４よりも長く、左右方向について当該ノズル列３４が内側となるように形成されているので、ノズル列３４の全長に渡って効果的に接着剤の流入を抑制することが可能である。
さらに、各ノズル列３４に対してこれを挟むように両側に溝３５が形成されているので、ノズル列３４の長手方向に直交する方向の両側からの接着剤の流入を抑制することが可能である。
さらに、各溝３５は、深さが5～20[μm]の範囲で形成されているので、接着剤の受入量を適度に確保しつつ、ノズルプレート３０を適度な強度に維持することが可能である。
また、各溝３５は、ノズル列３４よりも長く、左右方向について当該ノズル列３４が内側となるように形成されているので、ノズル列３４の全長に渡って効果的に接着剤の流入を抑制することが可能である。
さらに、各ノズル列３４に対してこれを挟むように両側に溝３５が形成されているので、ノズル列３４の長手方向に直交する方向の両側からの接着剤の流入を抑制することが可能である。
さらに、各溝３５は、深さが5～20[μm]の範囲で形成されているので、接着剤の受入量を適度に確保しつつ、ノズルプレート３０を適度な強度に維持することが可能である。
【0066】
また、ノズルプレート３０は、各溝３５がウェットエッチングにより形成されている。溝３５は、ノズルプレート３０の第一面３１に形成され、第二面３２には貫通しない構造である。このような有底溝をレーザー加工やプレス加工で形成すると、溝底部側（第二面３２側）と溝開口部（第一面３１側）とで残留応力の違いが生じ、ノズルプレート３０に反りが発生し易くなる。
しかしながら、各溝３５は、ウェットエッチングにより形成されているので、ノズルプレート３０の反りの発生を効果的に抑制することができる。
従って、ノズルプレート３０をヘッドチップ２０に接着した場合に、反りによる接着不良箇所の発生を低減し、信頼性の高いインクジェットヘッド１０を提供することが可能となる。
しかしながら、各溝３５は、ウェットエッチングにより形成されているので、ノズルプレート３０の反りの発生を効果的に抑制することができる。
従って、ノズルプレート３０をヘッドチップ２０に接着した場合に、反りによる接着不良箇所の発生を低減し、信頼性の高いインクジェットヘッド１０を提供することが可能となる。
【0067】
また、図４Ａ～図８に示すノズルプレート３０の製造工程において、板状部材Ｐに対して、ノズルプレート３０の外形に沿って、一部のブリッジ部３７を残して分断部３６を形成する外形加工工程後に、板状部材Ｐの撥水膜を形成する膜形成工程を行っている。
この場合、各ノズルプレート３０は、ブリッジ部３７を介して板状部材Ｐにつながっているので、板状部材Ｐにおけるノズルプレート３０以外の部分を利用して保持した状態で撥水膜を形成することができる。
このため、ノズルプレート３０を個別に分離させてから、撥水膜を形成する場合に比べて、ノズルプレート３０を保持することにより（例えば、テープでノズルプレート３０を固定する等）、撥水膜形成が遮られることがなく、ノズルプレート３０に良好に撥水膜３８を形成することが可能となる。
また、ノズルプレート３０を個別に固定する作業を不要とし、ノズルプレート３０の製造をより容易に行い作業負担の低減を図ることが可能となる。
この場合、各ノズルプレート３０は、ブリッジ部３７を介して板状部材Ｐにつながっているので、板状部材Ｐにおけるノズルプレート３０以外の部分を利用して保持した状態で撥水膜を形成することができる。
このため、ノズルプレート３０を個別に分離させてから、撥水膜を形成する場合に比べて、ノズルプレート３０を保持することにより（例えば、テープでノズルプレート３０を固定する等）、撥水膜形成が遮られることがなく、ノズルプレート３０に良好に撥水膜３８を形成することが可能となる。
また、ノズルプレート３０を個別に固定する作業を不要とし、ノズルプレート３０の製造をより容易に行い作業負担の低減を図ることが可能となる。
【0068】
また、図１２Ａ～図１６に示したノズルプレートの他の製造方法の例(1)のように、ノズルプレート３０の製造工程において、溝形成工程後であってノズルプレート３０を板状部材Ｐから分離する外形加工工程前に、膜形成工程を実行する場合も、撥水膜形成が遮られることがなく、ノズルプレート３０に良好に撥水膜３８を形成することが可能となる。
【0069】
また、ノズルプレート３０の製造工程において、ノズル形成工程後であって、溝形成工程前に、板状部材Ｐを研磨する研磨工程を備えている。
これにより、ウェットエッチングによる溝３５の形成のためのフォトレジスト膜を良好に形成することが可能となり、各溝３５を良好に精度良く形成することが可能となる。
これにより、ウェットエッチングによる溝３５の形成のためのフォトレジスト膜を良好に形成することが可能となり、各溝３５を良好に精度良く形成することが可能となる。
【0070】
また、ノズル形成工程において、各ノズル３３をプレス加工と研磨、又はレーザー加工によって形成している。各ノズル３３は板状部材Ｐを貫通して形成されるので、前述した溝３５の場合と異なり、板状部材Ｐの厚さ方向について残留応力の差が生じにくく、反りは発生しにくい。また、反りが生じた場合、両面を研磨して研磨量を調整することで反りを抑制することができる。
さらに、各ノズル３３をプレス加工と研磨、又はレーザー加工により形成することで、効率良く製造することが可能となる。
さらに、各ノズル３３をプレス加工と研磨、又はレーザー加工により形成することで、効率良く製造することが可能となる。
【0071】
［ノズルプレートの溝の他の形成例(1)］
図２７Ａはノズルプレートの溝の他の形成例(1)としてのノズルプレート３０Ａの平面図、図２７Ｂは図２７Ａの領域Ｅの拡大図である。
このノズルプレート３０Ａの複数の溝３５Ａは、前述した溝３５と同じ位置で同じ範囲に形成されているが、各溝３５Ａは、ノズル列３４に平行な同一直線上に並んだ複数の小溝３５１Ａから構成されている点が異なっている。つまり、前述した溝３５は、ノズル列３４に対してこれより長い一本の溝で構成されていたが、溝３５Ａは、溝３５を複数に分割した構成となっている。
図２７Ａはノズルプレートの溝の他の形成例(1)としてのノズルプレート３０Ａの平面図、図２７Ｂは図２７Ａの領域Ｅの拡大図である。
このノズルプレート３０Ａの複数の溝３５Ａは、前述した溝３５と同じ位置で同じ範囲に形成されているが、各溝３５Ａは、ノズル列３４に平行な同一直線上に並んだ複数の小溝３５１Ａから構成されている点が異なっている。つまり、前述した溝３５は、ノズル列３４に対してこれより長い一本の溝で構成されていたが、溝３５Ａは、溝３５を複数に分割した構成となっている。
【0072】
このため、図２７Ｂに示すように、隣り合う小溝３５１Ａ同士で隙間領域が存在している。この隙間領域の左右方向の間隔ｈ２は、隣り合うノズル３３同士の隙間領域の間隔ｈ１よりも狭くなるように、各小溝３５１Ａは形成されている。
さらに、隣り合う小溝３５１Ａ同士の隙間領域が、いずれも、左右方向について、いずれのノズル３３とも重ならない配置で各小溝３５１Ａは形成されている。
これらにより、溝３５Ａを複数の小溝３５１Ａから構成した場合、小溝３５１Ａ同士の隙間では接着剤の受け入れを行うことができないが、左右方向について、小溝３５１Ａ同士の隙間とノズル３３の配置が重ならないので、その影響は最小限に抑えられ、各ノズル３３への接着剤の流入は効果的に抑制することが可能である。
さらに、溝３５Ａを複数の小溝３５１Ａで構成した場合には、加工形成時の残留応力の影響を低減することができる。従って、溝３５Ａは、ウェットエッチングにより形成することが望ましいが、仮に、レーザー加工やプレス加工により形成した場合であっても、反りの影響を抑制し、効率良く製造することができる。
さらに、隣り合う小溝３５１Ａ同士の隙間領域が、いずれも、左右方向について、いずれのノズル３３とも重ならない配置で各小溝３５１Ａは形成されている。
これらにより、溝３５Ａを複数の小溝３５１Ａから構成した場合、小溝３５１Ａ同士の隙間では接着剤の受け入れを行うことができないが、左右方向について、小溝３５１Ａ同士の隙間とノズル３３の配置が重ならないので、その影響は最小限に抑えられ、各ノズル３３への接着剤の流入は効果的に抑制することが可能である。
さらに、溝３５Ａを複数の小溝３５１Ａで構成した場合には、加工形成時の残留応力の影響を低減することができる。従って、溝３５Ａは、ウェットエッチングにより形成することが望ましいが、仮に、レーザー加工やプレス加工により形成した場合であっても、反りの影響を抑制し、効率良く製造することができる。
【0073】
なお、このノズルプレート３０Ａは前述したノズルプレート３０と同じ工程で製造することができる。なお、溝形成工程では、上述のように、ウェットエッチングに替えて、レーザー加工やプレス加工により溝３５Ａを形成することも可能である。
【0074】
［ノズルプレートの溝の他の形成例(2)］
図２８はノズルプレートの溝の他の形成例(2)としてのノズルプレート３０Ｂの平面図である。
前述のノズルプレート３０のように、ノズル列３４を挟んでその両側に溝３５を形成する場合、ノズル列３４とノズル列３４の間には二本の溝３５が形成されるが、このようなノズル列３４とノズル列３４の間の二本の溝３５は一本の溝にまとめても良い。
ノズルプレート３０Ｂは、ノズル列３４とノズル列３４の間の溝を一本にまとめた構成となっている。この場合、ノズル列３４とノズル列３４の間に形成される溝３５Ｂは、前述の溝３５よりも幅を広くして、二本分の溝３５の接着剤の受入量を確保することが望ましい。
また、一方のノズル列３４のノズル３３と他方のノズル列３４のノズル３３とでノズルピッチ1/2分のオフセットが形成されている場合には、溝３５Ｂは、左右方向について、両方のノズル列３４の全長が内側に含まれる長さ及び配置とすることが望ましい。
なお、このノズルプレート３０Ｂは前述したノズルプレート３０と同じ工程で製造することができる。
図２８はノズルプレートの溝の他の形成例(2)としてのノズルプレート３０Ｂの平面図である。
前述のノズルプレート３０のように、ノズル列３４を挟んでその両側に溝３５を形成する場合、ノズル列３４とノズル列３４の間には二本の溝３５が形成されるが、このようなノズル列３４とノズル列３４の間の二本の溝３５は一本の溝にまとめても良い。
ノズルプレート３０Ｂは、ノズル列３４とノズル列３４の間の溝を一本にまとめた構成となっている。この場合、ノズル列３４とノズル列３４の間に形成される溝３５Ｂは、前述の溝３５よりも幅を広くして、二本分の溝３５の接着剤の受入量を確保することが望ましい。
また、一方のノズル列３４のノズル３３と他方のノズル列３４のノズル３３とでノズルピッチ1/2分のオフセットが形成されている場合には、溝３５Ｂは、左右方向について、両方のノズル列３４の全長が内側に含まれる長さ及び配置とすることが望ましい。
なお、このノズルプレート３０Ｂは前述したノズルプレート３０と同じ工程で製造することができる。
【0075】
このようなノズルプレート３０Ｂの構造であれば、溝の数を低減することが可能となり、ノズルプレート３０Ｂの製造の容易化、効率化を図ることが可能となる。
【0076】
［ノズルプレートの溝の他の形成例(3)］
図２９はノズルプレートの溝の他の形成例(3)としてのノズルプレート３０Ｃの平面図である。
前述のノズルプレート３０では、ノズル列３４を挟んでその両側に溝３５が形成されているが、各ノズル列３４の並び方向（上下方向）について、全てのノズル列３４よりも外側となる溝３５（図３における一番上と一番下の溝３５）については省略することが可能である。
このように、全てのノズル列３４よりも外側となる溝３５の形成を省略したノズルプレート３０Ｃの場合、溝３５の本数が低減するので接着剤の受入量が低減し、各ノズル３３に対する接着剤の流入抑制効果は低減する。
しかし、上記全てのノズル列３４よりも外側となる溝３５が配置されていた領域の余剰となる接着剤は、ノズルプレート３０Ｃの外縁部（上端部と下端部から外部に）から外側に押し出させることができるので、ノズル列３４とノズル列３４との間の領域の接着剤のようには流入量は多くならない。従って、ノズル列３４とノズル列３４との間の領域に溝３５を設けてあれば、各ノズル３３への接着剤の流入の抑制が可能であり、各ノズル３３のつまりによる吐出不良の発生を低減することが可能となる。
なお、このノズルプレート３０Ｃは前述したノズルプレート３０と同じ工程で製造することができる。
図２９はノズルプレートの溝の他の形成例(3)としてのノズルプレート３０Ｃの平面図である。
前述のノズルプレート３０では、ノズル列３４を挟んでその両側に溝３５が形成されているが、各ノズル列３４の並び方向（上下方向）について、全てのノズル列３４よりも外側となる溝３５（図３における一番上と一番下の溝３５）については省略することが可能である。
このように、全てのノズル列３４よりも外側となる溝３５の形成を省略したノズルプレート３０Ｃの場合、溝３５の本数が低減するので接着剤の受入量が低減し、各ノズル３３に対する接着剤の流入抑制効果は低減する。
しかし、上記全てのノズル列３４よりも外側となる溝３５が配置されていた領域の余剰となる接着剤は、ノズルプレート３０Ｃの外縁部（上端部と下端部から外部に）から外側に押し出させることができるので、ノズル列３４とノズル列３４との間の領域の接着剤のようには流入量は多くならない。従って、ノズル列３４とノズル列３４との間の領域に溝３５を設けてあれば、各ノズル３３への接着剤の流入の抑制が可能であり、各ノズル３３のつまりによる吐出不良の発生を低減することが可能となる。
なお、このノズルプレート３０Ｃは前述したノズルプレート３０と同じ工程で製造することができる。
【0077】
［ノズルプレートの厚さと吐出性能の関係］
ノズルプレート３０の厚さと吐出性能に影響を与えるメニスカスの形成との関係を求めたシミュレーション結果を図３０の一覧に示す。
ノズル３３からの液体吐出の際には、ノズル３３にメニスカスが形成される。このメニスカスによる液面からの後退量が大きくなる程、吐出時にメニスカスが気泡を巻き込んで壊れやすくなり、吐出不良の発生確率が高くなる。
メニスカスによる液面からの後退量は、図３１に示すように、ノズルプレート３０の吐出側の面からメニスカスの後退部分までの長さＢからノズルプレート３０の厚さを減じた量である。
ノズルプレート３０の厚さと吐出性能に影響を与えるメニスカスの形成との関係を求めたシミュレーション結果を図３０の一覧に示す。
ノズル３３からの液体吐出の際には、ノズル３３にメニスカスが形成される。このメニスカスによる液面からの後退量が大きくなる程、吐出時にメニスカスが気泡を巻き込んで壊れやすくなり、吐出不良の発生確率が高くなる。
メニスカスによる液面からの後退量は、図３１に示すように、ノズルプレート３０の吐出側の面からメニスカスの後退部分までの長さＢからノズルプレート３０の厚さを減じた量である。
【0078】
ノズルプレート３０の厚さを20,30,40,50,60[μm]として、そのメニスカスの後退量と組立性について評価を行ったところ、ノズルプレート３０の厚さが20[μm]まで薄くなると、メニスカスの液面からの後退量が大きくなり、吐出が良好に行われなくなる。
また、ノズルプレート３０の厚さが60[μm]まで厚くなると、接着剤によるヘッドチップ２０とノズルプレート３０の粘着力に対してノズルプレート３０の弾性力の方が強くなるため、ノズルプレート３０をヘッドチップ２０へ接着剤で貼り付けた際に、ノズルプレート３０に反りが生じている場合に、剥がれてしまったり、接着剤の硬化ベークにより線膨張差によるせん断力によりリークが発生しやすくなり、組立て性が悪化する。これにより、吐出が良好に行われなくなる。
従って、ノズルプレート３０の厚さが30～50[μm]の範囲で吐出が良好に行われるという結果が得られた。
また、ノズルプレート３０の厚さが60[μm]まで厚くなると、接着剤によるヘッドチップ２０とノズルプレート３０の粘着力に対してノズルプレート３０の弾性力の方が強くなるため、ノズルプレート３０をヘッドチップ２０へ接着剤で貼り付けた際に、ノズルプレート３０に反りが生じている場合に、剥がれてしまったり、接着剤の硬化ベークにより線膨張差によるせん断力によりリークが発生しやすくなり、組立て性が悪化する。これにより、吐出が良好に行われなくなる。
従って、ノズルプレート３０の厚さが30～50[μm]の範囲で吐出が良好に行われるという結果が得られた。
【0079】
［その他］
上記ノズルプレート３０，３０Ａ，３０Ｂ，３０Ｃではノズル列３４が二列である場合を例示したが、その数は二列に限定されず、単数列又は三列以上としてもよい。その場合、ノズル列３４ごとにその両側に溝３５を設けることが望ましいが、互いに隣り合うノズル列３４とノズル列３４の間の二本の溝３５については、前述した溝３５Ｂのように、一本にまとめてもよい。
上記ノズルプレート３０，３０Ａ，３０Ｂ，３０Ｃではノズル列３４が二列である場合を例示したが、その数は二列に限定されず、単数列又は三列以上としてもよい。その場合、ノズル列３４ごとにその両側に溝３５を設けることが望ましいが、互いに隣り合うノズル列３４とノズル列３４の間の二本の溝３５については、前述した溝３５Ｂのように、一本にまとめてもよい。
【0080】
また、上記ノズルプレート３０，３０Ａ，３０Ｂ，３０Ｃでは、溝３５，３５Ａ，３５Ｂが第二面３２まで貫通しないように形成された例を示したが、材質や構造設計等によりノズルプレート３０，３０Ａ，３０Ｂ，３０Ｃの必要強度を確保することが可能であれば、溝３５，３５Ａ，３５Ｂを第二面３２まで貫通形成しても良い。
また、その他、具体的な細部構造等についても適宜に変更可能であることは勿論である。
また、その他、具体的な細部構造等についても適宜に変更可能であることは勿論である。
【産業上の利用可能性】
【0081】
本発明に係るノズルプレートの製造方法及びインクジェットヘッドは、ノズルプレートを金属製とする分野に対して産業上の利用可能性がある。
【符号の説明】
【0082】
１０ インクジェットヘッド
２０ ヘッドチップ
２１ 接着面
２２ チャネル
３０，３０Ａ，３０Ｂ，３０Ｃ ノズルプレート
３１ 第一面
３２ 第二面
３３ ノズル
３４ ノズル列
３５，３５Ａ，３５Ｂ 溝
３６ 分断部
３７ ブリッジ部
３８ 撥水膜
３５１Ａ 小溝
ｈ１，ｈ２ 間隔
Ｌ 符号
Ｐ 板状部材
２０ ヘッドチップ
２１ 接着面
２２ チャネル
３０，３０Ａ，３０Ｂ，３０Ｃ ノズルプレート
３１ 第一面
３２ 第二面
３３ ノズル
３４ ノズル列
３５，３５Ａ，３５Ｂ 溝
３６ 分断部
３７ ブリッジ部
３８ 撥水膜
３５１Ａ 小溝
ｈ１，ｈ２ 間隔
Ｌ 符号
Ｐ 板状部材
【図1】
【図2】
【図3】
【図4A】
【図4B】
【図5A】
【図5B】
【図6A】
【図6B】
【図7A】
【図7B】
【図8】
【図9A】
【図9B】
【図9C】
【図9D】
【図9E】
【図10】
【図11A】
【図11B】
【図11C】
【図11D】
【図11E】
【図12A】
【図12B】
【図13A】
【図13B】
【図14A】
【図14B】
【図15A】
【図15B】
【図16】
【図17A】
【図17B】
【図18A】
【図18B】
【図19A】
【図19B】
【図20A】
【図20B】
【図21】
【図22A】
【図22B】
【図23A】
【図23B】
【図24A】
【図24B】
【図25A】
【図25B】
【図26】
【図27A】
【図27B】
【図28】
【図29】
【図30】
【図31】