特許7026444IP Force 特許公報全文掲載

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技術分野

圧電振動片の製造方法に関するものである。

発明が解決しようとする課題[発明の詳細な説明]から抜粋

しかし従来技術には以下の課題がある。 振動腕部の主面に溝部が形成されている場合、溝部をウエットエッチングで加工すると、水晶の異方性エッチング特有のＶ字溝形状に溝部が形成される。このため、溝部の電極と、振動腕部の側面の電極との間に発生する電界は、Ｖ字溝の形状に従い、それぞれが微妙に異なっていた。よって、安定した振動を得ることが非常に難しい。特に、溝部のアスペクト比が高くなるとＶ字溝形状が顕著になる。 この対策として、溝部をドライエッチングで加工する方法が挙げられるが、ドライエッチングでは溝部の溝深さ寸法の管理が困難になる。

課題を解決するための手段[発明の詳細な説明]から抜粋

の課題を解決するために本発明の一態様にかかる圧電振動片は、基部から延出する一対の振動腕部を有し、前記振動腕部の主面に沿って開口する溝部が形成された圧電振動片において、前記溝部は、アスペクト比が０．７以上に設定され、前記主面の幅方向に所定の溝幅寸法に形成された溝底部と、前記溝底部の側辺から前記開口側に向けて前記溝部の側壁部まで傾斜状に延びる傾斜部と、を有することを特徴とする。

発明の効果[発明の詳細な説明]から抜粋

この発明の圧電振動片の一態様によれば、アスペクト比が０．７以上の溝部に溝底部と傾斜部とを形成した。これにより、圧電振動片の発振および周波数を安定させることができる。
また、この発明の圧電振動片の製造方法の一態様によれば、ドライエッチングの後にウエットエッチングで溝部を形成するようにした。これにより、溝部の溝深さ寸法を容易に管理でき、さらに、圧電振動片の発振および周波数を安定させることができる。

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この特許公報に記載されている図面[図面の簡単な説明]から抜粋

【図1】 本発明に係る圧電振動子を分解した状態を示す斜視図である。
【図2】 本発明に係るパッケージ本体の凹部に圧電振動片を取り付けた状態を示す平面図である。
【図3】 本発明に係る振動腕部を示す図２のＩＩＩ－ＩＩＩ線に沿わせた断面図である。
【図4】 本発明に係る振動腕部に第１励振電極および第２励振電極が設けられた状態を示す断面図である。
【図5】 本発明に係る一対の振動腕部の外形をドライエッチング加工する外形加工工程を説明する断面図である。
【図6】 本発明に係る一対の振動腕部に第一溝部および第二溝部を形成する第一溝加工工程および第二溝加工工程を説明する断面図である。

代表図 図1本件の代表的な図

１………圧電振動子 ２………パッケージ ３………圧電振動片 ３１，３２…一対の振動腕部 ３３，３４…一対の支持腕部 ３５……基部 ３６，３８……第一溝部（溝部） ３７，３９……第二溝部（溝部） ４１……第一主面（主面） ４２……第二主面（主面） ４３……第一側面（側面） ４４……第二側面（側面） ５１……第一平行部（平行部） ５２……第二平行部（平行部） ５１ａ，５２ａ…端部（平行部の端部） ５３……第一傾斜部（傾斜部） ５４……第二傾斜部（傾斜部） ５５……溝底部 ５５ａ…溝底部の一方の側辺 ５５ｂ…溝底部の他方の側辺 ６１……基板 Ｄ１……溝深さ寸法 Ｗ１……溝深さ寸法

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