特許 7029477 マスク及びマスクコンポーネント

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2022-02-22

(45)【発行日】2022-03-03

(54)【発明の名称】マスク及びマスクコンポーネント

(51)【国際特許分類】

   C23C 14/04 20060101AFI20220224BHJP

   H05B 33/10 20060101ALI20220224BHJP

   H01L 51/50 20060101ALI20220224BHJP

【ＦＩ】

C23C14/04 A

H05B33/10

H05B33/14 A

【請求項の数】 10

(21)【出願番号】P 2019568386

(86)(22)【出願日】2018-08-30

(65)【公表番号】

(43)【公表日】2020-08-06

(86)【国際出願番号】 CN2018103296

(87)【国際公開番号】W WO2019218536

(87)【国際公開日】2019-11-21

【審査請求日】2019-12-11

(31)【優先権主張番号】201810454597.5

(32)【優先日】2018-05-14

(33)【優先権主張国・地域又は機関】CN

(73)【特許権者】

【識別番号】516189213

【氏名又は名称】クンシャン ゴー－ビシオノクス オプト－エレクトロニクス カンパニー リミテッド

【氏名又は名称原語表記】Ｋｕｎｓｈａｎ Ｇｏ－Ｖｉｓｉｏｎｏｘ Ｏｐｔｏ－Ｅｌｅｃｔｒｏｎｉｃｓ Ｃｏ．， Ｌｔｄ．

【住所又は居所原語表記】Ｂｕｉｌｄｉｎｇ ４， Ｎｏ． １， Ｌｏｎｇｔｅｎｇ Ｒｏａｄ， Ｄｅｖｅｌｏｐｍｅｎｔ Ｚｏｎｅ， Ｋｕｎｓｈａｎ， Ｊｉａｎｇｓｕ ２１５３００， Ｃｈｉｎａ

(74)【代理人】

【識別番号】110001210

【氏名又は名称】特許業務法人ＹＫＩ国際特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】リー ジンク

(72)【発明者】

【氏名】カン メングア

(72)【発明者】

【氏名】ワン メングファン

【審査官】▲高▼橋 真由

(56)【参考文献】

【文献】米国特許出願公開第２０１７／０１７９３９０（ＵＳ，Ａ１）

【文献】中国特許出願公開第１０７９９４０５４（ＣＮ，Ａ）

【文献】特開２００７－０３９７７７（ＪＰ，Ａ）

【文献】国際公開第２０１９／０３８８６１（ＷＯ，Ａ１）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｃ２３Ｃ １４／００－１４／５８

Ｈ０５Ｂ ３３／１０

Ｈ０１Ｌ ５１／５０

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

蒸着源に対向するように配置される蒸着面と蒸着源の反対側に配置されるガラス面を備えるマスク本体と、
前記マスク本体に配置され蒸着領域と遮蔽部を含む少なくとも１つのサブマスクと、を含み、
前記蒸着領域には、前記サブマスクの厚さ方向に前記サブマスクを貫通する第１の蒸着孔が設けられており、前記遮蔽部は、前記サブマスクの厚さ方向に前記サブマスクを貫通する貫通孔を備えない区切領域とディスプレイスクリーンの異形領域に対応するダミー領域とを含み、前記区切領域は、前記ダミー領域と前記蒸着領域との間に位置し、前記ダミー領域に前記サブマスクの厚さ方向に前記サブマスクを貫通する第２の蒸着孔が設けられており、前記異形領域は、スロットがあけられた領域または孔があけられた領域であり、前記第２の蒸着孔は、前記サブマスクの厚さ方向に沿って設けられて互いに連通する第１のハーフエッチング孔と第２のハーフエッチング孔とを含み、前記第１のハーフエッチング孔は、前記ガラス面に設けられており、前記第２のハーフエッチング孔は、前記蒸着面に設けられていることを特徴とするマスク。

【請求項2】

前記第１のハーフエッチング孔は、前記ガラス面に隣接する前記マスク本体の一端から前記ガラス面から離れる他端に向かって収縮し、前記第２のハーフエッチング孔は、前記蒸着面に隣接する前記マスク本体の一端から前記蒸着面から離れる他端に向かって収縮するとともに前記第１のハーフエッチング孔に連通することを特徴とする請求項１に記載のマスク。

【請求項3】

前記ダミー領域には、前記サブマスクの厚さ方向に少なくとも１つの第１の溝が設けられており、前記第１の溝の深さは前記サブマスクの厚さより小さく、前記第１の溝は、前記蒸着面に設けられた第２の溝と、前記ガラス面に設けられた第３の溝とを含み、前記サブマスクの厚さ方向に沿って前記第２の溝の底壁と前記第３の溝の底壁との間に間隔があることを特徴とする請求項１に記載のマスク。

【請求項4】

前記区切領域には、前記サブマスクの厚さ方向に少なくとも１つの第４の溝が設けられており、前記第４の溝の深さは、前記サブマスクの厚さより小さく、前記サブマスクの厚さ方向に沿った前記第１のハーフエッチング孔の開口の投影は、第２のハーフエッチング孔の開口範囲に入ることを特徴とする請求項２に記載のマスク。

【請求項5】

前記第４の溝は、前記蒸着面に設けられた第５の溝と、前記ガラス面に設けられた第６の溝とを含み、前記サブマスクの厚さ方向に沿って前記第５の溝の底壁と前記第６の溝の底壁との間に間隔があることを特徴とする請求項４に記載のマスク。

【請求項6】

前記マスク本体は、平面視で互いに直交する第１の中心線と第２の中心線を有し、前記マスク本体には、２組の前記サブマスクが設けられており、各組の前記サブマスクは少なくとも１つの前記サブマスクを含み、それぞれ隣り合う２つの前記サブマスクの間に間隔があり、２組の前記サブマスクは、前記第１の中心線に対して軸対称であり、且つ、２組の前記サブマスクは、前記第２の中心線に対して軸対称であることを特徴とする請求項１に記載のマスク。

【請求項7】

前記第２の中心線の同じ側に位置する前記サブマスクの前記遮蔽部は、すべて前記第２の中心線の反対側または前記第２の中心線に対向するように配置されており、
或いは、各組の前記サブマスクは、少なくとも１つのサブ組のサブマスクを含み、それぞれ前記サブ組のサブマスクは、２つの隣り合う前記サブマスクを含み、それぞれ前記サブ組のサブマスクの２つの隣り合う前記サブマスクの前記遮蔽部は対向して配置されていることを特徴とする請求項６に記載のマスク。

【請求項8】

前記マスク本体には、一列か行列で配置された複数のサブマスクが配置されており、
前記マスク本体は、前記複数のサブマスクを２組のサブマスクに分割する仮想分割線を有し、前記２組のサブマスクは、前記仮想分割線の一側に位置する第１組のサブマスクと、前記仮想分割線の他側に位置する第２組のサブマスクとを含み、前記第１組のサブマスクと前記第２組のサブマスクは、それぞれ少なくとも１つのサブマスクを含み、
前記第１組のサブマスクと前記第２組のサブマスクの各サブマスクは、前記仮想分割線に対向する側にそれぞれ前記遮蔽部が設けられており、あるいは、前記第１組のサブマスクと前記第２組のサブマスクの各サブマスクは、前記仮想分割線の反対側にそれぞれ前記遮蔽部が設けられていることを特徴とする請求項１に記載のマスク。

【請求項9】

前記マスク本体には、一列か行列で配置された複数のサブマスクが配置されており、
同じ行にある偶数個の順に隣り合う前記サブマスクは、複数の順に隣り合うサブ組のサブマスクを形成し、それぞれ前記サブ組のサブマスクは、隣接して配置される２つのサブマスクを含み、
それぞれ前記サブ組のサブマスクの２つのサブマスクが互いに対向する側に前記遮蔽部が設けられるとともに互いに離れる側に前記遮蔽部が設けられなく、あるいは、それぞれ前記サブ組のサブマスクの２つのサブマスクの互いに対向する側に前記遮蔽部が設けられないとともに互いに離れる側には前記遮蔽部が設けられることを特徴とする請求項１に記載のマスク。

【請求項10】

マスクフレームと、支持ストリップと、少なくとも１つの請求項１乃至９の何れか１つに記載のマスクとを含み、
前記支持ストリップは、前記マスクフレームに固定的に接続され、少なくとも１つの前記マスクは、前記支持ストリップに積層されて前記マスクフレームに固定的に接続されることを特徴とするマスクコンポーネント。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、表示技術に関し、特にマスク及びマスクコンポーネントに関する。

【背景技術】

【0002】

有機発光ダイオード（Ｏｒｇａｎｉｃ Ｌｉｇｈｔ－Ｅｍｉｔｔｉｎｇ Ｄｉｏｄｅ、ＯＬＥＤ）は、有機ELまたは有機発光半導体とも言われている。ＯＬＥＤは、駆動電圧が低く、アクティブ発光であり、視野角が広く、効率が高く、応答速度が速く、フルカラー且つ広い面積でウォールマウントタイプ表示とフレキシブルな表示を実現しやすいなど様々な特徴を有するため、液晶ディスプレイ（Ｌｉｑｕｉｄ Ｃｒｙｓｔａｌ Ｄｉｓｐｌａｙ、ＬＣＤ）に代わりつつある。

【0003】

ＯＬＥＤ製造技術において、真空蒸着用マスクは、極めて重要な構成要素であり、マスクは有機材料が基板に堆積される位置を制御できる。マスクは、主に、共通層を蒸着するためのコモンメタルマスク（Ｃｏｍｍｏｎ Ｍｅｔａｌ Ｍａｓｋ、ＣＭＭ）と、発光層を蒸着するためのファインメタルマスク（Ｆｉｎｅ Ｍｅｔａｌ Ｍａｓｋ、ＦＭＭ）と、を含む。

【0004】

本発明者らは、異形ディスプレイスクリーン（すなわち、ディスプレイスクリーンの一側辺にスロットや穴があけられたスクリーン本体）を製作する際に、従来技術のマスクを用いると、引っ張るときにしわが生じやすいため、以降のディスプレイスクリーンの画素蒸着位置の精度が低下されることを見出した 。

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

ここで、本発明は、マスクを引っ張る際にしわが生じやすいという問題を解決でき、以降のディスプレイスクリーンの画素蒸着位置の精度を向上させたマスク及びマスクコンポーネントを提供する。

【課題を解決するための手段】

【0006】

上記目的を実現するために、本発明はマスクを提供する。該マスクは、蒸着源に対向するように配置される蒸着面と蒸着源の反対側に配置されるガラス面を備えるマスク本体と、前記マスク本体に配置され蒸着領域と遮蔽部を含む少なくとも１つのサブマスクと、を含み、前記蒸着領域には、前記サブマスクの厚さ方向に前記サブマスクを貫通する第１の蒸着孔が設けられており、前記遮蔽部は、区切領域とディスプレイスクリーンの異形領域に対応するダミー領域とを含み、前記区切領域は、前記ダミー領域と前記蒸着領域との間に位置し、前記ダミー領域に前記サブマスクの厚さ方向に前記サブマスクを貫通する第２の蒸着孔が設けられており、および／または前記ダミー領域に少なくとも１つの第１の溝が設けられており、前記第１の溝の深さは前記サブマスクの厚さより小さい。

【0008】

一実施例において、前記第２の蒸着孔は、前記サブマスクの厚さ方向に沿って設けられて互いに連通する第１のハーフエッチング孔と第２のハーフエッチング孔とを含み、前記第１のハーフエッチング孔は、前記ガラス面に設けられており、前記ガラス面に隣接する前記マスク本体の一端から前記ガラス面から離れる他端に向かって収縮し、前記第２のハーフエッチング孔は、前記蒸着面に設けられており、前記蒸着面に隣接する前記マスク本体の一端から前記蒸着面から離れる他端に向かって収縮するとともに前記第１のハーフエッチング孔に連通する。

【0011】

一実施例において、前記第１の溝は、前記蒸着面に設けられた第２の溝と、前記ガラス面に設けられた第３の溝とを含み、前記サブマスクの厚さ方向に沿って前記第２の溝の底壁と前記第３の溝の底壁との間に間隔がある（互いに連通しない）。

【0013】

一実施例において、前記区切領域には、前記サブマスクの厚さ方向に少なくとも１つの第４の溝が設けられており、前記第４の溝の深さは、前記サブマスクの厚さより小さく、サブマスクの厚さ方向に沿った前記第１のハーフエッチング孔の開口の投影は、第２のハーフエッチング孔の開口範囲に入る。

【0015】

一実施例において、前記第４の溝は、前記蒸着面に設けられた第５の溝と、前記ガラス面に設けられた第６の溝とを含み、前記サブマスクの厚さ方向に沿って前記第５の溝の底壁と前記第６の溝の底壁との間に間隔がある。

【0018】

一実施例において、平面図において、前記マスク本体は、互いに直交する第１の中心線と第２の中心線を有し、前記マスク本体には、２組の前記サブマスクが設けられており、各組の前記サブマスクは少なくとも１つの前記サブマスクを含み、それぞれ隣り合う２つの前記サブマスクの間に間隔があり、２組の前記サブマスクは、前記第１の中心線に対して軸対称であり、且つ、２組の前記サブマスクは、前記第２の中心線に対して軸対称である。

【0019】

一実施例において、前記第２の中心線の同じ側に位置する前記サブマスクの前記遮蔽部は、すべて前記第２の中心線の反対側または前記第２の中心線に対向するように配置されており、或いは、各組の前記サブマスクは、少なくとも１つのサブ組のサブマスクを含み、それぞれ前記サブ組のサブマスクは、２つの隣り合う前記サブマスクを含み、それぞれ前記サブ組のサブマスクの２つの隣り合う前記サブマスクの前記遮蔽部は対向して配置されている。

【0020】

一実施例において、前記マスク本体には、一列か行列で配置された複数のサブマスクが配置されており、前記マスク本体は、前記複数のサブマスクを２組のサブマスクに分割する仮想分割線を有し、前記２組のサブマスクは、前記仮想分割線の一側に位置する第１組のサブマスクと、前記仮想分割線の他側に位置する第２組のサブマスクとを含み、前記第１組のサブマスクと前記第２組のサブマスクは、それぞれ少なくとも１つのサブマスクを含み、前記第１組のサブマスクと前記第２組のサブマスクの各サブマスクは、前記仮想分割線に対向する側にそれぞれ前記遮蔽部が設けられており、あるいは、前記第１組のサブマスクと前記第２組のサブマスクの各サブマスクは、前記仮想分割線の反対側にそれぞれ前記遮蔽部が設けられている。

【0022】

一実施例において、前記マスク本体には、一列か行列で配置された複数のサブマスクが配置されており、同じ行にある偶数個の順に隣り合う前記サブマスクは、複数の順に隣り合うサブ組のサブマスクを形成し、それぞれ前記サブ組のサブマスクは、隣接して配置される２つのサブマスクを含み、それぞれ前記サブ組のサブマスクの２つのサブマスクが互いに対向する側に前記遮蔽部が設けられるとともに互いに離れる側に前記遮蔽部が設けられなく、あるいは、それぞれ前記サブ組のサブマスクの２つのサブマスクの互いに対向する側に前記遮蔽部が設けられないとともに互いに離れる側には前記遮蔽部が設けられる。

【0024】

マスクコンポーネントであって、マスクフレームと、支持ストリップと、少なくとも１つの前記マスクとを含み、前記支持ストリップは、前記マスクフレームに固定的に接続され、少なくとも１つの前記マスクは、前記支持ストリップに積層されて前記マスクフレームに固定的に接続される。

【0026】

本発明が提供するマスク及びマスクコンポーネントによれば、遮蔽部は２つの部分に分割され、ダミー領域には、第２の蒸着孔および／または第１の溝が設けられているため、該マスクを利用して蒸着する際に、蒸着材料は、第１の蒸着孔と第２の蒸着孔から基板に蒸着されることができる。また、第２の蒸着孔および／または第１の溝を設けることにより、遮蔽部の重量を軽減し、遮蔽部と蒸着領域との重量の差を減少し、遮蔽部の応力集中を低減することかできるため、マスク本体は、引っ張る際に均一的な応力がかかり、引っ張る際にマスク本体のしわ現象をさらに減少できる。また、ダミー領域と蒸着領域との間に区切領域が配置されているため、後で製作されるディスプレイスクリーンに対する切断やパッケージング操作を容易になる。

【図面の簡単な説明】

【0027】

【図1】本発明の一実施例が提供するマスクを模式的に示す構造図である。

【図2】本発明の他の実施例が提供するマスクを模式的に示す構造図である。

【図3】本発明のもう一つの実施例が提供するマスクを模式的に示す構造図である。

【図4】本発明のもう一つの実施例が提供するマスクを模式的に示す構造図である。

【図5】本発明のもう一つの実施例が提供するマスクを模式的に示す構造図である。

【図6】本発明の一実施例が提供するマスクの一部の構造を示す断面図である。

【図7】本発明の他の実施例が提供するマスクの一部の構造を示す断面図である。

【図8】本発明のもう一つの実施例が提供するマスクの一部の構造を示す断面図である。

【図9】本発明のもう一つの実施例が提供するマスクの一部の構造を示す断面図である。

【図10】本発明のもう一つの実施例が提供するマスクの一部の構造を示す断面図である。

【図11】本発明のもう一つの実施例が提供するマスクの一部の構造を示す断面図である。

【図12】本発明のもう一つの実施例が提供するマスクの一部の構造を示す断面図である。

【図13】本発明のもう一つの実施例が提供するマスクの一部の構造を示す断面図である。

【図14】本発明のもう一つの実施例が提供するマスクの一部の構造を示す断面図である。

【図15】本発明の一実施例が提供するマスクコンポーネントを模式的に示す構造図である。

【発明を実施するための形態】

【0028】

以下、本発明を容易に理解するために、図面を参照しながら本発明をさらに詳しく説明する。図面には、本発明の最適な実施例が示されている。しかし、本発明は様々な形で実現でき、本明細書で記述される実施例に限らない。その一方で、これらの実施例を挙げる目的は、本発明の開示をさらに徹底的かつ完全に理解することである。

【0029】

背景技術に説明したように、従来技術のマスクを用いると、引っ張る際にしわの問題が生じやすい。本発明者らは、このような問題の根本的な原因は、スロットがあけられたスクリーン本体を製作する際には、相応的な位置で開口をあける必要があり、すなわち、マスクに遮蔽部があることであることを見出した。遮蔽部と蒸着領域との構造は大きく異なっているため、例えば、蒸着領域には蒸着孔が設けられているが、遮蔽部には蒸着孔が設けられていないため、遮蔽部と蒸着領域との重量（単位面積当たりの重量）は大きく異なっており、応力が遮蔽部に集中しやすい。応力が遮蔽部に集中する場合、応力の不均一によってしわが発生する。

【0030】

ここで、図１、図２、及び図６を参照すると、本発明の一実施例は、少なくとも１つのサブマスク１０１が配置されたマスク本体１０を含むマスク１００を提供し、サブマスク１０１は、蒸着領域１２と遮蔽部１４とを含み、蒸着領域１２には、サブマスク１０１の厚さ方向にサブマスク１０１を貫通する第１の蒸着孔１２２が設けられ、蒸着領域１２は、表示パネルまたはディスプレイスクリーンの蒸着に用いられ、すなわち、蒸着領域１２のサイズは、蒸着する必要がある表示パネルまたはディスプレイスクリーンのサイズと同一であることが好ましい。

【0031】

他の実施例において、マスク１００に他の遮蔽構造を追加してしわをさらに減少するために、蒸着領域１２のサイズは、蒸着する必要がある表示パネルまたはディスプレイスクリーンのサイズより少し大きくてもよい。

【0032】

引き続き図１、図２、及び図６を参照すると、遮蔽部１４は、ダミー領域１４２と区切領域１４４とを含み、ダミー領域１４２の形状と位置は、異形ディスプレイスクリーンの異形領域（異形領域は、例えば、スロットがあけられた領域または孔があけられた領域である）に対応し、区切領域１４４は、ダミー領域１４２と蒸着領域１２との間に位置し、ダミー領域１４２には、サブマスク１０１の厚さ方向にサブマスク１０１を貫通する第２の蒸着孔１４２２が設けられている。

【0033】

このように、遮蔽部１４は２つの部分に分割され、ダミー領域１４２には、第２の蒸着孔１４２２が設けられるため、該マスク１００により蒸着する際に、蒸着材料は、第１の蒸着孔１２２及び第２の蒸着孔１４２２を通って基板に蒸着されることができる。また、第２の蒸着孔１４２２を設けることにより、遮蔽部１４の重量を軽減し、遮蔽部１４と蒸着領域１２との重量の差を減少し、遮蔽部１４の応力集中を低減することができるため、マスク本体１０は、引っ張る際に均一的な応力がかかり、引っ張る際にマスク本体１０のしわ現象をさらに減少できる。それと同時に、ダミー領域１４２と蒸着領域１２との間に区切領域１４４が配置されるため、後で製作されるディスプレイスクリーンに対する切断やパッケージング操作を容易にできる。

【0034】

本実施例において、マスク本体１０の形状は限定されず、例えば、規則的な長方形又は円形であってもよく、他の実施例において、他の不規則な形状、例えば、マスク本体１０の２本の対辺が直線であり、他の２本の対辺が円弧形である異形も選択してもよい。また、蒸着領域１２の形状も限定されず、例えば、長方形であっても円形であってもよい。蒸着領域１２が長方形である場合、凹部（例えば、図１に遮蔽部１４に囲まれた部分）は、蒸着領域１２の一辺または複数辺に設けられる。遮蔽部１４の形状も限定されず、例えば、円弧形の遮蔽部１４であっても多角形の遮蔽部１４であってもよい。

【0035】

具体的には、マスク本体１０は、２組のサブマスク１０１を有し、各組のサブマスク１０１は、少なくとも１つのサブマスク１０１を含み、それぞれ隣り合う２つのサブマスク１０１の間に間隔がある。マスク本体１０は、互いに直交する第１の中心線１１と第２の中心線１３を有し、好ましくは、２組のサブマスク１０１は、それぞれ第１の中心線１１に対して軸対称であり、２組のサブマスク１０１は、第２の中心線１３に対して軸対称である。なお、図１～図３において、第２の中心線１３の左側に位置するのは一組（第１組）のサブマスク１０１であり、第２中心線１３の右側に位置するのは他の組（第２組）のサブマスク１０１である。図１および図２において、各組のサブマスク１０１は、それぞれ一つのサブマスク１０１を含む。図３において、各組のサブマスク１０１は、それぞれ横一行に配置された４つのサブマスク１０１を含む。もちろん、他の実施例において、各組のサブマスク１０１は、アレイ（例えば、２行２列以上）で配置されたサブマスク１０１をさらに含んでもよい。

【0036】

好ましくは、２組のサブマスク１０１は、第１の中心線１１にも第２の中心線１３にも対して軸対称に配置されると、第１の中心線１１及び第２の中心線１３の両側にそれぞれ位置する遮蔽部１４の数は同一であるため、マスク本体１０を引っ張る際に第１の中心線１１と第２の中心線１３の両側は均一的な応力がかかり、遮蔽部１４の位置のしわをさらに減少し、引っ張り精度を向上させることができるため、後の画素の蒸着位置の精度も向上させ、その後のディスプレイスクリーンの開口領域（すなわち、異形領域）の表示効果も向上させることができる。

【0037】

一実施例において、引き続き図１を参照すると、第１の方向（横方向または左右方向）は第１の中心線１１と平行であり、第２の方向（縦方向または上下方向）は第２の中心線１３と平行であり、マスク本体１０には、横方向に一行のサブマスク１０１が配置されるように設定する場合、図１にマスク本体１０の左右辺の中心を結ぶ線を第１の中心線１１とし、上下辺の中心を結ぶ線を第２の中心線１３とすると、第２の中心線１３の同じ側に位置するサブマスク１０１の遮蔽部１４は、すべて第２の中心線１３の反対側に配置されており、あるいは、第２の中心線１３の同じ側に位置する各サブマスク１０１の遮蔽部１４は、すべて各サブマスクシート１０１の第２の中心線１３の反対側に配置されている。

【0038】

他の実施例において、引き続き図２を参照すると、マスク本体１０には、横方向に一行のサブマスク１０１が配置されており、図２にマスク本体１０の左右辺の中心を結ぶ線を第１の中心線１１とし、上下辺の中心を結ぶ線を第２の中心線１３とすると、第２の中心線１３の同じ側に位置するサブマスク１０１の遮蔽部１４は、すべて第２の中心線１３に対向するように配置されており、あるいは、第２の中心線１３の同じ側に位置する各サブマスク１０１の遮蔽部１４は、すべて各サブマスクシート１０１の第２の中心線１３に隣接する側に配置されている。

【0039】

他の実施例において、引き続き図３を参照すると、マスク本体１０には、横方向に一行のサブマスク１０１が配置されており、図３にマスク本体１０の左右辺の中心を結ぶ線を第１の中心線１１とし、上下辺の中心を結ぶ線を第２の中心線１３とすると、第２の中心線１３の同じ側に位置する１組のサブマスク１０１は、少なくとも１つのサブ組のサブマスク１０１を含むように構成され、各サブ組のサブマスク１０１は、それぞれ隣り合う２つのサブマスク１０１を含み、各サブ組のサブマスク１０１の２つのサブマスク１０１の遮蔽部１４は、好ましくは互いに対向して配置されてもよい。

【0040】

もう一つの実施例において、図４を参照すると、マスク本体１０には、複数行のサブマスク１０１がアレイで配置され、すなわち、複数のサブマスク１０１が複数（横）行複数（縦）列の配置に形成される。各行のサブマスク１０１の複数のサブマスク１０１は、左右方向に沿ってほぼ均等に順次配置されており、隣り合う２行のサブマスク１０１の間の間隔は、それぞれほぼ均等になっている。図４にマスク本体１０の左右辺の中心を結ぶ線を第１の中心線１１とし、上下辺の中心を結ぶ線を第２の中心線１３とすると、第２の中心線１３の同じ側に位置するサブマスク１０１の遮蔽部１４は、すべて第２の中心線１３に面して配置されることが好ましい。他の実施例において、第２の中心線１３の同じ側に位置するサブマスク１０１の遮蔽部１４は、第２の中心線１３の反対側に配置されてもよく、それによって引っ張りの垂れの量を減らし、引っ張りのしわをさらに改善することができる。他の実施例において、各行において、第２の中心線１３の同じ側に位置するサブマスク１０１は、少なくとも１つのサブ組のサブマスク１０１を含むように構成され、各サブ組のサブマスク１０１は、隣り合う２つのサブマスク１０１をそれぞれ含み、各サブ組のサブマスク１０１の２つのサブマスク１０１の遮蔽部１４は、互いに対向して配置されてもよい。

【0041】

図５を参照すると、他の実施例において、２組のサブマスク１０１に含まれたサブマスク１０１の総数が偶数である場合、２組のサブマスク１０１はそのうちの一本の中心線のみに対して対称的に配置されてもよく、図５にマスク本体１０の左右辺の中心を結ぶ線を第１の中心線１１（図５には図示せず）とし、上下辺の中心を結ぶ線を第２の中心線１３（図５には図示せず）とすると、２組のサブマスク１０１は、第１の中心線１１のみに対して軸対称であり、第２の中心線１３に対して非軸対称である。他の実施例において、２組のサブマスク１０１は、第２の中心線１３のみに対して軸対称であり、第１の中心線１１に対して非軸対称であってもよい。

【0042】

他の実施例において、サブマスク１０１の総数は奇数であってもよく、その場合、サブマスク１０１は、第１の中心線と第２の中心線のうちの一本の中心線のみに対して対称であり、他本の中心線に対して非対称である。

【0043】

他の実施例において、２組のサブマスク１０１は、第１の中心線１１にも第２の中心線１３にも対して非対称であるように配置されてもよい。

【0044】

本実施例において、区切領域１４４は、蒸着領域１２の凹部の輪郭線とマッチングするダミー線であってもよく、この場合、ダミー領域１４２は遮蔽部１４全体を占めることができる。

【0045】

他の実施例において、区切領域１４４は遮蔽部１４の一部を占め、すなわち、区切領域１４４は単に蒸着領域１２の輪郭線とマッチングするダミー線ではなく、むしろ実際に存在する区切領域であり、この場合、遮蔽部１４を占めた区切領域１４４の割合は、特に限定されず、最終的に得られるディスプレイスクリーンにおいて区切領域１４４に対応する切断領域の範囲が、切断する際に必要な切断やパッケージングの許容量を満たすように確保されていればいい。ここで、区切領域１４４と蒸着領域１２との間の境界線は、理論的には、異形領域を形成するようにディスプレイスクリーンに対して切断操作を行う際の切断境界線である。区切領域１４４は遮蔽部１４の一部を占める場合、区切領域１４４に対応する基板の位置で蒸着材料は基板に蒸着されないため、蒸着が行われた後、マスク１００の区切領域１４４に対応するディスプレイスクリーンの位置で切断やパッケージングを行えばよい（すなわち、ダミー領域１４２に対応するディスプレイスクリーンの部分を切り取ればよい）。相応的な区切領域１４４には蒸着材料が存在しないため、水や酸素の侵入を引き起こさず、後のパッケージング効果は良好である。

【0046】

引き続き図６を参照すると、本実施例において、第１の蒸着孔１２２の形状は第２の蒸着孔１４２２の形状とほぼ同一であり、且つ、第１の蒸着孔１２２も第２の蒸着孔１４２２も複数ある場合、ダミー領域１４２における第２の蒸着孔１４２２の配列は、蒸着領域１２における第１の蒸着孔１２２の配列と同一であることが好ましい。すなわち、区切領域１４４を除くと、ダミー領域１４２と蒸着領域１２とは一体と見なすことができ、複数の第１の蒸着孔１２２と複数の第２の蒸着孔１４２２とは、互いに間隔を置いてその一体に設けられている。

【0047】

具体的には、上記の配列とは、第１の方向及び／または第２の方向に、ダミー領域１４２における第２の蒸着孔１４２２の配列は、蒸着領域１２における第１の蒸着孔１２２の配列とほぼ同一である配列である。例えば、第１の蒸着孔１２２は蒸着領域１２に行で設けられ、第２の蒸着孔１４２２は行で設けられた第１の蒸着孔１２２の延長であり、且つ、各行の隣り合う２つの第２の蒸着孔１４２２の間の間隔は、各行の隣り合う２つの第１の蒸着孔１２２の間の間隔と同一であり、それとともに、第１の蒸着孔１２２は蒸着領域１２に列で設けられ、各列の隣り合う２つの第２の蒸着孔１４２２の間の間隔は、各列の隣り合う２つの第１の蒸着孔１２２の間の間隔と同一である。

【0048】

他の実施例において、第１の蒸着孔１２２と第２の蒸着孔１４２２の形状及び配列は異なっていてもよく、実際の必要に応じて設定されてもよく、本明細書で限定されない。例えば、各行の隣り合う２つの第２の蒸着孔１４２２の間の間隔は、各行の隣り合う２つの第１の蒸着孔１２２の間の間隔と異なるように配置され、あるいは、各列の隣り合う２つの第２の蒸着孔１４２２の間の間隔は、各列の隣り合う２つの第１の蒸着孔１２２の間の間隔と異なるように配置されてもよい。

【0049】

なお、１つのサブマスク１０１の第１の蒸着孔１２２の数も第２の蒸着孔１４２２の数も、１つであってもよい。

【0050】

一実施例において、第１の蒸着孔１２２は、蒸着領域１２の厚さ方向に沿って配置されて互いに連通する第１のハーフエッチング孔１２２２と第２のハーフエッチング孔１２２４を含み、第２の蒸着孔１４２２も、ダミー領域１４２の厚さ方向に沿って配置されて互いに連通する第１のハーフエッチング孔１２２２と第２のハーフエッチング孔１２２４を含み、すなわち、蒸着孔は、それぞれガラス面１６と蒸着面１８から２回のハーフエッチングにより形成されるため、形成された蒸着孔の縁部が滑らかであることを保証し、後の有機材料の蒸着効果を改善することができる。本実施例において、サブマスク１０１の厚さ方向に沿って、第１のハーフエッチング孔１２２２の縦方向の断面形状は、第２のハーフエッチング孔１２２４と異なっているが、他の実施例において、第１のハーフエッチング孔１２２２の縦方向の断面形状は、第２のハーフエッチング孔１２２４と同一であってもよい。

【0051】

好ましくは、第１のハーフエッチング孔１２２２は、マスク本体１０のガラス面１６に設けられ、第２のハーフエッチング孔１２２４は、マスク本体１０の蒸着面１８に設けられ、ガラス面１６は、マスク本体１０の蒸着源の反対側の面であり、蒸着面１８は、マスク本体１０の蒸着源に隣接する面であり、第１のハーフエッチング孔１２２２は、ガラス面１６に隣接する一端からガラス面１６から離れる他端に向かって徐々に収縮し、第２のハーフエッチング孔１２２４は、蒸着面１８に隣接する一端から蒸着面１８から離れる他端に向かって徐々に収縮し、最後に、第１のハーフエッチング孔１２２２と第２のハーフエッチング孔１２２４は、マスク本体１０の厚さ方向のほぼ中央位置で連通する。好ましくは、第２のハーフエッチング孔１２２４の開口（すなわち、蒸着面１８に対する第２のハーフエッチング孔１２２４の開口）のサイズは、第１のハーフエッチング孔１２２２の開口（すなわち、ガラス面１６に対する第１のハーフエッチング孔１２２２の開口）のサイズを覆い、それによって、第２のハーフエッチング孔１２２４から第１の蒸着孔１２２に入った蒸着材料は、第１のハーフエッチングに充満することができる。言い換えれば、サブマスク１０１の厚さ方向（ちなわち、マスク本体１０の厚さ方向）に沿った第１のハーフエッチング孔１２２２の開口の投影は、完全に第２のハーフエッチング孔１２２４の開口範囲に入ることができる。

【0052】

本実施例において、第１のハーフエッチング孔１２２２と第２のハーフエッチング孔１２２４の断面形状（紙面に垂直な方向の断面形状）は、いずれも矩形であることが好ましいが、他の実施例において、第１のハーフエッチング孔１２２２と第２のハーフエッチング孔１２２４の断面形状は、円形または楕円形になるように選択してもよい。

【0053】

他の実施例において、図７～図９を参照すると、ダミー領域１４２には、サブマスク１０１の厚さ方向に少なくとも１つの第１の溝１４２１が設けられ、第１の溝１４２１の深さはサブマスク１０１の厚さより小さい。

【0054】

このように、遮蔽部１４は２つの部分に分割され、ダミー領域１４２には、第１の溝１４２１を設けることにより、遮蔽部１４の重量を軽減し、遮蔽部１４と蒸着領域１２との重量の差を減少し、遮蔽部１４の応力集中を低減することができるため、マスク本体１０は、引っ張る際に均一的な応力がかかり、マスク本体１０を引っ張る際のしわ現象をさらに減少できる。また、ダミー領域１４２と蒸着領域１２との間に区切領域１４４が配置されているため、後に製作されるディスプレイスクリーンに対して切断やパッケージング操作を容易にできる。

【0055】

より具体的には、第１の溝１４２１は、以下の３つの方法のうちの１つによりダミー領域１４２に設けられてもよい。
１．第１の溝１４２１は、ダミー領域１４２のガラス面１６のみに設けられる（図７参照）。
２．第１の溝１４２１は、ダミー領域１４２の蒸着面１８のみに設けられる（図８参照）。
３．第１の溝１４２１は、ダミー領域１４２の蒸着面１８にもガラス面１６にも設けられる（図９参照）。

【0056】

一実施例において、第１の溝１４２１は、ダミー領域１４２の蒸着面に設けられ、すなわち、ダミー領域１４２の蒸着面のみに第１の溝１４２１が設けられる。他の実施例において、第１の溝１４２１は、ダミー領域１４２のガラス面のみに設けられてもよい（図７参照）。

【0057】

具体的には、図８を参照すると、ダミー領域１４２の蒸着面１８に設けられた第１の溝１４２１は１つであり、１つの第１の溝１４２１は、全面ハーフエッチングによりダミー領域１４２の蒸着面に設けられる。本実施例において、第１の溝１４２１は、ダミー領域１４２の蒸着面の全域を覆うように設けられてもよいし、第１の溝１４２１は、ダミー領域１４２の蒸着面の大部分の領域を覆うように設けられてもよい。また、第１の溝１４２１の断面形状は、三角形、長方形または五角形などの多角形であってもよいし、円形または楕円形であってもよい。上述した第１の溝１４２１がダミー領域１４２の蒸着面の全域を覆っている場合、第１の溝１４２１の底壁のサイズは遮蔽部１４のダミー領域１４２の蒸着面のサイズと全く同一であり、このとき、第１の溝１４２１の底壁は、遮蔽部１４の蒸着面と見なされてもよい。

【0058】

他の実施例において、ダミー領域１４２の蒸着面１８に設けられた第１の溝１４２１の数は、少なくとも２つであり、それぞれ隣り合う２つの第１の溝１４２１の間に間隔があり、該少なくとも２つの第１の溝１４２１は、ストリップハーフエッチングまたはドットハーフエッチングによりダミー領域１４２の蒸着面１８に設けられてもよい。第１の溝１４２１がストリップハーフエッチングにより形成される場合、第１の溝１４２１の断面形状はストリップ状となり、第１の溝１４２１がドットハーフエッチングにより形成される場合、第１の溝１４２１の断面形状は円形または楕円形となる。他の実施例において、第１の溝１４２１がストリップハーフエッチングにより形成される場合、第１の溝１４２１の断面のストリップ状の長辺はマスク本体１０の長辺の方向に沿って延びてマスク１００の引っ張りしわをさらに減少する。

【0059】

図９を参照すると、もう一つの実施例において、第１の溝１４２１は、ダミー領域１４２の蒸着面１８とダミー領域１４２のガラス面１６との両面に設けられており、ちなわち、ダミー領域１４２の蒸着面１８とダミー領域１４２のガラス面１６との両面に、第１の溝１４２１が設けられている。ここで、ダミー領域１４２の蒸着面１８とダミー領域１４２のガラス面１６との両面に第１の溝１４２１が設けられた場合は、上述した実施例において、第１の溝１４２１が蒸着面１８またはガラス面１６一方のみに設けられた場合と比較すると、第１の溝１４２１が設けられた蒸着面またはガラス面の硬度は、第１の溝が設けられていないガラス面または蒸着面の硬度より低いため、この場合、ある程度でマスク本体１０が破断するおそれがあるため、マスクを引っ張った後マスク１００自体の硬度に対する影響をさらに低減し、しわをさらに減少することができる。

【0060】

好ましくは、第１の溝１４２１は、底壁を有する第２の溝と底壁を有する第３の溝とを含み、第２の溝は、ダミー領域１４２の蒸着面に設けられ、第３の溝は、ダミー領域１４２のガラス面に設けられ、第２の溝と第３の溝とは、ダミー領域１４２の厚さ方向に沿って互いに分離するように設けられ、つなわち、第２の溝の底壁と第３の溝の底壁との間には間隔があり、これにより、いずれかの第２の溝といずれかの第３の溝とは、ダミー領域１４２の厚さ方向に互いに連通せず、画素が第１の溝を通って基板に蒸着されるのを防止することができる。

【0061】

ダミー領域１４２の厚さ方向に沿った第２の溝と第３の溝の深さは同一でも異なっていてもよく、且つ、第２の溝と第３の溝の断面形状は同一でも異なっていてもよい。例えば、第２の溝の深さは第３の溝の深さより大きく、または第２の溝の深さは第３の溝の深さに等しく、または第２の溝の深さは第３の溝の深さより小さい。第２の溝の深さも第３の溝の深さもサブマスク１０１の厚さの半分であってもよく、あるいは、第２の溝の深さも第３の溝の深さもサブマスク１０１の厚さの半分より大きくてもよい。

【0062】

一実施例において、第２の溝の数も第３の溝の数も１つであってもよい。好ましくは、第２の溝は、サブマスク１０１が位置する面に向かって第１の投影（厚さ方向の投影）を形成し、第３の溝は、サブマスク１０１が位置する面に向かって第２の投影（厚さ方向の投影）を形成し、第１の投影は第２の投影と少なくとも部分的に重なり、ダミー領域１４２の厚さ方向に沿った第２の溝の深さと第３の溝の深さとの和は、ダミー領域１４２の厚さより小さい。

【0063】

好ましくは、第２の溝は、ダミー領域１４２の蒸着面１８の大部分の領域または全域を覆い、第３の溝は、ダミー領域１４２のガラス面１６の大部分の領域または全域を覆い、第１の投影は第２の投影と完全に重なっている。なお、他の実施例において、第１の投影は第２の投影と完全に重ならないようにしてもよく、例えば、部分的に重なるようにしてもよい。

【0064】

もう一つの実施例において、第２の溝の数も第３の溝の数も少なくとも２つであってもよい。具体的には、各第２の溝は、サブマスク１０１が位置する面に向かって第１の投影を形成し、各第３の溝は、サブマスク１０１が位置する面に向かって第２の投影を形成し、第１の投影は、第２の投影と少なくとも部分的に重なり、ダミー領域１４２の厚さ方向に沿った第２の溝の深さと第３の溝の深さとの和は、ダミー領域１４２の厚さより小さい。

【0065】

好ましくは、第１の投影は、第２の投影と完全に重なってもよい。なお、他の実施例において、第１の投影は、第２の投影と完全に重ならないようにしてもよく、部分的に重なるようにしてもよい。

【0066】

本実施例において、第２の溝の数は、第３の溝の数と同一でも異なっていてもよく、例えば、第２の溝の数は２つであり、第３の溝の数も２つであり、あるいは、第２の溝は２つであり、第３の溝の数は３つである。

【0067】

もう一つの実施例において、第２の溝の数も第３の溝の数も１つであってもよい。第２の溝は、サブマスク１０１が位置する面に向かって第１の投影を形成し、第３の溝は、サブマスク１０１が位置する面に向かって第２の投影を形成し、第１の投影と第２の投影とは、互いに重ならないように配置される。

【0068】

好ましくは、第１の投影と第２の投影はそれぞれ複数あり、且つ、第１の投影と第２の投影とは交互に配置され、すなわち、第１の投影と第２の投影とはサブマスク１０１が位置する面に互いにずれており、第１の投影と第２の投影それぞれは、好ましくは重ならず互いに分離し、この場合、隣り合う第２の溝の深さと第３の溝の深さとの和は、ダミー領域１４２の厚さより大きくなるように構成されてもよく、このように、ダミー領域１４２が厚さ方向に貫通することは発生せず、後の蒸着にも影響を及ぼさない。

【0069】

もう一つの実施例において、第２の溝の数も第３の溝の数も少なくとも２つであってもよく、第２の溝は、サブマスク１０１が位置する面に向かって第１の投影を形成し、第３の溝は、サブマスク１０１が位置する面に向かって第２の投影を形成し、第１の投影と第２の投影とは互いにずれており、第１の投影と第２の投影それぞれは、好ましくは重ならず互いに分離し、この場合、隣り合う第２の溝の深さと第３の溝の深さとの和は、ダミー領域１４２の厚さより大きくなるように構成されてもよく、このように、ダミー領域１４２が厚さ方向に貫通することは発生せず、後の蒸着にも影響を及ぼさない。

【0070】

他の実施例において、ダミー領域１４２には、第２の蒸着孔１４２２と第１の溝１４２１を同時に設けてもよい。具体的には、第２の蒸着孔１４２２と第１の溝１４２１とはダミー領域１４２に間隔を置いて分布しており、例えば、隣り合う２つの第２の蒸着孔１４２２の間にそれぞれ１つの第１の溝１４２１が設けられ、隣り合う２つの第１の溝１４２１の間にそれぞれ１つの第２の蒸着孔１４２２が設けられる。

【0071】

図１０を参照すると、一実施例において、遮蔽部１４と蒸着領域１２との重量の差をさらに減少するために、遮蔽部１４の区切領域１４４に厚さ方向に沿って少なくとも１つの第４の溝１４４２が設けられ、単なる１つの第４の溝１４４２の深さは、サブマスク１０１の厚さより小さい。第４の溝１４４２の存在により、区切領域１４４の厚さが減少され、遮蔽部１４の重量がさらに軽減され、遮蔽部１４と蒸着領域１２との重量の差が減少され、遮蔽部１４の応力集中がさらに低減されるため、マスク本体１０は、引っ張る際に均一的な応力がかかり、引っ張る際にマスク本体１０のしわ現象が減少される。

【0072】

具体的には、第４の溝１４４２は、以下の３つの方法のうちの１つにより区切領域１４４に設けられてもよい。
１．第４の溝１４４２は、区切領域１４４の蒸着面１８のみに設けられる。
２．第４の溝１４４２は、区切領域１４４のガラス面１６のみに設けられる。
３．第４の溝１４４２は、区切領域１４４の蒸着面１８にもガラス面１６にも設けられる。

【0073】

なお、区切領域１４４の蒸着面はマスク本体１０の蒸着面１８の一部であり、区切領域１４４のガラス面はマスク本体１０のガラス面１６の一部である。

【0074】

引き続き図１０及び図１１を参照すると、一実施例において、第４の溝１４４２は、区切領域１４４のガラス面１６に設けられ、すなわち、区切領域１４４のガラス面１６のみに第４の溝１４４２が設けられる。好ましくは、区切領域１４４の蒸着面に設けられた第４の溝１４４２の数は１つであり、１つの第４の溝１４４２は、全面ハーフエッチングにより区切領域１４４のガラス面に設けられる。他の実施例において、区切領域１４４のガラス面に設けられた第４の溝１４４２の数は、少なくとも２つであり、それぞれ隣り合う２つの第４の溝１４４２の間に間隔があり、該少なくとも２つの第４の溝１４４２は、ストリップハーフエッチングまたはドットハーフエッチングにより区切領域１４４のガラス面１６に設けられる。

【0075】

図１２及び図１３を参照すると、他の実施例において、第４の溝１４４２は、区切領域１４４の蒸着面１８に設けられ、すなわち、区切領域１４４の蒸着面のみに第４の溝１４４２が設けられる。好ましくは、区切領域１４４の蒸着面１８に設けられた第４の溝１４４２の数は１つであり、１つの第４の溝１４４２は、全面ハーフエッチングにより区切領域１４４の蒸着面１８に設けられる。本実施例において、第４の溝１４４２は、区切領域１４４の蒸着面１８の全域を覆うように設けられてもよいし、第４の溝１４４２は、区切領域１４４の蒸着面１８の大部分の領域を覆うように設けられてもよい。また、第４の溝１４４２の断面形状は、三角形、長方形または五角形などの多角形であってもよいし、円形または楕円形であってもよい。上述した第４の溝１４４２が区切領域１４４の蒸着面１８の全域を覆っている場合、第４の溝１４４２の底壁のサイズは区切領域１４４の蒸着面のサイズと全く同一であり、このとき、第４の溝１４４２の底壁は、区切領域１４４の蒸着面と見なされてもよい。

【0076】

他の実施例において、区切領域１４４の蒸着面１８に設けられた第４の溝１４４２の数は、少なくとも２つであり、それぞれ隣り合う２つの第４の溝１４４２の間に間隔があり、該少なくとも２つの第４の溝１４４２は、ストリップハーフエッチングまたはドットハーフエッチングにより区切領域１４４の蒸着面１８に設けられてもよい。第４の溝がストリップハーフエッチングにより形成される場合、第４の溝１４４２の断面形状はストリップ状となり、第４の溝１４４２がドットハーフエッチングにより形成される場合、第４の溝１４４２の断面形状は円形または楕円形となる。他の実施例において、第４の溝１４４２がストリップハーフエッチングにより形成される場合、第４の溝１４４２の断面のストリップ状の長辺は、マスク本体１０の長辺の方向に沿って延びてマスク１００の引っ張りしわをさらに減少する。

【0077】

図１４を参照すると、もう一つの実施例において、第４の溝１４４２は、区切領域１４４の蒸着面１８にもガラス面１６にも設けられ、すなわち、区切領域１４４の蒸着面１８にもガラス面１６にも第４の溝１４４２が設けられる。ここで、区切領域１４４の蒸着面１８にも区切領域１４４のガラス面１６にも第４の溝１４４２が設けられた場合は、蒸着面１８またはガラス面１６一方のみに第４の溝１４４２が設けられた場合と比較すると、第４の溝１４４２が設けられた蒸着面またはガラス面の硬度は、第４の溝が設けられていないガラス面または蒸着面の硬度より低いため、この場合、ある程度でマスク本体１０が破断するおそれがあるため、マスクを引っ張った後マスク１００自体の硬度に対する影響が低下され、しわがさらに減少される。

【0078】

好ましくは、第４の溝１４４２は、底壁を有する第５の溝と底壁を有する第６の溝とを含み、第５の溝は、区切領域１４４の蒸着面１８に設けられ、第６の溝は、区切領域１４４のガラス面１６に設けられ、第５の溝と第６の溝とは、好ましくは、区切領域１４４の厚さ方向に沿って互いに分離するように配置され、つなわち、第５の溝の底壁と第６の溝の底壁との間には間隔があり、これにより、いずれかの第５の溝といずれかの第６の溝とは、区切領域１４４の厚さ方向に互いに連通せず、画素が区切領域１４４にて基板に蒸着されるのを防止することができる。

【0079】

区切領域１４４の厚さ方向に沿った第５の溝と第６の溝の深さは同一でも異なっていてもよく、且つ、第５の溝と第６の溝の断面形状は同一でも異なっていてもよい。例えば、第５の溝の深さは第６の溝の深さより大きく、または第５の溝の深さは第６の溝の深さに等しく、または第５の溝の深さは第６の溝の深さより小さい。第５の溝の深さも第６の溝の深さもサブマスク１０１の厚さの半分であってもよく、あるいは、第５の溝の深さも第６の溝の深さもサブマスク１０１の厚さの半分より大きくてもよい。

【0080】

一実施例において、第５の溝の数も第６の溝の数も１つであってもよい。具体的には、第５の溝は、サブマスク１０１が位置する面に向かって第１の投影を形成し、第６の溝は、サブマスク１０１が位置する面に向かって第２の投影を形成し、第１の投影は、第２の投影と少なくとも部分的に重なり、区切領域１４４の厚さ方向に沿った第５の溝の深さと第６の溝の深さとの和は、区切領域１４４の厚さより小さい。

【0081】

好ましくは、第５の溝は、区切領域１４４の蒸着面１８の大部分の領域または全域を覆い、第６の溝は、区切領域１４４のガラス面１６の大部分の領域または全域を覆い、第１の投影は第２の投影と完全に重なっている。なお、他の実施例において、第１の投影は第２の投影と完全に重ならないようにしてもよく、例えば、部分的に重なるようにしてもよい。

【0082】

もう一つの実施例において、第５の溝の数も第６の溝の数も少なくとも２つであってもよい。好ましくは、各第５の溝はそれぞれ、区切領域１４４が位置する面に向かって第３の投影（厚さ方向の投影）を形成し、 各第６の溝はそれぞれ、区切領域１４４が位置する面に向かって第４の投影（厚さ方向の投影）を形成し、第３の投影は第４の投影と少なくとも部分的に重なり、区切領域１４４の厚さ方向に沿った第５の溝の深さと第６の溝の深さとの和は、区切領域１４４の厚さより小さい。

【0083】

好ましくは、第３の投影は、第４の投影と完全に重なってもよい。なお、他の実施例において、第３の投影と第４の投影とが完全に重ならないようにしてもよく、部分的に重なるようにしてもよい。

【0084】

本実施例において、第５の溝の数は、第６の溝の数と同一でも異なっていてもよく、例えば、第５の溝の数は２つであり、第６の溝の数も２つであり、あるいは、第５の溝は２つであり、第６の溝の数は３つである。

【0085】

もう一つの実施例において、第５の溝の数も第６の溝の数も１つであってもよい。第５の溝は、区切領域１４４が位置する面に向かって第３の投影を形成し、第６の溝は、区切領域１４４が位置する面に向かって第４の投影を形成し、第３の投影は、第４の投影と互いに重ならないように配置される。

【0086】

好ましくは、第３の投影と第４の投影はそれぞれ複数あり、且つ、第３の投影と第４の投影とは交互に配置され、すなわち、第５の投影と第６の投影とは区切領域１４４が位置する面に互いにずれており、各第３の投影と第４の投影それぞれは、好ましくは重ならず互いに分離し、この場合、隣り合う第５の溝の深さと第６の溝の深さとの和は、区切領域１４４の厚さより大きくなるように構成されてもよく、このように、区切領域１４４が厚さ方向に貫通することは発生せず、後の蒸着にも影響を及ぼさない。

【0087】

もう一つの実施例において、第５の溝の数も第６の溝の数も少なくとも２つであってもよく、第５の溝は、区切領域１４４が位置する面に向かって第１の投影を形成し、第６の溝は、区切領域１４４が位置する面に向かって第２の投影を形成し、第１の投影と第２の投影とは互いにずれており、各第１の投影と各第２の投影は、好ましくは重ならず互いに分離し、この場合、隣り合う第２の溝の深さと第３の溝の深さとの和は、区切領域１４４の厚さより大きくなるように構成されてもよく、このように、区切領域１４４が厚さ方向に貫通することは発生せず、後の蒸着にも影響を及ぼさない。

【0088】

他の実施例において、区切領域１４４には、第３の蒸着孔がさらに設けられてもよく、あるいは、区切領域１４４には、第３の蒸着孔と第４の溝１４４２が同時に設けられてもよく、好ましくは、第３の蒸着孔と第４の溝１４４２とは、区切領域１４４に間隔を置いて分布しており、例えば、それぞれ隣り合う２つの第３の蒸着孔の間に第４の溝１４４２が設けられ、それぞれ隣り合う２つの第４の溝１４４２の間に第４の蒸着孔が設けられる。

【0089】

本発明の実施例が提供するマスクにおいて、遮蔽部１４は２つの部分に分割され、ダミー領域１４２には、第２の蒸着孔１４２２または第１の溝１４２１が設けられているため、該マスク１００により蒸着する際に、蒸着材料は、第１の蒸着孔１２２と第２の蒸着孔１４２２から基板に蒸着されることができる。また、第２の蒸着孔１４２２または第１の溝１４２１を設けることにより、遮蔽部１４の重量を軽減し、遮蔽部１４と蒸着領域１２との重量の差を減少し、遮蔽部１４の応力集中を低減することができるため、マスク本体１０は、引っ張る際に均一的な応力がかかり、引っ張る際にマスク本体１０のしわ現象を減少できる。それと同時に、ダミー領域１４２と蒸着領域１２との間に区切領域１４４が配置されるため、後で製作されるディスプレイスクリーンに対する切断やパッケージング操作を容易にできる。

【0090】

図１５を参照すると、本発明の一実施例は、マスクフレーム２０と、支持ストリップ３０と、少なくとも１つの前記マスク１００と、を含むマスクコンポーネントをさらに提供し、マスク１００は、少なくとも１つのサブマスク１０１が配置されたマスク本体１０を含む。支持ストリップ３０は、マスクフレーム２０に固定的に接続され、少なくとも１つのマスク１００は、支持ストリップ３０に積層され、マスクフレーム２０に固定的に接続される。

【0091】

マスクコンポーネントが作業する際に、マスク１００の蒸着面は蒸着源に面し、マスク１００のガラス面は基板に面し、支持ストリップ３０はマスク１００の蒸着面に配置されることにより、蒸着する際にマスク１００の垂れを防止し、引っ張る際にマスク１００のしわをさらに減少することができる。

【0092】

上述した実施例の各技術的特徴は任意に組み合わせることができる。記述の簡潔化のために、上述した実施例における各技術的特徴のあらゆる組合せについて説明していないが、これらの技術的特徴の組合せは矛盾しない限り、本明細書に記述されている範囲内であると考えられるべきである。

【0093】

上述した実施例は、本発明のいくつかの実施形態を示したものにすぎず、その記述が具体的かつ詳細であるが、本発明の範囲を限定するものと解釈されるべきではない。なお、当業者にとって、本発明の趣旨から逸脱しないかぎり、若干の変形及び改良を行うことができ、これらもすべて本発明の保護範囲内にある。したがって、本発明の保護範囲は、特許請求の範囲に準ずるべきである。

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】

【図14】

【図15】