特許 7032521 基板収納容器

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2022-02-28

(45)【発行日】2022-03-08

(54)【発明の名称】基板収納容器

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/673 20060101AFI20220301BHJP

【ＦＩ】

H01L21/68 T

【請求項の数】 2

(21)【出願番号】P 2020515376

(86)(22)【出願日】2018-04-25

(86)【国際出願番号】 JP2018016821

(87)【国際公開番号】W WO2019207690

(87)【国際公開日】2019-10-31

【審査請求日】2021-03-25

(73)【特許権者】

【識別番号】000140890

【氏名又は名称】ミライアル株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100106002

【弁理士】

【氏名又は名称】正林 真之

(74)【代理人】

【識別番号】100120891

【弁理士】

【氏名又は名称】林 一好

(72)【発明者】

【氏名】松鳥 千明

【審査官】中田 剛史

(56)【参考文献】

【文献】国際公開第２０１６／１３５９５２（ＷＯ，Ａ１）

【文献】特開２０１６－１１９３２７（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１７－０５０４９４（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１０－１３５３８７（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１０－２７０８２３（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１６－０１５４２１（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１２－１１４１３３（ＪＰ，Ａ）

【文献】特表２０１８－５０５５４６（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｈ０１Ｌ ２１／６７３

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

一端部に容器本体開口部が形成された開口周縁部を有し、他端部が閉塞された筒状の壁部を備え、前記壁部の内面によって、複数の基板を収納可能であり前記容器本体開口部に連通する基板収納空間が形成された容器本体と、
前記容器本体開口部に対して着脱可能であり、前記容器本体開口部を閉塞可能な蓋体と、
前記基板収納空間と前記容器本体の外部の空間とを連通可能な通気路と、を備え、
前記通気路は、前記容器本体にインサート成形された通気路形成部品に形成され、
前記通気路形成部品は、複数の部品が組合わされて構成され、
前記通気路形成部品は、
前記容器本体にインサート成形され前記通気路形成部品の通気路に気体が流入する部分を形成する第１部品部と、
前記容器本体にインサート成形され前記通気路形成部品の通気路に流入した気体が前記通気路において衝突して気体の流れる方向が変えられる部分を形成する第２部品部と、を備え、
前記第２部品部に形成された貫通孔を貫通して前記通気路形成部品に固定される気体噴出ノズル部を備え、
前記通気路形成部品には、付加部品を着脱可能に装着可能であり、
前記付加部品は、給気用フィルタ部により構成される基板収納容器。

【請求項4】

（削除）

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、半導体ウェーハ等からなる基板を収納、保管、搬送、輸送等する際に使用される基板収納容器に関する。

【背景技術】

【0002】

半導体ウェーハからなる基板を収納して、工場内の工程において搬送するための基板収納容器としては、容器本体と蓋体とを備える構成のものが、従来より知られている（例えば、特許文献１～特許文献４参照）。

【0003】

容器本体の一端部は、容器本体開口部が形成された開口周縁部を有する。容器本体の他端部は、閉塞された筒状の壁部を有する。容器本体内には基板収納空間が形成されている。基板収納空間は、壁部により取り囲まれて形成されており、複数の基板を収納可能である。蓋体は、開口周縁部に対して着脱可能であり、容器本体開口部を閉塞可能である。側方基板支持部は、基板収納空間内において対をなすように壁部に設けられている。側方基板支持部は、蓋体によって容器本体開口部が閉塞されていないときに、隣接する基板同士を所定の間隔で離間させて並列させた状態で、複数の基板の縁部を支持可能である。

【0004】

蓋体の部分であって容器本体開口部を閉塞しているときに基板収納空間に対向する部分には、フロントリテーナが設けられている。フロントリテーナは、蓋体によって容器本体開口部が閉塞されているときに、複数の基板の縁部を支持可能である。また、フロントリテーナと対をなすようにして、奥側基板支持部が壁部に設けられている。奥側基板支持部は、複数の基板の縁部を支持可能である。奥側基板支持部は、蓋体によって容器本体開口部が閉塞されているときに、フロントリテーナと協働して複数の基板を支持することにより、隣接する基板同士を所定の間隔で離間させて並列させた状態で、複数の基板を保持する。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0005】

【文献】特表２０１６－５３８７３２号公報

【文献】特許第５５２４０９３号公報

【文献】特許第６０５７７１６号公報

【文献】特許第６２７１３５４号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0006】

従来の基板収納容器には、基板収納空間と容器本体の外部の空間とを連通可能な通気路が形成されている。通気路を通して、容器本体の外部から基板収納空間へ、窒素等の不活性ガスあるいは水分を除去（１％以下）したドライエア（以下、パージガスという）が流入して、ガスパージが行われる。

【0007】

しかし、市販品のロードポート、即ち、容器本体の位置決めや、容器本体の外面に設けられ通気路に連通する掃気孔にパージガスを送り込む装置においては、掃気孔に接続されパージガスを注入するためのガス注入口の位置が、所定の位置に固定されている。そのため、容器本体の掃気孔は、ガス注入口の鉛直上方において対向する位置関係で設置される必要がある。

【0008】

また、ガス注入口から注入されたガスは、容器本体の掃気孔を経由し、容器内面であってガス注入口の鉛直上方に位置するガス吐出口より吐出される。ガス吐出口が形成されている位置は、基板収納空間に収納されている基板の鉛直下方の位置（上下方向において、基板収納空間に収納されている基板に重なる位置）であることがある。その場合、幾ら蓋体によって基板収納容器の容器本体開口部が閉塞され、基板収納空間が外気から遮断されていても、通常複数枚収納されている基板間の隙間に存在しているガスが置換される効率は非常に悪い。また、基板収納容器の容器本体開口部が蓋体によって閉塞されておらず開放された状態においてもガスパージが行われるが、この場合には、複数枚収納されている基板間の隙間にはパージガスは到達せず、ガスパージによるガス置換はできない。

【0009】

また、容器本体に、複数枚収納されている基板間の隙間へパージガスを流すための部品を、後付けで容器本体の外面又は内面に取り付けようとしても、厳しい寸法制約により、設計幅が狭く、又、Ｏリング等を有する複雑な構造となり、組み立て時の負担が大きくなる。

【0010】

本発明は、容器本体に、複数枚収納されている基板間の隙間へパージガスを流すための簡単な構成の部品を、容易に後付け可能な基板収納容器を提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0011】

本発明は、一端部に容器本体開口部が形成された開口周縁部を有し、他端部が閉塞された筒状の壁部を備え、前記壁部の内面によって、複数の基板を収納可能であり前記容器本体開口部に連通する基板収納空間が形成された容器本体と、前記容器本体開口部に対して着脱可能であり、前記容器本体開口部を閉塞可能な蓋体と、前記基板収納空間と前記容器本体の外部の空間とを連通可能な通気路と、を備え、前記通気路は、前記容器本体にインサート成形された通気路形成部品に形成されている基板収納容器に関する。

【0012】

また、前記通気路形成部品には、少なくとも１つの通気路が形成されていることが好ましい。また、前記通気路形成部品は、複数の部品が組合わされて構成されることが好ましい。

【0013】

また、前記通気路形成部品は、前記通気路形成部品の通気路に気体が流入する部分を形成する第１部品部と、前記通気路形成部品の通気路に流入した気体が前記通気路において衝突して気体の流れる方向が変えられる部分を形成する第２部品部と、を備えることが好ましい。また、前記通気路形成部品には、付加部品を着脱可能に装着可能であることが好ましい。

【発明の効果】

【0014】

本発明によれば、容器本体に、複数枚収納されている基板間の隙間へパージガスを流すための簡単な構成の部品を、容易に後付け可能な基板収納容器を提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【0015】

【図1】本発明の一実施形態に係る基板収納容器１に複数の基板Ｗが収納された様子を示す分解斜視図である。

【図2】本発明の一実施形態に係る基板収納容器１の容器本体２を示す上方斜視図である。

【図3】本発明の一実施形態に係る基板収納容器１の容器本体２を示す下方斜視図である。

【図4】本発明の一実施形態に係る基板収納容器１の容器本体２を示す側方断面図である。

【図5】本発明の一実施形態に係る基板収納容器１の容器本体２を示す拡大側方断面図である。

【図6】本発明の一実施形態に係る基板収納容器１の容器本体２を示す拡大後方断面図である。

【図7】本発明の一実施形態に係る基板収納容器１の容器本体２を示す上方断面図である。

【図8】本発明の一実施形態に係る基板収納容器１の容器本体２、通気路形成部品２４５、及び、給気用フィルタ部９０を示す分解斜視図である。

【図9】本発明の一実施形態に係る基板収納容器１の容器本体２を示す底面図である。

【図10】本発明の一実施形態に係る基板収納容器１の容器本体２、通気路形成部品２４５、及び、給気用フィルタ部９０を示す拡大断面図である。

【図11】本発明の一実施形態に係る基板収納容器１の通気路形成部品２４５、及び、給気用フィルタ部９０を示す分解斜視図である。

【発明を実施するための形態】

【0016】

以下、本実施形態による基板収納容器１について、図面を参照しながら説明する。図２は、基板収納容器１の容器本体２を示す上方斜視図である。図３は、基板収納容器１の容器本体２を示す下方斜視図である。図４は、基板収納容器１の容器本体２を示す側方断面図である。

【0017】

ここで、説明の便宜上、後述の容器本体２から蓋体３へ向かう方向（図１における右上から左下へ向かう方向）を前方向Ｄ１１と定義し、その反対の方向を後方向Ｄ１２と定義し、これらをあわせて前後方向Ｄ１と定義する。また、後述の下壁２４から上壁２３へと向かう方向（図１における上方向）を上方向Ｄ２１と定義し、その反対の方向を下方向Ｄ２２と定義し、これらをあわせて上下方向Ｄ２と定義する。また、後述する第２側壁２６から第１側壁２５へと向かう方向（図１における右下から左上へ向かう方向）を左方向Ｄ３１と定義し、その反対の方向を右方向Ｄ３２と定義し、これらをあわせて左右方向Ｄ３と定義する。主要な図面には、これらの方向を示す矢印を図示している。

【0018】

また、基板収納容器１に収納される基板Ｗ（図１参照）は、円盤状のシリコンウェーハ、ガラスウェーハ、サファイアウェーハ等であり、産業に用いられる薄いものである。本実施形態における基板Ｗは、直径３００ｍｍのシリコンウェーハである。

【0019】

図１に示すように、基板収納容器１は、上述のようなシリコンウェーハからなる基板Ｗを収納して、工場内の工程において搬送する工程内容器として用いられたり、陸運手段・空運手段・海運手段等の輸送手段により基板を輸送するための出荷容器として用いられたりするものであり、容器本体２と、蓋体３とから構成される。容器本体２は、側方基板支持部としての基板支持板状部５と、奥側基板支持部６（図２等参照）とを備えており、蓋体３は、蓋体側基板支持部としての図示しないフロントリテーナを備えている。

【0020】

容器本体２は、一端部に容器本体開口部２１が形成され、他端部が閉塞された筒状の壁部２０を有する。容器本体２内には基板収納空間２７が形成されている。基板収納空間２７は、壁部２０により取り囲まれて形成されている。壁部２０の部分であって基板収納空間２７を形成している部分には、基板支持板状部５が配置されている。基板収納空間２７には、図１に示すように、複数の基板Ｗを収納可能である。

【0021】

基板支持板状部５は、基板収納空間２７内において対をなすように壁部２０に設けられている。基板支持板状部５は、蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されていないときに、複数の基板Ｗの縁部に当接することにより、隣接する基板Ｗ同士を所定の間隔で離間させて並列させた状態で、複数の基板Ｗの縁部を支持可能である。基板支持板状部５の奥側には、奥側基板支持部６が基板支持板状部５と一体成形されて設けられている。

【0022】

奥側基板支持部６（図２等参照）は、基板収納空間２７内において後述する図示しないフロントリテーナと対をなすように壁部２０に設けられている。奥側基板支持部６は、蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されているときに、複数の基板Ｗの縁部に当接することにより、複数の基板Ｗの縁部の後部を支持可能である。

【0023】

蓋体３は、容器本体開口部２１を形成する開口周縁部２８（図１等）に対して着脱可能であり、容器本体開口部２１を閉塞可能である。図示しないフロントリテーナは、蓋体３の部分であって蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されているときに基板収納空間２７に対向する部分に設けられている。図示しないフロントリテーナは、基板収納空間２７の内部において奥側基板支持部６と対をなすように配置されている。

【0024】

図示しないフロントリテーナは、蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されているときに、複数の基板Ｗの縁部に当接することにより複数の基板Ｗの縁部の前部を支持可能である。図示しないフロントリテーナは、蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されているときに、奥側基板支持部６と協働して複数の基板Ｗを支持することにより、隣接する基板Ｗ同士を所定の間隔で離間させて並列させた状態で保持する。

【0025】

基板収納容器１は、プラスチック材等の樹脂で構成されており、特に説明が無い場合には、その材料の樹脂としては、たとえば、ポリカーボネート、シクロオレフィンポリマー、ポリエーテルイミド、ポリエーテルケトン、ポリブチレンテレフタレート、ポリエーテルエーテルケトン、液晶ポリマーといった熱可塑性樹脂やこれらのアロイ等が上げられる。これらの成形材料の樹脂には、導電性を付与する場合には、カーボン繊維、カーボンパウダー、カーボンナノチューブ、導電性ポリマー等の導電性物質が選択的に添加される。また、剛性を上げるためにガラス繊維や炭素繊維等を添加することも可能である。

【0026】

以下、各部について、詳細に説明する。
図５は、基板収納容器１の容器本体２を示す拡大側方断面図である。図６は、基板収納容器１の容器本体２を示す拡大後方断面図である。図７は、基板収納容器１の容器本体２を示す上方断面図である。図８は、本発明の一実施形態に係る基板収納容器１の容器本体２、通気路形成部品２４５、及び、給気用フィルタ部９０を示す分解斜視図である。図９は、基板収納容器１の容器本体２を示す底面図である。図１０は、基板収納容器１の容器本体２、通気路形成部品２４５、及び、給気用フィルタ部９０を示す拡大断面図である。図１１は、基板収納容器１の通気路形成部品２４５、及び、給気用フィルタ部９０を示す分解斜視図である。

【0027】

図１に示すように、容器本体２の壁部２０は、奥壁２２と上壁２３と下壁２４と第１側壁２５と第２側壁２６とを有する。奥壁２２、上壁２３、下壁２４、第１側壁２５、及び第２側壁２６は、上述した材料により構成されており、一体成形されて構成されている。

【0028】

第１側壁２５と第２側壁２６とは対向しており、上壁２３と下壁２４とは対向している。上壁２３の後端、下壁２４の後端、第１側壁２５の後端、及び第２側壁２６の後端は、全て奥壁２２に接続されている。上壁２３の前端、下壁２４の前端、第１側壁２５の前端、及び第２側壁２６の前端は、略長方形状をした容器本体開口部２１を形成する開口周縁部２８を構成する。

【0029】

開口周縁部２８は、容器本体２の一端部に設けられており、奥壁２２は、容器本体２の他端部に位置している。壁部２０の外面により形成される容器本体２の外形は箱状である。壁部２０の内面、即ち、奥壁２２の内面、上壁２３の内面、下壁２４の内面、第１側壁２５の内面、及び第２側壁２６の内面は、これらによって取り囲まれた基板収納空間２７を形成している。開口周縁部２８に形成された容器本体開口部２１は、壁部２０により取り囲まれて容器本体２の内部に形成された基板収納空間２７に連通している。基板収納空間２７には、最大で２５枚の基板Ｗを収納可能である。

【0030】

図１に示すように、上壁２３及び下壁２４の部分であって、開口周縁部２８の近傍の部分には、基板収納空間２７の外方へ向かって窪んだラッチ係合凹部２３１Ａ、２３１Ｂ、２４１Ａ、２４１Ｂが形成されている。ラッチ係合凹部２３１Ａ、２３１Ｂ、２４１Ａ、２４１Ｂは、上壁２３及び下壁２４の左右両端部近傍に１つずつ、計４つ形成されている。

【0031】

図１に示すように、上壁２３の外面においては、リブ２３５が、上壁２３と一体成形されて設けられている。リブ２３５は、容器本体２の剛性を高める。また、上壁２３の中央部には、トップフランジ２３６が固定される。トップフランジ２３６は、ＡＭＨＳ（自動ウェーハ搬送システム）、ＰＧＶ（ウェーハ基板搬送台車）等において基板収納容器１を吊り下げる際に、基板収納容器１において掛けられて吊り下げられる部分となる部材である。

【0032】

下壁２４には、図３に示すように、ボトムプレート２４４が固定されている。ボトムプレート２４４は、下壁２４の外面を構成する下面の略全面に対向して配置される略長方形状の板状を有しており、下壁２４に固定されている。

【0033】

図３に示すように、下壁２４の四隅には、通気路Ｐを構成する２種類の貫通孔である給気孔２４２と排気孔２４３が形成されている。本実施形態においては、下壁２４の前部の２箇所の貫通孔は、容器本体２の内部の気体を排出するための排気孔２４３であり、後部の２箇所の貫通孔は、容器本体２の内部に気体を給気するための給気孔２４２である。

【0034】

後部の２箇所の貫通孔は、容器本体２にインサート成形された通気路形成部品２４５に形成されている。具体的には、通気路形成部品２４５は、図１１に示すように、通気路形成部品２４５の通気路に気体が流入する部分を形成する第１部品部としての容器本体被接続部２４５１と、通気路形成部品２４５の通気路に流入した気体が通気路において衝突して気体の流れる方向が変えられる部分を形成する第２部品部としての天板部２４６１との２つの部材が組合わされて構成されている。天板部２４６１が容器本体被接続部２４５１に溶着等されずに当接されたのみの状態で、通気路形成部品２４５は、容器本体２を成形する金型にセットされて、容器本体２に対してインサート成形され、容器本体２に対して固定されている。

【0035】

容器本体被接続部２４５１は、接続部筒状部２４５２と水平方向流路形成部２４５３とを有している。接続部筒状部２４５２は、図１１に示すように、円筒形状を有している。接続部筒状部２４５２の下部の外周面には、雄ネジが螺刻されている。接続部筒状部２４５２の上端面２４５４は、水平方向流路形成部２４５３の周縁部よりも下側に位置している。接続部筒状部２４５２の上端面２４５４には、複数の貫通孔２４５５が形成されており、複数の貫通孔２４５５は通気路を構成する。

【0036】

水平方向流路形成部２４５３は、平面視で略長円形状を有している。水平方向流路形成部２４５３の長手方向における一端部２４５６は、他端部２４５７よりも径が大きく構成されており、一端部２４５６には接続部筒状部２４５２の上端部が一体成形されることにより接続されている。水平方向流路形成部２４５３の上面には、水平方向流路形成部２４５３の周縁部よりも下方向に窪んだ水平流路凹部２４５８が形成されている。水平流路凹部２４５８は、接続部筒状部２４５２の周囲から水平方向流路形成部２４５３の長手方向における他端部２４５７に至るまで形成されており、接続部筒状部２４５２に流入したパージガスを水平方向に流通させる通気路を構成する。

【0037】

また、水平方向流路形成部２４５３の長手方向における他端部２４５７における水平流路凹部２４５８を構成する水平方向流路形成部２４５３の部分は、図１０に示すように、上方向に環状に突出する環状突出部２４５７ａを有しており、環状突出部２４５７ａの軸心位置には、上方向に向かって環状突出部２４５７ａの上端と略同じ位置に至るまで突出する軸心位置突出部２４５７ｂが設けられている。

【0038】

図１１に示すように、天板部２４６１は、板状に形成されており、天板部２４６１の外形は、平面視で、水平方向流路形成部２４５３の外形に一致する略長円形状を有している。天板部２４６１の長手方向における一端部２４６６は、他端部２４６７よりも直径が大きく構成されており、一端部２４６６には、接続部筒状部２４５２の上端面２４５４が対向している。天板部２４６１の長手方向における他端部２４６７は、下方向に環状に突出する天板側環状突出部２４６７ａを有している。天板側環状突出部２４６７ａの内部空間は、天板部２４６１の長手方向における他端部２４６７に形成された貫通孔２４５７ｃを通して基板収納空間２７に連通している。天板側環状突出部２４６７ａの軸心は、水平方向流路形成部２４５３の環状突出部２４５７ａの軸心と一致する位置関係を有しており、天板側環状突出部２４６７ａの下端部は、水平方向流路形成部２４５３の環状突出部２４５７ａの上端部を取囲むように配置されている。天板側環状突出部２４６７ａの下端部と、水平方向流路形成部２４５３の環状突出部２４５７ａの上端部との間には、後述の気体噴出ノズル部８の下端部が嵌め込まれることにより、気体噴出ノズル部８が通気路形成部品２４５に、着脱可能に固定されて装着されている。

【0039】

通気路形成部品２４５における通気路は、図１０において矢印で示すように、接続部筒状部２４５２の下端から上端に向かって接続部筒状部２４５２の軸方向に延びて天板部２４６１に至り、天板部２４６１の他端部２４６７の方へ天板部２４６１の下面に沿って直角に折れ曲がって延び、天板部２４６１の他端部において、天板側環状突出部２４６７ａの下端部から天板側環状突出部２４６７ａの内部に延びて、天板側環状突出部２４６７ａの軸方向へ直角に折れ曲がり、天板側環状突出部２４６７ａの軸方向へ延びて基板収納空間２７へと延びる。このように、通気路形成部品２４５における通気路は、直角に２回折れ曲がっていることで、図７に示すように、前後方向Ｄ１及び左右方向Ｄ３に平行な方向において、通気路形成部品２４５における通気路にパージガスが流入する位置Ａと、パージガスが流出する位置Ｂとが異なる位置とされる。

【0040】

給気孔２４２としての貫通孔には、付加部品としての給気用フィルタ部９０が配置されており、排気孔２４３としての貫通孔には、排気用フィルタ部９１が配置されている。即ち、通気路形成部品２４５、給気用フィルタ部９０及び排気用フィルタ部９１の内部の気体の流路は、基板収納空間２７と容器本体２の外部の空間とを連通可能な通気路の一部を構成する。また、給気用フィルタ部９０と排気用フィルタ部９１とは、壁部２０に配置されており、給気用フィルタ部９０と排気用フィルタ部９１とにおいては、容器本体２の外部の空間と基板収納空間２７との間で気体が通過可能である。

【0041】

図１０、図１１に示すように、給気用フィルタ部９０は、内側筒状部材１００と、外側ハウジング部２００と、パッド３００と、逆止弁機構である作動部材５００と、を備えている。外側ハウジング部２００は、略円筒形状を有しており、下端面には、貫通孔２００１が形成されている。上端部は、上方向に向けて開口している。外側ハウジング部２００の側面の内周面には、雌ネジが螺刻されており、雌ネジは、図１０に示すように、通気路形成部品２４５の接続部筒状部２４５２の下部の外周面に形成された雄ネジに螺合して、通気路形成部品２４５の接続部筒状部２４５２の下部を下側から覆うようにして、接続部筒状部２４５２の下部に固定されている。

【0042】

図１０に示すように、外側ハウジング部２００の下端面には、環状の凹部２００２が形成されており、凹部には、パッド３００が嵌め込まれている。外側ハウジング部２００の内部空間には、内側筒状部材１００が配置されている。内側筒状部材１００は、略円筒形状を有しており、上端面の中央部には、貫通孔１００１が形成されている。

【0043】

内側筒状部材１００の上端面の周縁部には、周縁部に沿ってＯリング１００２が設けられており、Ｏリング１００２を介して内側筒状部材１００は、通気路形成部品２４５の接続部筒状部２４５２の上端面を構成する壁部の下面２４５４ａ（内面）に当接している。下面２４５４ａと内側筒状部材１００との間には、フィルタ体１５０が、下面２４５４ａ及びＯリング１００２と内側筒状部材１００とによって挟まれるようにして、保持されている。また、内側筒状部材１００の下端面の周縁部には、周縁部に沿ってＯリング１００３が設けられており、Ｏリング１００３を介して内側筒状部材１００は、外側ハウジング部２００の下端面を構成する壁部の上面２００３（内面）に当接している。上下方向における内側筒状部材１００の中間部には、内側筒状部材１００の径方向外側へ突出するフランジ部１００４が形成されている。フランジ部１００４の下面は、通気路形成部品２４５の接続部筒状部２４５２の内周面の下端部に設けられた内側凸部２４５２ａの上端面に当接する。

【0044】

作動部材５００は、弁体５０２と弁体５０２を一定方向に付勢するためのバネ５０１とにより構成されている。弁体５０２は、内側筒状部材１００の内部の通気空間１００６において、バネ５０１よりも基板収納空間２７の外方（図１０における下側）に配置されている。バネ５０１は圧縮バネにより構成されており、弁体５０２を、外側ハウジング部２００の下端面を構成する壁部の上面２００３（内面）に当接するように付勢する。

【0045】

弁体５０２が上面２００３に当接することにより、閉弁して、通気路を構成する内側筒状部材１００の内部の通気空間１００６が遮断され、基板収納空間２７と容器本体２の外部の空間との連通が遮断されるように構成されている。逆に、バネ５０１の付勢力に抗して、図示しないガスパージ装置のパージポートのパージポート先端部から供給されるパージガスにより、弁体５０２が基板収納空間２７の内方（図１０の上方向）へ向かって押上げられて、弁体５０２が上面２００３から離間することにより、外側ハウジング部２００の下端面の貫通孔２００１が開放され、内側筒状部材１００の内部の通気空間１００６の遮断が解消されて連通し、これにより、基板収納空間２７と容器本体２の外部の空間とが連通するように構成されている。

【0046】

なお、排気孔２４３における排気用フィルタ部９１の構成は、給気孔２４２における給気用フィルタ部９０の構成と略同一であるが、バネ５０１と弁体５０２の位置関係のみが異なる。排気孔２４３においては、基板収納空間２７の内方側（例えば図１０の上側）に弁体５０２が、給気孔２４２における弁体５０２に対して上下逆さまに配置され、弁体５０２に対して基板収納空間２７の外方側（例えば図１０の下側）にバネ５０１が設けられている。バネ５０１は、弁体５０２を、内側筒状部材１００の上端面の下面１００７に当接するように付勢する。

【0047】

この構成により、弁体５０２が下面１００７に当接することにより閉弁して、通気路を構成する内側筒状部材１００の内部の通気空間１００６が遮断され、基板収納空間２７と容器本体２の外部の空間との連通が遮断されるように構成されている。逆に、バネ５０１の付勢力に抗して、基板収納空間２７からのガスにより、弁体５０２が基板収納空間２７の外方（図１０の下方向）へ向かって押下げられて、弁体５０２が下面１００７から離間することにより、通気空間１００６の貫通孔が開放され、内側筒状部材１００の内部の通気空間１００６の遮断が解消されて連通し、これにより、基板収納空間２７と容器本体２の外部の空間とが連通するように構成されている。

【0048】

気体噴出ノズル部８は、図４～図６等に示すように、上端部が閉塞され、下端部が開口している略円筒形状の部分を有するノズル部本体８１と、ノズル部本体８１にパージガスを流通させるガス流通部８２と、ガス流通部８２と通気路形成部品２４５とを接続する接続部８３とを有している。

【0049】

気体噴出ノズル部８は、水平方向流路形成部２４５３の他端部２４５７に固定されているため、基板収納空間２７に収納されている基板Ｗの周縁部よりも、基板Ｗの径方向外方の位置に配置されている。ノズル部本体８１には、気体噴出ノズル部８の内部と外部とを連通する貫通孔により構成される開口部８１２が形成されている。開口部８１２は、気体噴出ノズル部８の上端部近傍の位置から下端部近傍の位置に至るまで、上下方向Ｄ２においては、基板収納容器１に収納可能な基板Ｗの数と同数である２５個形成されている。

【0050】

また、気体噴出ノズル部８は、洗浄液流入阻害部を有している。洗浄液流入阻害部は、開口部８１２の近傍、より具体的には、開口部８１２の上側及び下側において、前後方向Ｄ１及び左右方向Ｄ３に平行な方向においてそれぞれノズル部本体８１から離間する方向へ進むにつれて下方向Ｄ２２に傾斜する傾斜庇８１３により構成されている。傾斜庇８１３は、ノズル部本体８１の周方向における４分の３周程度にわたって形成されており、これと同様に、開口部８１２もノズル部本体８１の周方向における４分の３周程度にわたって形成されている。傾斜庇８１３は、容器本体２を洗浄する際に、開口部８１２の近傍において開口部８１２から通気路側への洗浄液の流入を阻む。また、傾斜庇８１３は、開口部８１２から気体を下方向Ｄ２２へ向けて流出させる下方流出部を構成する。

【0051】

図２に示すように、一対設けられた気体噴出ノズル部８のノズル部本体８１は、左右方向において互いに対向する側とは反対の側において、パージガスを一時的に貯留可能なガス流通部８２に接続されている。そして、ガス流通部８２の下端部は接続部８３に接続されており、接続部８３の下端部は、天板側環状突出部２４６７ａの下端部と、水平方向流路形成部２４５３の環状突出部２４５７ａの上端部との間に嵌め込まれており、これにより、気体噴出ノズル部８は、通気路形成部品２４５に、着脱可能に固定されて装着されている。

【0052】

基板支持板状部５は、図２等に示すように、第１側壁２５及び第２側壁２６にそれぞれ設けられており、左右方向Ｄ３において対をなすようにして基板収納空間２７内において容器本体２に設けられている。具体的には、図４等に示すように、基板支持板状部５は、板部５１を有している。

【0053】

板部５１は、板状の略弧形状を有している。板部５１は、第１側壁２５、第２側壁２６それぞれに、上下方向Ｄ２に２５枚ずつ計５０枚設けられている。隣接する板部５１は、上下方向Ｄ２において１０ｍｍ～１２ｍｍ間隔で互いに離間して平行な位置関係で配置されている。

【0054】

また、第１側壁２５に設けられた２５枚の板部５１と、第２側壁２６に設けられた２５枚の板部５１とは、互いに左右方向Ｄ３において対向する位置関係を有している。板部５１の上面には、凸部５１１、５１２が設けられている。板部５１に支持された基板Ｗは、凸部５１１、５１２の突出端にのみ接触し、面で板部５１に接触しない。

【0055】

このような構成の基板支持板状部５は、複数の基板Ｗのうちの隣接する基板Ｗ同士を、所定の間隔で離間した状態で且つ互いに平行な位置関係とした状態で、複数の基板Ｗの縁部を支持可能である。

【0056】

図４に示すように、奥側基板支持部６は、奥側端縁支持部６０を有している。奥側端縁支持部６０は、基板支持板状部５の板部５１の後端部に、容器本体２と一体成形されて構成されている。

【0057】

奥側端縁支持部６０は、基板収納空間２７に収納可能な基板Ｗの一枚毎に対応した個数、具体的には、２５個設けられている。第１側壁２５及び第２側壁２６に配置された奥側端縁支持部６０は、前後方向Ｄ１において、後述する図示しないフロントリテーナと対をなすような位置関係を有している。基板収納空間２７内に基板Ｗが収納され、蓋体３が閉じられることにより、奥側端縁支持部６０は、基板Ｗの縁部の端縁を挟持して支持する。

【0058】

蓋体３は、図１等に示すように、容器本体２の開口周縁部２８の形状と略一致する略長方形状を有している。蓋体３は容器本体２の開口周縁部２８に対して着脱可能であり、開口周縁部２８に蓋体３が装着されることにより、蓋体３は、容器本体開口部２１を閉塞可能である。蓋体３の内面（図１に示す蓋体３の裏側の面）であって、蓋体３が容器本体開口部２１を閉塞しているときの開口周縁部２８のすぐ後方向Ｄ１２の位置に形成された段差の部分の面（シール面２８１）に対向する面には、環状のシール部材４が取り付けられている。シール部材４は、弾性変形可能なポリエステル系、ポリオレフィン系など各種熱可塑性エラストマー、フッ素ゴム製、シリコンゴム製等により構成されている。シール部材４は、蓋体３の外周縁部を一周するように配置されている。

【0059】

蓋体３が開口周縁部２８に装着されたときに、シール部材４は、シール面２８１と蓋体３の内面とにより挟まれて弾性変形し、蓋体３は、容器本体開口部２１を密閉した状態で閉塞する。開口周縁部２８から蓋体３が取り外されることにより、容器本体２内の基板収納空間２７に対して、基板Ｗを出し入れ可能となる。

【0060】

蓋体３においては、ラッチ機構が設けられている。ラッチ機構は、蓋体３の左右両端部近傍に設けられており、図１に示すように、蓋体３の上辺から上方向Ｄ２１へ突出可能な２つの上側ラッチ部３２Ａと、蓋体３の下辺から下方向Ｄ２２へ突出可能な２つの下側ラッチ部３２Ｂと、を備えている。２つの上側ラッチ部３２Ａは、蓋体３の上辺の左右両端近傍に配置されており、２つの下側ラッチ部３２Ｂは、蓋体３の下辺の左右両端近傍に配置されている。

【0061】

蓋体３の外面においては操作部３３が設けられている。操作部３３を蓋体３の前側から操作することにより、上側ラッチ部３２Ａ、下側ラッチ部３２Ｂを蓋体３の上辺、下辺から突出させることができ、また、上辺、下辺から突出させない状態とすることができる。上側ラッチ部３２Ａが蓋体３の上辺から上方向Ｄ２１へ突出して、容器本体２のラッチ係合凹部２３１Ａ、２３１Ｂに係合し、且つ、図示しない下側ラッチ部が蓋体３の下辺から下方向Ｄ２２へ突出して、容器本体２のラッチ係合凹部２４１Ａ、２４１Ｂに係合することにより、蓋体３は、容器本体２の開口周縁部２８に固定される。

【0062】

蓋体３の内側においては、基板収納空間２７の外方へ窪んだ凹部（図示せず）が形成されている。凹部（図示せず）及び凹部の外側の蓋体３の部分には、フロントリテーナ（図示せず）が固定されて設けられている。

【0063】

フロントリテーナ（図示せず）は、フロントリテーナ基板受け部（図示せず）を有している。フロントリテーナ基板受け部（図示せず）は、左右方向Ｄ３に所定の間隔で離間して対をなすようにして２つずつ配置されている。このように対をなすようにして２つずつ配置されたフロントリテーナ基板受け部は、上下方向Ｄ２に２５対並列した状態で設けられている。基板収納空間２７内に基板Ｗが収納され、蓋体３が閉じられることにより、フロントリテーナ基板受け部は、基板Ｗの縁部の端縁を挟持して支持する。

【0064】

上記構成の本実施形態に係る基板収納容器１によれば、以下のような効果を得ることができる。
前述のように、基板収納容器１は、一端部に容器本体開口部２１が形成された開口周縁部２８を有し、他端部が閉塞された筒状の壁部２０を備え、壁部２０の内面によって、複数の基板Ｗを収納可能であり容器本体開口部２１に連通する基板収納空間２７が形成された容器本体２と、容器本体開口部２１に対して着脱可能であり、容器本体開口部２１を閉塞可能な蓋体３と、基板収納空間２７と容器本体２の外部の空間とを連通可能な通気路Ｐと、を備えている。通気路Ｐは、容器本体２にインサート成形された通気路形成部品２４５に形成されている。

【0065】

上記構成により、市販品のロードポート、即ち、容器本体２の位置決めや、容器本体２の外面に設けられ通気路に連通する給気孔２４２へパージガスを送り込むガスパージ装置のパージポートが、所定の位置に固定されている構成であっても、当該パージポートの位置に拘束されない容器本体２内部の位置に、基板収納空間２７へパージガスが流入する開口部を形成することが可能となる。この結果、基板収納空間２７に収納されている基板Ｗの鉛直下方の位置（上下方向において、基板収納空間２７に収納されている基板に重なる位置）とならないように、基板収納空間２７へパージガスが流入する開口部（天板部２４６１の長手方向における他端部２４６７に形成された貫通孔２４５７ｃ）を形成することが可能となる。このため、基板収納容器１の容器本体開口部２１が蓋体３によって閉塞されていてもされていなくても、複数枚収納されている基板Ｗ間の隙間に、パージガスを容易に流入させて、この隙間におけるガスの置換の効率を高める構成とすることができる。

【0066】

また、予め容器本体２に通気路形成部品２４５がインサート成形されているため、通気路形成部品２４５を有する容器本体２の寸法精度を高めることが可能となり、パージガスによる置換効率を高めることが可能となる。また、通気路形成部品２４５と容器本体２との間にＯリング等を必要としない簡単な構成とすることが可能である。

【0067】

また、通気路形成部品２４５には、１つの通気路Ｐが形成されている。この構成により、通気路形成部品２４５において、パージガスを基板収納空間２７の外部から基板収納空間２７の内部へ流通させることが可能である。

【0068】

また、通気路形成部品２４５は、複数の部品（容器本体被接続部２４５１、天板部２４６１）が組合わされて構成される。この構成により、通気路形成部品２４５において、容易に通気路Ｐを２回直角に折れ曲がった形状とすることが可能となる。

【0069】

また、通気路形成部品２４５は、通気路形成部品２４５の通気路Ｐに気体が流入する部分を形成する第１部品部としての容器本体被接続部２４５１と、通気路形成部品２４５の通気路Ｐに流入した気体が通気路において衝突して気体の流れる方向が変えられる部分を形成する第２部品部としての天板部２４６１と、を備える。この構成により、容器本体被接続部２４５１において通気路形成部品２４５に流入したパージガスを天板部２４６１に衝突させることにより、直角にパージガスの流れの方向を変えることができる。

【0070】

また、通気路形成部品２４５には、付加部品としてのノズル部本体８１を着脱可能に装着可能である。この構成により、必要に応じてノズル部本体８１等の付加部品を容易に通気路形成部品２４５に取り付けることが可能である。

【0071】

本発明は、上述した実施形態に限定されることはなく、特許請求の範囲に記載された技術的範囲において変形が可能である。

【0072】

例えば、通気路形成部品２４５には、１つの通気路が形成されていたが、これに限定されない。通気路形成部品には、少なくとも１つの通気路が形成されていればよい。従って、通気路形成部品には、複数の通気路が形成されていてもよく、例えば、分岐して複数の通気路が形成されていてもよい。また、通気路形成部品２４５は、容器本体被接続部２４５１と天板部２４６１との２つの部品が組合されて構成されたが、これに限定されない。通気路形成部品は、複数の部品が組合わされて構成されればよく、例えば、３つの部品により構成されていてもよい。また、通気路形成部品２４５に着脱可能な付加部品は、ノズル部本体８１や給気用フィルタ部９０であったが、これらに限定されない。

【0073】

また、容器本体及び蓋体の形状、容器本体に収納可能な基板の枚数や寸法は、本実施形態における容器本体２及び蓋体３の形状、容器本体２に収納可能な基板Ｗの枚数や寸法に限定されない。また、本実施形態における基板Ｗは、直径３００ｍｍのシリコンウェーハであったが、この値に限定されない。

【0074】

また、本実施形態では、下壁２４の前部の２箇所の貫通孔は、容器本体２の内部の気体を排出するための排気孔２４３であり、後部の２箇所の貫通孔は、容器本体２の内部に気体を給気するための給気孔２４２であったが、この構成に限定されない。例えば、下壁の前部の２箇所の貫通孔の少なくとも１つについても、容器本体の内部に気体を給気するための給気孔としてもよい。このようにすることで、容器本体の前端部における最も低い位置からパージガスを供給することが可能となる。

【0075】

また、奥側基板支持部は、本実施形態では奥側基板支持部６により構成されたが、この構成に限定されない。例えば、容器本体に一体成形されて構成されたリアリテーナによって、奥側基板支持部が構成されてもよい。

【符号の説明】

【0076】

１ 基板収納容器
２ 容器本体
３ 蓋体
８ 気体噴出ノズル部
２０ 壁部
２１ 容器本体開口部
２２ 奥壁
９０ 給気用フィルタ部
２４５ 通気路形成部品
２４５１ 容器本体被接続部（部品、第１部品部）
２４６１ 天板部（部品、第２部品部）
Ａ 通気路
Ｗ 基板

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】