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特許7037144ＭＥＭＳ振動素子の製造方法およびＭＥＭＳ振動素子
発明の名称 ＭＥＭＳ振動素子の製造方法およびＭＥＭＳ振動素子
出願人 国立大学法人静岡大学 （識別番号 304023318）
特許公開件数ランキング 1464 位（30件）（共同出願を含む）
特許取得件数ランキング 788 位（36件）（共同出願を含む）
出願人 株式会社鷺宮製作所 （識別番号 143949）
特許公開件数ランキング 343 位（91件）（共同出願を含む）
特許取得件数ランキング 356 位（73件）（共同出願を含む）
公報番号 特許-7037144
公報発行日 2022年3月16
公報URL https://ipforce.jp/patent-jp-P_B1-7037144
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