特許 7038107 トランスデューサ及びそれを用いた振動提示装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2022-03-09

(45)【発行日】2022-03-17

(54)【発明の名称】トランスデューサ及びそれを用いた振動提示装置

(51)【国際特許分類】

   B06B 1/06 20060101AFI20220310BHJP

   H02N 1/00 20060101ALI20220310BHJP

   H02N 2/04 20060101ALI20220310BHJP

   H01L 41/053 20060101ALI20220310BHJP

   H01L 41/09 20060101ALI20220310BHJP

   H01L 41/113 20060101ALI20220310BHJP

   H01L 41/047 20060101ALI20220310BHJP

   H01L 41/083 20060101ALI20220310BHJP

【ＦＩ】

B06B1/06 Z

H02N1/00

H02N2/04

H01L41/053

H01L41/09

H01L41/113

H01L41/047

H01L41/083

【請求項の数】 12

(21)【出願番号】P 2019510086

(86)(22)【出願日】2018-03-29

(86)【国際出願番号】 JP2018013080

(87)【国際公開番号】W WO2018181641

(87)【国際公開日】2018-10-04

【審査請求日】2021-01-21

(31)【優先権主張番号】P 2017067921

(32)【優先日】2017-03-30

(33)【優先権主張国・地域又は機関】JP

(31)【優先権主張番号】P 2017191451

(32)【優先日】2017-09-29

(33)【優先権主張国・地域又は機関】JP

(73)【特許権者】

【識別番号】000219602

【氏名又は名称】住友理工株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】110000648

【氏名又は名称】特許業務法人あいち国際特許事務所

(74)【代理人】

【識別番号】110000604

【氏名又は名称】特許業務法人 共立

(72)【発明者】

【氏名】中野 克彦

(72)【発明者】

【氏名】高橋 渉

【審査官】中島 亮

(56)【参考文献】

【文献】特開平２－２６１０７１（ＪＰ，Ａ）

【文献】実公昭４７－１１１６３（ＪＰ，Ｙ２）

【文献】特開２０１４－７２３３９（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｂ０６Ｂ １／００－ ３／０４

Ｈ０２Ｎ １／００－ １／１２

Ｈ０２Ｎ ２／００－ ２／１８

Ｈ０１Ｌ ２７／２０

Ｈ０１Ｌ ４１／００－ ４１／４７

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

複数の第一貫通孔を備える第一電極シートと、
複数の第二貫通孔を備え、前記第一電極シートに対向して配置される第二電極シートと、
少なくとも前記第一電極シートの第一内面と前記第二電極シートの第二内面との間に配置された圧電体シート又は誘電体シートと、
前記第一電極シートの第一外面側を被覆する第一保護シートと、
前記第二電極シートの第二外面側を被覆する第二保護シートと、
を備え、
前記第一保護シートが、前記第一電極シートの前記第一貫通孔を介して前記圧電体シート又は前記誘電体シートに接着する、
若しくは、
前記第二保護シートが、前記第二電極シートの前記第二貫通孔を介して前記圧電体シート又は前記誘電体シートに接着する、トランスデューサ。

【請求項2】

前記圧電体シート又は前記誘電体シートは、前記第一電極シート及び前記第二電極シートに非接着で、前記第一電極シートの前記第一内面と前記第二電極シートの前記第二内面との間に配置され、
前記第一保護シートは、前記第一電極シートの前記第一貫通孔を介して前記圧電体シート又は前記誘電体シートに接着し、且つ、前記第一電極シートの前記第一外面に接着し、
前記第二保護シートは、前記第二電極シートの前記第二貫通孔を介して前記圧電体シート又は前記誘電体シートに接着し、且つ、前記第二電極シートの前記第二外面に接着する、請求項１に記載のトランスデューサ。

【請求項3】

前記圧電体シート又は前記誘電体シートは、
前記第一電極シートの前記第一内面側に一体的に形成された第一圧電体シート又は第一誘電体シートと、
前記第二電極シートの前記第二内面側に一体的に形成され、前記第一圧電体シート又は前記誘電体シートに接触して配置された第二圧電体シート又は第二誘電体シートと、
を備え、
前記第一保護シートは、前記第一電極シートの前記第一貫通孔を介して前記第二圧電体シート又は前記第二誘電体シートに接着し、且つ、前記第一電極シートの前記第一外面に接着し、
前記第二保護シートは、前記第二電極シートの前記第二貫通孔を介して前記第一圧電体シート又は前記第一誘電体シートに接着し、且つ、前記第二電極シートの前記第二外面に接着する、請求項１に記載のトランスデューサ。

【請求項4】

前記圧電体シート又は前記誘電体シートは、
前記第一電極シートの前記第一内面側及び前記第一外面側に一体的に形成された第一圧電体シート又は第一誘電体シートと、
前記第二電極シートの前記第二内面側及び前記第二外面側に一体的に形成され、前記第一圧電体シート又は前記誘電体シートに接触して配置された第二圧電体シート又は第二誘電体シートと、
を備え、
前記第一保護シートは、前記第一電極シートの前記第一貫通孔を介して前記第二圧電体シート又は前記第二誘電体シートに接着し、且つ、前記第一圧電体シート又は前記第一誘電体シートに接着し、
前記第二保護シートは、前記第二電極シートの前記第二貫通孔を介して前記第一圧電体シート又は前記第一誘電体シートに接着し、且つ、前記第二圧電体シート又は前記第二誘電体シートに接着する、請求項１に記載のトランスデューサ。

【請求項5】

前記圧電体シート又は前記誘電体シートは、前記第一電極シートの前記第一内面側に一体的に形成され、
前記第一保護シートは、前記第一電極シートの前記第一外面に接着し、
前記第二保護シートは、前記第二電極シートの前記第二貫通孔を介して前記圧電体シート又は前記誘電体シートに接着し、且つ、前記第二電極シートの前記第二外面に接着する、請求項１に記載のトランスデューサ。

【請求項6】

前記圧電体シート又は前記誘電体シートは、前記第一電極シートの前記第一内面側及び前記第一外面側に一体的に形成され、
前記第一保護シートは、前記圧電体シート又は前記誘電体シートに接着し、
前記第二保護シートは、前記第二電極シートの前記第二貫通孔を介して前記圧電体シート又は前記誘電体シートに接着し、且つ、前記第二電極シートの前記第二外面に接着する、請求項１に記載のトランスデューサ。

【請求項7】

前記第一電極シート及び前記第二電極シートは、導電性布である、請求項１－６の何れか一項に記載のトランスデューサ。

【請求項8】

前記圧電体シート又は前記誘電体シートの弾性係数は、前記第一電極シート及び前記第二電極シートの弾性係数より大きく、
前記圧電体シート又は前記誘電体シートの弾性係数は、前記第一保護シート及び前記第二保護シートの弾性係数より大きい、請求項１－７の何れか一項に記載のトランスデューサ。

【請求項9】

前記第一保護シートは、熱溶着可能な材料により形成され、熱が加えられることにより前記圧電体シート又は前記誘電体シートに接着する、
若しくは、
前記第二保護シートは、熱溶着可能な材料により形成され、熱が加えられることにより前記圧電体シート又は前記誘電体シートに接着する、請求項１－８の何れか一項に記載のトランスデューサ。

【請求項10】

複数の第一貫通孔を備える第一電極シートと、
少なくとも前記第一電極シートの第一内面側に配置された圧電体シート又は誘電体シートと、
前記第一電極シートの第一外面側を被覆する第一保護シートと、
を備え、
前記第一保護シートが、前記第一電極シートの前記第一貫通孔を介して前記圧電体シート又は前記誘電体シートに接着する、トランスデューサ。

【請求項11】

圧電型又は静電型のアクチュエータと、
前記アクチュエータに積層される第一弾性体と、
前記アクチュエータの前記第一弾性体と反対側に積層される第二弾性体と、
前記アクチュエータの周囲に配置される圧電型又は誘電型のセンサと、
前記アクチュエータ、前記第一弾性体、前記第二弾性体により形成されるアクチュエータ積層体を積層方向に圧縮した状態で、且つ、前記第一弾性体及び前記第二弾性体を前記アクチュエータより大きく圧縮させた状態で保持するカバーであり、外部から前記カバーに前記積層方向の押込力が付与された場合に前記押込力を前記センサに伝達すると共に、前記アクチュエータが発生した振動により振動する前記カバーと、
を備え、
前記アクチュエータ及び前記センサの何れか一方は、請求項１－１０の何れか一項に記載のトランスデューサである、振動提示装置。

【請求項12】

前記センサは、前記アクチュエータ積層体に積層され、
前記振動提示装置は、前記アクチュエータ積層体及び前記センサに積層され、前記センサにおける前記アクチュエータ積層体と反対側に配置される第三弾性体をさらに備え、
前記カバーは、前記第三弾性体を前記センサより大きく圧縮させた状態で保持する、請求項１１に記載の振動提示装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、トランスデューサ及びそれを用いた振動提示装置に関するものである。

【背景技術】

【0002】

特開平５－１７２８３９号公報には、圧電フィルムと、当該圧電フィルムの両面に配置されるメッシュ状の２枚の電極と、各電極の両外側に板状の剛体からなる２枚の支持板とを備える圧電型振動センサが開示されている。特許第４９２２４８２号公報には、紐状の圧電性材料と当該圧電性材料の表面に形成した電極膜とを備える紐状の圧電ファイバを縦糸及び横糸として用いて、織物に形成された圧電性織物デバイスが開示されている。特許第６０２５８５４号公報には、２本の導電性繊維及び１本の圧電性繊維が互いに接点を有しつつ、３本の繊維により織物状に形成された圧電素子が開示されている。

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0003】

圧電型又は静電型のトランスデューサは、一対の電極を有する。電極が、貫通孔の存在しないシート状としつつ、柔軟性を有する材料により形成する場合には、電極のコストが高くなるという問題がある。特開平５－１７２８３９号公報に記載のように電極シートをメッシュ状に形成することで、電極材料の低コスト化を図ることが可能となる。

【0004】

ところで、トランスデューサは、圧電体シート又は誘電体シートと、その両面に配置された電極シートと、さらにその両外面を被覆する絶縁材からなる保護シートとを備えるものがある。圧電体シート又は誘電体シートと、電極シートとが、接着されるか、若しくは、一体成形され、さらに、電極シートと保護シートとが、接着されるか、若しくは、一体成形される。このように、接着又は一体成形が、圧電体シート又は誘電体シートの片面側に、複数存在する。そこで、接着層を少なくすることにより、製造工数を低減することが求められる。

【0005】

本発明は、電極材料を減少させつつ、接着層を少なくすることができるトランスデューサ及びそれを用いた振動提示装置を提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0006】

（１．第一のトランスデューサ）
本発明に係る第一のトランスデューサは、複数の第一貫通孔を備える第一電極シートと、複数の第二貫通孔を備え、前記第一電極シートに対向して配置される第二電極シートと、少なくとも前記第一電極シートの第一内面と前記第二電極シートの第二内面との間に配置された圧電体シート又は誘電体シートと、前記第一電極シートの第一外面側を被覆する第一保護シートと、前記第二電極シートの第二外面側を被覆する第二保護シートとを備える。

【0007】

上記のとおり、第一電極シートが、第一貫通孔を備え、第二電極シートが、第二貫通孔を備える。つまり、第一電極シート及び第二電極シートが、全面に電極材料を有する構成ではなく、一部に電極材料を有しない構成となる。そのため、第一電極シート及び第二電極シートが、電極材料を減少させることにより、低コスト化を図ることができる。

【0008】

さらに、前記第一保護シートが、前記第一電極シートの前記第一貫通孔を介して前記圧電体シート又は前記誘電体シートに接着する、若しくは、前記第二保護シートが、前記第二電極シートの前記第二貫通孔を介して前記圧電体シート又は前記誘電体シートに接着する。

【0009】

第一保護シートを圧電体シート又は誘電体シートに接着させることは、第一電極シートが第一貫通孔を有することを利用することにより為し得ている。この場合、第一保護シートが圧電体シート又は誘電体シートに接着することで、第一保護シートと圧電体シート又は誘電体シートとの間に介在する第一電極シートは、第一保護シートに一体となると共に、圧電体シート又は誘電体シートに一体となる。従って、接着層が、圧電体シート又は誘電体シートと第一電極シートとの間、及び、第一電極シートと第一保護シートとの間の両方ともに必要な場合に比べると、上記構成を適用することで接着層の数を低減できる。その結果、製造工数を低減できることで、低コスト化を図ることができる。

【0010】

また、第二保護シートを圧電体シート又は誘電体シートに接着させることは、第二電極シートが第二貫通孔を有することを利用することにより為し得ている。この場合、第二保護シートが圧電体シート又は誘電体シートに接着することで、第二保護シートと圧電体シート又は誘電体シートとの間に介在する第二電極シートは、第二保護シートに一体となると共に、圧電体シート又は誘電体シートに一体となる。従って、接着層が、圧電体シート又は誘電体シートと第二電極シートとの間、及び、第二電極シートと第二保護シートとの間の両方ともに必要な場合に比べると、上記構成を適用することで接着層の数を低減できる。その結果、製造工数を低減できることで、低コスト化を図ることができる。

【0011】

（２．第二のトランスデューサ）
本発明に係る第二のトランスデューサは、複数の第一貫通孔を備える第一電極シートと、少なくとも前記第一電極シートの第一内面側に配置された圧電体シート又は誘電体シートと、前記第一電極シートの第一外面側を被覆する第一保護シートと、を備え、前記第一保護シートが、前記第一電極シートの前記第一貫通孔を介して前記圧電体シート又は前記誘電体シートに接着する。これにより、上述した第一のトランスデューサにおける第一電極シート及び第一保護シートによる効果を奏する。

【0012】

（３．振動提示装置）
本発明に係る振動提示装置は、圧電型又は静電型のアクチュエータと、前記アクチュエータに積層される第一弾性体と、前記アクチュエータの前記第一弾性体と反対側に積層される第二弾性体と、前記アクチュエータの周囲に配置される圧電型又は誘電型のセンサと、前記アクチュエータ、前記第一弾性体、前記第二弾性体により形成されるアクチュエータ積層体を積層方向に圧縮した状態で、且つ、前記第一弾性体及び前記第二弾性体を前記アクチュエータより大きく圧縮させた状態で保持するカバーであり、外部から前記カバーに前記積層方向の押込力が付与された場合に前記押込力を前記センサに伝達すると共に、前記アクチュエータが発生した振動により振動する前記カバーと、を備える。そして、前記アクチュエータ及び前記センサの何れか一方は、上述したトランスデューサである。これにより、振動提示装置において、低コスト化を図ることができる。

【図面の簡単な説明】

【0013】

【図1】第一実施形態のトランスデューサ１の平面図である。

【図2】図１のII－II断面図である。

【図3】図１のIII－III断面図である。

【図4】図２に示すトランスデューサ１の構成部材の分解図である。

【図5】図３に示すトランスデューサ１の構成部材の分解図である。

【図6】第二実施形態のトランスデューサ１００の平面図である。

【図7】図６のVII－VII断面図である。

【図8】第三実施形態のトランスデューサ２００の断面図である。

【図9】図８に示すトランスデューサ２００の構成部材の分解図である。

【図10】第四実施形態のトランスデューサ３００の断面図である。

【図11】図１０に示すトランスデューサ３００の構成部材の分解図である。

【図12】第五実施形態のトランスデューサ４００の断面図である。

【図13】図１２に示すトランスデューサ４００の構成部材の分解図である。

【図14】第六実施形態のトランスデューサ５００の断面図である。

【図15】図１４に示すトランスデューサ５００の構成部材の分解図である。

【図16】第七実施形態の振動提示装置６００の断面図である。

【図17】図１６のXVII－XVII断面図である。

【図18】３つのアクチュエータユニット６１０ａ，６１０ｂ，６１０ｃの分解斜視図である。

【図19】個々のアクチュエータユニット６１０ａ，６１０ｂ，６１０ｃの分解斜視図である。

【発明を実施するための形態】

【0014】

（１．第一実施形態）
（１－１．トランスデューサ１の概要）
トランスデューサ１は、圧電型のトランスデューサ又は誘電型のトランスデューサである。トランスデューサ１は、圧電型の場合には、圧電体の圧電効果を利用して、振動や音などを発生させるアクチュエータ、又は、外部からの押込力などを検出するセンサである。トランスデューサ１が圧電型のアクチュエータとして機能する場合には、電極に電圧が印加されることにより、圧電体が変形し、圧電体の変形に伴って振動が発生する。トランスデューサ１が圧電型のセンサとして機能する場合には、外部からの押込力などの入力に起因して圧電体が変形することにより、電極間に電圧が発生し、当該電圧を検出することで、外部からの押込力などを検出する。

【0015】

トランスデューサ１は、静電型の場合には、電極間の静電容量の変化を利用して、振動や音などを発生させるアクチュエータ、又は、外部からの押込力などを検出するセンサである。トランスデューサ１が静電型のアクチュエータとして機能する場合には、電極に電圧が印加されることにより、電極間の電位に応じて誘電体が変形し、誘電体の変形に伴って振動が発生する。トランスデューサ１が静電型のセンサとして機能する場合には、外部からの押込力や振動や音などの入力に起因して誘電体が変形することにより、電極間の静電容量に応じた電圧を検出することで、外部からの押込力などを検出する。

【0016】

（１－２．トランスデューサ１の構成）
トランスデューサ１について、図１－図５を参照して説明する。トランスデューサ１は、圧電型の場合には、第一電極シート１１、第二電極シート１２、圧電体シート１３、第一保護シート１４、及び、第二保護シート１５を備える。また、トランスデューサ１は、静電型の場合には、第一電極シート１１、第二電極シート１２、誘電体シート１３、第一保護シート１４、及び、第二保護シート１５を備える。

【0017】

第一電極シート１１及び第二電極シート１２は、導電性の布である。第一電極シート１１及び第二電極シート１２は、導電性を有しつつ、柔軟性及び伸縮性を有する。第一電極シート１１及び第二電極シート１２は、導電性繊維により形成された織物又は不織布である。ここで、導電性繊維は、柔軟性を有する繊維の表面を導電材料により被覆することにより形成される。導電性繊維は、例えば、ポリエチレン等の樹脂繊維の表面に、銅やニッケルなどをメッキすることにより形成される。

【0018】

第一電極シート１１は、繊維により布を形成されることで、複数の第一貫通孔１１ａ（図１、図３及び図５に示す）を備える。同様に、第二電極シート１２は、複数の第二貫通孔１２ａ（図２及び図４に示す）を備える。

【0019】

以下には、第一電極シート１１及び第二電極シート１２は、導電性織物である場合を例に挙げるが、導電性不織布を適用することもできる。第一電極シート１１は、例えば、図１に示すように、導電性織物の場合には、導電性繊維を縦糸と横糸として織ることにより形成されている。縦糸と横糸により囲まれる領域が、第一貫通孔１１ａとなる。第二貫通孔１２ａも同様である。

【0020】

第一電極シート１１と第二電極シート１２は、同程度の大きさに形成されており、対向して配置されている。ここで、第一電極シート１１において、第二電極シート１２に対向する側の面を第一内面と称し、第二電極シート１２と反対側の面を第一外面と称する。また、第二電極シート１２において、第一電極シート１１に対向する側の面を第二内面と称し、第一電極シート１１と反対側の面を第二外面と称する。

【0021】

圧電体シート１３又は誘電体シート１３は、弾性変形可能な圧電材料又は誘電材料により形成される。圧電体シート１３又は誘電体シート１３は、シート状で、第一電極シート１１の外形と同様の外形に形成されている。圧電体シート１３又は誘電体シート１３は、厚み方向に伸縮すると共に、厚み方向の伸縮に伴って面方向に伸縮する構造を有する。圧電体シート１３又は誘電体シート１３は、第一電極シート１１の第一内面と第二電極シート１２の第二内面との間に配置されている。圧電体シート１３及び誘電体シート１３は、第一電極シート１１及び第二電極シート１２に対して非接着であるが、接触している。

【0022】

第一保護シート１４及び第二保護シート１５は、絶縁性を有する材料が適用される。本実施形態においては、第一保護シート１４及び第二保護シート１５は、誘電体シート１３と同様の材料により形成されている。つまり、第一保護シート１４及び第二保護シート１５は、エラストマーにより形成されている。

【0023】

第一保護シート１４は、第一電極シート１１の第一外面側を被覆する。第一保護シート１４において、第一電極シート１１側の面は、接着可能な面である。例えば、第一保護シート１４の面に接着剤が塗布されるようにしてもよい。接着剤には、第一保護シート１４に直接塗布する接着剤、第一保護シート１４の当該面側に配置した熱溶着可能な材料（熱可塑性材料）を含む。

【0024】

また、第一保護シート１４の少なくとも当該面が熱溶着可能な材料（熱可塑性材料）により形成されるようにしてもよい。もちろん、第一保護シート１４そのものが、熱溶着可能な材料により形成されるようにしてもよい。そして、第一保護シート１４は、図２に示すように、第一電極シート１１の第一外面に接着する。

【0025】

さらに、第一保護シート１４は、図３に示すように、第一電極シート１１の第一貫通孔１１ａを介して圧電体シート１３又は誘電体シート１３に接着する。つまり、第一保護シート１４は、第一貫通孔１１ａに挿通された状態で、圧電体シート１３又は誘電体シート１３に接着する。そして、第一保護シート１４が圧電体シート１３又は誘電体シート１３に接着することで、第一電極シート１１は、第一保護シート１４に係止された状態で、第一保護シート１４と圧電体シート１３又は誘電体シート１３との間に挟まれる。

【0026】

第一保護シート１４に接着剤が塗布されている場合には、第一保護シート１４を加圧することにより、第一保護シート１４が圧電体シート１３又は誘電体シート１３に接着する。第一保護シート１４の当該面側に接着剤として熱溶着可能な材料（熱可塑性材料）を配置する場合には、熱溶着可能な材料を加熱且つ加圧することにより、熱溶着可能な材料が溶融して固化することにより、第一保護シート１４と圧電体シート１３又は誘電体シート１３とを接着する。

【0027】

第一保護シート１４が熱溶着可能な材料（熱可塑性材料）により形成されている場合には、第一保護シート１４を加熱しながら加圧することで、第一保護シート１４が溶融して、第一貫通孔１１ａに入り込む。その後、第一保護シート１４が固化することで、第一保護シート１４は、圧電体シート１３又は誘電体シート１３に接着する。

【0028】

第二保護シート１５は、第二電極シート１２の第二外面側を被覆する。第二保護シート１５において、第二電極シート１２側の面は、接着可能な面である。例えば、第二保護シート１５の面に接着剤が塗布されるようにしてもよい。接着剤には、第二保護シート１５に直接塗布する接着剤、第二保護シート１５の当該面側に配置した熱溶着可能な材料（熱可塑性材料）を含む。

【0029】

また、第二保護シート１５の少なくとも当該面が熱溶着可能な材料（熱可塑性材料）により形成されるようにしてもよい。もちろん、第二保護シート１５そのものが、熱溶着可能な材料により形成されるようにしてもよい。そして、第二保護シート１５は、図３に示すように、第二電極シート１２の第二外面に接着する。

【0030】

さらに、第二保護シート１５は、図２に示すように、第二電極シート１２の第二貫通孔１２ａを介して圧電体シート１３又は誘電体シート１３に接着する。つまり、第二保護シート１５は、第二貫通孔１２ａに挿通された状態で、圧電体シート１３又は誘電体シート１３に接着する。そして、第二保護シート１５が圧電体シート１３又は誘電体シート１３に接着することで、第二電極シート１２は、第二保護シート１５に係止された状態で、第二保護シート１５と圧電体シート１３又は誘電体シート１３との間に挟まれる。

【0031】

第二保護シート１５に接着剤が塗布されている場合には、第二保護シート１５を加圧することにより、第二保護シート１５が圧電体シート１３又は誘電体シート１３に接着する。第二保護シート１５の当該面側に接着剤として熱溶着可能な材料（熱可塑性材料）を配置する場合には、熱溶着可能な材料を加熱且つ加圧することにより、熱溶着可能な材料が溶融して固化することにより、第二保護シート１５と圧電体シート１３又は誘電体シート１３とを接着する。

【0032】

第二保護シート１５が熱溶着可能な材料（熱可塑性材料）により形成されている場合には、第二保護シート１５を加熱しながら加圧することで、第二保護シート１５が溶融して、第二貫通孔１２ａに入り込む。その後、第二保護シート１５が固化することで、第二保護シート１５は、圧電体シート１３又は誘電体シート１３に接着する。

【0033】

（１－３．弾性係数）
第一電極シート１１、第二電極シート１２、圧電体シート１３又は誘電体シート１３、第一保護シート１４、及び、第二保護シート１５は、弾性変形可能であって、柔軟性及び伸縮性を有する。各部材の厚み方向の弾性係数の関係について説明する。

【0034】

圧電体シート１３又は誘電体シート１３の弾性係数は、第一電極シート１１及び第二電極シート１２の弾性係数より大きい。さらに、圧電体シート１３又は誘電体シート１３の弾性係数は、第一保護シート１４及び第二保護シート１５の弾性係数より大きい。第一電極シート１１と第二電極シート１２とは、同一の弾性係数を有する。第一保護シート１４と第二保護シート１５とは、同一の弾性係数を有する。ここで、第一電極シート１１と第一保護シート１４とにおいて、弾性係数の大小は問わない。同様に、第二電極シート１２と第二保護シート１５とにおいて、弾性係数の大小は問わない。

【0035】

上述したように、第一保護シート１４は、第一電極シート１１の第一貫通孔１１ａを介して圧電体シート１３又は誘電体シート１３に接着される。このとき、第一保護シート１４の弾性係数は、圧電体シート１３又は誘電体シート１３の弾性係数より小さい。そのため、両者が接着するために、第一保護シート１４が大きく変形するのに対して、圧電体シート１３又は誘電体シート１３が大きく変形することが抑制される。

【0036】

また、第一電極シート１１の弾性係数は、圧電体シート１３又は誘電体シート１３の弾性係数より小さい。そのため、第一電極シート１１が圧電体シート１３又は誘電体シート１３に押し付けられる状態において、第一電極シート１１が相対的に変形しやすく、圧電体シート１３又は誘電体シート１３は相対的に変形しにくい。

【0037】

また、第二保護シート１５は、第二電極シート１２の第二貫通孔１２ａを介して圧電体シート１３又は誘電体シート１３に接着される。このとき、第二保護シート１５の弾性係数は、圧電体シート１３又は誘電体シート１３の弾性係数より小さい。そのため、両者が接着するために、第二保護シート１５が大きく変形するのに対して、圧電体シート１３又は誘電体シート１３が大きく変形することが抑制される。

【0038】

また、第二電極シート１２の弾性係数は、圧電体シート１３又は誘電体シート１３の弾性係数より小さい。そのため、第二電極シート１２が圧電体シート１３又は誘電体シート１３に押し付けられる状態において、第二電極シート１２が相対的に変形しやすく、圧電体シート１３又は誘電体シート１３は相対的に変形しにくい。

【0039】

従って、第一保護シート１４及び第二保護シート１５が、圧電体シート１３又は誘電体シート１３に接着した状態において、圧電体シート１３又は誘電体シート１３は、厚み方向に大きく変形することはない。従って、初期状態において、圧電体シート１３又は誘電体シート１３は、位置によって厚みが大きく異ならないようにすることができる。トランスデューサ１は、安定した特性を有することができる。

【0040】

（１－４．トランスデューサ１の製造方法）
トランスデューサ１の製造方法について説明する。図４及び図５に示すように、トランスデューサ１を構成する各部材、すなわち、第一電極シート１１、第二電極シート１２、圧電体シート１３又は誘電体シート１３、第一保護シート１４、及び、第二保護シート１５をそれぞれ準備する。

【0041】

続いて、圧電体シート１３又は誘電体シート１３の一方の面に、第一電極シート１１及び第一保護シート１４を、第一電極シート１１、第一保護シート１４の順で積層する。一方、圧電体シート１３又は誘電体シート１３の他方の面に、第二電極シート１２及び第二保護シート１５を、第二電極シート１２、第二保護シート１５の順で積層する。

【0042】

続いて、ホットプレスにより、積層体を圧縮する。そうすると、第一保護シート１４を圧電体シート１３又は誘電体シート１３に向かって押し付けることで、第一保護シート１４が変形して、第一電極シート１１の第一貫通孔１１ａに入り込む。そして、第一保護シート１４の表面が、熱溶着により、第一電極シート１１に接着すると共に、圧電体シート１３又は誘電体シート１３に接着する。同時に、第二保護シート１５を圧電体シート１３又は誘電体シート１３に向かって押し付けることで、第二保護シート１５が変形して、第二電極シート１２の第二貫通孔１２ａに入り込む。そして、第二保護シート１５の表面が、熱溶着により、第二電極シート１２に接着すると共に、圧電体シート１３又は誘電体シート１３に接着する。最後に、トランスデューサ１が圧電型の場合には、ポーリング処理を行う。

【0043】

（１－５．トランスデューサの動作）
トランスデューサ１が圧電型のアクチュエータとして機能する場合に、第一電極シート１１及び第二電極シート１２に周期的な電圧を印加することで、圧電体シート１３が、電圧に応じて厚み方向及び面方向に伸縮する。圧電体シート１３の伸縮変形による振動が、アクチュエータとして出力される振動となる。

【0044】

また、トランスデューサ１が静電型のアクチュエータとして機能する場合には、第一電極シート１１及び第二電極シート１２に周期的な電圧を印加することで、誘電体シート１３が厚み方向及に伸縮する。第一電極シート１１と第二電極シート１２に蓄積される電荷が増加すると、誘電体シート１３が圧縮変形する。誘電体シート１３の厚みが小さくなり、誘電体シート１３の面方向の大きさが大きくなる。反対に、第一電極シート１１と第二電極シート１２に蓄積される電荷が減少すると、誘電体シート１３が元の厚みに戻る。つまり、誘電体シート１３の厚みが大きくなり、誘電体シート１３の面方向の大きさが小さくなる。

【0045】

また、トランスデューサ１が圧電型のセンサとして機能する場合には、外力の付与により圧電体シート１３が厚み方向に伸縮変形することに伴って、第一電極シート１１と第二電極シート１２の間に電圧が発生する。当該電圧により、圧電体シート１３が厚み方向に変形したことを検出し、外力が付与されたことを検出できる。

【0046】

また、トランスデューサ１が静電型のセンサとして機能する場合には、外力の付与により誘電体シート１３が厚み方向に伸縮変形することに伴って、第一電極シート１１と第二電極シート１２との間の静電容量が変化する。第一電極シート１１と第二電極シート１２との間に所定の周期的な電圧を印加することで、電極間の静電容量に応じた出力電圧を検出できる。当該出力電圧により、誘電体シート１３が厚み方向に変形したことを検出し、外力が付与されたことを検出できる。

【0047】

（１－６．効果）
上記のとおり、第一電極シート１１が、第一貫通孔１１ａを備え、第二電極シート１２が、第二貫通孔１２ａを備える。つまり、第一電極シート１１及び第二電極シート１２が、全面に電極材料を有する構成ではなく、一部に電極材料を有しない構成となる。そのため、第一電極シート１１及び第二電極シート１２が、電極材料を減少させることにより、低コスト化を図ることができる。

【0048】

さらに、トランスデューサ１によれば、第一保護シート１４を圧電体シート１３又は誘電体シート１３に接着させることは、第一電極シート１１が第一貫通孔１１ａを有することを利用することにより為し得ている。この場合、第一保護シート１４が圧電体シート１３又は誘電体シート１３に接着することで、第一保護シート１４と圧電体シート１３又は誘電体シート１３との間に介在する第一電極シート１１は、第一保護シート１４に一体となると共に、圧電体シート１３又は誘電体シート１３に一体となる。従って、接着層が、圧電体シート１３又は誘電体シート１３と第一電極シート１１との間、及び、第一電極シート１１と第一保護シート１４との間の両方ともに必要な場合に比べると、上記構成を適用することで接着層の数を低減できる。その結果、製造工数を低減できることで、低コスト化を図ることができる。

【0049】

また、第二保護シート１５を圧電体シート１３又は誘電体シート１３に接着させることは、第二電極シート１２が第二貫通孔１２ａを有することを利用することにより為し得ている。この場合、第二保護シート１５が圧電体シート１３又は誘電体シート１３に接着することで、第二保護シート１５と圧電体シート１３又は誘電体シート１３との間に介在する第二電極シート１２は、第二保護シート１５に一体となると共に、圧電体シート１３又は誘電体シート１３に一体となる。従って、接着層が、圧電体シート１３又は誘電体シート１３と第二電極シート１２との間、及び、第二電極シート１２と第二保護シート１５との間の両方ともに必要な場合に比べると、上記構成を適用することで接着層の数を低減できる。その結果、製造工数を低減できることで、低コスト化を図ることができる。

【0050】

第一保護シート１４は、熱溶着可能な材料（熱可塑性材料）により形成され、熱が加えられることにより圧電体シート１３又は誘電体シート１３に接着されるようにしてもよい。同様に、第二保護シート１５は、熱溶着可能な材料（熱可塑性材料）により形成され、熱が加えられることにより圧電体シート１３又は誘電体シート１３に接着されるようにしてもよい。

【0051】

接着剤は、揮発性有機化合物（ＶＯＣ）を含むものが存在する。そして、近年、環境対策として、ＶＯＣの排出の抑制が求められている。そのため、ＶＯＣを含む接着剤や溶剤などを用いないことが求められている。上記のように、熱溶着可能な材料を用いて接着することにより、ＶＯＣを含む接着剤や溶剤を用いることなく、接着が可能となる。従って、ＶＯＣの排出の抑制を図ることができる。さらに、保護シート１４，１５そのものが熱溶着可能な材料とすることで、接着剤等の専用材料を用いないことにより、製造コストを低減することもできる。

【0052】

（２．第二実施形態）
第二実施形態のトランスデューサ１００は、図６及び図７に示すように、第一電極シート１１１、第二電極シート１１２、圧電体シート１３又は誘電体シート１３、第一保護シート１４、及び、第二保護シート１５を備える。第一電極シート１１１及び第二電極シート１１２は、導電性布ではなく、柔軟性及び伸縮性を有する薄膜のパンチングメタルである。第一電極シート１１１は、複数の第一貫通孔１１１ａを備え、第二電極シート１１２は、複数の第二貫通孔１１２ａを備える。第一貫通孔１１１ａ及び第二貫通孔１１２ａは、矩形としているが、矩形に限られず円形や他の形状でもよい。

【0053】

この場合も、第一保護シート１４が、第一電極シート１１１の第一貫通孔１１１ａを介して、圧電体シート１３又は誘電体シート１３に接着される。また、第二保護シート１５が、第二電極シート１１２の第二貫通孔１１２ａを介して、圧電体シート１３又は誘電体シート１３に接着される。

【0054】

（３．第三実施形態）
第三実施形態のトランスデューサ２００は、図８及び図９に示すように、第一電極シート１１、第二電極シート１２、第一圧電体シート２１３ａ又は第一誘電体シート２１３ａ、第二圧電体シート２１３ｂ又は第二誘電体シート２１３ｂ、第一保護シート１４、及び、第二保護シート１５を備える。

【0055】

第一圧電体シート２１３ａ又は第一誘電体シート２１３ａは、第一電極シート１１の第一内面側に一体的に形成されている。第一圧電体シート２１３ａ又は第一誘電体シート２１３ａは、第一電極シート１１の第一外面側には存在しない。第一圧電体シート２１３ａ又は第一誘電体シート２１３ａは、ディップ、スプレー、コーティングなどにより、第一電極シート１１の第一内面側に位置する導電性繊維の表面に付着することにより形成される。そして、第一圧電体シート２１３ａ又は第一誘電体シート２１３ａは、第一電極シート１１と同様に貫通孔を有する。

【0056】

第二圧電体シート２１３ｂ又は第二誘電体シート２１３ｂは、第二電極シート１２の第二内面側に一体的に形成されている。なお、第二圧電体シート２１３ｂ又は第二誘電体シート２１３ｂは、第二電極シート１２の第二外面側には存在しない。第二圧電体シート２１３ｂ又は第二誘電体シート２１３ｂは、同様に、ディップ、スプレー、コーティングなどにより、第二電極シート１２の第二内面側に位置する導電性繊維の表面に付着することにより形成される。そして、第二圧電体シート２１３ｂ又は第二誘電体シート２１３ｂは、第二電極シート１２と同様に貫通孔を有する。

【0057】

第一保護シート１４は、第一電極シート１１の第一外面に接着する。さらに、第一保護シート１４は、第一電極シート１１の第一貫通孔１１ａ、並びに、第一圧電体シート２１３ａ又は第一誘電体シート２１３ａの貫通孔を介して、第二圧電体シート２１３ｂ又は第二誘電体シート２１３ｂに接着する。

【0058】

また、第二保護シート１５は、第二電極シート１２の第二外面に接着する。さらに、第二保護シート１５は、第二電極シート１２の第二貫通孔１２ａ、並びに、第二圧電体シート２１３ｂ又は第二誘電体シート２１３ｂの貫通孔を介して、第一圧電体シート２１３ａ又は第一誘電体シート２１３ａに接着する。

【0059】

この場合、トランスデューサ２００が圧電型の場合、第一電極シート１１と第二電極シート１２との間には、第一圧電体シート２１３ａ及び第二圧電体シート２１３ｂが存在し、第一圧電体シート２１３ａ及び第二圧電体シート２１３ｂの両方によって圧電効果が発揮される。トランスデューサ２００が静電型の場合、第一電極シート１１と第二電極シート１２との間には、第一誘電体シート２１３ａ及び第二誘電体シート２１３ｂが存在し、第一誘電体シート２１３ａ及び第二誘電体シート２１３ｂの両方によって静電容量が変化する。

【0060】

第三実施形態においては、第一圧電体シート２１３ａ又は第一誘電体シート２１３ａは、第一電極シート１１と一体部材となり、第二圧電体シート２１３ｂ又は第二誘電体シート２１３ｂは、第二電極シート１２と一体部材となる。従って、圧電体シート又は誘電体シート単体として存在しないため、部品点数が少なくなる。

【0061】

（４．第四実施形態）
第四実施形態のトランスデューサ３００は、図１０及び図１１に示すように、第一電極シート１１、第二電極シート１２、第一圧電体シート３１３ａ又は第一誘電体シート３１３ａ、第二圧電体シート３１３ｂ又は第二誘電体シート３１３ｂ、第一保護シート１４、及び、第二保護シート１５を備える。

【0062】

第一圧電体シート３１３ａ又は第一誘電体シート３１３ａは、第一電極シート１１の第一内面側及び第一外面側に一体的に形成されている。つまり、第一圧電体シート３１３ａ又は第一誘電体シート３１３ａは、第一内側シート部３１３ａ１と第一外側シート部３１３ａ２とを備える。第一圧電体シート３１３ａ又は第一誘電体シート３１３ａは、ディップ、スプレー、コーティングなどにより、第一電極シート１１の導電性繊維の全ての表面に付着することにより形成される。そして、第一圧電体シート３１３ａ又は第一誘電体シート３１３ａは、第一電極シート１１と同様に貫通孔を有する。

【0063】

第二圧電体シート３１３ｂ又は第二誘電体シート３１３ｂは、第二電極シート１２の第二内面側及び第二外面側に一体的に形成されている。つまり、第二圧電体シート３１３ｂ又は第二誘電体シート３１３ｂは、第二内側シート部３１３ｂ１と第二外側シート部３１３ｂ２とを備える。第二圧電体シート３１３ｂ又は第二誘電体シート３１３ｂは、同様に、ディップ、スプレー、コーティングなどにより、第二電極シート１２の導電性繊維の全ての表面に付着することにより形成される。そして、第二圧電体シート３１３ｂ又は第二誘電体シート３１３ｂは、第二電極シート１２と同様に貫通孔を有する。

【0064】

第一保護シート１４は、第一圧電体シート３１３ａ又は第一誘電体シート３１３ａにおける第一外側シート部３１３ａ２に接着する。さらに、第一保護シート１４は、第一電極シート１１の第一貫通孔１１ａ（第一圧電体シート３１３ａ又は第一誘電体シート３１３ａの貫通孔に対応）を介して、第二圧電体シート３１３ｂ又は第二誘電体シート３１３ｂの第二内側シート部３１３ｂ１に接着する。

【0065】

また、第二保護シート１５は、第二圧電体シート３１３ｂ又は第二誘電体シート３１３ｂにおける第二外側シート部３１３ｂ２に接着する。さらに、第二保護シート１５は、第二電極シート１２の第二貫通孔１２ａ（第二圧電体シート３１３ｂ又は第二誘電体シート３１３ｂの貫通孔に対応）を介して、第一圧電体シート３１３ａ又は第一誘電体シート３１３ａの第一内側シート部３１３ａ１に接着する。

【0066】

この場合、第一電極シート１１と第二電極シート１２との間には、第一内側シート部３１３ａ１及び第二内側シート部３１３ｂ１が存在し、第一内側シート部３１３ａ１及び第二内側シート部３１３ｂ１によって圧電効果が発揮される、又は、静電容量が変化する。

【0067】

（５．第五実施形態）
第五実施形態のトランスデューサ４００は、図１２及び図１３に示すように、第一電極シート１１、第二電極シート１２、圧電体シート４１３又は誘電体シート４１３、第一保護シート１４、及び、第二保護シート１５を備える。

【0068】

圧電体シート４１３又は誘電体シート４１３は、第一電極シート１１の第一内面側に一体的に形成されている。圧電体シート４１３又は誘電体シート４１３は、第一電極シート１１の第一外面側には存在しない。圧電体シート４１３又は誘電体シート４１３は、ディップ、スプレー、コーティングなどにより、第一電極シート１１の第一内面側に位置する導電性繊維の表面に付着することにより形成される。そして、圧電体シート４１３又は誘電体シート４１３は、第一電極シート１１と同様に貫通孔を有する。

【0069】

第一保護シート１４は、第一電極シート１１の第一外面に接着する。さらに、第一保護シート１４は、圧電体シート４１３又は誘電体シート４１３に接着する。第二保護シート１５は、第二電極シート１２の第二外面に接着する。さらに、第二保護シート１５は、第二電極シート１２の第二貫通孔１２ａを介して、圧電体シート４１３又は誘電体シート４１３に接着する。

【0070】

この場合、第二電極シート１２には、圧電体材料又は誘電体材料が付着されていない。そのため、圧電体材料又は誘電体材料の付着は、第一電極シート１１のみとなる。従って、製造コストの低減を図ることができる。

【0071】

（６．第六実施形態）
第六実施形態のトランスデューサ５００は、図１４及び図１５に示すように、第一電極シート１１、第二電極シート１２、圧電体シート５１３又は誘電体シート５１３、第一保護シート１４、及び、第二保護シート１５を備える。

【0072】

圧電体シート５１３又は誘電体シート５１３は、第一電極シート１１の第一内面側及び第一外面側に一体的に形成されている。つまり、圧電体シート５１３又は誘電体シート５１３は、内側シート部５１３ａと外側シート部５１３ｂとを備える。圧電体シート５１３又は誘電体シート５１３は、ディップ、スプレー、コーティングなどにより、第一電極シート１１の導電性繊維の全ての表面に付着することにより形成される。そして、圧電体シート５１３又は誘電体シート５１３は、第一電極シート１１と同様に貫通孔を有する。

【0073】

第一保護シート１４は、圧電体シート５１３又は誘電体シート５１３の外側シート部５１３ｂに接着する。第二保護シート１５は、第二電極シート１２の第二外面に接着する。さらに、第二保護シート１５は、第二電極シート１２の第二貫通孔１２ａを介して、圧電体シート５１３又は誘電体シート５１３の内側シート部５１３ａに接着する。

【0074】

（７．変形形態）
上述したトランスデューサ１は、第一電極シート１１、第二電極シート１２、圧電体シート１３又は誘電体シート１３、第一保護シート１４、及び、第二保護シート１５を備えるものとした。この構成に限られず、トランスデューサ１は、第一電極シート１１、圧電体シート１３又は誘電体シート１３、第一保護シート１４を備える構成とし、上述した第二電極シート１２及び第二保護シート１５を備えない構成とすることもできる。この場合、トランスデューサ１は、第二電極シート１２を、貫通孔を有しない導電性材料に置換することもできる。例えば、当該導電性材料は、金属又は金属以外の導電性材料により形成された板材、シャフト、パイプ等に置換することもできる。この場合においても、第一電極シート１１と第一保護シート１４による効果を奏する。また、他の実施形態のトランスデューサ１００，２００，３００，４００，５００にも同様に適用できる。

【0075】

（８．第七実施形態）
上述したトランスデューサ１、１００，２００，３００，４００，５００（以下、「トランスデューサ１など」と称する）を用いた振動提示装置６００について、図１６－図１９を参照して説明する。ここで、図１６－図１９は、分かりやすくするために、各部材の厚みを誇張して図示している。そのため、実際には、振動提示装置６００の図１６及び図１７の上下方向の厚みは、非常に薄く形成されている。

【0076】

振動提示装置６００は、外部からの押込力を検出するセンサとしての機能を有すると共に、振動を提示するアクチュエータとしての機能を有する。振動提示装置６００は、例えば、人間の指などによって押込力が付与された場合に当該押込力を検出し、その後に指に対して触覚振動を提示する。

【0077】

振動提示装置６００は、図１６及び図１７に示すように、アクチュエータ６１０、第一導通部６２０、第二導通部６３０、第一弾性体６４０、第二弾性体６５０、センサ６６０、第三弾性体６０１、カバー６７０、導線６８０、及び、制御装置６９０を備える。

【0078】

アクチュエータ６１０及びセンサ６６０の少なくとも何れか一方が、上述したトランスデューサ１などを適用する。つまり、アクチュエータ６１０のみ、センサ６６０のみ、又は、アクチュエータ６１０とセンサ６６０の両者が、トランスデューサ１などを適用する。本実施形態においては、アクチュエータ６１０とセンサ６６０の両者が、トランスデューサ１などを適用する。

【0079】

アクチュエータ６１０は、複数のアクチュエータユニット６１０ａ，６１０ｂ，６１０ｃを備える。本実施形態においては、アクチュエータ６１０は、図１８に示すように、３つのアクチュエータユニット６１０ａ，６１０ｂ，６１０ｃを備えており、３つのアクチュエータユニット６１０ａ，６１０ｂ，６１０ｃを積層してなる。ただし、アクチュエータ６１０は、１つのアクチュエータユニット６１０ａのみを備えるようにしてもよい。

【0080】

各アクチュエータユニット６１０ａ，６１０ｂ，６１０ｃは、複数のトランスデューサ１などを積層している。また、図１９に示すように、各アクチュエータユニット６１０ａ，６１０ｂ，６１０ｃにおいて、第一電極シート１１と第二電極シート１２とが、左右方向（長手方向）にオフセットされている。詳細には、第一電極シート１１の一部と第二電極シート１２の一部とが、対向するように配置されている。第一電極シート１１と第二電極シート１２において、相互に対向しない残りの一部は、対向する部分を基準として反対側に位置する。

【0081】

つまり、図１９において、左右方向の中央部分では、第一電極シート１１と第二電極シート１２が対向しており、左側部分では、第一電極シート１１が存在するのに対して第二電極シート１２は存在せず、右側部分では、第二電極シート１２が存在するのに対して第一電極シート１１は存在しない。

【0082】

圧電体シート１３又は誘電体シート１３の長手方向の長さ（図１９の左右方向の幅）は、第一電極シート１１と第二電極シート１２とが対向する範囲、第一電極シート１１のみが存在する範囲、及び、第二電極シート１２のみが存在する範囲の全てに対向する長さに形成されている。

【0083】

第一保護シート１４は、第一電極シート１１と、圧電体シート１３又は誘電体シート１３の露出部分を、全面に亘って被覆する。第二保護シート１５は、複数の第二電極シート１２と、圧電体シート１３又は誘電体シート１３の露出部分を、全面に亘って被覆する。

【0084】

続いて、図１８を参照して、各アクチュエータユニット６１０ａ，６１０ｂ，６１０ｃについて説明する。各アクチュエータユニット６１０ａ，６１０ｂ，６１０ｃは、図１８の左右方向の中央部分に位置するアクチュエータ本体６１６と、図１８の左側に位置する第一端子６１７と、図１８の右側に位置する第二端子６１８とを備える。第一端子６１７は、アクチュエータ本体６１６における正極電位の端子であり、第二端子６１８は、アクチュエータ本体６１６におけるグランド電位の端子である。ここで、第一端子６１７と第二端子６１８とは、アクチュエータ本体６１６を基準として反対側に延在する。

【0085】

ここで、第一電極シート１１は、左右方向の中央部分に位置する第一対向電極部６１１ａと、第一対向電極部６１１ａから延在する第一端子電極部６１１ｂとを備える。第二電極シート１２は、左右方向の中央部分に位置する第二対向電極部６１２ａと、第二対向電極部６１２ａから延在する第二端子電極部６１２ｃとを備える。第一対向電極部６１１ａと第二対向電極部６１２ａとが、対向している。第一端子電極部６１１ｂが第一対向電極部６１１ａから延在する方向と、第二端子電極部６１２ｃが第二対向電極部６１２ａから延在する方向とは、反対方向である。

【0086】

圧電体シート１３及び誘電体シート１３は、圧電体本体６１３ａ又は誘電体本体６１３ａと、第一延在部６１３ｂと、第二延在部６１３ｃとを備える。圧電体本体６１３ａ又は誘電体本体６１３ａは、第一対向電極部６１１ａと第二対向電極部６１２ａとの間に介在される。第一延在部６１３ｂは、圧電体本体６１３ａ又は誘電体本体６１３ａから延在すると共に、複数の第一端子電極部６１１ｂの間に介在される。第二延在部６１３ｃは、圧電体本体６１３ａ又は誘電体本体６１３ａから延在すると共に、複数の第二端子電極部６１２ｃの間に介在される。

【0087】

このように、第一端子電極部６１１ｂのみをアクチュエータ本体６１６の外部に存在させるのではなく、圧電体シート１３及び誘電体シート１３の一部である第一延在部６１３ｂをアクチュエータ本体６１６の外部に存在させることとし、第一端子電極部６１１ｂと第一延在部６１３ｂとを積層している。従って、第一端子電極部６１１ｂと第一延在部６１３ｂとの合計厚みは、アクチュエータ本体６１６に比べて第二電極シート１２の厚み分が薄くなるだけである。そのため、第一端子電極部６１１ｂと第一対向電極部６１１ａとの境界付近に大きな変形力が生じることを抑制できる。その結果、第一対向電極部６１１ａに接続される導電経路の構成部位が高い耐久性を有することができる。第二端子電極部６１２ｃについても同様である。

【0088】

さらに、第一保護シート１４は、第一保護本体６１４ａと、第一保護＿第一端子保護部６１４ｂと、第一保護＿第二端子保護部６１４ｃとを備える。第一保護本体６１４ａは、第一対向電極部６１１ａを被覆する。第一保護＿第一端子保護部６１４ｂは、第一端子電極部６１１ｂを被覆する。第一保護＿第二端子保護部６１４ｃは、第二端子電極部６１２ｃを被覆する。

【0089】

第二保護シート１５は、第二保護本体６１５ａと、第二保護＿第一端子保護部６１５ｂと、第二保護＿第二端子保護部６１５ｃとを備える。第二保護本体６１５ａは、第一対向電極部６１１ａを被覆する。第二保護＿第一端子保護部６１５ｂは、第一端子電極部６１１ｂを被覆する。第二保護＿第二端子保護部６１５ｃは、第二端子電極部６１２ｃを被覆する。

【0090】

図１６及び図１７に示すように、第一導通部６２０は、弾性変形可能な材料（例えば、エラストマー）によりシート状に形成され、Ｌ字型に屈曲形成されている。第一導通部６２０は、エラストマー中に導電性フィラーを配合させることにより成形されてもよいし、第一電極シート１１と同様に導電性布としてもよい。

【0091】

第一導通部６２０のＬ字の一方の辺は、アクチュエータ本体６１６の平面状の面に交差する（例えば直交する）方向に形成されている。そして、第一導通部６２０のＬ字の一方の辺は、第一端子６１７の端面に接触している。詳細には、第一導通部６２０のＬ字の一方の辺は、第一端子電極部６１１ｂの端及び第一延在部６１３ｂの端に接触している。従って、第一導通部６２０は、複数の第一端子電極部６１１ｂの端に電気的に接続されている。

【0092】

第一導通部６２０のＬ字の他方の辺は、アクチュエータ本体６１６から遠ざかる方向へ延在し、且つ、アクチュエータ本体６１６の平面状の面方向に平行に形成される。第一導通部６２０のＬ字の他方の辺は、導線６８０に電気的に接続される。

【0093】

第二導通部６３０は、第一導通部６２０と同様に、弾性変形可能な材料（例えば、エラストマー）によりシート状に形成され、Ｌ字型に屈曲形成されている。第二導通部６３０は、エラストマー中に導電性フィラーを配合させることにより成形されている。

【0094】

第二導通部６３０のＬ字の一方の辺は、アクチュエータ本体６１６の平面状の面に交差する（直交する）方向に形成されている。そして、第二導通部６３０のＬ字の一方の辺は、第二端子６１８の端面に接触している。詳細には、第二導通部６３０のＬ字の一方の辺は、第二端子電極部６１２ｃの端及び第二延在部６１３ｃの端に接触している。従って、第二導通部６３０は、複数の第二端子電極部６１２ｃの端に電気的に接続されている。

【0095】

第二導通部６３０のＬ字の他方の辺は、アクチュエータ本体６１６から遠ざかる方向へ延在し、且つ、アクチュエータ本体６１６の平面状の面方向に平行に形成される。第二導通部６３０のＬ字の他方の辺は、導線６８０に電気的に接続される。

【0096】

第一導通部６２０により、複数の第一端子電極部６１１ｂとの間で導電経路を容易に形成できる。同様に、第二導通部６３０により、複数の第二端子電極部６１２ｃとの間で導電経路を容易に形成できる。また、第一導通部６２０及び第二導通部６３０は、弾性変形可能であるため、第一端子６１７及び第二端子６１８の変形に追従することができる。従って、第一端子６１７及び第二端子６１８が変形したとしても、第一端子電極部６１１ｂ及び第二端子電極部６１２ｃとの間で導電経路を容易に形成できる。

【0097】

第一弾性体６４０は、アクチュエータ本体６１６の平面状の一方面（図１６の上面）に接触して配置される。第二弾性体６５０は、アクチュエータ本体６１６の平面状の他方面（図１６の下面）、すなわちアクチュエータ本体６１６の第一弾性体６４０とは反対側に接触して配置される。つまり、第一弾性体６４０及び第二弾性体６５０が、アクチュエータ本体６１６の平面状の面直交方向に背向する両端面（図１６の上下面）にそれぞれ配置される。

【0098】

さらに、図１７に示すように、第一弾性体６４０は、アクチュエータ本体６１６の平面状の面方向に背向する両端面（第一端子６１７及び第二端子６１８が存在しない面（図１７の左右面））に接触して配置される。さらに、図１６に示すように、第一弾性体６４０は、第一端子６１７の平面状の一方面（図１６の上面）、及び、第二端子６１８の平面状の一方面（図１６の上面）に接触して配置される。第二弾性体６５０は、第一端子６１７の平面状の他方面（図１６の下面）、及び、第二端子６１８の平面状の他方面（図１６の下面）に接触して配置される。さらに、第一弾性体６４０は、第一導通部６２０のＬ字状の外面全て、及び、第二導通部６３０のＬ字状の外面全てに接触して配置される。

【0099】

第一弾性体６４０及び第二弾性体６５０には、小さな弾性率Ｅ_{（６４０）}，Ｅ_{（６５０）}を有すると共に、小さな損失係数ｔａｎδ_{（６４０）}，ｔａｎδ_{（６５０）}を有する材料が用いられる。言い換えると、第一弾性体６４０及び第二弾性体６５０は、柔らかく、且つ、減衰特性が低い材料が好適である。特に、第一弾性体６４０及び第二弾性体６５０は、アクチュエータ本体６１６の積層方向（平面状の面直交方向）の弾性率Ｅ１_{（６１６）}より小さな弾性率Ｅ_{（６４０）}，Ｅ_{（６５０）}を有する。さらに、第一弾性体６４０の弾性率Ｅ_{（６４０）}は、アクチュエータ本体６１６の面方向の弾性率Ｅ２_{（６１６）}より小さい。

【0100】

センサ６６０は、トランスデューサ１などを適用する。センサ６６０は、アクチュエータ６１０の周囲に配置される。本実施形態においては、センサ６６０は、アクチュエータ６１０、第一弾性体６４０及び第二弾性体６５０により形成されるアクチュエータ積層体（６１０，６４０，６５０）に積層される。特に、センサ６６０は、第二弾性体６５０のアクチュエータ６１０とは反対側に積層される。上記の他に、センサ６６０は、アクチュエータ６１０の積層方向に直交する方向に、アクチュエータ６１０と並列配置されるようにしてもよい。

【0101】

第三弾性体６０１は、アクチュエータ積層体（６１０，６４０，６５０）及びセンサ６６０に積層され、センサ６６０におけるアクチュエータ積層体（６１０，６４０，６５０）と反対側に配置される。第三弾性体６０１は、第一弾性体６４０及び第二弾性体６５０と同一材料により形成される。従って、第三弾性体６０１の弾性率Ｅ_{（６０１）}及び損失係数ｔａｎδ_{（６０１）}は、第一弾性体６４０の弾性率Ｅ_{（６４０）}及び損失係数ｔａｎδ_{（６４０）}、第二弾性体６５０の弾性率Ｅ_{（６５０）}及び損失係数ｔａｎδ_{（６５０）}と同一である。

【0102】

ここで、センサ６６０は、図１７に示すように、アクチュエータ積層体（６１０，６４０，６５０）と第三弾性体６０１の間に配置されるセンサ本体部６６０ａと、センサ本体部６６０ａから延在し、第三弾性体６０１におけるセンサ本体部６６０ａの反対側に回り込むように折り曲げ形成されているセンサ端子部６６０ｂとを備える。センサ本体部６６０ａが、トランスデューサ１などに相当し、センサ端子部６６０ｂは、センサ本体部６６０ａにおける第一電極シート１１及び第二電極シート１２に電気的に接続される。センサ端子部６６０ｂは、第三弾性体６０１と導線６８０との間に位置する。

【0103】

カバー６７０は、アクチュエータ６１０、第一導通部６２０、第二導通部６３０、第一弾性体６４０、第二弾性体６５０、センサ６６０及び第三弾性体６０１を囲む。カバー６７０には、例えば、金属、樹脂など、種々の材料が適用される。カバー６７０は、外部からアクチュエータ積層体（６１０，６４０，６５０）の積層方向への押込力が付与された場合に、当該押込力をセンサ６６０に伝達する。さらに、カバー６７０は、アクチュエータ６１０が発生した振動により振動し、カバー６７０に押込力を付与した人間の指に対して振動を付与する。

【0104】

カバー６７０は、台座としての第一カバー６７１と、第一カバー６７１に取り付けられ押込力が付与される部材としての第二カバー６７２とを備える。第一カバー６７１及び第二カバー６７２は、アクチュエータ本体６１６、第一弾性体６４０、第二弾性体６５０、センサ６６０及び第三弾性体６０１を、アクチュエータ積層体（６１０，６４０，６５０）の積層方向（図１６の上下方向）に圧縮した状態で保持する。この状態において、各部材の弾性率Ｅの関係から、アクチュエータ積層体（６１０，６４０，６５０）の積層方向において、第一弾性体６４０、第二弾性体６５０及び第三弾性体６０１が、アクチュエータ本体６１６及びセンサ６６０より大きく圧縮された状態となる。ここで、図１７においては、センサ端子部６６０ｂの存在により、第三弾性体６０１と第一カバー６７１とが非接触として図示しているが、実際には、センサ端子部６６０ｂは薄いため、第三弾性体６０１と第一カバー６７１とは押圧された状態で接触している。

【0105】

さらには、第一カバー６７１は、アクチュエータ本体６１６及び第一弾性体６４０を、アクチュエータ本体６１６の面方向（図１７の左右方向）に圧縮した状態で保持する。この状態において、各部材の弾性率Ｅの関係から、アクチュエータ本体６１６の面方向において、第一弾性体６４０は、アクチュエータ本体６１６より大きく圧縮された状態となる。

【0106】

導線６８０は、カバー６７０の内側面に位置する第一カバー６７１の同一平面上に配置されている。本実施形態においては、導線６８０は、第一カバー６７１に印刷により形成されているが、ケーブル線などを用いることもできる。制御装置６９０は、センサ６６０がカバー６７０に付与された押込力を検出した場合に、アクチュエータ６１０を駆動して振動を発生させる。なお、制御装置６９０は、カバー６７０の外部に配置されているが、カバー６７０の内部に配置するようにしてもよい。

【0107】

振動提示装置６００は、トランスデューサ１などにより構成されるため、低コスト化を図ることができる。また、振動提示装置６００は、センサ６６０及びアクチュエータ６１０を備える。従って、振動提示装置６００は、押込力の検出から振動の提示までの応答性が非常に良好となる。そして、振動提示装置６００は、押込力を検出するセンサ６６０とアクチュエータ６１０とを備えつつ、大型化することなく大きな振動を提示することができる。

【0108】

さらに、アクチュエータ６１０とセンサ６６０とが、押込力が付与される方向に積層されている。従って、押込力の検出位置と振動の付与位置とが、同一位置となる。従って、人間の指がカバー６７０に押込力を付与した場合に、当該指そのものに直接的に振動を付与することができる。

【0109】

また、センサ６６０が第二弾性体６５０と第三弾性体６０１により挟まれることで、センサ６６０は、伸縮動作を規制されない。そのため、カバー６７０に付与された押込力に対するセンサ６６０の感度が増幅する。従って、付与される押込力が小さい場合であっても、センサ６６０が押込力を検出することができる。ただし、振動提示装置６００は、第三弾性体６０１を備えない構成とすることもできる。

【符号の説明】

【0110】

１，１００，２００，３００，４００，５００：トランスデューサ、 １１，１１１：第一電極シート、 １１ａ，１１１ａ：第一貫通孔、 １２，１１２：第二電極シート、 １２ａ，１１２ａ：第二貫通孔、 １３，４１３，５１３：圧電体シート，誘電体シート、 １４：第一保護シート、 １５：第二保護シート、 ２１３ａ，３１３ａ：第一圧電体シート，第一誘電体シート、 ２１３ｂ，３１３ｂ：第二圧電体シート，第二誘電体シート、 ３１３ａ１：第一内側シート部、 ３１３ａ２：第一外側シート部、 ３１３ｂ１：第二内側シート部、 ３１３ｂ２：第二外側シート部、 ５１３ａ：内側シート部、
５１３ｂ：外側シート部、 ６００：振動提示装置、 ６０１：第三弾性体、 ６１０：アクチュエータ、 ６１０ａ，６１０ｂ，６１０ｃ：アクチュエータユニット、 ６１１ａ：第一対向電極部、 ６１１ｂ：第一端子電極部、 ６１２ａ：第二対向電極部、 ６１２ｃ：第二端子電極部、 ６１３ａ：圧電体本体，誘電体本体、 ６１３ｂ：第一延在部、 ６１３ｃ：第二延在部、 ６１４ａ：第一保護本体、 ６１４ｂ：第一保護＿第一端子保護部、 ６１４ｃ：第一保護＿第二端子保護部、 ６１５ａ：第二保護本体、 ６１５ｂ：第二保護＿第一端子保護部、 ６１５ｃ：第二保護＿第二端子保護部、 ６１６：アクチュエータ本体、 ６１７：第一端子、 ６１８：第二端子、 ６２０：第一導通部、 ６３０：第二導通部、 ６４０：第一弾性体、 ６５０：第二弾性体、 ６６０：センサ、 ６６０ａ：センサ本体部、 ６６０ｂ：センサ端子部、 ６７０：カバー、
６７１：第一カバー、 ６７２：第二カバー、 ６８０：導線、 ６９０：制御装置

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】

【図14】

【図15】

【図16】

【図17】

【図18】

【図19】