特許7038130改良された垂直フィン形状を有する垂直電界効果トランジスタ・デバイスの製造

発明の名称　改良された垂直フィン形状を有する垂直電界効果トランジスタ・デバイスの製造

出願人　インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレーション　（識別番号 390009531）

　　　　特許公開件数ランキング 97 位（299件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 26 位（722件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-7038130

公報発行日　2022年3月17

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_B1-7038130

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